JPH06140295A - ガス供給監視装置及び方法 - Google Patents
ガス供給監視装置及び方法Info
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- JPH06140295A JPH06140295A JP28636392A JP28636392A JPH06140295A JP H06140295 A JPH06140295 A JP H06140295A JP 28636392 A JP28636392 A JP 28636392A JP 28636392 A JP28636392 A JP 28636392A JP H06140295 A JPH06140295 A JP H06140295A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明はガス供給監視装置に関し、異常を早
期に検出することを目的とする。 【構成】 定量ガス供給装置３は、所定流量のガスを処
理装置１に供給し続ける。ＡＥセンサ２１を、定量ガス
供給装置３自体に設ける。このＡＥセンサ２１の出力に
基づいて、異常検出手段２２が異常を検出するよう構成
する。
期に検出することを目的とする。 【構成】 定量ガス供給装置３は、所定流量のガスを処
理装置１に供給し続ける。ＡＥセンサ２１を、定量ガス
供給装置３自体に設ける。このＡＥセンサ２１の出力に
基づいて、異常検出手段２２が異常を検出するよう構成
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガス供給監視装置及び方
法に係り、特に半導体ウェハの処理を行う処理装置への
プロセスガスの供給状況を監視する装置に関する。
法に係り、特に半導体ウェハの処理を行う処理装置への
プロセスガスの供給状況を監視する装置に関する。
【０００２】半導体ウェハの処理においては、所定量の
プロセスガスが正常に供給されていることが、製品の歩
留りを向上させる上で重要である。
プロセスガスが正常に供給されていることが、製品の歩
留りを向上させる上で重要である。
【０００３】このため、処理装置へプロセスガスを供給
するプロセスガス供給装置には、ガスの供給状況を監視
する装置が備えられている。
するプロセスガス供給装置には、ガスの供給状況を監視
する装置が備えられている。
【０００４】このガス供給監視装置は、異常となったこ
とを出来るだけ早期に検出できるものであることが望ま
しい。検出が遅れると、その分、製品の歩留りが低下し
てしまうからである。
とを出来るだけ早期に検出できるものであることが望ま
しい。検出が遅れると、その分、製品の歩留りが低下し
てしまうからである。
【０００５】
【従来の技術】図７は従来のガス供給監視装置を示す。
図中、１は半導体ウェハの処理を行う処理装置、２はプ
ロセスガス源である。
図中、１は半導体ウェハの処理を行う処理装置、２はプ
ロセスガス源である。
【０００６】３は定量ガス供給装置であり、プロセスガ
ス源２から処理装置１へ到る配管４の途中に設けてあ
り、マスフローコントローラ（ＭＦＣ）５、空気作動弁
６，７、電磁弁８、圧縮空気源９等よりなる構成であ
る。
ス源２から処理装置１へ到る配管４の途中に設けてあ
り、マスフローコントローラ（ＭＦＣ）５、空気作動弁
６，７、電磁弁８、圧縮空気源９等よりなる構成であ
る。
【０００７】ＣＰＵ１０からの設定信号によって、ＭＦ
Ｃ５は流す流量が所定の値となるように設定される。
Ｃ５は流す流量が所定の値となるように設定される。
【０００８】またＣＰＵ１０からの開閉弁信号によっ
て、電磁弁８が開弁又は閉弁される。電磁弁８が開弁さ
れると、空気作動弁６，７が圧縮空気源９よりの圧縮空
気によって開弁される。
て、電磁弁８が開弁又は閉弁される。電磁弁８が開弁さ
れると、空気作動弁６，７が圧縮空気源９よりの圧縮空
気によって開弁される。
【０００９】弁６，７が開弁されているとき、ＭＦＣ５
によって定められた流量のプロセスガスが処理装置１に
供給される。
によって定められた流量のプロセスガスが処理装置１に
供給される。
【００１０】１１はピラニ真空計であり、処理装置１の
内部に設けてある。
内部に設けてある。
【００１１】定量ガス供給装置３が故障を起こし、処理
装置１内へ供給されるプロセスガスの流量が異常となる
と、処理装置１内の真空度が多少変化し、ピラニ真空計
１１がこのことを検出し、警報装置１２が動作し、異常
を知らせる。
装置１内へ供給されるプロセスガスの流量が異常となる
と、処理装置１内の真空度が多少変化し、ピラニ真空計
１１がこのことを検出し、警報装置１２が動作し、異常
を知らせる。
【００１２】即ち、従来の装置は、処理装置１の内部に
設けたピラニ真空計１１が真空度の異常を検出したとき
に警報を発する構成である。
設けたピラニ真空計１１が真空度の異常を検出したとき
に警報を発する構成である。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】ピラニ真空計１１が異
常を検出するのは、定量ガス供給装置３に異常が生じ、
これによって配管４に送り出されるガスの流量が変化
し、処理装置１内へ供給されるガスの流量が変化し、こ
の影響が処理装置１内に徐々に広がり、処理装置１内の
真空度が変化し、ピラニ真空計１１に及んだ時点であ
る。
常を検出するのは、定量ガス供給装置３に異常が生じ、
これによって配管４に送り出されるガスの流量が変化
し、処理装置１内へ供給されるガスの流量が変化し、こ
の影響が処理装置１内に徐々に広がり、処理装置１内の
真空度が変化し、ピラニ真空計１１に及んだ時点であ
る。
【００１４】このため、異常が検出されるのは、図８に
示すように、定量ガス供給装置３に異常が生じた時点か
ら、相当の時間Ｔ1 遅れてしまう。
示すように、定量ガス供給装置３に異常が生じた時点か
ら、相当の時間Ｔ1 遅れてしまう。
【００１５】この結果、異常が検出された後に直ちに適
切な措置をとったとしても、異常が検出される直前に処
理されたウェハは不良となってしまい、製品の歩留りが
低下してしまう。
切な措置をとったとしても、異常が検出される直前に処
理されたウェハは不良となってしまい、製品の歩留りが
低下してしまう。
【００１６】そこで、本発明は、定量ガス供給装置にＡ
Ｅ（Acoustic Emission)センサを設けて直接ガス流量を
監視し定量ガス供給装置が異常となったことを検出する
ようにして、異常を早期に検出することを実現したガス
供給監視装置を提供することを目的とする。
Ｅ（Acoustic Emission)センサを設けて直接ガス流量を
監視し定量ガス供給装置が異常となったことを検出する
ようにして、異常を早期に検出することを実現したガス
供給監視装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】図１に、本発明のガス供
給監視装置２０及び方法の原理構成を示す。
給監視装置２０及び方法の原理構成を示す。
【００１８】図中、図７に示す構成部分と対応する部分
には同一符号を付す。
には同一符号を付す。
【００１９】２１はＡＥ（Acoustic Emission)センサで
あり、定量ガス供給装置３に取り付けられて設けてあ
る。このＡＥセンサ２１は、装置３の動作状態に対応し
た電圧波形（ＡＥ信号）を出力する。
あり、定量ガス供給装置３に取り付けられて設けてあ
る。このＡＥセンサ２１は、装置３の動作状態に対応し
た電圧波形（ＡＥ信号）を出力する。
【００２０】２２は異常検出手段であり、ＡＥセンサ２
１の出力を入力され、このＡＥセンサ２１の出力に基づ
いて、定量ガス供給装置３の動作が異常となったことを
検出する。
１の出力を入力され、このＡＥセンサ２１の出力に基づ
いて、定量ガス供給装置３の動作が異常となったことを
検出する。
【００２１】
【作用】定量ガス供給装置３にＡＥセンサ２１を設け、
このＡＥセンサ２１の出力に基づいて動作異常を検出す
る構成は、定量ガス供給装置３の動作が異常となった時
点でこのことが検出されるように作用する。
このＡＥセンサ２１の出力に基づいて動作異常を検出す
る構成は、定量ガス供給装置３の動作が異常となった時
点でこのことが検出されるように作用する。
【００２２】
【実施例】図２は本発明の一実施例になるガス供給監視
装置３０を示す。
装置３０を示す。
【００２３】図中、図１及び図７に示す構成部分と対応
する部分には同一符号を付す。
する部分には同一符号を付す。
【００２４】２１-1，２１-2，２１-3，２１-4はＡＥセ
ンサであり、夫々空気作動弁６、ＭＦＣ５、空気作動弁
７、電磁弁８に取り付けられてある。
ンサであり、夫々空気作動弁６、ＭＦＣ５、空気作動弁
７、電磁弁８に取り付けられてある。
【００２５】ＡＥセンサ２１-1〜２１-4は、圧電セラミ
ックスが組込まれた構造であり、弁６，７，８の動作及
びＭＦＣ５の動作、及び弁６，７及びＭＦＣ５内のガス
の流れによって生ずる振動が圧電セラミックスに機械的
応力として加わり、圧電セラミックスに誘電分極を生
じ、電界が発生するものである。例えば、弁６が開弁
し、プロセスガスが流れたときには、ＡＥセンサ２１-1
は、電圧信号である図３（Ａ）に示すＡＥ信号を出力す
る。
ックスが組込まれた構造であり、弁６，７，８の動作及
びＭＦＣ５の動作、及び弁６，７及びＭＦＣ５内のガス
の流れによって生ずる振動が圧電セラミックスに機械的
応力として加わり、圧電セラミックスに誘電分極を生
じ、電界が発生するものである。例えば、弁６が開弁
し、プロセスガスが流れたときには、ＡＥセンサ２１-1
は、電圧信号である図３（Ａ）に示すＡＥ信号を出力す
る。
【００２６】図中、符号３１は開弁動作によるＡＥ信号
波形であり、これに続く、符号３２はプロセスガスの流
れによるＡＥ信号波形である。電圧振幅はＡ1 ＞Ａ2 で
ある。
波形であり、これに続く、符号３２はプロセスガスの流
れによるＡＥ信号波形である。電圧振幅はＡ1 ＞Ａ2 で
ある。
【００２７】また、ＭＦＣ５内をプロセスガスが流れた
ときには、ＡＥセンサ２１-2は、図３（Ｂ）又は（Ｃ）
に示すＡＥ信号波形３３，３４を出力する。
ときには、ＡＥセンサ２１-2は、図３（Ｂ）又は（Ｃ）
に示すＡＥ信号波形３３，３４を出力する。
【００２８】図３（Ｂ）はプロセスガスの流量がＱ1 ｌ
／min の場合であり、図３（Ｃ）は流量がＱ1 より多い
Ｑ2 ｌ／min の場合である。電圧振幅は、Ａ4 ＞Ａ3 で
ある。
／min の場合であり、図３（Ｃ）は流量がＱ1 より多い
Ｑ2 ｌ／min の場合である。電圧振幅は、Ａ4 ＞Ａ3 で
ある。
【００２９】上記より分かるように、電圧振幅はガス流
量に略比例する。
量に略比例する。
【００３０】弁６，７又はＭＦＣ５に異常が生じ、ここ
を流れるガス流量が変化すると、ＡＥセンサ２１-1，２
１-3，２１-2のＡＥ信号波形が変化する。
を流れるガス流量が変化すると、ＡＥセンサ２１-1，２
１-3，２１-2のＡＥ信号波形が変化する。
【００３１】図３（Ｄ）は、例えば、弁６に、時刻ｔ8
で異常が発生し、弁６内を流れるプロセスガスの流量が
減った場合の、ＡＥセンサ２１-1のＡＥ信号波形であ
る。
で異常が発生し、弁６内を流れるプロセスガスの流量が
減った場合の、ＡＥセンサ２１-1のＡＥ信号波形であ
る。
【００３２】ＡＥ信号波形３５は、弁６に異常が発生し
た時刻ｔ1 に対して遅れることなく、これと同じ時刻ｔ
1 から、ＡＥ信号波形３６に変化する。電圧振幅は、Ａ
6 ＜Ａ5 である。
た時刻ｔ1 に対して遅れることなく、これと同じ時刻ｔ
1 から、ＡＥ信号波形３６に変化する。電圧振幅は、Ａ
6 ＜Ａ5 である。
【００３３】図３（Ｅ）は、例えば、ＭＦＣ５に、時刻
ｔ2 で異常が発生し、ＭＦＣ５内を流れるプロセスガス
の流量が減った場合のＡＥセンサ２１-2のＡＥ信号波形
である。
ｔ2 で異常が発生し、ＭＦＣ５内を流れるプロセスガス
の流量が減った場合のＡＥセンサ２１-2のＡＥ信号波形
である。
【００３４】ＡＥ信号波形３７は、ＭＦＣ５に異常が発
生した時刻ｔ2 に対して遅れることなく、これと同じ時
刻ｔ2 から、ＡＥ信号波形３８に変化する。電圧振幅は
Ａ8＜Ａ7 である。
生した時刻ｔ2 に対して遅れることなく、これと同じ時
刻ｔ2 から、ＡＥ信号波形３８に変化する。電圧振幅は
Ａ8＜Ａ7 である。
【００３５】図２中、４０はＡＥ計測装置であり、図３
のＡＥ波形を「０」，「１」の数値データに変換する。
のＡＥ波形を「０」，「１」の数値データに変換する。
【００３６】４１はマイクロコンピュータであり、ＣＰ
Ｕ４２、入口出力部４３、メモリ４４よりなり、ＡＥ計
測装置４０から供給されるデータの評価を行い、定量ガ
ス供給装置３の動作の異常を検出する。
Ｕ４２、入口出力部４３、メモリ４４よりなり、ＡＥ計
測装置４０から供給されるデータの評価を行い、定量ガ
ス供給装置３の動作の異常を検出する。
【００３７】上記メモリ４４には、後述する各評価パラ
メータの評価基準値であるマスタデータ及び処理装置１
が行う処理レシピが予め格納されている。なお、マスタ
データは、処理レシピ毎に相違している。
メータの評価基準値であるマスタデータ及び処理装置１
が行う処理レシピが予め格納されている。なお、マスタ
データは、処理レシピ毎に相違している。
【００３８】上記のＡＥ計測装置４０及びマイクロコン
ピュータ４１が異常検出手段２２を構成する。
ピュータ４１が異常検出手段２２を構成する。
【００３９】次に、ガス供給を監視する動作について説
明する。
明する。
【００４０】まず、ＡＥセンサ２１-1〜２１-4からの
ＡＥ信号に関して評価するパラメータについて説明す
る。
ＡＥ信号に関して評価するパラメータについて説明す
る。
【００４１】図４に示すように、ＡＥ信号５０に関して
評価するパラメータは、例えば (i) リングダウンカウント (ii) ピーク値 (iii) 立上り時間 (iV) 接続時間 である。リングダウンカウントは、閾値電圧Ｖｓを決
め、山の数をカウントして行う。 次に、マイクロコンピュータ４１の動作について、図
５を参照して説明する。
評価するパラメータは、例えば (i) リングダウンカウント (ii) ピーク値 (iii) 立上り時間 (iV) 接続時間 である。リングダウンカウントは、閾値電圧Ｖｓを決
め、山の数をカウントして行う。 次に、マイクロコンピュータ４１の動作について、図
５を参照して説明する。
【００４２】まず、ＡＥ計測装置４０からのＡＥ信号波
形の数値データをとり込む（ＳＴ１）。
形の数値データをとり込む（ＳＴ１）。
【００４３】次いで、取り込んだＡＥ信号数値データを
信号処理して、雑音を除去する（ＳＴ２）。
信号処理して、雑音を除去する（ＳＴ２）。
【００４４】次いで、取り込んだＡＥ信号数値データよ
り図４の評価パラメータ（リングダウンカウント、ピー
ク値、立上り時間、接続時間）を抽出する（ＳＴ３）。
り図４の評価パラメータ（リングダウンカウント、ピー
ク値、立上り時間、接続時間）を抽出する（ＳＴ３）。
【００４５】また、処理装置１が現在行っている処理レ
シピに対応するマスタデータをメモリ４４から取り込む
（ＳＴ４）。
シピに対応するマスタデータをメモリ４４から取り込む
（ＳＴ４）。
【００４６】次に、ステップＳＴ３で抽出した評価パラ
メータを、ステップＳＴ４が取り込んだマスタデータと
比較して、各評価パラメータが規格内であるか否かを判
断する（ＳＴ５）。
メータを、ステップＳＴ４が取り込んだマスタデータと
比較して、各評価パラメータが規格内であるか否かを判
断する（ＳＴ５）。
【００４７】判断結果が「ＹＥＳ」の場合には、処理装
置１からの情報に基づいて、ウェハ処理が終了したか否
かを判断する（ＳＴ６）。
置１からの情報に基づいて、ウェハ処理が終了したか否
かを判断する（ＳＴ６）。
【００４８】判断結果が「ＮＯ」の場合には、ステップ
ＳＴ１に戻り上記の動作を再度行う。
ＳＴ１に戻り上記の動作を再度行う。
【００４９】判断結果が「ＹＥＳ」の場合には、マイク
ロコンピュータ４１の動作は終了する。
ロコンピュータ４１の動作は終了する。
【００５０】次に、上記評価パメラータが規格から外れ
ていた場合について説明する。
ていた場合について説明する。
【００５１】この場合には、上記のステップＳＴ５の判
断結果が「ＮＯ」となる。
断結果が「ＮＯ」となる。
【００５２】このときには、この時点のＡＥ信号数値デ
ータをメモリ４４に記憶させる（ＳＴ７）。
ータをメモリ４４に記憶させる（ＳＴ７）。
【００５３】続いて、警報信号を出力する（ＳＴ８）。
【００５４】この信号は、図２中表示装置６０に送ら
れ、ここに警報が表示される。
れ、ここに警報が表示される。
【００５５】また、緊急停止信号を出力する（ＳＴ
９）。
９）。
【００５６】この信号は、図２中処理装置１に送られ、
処理装置１は動作を緊急に停止する。
処理装置１は動作を緊急に停止する。
【００５７】次に、定量ガス供給装置３に異常が発生
した時点、警報表示の時点、緊急停止の時点との関係
を、図６を参照する。
した時点、警報表示の時点、緊急停止の時点との関係
を、図６を参照する。
【００５８】例えば時刻ｔ1 で弁６に異常が発生したと
仮定する。
仮定する。
【００５９】ＡＥセンサ２１-1のＡＥ信号波形は、弁６
が異常となったと同時に、符号３５から符号３６で示す
状態となる。マイクロコンピュータ４１は、直ちに警報
信号及び緊急停止信号を出力する。これにより、上記時
刻ｔ1 に対して遅れることなく、警報表示がなされ、且
つ装置１が緊急停止される。
が異常となったと同時に、符号３５から符号３６で示す
状態となる。マイクロコンピュータ４１は、直ちに警報
信号及び緊急停止信号を出力する。これにより、上記時
刻ｔ1 に対して遅れることなく、警報表示がなされ、且
つ装置１が緊急停止される。
【００６０】即ち、処理装置１内の雰囲気が異常となる
前の時点で、警報表示がなされ、且つ装置１が停止され
る。
前の時点で、警報表示がなされ、且つ装置１が停止され
る。
【００６１】このため、処理を行っているウェハが不良
となってしまうことがなく、歩留りは低下しない。
となってしまうことがなく、歩留りは低下しない。
【００６２】また、上記異常に対する措置を早期にとる
ことが出来る。
ことが出来る。
【００６３】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、直接ガス流量を監視して定量ガス供給手段の動
作が異常となった時点で異常を検出することが出来、然
して、定量ガス供給手段が異常となったことによる影響
が処理装置に及ぶ以前に異常を検出することが出来る。
よれば、直接ガス流量を監視して定量ガス供給手段の動
作が異常となった時点で異常を検出することが出来、然
して、定量ガス供給手段が異常となったことによる影響
が処理装置に及ぶ以前に異常を検出することが出来る。
【００６４】請求項２の発明によれば、定量ガス供給手
段が異常となったことによる影響が処理装置に及ぶ以前
に、即ち処理装置内のガスの雰囲気が異常となる以前の
時点で処理装置の動作を停止させることが出来る。これ
により、処理中の物が不良品となってしまうことが無
く、製品の歩留りが低下することを防止できる。
段が異常となったことによる影響が処理装置に及ぶ以前
に、即ち処理装置内のガスの雰囲気が異常となる以前の
時点で処理装置の動作を停止させることが出来る。これ
により、処理中の物が不良品となってしまうことが無
く、製品の歩留りが低下することを防止できる。
【００６５】請求項３の発明によれば、定量ガス供給手
段が異常となったことによる影響が処理装置に及ぶ以前
に、即ち処理装置内のガスの雰囲気が異常となる以前の
時点で警報を表示させることが出来る。これにより、作
業者は異常となったことに対する措置を早期にとること
が出来る。
段が異常となったことによる影響が処理装置に及ぶ以前
に、即ち処理装置内のガスの雰囲気が異常となる以前の
時点で警報を表示させることが出来る。これにより、作
業者は異常となったことに対する措置を早期にとること
が出来る。
【００６６】請求項４の発明によれば、直接ガス流量を
監視して定量ガス供給手段の動作が異常となった時点で
異常を検出することが出来、然して、定量ガス供給手段
が異常となったことによる影響が処理装置に及ぶ以前に
異常を検出することが出来る。
監視して定量ガス供給手段の動作が異常となった時点で
異常を検出することが出来、然して、定量ガス供給手段
が異常となったことによる影響が処理装置に及ぶ以前に
異常を検出することが出来る。
【図１】本発明のガス供給監視装置及び方法の原理構成
図である。
図である。
【図２】本発明のガス供給監視装置の一実施例を示す図
である。
である。
【図３】ＡＥ信号波形を示す図である。
【図４】ＡＥ信号に関する評価パラメータを説明する図
である。
である。
【図５】図２中、マイクロコンピュータの動作のフロー
チャートである。
チャートである。
【図６】弁の異常発生時点と、警報表示時点と、緊急停
止時点との時間的関係を示す図である。
止時点との時間的関係を示す図である。
【図７】従来のガス供給監視装置を示す図である。
【図８】異常検出の遅れを説明する図である。
２ プロセスガス源 ３ 定量ガス供給装置 ４ 配管 ５ マスフローコントローラ（ＭＦＣ） ６，７ 空気作動弁 ８ 電磁弁 ９ 圧縮空気源 ２０ ガス供給監視装置 ２１，２１-1，２１-4 ＡＥセンサ ２２ 異常検出手段 ３０ ガス供給監視装置 ３１〜３８ ＡＥ信号波形 ４０ ＡＥ計測装置 ４１ マイクロコンピュータ ４２ ＣＰＵ ４３ 入出力部 ４４ メモリ ５０ ＡＥ信号 ６０ 表示装置
Claims (4)
- 【請求項１】 マスフローコントローラ（５）及び弁
（６，７，８）を備えてなり、処理装置（１）に所定流
量のガスを供給する定量ガス供給手段（３）を有するガ
ス供給装置において、 該定量ガス供給手段（３）自体にＡＥセンサ（２１-1〜
２１-4）を設け、 該ＡＥセンサが出力する電圧信号から評価パラメータを
抽出し、これをマスタデータと比較して、該定量ガス供
給手段の動作が異常となったことを検出する異常検出手
段（２２）を備えた構成としたことを特徴とするガス供
給監視装置。 - 【請求項２】 上記動作異常検出手段は、上記定量ガス
供給手段の動作が異常となったことを検出すると共に、
上記処理装置の動作を緊急に停止させる構成としたこと
を特徴とする請求項１記載のガス供給監視装置。 - 【請求項３】 上記動作異常検出手段は、上記定量ガス
供給手段の動作が異常となったことを検出すると共に、
表示手段（６０）に警報を表示させる構成としたことを
特徴とする請求項１記載のガス供給監視装置。 - 【請求項４】 処理装置（１）に所定流量のガスを供給
する定量ガス供給手段（３）自体に設けたＡＥセンサ
（２１-1〜２１-4）出力電圧信号から評価パラメータを
抽出し、 抽出した評価パラメータをマスタデータと比較して上記
定量ガス供給手段の動作が異常となったことを検出する
構成としたことを特徴とするガス供給監視方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28636392A JP3304430B2 (ja) | 1992-10-23 | 1992-10-23 | ガス供給監視装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28636392A JP3304430B2 (ja) | 1992-10-23 | 1992-10-23 | ガス供給監視装置及び方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06140295A true JPH06140295A (ja) | 1994-05-20 |
| JP3304430B2 JP3304430B2 (ja) | 2002-07-22 |
Family
ID=17703419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28636392A Expired - Fee Related JP3304430B2 (ja) | 1992-10-23 | 1992-10-23 | ガス供給監視装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3304430B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010117330A (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-27 | Kanto Chem Co Inc | エアオペレートバルブ診断方法、エアオペレートバルブ診断装置、及びエアオペレートバルブ |
-
1992
- 1992-10-23 JP JP28636392A patent/JP3304430B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010117330A (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-27 | Kanto Chem Co Inc | エアオペレートバルブ診断方法、エアオペレートバルブ診断装置、及びエアオペレートバルブ |
| TWI482955B (zh) * | 2008-11-14 | 2015-05-01 | Kanto Kagaku | Air operated valve diagnostic method, air operated valve diagnostic device and air operated valve |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3304430B2 (ja) | 2002-07-22 |
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