TWI488860B - 高純度胺基亞甲基膦酸之製造方法 - Google Patents

高純度胺基亞甲基膦酸之製造方法 Download PDF

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Description

高純度胺基亞甲基膦酸之製造方法
本發明係關於一種高純度胺基亞甲基膦酸之製造方法，而胺基亞甲基膦酸類為著名之配位於多種金屬的螯合劑，用於過氧化物之抗分解穩定劑等各式各樣的用途。
近年來於半導體產業中，步驟朝細微化發展，並以矽晶圓清潔度之提升、步驟簡略化為目的，利用在作為矽晶圓之清洗液使用的過氧化氫水、氨水等中添加胺基亞甲基膦酸，附加螯合能而除去晶圓上之金屬的方法。
胺基亞甲基膦酸的製造法，已知有於鹽酸酸性下，令氨、銨化合物或是胺及醛、或是酮及膦酸反應而得到胺基亞甲基膦酸的方法(參考專利文獻1、非專利文獻1)。
適合半導體產業的矽晶圓清洗液在其特性上需要高純度，且需要極力減少胺基亞甲基膦酸之未反應的原料、副產物等之有機雜質、因設備材質，例如由不銹鋼之溶離、由環境、原料之攜入等產生之金屬雜質。其中，關於金屬雜質，可於設備材質、高純度的原料之選定等定為低階，而關於有機雜質，特別是為了提升反應產率而過度添加部分原料之情況多，故除去反應後之未反應及過量份很重要。
胺基亞甲基膦酸的殘留原料之中，特別是醛類的還原力高，而以添加至過氧化氫等之氧化劑為目的時，應極力去除。該殘留量，因胺基亞甲基膦酸之使用形態、添加量而異，但一般而言，以溶解於溶劑後的溶液狀使用時，宜為0.3重量%以下，而較理想之樣態為0.2重量%以下。以分離後的固體狀等使用時宜為1重量%以下，而較理想之樣態為0.8重量%以下。
為了除去甲醛之胺基亞甲基膦酸的精製方法，可舉出以再結晶精製的方法、投入不良溶劑而固化、精製的方法、使用離子交換樹脂精製的方法、藉由將甲醛反應蒸餾而變成縮醛餾出的方法。
以再結晶精製的方法，需要胺基亞甲基膦酸之結晶性良好，再者，有產率下降的缺點。投入不良溶劑而固化的方法，難於選定如固化後之固體性質不會黏稠的不良溶劑，而且，有產率及精製效率低的缺點。此外，熔點或是玻璃轉化溫度較低者多，於結晶或是固化固體過濾後除去不良溶劑的作業中，因乾燥溫度而熔融成為糖果狀，而於之後的程序中亦存在處理性變得非常差的問題。
以蒸餾精製時，由於甲醛對於水的親和性大，於常壓、減壓下的實施中，水的蒸氣壓較甲醛更大，需要在系中添加水並同時餾去大量的水，故蒸餾效率差。再者，加壓條件中，雖然甲醛的蒸氣壓變得較水大，但因為安全性低，所以需要對應於加壓之昂貴的設備投資。
將使用專利文獻2之甲醇的胺基亞甲基膦酸中之甲醛減低的方法，相較於再結晶的方法，其產量、釜效率、處理性等均增加，但因為產生危險品第一石油類的二甲醇縮甲醛，故有減低大量的胺基亞甲基膦酸之甲醛需要危險品設備的問題。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]美國專利3,288,846號公報
[專利文獻2]日本特開2007-77040號公報
[非專利文獻]
[非專利文獻1]Journal of Organic Chemistry第31卷1603頁
本發明之目的在於解決先前技術之如前述的問題，將作為半導體工業用途之矽晶圓清洗液的成分使用的胺基亞甲基膦酸中之未反應的甲醛，以產率佳，簡便的設備、簡單的操作且不產生危險品而去除作為目的。
本案發明人為了達成前述目的而進行仔細研究的結果發現：高純度胺基亞甲基膦酸之製造方法中，將含有甲醛的粗胺基亞甲基膦酸水溶液蒸餾之際，藉由設置於蒸餾中之粗胺基亞甲基膦酸水溶液添加預定量之水的步驟，而不會損失胺基亞甲基膦酸，且可以高釜效率容易地去除甲醛，乃至達成本發明。
詳言之，本發明係關於一種高純度胺基亞甲基膦酸之製造方法，包含：蒸餾步驟，使用批式蒸餾設備蒸餾水分濃度為35~60重量%的粗胺基亞甲基膦酸水溶液，且該粗胺基亞甲基膦酸水溶液為包含胺基亞甲基膦酸、以及甲醛的水溶液；該蒸餾步驟具有於蒸餾中添加水至蒸餾釜的步驟，且添加至該蒸餾釜之水的總量，相對於粗胺基亞甲基膦酸水溶液之添加重量，至少定為0.5倍量。
根據本發明，不會損失胺基亞甲基膦酸，且可輕易以高釜效率安全地去除未反應的醛，並得到高純度胺基亞甲基膦酸，而發展細微化的半導體之矽晶圓清洗液的成分，以增加其機能為目的等，同時添加過氧化氫水及氨水而可使用。
顯然以本發明之方法精製的胺基亞甲基膦酸，除了半導體關連用途以外，若滿足其需要的規格亦可使用。
[粗胺基亞甲基膦酸水溶液]
本發明所使用的粗胺基亞甲基膦酸水溶液，係為包含胺基亞甲基膦酸、甲醛、及水，且水之濃度為30~65重量%的水溶液。
胺基亞甲基膦酸，較理想之樣態可舉出：胺基三亞甲基膦酸、乙二胺四(亞甲基膦酸)、1,2-丙二胺四(亞甲基膦酸)、己二胺四(亞甲基膦酸)、二乙三胺五(亞甲基膦酸)及該等之鹽、以及氧化劑等。
本發明所使用的粗胺基亞甲基膦酸水溶液，需使用水之濃度為35~60重量%的水溶液。該水分濃度低於下限時，由於蒸餾時因鹽酸之揮發而導致粗胺基亞甲基膦酸水溶液之鹽酸濃度下降，析出胺基亞甲基膦酸，故較不理想。該水分濃度高於該範圍時，由於會造成釜効率大幅受損，故較不理想。本發明中，胺基亞甲基膦酸水溶液之水的濃度於該範圍外時，需於該水溶液之蒸餾前添加水，俾使其於該範圍內，而以此為前提，藉由一邊添加本發明所規定之預定量的水，一邊進行蒸餾，而得到高純度的胺基亞甲基膦酸。
使用於本發明之粗胺基亞甲基膦酸水溶液中的甲醛濃度，係根據下述之粗胺基亞甲基膦酸的合成條件而增減，且本發明中並無特別限定，但較理想之樣態為1~12重量%，更理想之樣態為1~9重量%。
再者，使用於本發明之含有甲醛之粗胺基亞甲基膦酸水溶液中的胺基亞甲基膦酸濃度並無特別限定，但較理想之樣態為10~50重量%。
(粗胺基亞甲基膦酸水溶液之製造)
本發明中，粗胺基亞甲基膦酸水溶液，宜於鹽酸酸性下將氨或是胺與甲醛、膦酸反應而得之。
將胺基亞甲基膦酸用於半導體產業用途的情況，不宜使用如利用不銹鋼等之有金屬成分之溶離的設備，而使用接液部為玻璃襯裹(以下稱GL)等金屬成分不會溶離的攪拌機式反應釜較為理想。該GL釜，事先令其成為Fe等金屬成分不會溶離的清淨化狀態而使用。清淨化之方法有利用稀鹽酸、去離子水的清洗。
以下更具體地說明製造順序較理想之一例。首先在GL釜中添加鹽酸，接著添加亞磷酸。由於利用添加亞磷酸，藉由與鹽酸之反應而吸熱，故進行加熱，將溫度保持於5~15℃。接著，將反應溫度保持於15~20℃，同時以一定速度添加氨或胺。由於本反應會放熱，故需要散熱。胺添加結束後，將反應液加熱至85~95℃為止。接著將35~50重量%的福馬林以一定速度供給而進行反應。反應本身為放熱反應，而反應液的溫度係管理成90~100℃。反應完成後，冷卻至室溫為止並作為反應結束。產生的鹽酸蒸氣，根據利用回流的防污染之觀點，通過噴射器等而排出至系外，且盡可能避免回流，以排放氣體處理設備處理。該等一系列的操作中，重點為需要注意不造成污染。保持有製造設備的環境清淨亦很重要。
該反應中，胺較理想之樣態可舉出：乙二胺、1,2-丙二胺、己二胺、二乙三胺等。亞磷酸，較理想之樣態為：利用氨時，使用N原子之3~6倍莫耳；利用胺時，該胺為一級胺的情況使用N原子之2~4倍莫耳，二級胺的情況使用N原子之1~2倍莫耳。在胺為1分子中具有一級及二級之胺部位的情況，可使用對於先前之一級、二級胺各別的使用量之總和。
該反應中，甲醛較理想之樣態為：利用氨時，使用N原子之3~9倍莫耳；利用胺時，該胺為一級胺的情況使用N原子之2~6倍莫耳，二級胺的情況使用N原子之1~3倍莫耳。在胺為1分子中具有一級及二級之胺部位的情況，可使用對於先前之一級、二級胺各別的使用量之總和。酸，較理想之樣態可舉出硫酸、鹽酸、磷酸、硝酸等之無機酸。
[粗胺基亞甲基膦酸水溶液之蒸餾]
含有甲醛的粗胺基亞甲基膦酸水溶液，為了去除殘留的甲醛，故藉由批式蒸餾設備而蒸餾。在此之粗胺基亞甲基膦酸水溶液，水的濃度需為35~60重量%，而水的濃度於該範圍外時，如前述，在蒸餾前添加水，俾使其於該範圍內。
以下說明本發明所使用的批式蒸餾設備。本發明的批式蒸餾設備之一例，可舉出具備蒸餾釜與冷凝器的蒸餾設備。該等蒸餾設備的材質係為玻璃製。
蒸餾溫度宜為90~120℃，而較理想之樣態為100~110℃。再者，本發明中，由於藉由在蒸餾中的粗胺基亞甲基膦酸水溶液添加水，而可於常壓下將甲醛有效率地餾去，故不需要壓力調整所需的設備改造費等，於安全面亦十分有利，且對於工業上非常有益。
(水之添加)
本發明中，在蒸餾中添加水至蒸餾釜十分重要。本發明中，在蒸餾釜添加含有甲醛的粗胺基亞甲基膦酸水溶液，加熱蒸餾釜而令揮發成分自蒸餾塔餾出，將該等以冷凝器冷凝，並藉由超音波流量計或渦流量計等之計數器而測定餾出量，而較理想之樣態為：在蒸餾中重複將配製成與該餾出量等量的水添加至蒸餾釜之操作。將配製成與該餾出量等量的水添加至蒸餾釜時，較理想之樣態為一邊注意不令蒸餾釜內之粗胺基亞甲基膦酸水溶液的溫度過度地下降，一邊迅速地添加。在此之「與餾出量等量」的「等量」，其概念亦包含：不損及本發明效果之範圍的份量，而較理想之樣態為餾出量的0.5~1.5倍之範圍，更理想之樣態為0.8~1.2倍之範圍，更加理想之樣態為0.9~1.1倍之範圍，而最理想之樣態無庸置疑為完全等量。
再者，該餾出量之測定可根據蒸餾設備的尺寸或冷凝器的能力而改變，可即時進行，亦可以30~60分鐘左右的間隔進行。在蒸餾釜添加的水，為了防止金屬污染而使用離子交換水較為理想，但金屬之品質若穩定亦可使用蒸餾水。
本發明中，在蒸餾中添加至蒸餾釜之水的總量，至少需為粗胺基亞甲基膦酸水溶液之添加重量的0.5倍量。由於本發明中之水的總量至少定為0.5倍量，故可得到高純度的胺基亞甲基膦酸。由於本發明中隨時添加相當於蒸餾中之餾出液量的水至蒸餾釜而進行蒸餾，故於粗胺基亞甲基膦酸水溶液之添加時不需要添加大量的水，而於工業上非常有利。
再者，在蒸餾中添加至蒸餾釜的水之總量的上限並無特別限定，但較理想之樣態至多為粗胺基亞甲基膦酸水溶液之添加重量的2倍量。由於水的總量至多定為2倍量，故可添加粗胺基亞甲基膦酸水溶液至蒸餾設備的有效容積為止，而於工業上非常有利。而且，相較於在粗胺基亞甲基膦酸水溶液之添加時，添加大量的水而蒸餾的情況，即令添加的水總量少亦可有效率地餾去甲醛。
根據前述之觀點，本發明中添加之水的總量，較理想之樣態為粗胺基亞甲基膦酸水溶液之添加重量的0.5~1.5倍量，而更理想之樣態為0.5~1.2倍量，更加理想之樣態為0.5~1.05倍量。
本發明中，於前述之鹽酸酸性下，將氨或胺與甲醛、膦酸反應而得到粗胺基亞甲基膦酸水溶液時，該水溶液係包含鹽酸。此時，粗胺基亞甲基膦酸水溶液中之鹽酸的濃度，較理想之樣態通常為6~10重量%左右，而更理想之樣態為7~8重量%左右。
粗胺基亞甲基膦酸水溶液中包含鹽酸的情況中，當蒸餾釜中之鹽酸的濃度過濃時，係藉由高濃度的鹽酸氣體而腐蝕設備，另一方面，鹽酸的濃度過稀時，會析出而產生危害。但是，根據如本發明在蒸餾中添加水，即令於粗胺基亞甲基膦酸水溶液包含如鹽酸的強酸之情況中，由於亦可將蒸餾釜中之鹽酸的濃度定為適當的濃度範圍，亦即較理想之樣態為6~10重量%左右，更理想之樣態為7~8重量%之範圍內，故可輕易地，而且以產率佳，簡便的設備、簡單的操作且不產生危險品而去除甲醛，得到高純度的胺基亞甲基膦酸。
[精製步驟(鹽酸之去除)]
在前述之鹽酸酸性下，將氨或胺與甲醛、膦酸反應而得到粗胺基亞甲基膦酸水溶液時，如前述而蒸餾精製後的胺基亞甲基膦酸，係經過去除鹽酸的精製步驟較為理想。只要去除鹽酸，便可作為胺基亞甲基膦酸水溶液使用。鹽酸之去除的方法，例如較理想之樣態可舉出電透析等之方法。再者，若追求更進一步高純度化，亦可追加實施利用再結晶、不良溶劑之固化、利用離子交換法之精製等。
[高純度胺基亞甲基膦酸]
藉由本發明之製造方法而得到的胺基亞甲基膦酸，係為充分的高純度，且可令蒸餾後的胺基亞甲基膦酸水溶液中之甲醛的含量成為0.25重量%以下、0.1重量以下、甚至0.01重量%以下。再者，甲醛減率(減率=(蒸餾後之水溶液中的甲醛/粗胺基亞甲基膦酸水溶液中的甲醛)×100)，可定為97%以上、98%以上、甚至99%以上。
[實施例]
以下根據實施例詳細地說明本發明，但本發明並非限制於實施例。再者，實施例、比較例中之含胺基亞甲基膦酸液中的甲醛濃度分析，係藉由乙醯丙酮之吸光光度分析而實施，而餾出液中的甲醛濃度係藉由利用硫代硫酸鈉水溶液之滴定而實施，氯化物濃度係藉由利用硝酸銀水溶液之滴定而實施，二乙三胺五亞甲基膦酸係藉由氯化鋅滴定而實施。
參考例1
在附有冷凝器、攪拌機、夾套的1m3 GL釜添加36重量%鹽酸240kg。接著，花費約30分鐘投入亞磷酸175kg。由於投入中之吸熱，故於夾套加入水蒸氣，將釜溫度保持於5~10℃。接著，於夾套加入冷卻水，一邊將反應溫度調節至15~20℃，一邊將二乙三胺(DETA)30kg藉由定量泵而花費1小時投入後，並於15~20℃進行1小時反應。之後，藉由水蒸氣而加溫至90℃為止後，花費2小時令50重量%福馬林200kg反應。此期間之反應溫度係維持於90~95℃。福馬林投入結束後，於90~95℃保持1小時。
實施例1
使用以參考例1製造的二乙三胺五亞甲基膦酸，在蒸餾釜添加粗二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液500g(二乙三胺五亞甲基膦酸濃度26.3重量%，甲醛濃度8.3重量%，水分濃度42.8重量%)，於120℃的油浴浸漬燒瓶，並於大氣壓下進行蒸餾。在分離器餾出的餾出液重量每保存100g即添加與餾出液重量等重量的離子交換水至燒瓶，並繼續蒸餾。在燒瓶添加之離子交換水的總添加量達300g時，停止離子交換水之添加與燒瓶之浸漬，並繼續蒸餾至分離器不會餾出餾出液為止。此時，在蒸餾中添加之離子交換水的總量為粗二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液之添加重量(500g)的0.6倍量。
蒸餾後之二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液中的甲醛濃度為0.225重量%(甲醛減率97.3%)。
實施例2
除了將在蒸餾中添加之離子交換水的總量定為500g(粗二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液之添加重量的1倍量)以外，係與實施例1相同而進行蒸餾。蒸餾後之二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液中的甲醛濃度為0.020重量%(甲醛減率99.8%)。
比較例1
使用旋轉蒸發器，在1L燒瓶添加粗二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液500g(二乙三胺五亞甲基膦酸濃度26.3重量%，甲醛濃度8.3重量%，水分濃度42.8重量%)、離子交換水500g(粗二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液之添加重量的1倍量)，於120℃的油浴浸漬燒瓶，並於大氣壓下進行蒸餾。在蒸餾中不添加離子交換水，繼續蒸餾至餾出液達到500g為止。
蒸餾後之二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液中的甲醛濃度為1.23重量%(甲醛減率85.2%)。
比較例2
使用旋轉蒸發器，在1L燒瓶添加粗二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液150g(二乙三胺五亞甲基膦酸濃度26.3重量%，甲醛濃度6.9重量%，水分濃度43.7重量%)、離子交換水50g(粗二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液之添加重量的0.33倍量)，於120℃的油浴浸漬燒瓶，並於大氣壓下進行蒸餾。在蒸餾中不添加離子交換水，繼續蒸餾至餾出液達到與添加的離子交換水近似等量為止。
蒸餾後之二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液中的甲醛濃度為2.60重量%(甲醛減率62.3%)。
比較例3
除了將離子交換水的添加量定為100g(粗二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液之添加重量的0.67倍量)以外，係與比較例2相同而進行蒸餾。
蒸餾後之二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液中的甲醛濃度為1.70重量%(甲醛減率75.4%)。
比較例4
除了將離子交換水的添加量定為200g(粗二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液之添加重量的1.33倍量)以外，係與比較例2相同而進行蒸餾。
蒸餾後之二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液中的甲醛濃度為0.50重量%(甲醛減率92.8%)。
比較例5
除了將離子交換水的添加量定為400g(粗二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液之添加重量的2.67倍量)以外，係與比較例2相同而進行蒸餾。
蒸餾後之二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液中的甲醛濃度為0.40重量%(甲醛減率94.2%)。
參考例2
在附有冷凝器、攪拌機、夾套的1m3 GL釜添加36重量%鹽酸260kg。接著，花費約30分鐘投入亞磷酸175kg。由於投入中之吸熱，故於夾套加入水蒸氣，將釜溫度保持於5~10℃。接著，於夾套加入冷卻水，一邊將反應溫度調節至15~20℃，一邊將二乙三胺(DETA)30kg藉由定量泵而花費1小時投入後，並於15~20℃進行1小時反應。之後，藉由水蒸氣而加溫至90℃為止後，花費2小時令35重量%福馬林250kg反應。此期間之反應溫度係維持於90~95℃。福馬林投入結束後，於90~95℃保持1小時。
實施例3
使用以參考例2製造的二乙三胺五亞甲基膦酸，在蒸餾釜添加粗二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液787kg(二乙三胺五亞甲基膦酸濃度21.1重量%，甲醛濃度4.3重量%，水分濃度54.3重量%)，在蒸餾釜之夾套供給表壓0.2~0.3MPa的蒸氣，並於大氣壓下進行蒸餾。自蒸餾塔餾出揮發成分，以冷凝器冷卻，並將該餾出液量以計數器(渦流量計)自動計量。將作為輸入該計量值之通過計數器之餾出液量之0.95~1.05倍的離子交換水，利用計數器(渦流量計)自動添加至蒸餾釜。在蒸餾中添加之離子交換水的總量達到粗二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液之添加量(787kg)之0.59倍的462kg時，停止離子交換水之添加與蒸氣之供給，並繼續蒸餾至餾出液不會餾出為止。
蒸餾後之二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液中的甲醛濃度為0.13重量%(甲醛減率97.0%)。
實施例4
除了將蒸餾中添加之離子交換水的總量定為748kg(粗二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液之添加重量的0.95倍量)以外，係與實施例3相同而進行蒸餾。
蒸餾後之二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液中的甲醛濃度為0.008重量%(甲醛減率99.8%)。
比較例6
除了將蒸餾中添加之離子交換水的總量定為174kg(粗二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液之添加重量的0.22倍量)以外，係與實施例3相同而進行蒸餾。
蒸餾後之二乙三胺五亞甲基膦酸水溶液中的甲醛濃度為1.10重量%(甲醛減率74.4%)。
參考例3
在附有攪拌機、夾套的1m3 GL釜添加35重量%鹽酸240L。接著，花費約30分鐘投入亞磷酸250kg。由於投入中之吸熱，故於夾套加入水蒸氣，將釜溫度保持於5~10℃。接著，於夾套加入冷卻水，一邊將反應溫度調節至15~20℃，一邊將1,2-丙二胺46kg藉由定量泵而花費1小時投入後，並於15~20℃進行1小時反應。之後，藉由水蒸氣而加溫至90℃為止後，投入37重量%福馬林280L，花費2小時令其反應。此期間之反應溫度係維持於90~95℃。福馬林投入結束後，於90~95℃保持1小時。
實施例5
使用以參考例3製造的丙二胺四亞甲基膦酸，在蒸餾釜添加粗丙二胺四亞甲基膦酸水溶液976kg(丙二胺四亞甲基膦酸濃度28.8重量%，甲醛濃度4.0重量%，水分濃度52.4重量%)，在蒸餾釜之夾套供給表壓0.2~0.3MPa的蒸氣，並於大氣壓下進行蒸餾。自蒸餾塔餾出揮發成分，以冷凝器冷卻，並將該餾出液量以計數器(渦流量計)自動計量。將作為輸入該計量值之通過計數器之餾出液量之0.95~1.05倍的離子交換水，利用計數器(渦流量計)自動添加至蒸餾釜。在蒸餾中添加之離子交換水的總量達到粗丙二胺四亞甲基膦酸水溶液之添加量(976kg)之0.61倍的595kg時，停止離子交換水之添加與蒸氣之供給，並繼續蒸餾至餾出液不會餾出為止。
蒸餾後之丙二胺四亞甲基膦酸水溶液中的甲醛濃度為0.055重量%(甲醛減率98.6%)。
實施例6
除了將蒸餾中添加之離子交換水的總量定為910kg(粗丙二胺四亞甲基膦酸水溶液之添加重量的0.93倍量)以外，係與實施例5相同而進行蒸餾。
蒸餾後之丙二胺四亞甲基膦酸水溶液中的甲醛濃度為0.006重量%(甲醛減率99.9%)。
比較例7
除了將蒸餾中添加之離子交換水的總量定為310kg(粗丙二胺四亞甲基膦酸水溶液之添加重量的0.32倍量)以外，係與實施例5相同而進行蒸餾。
蒸餾後之丙二胺四亞甲基膦酸水溶液中的甲醛濃度為0.43重量%(甲醛減率89.3%)。
[產業上利用性]
根據本發明，可進行高純度胺基亞甲基膦酸之製造，將胺基亞甲基膦酸中之未反應的甲醛，以產率佳，簡便的設備、簡單的操作且不產生危險品而去除。

Claims (5)

  1. 一種高純度胺基亞甲基膦酸之製造方法，包含：蒸餾步驟，使用批式蒸餾設備蒸餾水分濃度為35~60重量%的粗胺基亞甲基膦酸水溶液，其中，該粗胺基亞甲基膦酸水溶液為包含胺基亞甲基膦酸、以及甲醛的水溶液；該蒸餾步驟具有於蒸餾中添加水至蒸餾釜的步驟，且添加至該蒸餾釜之水的總量，相對於粗胺基亞甲基膦酸水溶液之添加重量，定為0.5~1.5倍量。
  2. 如申請專利範圍第1項之高純度胺基亞甲基膦酸之製造方法，其中，該於蒸餾中添加水至蒸餾釜的步驟，係將所預備之相當於來自蒸餾塔的餾出量之0.8~1.2倍量的水添加至蒸餾釜。
  3. 如申請專利範圍第1項之高純度胺基亞甲基膦酸之製造方法，其中，蒸餾前的粗胺基亞甲基膦酸水溶液中之甲醛濃度為1~12重量%。
  4. 如申請專利範圍第1項之高純度胺基亞甲基膦酸之製造方法，其中，該胺基亞甲基膦酸為二乙三胺五亞甲基膦酸(diethylenetriamine pentamethylene phosphonic acid)或丙二胺四亞甲基膦酸(propylenediamine tetramethylene phosphonic acid)。
  5. 如申請專利範圍第1項之高純度胺基亞甲基膦酸之製造方法，其中該粗胺基亞甲基膦酸水溶液更包含鹽酸。
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