TWI565383B - Production method and production device of multi - chip substrate - Google Patents

Description

多片式基板之製作方法及製作裝置

有關於在單一基板中包含複數之片件的多片式基板，更詳細而言，有關於在單一基板中使複數之良品片件接合而接合的多片式基板之製作方法及製作裝置。

在配線基板之中，係具有在單一基板包含複數之片件的多片式基板。關於多片式基板，係要求該複數之片件由滿足預設的既定性能之良品片件所成。然而，難以完全排除產生包含不具有既定性能之不良片件的多片式基板。此外，僅因包含1個不良片件就連該基板中之其他良品片件皆廢棄，係不僅產生製造成本上之問題，亦成為資源之有效利用上問題。

為此，正施行在構成多片式基板時將複數之片件安裝於框。藉此，作成可提供一種多片式基板，廢棄不良片件，僅將良品片件安裝於框從而有效利用資源，同時所有的片件為良品。

然而，在歷來之手法中，係作成：將良品片件安裝於基板固定治具上之框而作固定，將框與良品片件以貼帶作固定，進一步將兩者以接著劑作接著而製作多片 式基板，之後，使接著劑硬化後，以手工作業進行除掉為了固定上述框及良品片件而使用之貼帶這個程序。為此，存在作業效率差而難以使生產率提升這個問題。(參見〔專利文獻1〕)

此外，供以固定基板之治具一般而言係基板的大小、形狀、孔位置等按基板的種類而異故需要按基板的種類而製作供以作基板固定之治具。

然而，存在為了製作供以固定基板之治具而需要極大的成本這個問題。再者，亦存在製作符合要求之準確度的供以固定基板之治具並不容易這個情況。此外，存在確保保管這樣的治具之場所的必要性使得亦需要所需的問接成本。

此外，在〔專利文獻6〕中雖介紹自動對於框與良品片件之位置關係進行自動修正而製作多片式基板之發明，但框與良品片件之固定係使用貼帶而以手工作業進行因而為低效率的。此外，以貼帶局部將框與良品片件作固定，故即使進行框與良品片件之位置對準，仍存在正在黏貼貼帶時和在後製程中框與良品片件之位置相對偏移這個問題。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本發明專利公開2000-252605號

[專利文獻2]日本發明專利公開2002-43702號

[專利文獻3]日本發明專利公開2002-289985號

[專利文獻4]日本發明專利公開2003-69190號

[專利文獻5]日本發明專利公開2011-23657號

[專利文獻6]日本發明專利公開2005-537684號

所以，本發明係解決上述問題點，目的在於提供一種多片式基板之製作方法及裝置，可自動使良品片件以高準確度接合於框，且之後，可高效率將框與良品片件接合，藉此可高效率製作包含良品片件之多片式基板。

依照本件發明的1個特徵，提供一種多片式基板之製作裝置，在框安裝了複數之片件，該製作裝置之特徵在於：具備：具有水平擴展之區域的作業台；以將該作業台之區域分開成第1作業區域與第2作業區域的方式延伸於第1方向之線性導軌；配置於前述第1作業區域內，以可供給的方式保管複數之良品片件的片件收容器；安裝於該線性導軌的靠前述第1作業區域之側，將保管於前述片件收容器之片件取出，而沿著前述第1方向搬送至既定位置的片件搬送機構；以可在前述作業台上移動於前述第1與第2作業區域的方式而配置，進行對於前述框與複數之片件作定位固定之作業的固定台；支撐該固定台， 沿著與前述第1方向正交之第2方向從前述第1作業區域至第2作業區域而使前述固定台移動之固定台搬送機構；以及在前述線性導軌之第2作業區域側，以可沿著前述第1方向進行移動的方式而設，供應將在前述固定台上之前述框與前述片件接著之接著劑的分配器；前述片件搬送機構將保管於前述片件收容器之片件取出而保持，將該片件與配置於在第1作業區域之固定台上的框作結合，使該固定台從第1作業區域移動至第2作業區域，使用前述分配器，而將接著劑塗布於前述片件與框之結合部而將兩者之位置關係作固定。

在較佳態樣方面，係具備：第1固定台；使該第1固定台沿著前述第2方向從前述第1作業區域至第2作業區域而使前述第1固定台移動之第1固定台搬送機構；鄰接於前述第1固定台而配置之第2固定台；以及使該第2固定台沿著前述第2方向而從前述第1作業區域至第2作業區域而使前述固定台移動之第2固定台搬送機構；構成為：在前述第1作業區域中在前述第1固定台上進行框與片件之定位結合作業時，在前述第2作業區域中在前述第2固定台上對於框與片件之結合部平行進行接著劑之塗布，在第1作業區域中在前述第2固定台上進行框與片件之定位結合作業時，在第2作業區域中對於前述第1框與片件之結合部平行進行接著劑之塗布。藉構成如此，可更高效率製作多片式基板。

此外，依照別的態樣，一種多片式基板之製作方法，在框安裝了複數之片件，該製作方法係具備以下之一階段：使用上述的多片式基板之製作裝置，而藉前述片件搬送機構將保管於前述片件收容器之片件取出而保持，使該片件搬送機構沿著前述線性導軌移動於第1方向而對於該片件與配置於在第1作業區域之固定台上的框進行定位而予以結合，使該固定台從第1作業區域移動至第2作業區域，使用前述分配器，而將接著劑供應於前述片件與框之結合部而將兩者之位置關係作固定。

較佳者，提供一種多片式基板之製作方法，前述多片式基板之製作裝置進一步具備：第1固定台；使該第1固定台沿著前述第2方向從前述第1作業區域至第2作業區域而使前述第1固定台移動之第1固定台搬送機構；鄰接於前述第1固定台而配置之第2固定台；以及使該第2固定台沿著前述第2方向而從前述第1作業區域至第2作業區域而使前述固定台移動之第2固定台搬送機構；具備以下之一階段：在前述第1作業區域中在前述第1固定台上進行框與片件之定位結合作業時，在前述第2作業區域中在前述第2固定台上對於框與片件之結合部平行進行接著劑之塗布，在第1作業區域中在前述第2固定台上進行框與片件之定位結合作業時，在第2作業區域中對於前述第1框與片件之結合部平行進行接著劑之塗布。

依照本件發明的再別的特徵，提供一種多片 式基板之製作方法，在框安裝了複數之片件，該製作方法之特徵在於：具備：形成構成供以搭載既定的電子構件之單一基板的片件之階段；在前述片件之中挑選滿足既定的基準之具有良好的品質之良品片件與不滿足該既定的基準之不良片件，僅選擇良品片件之階段；準備供以支撐片件之框，透過在片件之側面以從該側面突出的方式而設之電橋而使複數之前述良品片件接合於單一的前述框之供以收容前述電橋的凹部之階段；將前述框與接合於該框之前述良品片件黏貼於黏著薄片之階段；以及將前述良品片件之電橋與前述框之凹部藉接著劑而接合之階段。

依照本發明，可在不使用供以支撐多片式基板之特別的治具等之情況下，容易且正確並且高效率將前述框及前述良品片件彼此作接合而固定。

在較佳態樣方面，係黏著薄片藉金屬板而被支撐。

此外，較佳者，黏著薄片係具有：在低溫時具有高黏著性，在高溫時黏著性會降低之特性。然後，此情況下，成為：在低溫時將具有一體化於前述框之前述良品片件的多片式基板黏貼於黏著薄片，在高溫時，從前述黏著薄片將前述多片式基板作分離。

此情況下上述低溫係例如10至30℃，上述高溫係60℃程度。

因此，本發明相關的多片式基板之製作方 法，係進行加熱和冷卻使得可容易將良品之多片式基板卸下。

在使複數之前述良品片件接合於單一的前述框之供以收容前述電橋的凹部之階段中，較佳係成為：取得前述良品片件與前述框的各者之位置資訊，一邊基於該位置資訊而控制兩者之位置一邊予以接合。

此外，可取得前述良品片件與前述框的各者之位置資訊，高準確度將前述良品片件插入前述框的應存在之位置。

此外，較佳者，進一步具備：將黏貼於黏著薄片的前述框及前述複數之良品片件的既定部位之位置資訊，使用攝影用相機而取得作保存之階段。藉此在之後的程序中在對於多片式基板裝配既定的電子構件之作業中，可使裝配的控制性之準確度提升同時可促進高效化。

依照本件發明之別的特徵，提供一種多片式基板之製作裝置，特徵在於：具備：是構成供以搭載既定的電子構件之單一基板的片件，亦即在前述片件之中滿足既定的基準之具有良好的品質之良品片件；供以支撐複數之前述良品片件的框；設於前述片件之側面，以從該側面突出的方式而形成之電橋；前述框與前述良品片件被接合時，以與前述電橋接合的方式設於前述框之凹部；前述框與複數之前述良品片件被接合而一體化之前述 框與良品片件被黏貼的黏著薄片；以及前述框與複數之良品片件被黏貼於前述黏著薄片上而定位後，供應供以將前述框的凹部與前述良品片件之電橋作接合之接著劑的分配器。

更佳者，設有取得前述框之既定部位及支撐於該框的前述良品片件之既定部位的位置資訊之位置資訊取得手段。

此情況下，成為：前述位置資訊取得手段對於藉攝影用相機而對於前述框及被支撐於其之前述良品片件進行攝像從而得到之影像進行分析而取得前述位置資訊。

此外，較佳者，設有：對於支撐了黏貼於黏著薄片上之多片式基板的前述金屬板作固定之固定台、及對於該固定台之位置進行控制的位置控制機構。

再者，在較佳態樣方面，係具備：把持前述良品片件而搬送之臂件、及使該臂件移動而對於位置進行控制之臂件移動機構。此情況下，較佳為前述固定台之前述位置控制機構係具有對於旋轉位置進行控制之機構。

然後，成為對於臂件及前述固定台的位置進行控制而使前述良品片件與前述框接合，供應接著劑之前述分配器，係進一步具備對於其位置進行控制的控制機構，藉被位置控制而在前述良品片件與前述框被接合之後對於前述良品片件之電橋與前述框之凹部的接合部供應接著劑。

因此，在本發明中係可使前述良品片件與前述框相對 作平面移動(XY移動)而自由定位，作業效率佳。

此外，本發明相關的多片式基板之製作裝置，係特徵在於：前述固定台係具備旋轉機構。

因此，本發明相關的多片式基板之製作裝置，係前述良品片件1與前述框2的角度相對偏移的情況下，可藉使前述固定台旋轉，使前述良品片件與前述框之角度相對上一致而以高準確度將前述良品片件插入前述框。

此外，本發明相關的多片式基板之製作裝置，係成為將前述框及前述良品片件黏貼於前述黏度特性會因溫度而變化之黏著薄片。

在本發明相關的多片式基板之製作裝置方面，係對於黏著薄片進行加熱和冷卻使得可容易將良品之多片式基板卸下。此情況下，若作成藉金屬板而支撐黏著薄片，則可提高溫度控制的準確度及效率。

此外，在本發明相關的多片式基板之製作裝置方面，係可對於前述框從上方以攝影用相機取得位置資訊，對於從上方藉臂件而把持之前述良品片件從下方以攝影用相機取得位置資訊。以此方式可進行前述框與前述良品片件之位置對準。

因此，依照本發明，可取得前述良品片件與前述框的各者之位置資訊，高準確度將前述良品片件插入前述框的應存在之位置。

此外，依照本發明，成為使用分配器而自動將接著劑塗布於前述良品片件與前述框之接合部。

此外，依照本發明，前述分配器與前述固定台可相對作平面移動(XY移動)，可高準確度在期望的位置塗布接著劑。

如以上所述依照本發明的多片式基板之製作方法及裝置，能以高準確度且高效率製作良品之多片式基板。

1‧‧‧良品片件

2‧‧‧框

3‧‧‧導軸

4‧‧‧金屬板

5‧‧‧吸附墊

10a，10b‧‧‧固定台

11‧‧‧分配器

12a，12b，12c‧‧‧攝影用相機

13a，13b，13d，13e，13f，13g‧‧‧線性導軌

14a，14b，14d，14e，14f，14g‧‧‧驅動馬達

15a，15b，15c，15d，15e‧‧‧滾珠螺桿

100a，100b，100c，100d‧‧‧基準標示(框)

101a，101b，101c，101d‧‧‧基準標示(良品片件)

102‧‧‧電橋

103‧‧‧突起部

[圖1]對於本發明之1實施例相關的多片式基板之製作裝置之一部分進行繪示的透視圖。

[圖2]對於從別的角度看圖1的本發明之1實施例相關的多片式基板之製作裝置的一部份進行繪示之透視圖。

[圖3]圖1之部分放大圖。

[圖4]圖2之部分放大圖。

[圖5]圖1之圖3的多片式基板之製作裝置之固定台的附近之部分放大圖。

[圖6]良品片件之平面圖。

[圖7]框之平面圖。

[圖8]對於將良品片件插入框之狀態進行繪示的平面圖。

[圖9]依照本發明的一實施形態的多片式基板之製作 方法的流程圖。

[圖10]示意性對於將框黏貼於金屬板之狀態進行繪示的透視圖。

[圖11]將框黏貼於固定台之金屬板進行繪示的透視圖。

[圖12]示意性對於在吸附狀態下藉攝影用相機作攝影而取得片件的位置資訊之狀態進行繪示的透視圖。

[圖13]對於片件之位置控制的狀態進行繪示之說明圖。

[圖14]對於藉片件搬送機構而使片件結合於框之狀況進行繪示的說明圖。

[圖15]對於供以藉分配器而塗布接著劑之準備狀態進行繪示的說明圖。

[圖16]對於將接著劑塗布於良品片件之電橋與和其接合之框的凹部之接合部分的狀況進行繪示之部分放大圖。

[圖17]供以說明2個搬運梭之作動狀態下的示意圖。

[圖18]對於在框之1個接合空間固定良品片件而另一個接合空間呈空位狀態之多片式基板的半製品進行繪示的平面圖。

[圖19]編入於圖18之多片式基板的半製品之空位狀態下的接合空間之良品片件的平面圖。

[圖20]對於良品片件被編入於圖18之多片式基板的半製品之接合空間的狀態進行繪示之平面圖。

[圖21]對於良品片件被編入於圖18之多片式基板的 半製品之接合空間並被固定之狀態進行繪示的平面圖。

以下，基於圖式說明本發明的實施形態。另外，遍歷供以說明實施形態之所有圖，對於相同構材原則上附加相同符號，重複之說明作省略。

說明有關於本件發明之具代表性的實施形態。在圖1及圖2中係繪示供以製作將複數之片件安裝於框的多片式基板6之多片件製作裝置的整體透視圖。供以製作此多片式基板6之多片式基板製作裝置40，係具備水平擴展於X方向及Y方向之區域的作業台41。

再者，多片式基板製作裝置40，係具備以將作業台之區域分開成2個區域亦即分開成第1作業區域42與第2作業區域43的方式延伸於第1方向亦即X方向之線性導軌13a。

在第1作業區域42內，係配置有將複數之片件1以可供給的方式作保管之片件收容器20。

參見圖3至圖5時即繪示了多片式基板製作裝置40之部分放大圖。

在圖6中係繪示了本發明的實施例相關之片件1的平面圖。片件1係如下構件：施加既定的配線而從基板所構成，構成之後編入既定的電子構件之基板。在本例中，在包含於多片式基板6的複數之片件1方面係為了正確進行之後的電子構件之裝配作業而需要正確掌握位置資訊。在 本發明中之片件係指滿足作為既定產品的性能基準之所謂的良品片件。本例之片件1係呈矩形狀，在片件1之各自的4個角部係在預設之位置附加有基準標示101a，101b，101c及101d。基準標示係使用於取得片件1之位置資訊而正確進行其位置控制。再者，在片件1，係與框2作接合之4個被以從周圍之側面突出於外側的方式而設。電橋係成為具有其前端擴展之突起103a，103b，103c及103d的構造。

此外，於圖7中，係繪示了本發明的1實施例相關之框2的平面圖。本發明相關之多片式基板6係成為包含施行既定配線的複數之片件並在之後的程序中編入所設計的既定電路構件等之電子構件。框2係具有供以將複數之片件1定位固定於多片式基板6上的功能之構件。示於圖7之框2，係具備可編入示於圖6之2個片件1的2個空間2a及2b。

在本例之框2中，係附加有預設於各自的4個角部之基準標示100a，100b，100c及100d。再者，在框2中，係在其內側側面之與上述片件1之電橋分別對應的位置設有凹部104a，104b，104c及104d，在與片件1接合之情況下，係使4個電橋102a，102b，102c及102d之各者接合於此凹部104a，104b，104c及104d從而作結合。框2之基準標示100a，100b，100c及100d係使用於取得框2之位置資訊而正確進行其位置控制。此外，亦使用於予以與片件1接合而製作多片式基板6的位置控制之 時。

於圖8中，係以平面圖的形式繪示將2個片件1插入框2之空間2a及2b並使片件1的4個電橋102a，102b，102c及102d的各者接合於框2之對應的凹部104a，104b，104c及104d從而使片件1與框2結合而製作之多片式基板6的一例。

在製作多片式基板6之製作裝置40的片件收容器20，係安裝有複數之導軸3，於導軸3使片件1抵接，進行定位從而設定於既定的位置，而進行為了多片式基板6之製作作業而進行的供應之準備。在本件發明之構成中係藉作成如此，可將片件1配置於大致上一定的位置而設定成用於為了多片式基板6之製作而進行的供給。

再者，多片式基板製作裝置40，係具備片件搬送機構21，其係安裝於上述線性導軌13a的靠前述第1作業區域42之側，具備：將積層於片件收容器20之狀態下被保管之片件1取出，而沿著第1方向(X方向)搬送至既定位置的線性導軌13a、驅動馬達14a、滾珠螺桿15a。

片件搬送機構21，係從上述片件收容器20藉負壓而將片件1往上吸，從而從片件收容器20取出而朝向固定台10a，10b搬送。

本例之固定台10a，10b，係在作業台41之區域中在X方向方面，位於上述之片件收容器20相反側，係具有供以使複數之片件1與框2基於既定的位置資訊而結合以 製作多片件基板6的平面之台。

上述片件搬送機構21，係由線性導軌13a、驅動馬達14a及滾珠螺桿15a等而構成，以直線往返運動於片件收容器20與固定台10a，10b間之X方向的方式而構成。此外，為了將片件1從片件收容器20抬起而取出，具備：可移動於堆積片件1之收容方向(上下方向亦即Z方向)的移動機構及片件1的固定機構。片件搬送機構21係作成為將片件1藉負壓而往上吸而固定之後作搬送。在本實施例中係採用真空吸附方式，但非限定於真空吸附方式者。

此情況下，片件搬送機構21具備片件攝影部22，該片件攝影部22係具備為了讀出片件1的位置資訊而進行攝影之攝影用相機12b。

在供以對片件1進行攝影之片件攝影部22，係為了取得片件1的位置資訊而搭載前述攝影用相機12b，成為將片件1的影像從下方攝影。此外，此片件攝影部22，係為了依所需適應於攝影部而成為可移動於X方向及Y方向。亦即透過以可移動於互相正交之方向的方式藉2組織線性導軌13b(X方向移動)、驅動馬達14b(X方向移動)及滾珠螺桿15b(X方向移動)、15c(Y方向移動)等而構成之移動機構，使得攝影用相機12b成為可自由移動於可動範圍內。

再者，在本實施例相關之片件搬送機構21係搭載供以對於框2進行攝影之攝影用相機12a，成為與片 件搬送機構21一體而可移動並成為可對於在固定台10a，10b上的片件1及框2之影像從上方進行攝影，正確取得其位置資訊。

在固定台10a，10b，係形成有多數的孔(不圖示)，對於前述固定台10a，10b使真空泵浦(不圖示)連結，使得可在上表面將金屬板4吸附固定。此外，固定台10a，10b係具備旋轉移動機構，片件1與框2的角度相對偏移的情況下，可在使框2載置之狀態下使固定台10僅旋轉既定量從而修正片件1與框2之角度的偏差。

固定台搬送機構23a，23b，係由線性導軌13d，13e、驅動馬達14d，14e及滾珠螺桿15d，15e等而構成，可在片件組位置與框接著劑塗布位置間進行直線往返運動。另外，固定台搬送機構23的移動方向係以成為與片件搬送機構21的移動方向正交之位置關係的方式而構成。

再者，多片式基板製作裝置40，係在片件搬送機構21之線性導軌13a的第2作業區域側，具備分配器11，該分配器11係以可沿著前述第1方向(X方向)進行移動的方式而設，在框2與片件1之間，為了將兩者接著而供應接著劑44。

分配器11，係成為對於在配置於固定台10a，10b上並以既定之位置關係而定位的框2與片件1之間的結合部以固定兩者的位置關係之方式塗布接著劑44。

由供以供應接著劑44之分配器11、線性導軌 13f、驅動馬達14g及滾珠螺桿(不圖示)等而構成，分配器11係成為可移動於上下方向。此外，於分配器11在支撐機構係搭載攝影用相機12c，成為能以可取得片件1及框2之位置資訊的方式而對於該影像從上方進行攝影。再者，透過由別的線性導軌13g、驅動馬達14f及滾珠螺桿15f等而構成之使片件1直線移動的機構，成為能以與固定台搬送機構23的移動方向正交的方式使片件1移動。

再者，如上所述多片式基板製作裝置40，係在作業台41上具備以可移動於第1與第2作業區域42，43之間的方式而配置並進行對於框2與複數之片件1進行定位固定之作業的一對固定台10a，10b。然後，設有一對固定台搬送機構23a，23b，其等係支撐固定台10a，10b，沿著與前述第1方向正交之第2方向亦即Y方向而從前述第1作業區域42至第2作業區域43使前述固定台10a，10b移動。固定台搬送機構23a係具有線性導軌13d、驅動馬達14d與滾珠螺桿15d，固定台搬送機構23b係具有線性導軌13e、驅動馬達14e與滾珠螺桿15e。一對的固定台10a，10b、固定台搬送機構23a及23b並排而設置，於第2方向(Y方向)以使固定台10a，10b分別移動的方式而平行延伸。在本例中，係將固定台10a與固定台搬送機構23a稱作第1搬運梭，將固定台10b與固定台搬送機構23b稱作第2搬運梭。在本例中，係在第1搬運梭與第2搬運梭之作業係大致相同內容但該等作業之時 序係成為不同，以交互動作的方式而構成。

在如上所述依照本實施形態之多片式基板製作裝置40中，係滿足既定性能基準之片件1如上所述在積層狀態下被保管於片件收容器20。

接著一邊參見圖9之流程圖，一邊說明有關於本發明的裝置之動作。

在本發明的多片式基板6之製作作業中，首先預先準備複數個貼了黏著薄片30之金屬板4。此作業，係需要進行於使多片式基板製作裝置40動作之前。

然後，首先，在如上述之程序中，預先準備貼了黏著薄片30之金屬板4，在該黏著薄片30上，如在圖10所示而安裝框2。此作業係以手工作業而進行。

然後，如在圖11所示將安裝了框2之金屬板4設置於固定台10上。(S1)另外，金屬板10係為了在之後的程序中高效率進行藉攝影用相機12a而正確讀取框2之位置的作業，期望以與金屬板上的框2之位置成為相同位置關係的方式而配置。將具有黏貼框2之黏著薄片30的金屬板4配置於前述固定台10上之後，使連結於前述固定台10之真空泵浦動作，而從黏著薄片30之背面使負壓作用而將金屬板4吸附固定於固定台10。

此情況下，前述黏著薄片30係具有可藉溫度變動而重複黏著與非黏著之感溫性。在本件發明中黏著薄片之感溫性，係表示在低溫時具有高黏著性，在高溫下黏著性降低。感溫性之黏著薄片30可使用霓塔股份有限公 司製的溫控黏離帶等。於上述黏著薄片30黏貼框時的溫度係一般室溫，較佳為10℃至30℃。藉使用感溫性黏著薄片30，使得可在後製程在緊接著使接著劑44硬化之後的相對溫度高之狀態下容易將多片式基板6從黏著薄片30剝離。前述霓塔股份有限公司製之溫控黏離帶的情況下，在60℃以上之溫度下黏著率會降低90%以上。

接著，將片件1之中滿足既定的製品基準之片件1設置於片件收容器20。(S2)

然後，使片件搬送機構21朝向收容器20移動。然後，使因來自搬送機構21之負壓而產生的吸引力作用於片件1的表面之吸附臂件會往下方移動，檢知片件1，藉吸附墊5而將片件1從上方吸附，而將片件1從收容器20取出。將片件1吸附後，片件搬送機構21係往上方移動，移動至片件1的進行影像處理之位置。

接著，在收容器20與固定台10之間的關於X方向之既定的位置藉影像處理而收集片件1的位置資訊。(S3)此情況下，如圖12所示對於藉片件搬送機構21而吸附的片件1之預設的複數之基準標示101a，101b，101c，101d以攝影用相機12b從下方進行攝影。各自的前述基板標示101a，101b，101c，101d之中心位置係記憶於控制部，對於所設定的基準標示10之X方向及Y方向的各者之位置進行比較從而計算並記憶片件1的位置及旋轉角度。

接著，片件搬送機構21係移動至固定台10 上，對於固定台10上的框2之預設的複數之基準標示100a，100b，100c，100d以搭載於片件搬送機構21之攝影用相機12a從上方進行攝影。與片件一樣，對於所設定的基準標示100之X方向及Y方向的各者之位置進行比較從而對於框2之位置及依所需對於固定台10如圖13所示進行旋轉控制及/或平行移動控制，計算旋轉角度及/或移動量而記憶於控制部。(S4)。根據片件1與框2之各自的移動量與旋轉量，在X方向的移動方面係使片件搬送機構21，在Y方向的移動方面係使固定台搬送機構23，在旋轉角度方面係使固定台10之旋轉機構進行動作，從而高準確度進行片件1與框2之位置對準。位置對準結束後，如圖14所示使以吸附墊5而吸附之片件1往下方移動至固定台10的高度，安裝於固定台10之黏著薄片30後，進一步將片件1壓在黏著薄片30上緊牢固定於黏著薄片30。在此情況下，2個片件1係分別收容於框2的接合空間2a及2b。然後，此情況下，使片件1的4個電橋102a，102b，102c及102d的各者接合於框2之對應的凹部104a，104b，104c及104d，成為如圖8所示的狀態而結合片件1與框2。(S5)然後，從片件1解除片件搬送機構21之吸附墊5的負壓，從而從片件1使吸附墊5分開而往上方待避。再者，基於使用搭載於片件搬送機構21之攝影用相機12a而得之位置資訊而對於在所設定的位置(例如片件1與框2之結合部)的片件1與框2進行攝影，從而對於兩者之偏差量進行攝影，確認是否落入規 定值內(例如50μm以內)。(S6)在是規定值內之情況係進至下個程序，若未落入規定值內，則變成該多片式基板6係當作不良品而被排除。

接著，藉固定台搬送機構23使固定台10移動於Y方向而潛入線性導軌13之下而從第1作業區域42移動至在第2作業區域43之供以塗布接著劑44的塗布位置。

接著，對於預設於框2或片件1的複數之基準標示100，101以接著劑塗布部之攝影用相機12c在配器11的附近從上方進行攝影。各自的前述基板標示100，101之中心位置係記憶於控制部，對於所設定的基準標示100，101之X方向及Y方向的各者之位置進行比較從而計算並記憶利用分配器11之塗布的路線之移動。(S7)

接著，如圖15所示，使分配器11下降至塗布位置(多片式基板6的表面附近)。再者，根據塗布預先準備之接著劑44的位置資訊等而計算塗布路線，對於塗布部之移動機構、固定台搬送機構23、分配器11之吐出進行控制，所決定之位置，亦即，一邊如圖16所示以片件1的4個電橋102a，102b，102c及102d的突出部103a，103b，103c及103d的側部之頂面與對於各者框2之對應的凹部104a，104b，104c及104d之側部的內面之間塗布有接著劑44的方式使分配器11相對移動一邊進行填充。(S8)

本案所指之分配器，係具備針組件、電磁閥、噴射體等，可在非接觸下使接著劑高速吐出至對象物，同時亦可 控制接著劑的供給量。

在此接著劑44塗布用的分配器11方面，係可使用例如諾信公司製的DJ-9500等，在接著劑44方面可使用環氧樹脂等。

塗布結束時藉固定台搬送機構23使得固定台10移動至排出位置。藉將連結於固定台10之真空泵浦的動作切斷，從前述固定台10解除前述金屬板4之吸附固定。

載置了在金屬板4以黏著薄片30被固定並塗布有接著劑44之多片式基板6的金屬板4係藉乾燥爐等而進行熱硬化。所熱硬化之多片式基板6係被從金屬板4剝離後，進行最後的外觀檢查。(S9)另外，使用感溫性之黏著薄片使得在相對溫度高的狀態(60℃前後)下容易將多片式基板6從黏著薄片30剝離並將在從黏著薄片30剝離時產生的多片式基板6之彎曲抑制成最小限度。

在1個固定台10上配置框2之情況下的作業程序，係在前述片件搬送機構21將保管於前述片件收容器20之片件1取出而保持之狀態下，沿著線性導軌13a而移動於X方向，而在如上所述取得該片件1之既定的位置資訊後，移動至在第1作業區域42的固定台10上。然後，一邊對於配置於固定台10上之框2進行片件1的位置之調整一邊作結合。然後成為：使該固定台10從第1作業區域42移動至第2作業區域43，使用前述分配器11，而將接著劑44塗布於前述片件1的結合部亦即分別 對於電橋102a，102b，102c及102d的各者對應之框2的凹部104a，104b，104c及104d之間而固定兩者的位置關係。

作為本件發明之特徵，如藉平面圖而示意性示於圖17，具備1對固定台10a及10b及使該等從第1作業區域42至第2作業區域43移動於該Y方向之搬送機構23a及23b，使得在本發明中係可同時平行進行片件1與框2之結合動作與兩者之往結合部的接著劑44之塗布作業。

亦即，在第1階段，係在由固定台10a與固定台搬送機構23a所成之第1搬運梭中進行片件1與框2之結合作業的期間，由固定台10b與固定台搬送機構23b所成之第2搬運梭係成為待機狀態。

在第2階段，係第1搬運梭之固定台10a移動至第2作業區域43而開始接著劑44的塗布程序時，第2搬運梭之固定台10b係在第1作業區域42中開始片件1與框2之結合作業。

在第3階段，係第1搬運梭結束塗布作業，多片式基板6與金屬板4係從固定台10a卸下，新的具備黏貼於黏著薄片30上之框2的金屬板4被配置於固定台10a上，從第2作業區域43至第1作業區域42，為了再次進行片件1與框2之結合作業而返回。另一方面，第2搬運梭之固定台10b係結合作業結束，而為了塗布作業予以移動至第2作業區域。

然後，在第4階段，係第1搬運進行結合作業，第2 搬運梭進行結合作業。

在第5階段，係與第2階段相反第2搬運梭係結束塗布作業，多片式基板6與金屬板4係從固定台10b卸下，新的具備黏貼於黏著薄片30上之框2的金屬板4被配置於固定台10b上，從第2作業區域43至第1作業區域42，為了再次進行片件1與框2之結合作業而返回。另一方面，第1搬運梭之固定台10b係結合作業結束，而為了塗布作業予以移動至第2作業區域。

以此方式，在第1搬運梭與第2搬運梭之間使固定台10a，10b交替位於第1作業區域42及第2作業區域43，而以平行進行片件1與框2之利用片件搬送機構21的結合作業與利用分配器11之塗布作業的方式予以動作，使得可飛躍使多片式基板製作的作業效率提升，可改善多片式基板的生產率。

參見圖18至圖21而說明有關於本件發明之其他實施例。

本例之情況下，有關於：一旦作成包含2個片件之多片式基板之後，檢查的結果，其中一個片件係滿足既定性能基準，但另一個片件係未滿足性能基準之狀況下的多片式基板之製作。

在此情況下，係如圖18所示在框2之2個空間2a及2b之中的其中一個空間2a係成為固定良品片件1a之狀態，但固定於另一個空間2b之片件，係判明為不良品片件，使得成為從框卸下之狀態。亦即，空間2b係成為空 白的狀態。然而，在之後的程序中，若以僅搭載1個良品片件1a之框為對象則電子製品製造之作業效率會降低的結果為顯然的。另一方面，若廢棄具有良品片件1a之框，則變成浪費良品片件。

在本發明的多片式基板之製作裝置中，係即使在構成多片式基板之1個片件為良品片件的情況下仍有效發揮功能，而可製造具備2個良品片件之多片式基板。

此情況下，首先，在第1階段方面在由固定台10a與固定台搬送機構23a所成之第1搬運梭中已結合於片件1a與框2之空間2a的狀態下之多片式基板的半製品，被提供至固定台10a上而定位，取得其位置資訊。亦即，對於所設定的框2之基準標示100的X方向及Y方向的各者之位置進行比較從而確定框2之位置。此外，依所需而對於固定台10以如圖13所示的方式進行旋轉控制及/或平行移動控制，計算旋轉角度及/或移動量而予以記憶於控制部。

另一方面，在應接合於框2之空位狀態的空間2b的片件1b方面，係片件搬送機構21朝向片件收容器20移動。然後，使因來自搬送機構21之負壓而產生的吸引力作用於片件1b的表面之吸附臂件會往下方移動，檢知片件1b，藉吸附墊5而將片件1b從上方吸附，而將片件1從收容器20取出。將片件1b吸附後，片件搬送機構21係往上方移動，移動至片件1的進行影像處理之位置。然後，如圖12所示對於藉片件搬送機構21而吸附的 片件1b的複數之基準標示101a，101b，101c，101d以攝影用相機12b從下方進行攝影。藉此，各自的前述基板標示101a，101b，101c，101d之中心位置係記憶於控制部，對於所設定的基準標示10之X方向及Y方向的各者之位置進行比較從而計算並記憶片件1的位置及旋轉角度。接著，框2與片件1b，基於兩者之位置資訊，而相對於框2的接合空間2b根據片件1b與框2之各自的移動量與旋轉量，在X方向的移動方面係使片件搬送機構21，在Y方向的移動方面係使固定台搬送機構23，在旋轉角度方面係使固定台10a之旋轉機構進行動作，從而高準確度進行片件1b與框2的接合空間2b之位置對準。位置對準結束後，如圖14所示使以吸附墊5而吸附之片件1往下方移動至固定台10a的高度，安裝於固定台10a之黏著薄片30後，進一步將片件1b壓在黏著薄片30上緊牢固定於黏著薄片30。在此情況下，片件1b係收容於框2的接合空間2b。然後，此情況下，使片件1b的4個電橋102a，102b，102c及102d的各者接合於框2之接合空間2b的對應之凹部104a，104b，104c及104d，片件1b被精密收容於框2的接合空間2b。

在第1階段，係在由固定台10a與固定台搬送機構23a所成之第1搬運梭中進行片件1b與框2之空的空間2b之結合作業的期間，由固定台10b與固定台搬送機構23b所成之第2搬運梭，係同樣方式1個良品片件1a接合於框2的接合空間2a，在將具有框2之空的接合 空間2b之多片式基板的半製品搭載於固定台10b上之狀態下成為待機狀態。

在第2階段，係在第1搬運梭上，在上述第1階段，搭載了成為於上述框2之空間2b接合了良品片件1b之狀態的多片式基板的半製品之固定台10a，從第1作業區域42移動至第2作業區域43。然後，在第2作業區域中，開始利用分配器11之接著劑44的塗布程序。與此平行，第2搬運梭之固定台10b係在第1作業區域42中，使片件1b與框2之空的接合空間2b接合，而開始予以結合於框2之結合作業。

在第3階段，係在第1搬運梭係結束接著劑44的塗布作業，多片式基板6與金屬板4係從固定台10a卸下，新的多片式基板的半製品被配置於固定台10a上，從第2作業區域43至第1作業區域42，為了再次進行片件1與框2之結合作業而返回。另一方面，第2搬運梭之固定台10b係上述結合作業結束，而為了塗布作業予以移動至第2作業區域。

然後，在第4階段，係第1搬運梭進行結合作業，第2搬運梭進行結合作業。

在第5階段，係與第2階段相反第2搬運梭係結束塗布作業，作為具有接合空間2a及2b兩者藉片件1a及1b而固定之框2的完成品之多片式基板6與金屬板4被從固定台10b卸下，僅接合空間2a以片件1a作固定且接合空間2b成為空位狀態之多片式基板的半製品被配置於固定 台10b上，為了進行供以在第1作業區域42使片件1b結合於框2之空的接合空間2b之結合作業而返回。另一方面，第1搬運梭之固定台10a係結合作業結束，而為了塗布作業予以移動至第2作業區域43。

在本例之多片式基板的製程中，係即使在編入多片式基板之片件的其中一者為不良品的情況下仍可有效將新的良品片件編入框2之空的接合空間，可高效進行多片式基板製作作業，同時可謀求作為多片式基板的構件之框及片件的有效活用。

[產業上的可利用性]

如在以上所說明本件發明，係由於可高效率進行多片式基板之製作，故具有在產業上的可利用性。

1‧‧‧良品片件

2‧‧‧框

3‧‧‧導軸

5‧‧‧吸附墊

10，10a，10b‧‧‧固定台

12a，12b‧‧‧攝影用相機

13a，13b，13d，13e‧‧‧線性導軌

14a，14b，14d，14e，14g‧‧‧驅動馬達

15a，15b，15c，15d，15e‧‧‧滾珠螺桿

20‧‧‧片件收容器

21‧‧‧片件搬送機構

23‧‧‧固定台搬送機構

40‧‧‧多片式基板製作裝置

41‧‧‧作業台

42‧‧‧第1作業區域

43‧‧‧第2作業區域

Claims (5)

1. 一種多片式基板之製作裝置，在框安裝了複數之片件，該製作裝置之特徵在於：具備：具有水平擴展之區域的作業台；以將該作業台之區域分開成第1作業區域與第2作業區域的方式延伸於第1方向之線性導軌；配置於前述第1作業區域內，以可供給的方式保管複數之良品片件的片件收容器；安裝於該線性導軌的靠前述第1作業區域之側，將保管於前述片件收容器之片件取出，而沿著前述第1方向搬送至既定位置的片件搬送機構；在前述作業台上，以可移動於前述第1與第2作業區域的方式而配置，進行對於前述框與複數之片件作定位固定之作業的固定台；支撐該固定台，沿著與前述第1方向正交之第2方向從前述第1作業區域至第2作業區域而使前述固定台移動之固定台搬送機構；以及在前述線性導軌之第2作業區域側，以可沿著前述第1方向進行移動的方式而設，供應將在前述固定台上之前述框與前述片件接著之接著劑的分配器；前述片件搬送裝置將保管於前述片件收容器之片件取出而保持，將該片件與配置於在第1作業區域之固定台上的框作結合，使該固定台從第1作業區域移動至第2作業 區域，使用前述分配器，而將接著劑塗布於前述片件與框之結合部而將兩者之位置關係作固定。
2. 如申請專利範圍第1項之多片式基板之製作裝置，其中，具備：第1固定台；使該第1固定台沿著前述第2方向從前述第1作業區域至第2作業區域而使前述第1固定台移動之第1固定台搬送機構；鄰接於前述第1固定台而配置之第2固定台；以及使該第2固定台沿著前述第2方向而從前述第1作業區域至第2作業區域而使前述固定台移動之第2固定台搬送機構；構成為：在前述第1作業區域中在前述第1固定台上進行框與片件之定位結合作業時，在前述第2作業區域中在前述第2固定台上對於框與片件之結合部平行進行接著劑之塗布，在第1作業區域中在前述第2固定台上進行框與片件之定位結合作業時，在第2作業區域中對於前述第1框與片件之結合部平行進行接著劑之塗布。
3. 一種多片式基板之製作方法，在框安裝了複數之片件，該製作方法之特徵在於：多片式基板之製作裝置，具備： 具有水平擴展之作業區域的作業台；以將該作業台之作業區域分開成第1作業區域與第2作業區域的方式延伸於第1方向之線性導軌；配置於前述第1作業區域內，以可供給的方式保管複數之良品片件的片件收容器；安裝於該線性導軌的靠前述第1作業區域之側，將保管於前述片件收容器之片件取出，而沿著前述第1方向搬送至既定位置的片件搬送機構；在前述作業台上之前述第1作業區域中關於前述第1方向，配置於前述片件收容器之相反側的位置，進行對於前述框與複數之片件作定位固定之作業的固定台；支撐該固定台，沿著與前述第1方向正交之第2方向從前述第1作業區域至第2作業區域而使前述固定台移動之固定台搬送機構；以及在前述線性導軌之第2作業區域側，以可沿著前述第1方向進行移動的方式而設，供應將在前述固定台上之前述框與前述片件接著之接著劑的分配器；具備以下之一階段：藉前述片件搬送裝置將保管於前述片件收容器之片件取出而保持，使該片件搬送裝置沿著前述線性導軌移動於第1方向而對於該片件與配置於在第1作業區域之固定台上的框進行定位而予以結合，使該固定台從第1作業區域移動至第2作業區域， 使用前述分配器，而將接著劑供應於前述片件與框之結合部而將兩者之位置關係作固定。
4. 如申請專利範圍第3項之多片式基板之製作方法，其中，前述多片式基板製作裝置進一步具備：第1固定台；使該第1固定台沿著前述第2方向從前述第1作業區域至第2作業區域而使前述第1固定台移動之第1固定台搬送機構；鄰接於前述第1固定台而配置之第2固定台；以及使該第2固定台沿著前述第2方向而從前述第1作業區域至第2作業區域而使前述固定台移動之第2固定台搬送機構；具備以下之一階段：在前述第1作業區域中在前述第1固定台上進行框與片件之定位結合作業時，在前述第2作業區域中在前述第2固定台上對於框與片件之結合部平行進行接著劑之塗布，在第1作業區域中在前述第2固定台上進行框與片件之定位結合作業時，在第2作業區域中對於前述第1框與片件之結合部平行進行接著劑之塗布。
5. 如申請專利範圍第3項之多片式基板之製作方法，其進一步包含：在前述低溫時將具有一體化於前述框之前述良品片件 的多片式基板黏貼於黏著薄片之階段；以及在前述高溫時，從前述黏著薄片將前述多片式基板作分離之階段。