TWI565944B - 一種氣體感測器及其製作方法 - Google Patents

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Description

一種氣體感測器及其製作方法
本發明為有關一種氣體感測器，尤指一種具有低製造成本及簡易製程的氣體感測器。
氣體感測器泛指偵測氣體之物理或化學性質的裝置，而廣泛應用於醫療、工業、科技、環保等各種領域。
如中華民國發明專利公告第I458464號，提出一種可早期偵測及辨識肺炎種類之呼吸器包含一吐氣端管路及一氣體辨識裝置，該氣體辨識裝置係利用一氣體辨識晶片來分析一病人由該吐氣端管路所呼出的一混合氣體以辨識該病人罹患的肺炎種類，該氣體辨識晶片係包含一感測器陣列、一感測器介面電路、一隨機類神經網路晶片、一記憶體及一微控制器，該微控制器連結該感測器介面電路、該隨機類神經網路晶片及該記憶體並控制其運作。藉此，可早期偵測並辨識肺炎的種類，以提供更有效的治療。
於以上先前技術之中，係採半導體製程進行感測器陣列的製造，然而，一般來說，此種感測器陣列的結構複雜，且半導體製程的製造成本高昂，並不利於此種氣體感測器於商業上之推廣。
本發明的主要目的，在於解決習知氣體感測器的感測器陣列結構複雜，且因採用半導體製程而具有於製造時需耗費大量時間以及製造成本較高昂的問題。
為達上述目的，本發明提供一種氣體感測器，包含有一基板；一設置於該基板上的加熱層，該加熱層的材料為銦錫氧化物且接受一電流而加熱至一介於30℃至70℃之間的溫度；一設置於該加熱層上的絕緣層；以及複數個排列且設置於該絕緣層上的偵測單元，該偵測單元分別包括一偵測電極、一圍繞該偵測電極的阻隔部以及一反應感測膜，該偵測電極包括一第一電極及一第二電極，該第一電極包括一第一條狀電極以及一自該第一條狀電極延伸的第一指狀電極，該第二電極包括一第二條狀電極以及一自該第二條狀電極延伸的第二指狀電極，該第一指狀電極和該第二指狀電極彼此交替排列，該反應感測膜設置於該阻隔部內之一容置空間並和該偵測電極接觸；其中，該反應感測膜和一待測氣體接觸而進行一電化學反應，使該偵測電極產生一對應該待測氣體的識別訊號。
為達上述目的，本發明提供氣體感測器的製作方法，包含下列步驟，提供一基板；於該基板上形成一加熱層；於該加熱層上形成一絕緣層；於該絕緣層上形成至少一偵測電極，該偵測電極包括一第一電極及一第二電極，該第一電極包括一第一條狀電極以及一自該第一條狀電極延伸的第一指狀電極，該第二電極包括一第二條狀電極以及一自該第二條狀電極延伸的第二指狀電極，該第一指狀電極和該第二指狀電極彼此交替排列；於該絕緣層上形成一阻隔部，該阻隔部圍繞該偵測電極，且於該偵測電極上形成一容置空間；以及將一高分子材料填充至該阻隔部內之該容置空間並且形成一反應感測膜，而得到一氣體感測器。
由以上可知，本發明相較於習知技藝可達到之功效在於，利用本發明得到的該氣體感測器，結構相對簡單，且製造方便，毋須採用半導體設備或製程，適合大量生產且投入成本較低。
1‧‧‧氣體感測器
10‧‧‧基板
20‧‧‧加熱層
30‧‧‧絕緣層
40‧‧‧偵測單元
401‧‧‧偵測電極
4011‧‧‧第一電極
4011a‧‧‧第一條狀電極
4011b‧‧‧第一指狀電極
4012‧‧‧第二電極
4012a‧‧‧第二條狀電極
4012b‧‧‧第二指狀電極
402‧‧‧阻隔部
4021‧‧‧阻隔壁
4022‧‧‧容置空間
403‧‧‧反應感測膜
『圖1』，為本發明一實施例的氣體感測器俯視示意圖。
『圖2』，為『圖1』的A-A方向剖面示意圖。
『圖3』，為本發明一實施例的偵測電極示意圖。
『圖4A至圖4D』，為本發明一實施例的製作流程圖。
有關本發明的詳細說明及技術內容，現就配合圖式說明如下：
請搭配參閱『圖1』、『圖2』及『圖3』所示，分別為本發明一實施例的氣體感測器俯視示意圖、『圖1』的A-A方向剖面示意圖及偵測電極示意圖，本發明為一種氣體感測器1，包含一基板10、一加熱層20、一絕緣層30及複數個排列的偵測單元40，該加熱層20設置於該基板10上，該基板10的材料可為玻璃、銦錫氧化物或聚對苯二甲酸乙二酯(Polyethylene Terephthalate，簡稱PET)。該加熱層20的材料係選用可加熱至一高於室溫之溫度者，於本發明之一實施例中，該加熱層20的材料可為銦錫氧化物，且較佳地接受一電流而加熱至一介於30℃至70℃之間的溫度。該絕緣層30設置於該加熱層20上，其中該絕緣層30的材料可為聚對苯二甲酸乙二酯。
該偵測單元40設置於該絕緣層30上，且呈一陣列或一圖案排列，於本實施例中，該偵測單元40可採8×4的陣列排列，彼此間較佳地相距 100μm。該偵測單元40包括至少一偵測電極401、一阻隔部402以及一反應感測膜403，於本發明中，該反應感測膜403的材料可為羧甲基纖維素銨(CMC-NH4)、聚苯乙烯(Polystyrene，簡稱PS)、聚乙烯己二酸(Poly(ethylene adipate))、聚氧化乙烯(Poly(ethylene Oxide)，簡稱PEO)、聚己內酯(Polycaprolactone)、聚乙二醇(PEG)、聚乙烯芐基氯(Poly(vinylbenzyl chloride)，簡稱PVBC)、甲基乙烯基醚-馬來酸交替型共聚物(Poly(methyl vinyl ether-alt-maleic acide))、乙烯基苯酚-甲基丙烯酸甲酯共聚物(Poly(4-vinylphenol-co-methyl methacrylate))、乙基纖維素(Ethyl cellulose，簡稱EC)、偏氯乙烯-丙烯腈共聚物(Poly(vinylidene chloride-co-acrylonitrile)，簡稱PVdcAN)、聚環氧氯丙烷(Polyepichlorohydrin，簡稱PECH)、聚乙烯亞胺(Polyethyleneimine)、胜肽((Beta-Amyloid(1-40))、人體半乳糖凝集(Human galectin-1或Human albumin)、苯乙烯-烯丙醇共聚物(Styrene/Allyl alcohol copolymer，簡稱SAA)、乙烯-醋酸乙烯酯共聚物(Poly(ethylene-co-vinyl acetate))、聚異丁烯(Polyisobutylene，簡稱PIB)、丙烯腈-丁二烯共聚物Poly(acrylonitrile-co-butadiene)、聚(4-乙烯嘧啶)(Poly(4-vinylpyridine)、羥丙甲纖維素(Hydroxypropyl methyl cellulose)、聚異戊二烯(Polyisoprene)、聚α甲基苯乙烯(Poly(alpha-methylstyrene))、3-氯-1,2-環氧丙烷-氧化乙烯共聚物(Poly(epichlorohydrin-co-ethylene oxide))、聚乙烯縮丁醛(Poly(vinyl butyral-co-vinyl alcohol-vinyl acetate))、聚苯乙烯(Polystyrene，簡稱PS)、木質素磺酸鹽(Lignin)、脂肽(Acylpeptide)、聚丙酸(Poly(vinyl proplonate))、聚乙烯吡咯烷酮(Poly(vinylpyrrolidone)，簡稱PVP)、二聚酸-烷基多胺共聚物(Poly(dimer acid-co-alkyl polyamine))、聚(4-乙基苯酚)(Poly(4-vinylphenol)、聚羥乙基丙烯酸甲酯(Poly(2-hydroxyethyl methacrylate))、氯乙烯-乙酸乙烯 酯共聚物(Poly(vinyl chloride-co-vinyl acetate))、三醋酸纖維素(Cellulose triacetate)、聚(乙烯硬脂酸酯)Poly(viny stearate)、聚雙酚A碳酸酯(Poly(bisphenol A carbonate)，簡稱PC)、聚偏二氟乙烯(Poly(vinylidene fluoride)，簡稱PVDF)或其組合。於本實施例中，該偵測電極401在每個該偵測單元40中的數量可為4個，彼此間較佳地相距30μm，如此一來，該偵測電極401的數量可達128個，但可配合使用需求會有不同的數量，不以本實施例之舉例為限。
該偵測電極401包括一第一電極4011及一第二電極4012，該第一電極4011包括一第一條狀電極4011a及一第一指狀電極4011b，該第二電極4012包括一第二條狀電極4012a及一第二指狀電極4012b，該第一條狀電極4011a與該第二條狀電極4012a沿一第一軸向延伸且平行設置，該第一指狀電極4011b沿一第二軸向自該第一條狀電極4011a朝該第二條狀電極4012a延伸，該第二指狀電極4012b沿該第二軸向自該第二條狀電極4012a朝該第一條狀電極4011a延伸，該第一指狀電極4011b與該第二指狀電極4012b呈平行且彼此交替排列設置，如『圖3』所示。該第一軸向和該第二軸向相異，而於本實施例中，該第一軸向和該第二軸向彼此垂直。此外，其中該偵測電極401的材料可選自為銦錫氧化物、銅、鎳、鉻、鐵、鎢、磷、鈷或及銀或上述組合。該阻隔部402包括複數個遠離該絕緣層30且向上延伸的阻隔壁4021，該阻隔壁4021圍繞該偵測電極401而形成一容置空間4022。該反應感測膜403設置於該阻隔部402內之該容置空間4022並和該偵測電極401接觸。實際應用時，該反應感測膜403和一待測氣體接觸而進行一電化學反應，使該偵測電極401產生一對應該待測氣體的識別訊號。
請繼續參閱『圖4A』至『圖4D』所示，為本發明一實施例的製作流程示意圖，本發明進一步提供一種氣體感測器1的製作方法，包含下列步驟：
首先，如『圖4A』所示，提供一基板10，於該基板10上形成一加熱層20，其中該基板10的材料可選自玻璃、銦錫氧化物及聚對苯二甲酸乙二酯或上述組合，而該加熱層20為接受一電流而加熱至一介於30℃至70℃之間的溫度，該加熱層20的材料可為銦錫氧化物。
接著，如『圖4B』所示，於該加熱層20上形成一絕緣層30，其中該絕緣層30的材料可為聚對苯二甲酸乙二酯。
然後，如『圖4C』所示，於該絕緣層30上形成至少一偵測電極401，該偵測電極401包括一第一電極4011及一第二電極4012，該第一電極4011包括一第一條狀電極4011a及一第一指狀電極4011b，該第二電極4012包括一第二條狀電極4012a及一第二指狀電極4012b，該第一條狀電極4011a與該第二條狀電極4012a沿一第一軸向延伸且平行設置，該第一指狀電極4011b沿一第二軸向自該第一條狀電極4011a朝該第二條狀電極4012a延伸，該第二指狀電極4012b沿該第二軸向自該第二條狀電極4012a朝該第一條狀電極4011a延伸，該第一指狀電極4011b與該第二指狀電極4012b呈平行且彼此交替排列設置。該第一軸向和該第二軸向相異，而於本實施例中，該第一軸向和該第二軸向彼此垂直。此外，其中該偵測電極401的材料可選自銦錫氧化物、銅、鎳、鉻、鐵、鎢、磷、鈷及銀或上述組合。
待形成該偵測電極401後，於該絕緣層30上形成一阻隔部402，該阻隔部402圍繞該偵測電極401，並包括複數個遠離該絕緣層30且向上延伸的阻隔壁4021，該阻隔壁4021圍繞該偵測電極401而於該偵測電極401上形成一容置空間4022。
最後，如『圖4D』所示，將一高分子材料填充至該阻隔部402內的該容置空間4022並且形成一反應感測膜403，該反應感測膜403和該偵測電極401接觸。
綜上所述，利用本發明之方法所得到的該氣體感測器，係具備結構簡單之優點，且前述的步驟均可採厚膜製程，例如捲對捲(Roll to Roll)製程，而不須使用半導體製程或薄膜技術，製造方便且成本較低，適合大量生產。
以上已將本發明做一詳細說明，惟以上所述者，僅為本發明的一較佳實施例而已，當不能限定本發明實施的範圍。即凡依本發明申請範圍所作的均等變化與修飾等，皆應仍屬本發明的專利涵蓋範圍內。
1‧‧‧氣體感測器
10‧‧‧基板
20‧‧‧加熱層
30‧‧‧絕緣層
40‧‧‧偵測單元
401‧‧‧偵測電極
402‧‧‧阻隔部
4021‧‧‧阻隔壁
4022‧‧‧容置空間
403‧‧‧反應感測膜

Claims (14)

  1. 一種氣體感測器，包含有：一基板；一設置於該基板上的加熱層，該加熱層的材料為銦錫氧化物且接受一電流而加熱至一介於30℃至70℃之間的溫度；一設置於該加熱層上的絕緣層；以及複數個排列且設置於該絕緣層上的偵測單元，該偵測單元分別包括至少一偵測電極、一圍繞該偵測電極的阻隔部以及一反應感測膜，該偵測電極包括一第一電極及一第二電極，該第一電極包括一第一條狀電極以及一自該第一條狀電極延伸的第一指狀電極，該第二電極包括一第二條狀電極以及一自該第二條狀電極延伸的第二指狀電極，該第一指狀電極和該第二指狀電極彼此交替排列，該反應感測膜設置於該阻隔部內之一容置空間並和該偵測電極接觸；其中，該反應感測膜和一待測氣體接觸而進行一電化學反應，使該偵測電極產生一對應該待測氣體的識別訊號。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的氣體感測器，其中該基板的材料擇自於玻璃、銦錫氧化物及聚對苯二甲酸乙二酯所組成之群組。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的氣體感測器，其中該絕緣層的材料為聚對苯二甲酸乙二酯。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的氣體感測器，其中該偵測電極的材料擇自於銦錫氧化物、銅、鎳、鉻、鐵、鎢、磷、鈷及銀所組成之群組。
  5. 如申請專利範圍第1項所述的氣體感測器，其中該阻隔部包括複數個遠離該絕緣層而向上延伸的阻隔壁，該阻隔壁圍繞出該容置空間。
  6. 如申請專利範圍第1項所述的氣體感測器，其中該偵測電極的該第一條狀電極與該第二條狀電極沿一第一軸向延伸且平行設置，該第一指狀電極沿一與該第一軸向相異的第二軸向自該第一條狀電極朝該第二條狀電極延伸，該第二指狀電極沿該第二軸向自該第二條狀電極朝該第一條狀電極延伸，該第一指狀電極與該第二指狀電極呈平行排列設置。
  7. 一種氣體感測器的製作方法，包含下列步驟：提供一基板；於該基板上形成一加熱層；於該加熱層上形成一絕緣層；於該絕緣層上形成至少一偵測電極，該偵測電極包括一第一電極及一第二電極，該第一電極包括一第一條狀電極以及一自該第一條狀電極延伸的第一指狀電極，該第二電極包括一第二條狀電極以及一自該第二條狀電極延伸的第二指狀電極，該第一指狀電極和該第二指狀電極彼此交替排列；於該絕緣層上形成一阻隔部，該阻隔部圍繞該偵測電極，且於該偵測電極上形成一容置空間；以及將一高分子材料填充至該阻隔部內之該容置空間並且形成一反應感測膜，而得到一氣體感測器。
  8. 如申請專利範圍第7項所述的氣體感測器的製作方法，其中該基板材質擇自於玻璃、銦錫氧化物及聚對苯二甲酸乙二酯所組成之群組。
  9. 如申請專利範圍第7項所述的氣體感測器的製作方法，其中該加熱層接受一電流而加熱至一介於30℃至70℃之間的溫度。
  10. 如申請專利範圍第7項所述的氣體感測器的製作方法，其中該加熱層的材料為銦錫氧化物。
  11. 如申請專利範圍第7項所述的氣體感測器的製作方法，其中該絕緣層的材料為聚對苯二甲酸乙二酯。
  12. 如申請專利範圍第7項所述的氣體感測器的製作方法，其中該偵測電極的材料擇自於銦錫氧化物、銅、鎳、鉻、鐵、鎢、磷、鈷及銀所組成之群組。
  13. 如申請專利範圍第7項所述的氣體感測器的製作方法，其中該阻隔部包括複數個遠離該絕緣層而向上延伸的阻隔壁，該阻隔壁圍繞出該容置空間。
  14. 如申請專利範圍第7項所述的氣體感測器的製作方法，其中該偵測電極的該第一條狀電極與該第二條狀電極沿一第一軸向延伸且平行設置，該第一指狀電極沿一與該第一軸向相異的第二軸向自該第一條狀電極朝該第二條狀電極延伸，該第二指狀電極沿該第二軸向自該第二條狀電極朝該第一條狀電極延伸，該第一指狀電極與該第二指狀電極呈平行排列設置。
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DE102016106186.7A DE102016106186A1 (de) 2015-12-11 2016-04-05 Gassensor und Herstellungsverfahren desselben
US15/096,835 US20170168009A1 (en) 2015-12-11 2016-04-12 Gas sensor and manufacturing method thereof
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI718504B (zh) * 2019-03-22 2021-02-11 台灣奈米碳素股份有限公司 氣敏式紋身貼紙
TWI758918B (zh) * 2020-10-26 2022-03-21 國立清華大學 氣體感測元件及檢測系統
CN114487032A (zh) * 2020-10-26 2022-05-13 戴念华 气体感测元件及检测系统
CN114002269B (zh) * 2021-11-01 2023-11-24 杭州电子科技大学 一种多肽/MoS2/SnO2复合材料制备方法及应用
TWI821853B (zh) * 2022-01-05 2023-11-11 財團法人工業技術研究院 微機電感測裝置及其感測模組

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020100697A1 (en) * 2000-12-19 2002-08-01 Quinn David B. Gas sensor with uniform heating and method of making same
US20050016841A1 (en) * 2003-07-21 2005-01-27 Fenglian Chang Methods of treating electrodes and gas sensors comprising the electrodes
TW200526952A (en) * 2003-11-12 2005-08-16 Du Pont System and method for sensing and analyzing gases
CN102604827A (zh) * 2012-03-31 2012-07-25 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 非接触式电导法实现pcr反应过程的实时检测系统和方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5322602A (en) * 1993-01-28 1994-06-21 Teledyne Industries, Inc. Gas sensors
JP2000258376A (ja) * 1999-03-10 2000-09-22 Kubota Corp マイクロヒータ及びマイクロヒータの作製方法
JP2002071612A (ja) * 2000-09-05 2002-03-12 Tdk Corp 湿度センサ
US7948041B2 (en) * 2005-05-19 2011-05-24 Nanomix, Inc. Sensor having a thin-film inhibition layer
JP4450598B2 (ja) * 2003-10-02 2010-04-14 北陸電気工業株式会社 湿度センサ及びその製造方法
DE10356935A1 (de) * 2003-12-05 2005-06-30 Robert Bosch Gmbh Sensor zur Bestimmung von Gasen und Verfahren zur Herstellung desselben
JP2005291886A (ja) * 2004-03-31 2005-10-20 Tdk Corp 湿度センサ素子の製造方法及び湿度センサ素子
JP2007033416A (ja) * 2005-07-29 2007-02-08 Yokohama National Univ プロトン受容型ガスセンサーの駆動方法、ガス検出方法、及びプロトン受容型ガスセンサー装置
EP2043518A1 (en) * 2006-07-21 2009-04-08 Anaxsys Technology Limited Gas sensor
KR100723429B1 (ko) * 2006-07-31 2007-05-30 삼성전자주식회사 금속 리간드와 탄소나노튜브를 이용한 가스 센서의제조방법
JP4925835B2 (ja) * 2007-01-12 2012-05-09 日東電工株式会社 物質検知センサ
US8393196B2 (en) * 2007-12-14 2013-03-12 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Gas sensor
FR2936604B1 (fr) * 2008-09-29 2010-11-05 Commissariat Energie Atomique Capteurs chimiques a base de nanotubes de carbone, procede de preparation et utilisations
US8877636B1 (en) * 2010-02-26 2014-11-04 The United States Of America As Represented By The Adminstrator Of National Aeronautics And Space Administration Processing of nanostructured devices using microfabrication techniques
US20120032692A1 (en) * 2010-08-09 2012-02-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mems gas sensor
US8551571B2 (en) * 2011-11-10 2013-10-08 Chung-Shan Institute of Science and Technology, Armaments Bureau, Dept. of National Defense Method for making a conductive polymer composite for detecting a sort of gas
TWI458464B (zh) 2012-02-01 2014-11-01 Nat Univ Tsing Hua 可早期偵測及辨識肺炎種類之呼吸器、其氣體辨識晶片、及其氣體辨識方法
CN104407035A (zh) * 2014-11-14 2015-03-11 无锡信大气象传感网科技有限公司 一种气体传感器芯片
CN105092646B (zh) * 2015-08-19 2017-09-26 电子科技大学 一种石墨烯/金属氧化物复合膜气体传感器及其制备方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020100697A1 (en) * 2000-12-19 2002-08-01 Quinn David B. Gas sensor with uniform heating and method of making same
US20050016841A1 (en) * 2003-07-21 2005-01-27 Fenglian Chang Methods of treating electrodes and gas sensors comprising the electrodes
TW200526952A (en) * 2003-11-12 2005-08-16 Du Pont System and method for sensing and analyzing gases
CN102604827A (zh) * 2012-03-31 2012-07-25 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 非接触式电导法实现pcr反应过程的实时检测系统和方法

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Publication number Publication date
TW201721137A (zh) 2017-06-16
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