TWI521296B - 晶圓級矽基液晶投影組件、系統與方法 - Google Patents

晶圓級矽基液晶投影組件、系統與方法 Download PDF

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Description

晶圓級矽基液晶投影組件、系統與方法
本發明係關於一種使用矽基液晶(LCOS)顯示器之影像投影機，特別係關於使用於此影像投影機之光學組件。
矽基液晶影像投影機係以矽基液晶顯示器為基礎，於此簡稱“矽基液晶投影機(LCOS projectors)”，而矽基液晶投影機已應用於多種消費性電子產品，例如手持式投影機(hand-held projectors)以及近眼顯示器(near-eye displays)。在矽基液晶投影機內之矽基液晶顯示器係經由一分光鏡(beam splitter)以及一複合透鏡(compound lens)來反射光線。於此，矽基液晶顯示器、分光鏡與複合透鏡可稱為投影組件。
投影組件之元件的精確對準對於矽基液晶影像投影機而言為必要並用以達到性能需求。在習知的矽基液晶影像投影機中，投影組件係由人工組裝而成。試圖利用人工組裝過程以達到精確對準的容限會導致花很長的組裝時間，並且良率也會下降。
依據一實施例所提供之一種晶圓級矽基液晶投影組件，其包含一矽基液晶顯示器(LCOS display)以及一偏振分光層(polarizing beam-separating，PBS)。矽基液晶顯示器以空間調變入射於該矽基液晶顯示器之光線。偏振分光層以導引至該矽基液晶顯示器或從該矽基液晶顯示器出來之光線。
依據另一實施例，其係提供一種晶圓級矽基液晶投影系統之組裝方法。根據上述之方法，一偏振分光層晶圓(PBS wafer)設置於一主動矩陣晶圓(active-matrix wafer)上。前述的主動矩陣晶圓包含複數主動矩陣(active matrices)以處理(addressing)複數液晶顯示畫素。而且亦依據上述之組裝方法設置一透鏡晶圓(lens wafer)於該偏振分光層晶圓上。上述之透鏡晶圓包含複數個透鏡。
依據另一實施例，其係提供一種晶圓級偏振分光器之組裝方法。依據上述之方法，一偏振分光晶圓與至少另一晶圓係接合以形成一堆疊晶圓(stacked wafer)。上述之偏振分光層晶圓包含一偏振分光層，而偏振分光層包含複數偏振分光膜帶。
100、200‧‧‧投影組件
102‧‧‧近眼顯示器
104‧‧‧眼鏡
106‧‧‧光源
108‧‧‧校準光學元件
206‧‧‧偏振分光體
203‧‧‧導電膜
201、701‧‧‧印刷電路板
204、324‧‧‧覆蓋玻璃
210‧‧‧複合透鏡
221、321、421、521、621‧‧‧液晶
222‧‧‧主動矩陣晶圓
226、228、229‧‧‧透鏡
243‧‧‧配向層
250‧‧‧矽基液晶晶粒
298‧‧‧座標系統
299‧‧‧光軸
300、400、500‧‧‧組裝方法
302、304、306、308、310、402、403、404、406、408、410、501、503、504、506、507、508、510、512、801、802、804‧‧‧步驟
320、420、820‧‧‧視圖
322、422、722‧‧‧主動矩陣晶圓
330、430、530‧‧‧堆疊
332‧‧‧主動矩陣層
335、435、635‧‧‧分割線
340‧‧‧顯示基板
334‧‧‧玻璃層
423、623‧‧‧阻隔結構
424、824‧‧‧偏振分光晶圓
426、428、429‧‧‧透鏡晶圓
434‧‧‧薄膜層
442、442(1)‧‧‧主動矩陣
443、743‧‧‧下配向層
450、650、750‧‧‧晶圓級矽基液晶投影組件
460、860‧‧‧偏振分光膜帶
532‧‧‧基板層
540‧‧‧投影器晶粒
610、710、726、728、729‧‧‧晶圓級透鏡
624、624(3)‧‧‧偏振分光層
624(1)、724(1)‧‧‧上配向層
624(2)‧‧‧透光導電層
624(4)‧‧‧抗反射塗層
630‧‧‧剖面
660‧‧‧液晶層
700‧‧‧晶圓級矽基液晶投影系統
724‧‧‧偏振分光段
724(2)‧‧‧透光導電膜
724(3)‧‧‧偏振分光元件
724(4)‧‧‧抗反射塗佈
760‧‧‧矽基液晶段
790‧‧‧s偏振輸入照光
800‧‧‧晶圓級方法
822‧‧‧晶圓
830‧‧‧堆疊晶圓
圖1係顯示一合併於一設置於眼鏡上之一近眼顯示器的投影組件。
圖2係於一實施例顯示一投影組件的光學元件。
圖3係繪示組裝投影組件之組裝方法及一相關視圖。
圖4係繪示在本發明一實施例中使用多個元件在晶圓級組裝之投影組件之組裝方法與一相關視圖。
圖5係於一實施例中顯示繪示於不同態樣之圖4的組裝方法。
圖6於一實施例中係為一晶圓級矽基液晶投影組件在分割之前之一剖面示意圖。
圖7於一實施例中係為一固設於印刷電路板上之已分割晶圓級矽基液晶投影組件的剖面示意圖。
圖8於一實施例繪示用於組裝一晶圓級偏振分光器之一組裝方法以及一相關視圖。
圖1係顯示一投影組件100，其係包含於一近眼顯示器102內並設置於眼鏡104上。近眼顯示器102進一步包含一光源106。投影組件100可設置於不同的影像裝置，例如設置於一手持影像投影機內。
圖2係顯示一投影組件200的光學元件，投影組件200係為投影組件100之一實施例。投影組件200包含晶圓級矽基液晶晶粒(die)250、偏振分光體206與複合透鏡210。複合透鏡210包含多個透鏡226、228、229。晶圓級矽基液晶晶粒250包含主動矩陣晶圓(active matrix substrate)222、配向層243、液晶221、導電膜203以及覆蓋玻璃(cover glass)204。主動矩陣晶圓222係固設於一印刷電路板(PCB)201上。
晶圓級矽基液晶晶粒250係為一矽基液晶顯示器。偏振分光體206係配置以將一光源之光線(該光源未顯示於圖2)反射至矽基液晶晶粒250以 照射矽基液晶顯示器。由矽基液晶顯示器所發射之光線係至少在一定程度上藉由偏振分光體206傳送並藉由複合透鏡210投射以形成矽基液晶顯示器之一影像。
在投影組件200中，所有的元件係以光軸299為中心並維持在組裝方法的對準誤差內。橫向與縱向的對準誤差係分別指沿座標系統298之X軸及Z軸的對準誤差。
圖3係繪示組裝投影組件200之組裝方法300及一相關視圖320。上述之視圖320僅為說明並非用以限制本發明。舉例而言，除了液晶211的注入，本方法300還在晶圓級組裝矽基液晶晶粒250，且用非晶圓級方法將投影組件200之其餘元件接合至矽基液晶晶粒250。
在步驟302中，組裝方法300係使一覆蓋玻璃對準於一主動矩陣晶圓上。在步驟302之一實施例中，組裝方法300將覆蓋玻璃324對準於主動矩陣晶圓322上。
在步驟304中，組裝方法300係接合一覆蓋玻璃與主動矩陣晶圓以形成一堆疊(stack)。在步驟304之一實施例中，組裝方法300係接合覆蓋玻璃324與主動矩陣晶圓322以形成一堆疊330。覆蓋玻璃324與主動矩陣晶圓係分別為圖2之覆蓋玻璃204與主動矩陣222之實施例。
在步驟306中，組裝方法300係將上述之堆疊沿分割線(dicing lines)分割(singulate)以得到多個顯示基板。在步驟306之一實施例中，組裝方法300係將堆疊330沿分割線335分割而得到多個顯示基板340。
在步驟308中，組裝方法300係注入一液晶部分於一顯示基板之玻璃層與主動矩陣層之間以形成一投影組件之一晶圓級矽基液晶晶粒250。在步驟308之一實施例中，組裝方法300係注入一液晶部分321於顯示基板340之玻璃層334與主動矩陣層332之間以形成如圖2之投影組件200之晶圓級矽基液晶晶粒250。
在步驟306之前，組裝方法300可包含加入配向層於主動矩陣晶圓322與覆蓋玻璃324上，這不違背本發明之範圍。在步驟310中，組裝方法300藉由將投影組件200(圖2)之印刷電路板201、偏振分光體206與透鏡226、228、229接合於矽基液晶晶粒250以形成圖2之投影組件200。
在投影組件200中，只有顯示基板340是在晶圓級組裝而成的。 圖4係顯示投影組件之多個元件皆在晶圓級組裝而成之一組裝方法400，並顯示一相關視圖420。視圖420係繪示主動矩陣晶圓422、偏振分光(polarizing beam-separating,PBS)晶圓424以及透鏡晶圓426、428、429。各透鏡晶圓426、428、429包含具有相同陣列座標之一透鏡陣列，致使透鏡晶圓426、428、429可藉由習知技術之方法而堆疊並對準以形成晶圓級複合透鏡。在組裝方法400中所包含之透鏡晶圓數量可與本案的3個相異，而這並不違背本發明。
在圖4中，顯示於偏振分光晶圓424上之平行線係指偏振分光晶圓424內之偏振分光膜帶(PBS film bands)460。在一實施例中，偏振分光膜帶之間距係與透鏡晶圓426、428、429上之透鏡列的間距相等，並與主動矩陣晶圓422之主動矩陣442列之間距相等。
在偏振分光晶圓424之一實施例中，偏振分光膜帶460可為習知之多層薄膜偏振層，例如一MacNeille偏振層。在另一實施例中，偏振分光膜帶460可以多層薄膜結構為基礎，而上述多層薄膜結構係由Li and Dobrowolski,Appl.Opt.Vol.35,p.2221(1996)所描述。在其他實施例中，偏振分光晶圓424可使用不同的偏振機構，例如線柵(wire-grids)，這不脫離本發明之範圍。
在一實施例中，偏振分光晶圓424包含一透光導電膜(transparent conducting film)，例如是氧化銦錫(ITO)，其係沉積於面對主動矩陣晶圓422之偏振分光晶圓424的一側。在一實施例中，偏振分光晶圓424包含一配向層。在此實施例中，偏振分光晶圓424係作用如分光元件與一基板以具有透光導電層及/或配向層，以形成投影組件之一矽基液晶顯示器。上述偏振分光晶圓424之兩種功能排除一額外的覆蓋玻璃層設置於主動矩陣晶圓422上之需要，如在圖2之投影組件200中的覆蓋玻璃204。在一實施例中，偏振分光晶圓424包含一抗反射(anti-reflective，AR)塗佈與透光導電膜，並且偏振分光膜係設置於該二者之間。
在步驟401中，組裝方法400接收一主動矩陣晶圓、一偏振分光晶圓424以及透鏡晶圓。在步驟401之一實施例中，組裝方法400接收一主動矩陣晶圓422、一偏振分光晶圓424以及透鏡晶圓426、428、429。在主動矩陣晶圓422上之虛線網格係表示阻隔結構(dam structures)423。主動矩陣晶圓422包含多個主動矩陣442，如主動矩陣442(1)，其係位於阻隔結構423之間。為清楚示意，主動矩陣442(1)係為圖上所示之主動矩陣晶圓422之唯一主動矩陣。主 動矩陣晶圓422可包含下述之任一，就如習知技術所知，一第二配向層、一反射層以及一電極。
在步驟402中，組裝方法400係沉積液晶部分於主動矩陣晶圓上的特定區域。在步驟402之一實施例中，組裝方法400係沉積液晶部分421，其係以破折號(-)所標示於主動矩陣晶圓422上的特定區域。主動矩陣晶圓422上之沉積位置係對應於主動矩陣晶圓422之各別主動矩陣442。
在步驟402之一實施例中，液晶沉積可為一滴下式液晶注入(one drop fill，ODF)法，於其中液晶部分係沉積於主動矩陣晶圓422上之對應主動矩陣442之位置。其他液晶沉積方法亦可應用於組裝方法400而不違背本發明。阻隔結構423係包含各液晶部分421至其於主動矩陣晶圓422上之各別位置。
在步驟403中，組裝方法400係將偏振分光晶圓設置於主動矩陣晶圓上。在步驟403之一實施例中，組裝方法400係將偏振分光晶圓424設置於主動矩陣晶圓422上。
在步驟404中，組裝方法400係將透鏡晶圓設置於偏振分光晶圓上，在一例子中，組裝方法400係將透鏡晶圓426、428、429設置於偏振分光晶圓424上。
在步驟406中，組裝方法400係使偏振分光晶圓424與透鏡晶圓對準於主動矩陣晶圓422之上。在步驟406之一實施例中，組裝方法400係使偏振分光晶圓424與透鏡晶圓426、428、429對準於主動矩陣晶圓422之上。偏振分光晶圓424係被對準以致偏振分光膜帶460係在主動矩陣晶圓422中正對各主動矩陣442列之中央。
晶圓422、426、428、429係被對準，以致在此技術領域之可實現的對準誤差內，對於多個透鏡晶圓429之透鏡而言，各透鏡中心係與透鏡晶圓428之一透鏡中心、透鏡晶圓426之一透鏡中心與晶圓422上之一主動矩陣之中心共線。偏振分光晶圓424係被對準，以致在此技術領域之可實現的對準誤差內，偏振分光膜帶460係與透鏡晶圓426、428、429之透鏡列以及主動矩陣晶圓422上之主動矩陣442列對準。步驟406可使用任何已知於晶圓級光學組裝之技術領域的對準方法。
在步驟407中，組裝方法400係層疊晶圓，如已知技術所述。
在步驟408中，組裝方法400係接合主動矩陣晶圓、偏振分光 晶圓以及透鏡晶圓以形成一晶圓堆疊。在一實施例中，組裝方法400係接合晶圓422、424、426、428、429以形成一晶圓堆疊430。
在步驟410中，組裝方法400係沿分割線分割晶圓堆疊，以產生複數個晶圓級矽基液晶投影組件。在步驟410之一實施例中，組裝方法400係沿分割線435分割晶圓堆疊430，以產生複數個晶圓級矽基液晶投影組件450。
圖5係顯示另一組裝方法500，其與方法400相似，只是液晶是在分割步驟410之後沉積，而不是在其之前。其中，方法500之步驟501、503、504、506、507、508、510係分別與方法400之步驟401、403、404、406、407、408、410相同。
組裝方法500之接合步驟508係產生晶圓堆疊530，除了底層、主動矩陣晶圓422以及其未包含液晶部分421之外，其係與晶圓堆疊430相同。阻隔結構423係支持一空氣間隙，空氣間隙位於主動矩陣晶圓422與偏振分光晶圓424之間，而液晶體可在分割之後沉積於空氣間隙中。
而在方法400中，步驟410得到晶圓級矽基液晶投影組件450，而方法500之步驟510係得到複數投影器晶粒(projector dies)540。投影器晶粒540係與矽基液晶投影組件450相同，除了前者缺少液晶部分421。
在步驟512中，方法500係注入一液晶部分521至位於投影器晶粒540之基板層532與薄膜層434之間之空氣間隙內，以形成一晶圓級矽基液晶投影組件450。在方法500之一實施例中，液晶注入步驟512可使用習知技術領域之方法，就如真空虹吸(vacuum-siphon)方法或一側邊注入(side-injection)方法。
圖6係顯示圖4之晶圓堆疊430之一實施例之一剖面630以及從沿分割線635之分割所形成之各晶圓級矽基液晶投影組件650。剖面630包含矽基液晶層660、偏振分光層624以及複合晶圓透鏡610。
矽基液晶層660包含主動矩陣晶圓422、下配向層443以及液晶部分621。阻隔結構623包含液晶部分621。在圖6所示之晶圓堆疊430之實施例中，下配向層443係沉積於主動矩陣晶圓422上。主動矩陣442(圖4)係位於主動矩陣晶圓422內。
偏振分光層624對應圖4之偏振分光晶圓424。偏振分光層624包含非必要之抗反射塗層624(4)、偏振分光層624(3)、透光導電層624(2)以及上 配向層624(1)。偏振分光層624(3)包含一偏振分光膜帶460(圖4)，其係位於每一對分割線635之間。液晶部分621係位於上配向層624(1)與下配向層443之間。在一實施例中，偏振分光膜帶460係實質以45度面向與矽基液晶層660之平面。
不脫離本發明之範圍，液晶部分621可從剖面630省略，致使剖面630顯示圖5之晶圓堆疊530之一實施例之一剖面。液晶部分621可在沿分割線635分割之後再增加，其係依據方法500(圖5)之步驟512以形成包含液晶部分621之各晶圓級組件650。因此，晶圓級矽基液晶投影組件650可利用方法400(圖4)或方法500(圖5)而組裝。
圖7係顯示一典型的晶圓級矽基液晶投影系統700。投影系統700係包含一晶圓級投影組件650(圖6)。晶圓級矽基液晶投影組件650係為晶圓級矽基液晶投影組件450之一實施例。
晶圓級矽基液晶投影組件650係包含矽基液晶段760、偏振分光段724以及複合晶圓級透鏡610。矽基液晶段760包含主動矩陣晶圓722，其係包含一主動矩陣442(圖4)以及一反射膜。主動矩陣晶圓722支持液晶部分621(圖6)於上配向層724(1)與下配向層743之間。上配向層724(1)與下配向層743係分別為圖6之上配向層624(1)、643之部分，且藉由沿分割線635(圖6)之分割所形成。阻隔結構623(圖6)包含液晶部分621(圖6)。
偏振分光段724係從偏振分光晶圓424形成並包含上配向層724(1)、一透光導電膜724(2)、一偏振分光元件724(3)以及一抗反射塗佈724(4)。透光導電膜724(2)、偏振分光元件724(3)以及抗反射塗佈層724(4)係分別為圖6之透光導電層624(2)、偏振分光層624(3)以及抗反射塗層624(4)之部分，並由沿分割線635(圖6)之分割所形成。複合晶圓級透鏡610包含晶圓級透鏡726、728、729。晶圓級透鏡726、728、729係分別從透鏡晶圓426、428、429所形成。晶圓級矽基液晶投影組件750係固設於印刷電路板701上。
在圖7中，晶圓級矽基液晶投影組件700係被光源106所照射。光源106可包含非必要之校準光學元件108。光源106可為任何已知之光源。例如，光源106可包含至少一發光二極體(LEDs)，其中該等發光二極體係發出相同、重疊或不重疊之波長範圍的光線。
在光源106與晶圓級矽基液晶投影組件750之一實施例中，光 源106發出s偏振輸入照光(s-polarized input illumination)790，其係入射於偏振分光元件724(3)。在圖7中，s偏振與p偏振係分別指電場分量垂直於圖平面與平行於圖平面者。輸入照光790為光源106射出之全部照光之S偏振分量，其亦可包含p偏振分量。
偏振分光元件724(2)之偏振分光膜帶460係經由液晶部分621反射輸入照光790，液晶部分621係空間調變照光790。主動矩陣晶圓722係經由液晶部分621將至少一部分的輸入照光790反射回來。主動矩陣晶圓722之各別畫素可設定來改變光線之偏振態，而上述光線之傳輸係經由相關液晶部分621之次畫素。在一畫素之發光狀態中，經由液晶721之兩次傳輸(double-pass)係使照光790之偏振態轉向以形成至少包含一p偏振態之被發射光線。發射光線之P偏振分量係經由偏振分光體724(2)傳輸並由複合晶圓級透鏡710投射，而作為輸出的照光791。
晶圓級矽基液晶投影組件650係較圖2之投影組件200更優，在至少兩方面：對準與尺寸。因為晶圓級矽基液晶投影組件450之光學元件係在晶圓級被對準，就不太會有橫向的對準誤差，反而投影組件200較會出現橫向的對準誤差，因為投影組件200之光學元件係由人工對準。晶圓級矽基液晶投影組件450相較於投影組件200，空間效率更佳，因為後者在偏振分光體206與主動矩陣晶圓222之間僅需要一覆蓋玻璃204。
圖8係繪示一晶圓級方法800以及一相關的視圖820，其係用以組裝包含一偏振分光器之複數光學系統。在步驟801中，方法800形成一偏振分光晶圓，偏振分光晶圓包含偏振分光層，偏振分光層包含複數偏振分光帶。在步驟801之一實施例中，方法800係形成偏振分光晶圓824，偏振分光晶圓824包含偏振分光層，而偏振分光層包含複數偏振分光帶860。
在一實施例中，偏振分光晶圓824包含一基板，並且偏振分光層係設置於基板上。基板可作用如一配向層用於矽基液晶組件，就如相關於圖4至圖7中所論及的。
在步驟802中，方法800係接合偏振分光晶圓至一晶圓以形成一堆疊晶圓。在步驟802之一實施例中，方法800係接合偏振分光晶圓824至晶圓822以形成一堆疊晶圓830。
在一實施例中，晶圓822係為一矽基液晶晶圓，例如圖4之主 動矩陣晶圓422。在另一實施例中，晶圓822係為一透鏡晶圓，例如圖4之透鏡晶圓424。
在非必要之步驟804中，方法800係分割堆疊晶圓以形成包含一偏振分光器之複數的光學系統。在非必要之步驟804之一實施例中，方法800係分割堆疊的晶圓830。
在未脫離本發明之精神與範疇下，可以對上述方法及系統進行修改或變更，需注意者，在以上說明書及圖式中所述僅為舉例性，而非為限制性者。後附之申請專利範圍係可涵蓋所述之一般及特定特徵，而本發明之方法及系統的範圍中的所有陳述，其係僅為語言問題，皆應落於申請專利範圍之範圍。
200‧‧‧投影組件
201‧‧‧印刷電路板
203‧‧‧導電膜
204‧‧‧覆蓋玻璃
206‧‧‧偏振分光體
210‧‧‧複合透鏡
221‧‧‧液晶
222‧‧‧主動矩陣基板
226、228、229‧‧‧透鏡
243‧‧‧配向層
250‧‧‧矽基液晶晶粒
298‧‧‧座標系統
299‧‧‧光軸

Claims (18)

  1. 一種晶圓級矽基液晶投影組件，包含：一矽基液晶顯示器以空間調變入射於該矽基液晶顯示器之光線；一偏振分光層以導引至該矽基液晶顯示器或從該矽基液晶顯示器出來之光線；以及一透鏡層以使該矽基液晶顯示器成像，該透鏡層包含一晶圓級複合透鏡。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的晶圓級矽基液晶投影組件，其中該偏振分光層係將光線朝該矽基液晶顯示器反射並傳輸從該矽基液晶顯示器所接收之光線之至少一部分。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的晶圓級矽基液晶投影組件，其中該偏振分光層設置於該矽基液晶顯示器與該透鏡層之間，以致該偏振分光層將光線之至少一部分從該矽基液晶顯示器傳輸至該透鏡層。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的晶圓級矽基液晶投影組件，更包含一透光導電層，其係接觸該偏振分光層內之複數偏振分光元件以作為該矽基液晶顯示器之一電極。
  5. 如申請專利範圍第1項所述的晶圓級矽基液晶投影組件，其係實現為一近眼投影機。
  6. 一種晶圓級矽基液晶投影系統之組裝方法，包含：將一偏振分光晶圓設置於一主動矩陣晶圓上，該主動矩陣晶圓包含複數主動矩陣，以處理複數液晶顯示畫素；以及設置一透鏡晶圓於該偏振分光晶圓上，該透鏡晶圓包含複數透鏡。
  7. 如申請專利範圍第6項所述的組裝方法，更包含：對準該透鏡晶圓、該偏振分光晶圓與該主動矩陣晶圓；以及接合該透鏡晶圓、該偏振分光晶圓與該主動矩陣晶圓以形成一堆疊晶圓。
  8. 如申請專利範圍第6項所述的組裝方法，更包含：分割一堆疊晶圓，該堆疊晶圓包含該偏振分光晶圓、該主動矩陣晶圓與該透鏡晶圓，以形成複數矽基液晶投影系統。
  9. 如申請專利範圍第6項所述的組裝方法，更包含：注入液晶於至少一部分之該偏振分光晶圓以及至少一部分之該主動矩陣晶圓之間以形成一矽基液晶顯示器。
  10. 如申請專利範圍第7項所述的組裝方法，其中該對準步驟包含使該複數透鏡與該偏振分光晶圓之複數偏振分光膜帶分別對準。
  11. 如申請專利範圍第10項所述的組裝方法，其中該對準步驟包含使該複數偏振分光膜帶與該主動矩陣晶圓之複數主動矩陣分別對準。
  12. 如申請專利範圍第6項所述的組裝方法，其係在設置該偏振分光晶圓之步驟之前更包含：在對應於該複數主動矩陣之特定區域設置複數液晶部分於該主動矩陣晶圓上。
  13. 如申請專利範圍第7項所述的組裝方法，更包含：分割該堆疊晶圓以形成複數光學模組；以及注入一液晶部分於該主動矩陣晶圓與該偏振分光晶圓之間以形成該複數光學模組之至少一部分。
  14. 一種晶圓級偏振分光器之組裝方法，包含：接合一偏振分光晶圓與至少另一晶圓以形成一堆疊晶圓，其中該偏振分光晶圓包含一偏振分光層，該偏振分光層包含複數偏振分光膜帶。
  15. 如申請專利範圍第14項所述的組裝方法，更包含：分割該堆疊晶圓以形成複數偏振分光模組，各偏振分光模組包含該複數偏振分光膜帶之至少其中之一。
  16. 如申請專利範圍第14項所述的組裝方法，其中該接合步驟包含：接合該偏振分光晶圓至一主動矩陣晶圓。
  17. 如申請專利範圍第16項所述的組裝方法，更包含：設置液晶於該主動矩陣晶圓上以形成包含複數顯示器之一顯示晶圓。
  18. 如申請專利範圍第17項所述的組裝方法，在設置液晶之步驟之前，更包含：形成複數阻隔結構，以至少部分分別地在該複數顯示器內包含複數液晶之部分。
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