TWI482955B - Air operated valve diagnostic method, air operated valve diagnostic device and air operated valve - Google Patents

Air operated valve diagnostic method, air operated valve diagnostic device and air operated valve Download PDF

Info

Publication number
TWI482955B
TWI482955B TW098134917A TW98134917A TWI482955B TW I482955 B TWI482955 B TW I482955B TW 098134917 A TW098134917 A TW 098134917A TW 98134917 A TW98134917 A TW 98134917A TW I482955 B TWI482955 B TW I482955B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
operated valve
air operated
valve
air
sound
Prior art date
Application number
TW098134917A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201020534A (en
Inventor
Kazuhiro Nishigori
Mitsuo Komiya
Hiroyuki Yoshida
Hajime Tamura
Michio Miyashita
Yoshihiro Kokuryu
Hiroki Iida
Original Assignee
Kanto Kagaku
Nisso Engineering Co Ltd
Ckd Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kanto Kagaku, Nisso Engineering Co Ltd, Ckd Corp filed Critical Kanto Kagaku
Publication of TW201020534A publication Critical patent/TW201020534A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI482955B publication Critical patent/TWI482955B/zh

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0025—Electrical or magnetic means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
    • F16K27/0236—Diaphragm cut-off apparatus
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0025—Electrical or magnetic means
    • F16K37/0041—Electrical or magnetic means for measuring valve parameters
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0075—For recording or indicating the functioning of a valve in combination with test equipment
    • F16K37/0083—For recording or indicating the functioning of a valve in combination with test equipment by measuring valve parameters

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Description

空氣操作閥診斷方法、空氣操作閥診斷裝置以及空氣操作閥
本發明係有關於一種用於確認空氣操作閥的動作狀態的空氣操作閥診斷方法、空氣操作閥的診斷裝置以及空氣操作閥。
當半導體生產線上的液閥產生故障時，必須停止生產線而更換液閥。為了防止由於交換液閥而停止生產線所產生的損害，必須定期地進行液閥的交換。液閥大多不使用電磁閥而是使用空氣操作閥。
在習知技術中，進行液閥的空氣操作閥的壽命診斷，如專利文獻1所述的診斷方法是由AE(acoustic emission)感測器記錄觀察AE波形及AE頻譜圖案。於此，所謂AE是指材料變形或龜裂時，材料將累積於內部的變形能量以彈性波放出的現象。由設置於材料表面的轉換子，即AE感測器檢測出該彈性波，藉由進行訊號處理而評估材料的破壞過程的方法為AE法。
具體而言，專利文獻1的發明的構造包括在空氣操作閥的膜部設置振動體並設於閥膜部附近的AE感測器以及量測該AE感測器的輸出的AE量測裝置。
專利文獻1的作用為振動體產生振動。以AE感測器檢測出該振動，以訊號解析裝置解析，將其結果記錄於AE量測裝置。接著，經過既定期間，以AE感測器檢測出相同的裝置產生的振動，將此記錄於AE量測器中。然後，在AE記錄裝置中，比較前一次的振動與這次的振動，當振動顯著不同時，液閥的壽命到了而進行交換。
專利文獻1：特開平1-124739
然而，記載於專利文獻1的發明中，必須將振動體設於空氣操作閥而檢測出振動。振動體設於空氣操作閥並不是在一般的空氣操作閥進行，由於特別注意操作，在製造時會有費用的問題。
又，記載於專利文獻1的發明中，由於AE感測器設置於全部的空氣操作閥，配線需要多數條，合併於生產線中，會有無法簡化的問題。而且，AE感測器變多也會有費用的問題。
又，當利用專利文獻1所記載的發明時，由於具體的判定基準不明，會隨著維護負責人個人的判斷而有不同的判定結果。
由於以上的問題，希望可以有一種不需要振動體而可以掌握做為液閥的空氣操作閥的動作狀況而判斷交換時期的診斷方法、手持式診斷裝置。
為了解決上述問題，本發明的目的在於提供一種空氣操作閥的維護時的診斷方法、診斷裝置及一種空氣操作閥。
本發明的一樣態中，用於確認空氣操作閥的動作狀態的空氣操作閥診斷方法、空氣操作閥診斷裝置以及空氣操作閥具有以下的構造。
(1)一種空氣操作閥的診斷方法，用於確認空氣操作閥的動作狀態，包括：一前置工程，在空氣操作閥的初期狀態中，使AE感測器抵接於空氣操作閥，在操作流體供給於空氣操作閥的操作埠時，或者是在操作流體做排氣時，量測、紀錄在開閉時所發出的聲音；一第一工程，在反覆空氣操作閥的動作後，使AE感測器抵接於空氣操作閥，在操作流體供給於空氣操作閥的操作埠時，或者是在操作流體做排氣時，量測、紀錄在開閉時所發出的聲音；以及一確認工程，比較第一工程中所量測的值及前置工程所量測的值，而確認空氣操作閥的動作狀態的變化。
(2)在(1)所記載的空氣操作閥的診斷方法中，空氣操作閥為液閥，第一工程係比較聲音的變化而由空氣操作閥的動作狀態的變化預測空氣操作閥的故障而判斷是否要交換。
(3)在(1)或(2)所記載的空氣操作閥的診斷方法中，在第一工程中，量測、紀錄的值為操作埠供給操作流體時或操作流體排氣時的閥關閉時所發出的聲音的最大值的平均值，將確認工程中量測、紀錄的值與最大值的平均值做比較。於此，所謂操作埠供給或排出操作流體時閥開閉所發出的聲音係包含空氣操作閥的柱塞衝擊止動件時所產生的聲音、空氣的供排聲音、彈簧的伸縮音、O形環的摩擦音等。
(4)在(1)或(2)所記載的空氣操作閥的診斷方法中，在第一工程中，量測、紀錄的值為產生時間平均值，其為從空氣操作閥的聲音產生起至空氣操作閥的聲音結束為止的時間平均值，將在確認工程中量測、記錄的值與產生時間平均值做比較。
(5)一種空氣操作閥的診斷裝置，監視空氣操作閥的動作狀態，而用於確認空氣操作閥的動作狀態的變化，包括：一量測裝置，使AE感測器抵接於空氣操作閥，而量測空氣操作閥開閉時所發出的聲音；一記錄裝置，紀錄由量測裝置所量測的量測結果；一裝置，比較記錄於將空氣操作閥設置於製造裝置而進行量測的記錄裝置中的數值以及之後量測的數值而確認空氣操作閥的動作狀態的變化。
(6)如(5)所記載之空氣操作閥的診斷裝置，空氣操作閥的診斷裝置為可攜式。
記載於(7)的空氣操作閥的診斷裝置中，記錄裝置可指定出做為被判斷是否進行上述空氣操作閥的交換的對相的空氣操作閥，該空氣操作閥的診斷裝置更包括一通訊裝置，將與上述指定的空氣操作閥相關而記錄於上述記錄裝置的量測結果輸送至外部。
(8)一種空氣操作閥，適用於(1)或(2)所記載之空氣操作閥的診斷方法，在上述空氣操作閥的側面形成使上述AE感測器抵接的抵接部。
(9)一種空氣操作閥，適用於(3)所記載之空氣操作閥的診斷方法，在上述空氣操作閥的側面形成使上述AE感測器抵接的抵接部。
(10)一種空氣操作閥，適用於(4)所記載之空氣操作閥的診斷方法，在上述空氣操作閥的側面形成使上述AE感測器抵接的抵接部。
空氣操作閥的故障容易造成生產的停止。在習知技術中，空氣操作閥的診斷是由生產線的維護者所擔任。但是，由於生產線的維護者並非空氣操作閥的專家，要適當地進行空氣操作閥的診斷是有困難的。因此，維護者無法判斷空氣操作閥的故障，若停止生產，會遭受多大的損害。
於此，身為空氣操作閥的專家的發明人，檢討定期性的維護。由於是空氣操作閥的專家而可確實地診斷該狀態，因此開發、發明出確保獨立性與可靠性的本發明的空氣操作閥的診斷方法、空氣操作閥診斷裝置。
接著，說明用於確認空氣操作閥的動作狀態的空氣操作閥診斷方法、空氣操作閥診斷裝置以及空氣操作閥的作用及效果。
在空氣操作閥安裝於製造裝置之後，將AE感測器安裝於空氣操作閥的抵接部而進行測試。為了進行測試，將操作流體送入空氣操作閥的操作埠。當操作流體送入時，由減壓閥所調整的操作流體在進入操作埠之前由電磁閥阻擋。電磁閥以既定的時序將操作流體送入操作埠。從操作埠進入的操作流體進入操作室內而使空氣操作閥內的活塞上升。當活塞上升時，活塞碰到止動件而停止上升，當活塞碰到止動件時，會發出包含衝擊聲音的動作聲音(以下稱動作音)。動作音由AE感測器偵測。AE感測器量測動作音而進行測試。
所量測的動作音記錄於控制部的記憶體，計算並記錄成為動作音的最大值的最大音的平均值。同樣地，計算並記錄空氣操作閥產生聲音至結束為止的時間的平均值。平均值藉由進行上述測試複數次而求出。
接著，在空氣操作閥反覆使用後的時間點，例如連續使用數萬次時進行上述測試。
所量測的動作音記錄在控制部的記憶體。又，空氣操作閥產生聲音至結束為止的時間記錄在控制部的記憶體。
將空氣操作閥安裝於製造裝置後所量測的動作音的最大值的平均值在空氣操作閥反覆使用的時間點與所量測的動作音由CPU做比較，而確認空氣操作閥是否產生異常。
又，空氣操作閥安裝於製造裝置後所量測的空氣操作閥產生的聲音結束為止的時間的平均值與在空氣操作閥反覆使用的時間點所量測的空氣操作閥產生的聲音結束為止的時間比較，而確認空氣操作閥是否產生異常。然後，當確認空氣操作閥產生異常時，進行空氣操作閥的交換。
例如，藉由AE測定，在空氣操作閥安裝於製造裝置後所量測的動作音的最大值的平均值與在空氣操作閥反覆使用的時間點與所量測的動作音的最大值做比較，而動作音變小時，判斷為全衝程(full stroke)無法開閉的問題。因此，推測為空氣操作閥的彈簧腐蝕、活塞卡死或O形環變形等的問題。
如上所述，由身為空氣操作閥專家的發明人進行空氣操作閥的診斷及空氣操作閥故障的預測。藉此，發現了故障的空氣操作閥而進行更換，由於發現空氣操作閥的故障，防止生產線的停止。又，由於可預測空氣操作閥的故障，對於無交換必要的空氣操作閥而言，由於可不交換而繼續使用，不會進行不必要的空氣操作閥的交換。
以上，藉由掌握空氣操作閥的作動不良的前兆，防止由於空氣操作閥的故障所造成的製造裝置停止或生產線停止的狀況。
對於發明的作用及效果，以空氣操作閥的閥開時的動作音為比較的基礎，即使在閥關閉時活塞抵接於閥體而產生動作音時，也可以得到相同的作用及效果。
故障的預測是藉由多數個空氣操作閥經過數百萬次耐久試驗而得到的AE測定值與故障的關係的資料而進行。藉由定期的檢驗，累積與故障的關係資料，可提高故障預測的精確度。
又，在本發明中，在判定之際，進行判斷基準的數值化。因此，可以解決由維護者個人差異所造成的判定結果的誤差。
接著，參照圖式說明本發明的空氣操作閥診斷方法、空氣操作閥診斷裝置及空氣操作閥的一實施形態。
(第一實施形態) <空氣操作閥診斷裝置的全體構造>
第1圖為表示空氣操作閥診斷裝置的構造的方塊圖。第2圖為表示空氣操作閥診斷裝置的控制部的方塊圖。第6圖為空氣操作裝置診斷時所使用的空氣操作閥診斷量測裝置40的外觀圖。
如第1圖所示，控制部1連接於AE感測器2、電磁閥5以及AC萬能插座9。電源除了使用AC萬能插座之外，電池也可以。AE感測器2為檢測AE的轉換子。於此，所謂AE係指材料變形或龜裂時，材料將累積於內部的變形能量以彈性波放出的現象。由設置於材料表面的轉換子，即AE感測器檢測出該彈性波，藉由進行訊號處理而評估材料的破壞過程的方法為AE法。
減壓閥6經由電磁閥5與操作埠側空氣配管11B而連結。從電磁閥5延伸的操作埠側空氣配管11A係連結於空氣操作閥10的操作埠7。
如第2圖所示，控制部1包含CPU 31、ROM 32以及記憶體33。控制部1也連接於AE感測器2、電磁閥5及AC萬能插座9。
如第6圖所示，在空氣操作閥診斷量測裝置40的上部份具有液晶畫面41，在下部份具有按鍵42。在空氣操作閥診斷量測裝置40的上端具有與AE感測器2連接的連接端子43。在液晶畫面41的右下部份顯示著空氣操作閥的識別番號45與日期時間46。在中央部分顯示著AE感測器2的輸出資料47。空氣操作閥診斷量測裝置40由於輕巧，因此可以手持移動。因此，在只要在使用時設置於空氣操作閥10即可，與習知技術中空氣操作閥診斷量測裝置40經時安裝的狀態相比，比較不消耗電力。因此，可實現省能源。
<空氣操作閥的構造>
第3圖為空氣操作閥10的外觀正視圖。第4圖為空氣操作閥10的外觀側視圖。第5圖為成為診斷對象的空氣操作閥10的構造的剖視圖。
如第5圖所示，空氣操作閥10係由致動部23與本體24所構成。在本體24上形成輸入埠17及輸出埠18。
在致動部23上形成操作埠7與排氣埠8。操作埠7的左端部連通於操作室22。又，排氣埠8的左端部連通於排氣室21。在致動部23內部，略呈圓柱形的活塞13於上下方向可滑動地保持。在活塞13上卡合著指示器27。指示器27貫穿蓋體28。由活塞13分成操作室22與排氣室21。在活塞13的最大外周的部分上，安裝有第一O形環20。在活塞13的下部的中央部安裝有第二O形環25。在排氣室21內的排氣埠8側，形成止動件26，活塞13朝上方滑動時會抵接於止動件26。在活塞13的排氣埠8側具有抵接於致動部23及活塞13的止動件14。
在活塞13與指示器27卡合的相反側，卡合於隔膜閥體15。隔膜閥15在第5圖所示的閥關閉時，抵接於閥座16。如第3圖及第4圖所示，在致動部23的側面形成與AE感測器2抵接的抵接部23a，形成與AE感測器2結合的形狀。
<空氣操作閥的診斷方法>
由空氣操作閥診斷裝置進行壽命診斷，請求做空氣操作閥的定期診斷的企業的執行者進行該作業。
前置工程是在空氣操作閥10安裝於工廠後進行。在前置工程中，量測空氣操作閥10的Mo、To，計算並記錄最大值的平均值Mx及產生時間平均值Tx。空氣操作閥10的活塞13與止動件26衝擊時產生的動作音的波形的最大值為Mo。空氣操作閥10產生的聲音結束為止的時間為To。
在前置工程中，為了量測空氣操作閥10的Mo、To，在安裝了空氣操作閥10的本體24之後，執行者將與第6圖的空氣操作閥診斷量測裝置40的連接端子43連接的AE感測器2安裝於空氣操作閥10的抵接部23a。
AE感測器2為在空氣操作閥10進行開閉動作之際，檢測出活塞13衝擊止動件26時的聲音、隔膜閥體15抵接於閥座16時的聲音、空氣的吸排氣的聲音、彈簧14伸縮的聲音以及第一O形環20的摩擦音等，並處理所產生的聲音的訊號的裝置。在第一實施形態中，其檢測出活塞13衝擊止動件26時的聲音以及隔膜閥15抵接於閥座16時的聲音，並處理聲音的訊號。
由於空氣操作閥10具有抵接部23a，AE感測器2可經常設於相同的位置。因此，空氣操作閥10由於任何原因故障時，由聲音的變化可掌握空氣操作閥10的故障原因。而經常在相同的位置抵接，可穩定地檢測出聲音，可容易掌握聲音的變化。
又，由於抵接部23a在內側被切削，接近活塞13與止動件26衝擊的部分，可辨識活塞13與止動件26衝擊所產生的聲音。因此，即使不在空氣操作閥10上設置習知技術所使用的振動體，也可以由AE感測器2辨識聲音。
為了供給操作流體，適當地打開電磁閥5。電磁閥5藉由操作手動按鈕而打開罰。電磁閥5打開，操作流體通過操作埠側空氣配管11A而供給至操作埠7。從操作埠7流入的操作流體進入操作室22。進入操作室22的操作流體將活塞13向上方推壓上升。活塞13朝上方推壓時，排氣室21內的空氣被壓縮。在排氣室21內，被壓縮的空氣由排氣埠8壓出。
此時，空氣操作閥10的閥開時的活塞13衝擊止動件26的動作音等的波形狀態記錄為Mo、To。最大值的平均值Mx、產生時間平均值Tx的計算、記錄方法係以後述的Mo、To的計算方法做說明。
Mo、To在空氣操作閥診斷量測裝置40的液晶畫面41以圖形顯示。又，操作流體流過的空氣操作閥10的識別番號45與日期時間46顯示於液晶畫面41。藉由將PC等連接於空氣操作診斷裝置40，可從記憶體33傳送上述Mo、To等的紀錄。累積Mo、To的資訊，而且進行解析、研究，進行更高精度的判斷。
閥關閉之際的聲音與閥打開之際的聲音相同，藉由AE感測器2進行量測、紀錄。閥關閉之際的聲音為隔膜閥15抵接於閥座16所產生的聲音。閥關閉之際的AE感測器2的量測、紀錄的動作在閥打開時與閥關閉時沒有不同，在此省略其說明。
解析、紀錄Mo、To，而為了算出最大值的平均值Mx、產生時間平均值Tx，上述開閉的動作反覆進行5次至10數次。
上述前置工程雖然是在空氣操作閥10安裝於工廠後由執行者所進行，空氣操作閥10的製造者等在出貨前在事前由上述方法進行。
<Mo、To的解析、計算方法>
Mo、To的解析、記錄方法係以第13圖的流程圖表示。第13圖中所進行的解析、記錄方法係以前置工程進行。
空氣操作閥10的活塞13衝擊止動件26時所產生的動作音的波形的最大值為Mo。空氣操作閥10產生的聲音結束為止的時間為To。
機種A的空氣操作閥10的Mo、To的具體例係以第7圖表示。
如第13圖所示，在前置工程中，進行Mo的解析，之後，計算求出最大值的平均值Mx，而記錄最大值的平均值Mx(S1、S2、S3、S6)。
最大值的平均值Mx的值省略了最低值Mo與最高值Mo而進行計算。由於最低值Mo與最高值Mo的雜訊最大，無法適當地求出平均值。在第7圖中，省略最低(4)的Mo為3.49×106 與最高的(6)的Mo為4.58×106 而進行計算。如此，產生的最大值的平均值Mx為3.91×106 。最大值的平均值Mx記錄於記憶體33。
如第13圖所示，進行To的解析，之後計算求出產生時間平均值Tx，並記錄產生時間平均值Tx(S1、S4、S5、S6)。
實測值的To短，波形的測定時間從數毫秒至數秒。因此，第7圖的Mo的(1)的波形放大而表示於第8圖。波形開始的時間為To(a)。波形結束的時間成為To(b)。空氣操作閥10產生的動作音結束為止的時間To係以To=To(a)-To(b)求出。
接著，求出成為To的平均值的產生時間平均值Tx。產生時間平均值Tx的值係省略最短To及最長To而計算。由於最短To及最長To的雜訊大，不適於求出平均值。在第7圖中，省略最長(9)的To為0.385及最短的(1)的To為0.362而計算。如此，得到的產生時間平均值Tx為0.367。產生時間平均值Tx係記錄於記憶體33。
<第一實施形態的空氣操作閥的診斷裝置及方法的作用效果>
在第14圖中，表示第一實施形態的空氣操作閥10的診斷方法的流程圖。
空氣操作閥10的診斷方法進行AE測定的判定方法，根據其結果進行綜合性地判定A～C的判斷的方法。
說明AE測定的判定方法。
在第一工程中而進行M1 及T1 的解析，之後，將確認工程中記錄於記憶體33的最大值的平均值Mx及產生時間平均值Tx輸入<式1>～<式6>中，而進行M1 及T1 的判定(S10、S11、S12、S13、S14、S15、S16)。
第一工程在空氣操作閥10安裝於製造裝置後做數萬次作動後才進行。在第一工程中，用與上述的Mo、To的解析、計算方法相同的方法進行M1 及T1 的解析(S10、S11、S14)。
M1 的判定方法係用以下所示的方法進行確認工程。
首先，以計算求出的M1 及最大值的平均值Mx計算出M1 /最大值的平均值Mx。
接著，用下述的式<式1>～<式3>計算M1 /最大值的平均值Mx，決定是判斷A、B、C(S13)。判斷A為M1 的判斷結果為全部為判斷A的情況。
判斷B為為M1 的判斷結果不是判斷C而判斷B為一個的情況。判斷C為M1 的判斷結果是判斷C為一個的情況。
<式1>
a1 ＜M1 /最大值的平均值Mx＜a2
只要M1 /最大值的平均值Mx的值在<式1>的範圍內，即為判斷A。
<式2>
a3 ＜M1 /最大值的平均值Mx≦a1
a2 ≦M1 /最大值的平均值Mx<a4
只要M1 /最大值的平均值Mx的值在<式2>的範圍內，即為判斷B。
<式3>
M1 /最大值的平均值Mx≦a3 、a4 ≦M1 /最大值的平均值Mx
只要M1 /最大值的平均值Mx的值在<式3>的範圍內，即為判斷C。
a3＜a1＜a2＜a4。ax(x=1～4)為各種變因變化的數值。該變因為隨著例如空氣操作閥的機種的不同、操作空氣壓力的不同、空氣操作閥設置場所等的變因。
ax的目標為例如a1 =0.20～1.00，a2 =1.00～5.00，a3 =0～0.50，a4 =2.00以上。但是雖然是目標，由於各種變因，數值會變化。
T1 的判定方法係用以下所示的方法進行確認工程。
首先，以計算求出的T1 及產生時間平均值Tx計算出T1 /產生時間平均值Tx。
接著，用下述的式<式4>～<式6>計算T1 /產生時間平均值Tx，決定是判斷A、B、C(S16)。判斷A為T1 的判斷結果為全部為判斷A的情況。
判斷B為為T1 的判斷結果不是判斷C而判斷B為一個的情況。判斷C為T1 的判斷結果是判斷C為一個的情況。
<式4>
b1 ＜Tl /產生時間平均值Tx＜b2
只要T1 /產生時間平均值Tx的值在<式4>的範圍內，即為判斷A。
<式5>
b3 ＜T1 /產生時間平均值Tx≦b1
b2 ≦T1 /產生時間平均值Tx＜b4
只要T1 /產生時間平均值Tx的值在<式5>的範圍內，即為判斷B。
<式6>
T1 /產生時間平均值Tx≦b3 、b4 ≦T1 /產生時間平均值Tx
只要T1 /產生時間平均值Tx的值在<式6>的範圍內，即為判斷C。
b3 ＜b1 ＜b2 ＜b4 。bx (x=1～4)為各種變因變化的數值。該變因為隨著例如空氣操作閥的機種的不同、操作空氣壓力的不同、空氣操作閥設置場所等的變因。
在確認工程中進行AE測定，綜合性地考察該結果而進行綜合判斷(S20)。
綜合判斷的判定基準，AE測定的結果全部判定為A時，由於為無異常，因此記錄成綜合判定A(S21、S24)。AE測定的結果為不是判斷C而是判斷B為一個的情況，其為必須觀察經過，在以後的診斷中必須檢驗，或一兩個月後必須再度進行檢驗，而記錄為綜合判定B(S22、S25)。AE測定的結果為判斷C是一個的情況下，其為異常，必須更換空氣操作閥10，記錄為綜合判斷C(S23、S26)。
根據第一工程進行的Mo、To的AE測定，計算求出最大值的平均值Mx，紀錄最大值的平均值Mx，又計算求出產生時間平均值Tx，紀錄產生時間平均值Tx(S27、S28、S29)。S27、S28、S29的工程與上述Mo、To的解析、計算方法所述的S3、S5、S6相同，因此省略其說明。
針對第14圖的外觀觀察的判定方法做說明(S30、S31)。外觀觀察的判定方法在空氣操作閥10的診斷方法中並非必要的方法，可以和AE測定的判定方法一起進行。
在空氣操作閥10安裝於製造裝置後，例如在數萬次作動後所進行的空氣操作閥10的診斷時，藉由觀察空氣操作閥10的外觀而決定是判斷A、B、C。
外觀觀察是在可以見到空氣操作閥10的全體的場所觀察全體並判斷。
藉由外觀觀察，在空氣操作閥10幾乎無變化時，成為判斷A。空氣操作閥10的銘板的文字、背景色消失時，或在空氣操作閥表面附著少量結晶等的異物時，成為判斷A或判斷B。在空氣操作閥10的蓋體變色時、汽缸變色時、安裝板變色時、從外觀確認金屬構件上生銹時、閥開閉之動作而從耳朵聽到產生異常音時、閥表面附著大量結晶時、其他異常產生時成為判斷B或判斷C。空氣操作閥10的蓋體產生龜裂時、汽缸產生龜裂時、指示器無法順利移動時成為判斷C。
判定基準為在確認項目中只有判斷A時，成為判斷A。在確認項目中無判斷C而是判斷B時，成為判斷B。在確認項目中即使只有一個判斷C時，成為判斷C。
(系統檢測)
空氣操作閥10有何種故障，為了重現主要的故障原因而製作故障樣本，檢測以上述判斷方法所做的判斷是實用的。
藉由該系統檢測，O形環的磨耗、活塞衝程的傾斜、卡死等原因所造成故障的空氣操作閥10可由上述判斷方法的判斷診斷並確認。
在第一實施形態中，具體地判斷出以下的故障。
例如，在第9圖中，判斷空氣操作閥10的彈簧14的腐蝕、活塞13的卡死、第一O形環20的變形。活塞13抵接於止動件26所發出的動作音的時間T１ 比第7圖的To的平均值Tx短。T1 短是由於活塞13無法全衝程開閉，活塞13無法全衝程開閉的原因推測為空氣操作閥10的彈簧14的腐蝕、活塞13的卡死或第一O形環20的變形的問題。
在第9圖的空氣操作閥10中，由於活塞13產生無法全衝程開閉，活塞13的指示器27從上方推壓，使活塞13成為不移動的狀態。
對於第9圖的M１ ，當由上述判斷方法進行判斷時，由於全部是判斷B，因此為判斷B。在已量測的M1 中，最高值(7)及最低值(10)由於在量測中有偏差，因此不包含於計算及判斷中。
第9圖的結果，在空氣操作閥10中，由於活塞13不會全衝程開閉，活塞13不會強力衝擊止動件26。因此，活塞13抵接於止動件26而發出的動作音M1 變小。因此，與第7圖的Mo比較，M1 變小。
對於第9圖的T1 ，當以上述判斷方法判斷時，除了從平均值省略的(6)以外，全部成為判斷C，由於判斷C在一個以上，因此其為判斷C。由於只要判斷C為一個以上即綜合性地成為判斷C，在產生判斷C時，可以結束量測。但是由於量測有偏差，不能只出現一次判斷C就停止量測，藉由進行複數次而提高判斷的可靠性。
第9圖的結果，在空氣操作閥10中，由於活塞13不會全衝程開閉，活塞13不會完全到達止動件26。因此活塞13抵接於止動件26而發出的動作音結束的時間T1 變短。因此，與第7圖的To比較，T1 會變短。
例如，在第10圖中，判斷為第一O形環20的磨耗及第一O形環20的損傷。活塞13抵接於止動件而發出的動作音M1 相對於第7圖不變，活塞13抵接於止動件26所發出的動作音的時間T1 比第7圖的To的平均值Tx短。雖然M1不變，但T1變長，操作埠空氣朝排氣埠8洩漏，考慮測定空氣的洩漏音。操作埠空氣洩漏至排氣埠8的原因推測為第一O形環20的磨耗及第一O形環20的損傷的問題。
在第10圖的空氣操作閥10中，為了產生操作埠空氣洩漏至排氣埠8的症狀，因此損傷O形環20，而成為操作埠空氣洩漏至排氣埠8的狀態。
對第10圖的M1 ，當以上述判斷方法判斷時，由於全部是判斷A，因此判斷A。在已量測的M1 中，最高值(3)及最低值(9)由於在量測中有偏差，因此不包含於計算及判斷中。即使操作埠空氣洩漏至排氣埠8，活塞13抵接於止動件26之際，也不會有影響。
對於第10圖的T1 ，當以上述判斷方法判斷時，全部成為判斷C，由於判斷C在一個以上，因此其為判斷C。由於只要判斷C為一個以上即綜合性地成為判斷C，在產生判斷C時，可以結束量測。但是由於量測有偏差，不能只出現一次判斷C就停止量測，藉由進行複數次而提高判斷的可靠性。
第10圖的結果，空氣操作閥10中，由於操作埠空氣洩漏至排氣埠8，在活塞13抵接於止動件26之後，AE感測器2量測到操作埠空氣洩漏至排氣埠8的洩漏音。因此，與第7圖的To比較，T1 變長。
(第二實施形態)
第二實施形態中的空氣操作閥10為與第7圖所示的機種A不同的機種B。由於第7圖及第11圖所使用的空氣操作閥10的機種不同，Mo、To也不同。於此，在第二實施形態中，使用與第一實施形態相同的Mo、To的解析、計算方法而求出Mo、To。
第12圖表示第11圖所示的機種B，產生操作埠空氣洩漏至排氣埠8的狀態的空氣操作閥10的解析結果。
而且，空氣操作閥10的全體構造及空氣操作閥10的診斷方法與第一實施形態相同而省略說明。
使用與第一實施形態相同的Mo、To的解析、計算方法所得到的結果表示於第11圖。在第11圖中，略去最低(6)的Mo與最高(9)的Mo而計算。因此，已算出的最大值的平均值Mx為3.73×105 。
在第11圖中，省略最短的(4)的To為0.9329，最長的(9)的To為2.198而計算。然後，算出的產生時間平均值Tx為1.047。
第11圖的空氣操作閥10與第7圖的空氣操作閥10為不同的機種而進行實驗。
例如，在第12圖中，判斷為活塞13的卡死。活塞13抵接於止動件26所產生的動作音結束為止的時間T1 與第11圖的比較不變，活塞13抵接於止動件26所發出的動作音的M1 比第7圖的Mo的平均值Mx短。雖然T1不變，但M1變短，活塞13無法順利地動作，活塞13無法順利地動作的原因推測為活塞13的卡死的問題。
在第12圖的空氣操作閥10中，為了產生操作埠空氣洩漏至排氣埠8的症狀，因此損傷O形環20，而成為操作埠空氣洩漏至排氣埠8的狀態。
對於第12圖的M1 ，當以上述判斷方法判斷時，除了從平均值省略的(7)以外，全部成為判斷C，由於判斷C在一個以上，因此其為判斷C。在已量測的M1 中，最高值(5)及最低值(7)由於在量測中有偏差，因此不包含於計算及判斷中。
針對第12圖的T1 ，當由上述判斷方法進行判斷時，可為判斷A及判斷B，由於判斷B為一個，因此成為判斷B。
第12圖的結果，空氣操作閥10由於活塞13無法順利地動作，活塞13抵接於止動件26時所發出的動作音變小，因此動作音結束的時間T1 也變短。因此，與第7圖的To比較，T1 變短。
(第三實施形態)
在第一實施形態及第二實施形態中，其為在空氣操作閥10的使用初期可測定時的有效方法，但在既有的設備等無初期資料的情況下，由以下的不進行前置工程的第三實施形態的方法。
第15圖表示空氣操作閥10在已安裝的狀態下進行綜合判斷之際的流程圖。
如第15圖所示，在第三實施形態中，與第14圖的第一實施形態不同的特徵為沒有在已安裝的設備中量測的最大值的平均值Mx及產生時間平均值Tx的初期資料。在第三實施形態中，由實驗所求得的最大值的平均值Mx及產生時間平均值Tx作為最大值的平均值Mx及產生時間平均值Tx而輸入(S40、S41)。
藉此，即使在已安裝的設備無初期資料的情況下，也可以AE測定步驟S10進行綜合判斷S20。
(1)由以上詳細的說明，根據用於確認本實施例的空氣操作閥10的動作狀態的空氣操作閥診斷方法，用於確認空氣操作閥的動作狀態，包括：一前置工程，在上述空氣操作閥的初期狀態中，使AE感測器2抵接於上述空氣操作閥10，在操作流體供給於上述空氣操作閥10的操作埠7時，或者是在操作流體做排氣時，量測、紀錄在開閉時所發出的聲音；一第一工程，在反覆上述空氣操作閥10的動作後，使AE感測器2抵接於上述空氣操作閥10，在操作流體供給於上述空氣操作閥10的操作埠7時，或者是在操作流體做排氣時，量測、紀錄在開閉時所發出的聲音；以及一確認工程，比較上述第一工程中所量測的值及上述前置工程所量測的值，而確認上述空氣操作閥10的動作狀態的變化。因此，藉由把握空氣操作閥10作動不良的前兆，可事先防範由空氣操作閥10的故障所導致的製造裝置的停止或生產線的停止。
(2)在(1)所記載的空氣操作閥的診斷方法中，空氣操作閥為液閥，第一工程係比較聲音的變化而由空氣操作閥10的動作狀態的變化預測空氣操作閥10的故障而判斷是否要交換。因此，藉由把握空氣操作閥10作動不良的前兆，可事先防範由空氣操作閥10的故障所導致的製造裝置的停止或生產線的停止。
又，空氣操作閥10的專家的發明人等可定期地進行維護。
(3)在(1)或(2)所記載的空氣操作閥的診斷方法中，在第一工程中，量測、紀錄的值為操作埠7供給操作流體時或操作流體排氣時的閥關閉時所發出的聲音的最大值的平均值，將確認工程中量測、紀錄的值與最大值的平均值做比較。因此，藉由把握空氣操作閥10作動不良的前兆，可事先防範由空氣操作閥10的故障所導致的製造裝置的停止或生產線的停止。
(4)在(1)或(2)所記載的空氣操作閥的診斷方法中，在第一工程中，量測、紀錄的值為產生時間平均值，其為從空氣操作閥10的聲音產生起至空氣操作閥10的聲音結束為止的時間平均值，將在確認工程中量測、記錄的值與產生時間平均值做比較。因此，藉由把握空氣操作閥10作動不良的前兆，可事先防範由空氣操作閥10的故障所導致的製造裝置的停止或生產線的停止。
(5)一種空氣操作閥的診斷裝置，監視空氣操作閥10的動作狀態，而用於確認空氣操作閥10的動作狀態的變化，包括：一量測裝置，使AE感測器2抵接於空氣操作閥10，而量測空氣操作閥開閉時所發出的聲音；一記錄裝置，紀錄由量測裝置所量測的量測結果；一裝置，比較記錄於將空氣操作閥10設置於製造裝置而進行量測的記錄裝置中的數值以及之後量測的數值而確認空氣操作閥10的動作狀態的變化。因此，藉由把握空氣操作閥10作動不良的前兆，可事先防範由空氣操作閥10的故障所導致的製造裝置的停止或生產線的停止。
(6)如(5)所記載之空氣操作閥的診斷裝置，空氣操作閥的診斷裝置為可攜式。在使用時將感測器設置於空氣操作閥即可，與習知得感測器經常設於空氣操作閥的狀態相比，無電力消耗。因此，可實現省能。
(7)如(5)所記載的空氣操作閥的診斷裝置，記錄裝置可指定出做為被判斷是否進行上述空氣操作閥10的交換的對相的空氣操作閥10，該空氣操作閥的診斷裝置更包括一通訊裝置，將與上述指定的空氣操作閥10相關而記錄於上述記錄裝置的量測結果輸送至外部。因此，藉由把握空氣操作閥10作動不良的前兆，可事先防範由空氣操作閥10的故障所導致的製造裝置的停止或生產線的停止。
又，藉由將Mo、To的大量的統計值移送至PC，累積Mo、To的資訊，而進行解析、研究，可進行更高精確度的判斷。
(8)適用於(1)至(4)所記載之空氣操作閥的診斷方法的空氣操作閥10中，在空氣操作閥10的側面形成使AE感測器2抵接的抵接部23a。因此，AE感測器2可經常設於相同的位置。因此，空氣操作閥10由於任何原因故障時，由聲音的變化可掌握空氣操作閥10的故障原因。而經常在相同的位置抵接，可穩定地檢測出聲音，可容易掌握聲音的變化。
又，由於抵接部23a在內側被切削，接近活塞13與止動件26衝擊的部分，可辨識活塞13與止動件26衝擊所產生的聲音。因此，即使不在空氣操作閥10上設置習知技術所使用的振動體，也可以由AE感測器2辨識聲音
又，本發明並不限於上述的實施形態而可做各種應用。
例如，操作流體不限於空氣，氮氣亦可。
又，在第一實施形態至第三實施形態中，雖然「操作埠供給操作流體或操作流體排氣時閥開閉所發出的聲音」具體地使用空氣操作閥的活塞衝擊止動件時產生的動作音做說明，但由其他的空氣的供排氣音、彈簧的伸縮音、O形環的摩擦音等進行空氣操作閥10的診斷。
又，對於閥關閉之際的聲音，與閥打開之際的聲音相同，由AE感測器2量測、紀錄，藉此可進行空氣操作閥10的診斷。
又，在第一實施形態至第三實施形態中，雖然是以AE感測器2抵接於空氣操作閥10的抵接部23a而檢測出聲音，但只要是可檢測出聲音，AE感測器2抵接於任何位置皆可。
又，在第一實施形態至第三實施形態中，雖然空氣操作閥10在安裝於製造裝置的狀態下進行診斷，但在診斷後將空氣操作閥10拆下的狀態下進行診斷亦可。即，藉由診斷後將空氣操作閥10拆下而進行診斷，可對故障原因做詳細的解析。藉由對故障原因做詳細的解析，可提升AE感測器的診斷的精度。
1．．．控制部
2．．．AE感測器
5．．．電磁閥
6．．．減壓閥
7．．．操作埠
8．．．排氣埠
9．．．AC萬能插座
10．．．空氣操作閥
11A．．．操作埠側空氣配管
11B．．．操作埠側空氣配管
13．．．活塞
14．．．止動件
15．．．隔膜閥體
16．．．閥座
17．．．輸入埠
18．．．輸出埠
20．．．第一O形環
21．．．排氣室
22．．．操作室
23．．．致動部
23a．．．抵接部
24．．．本體
25．．．第二O形環
26．．．止動件
27．．．指示器
28．．．蓋體
31．．．CPU
32．．．ROM
33．．．記憶體
40．．．空氣操作閥診斷量測裝置
41．．．液晶畫面
42．．．按鍵
43．．．連接端子
45．．．識別番號
46．．．日期時間
47．．．輸出資料
第1圖為表示空氣操作閥診斷裝置的構造的方塊圖。
第2圖為表示空氣操作閥診斷裝置的控制部的方塊圖。
第3圖為成為診斷對象的空氣操作閥的正視圖。
第4圖為成為診斷對象的空氣操作閥的右側視圖。
第5圖為表示成為診斷對象的空氣操作閥的構造的剖視圖。
第6圖為在空氣操作閥診斷所使用的空氣操作閥診斷量測裝置的外觀圖。
第7圖為第一實施形態的機種在正常狀態下的AE波形圖。
第8圖為第一實施形態中的第7圖的(1)的To的放大圖。
第9圖為第一實施形態的機種的活塞無法全衝程的狀況的AE波形的圖。
第10圖為第一實施形態的機種的操作埠的空氣朝排氣埠洩漏的症狀的AE波形圖。
第11圖為第二實施形態的機種在正常狀態下的AE波形圖。
第12圖為第二實施形態的機種的空氣操作閥無法順利地動作的症狀的AE波形圖。
第13圖為安裝於空氣操作閥的製造裝置可進行AE測定的流程圖。
第14圖為反覆使用空氣操作閥後進行綜合判斷之際的流程圖。
第15圖為空氣操作閥在安裝後的狀態下進行綜合判斷之際的流程圖。
1．．．控制部
2．．．AE感測器
5．．．電磁閥
6．．．減壓閥
7．．．操作埠
8．．．排氣埠
9．．．AC萬能插座
10．．．空氣操作閥
11A．．．操作埠側空氣配管
11B．．．操作埠側空氣配管。

Claims (8)

  1. 一種空氣操作閥的診斷方法，用於確認空氣操作閥的動作狀態，包括：一前置工程，上述空氣操作閥為液閥，在上述空氣操作閥的初期狀態中，使AE感測器抵接於上述空氣操作閥，在操作流體供給於上述空氣操作閥的操作埠時，或者是在操作流體做排氣時，量測、紀錄在開閉時上述空氣操作閥的動作所發出的聲音；一第一工程，在反覆上述空氣操作閥的動作後，使AE感測器抵接於上述空氣操作閥，在操作流體供給於上述空氣操作閥的操作埠時，或者是在操作流體做排氣時，量測、紀錄在開閉時上述空氣操作閥的動作所發出的聲音；以及一確認工程，比較上述第一工程中所量測的值及上述前置工程所量測的值，而根據上述空氣操作閥的動作狀態的變化，預測上述空氣操作閥的故障並判斷是否要更換；由於根據比較上述空氣操作閥的動作所發出之聲音以預測上述空氣操作閥的故障，可不用振動體進行診斷；上述空氣操作閥的動作所發出之聲音為，於構成上述空氣操作閥之致動部內部被保持為可朝上下方向滑動的活塞於滑動時衝擊止動件時的聲音、卡合上述活塞的隔膜閥體抵接於閥座時的聲音、操作流體的吸排氣的聲音、抵接於上述致動部及上述活塞的彈簧的收縮的聲音、以及安裝於上述活塞的O形環的摩擦音。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之空氣操作閥的診斷方 法，其中在上述第一工程中，量測、紀錄的值為操作埠供給操作流體時或操作流體排氣時的閥關閉時所發出的聲音的最大值的平均值，將上述確認工程中量測、紀錄的值與上述最大值的平均值做比較。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之空氣操作閥的診斷方法，其中在上述第一工程中，量測、紀錄的值為產生時間平均值，其為從上述空氣操作閥的聲音產生起至上述空氣操作閥的聲音結束為止的時間平均值，將在上述確認工程中量測、記錄的值與上述產生時間平均值做比較。
  4. 一種空氣操作閥的診斷裝置，監視空氣操作閥的動作狀態，而用於確認上述空氣操作閥的動作狀態的變化，包括：一量測裝置，上述空氣操作閥為液閥，在上述空氣操作閥的初期狀態中，使AE感測器抵接於上述空氣操作閥，在供給操作流體於上述空氣操作閥的操作埠時，或是在操作流體做排氣時，量測在開閉時上述空氣操作閥的動作所發出的聲音(前置工程)，以及在反覆上述空氣操作閥的動作後，使AE感測器抵接於上述空氣操作閥，在操作流體供給於上述空氣操作閥的操作埠時，或者是在操作流體做排氣時，量測在開閉時上述空氣操作閥的動作所發出的聲音(第一工程)；一記錄裝置，紀錄由上述量測裝置所量測的量測結果；一確認裝置，比較將上述空氣操作閥設置於製造裝置之上述第一工程中所進行量測的數值以及上述前置工程所 量測的數值，而根據上述空氣操作閥的動作狀態的變化，預測上述空氣操作閥的故障並判斷是否要更換；由於根據比較上述空氣操作閥的動作所發出之聲音以預測上述空氣操作閥的故障，可不用振動體進行診斷；上述空氣操作閥的動作所發出之聲音為，於構成上述空氣操作閥之致動部內部被保持為可朝上下方向滑動的活塞於滑動時衝擊止動件時的聲音、卡合上述活塞的隔膜閥體抵接於閥座時的聲音、操作流體的吸排氣的聲音、抵接於上述致動部及上述活塞的彈簧的收縮的聲音、以及安裝於上述活塞的O形環的摩擦音。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之空氣操作閥的診斷裝置，其中上述空氣操作閥的診斷裝置為可攜式。
  6. 如申請專利範圍第4項所述之空氣操作閥的診斷裝置，其中，上述記錄裝置可指定出做為被判斷是否進行上述空氣操作閥的交換的對相的空氣操作閥，該空氣操作閥的診斷裝置更包括一通訊裝置，將與上述指定的空氣操作閥相關而記錄於上述記錄裝置的量測結果輸送至外部。
  7. 一種空氣操作閥，適用於申請專利範圍第1項所述之空氣操作閥的診斷方法，在上述空氣操作閥的側面形成使上述AE感測器抵接的抵接部。
  8. 一種空氣操作閥，適用於申請專利範圍第2項所述之空氣操作閥的診斷方法，在上述空氣操作閥的側面形成使上述AE感測器抵接的抵接部。
TW098134917A 2008-11-14 2009-10-15 Air operated valve diagnostic method, air operated valve diagnostic device and air operated valve TWI482955B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008292806A JP5399687B2 (ja) 2008-11-14 2008-11-14 エアオペレートバルブ診断方法及びエアオペレートバルブ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201020534A TW201020534A (en) 2010-06-01
TWI482955B true TWI482955B (zh) 2015-05-01

Family

ID=42279406

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW098134917A TWI482955B (zh) 2008-11-14 2009-10-15 Air operated valve diagnostic method, air operated valve diagnostic device and air operated valve

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5399687B2 (zh)
KR (1) KR20100054733A (zh)
CN (1) CN101738330A (zh)
TW (1) TWI482955B (zh)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2614281B1 (de) * 2010-09-09 2015-01-14 GEA Tuchenhagen GmbH Diagnose-verfahren für hubventile und messeinrichtung zu seiner durchführung
CN102734528B (zh) * 2012-06-08 2013-09-04 绍兴文理学院 一种智能检测并修复液压阀卡紧故障的方法
CN102734527B (zh) * 2012-06-08 2013-09-04 绍兴文理学院 一种检测并修复液压阀卡紧故障的方法
CN103115765A (zh) * 2013-01-28 2013-05-22 苏州宇东暖通技术有限公司 一种阀门测试台架
JP6289196B2 (ja) * 2014-03-20 2018-03-07 原子燃料工業株式会社 スイング逆止弁の診断方法
TWI551801B (zh) * 2015-03-24 2016-10-01 洪斐喆 控制閥檢測方法
CN105333207B (zh) * 2015-12-11 2018-08-24 中国航空工业集团公司西安飞机设计研究所 一种基于流量调节的引气活门
JP6674340B2 (ja) 2016-06-29 2020-04-01 Ckd株式会社 センサ付き流体制御弁
CN106679948B (zh) * 2016-12-15 2019-02-19 北京航天测控技术有限公司 一种快速阀在线故障诊断方法
JP7136469B2 (ja) 2017-06-30 2022-09-13 株式会社フジキン 流体駆動弁
JP7043197B2 (ja) * 2017-07-28 2022-03-29 キヤノン株式会社 情報処理システム、生産システム、物品の製造方法、制御方法、プログラム、記録媒体、情報処理装置
CN111337242B (zh) * 2020-05-20 2020-09-11 天津美腾科技股份有限公司 喷吹设备检测方法及物料分选系统
JP7356956B2 (ja) 2020-08-26 2023-10-05 日立Ｇｅニュークリア・エナジー株式会社 異常予兆診断装置およびその診断方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06140295A (ja) * 1992-10-23 1994-05-20 Fujitsu Ltd ガス供給監視装置及び方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61243359A (ja) * 1985-04-19 1986-10-29 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 内燃機関の弁の吹き抜け監視装置
JPH01124739A (ja) * 1987-11-10 1989-05-17 Toshiba Corp 弁漏洩検出装置
JPH0781932B2 (ja) * 1987-12-14 1995-09-06 三菱重工業株式会社 排気弁の故障診断方法
JPH02222823A (ja) * 1989-01-06 1990-09-05 Toshiba Corp 可搬型リーク検出装置
JPH0527650U (ja) * 1991-09-20 1993-04-09 川鉄アドバンテツク株式会社 Ａｅセンサー用探触器
JPH07159285A (ja) * 1993-12-13 1995-06-23 Toshiba Corp 弁の動特性診断装置
JPH07253353A (ja) * 1994-03-15 1995-10-03 Tlv Co Ltd 振動測定装置
JP3273342B2 (ja) * 1994-03-15 2002-04-08 株式会社テイエルブイ 振動測定装置
JP2781526B2 (ja) * 1994-11-28 1998-07-30 シーケーディ株式会社 エアーオペレートバルブ
JP2002005334A (ja) * 2000-06-20 2002-01-09 Nichigi Engineering Co Ltd ダイヤフラム弁装置における異常検知装置
JP3411980B2 (ja) * 2000-10-25 2003-06-03 日本原子力発電株式会社 弁装置における異常診断及び劣化予測方法並びに装置
JP2002174358A (ja) * 2000-12-08 2002-06-21 Smc Corp 故障診断機能付電磁弁
JP3668169B2 (ja) * 2001-09-17 2005-07-06 日本原子力発電株式会社 制御弁の作動診断装置
JP2004019792A (ja) * 2002-06-17 2004-01-22 Advance Denki Kogyo Kk ダイヤフラム弁の透過ガス排出構造
JP3873020B2 (ja) * 2002-11-22 2007-01-24 甲南電機株式会社 アクチュエータの作動状況検出装置、及び作動状況検出方法
JP4310532B2 (ja) * 2002-11-27 2009-08-12 Ｓｍｃ株式会社 流量調整弁
WO2005078544A1 (en) * 2004-02-05 2005-08-25 Rosemount Inc. Emergency shutdown valve diagnostics using a pressure transmitter
JP4795855B2 (ja) * 2006-06-09 2011-10-19 日本原子力発電株式会社 プラントにおける電磁弁の検査方法および装置
JP5107688B2 (ja) * 2007-12-04 2012-12-26 関東化学株式会社 エアオペレートバルブ診断方法、及びエアオペレートバルブ診断装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06140295A (ja) * 1992-10-23 1994-05-20 Fujitsu Ltd ガス供給監視装置及び方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP5399687B2 (ja) 2014-01-29
TW201020534A (en) 2010-06-01
JP2010117330A (ja) 2010-05-27
KR20100054733A (ko) 2010-05-25
CN101738330A (zh) 2010-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI482955B (zh) Air operated valve diagnostic method, air operated valve diagnostic device and air operated valve
US11761556B2 (en) Valve wear state grasping method and system using valve stem angular velocity
US8898036B2 (en) Process variable transmitter with acceleration sensor
US7869971B2 (en) Safety valve testing
CN101213371B (zh) 真空管道及其监测方法
US9726643B2 (en) Gate valve real time health monitoring system, apparatus, program code and related methods
US8768631B2 (en) Diagnostic method for detecting control valve component failure
EP2734764B1 (en) Control valve monitoring system
WO2006099622A2 (en) Reciprocating pump performance prediction
EP1859184B1 (en) Safety valve testing
JP2010054434A (ja) 弁診断方法及び弁診断装置
JP7265251B2 (ja) 流体制御機器の動作分析システム、流体制御機器の動作分析方法、及びコンピュータプログラム
US20010031203A1 (en) Valve for sensing at least one condition within a compressor
JP2009138806A (ja) エアオペレートバルブ診断方法、及びエアオペレートバルブ診断装置
JP7356956B2 (ja) 異常予兆診断装置およびその診断方法
JP7221857B2 (ja) 異常検出装置および異常検出方法
RU2190839C1 (ru) Способ оценки технического состояния и остаточного ресурса пневмогидравлических агрегатов
KR20230067141A (ko) 선박용 유압 축압기의 고장 예측 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees