TWI539252B - Amoled廠物料cim自動管理系統及方法 - Google Patents

Amoled廠物料cim自動管理系統及方法 Download PDF

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Description

AMOLED廠物料CIM自動管理系統及方法 【0001】
本發明涉及CIM（Computer Integrated Manufacturing）管理技術，尤其涉及一種應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理系統及方法。
 【0002】
一般地，在AMOLED廠內生產過程中所需要的物料有很多種，不同產品不同設備所用到的材料相互之間並不相同。圖1示出了現有技術中AMOLED廠中物料的管理方法的流程示意圖，由圖1中可以看出，原有的物料管控邏輯如下：S1.人員根據工單資訊確認產品對應的物料需求資訊，S2.線上人員根據《領料單》到線邊倉領取物料，S3.線上人員確認生產計畫和領取的物料是否匹配，如果不匹配則重新根據工單資訊確認產品對應的物料需求資訊，S4.如果匹配，人員將物料裝載到機臺上，生產開始；S5.在生產過程中，對機臺上物料是否快使用完進行判斷，S6.如果物料快使用完則發出警示資訊，同時在機臺上卸載原物料裝置並裝載新的物料，S7.直至某條生產線上的生產結束，S8.結束後如果需要換生產線，於機臺上卸載原物料裝置並裝載新的物料裝置，如果不需要換生產線，則繼續監控原生產線上的物料使用狀態。換而言之，人員在生產前，從倉庫中領取生產某種產品對應的物料，然後將物料裝載在機臺上（此時狀態：Mount），生產產品時物料隨之減少（此時狀態：In-Use），用完或者換生產線而需要換物料時，將物料從機臺上卸載（此時狀態：Un-Mount），期間的整個過程的核對和記錄完全由人員進行，系統不會自動驗證和記錄，並且產品-設備-材料之間的匹配關係主要靠工程人員手動進行檢查，產品的用量和壽命等關鍵資訊也靠人工記錄，因此存在容易用錯物料、材料成本無法精細管控、成本高、所有記錄可追溯性比較差等缺點，風險和成本非常高。
 【0003】
針對上述存在的問題，本發明公開了一種AMOLED廠物料CIM自動管理系統及方法，以克服現有技術中存在的容易用錯物料、材料成本無法精細管控、成本高、所有記錄可追溯性比較差等缺點，有效降低了風險和生產成本。
【0004】
本發明的目的是通過下述技術方案實現的：
【0005】
一種應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理系統，包括：
【0006】
一MES系統；
【0007】
一BC系統，該BC系統連接於該MES系統；
【0008】
一PLC系統，該PLC系統接於該BC系統，該PLC系統包括一主控PLC、一LD/ULD PLC和一制程機台PLC，其中，該主控PLC分別連接於該LD/ULD PLC和該制程機台PLC；以及
【0009】
一檢測設備，該檢測設備連接於該PLC系統的該LD/ULD PLC和該PLC系統的該制程機台PLC；
【0010】
其中，該該MES系統上設有一物料資料庫，該資料庫中存儲該物料資訊。
【0011】
上述應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理系統，其中，該檢測設備為識別碼閱讀器。
【0012】
上述應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理系統，其中，該物料資料庫中存儲的物料資訊包括物料基本資訊、物料與機台與機台程式檔的對應關係、物料和產品的對應關係。
【0013】
上述應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理系統，其中，該物料基本資訊包括廠房ID、機台ID、物料ID、物料名稱、物料描述、物料批次ID、物料供應商ID、基本單位、物料數量、物料壽命、物料尺寸、物料重量和物料狀態，該物料與機台與機台程式檔的對應關係通過物料ID與機台ID與機台程式檔ID之間對應關係來表示，該物料和產品的對應關係通過物料ID和產品ID之間對應關係來表示。
【0014】
一種如上述任意一項該應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理系統的管理方法，其中：
【0015】
P1.將符合條件的物料放入到機台物料裝載區，由一制程機台通過BC系統將第一確認資訊發送給MES系統，MES系統將接收到的資訊與物料資料庫中的資訊比對，如果比對成功，物料裝載成功；如果比對失敗，則物料裝載失敗；
【0016】
P2.物料裝載成功後，由一載盒台將一晶片盒裝載到LD/ULD端，該載盒台通過BC系統上報該晶片盒的晶片盒ID給MES系統，MES系統根據晶片盒ID從物料資料庫中找到對應的產品和物料匹配資訊，並與制程機台提供的物料資訊比對，如果比對成功，通過一取片裝置從該晶片盒中取片並送入制程機台中開始制程；如果比對失敗，該載盒台自動退走該晶片盒並發出報警資訊；
【0017】
P3.制程結束後，將符合卸載條件的物料放入到機台物料卸料區，由該制程機台通過BC系統將第二確認資訊發送給MES系統，MES系統根據接收到的資訊更新物料資料庫中的資訊，卸載成功。
【0018】
上述應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其中，該第一確認資訊包括機台ID、物料ID、物料狀態和物料使用資訊。
【0019】
上述應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其中，該第二確認資訊包括物料ID、機台ID、物料狀態和物料使用資訊，MES系統根據接收到的機台ID和物料ID更新物料資料庫中對應的物料資訊。
【0020】
上述應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其中，在P1階段，MES系統將接收到的資訊與物料資料庫中的資訊比對，如果比對成功，MES系統通過BC系統回復成功資訊和物料使用資訊給制程機台；如果比對失敗，則MES系統通過BC系統回復失敗資訊給制程機台。
【0021】
上述應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其中，其特徵在於，該物料使用資訊包括物料使用過或者還剩餘次數、物料壽命和物料數量。
【0022】
上述應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其中，其特徵在於，該物料ID為識別碼，由識別碼閱讀器進行讀取。
【0023】
上述應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其中，在P3階段，MES系統將接收到的資訊與物料資料庫中的資訊比對，如果比對成功，MES系統通過BC系統回復成功資訊給制程機台。
【0024】
上述應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其中，在P2階段，MES系統將物料資料庫中找到的產品和物料匹配資訊與制程機台提供的物料資訊比對，如果比對成功，MES系統通過BC系統下發開始命令給該載盒台和該取片裝置；如果比對失敗，MES系統通過BC系統下發退出命令和退出原因給該載盒台。
【0025】
上述應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其中，該卸載條件是指物料用完或換線前需要更換物料。
【0026】
與已有技術相比，本發明基於自動Check物料是否用錯、節省成本與提高可追溯性等因素，將物料自動控制整合於CIM範疇內，主要的優勢體現在：
—物料管理自動化，節約人力成本和提高效率；
—物料歷史記錄系統化，無紙化，追溯時間縮短，節約成本和提高效率，節省公司管理成本；

—系統自動核查產品-物料匹配關係，降低廢品率，提高效益；
—可整合AMOLED廠內部分制程設備（可以上報物料資訊）的物料自動化管理需求；
—實現在CIM系統上物料的可追溯性，包含產品與物料的對應關係、用量等。
1．．．MES系統
2．．．BC系統
3．．．PLC系統
4．．．檢測設備
5．．．制程機台
6．．．載盒台
21．．．PC伺服器
31．．．主控PLC
32．．．LD/ULD PLC
33．．．制程機台PLC
【0027】
第一圖為現有技術中AMOLED廠中物料的管理方法的管理邏輯示意圖；

第二a圖為本發明應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理系統的系統總體結構示意圖；
第二b圖為本發明應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理系統中部分物件之間的結構示意圖；
第三a圖為本發明應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法中的P1第一階段時的MES管控邏輯示意簡圖；
第三b圖為本發明應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法中的P2第二階段時的MES管控邏輯示意簡圖。
 【0028】
下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步說明，但不作為本發明的限定。
【0029】
如第二a圖所示，本發明應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理系統包括：一MES系統1（Manufacturing Execution System，製造執行系統）、一BC系統2、一PLC系統3（Programmable Logic Controller，可編程邏輯控制器）和一檢測設備4，BC系統2連接於MES系統1，PLC系統3接於BC系統2，PLC系統3包括一主控PLC31、一LD/ULD PLC32和一制程機台PLC33，其中，主控PLC31分別連接於LD/ULD PLC32和制程機台PLC33，由圖可知，主控PLC31屬於PLC系統3。MES系統1和BC系統2通過Ethernet網通信，檢測設備4通過RS-232C或者CC-Link相互通信，檢測設備4在本發明實施例中為識別碼閱讀器。
【0030】
BC（Block Controller）為連線機台控制器，負責收集機台的制程資料，在製品資訊，同時能向機台下控制指令，為CIM系統下的一個底層的系統，BC的經典架構為由三菱的MELSECNET/H或CC-Link網路組成機台（PLC）到機台（PLC）的網路，再加一個PC，BC主控程式在PC中運行，通過PLC系統3中的主控站PLC各機台通信。在本發明的優選實施例中，BC系統2中的PC伺服器21和PLC系統3中的主控PLC31均配置有一UPS不間斷電源施以供電，以應對系統運轉過程中的突發事件，避免不必要的損失。
【0031】
在本發明的優選實施例中，MES系統1上設有一物料資料庫，資料庫中存儲物料資訊，物料資料庫中存儲的物料資訊包括物料基本資訊、物料與機台與機台程式檔（Recipe）的對應關係、物料和產品的對應關係。物料基本資訊包括廠房ID、機台ID、物料ID、物料名稱、物料描述、物料批次ID、物料供應商ID、基本單位、物料數量、物料壽命、物料尺寸、物料重量和物料狀態，物料與機台與機台程式檔的對應關係通過物料ID與機台ID與機台程式檔ID之間對應關係來表示，物料和產品的對應關係通過物料ID和產品ID之間對應關係來表示。
【0032】
參看第二b圖和第三a圖所示，在P1第一階段（P11~P19），首先是將符合條件的物料放入到機台物料裝載區，由一制程機台5通過BC系統2將第一確認資訊發送給MES系統1，第一確認資訊包括機台ID、物料ID、物料狀態和物料使用資訊等。
【0033】
MES系統1根據上報的機台ID和物料ID資訊，對比物料資料庫中已經設置好的物料資訊，如果MES發現機台ID和物料ID資訊匹配，通過BC系統2回復OK和物料使用資訊給制程機台5，物料使用資訊包括物料使用過/還剩餘次數、物料壽命和物料數量，此物料裝載成功。如果MES發現機台ID和物料ID資訊不匹配或者此物料已經用完或者不能使用，通過BC系統2回復NG和NG資訊給制程機台5，此物料裝載失敗。
【0034】
參看第二b圖和第三b圖所示，在P2第二階段（P21~P24），物料裝載成功後，由一載盒台6（Cassette Station）（圖中未示出）將一晶片盒（Cassette）通過一物料搬運系統（STK）裝載到LD/ULD端，載盒台6通過BC系統2上報晶片盒的晶片盒ID（CST ID）給MES系統1，MES系統1根據晶片盒ID從物料資料庫中找到對應的產品和物料匹配資訊，並與制程機台5提供的物料資訊比對，如果比對成功，會通過BC下開始（Start CST）命令給載盒台6，BC下命令給取片裝置（Robot）開始從晶片盒內取片並送入制程機台5開始制程；如果比對失敗，會通過BC下退出（Quit CST）命令和退出原因給載盒台6，載盒台6收到此資訊後應該自動退走該晶片盒並發出報警資訊。
【0035】
在P3第三階段，制程結束後，將符合卸載條件的物料放入到機台物料卸料區，卸載條件是指物料用完或換線前需要更換物料，該階段邏輯管控類似P1第一階段，可以同時參看第三a圖所示。由制程機台5通過BC系統2將第二確認資訊發送給MES系統1，MES系統1根據上報的機台ID和物料ID資訊，更新物料資料庫中對應的物料資訊，並通過BC回復OK給制程機台5，物料從機台卸載區取走，卸載成功。第二確認資訊包括物料ID、機台ID、物料狀態和物料使用資訊等。
【0036】
在本發明的優選實施例中，所有的物料ID均為識別碼，由識別碼閱讀器進行讀取，考慮到識別碼的市場普及以及技術成熟度，利於本發明的實現。
【0037】
下表示出了採用本發明管理系統及方法與現有技術中的部分管控名目之間的比對：
【0038】
本發明可整合AMOLED廠內部分制程設備（可以上報物料資訊）的物料自動化管理需求，實現在CIM系統上物料的可追溯性，包含產品與物料的對應關係、用量等。
【0039】
以上該僅為本發明較佳的實施例，並非因此限制本發明的實施方式及保護範圍，對於本領域技術人員而言，應當能夠意識到凡運用本發明說明書及圖示內容所作出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案，均應當包含在本發明的保護範圍內。
1．．．MES系統
2．．．BC系統
5．．．制程機台
6．．．載盒台

Claims (12)

  1. 一種應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，係用於管理一種應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理系統，該應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理系統係包括一MES系統、一BC系統、一PLC系統以及一檢測設備，該BC系統連接於該MES系統，該PLC系統接於該BC系統，該PLC系統包括一主控PLC、一LD/ULD PLC和一制程機台PLC，其中，該主控PLC分別連接於該LD/ULD PLC和該制程機台PLC，該檢測設備連接於該PLC系統的該LD/ULD PLC和該PLC系統的該制程機台PLC，該MES系統上設有一物料資料庫，該資料庫中存儲該物料資訊，該應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理系統的管理方法之特徵在於：P1.將符合條件的物料放入到機台物料裝載區，由一制程機台通過BC系統將第一確認資訊發送給MES系統，MES系統將接收到的資訊與物料資料庫中的資訊比對，如果比對成功，物料裝載成功；如果比對失敗，則物料裝載失敗；P2.物料裝載成功後，由一載盒台將一晶片盒裝載到LD/ULD端，該載盒台通過BC系統上報該晶片盒的晶片盒ID給MES系統，MES系統根據晶片盒ID從物料資料庫中找到對應的產品和物料匹配資訊，並與制程機台提供的物料資訊比對，如果比對成功，通過一取片裝置從該晶片盒中取片並送入制程機台中開始制程；如果比對失敗，該載盒台自動退走該晶片盒並發出報警資訊；P3.制程結束後，將符合卸載條件的物料放入到機台物料卸料區，由該制程機台通過BC系統將第二確認資訊發送給MES系統，MES系統根據接收到的資訊更新物料資料庫中的資訊，卸載成功。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其特徵在於，該檢測設備為識別碼閱讀器。
  3. 如申請專利範圍1項所述之應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其特徵在於，該物料資料庫中存儲的物料資訊包括物料基本資訊、物料與機台與機台程式檔的對應關係、物料和產品的對應關係。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其特徵在於，該物料基本資訊包括廠房ID、機台ID、物料ID、物料名稱、物料描述、物料批次ID、物料供應商ID、基本單位、物料 數量、物料壽命、物料尺寸、物料重量和物料狀態，該物料與機台與機台程式檔的對應關係通過物料ID與機台ID與機台程式檔ID之間對應關係來表示，該物料和產品的對應關係通過物料ID和產品ID之間對應關係來表示。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其特徵在於：該第一確認資訊包括機台ID、物料ID、物料狀態和物料使用資訊。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其特徵在於：該第二確認資訊包括物料ID、機台ID、物料狀態和物料使用資訊，MES系統根據接收到的機台ID和物料ID更新物料資料庫中對應的物料資訊。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其特徵在於：在P1階段，MES系統將接收到的資訊與物料資料庫中的資訊比對，如果比對成功，MES系統通過BC系統回復成功資訊和物料使用資訊給制程機台；如果比對失敗，則MES系統通過BC系統回復失敗資訊給制程機台。
  8. 如申請專利範圍第5、6或7項所述之應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其特徵在於，該物料使用資訊包括物料使用過或者還剩餘次數、物料壽命和物料數量。
  9. 如申請專利範圍第5或6項所述之應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其特徵在於，該物料ID為識別碼，由識別碼閱讀器進行讀取。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其特徵在於，在P3階段，MES系統將接收到的資訊與物料資料庫中的資訊比對，如果比對成功，MES系統通過BC系統回復成功資訊給制程機台。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其特徵在於，在P2階段，MES系統將物料資料庫中找到的產品和物料匹配資訊與制程機台提供的物料資訊比對，如果比對成功，MES系統通過BC系統下發開始命令給該載盒台和該取片裝置；如果比對失敗，MES系統通過BC系統下發退出命令和退出原因給該載盒台。
  12. 如申請專利範圍第1項所述之應用於AMOLED廠的物料CIM自動管理方法，其特徵在於，該卸載條件是指物料用完或換線前需要更換物料。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI713932B (zh) * 2018-11-14 2020-12-21 宇辰系統科技股份有限公司 原物料監控之管理系統

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104766157A (zh) * 2015-03-06 2015-07-08 米库玻璃纤维增强塑料泰州有限责任公司 基于容器识别的人工称量投料mes流程管控方法
CN104715332A (zh) * 2015-03-17 2015-06-17 长电科技（滁州）有限公司 一种物料自动核对方法
CN105184431B (zh) * 2015-05-19 2018-12-14 杭州精工机械有限公司 钢化玻璃工艺操作管理系统
CN106527371B (zh) * 2016-11-21 2019-02-15 南京熊猫电子股份有限公司 智能制造bc系统通用驱动框架
TW201839705A (zh) * 2017-04-19 2018-11-01 臺泥資訊股份有限公司 取樣檢驗之管理方法
CN107422690A (zh) * 2017-08-09 2017-12-01 苏州久腾光电科技有限公司 防错件系统
CN108345276B (zh) * 2017-12-26 2019-02-26 湖北世纪联合创新科技有限公司 一种液晶显示器生产过程执行系统
CN109240224B (zh) * 2018-08-17 2022-04-15 张家港康得新光电材料有限公司 一种收料方法、装置、设备及存储介质
CN113535413B (zh) * 2020-04-21 2023-10-17 长鑫存储技术有限公司 交易请求的处理方法及半导体生产系统
CN112558571A (zh) * 2020-12-09 2021-03-26 中电九天智能科技有限公司 一种基于信息安全的生产配方解析方法及系统
CN113253491B (zh) * 2020-12-10 2022-12-30 格创东智(深圳)科技有限公司 液晶面板产品制程的派送方法、系统及生产装置
CN114219400B (zh) * 2021-12-15 2022-08-05 浙江省邮电工程建设有限公司 一种智能工厂的物料监管系统及方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7440932B2 (en) * 2003-10-02 2008-10-21 International Business Machines Corporation Method and system for automating issue resolution in manufacturing execution and material control systems
CN1665384A (zh) * 2004-03-06 2005-09-07 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 上料检验系统及方法
US7225042B2 (en) * 2004-09-30 2007-05-29 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Manufacturing procedure control method and system
CN100461055C (zh) * 2005-08-22 2009-02-11 力晶半导体股份有限公司 共享半导体机台的方法与使用该方法的制造系统
CN100429745C (zh) * 2005-12-08 2008-10-29 北京圆合电子技术有限责任公司 半导体制造设备控制系统及其方法
KR100732671B1 (ko) * 2005-12-12 2007-06-27 삼성전자주식회사 생산 관리 시스템.
US7684888B2 (en) * 2007-05-08 2010-03-23 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Extendable MES for Cross-AMHS Transportation
CN101377673B (zh) * 2007-08-31 2011-12-21 上海慧桥电气自动化有限公司 一种控制物料输送的系统

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI713932B (zh) * 2018-11-14 2020-12-21 宇辰系統科技股份有限公司 原物料監控之管理系統

Also Published As

Publication number Publication date
TW201445269A (zh) 2014-12-01
CN104166378A (zh) 2014-11-26
CN104166378B (zh) 2017-08-04

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