TWI437206B - 光照射裝置及調光方法 - Google Patents
光照射裝置及調光方法 Download PDFInfo
- Publication number
- TWI437206B TWI437206B TW100124474A TW100124474A TWI437206B TW I437206 B TWI437206 B TW I437206B TW 100124474 A TW100124474 A TW 100124474A TW 100124474 A TW100124474 A TW 100124474A TW I437206 B TWI437206 B TW I437206B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- period
- line
- light
- pwm
- lighting
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/063—Illuminating optical parts
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
本發明係關於一種光照射裝置及調光方法,其可適用於照射例如線狀光線以檢查工作物(製品)有無傷痕或讀取標記等的檢査用途。
以往,在對作為檢査對象(工作物)的WEB(連續物品:例如,薄膜、紙、金屬板等)或BATCH(片葉物品、單個物品:例如,裁切薄膜、裁切玻璃、圓筒狀構件等)進行連續式高速檢査時,會使用線感測器照相機,將輸送經過的工作物表面一個接一個地讀取為連續的影像資訊,藉由在影像資處理裝置中檢查出亮度不同的部位等方式以檢查出表面缺陷等。此時所使用的照明裝置,代表性的已知有鹵素燈或螢光燈等,惟近年來,如專利文獻1所示的,更開發出一種以反應快速、亮度穩定、壽命較長的複數個發光二極體(Light Emitting Diode;以下以LED表示)排列而成的LED照明裝置。該等LED照明裝置,利用脈衝寬度調變(Pulse Width Modulation;以下以PWM表示)控制改變在既定PWM週期中的亮燈期間與關燈期間的比,藉此進行調光。
然而,在上述產業用檢査中所使用的線感測器照相機,在拍攝一張影像時,會如圖9所示的從圖式的上部向下部在每1線週期按下快門而連續拍攝,並將這些連續拍攝到的影像拼成1頁框份的影像。因此,當使用線感測器照相機拍攝時,比起在通常的照相機中為了拍攝1張影像而只按下1次快門的情況而言,在線感測器照相機中按下快門的週期亦即線週期是非常短的時間。再者,近年來要求工作物的輸送經過速度必須更快,以縮短檢査時間,為了確保解析度而必須將線週期縮得更短。因此,遂持續開發快門速度更快的線感測器照相機,而用來接收工作物所反射之光線的線週期也變得更短。
相對於如是線週期變短的情況,為了能夠與以往同樣地任意控制1線週期所接收的光量,並用線感測器照相機拍攝出適合用來檢查缺陷的影像,便將用來對LED進行調光控制的PWM週期調整縮短。這是因為,為了使在各線週期所拍攝到的影像之間不會產生明暗差異,而且能夠任意地進行調光,如圖10(a)所示的PWM週期相對於線週期必須為100分之1左右的長度。
然而,在利用PWM控制對LED進行調光的情況下,比起線感測器照相機的線週期的短時間化而言PWM週期的短時間化發展較慢,近年來,在用線感測器拍攝時欲先調整成所期望的亮度之後才進行拍攝變得越來越困難。無法縮短PWM週期,亦即,無法將LED的亮燈期間縮得非常地短的其中一個理由是,若亮燈期間縮得太短,則如圖10(b)所示的相對於指令電壓實際的光量會產生嚴重一階延遲,而會變成無法追隨指令電壓。因為該等LED本身所擁有的反應性的界限,若將PWM週期縮得太短,則會變得無法以所期望的光量對檢査對象進行照明,如是便無法用線感測器照相機拍攝出可檢查出缺陷等問題的影像。
因此,吾人考慮不採取縮短PWM週期並高速切換ON、OFF的方式,而是採取例如像閃光燈那樣使LED對1線週期只亮燈1次並持續既定時間,在經過既定時間後便關燈,藉此使各線週期所含光量相同的方式。
然而,在以超高速檢查所製造之製品的檢査步驟中很多時候無法使長寬比形成1:1。此時,對1線週期只使LED亮燈1次會產生遺漏缺陷的可能性。對此茲參照圖11進行說明。
圖11為圖9的虛線部分的放大圖,1條影像是將構成線感測器照相機的受光元件以1次快門拍攝所得到的1個畫素横向排成一列所構成的。在受光元件為正方形的情況下,當1線週期與生產線速度之間的關係為適當時,可形成長寬比為1:1的正方形畫素,然而,當比起1線週期而言生產線速度非常高速時,便會形成朝移動方向延伸而長寬比為1:n的長方形畫素。
考量如圖11所示的例如在快門開放時只使LED亮燈1次並
持續既定時間的情況。此時,在長方形的畫素之中先通過照相機的該側受到照明,但在經過既定時間之後的關燈期間工作物未受到照明,之後的殘留部分變成較暗的影像。如果,在未受到照明的區域中存在傷痕或缺陷時,該資訊便不會反映在畫素上而會被遺漏掉。
[習知技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2001-215115號公報
為了徹底解決上述問題,本發明之目的在於提供一種光照射裝置,其擺脫以往若線感測器的線週期縮短則調光用的PWM週期也必須跟著一併縮得更短的固有觀念,即使與拍攝檢査對象的線感測器照相機的線週期相比PWM週期並不是非常短,也能夠對各線週期供給所期望的光量,防止在每一線週期的影像內產生明暗差異,並防止在之後的影像檢査等步驟中漏掉傷痕或缺陷等瑕疵,而能夠以良好的精度進行檢査。
亦即,本發明的光照射裝置,具有進行1條線的拍攝的間隔亦即既定的線週期,同時以既定的亮度拍攝相對於將複數受光元件並排成一列所構成的線感測器照相機進行相對移動的檢査對象,包含:對該檢査對象照射光線的光照射機構;以及利用以既定的PWM週期交替反覆亮燈期間以及關燈期間的PWM控制,將該光照射機構控制在既定亮度的PWM控制部;各線週期所包含的該亮燈期間為1個期間或數個期間;該PWM週期與該線週期同步,同時設定成該受光元件在1線週期所拍攝的1個畫素的長寬比越大,1線週期所包含的該亮燈期間的數目越多。
另外,本發明的調光方法,係光照射裝置的調光方法,該光照射裝置具有進行1條線的拍攝的間隔亦即既定的線週期,同時
利用將複數受光元件並排成一列所構成的線感測器照相機以既定的亮度拍攝檢査對象,且包含對該檢査對象照射光線的光照射機構,以及利用以既定的PWM週期交替反覆亮燈期間以及關燈期間的PWM控制將該光照射機構控制在既定亮度的PWM控制部;該調光方法包含設定步驟,其將各線週期所包含的該亮燈期間設為1個期間或數個期間,並設定成:該PWM週期與該線週期同步,同時該受光元件在1線週期所拍攝的1個畫素的長寬比越大,1線週期所包含的該亮燈期間的數目越多。
根據本發明,由於該線週期與該PWM週期同步,故各線週期所包含的亮燈期間數目相同,可使在各線週期中所接收的光量相同。再者,由於以各線週期所包含的亮燈期間的數目為1個期間或數個期間的方式相對於線週期設定PWM週期,故可使PWM週期與線週期大略相同,或為數分之1左右的短週期,不將這麼快的PWM控制用於調光亦可,可防止例如LED等發生一階延遲,亦能夠將亮燈期間中的光量控制在所期望的光量。
亦即,能夠解決在使PWM控制高速化以對應線週期的短時間化的情況下,因為LED的反應性有既定的界限,當使用快門速度非常快的線感測器照相機時,無法順利使各線週期所接收的光量一定的問題。另外,假如線感測器照相機的性能持續提高,即使用來調整LED光量的PWM週期無法縮到那麼短,也能夠在各線週期充分的提供所期望的光量,並使每一線週期的1條線的影像的亮度沒有差異。
因此,由於能夠以高速拍攝檢査對象,同時能夠以適合檢査的光量在微觀上或巨觀上平均地拍攝該影像,故能夠以高速且良好的精度進行檢査。
使該線週期與該PWM週期同步的具體實施態樣,例如可使該亮燈期間的開始時點與該線感測器照相機的拍攝開始時點一致。據此,由於使各開始點一致,便可輕易使線週期與PWM週期同步。
具體的亮燈期間數的設定,例如當該受光元件為正方形的構
件,而該受光元件在1線週期所拍攝的1個畫素的長寬比為1:n時,設定該PWM週期,使1線週期所包含的該亮燈期間數為將n的小數點以下進位的數。藉此,便可盡量減少亮燈次數,且可對整體照射光線而無遺漏,故無須胡亂地縮短PWM週期,便可得到沒有明暗差異的影像。
設定使1線週期所包含的該亮燈期間的合計長度為一定數值,便可使1次快門輸入線感測器照相機的光線總量相同,且不受亮燈期間數的影響而得到相同亮度的影像。
如是根據本發明的檢査裝置以及檢査方法,由於使該線週期與該PWM週期同步,且以各線週期所包含的亮燈期間為1個期間或數個期間的方式相對於線週期設定PWM週期,故無須使PWM週期相對於線週期非常短,可防止光照射機構發生一階延遲等問題,而能確實地產生所期望的光量,而且,可使各線週期的亮燈期間數相同。由於1線週期所拍攝的1個畫素的長寬比越大則亮燈期間數越多,故能夠防止缺陷未被發現而被遺漏掉。另外,由於各線週期所包含的亮燈期間數相同,故可使各線週期所接收的受光量為所期望的相同數值,進而能夠以良好的精度進行影像檢査。
以下,參照圖式說明本發明的第1實施態樣。
本實施態樣之光照射裝置100可使用於檢査裝置S中,該檢査裝置S係用來對例如作為檢査對象W(工作物)的稱為WEB的連續物品亦即薄膜的表面的缺陷等瑕疵進行連續式的高速檢査。
該檢査裝置S,如圖1所示的可一邊使檢査對象W亦即透光性的薄膜或紙張朝單一方向以一定的速度移動一邊對其表面進行拍攝,包含:從上側對該檢査對象W進行拍攝的線感測器照相機群C;用來對該線感測器照相機群C所拍攝的檢査區域以既定的亮度進行照明的光照射機構1;以及對該光照射機構1以及該線感
測器照相機C1、C2、C3、C4進行控制的控制機構2。在此,該光照射機構1與該控制機構2的一部分相當於本案請求項的光照射裝置100。
該線感測器照相機群C,使複數的線感測器照相機C1、C2、C3、C4以正方形的受光元件的排列方向一致的方式並排設置成一列,而配置成可橫切該檢査對象W進行拍攝。因此,線感測器照相機群C的拍攝範圍,如圖1所示的構成線狀。該線感測器照相機C1、C2、C3、C4,以進行1條線的拍攝的間隔亦即既定的線週期對該檢査對象W的檢査對象W區域進行拍攝。更具體而言,該線感測器照相機C1、C2、C3、C4,以高速按下快門,連續地對每1條線進行拍攝,在該線週期中根據受光元件所接收到的光量產生1條線的影像,將複數條線的影像組合起來,便構成1頁框週期的影像。利用圖中未顯示的缺陷判斷部從該線感測器照相機C1、C2、C3、C4所拍攝的影像判斷在檢査對象W的表面上是否存在傷痕等缺陷。
該光照射機構1,可從該檢査對象W的下側向該線照相機側對該檢査對象W照射光線。如圖1所示的,在該光照射機構1的前端LED排成一排,利用設置在該LED的光射出側的圖中未顯示的鏡頭進行集光,以對檢査對象W照射線狀光。
該控制機構2係由以下構件所構成:具備CPU、記憶體、I/O介面、通信介面等構件的主機板;分別對應光照射部11設置的複數驅動板;收納該等主機板與驅動板的外殼;以及安裝在外殼上的開關、節量器或連接器等構件。驅動板,具備例如閂鎖電路、D/A轉換器、電流輸出電路等。然後,根據設定在該記憶體的既定區域中的程式使CPU與其他各部協同運作,如圖2所示的,發揮接收部23、線週期控制部22、同步部24、亮燈期間設定部25、PWM控制部21等功能。
茲就各部進行說明。
該接收部23可接收對線感測器照相機C1、C2、C3、C4以何等線週期拍攝檢査對象W作出指示的線週期指示信號以及對照明
機構以何等亮度調整光線作出指示的調光指示信號。
該線週期控制部22控制該線感測器照相機C1、C2、C3、C4使其以該接收部23所接收到的線週期指示信號所指示的線週期拍攝該檢査對象W。
該PWM控制部21,以後述同步部24所設定的PWM週期以及後述亮燈期間設定部25所設定的每1線週期的亮燈期間,對該光照射機構1進行調光控制。
該同步部24,從該線週期控制部22取得線週期,在與該線週期同步的長度且該受光元件在1線週期所拍攝的1個畫素的長寬比為1:n的情況下,以1線週期所包含的該亮燈期間數為將n的小數點以下進位的數值的方式,對該PWM控制部21設定PWM週期。在此,該同步部24對該PWM控制部21設定的PWM週期,適當設定成亮燈期間為1或數個期間之內,在本實施態樣中,由於所拍攝的畫素的長寬比為1:a(a為1以下的數值),故設定成線週期相對於1週期有1段亮燈期間。因此,由於1線週期所包含的PWM週期也成為1週期,故線週期與PWM週期便被設定成相同長度。另外,該同步部24,使該線週期控制部22與該PWM控制部21同時開始進行控制,以使各控制週期同步。
該亮燈期間設定部25可對該PWM控制部21的PWM週期的1週期中的亮燈期間的長度進行設定。具體而言,該亮燈期間設定部25分別取得線週期的長度、同步部24所設定的PWM週期的1週期的長度、該接收部23所接收的調光信號,以設定亮燈期間的長度,使該光照射機構1的放射輸出與在1線週期中的亮燈期間的合計長度的積亦即在1線週期中的光量成為預先設定的數值。亦即,相對於線週期決定出亮燈期間,使所拍攝的影像的亮度成為所期望的亮度。另外,即使畫素的長寬比為相異數值,1線週期所包含的亮燈期間的數目改變,亮燈期間的合計的長度仍設為相同,各亮燈期間設為相等。另外,在1線週期的終了時點以關燈期間來臨的方式設定PWM週期以及亮燈期間的長度。
圖3表示在使用如是構成之光照射裝置100的檢査裝置S中
對檢査對象W進行拍攝時的線週期與PWM週期的關係,參照圖3說明本實施態樣的功效。
在圖3中,由上至下的4段週期為各線感測器照相機C1、C2、C3、C4的線週期,最下段表示PWM週期。各線感測器照相機C1、C2、C3、C4的線週期的開始點整齊一致完全同步。亦即,將時點設為一致,使檢査對象W的被拍攝列為相同位置。另外,相對於線週期的1週期,PWM週期也設定成1週期,且由圖可知線週期與PWM週期同步。因此,在各線週期中均包含相同數目的亮燈期間,故可確實地使各線週期的亮度相同。另外,若是以往,會將PWM週期設定為線週期的100分之1左右,故非常高速的PWM控制有其必要,然而在本實施態樣中,由於線週期與PWM週期的長度設為相同,故即使不進行這麼高速的PWM控制也沒有關係。亦即,即使線週期縮得更短,不以高速進行PWM控制,不縮短PWM週期,也沒有關係,LED可根據應答速度的界限追隨調光信號,故可避免無法調整到所期望的亮度,無法控制各線週期的影像的亮度等問題。
因此,即使一邊以更高速輸送檢査對象W,一邊用線感測器照相機C1、C2、C3、C4以更短的線週期拍攝檢査,也能夠將每1條線的影像的亮度設定為所期望的數值,故能夠更進一步提高檢査的速度與精度。
再者,由於在畫素的長寬比約略為1:1的情況下只置入1個亮燈期間,故可使畫素整體受到大略均勻的照明,而能夠防止漏掉缺陷等的問題。
茲說明第1實施態樣的變化實施例。
上述實施態樣如圖3所示的,係線週期的開始點與PWM週期的開始點對齊一致,然而只要同步,各開始點如圖4(a)所示的設定等待時間而使開始點錯開也沒有關係。此時,若在快門的開閉時點亦即線週期的開始點、終了點未設定亮燈期間,便可使每個線週期所接收的光量經常保持一定。再者,如圖4(b)所示的,亦可相對於1線週期包含2個亮燈期間。如是,不使線週期與PWM
週期的開始點對齊一致並同步,而係對PWM週期設定等待時間,使開始點錯開並同步,這樣也是可以。
另外,即使畫素的長寬比為1:1,只要LED的反應性能夠跟得上指令,如圖5所示的相對於1線週期PWM週期為2週期也沒有關係。重點只要相對於1線週期包含數週期的PWM週期即可。另外,所謂線週期與PWM週期同步,並不限於週期完全一致,亦可如圖5等所示的,只要線週期與PWM週期之間具有一定的關係即可,例如具有定數倍的關係。亦即,只要設定成各線週期所包含的亮燈期間數一直是相同數目的關係即可。此時,在畫素的長寬比為1:2的情況下只要以相對於1線週期存在4個亮燈期間的方式構成該同步部即可。
在上述第1實施態樣中,係利用控制機構設定PWM控制部的PWM週期、亮燈期間的長度,惟亦可由例如操作者進行設定,使PWM週期、亮燈期間的長度相對於線週期具有上述關係。
另外,在上述第1實施態樣中係以線週期為基準決定PWM週期,惟亦能夠以改變並設定線週期與PWM週期雙方而使各線週期所接收的光量相同並使各線的影像的亮度相同的方式進行調整。
在本說明書中的所謂PWM控制,包含反覆的控制週期經常保持一定以及控制週期會改變的概念。更具體而言,如圖6(a)所示的,相對於線週期而言PWM週期經常保持一定亦可,或如圖6(b)所示的,相對於各線週期而言PWM週期不斷改變亦可。即使在圖6(b)的PWM週期不斷改變的情況下,只要各線週期與PWM週期同步,且各線週期所包含的亮燈期間的總計長度相同,便可使各線的影像的亮度相同。
在該第1實施態樣中該光照射機構係從檢査對象的下側照射光線,利用該透過光線進行檢査,惟亦可從例如檢査對象的上方照射光線並拍攝此時的反射光。即使在線感測器照相機將受光元件橫跨複數列設置,並在各線交互進行受光、拍攝的情況下,亦可使採用與該實施態樣相同的方法所拍攝的每個影像的亮度平
均。另外,在所拍攝的每條線中1線週期所包含的亮燈期間的期間數相同,且該數目為1個或數個均可。
在該第1實施態樣中,係將複數線感測器照相機沿受光元件並排方向對齊排成一列,惟亦可用單一線感測器照相機對檢査對象區域進行拍攝。
接著就第2實施態樣進行說明。在以下說明中與該第1實施態樣的各構件對應的構件會附上相同符號。
第2實施態樣的檢査裝置S,如圖7(a)所示的,包含與該第1實施態樣所使用的大略相同的光照射裝置100,以及用來輸送檢査對象W的輸送機構3,從該輸送機構3取得檢査對象W的移動距離或速度,根據這些參數控制線感測器照相機的快門的開閉時點。
具體而言,該輸送機構3具備以下構造:由伺服馬達33與滾珠螺桿32所構成的驅動系統使可載置檢査對象W的平台31朝既定方向進行往復運動,從該伺服馬達33所設置的旋轉編碼器34取得信號並決定線週期。
第2實施態樣的線週期控制部22,係將旋轉編碼器34旋轉既定角度所花費的時間當作線週期的構件。具體而言,例如,當檢測到旋轉編碼器34旋轉既定角度時將該檢測信號當作觸發信號,線感測器照相機C的快門便開閉1次。在此,如圖7(b)所示的即使發出指令指示該等輸送機構以定速移動平台,仍會產生速度差異。因此,旋轉編碼器旋轉既定角度所花費的時間即使在定速運轉中也不一定會經常保持固定。亦即,若將旋轉編碼器的脈衝當作觸發信號,各線週期便會產生差異。
在第2實施態樣中,同步部24考量各線週期的差異設定PWM週期以及亮燈期間數。具體而言,該同步部24根據在各線週期的平均亦即平均線週期中受光元件所拍攝的畫素的長寬比設定各線週期應包含的亮燈期間數。另外,在每次各線週期開始時新的PWM週期就跟著開始,PWM週期分別與每1線週期同步此點與第1實施態樣不同。另外,以在各線週期的終了時點關燈期間來臨的方式設定PWM週期以及亮燈期間的長度。
用圖8說明在如是構成之第2實施態樣的檢査裝置S中的線週期與PWM週期之間的關係。
以既定的輸送速度使平台定速運轉,當平均線週期所拍攝到的1個畫素的長寬比約略為1:1時,如圖8(a)所示的,與線週期的差異無關,各線週期均包含1個期間的長度為a的亮燈期間。
當旋轉編碼器的脈衝間隔為圖8(a)所示之情況的2倍時,由於1線週期所拍攝到的1個畫素的長寬比為1:2,故如圖8(b)所示的1線週期所包含的亮燈期間數為2個,各亮燈期間的長度設定為a/2。
同樣當旋轉編碼器的脈衝間隔為圖8(a)所示之情況的3倍時,如圖8(c)所示的各線週期所包含的亮燈期間數為3個,其長度設定為a/3。
如是對應畫素的長寬比改變1線週期所包含的亮燈期間數,如圖8(d)所示的,便可使畫素整體比較明亮,防止缺陷被遺漏掉而未被檢查到的情況發生。
接著說明第2實施態樣的變化實施例。
在第2實施態樣中,即使各線週期的長度有差異,亦均包含相同個數的亮燈期間,惟亦可針對每一線週期的長度改變亮燈期間數。例如,亦可預先取得輸送機構以既定速度定速運作時的速度差異,預測線週期的差異,並預先設定在各線週期中的畫素的長寬比所適合的亮燈期間數。
此外,在不違反本發明的要旨的範圍內,亦可作出各種變化或實施態樣的組合。
1‧‧‧光照射機構
2‧‧‧控制機構
3‧‧‧輸送機構
21‧‧‧PWM控制部
22‧‧‧線週期控制部
23‧‧‧接收部
24‧‧‧同步部
25‧‧‧亮燈期間設定部
31‧‧‧平台
32‧‧‧滾珠螺桿
33‧‧‧伺服馬達
34‧‧‧旋轉編碼器
100‧‧‧光照射裝置
C、C1、C2、C3、C4‧‧‧線感測器照相機
S‧‧‧檢査裝置
W‧‧‧檢査對象
圖1係使用本發明的第1實施態樣的光照射裝置的檢査裝置的示意立體圖。
圖2係第1實施態樣之檢査裝置的功能方塊圖。
圖3係表示第1實施態樣的線週期與PWM週期的關係的示意圖。
圖4(a)、(b)係表示本發明的第1實施態樣的變化實施例的線週期與PWM週期的關係的示意圖。
圖5係表示本發明的第1實施態樣的另一變化實施例的線週期與PWM週期的關係的示意圖。
圖6(a)、(b)係表示本發明的第1實施態樣的不同變化實施例的線週期與PWM週期的關係的示意圖。
圖7(a)、(b)係使用本發明的第2實施態樣的光照射裝置的檢査裝置的示意圖。
圖8(a)~(d)係表示第2實施態樣的線週期與PWM週期的關係的示意圖。
圖9係說明線感測器照相機的拍攝方法的示意圖。
圖10(a)、(b)係表示習知的檢査裝置的線週期與PWM週期的關係的示意圖。
圖11係表示受光元件所拍攝的畫素的形狀以及所照明的範圍的示意圖。
1‧‧‧光照射機構
2‧‧‧控制機構
100‧‧‧光照射裝置
C、C1、C2、C3、C4‧‧‧線感測器照相機
S‧‧‧檢査裝置
W‧‧‧檢査對象
Claims (5)
- 一種光照射裝置,其具有進行1條線的拍攝之間隔亦即既定之線週期,同時用來以既定的亮度拍攝相對於將複數受光元件排成一列所構成的線感測器照相機進行相對移動的檢査對象,其特徵為包含:光照射機構,其對該檢査對象照射光線;以及PWM(Pulse Width Modulation;脈衝寬度調變)控制部,其利用以既定的PWM週期交替重複亮燈期間以及關燈期間的PWM控制,將該光照射機構控制為既定的亮度;各線週期所包含的該亮燈期間為1個期間或數個期間;該PWM週期係設定成:與該線週期同步,且該受光元件在1線週期所拍攝的1個畫素的長寬比越大,1線週期所包含的該亮燈期間數越多。
- 如申請專利範圍第1項之光照射裝置,其中,該亮燈期間開始時點與該線感測器照相機拍攝開始時點一致。
- 如申請專利範圍第1項之光照射裝置,其中,該受光元件為正方形的構件,該PWM週期係設定成當該受光元件在1線週期所拍攝的1個畫素的長寬比為1:n時,使1線週期所包含的該亮燈期間數為將n的小數點以下進位的數值。
- 如申請專利範圍第1項之光照射裝置,其中,設定成1線週期所包含的該亮燈期間的合計長度為一定數值。
- 一種光照射裝置的調光方法,該光照射裝置具有進行1條線的拍攝的間隔亦即既定的線週期,並用來以既定的亮度拍攝相對於將複數受光元件排成一列所構成的線感測器照相機進行相對移動的檢査對象,且包含:對該檢査對象照射光線的光照射機構,以 及利用在既定的PWM週期交替重複亮燈期間以及關燈期間的PWM控制將該光照射機構控制在既定亮度的PWM控制部;該調光方法的特徵為包含:設定步驟,其進行設定,使各線週期所包含的該亮燈期間為1個期間或數個期間,並使該PWM週期與該線週期同步,同時使該受光元件在1線週期所拍攝的1個畫素的長寬比越大則1線週期所包含的該亮燈期間數越多。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010160107A JP5028567B2 (ja) | 2010-07-14 | 2010-07-14 | 光照射装置及び調光方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201235634A TW201235634A (en) | 2012-09-01 |
TWI437206B true TWI437206B (zh) | 2014-05-11 |
Family
ID=45612794
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW100124474A TWI437206B (zh) | 2010-07-14 | 2011-07-11 | 光照射裝置及調光方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5028567B2 (zh) |
KR (1) | KR101210674B1 (zh) |
TW (1) | TWI437206B (zh) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202014100974U1 (de) * | 2014-03-04 | 2015-06-08 | Retsch Technology Gmbh | Vorrichtung zur Bestimmung der Partikelgröße und/oder der Partikelform eines Partikelgemisches |
EP3205258A4 (en) | 2014-10-10 | 2018-08-01 | Olympus Corporation | Light source device and method for controlling light source device |
FR3078851B1 (fr) * | 2018-03-07 | 2020-02-14 | Teledyne E2V Semiconductors Sas | Camera de vision a mesure de temps de vol optimisee pour environnement multi-cameras |
JP7145033B2 (ja) * | 2018-10-26 | 2022-09-30 | シーシーエス株式会社 | Oled駆動装置 |
FI128235B (en) * | 2018-12-10 | 2020-01-15 | Procemex Oy Ltd | Top side light |
CN110376207B (zh) * | 2019-07-16 | 2020-07-17 | 北京科技大学 | 一种超宽厚板表面缺陷在线检测系统图像采集方法 |
CN111521609B (zh) * | 2020-05-06 | 2023-07-18 | 宁波九纵智能科技有限公司 | 一种同时控制图像采集装置和打光装置的系统及方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07298001A (ja) * | 1994-04-25 | 1995-11-10 | Canon Inc | 調光装置 |
JP3459770B2 (ja) * | 1998-04-10 | 2003-10-27 | キヤノン株式会社 | 画像読取装置および方法、記録媒体 |
JP3918392B2 (ja) | 2000-02-03 | 2007-05-23 | シーシーエス株式会社 | Ledを用いた製品検査用ライン照明装置 |
JP3958062B2 (ja) * | 2002-02-15 | 2007-08-15 | キヤノン株式会社 | 画像読取装置、画像処理装置、光源制御方法、記憶媒体、及びプログラム |
JP4368626B2 (ja) * | 2003-07-31 | 2009-11-18 | 株式会社リコー | 画像読取装置 |
JP2005347645A (ja) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Ccs Inc | 光量制御装置及び光照射装置 |
JP4361043B2 (ja) * | 2005-09-20 | 2009-11-11 | アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 | パタン検査装置 |
JP2008032487A (ja) | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 外観検査装置 |
JP2009074802A (ja) * | 2007-09-18 | 2009-04-09 | Lasertec Corp | 検査装置、検査方法及びパターン基板の製造方法 |
JP2009288050A (ja) | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Toppan Printing Co Ltd | 撮像装置及び検査装置 |
JP7031249B2 (ja) | 2017-11-24 | 2022-03-08 | 日本電気株式会社 | 二次電池用電極の製造方法および二次電池の製造方法 |
-
2010
- 2010-07-14 JP JP2010160107A patent/JP5028567B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-06-16 KR KR1020110058567A patent/KR101210674B1/ko active IP Right Grant
- 2011-07-11 TW TW100124474A patent/TWI437206B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101210674B1 (ko) | 2012-12-10 |
JP5028567B2 (ja) | 2012-09-19 |
TW201235634A (en) | 2012-09-01 |
KR20120007443A (ko) | 2012-01-20 |
JP2012021889A (ja) | 2012-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI437206B (zh) | 光照射裝置及調光方法 | |
JP5806808B2 (ja) | 撮像光学検査装置 | |
CN106596574B (zh) | 一种检测物体表面缺陷的装置及方法 | |
TWI586959B (zh) | Automatic appearance inspection device | |
KR101246958B1 (ko) | 멀티라인센서 카메라와 다중조명을 사용한 시편 고속검사장치 | |
JP2013505464A (ja) | カメラアレイ及びコンパクトな組み込み照明装置を備えた高速光学検査システム | |
JPH11211443A (ja) | 3次元形状計測装置 | |
KR101473569B1 (ko) | 라인스캔 카메라를 이용한 결함 검사 장치 및 그 방법 | |
JP2014163771A (ja) | 外観検査装置 | |
JP2008520984A (ja) | 検査装置 | |
CN110021042B (zh) | 图像检查装置及照明装置 | |
KR20200014532A (ko) | 이미지 센서를 이용한 표면결함 검사장치 및 검사방법 | |
KR20140013818A (ko) | 카메라 이동형 자동 광학 검사 장치 | |
JP4912083B2 (ja) | 青果物検査装置 | |
CN101441182A (zh) | 图案检查装置 | |
JP2019082333A5 (zh) | ||
KR100933467B1 (ko) | 에이오아이(aoi) 장치 | |
JP2007334423A (ja) | 自動撮影装置 | |
JP7267665B2 (ja) | ワーク検査装置およびワーク検査方法 | |
JP5531253B2 (ja) | 検査システム | |
JP4714462B2 (ja) | 被検査体の外観検査装置 | |
KR20110026922A (ko) | 평판의 결함 검사 장치 및 방법 | |
JP2005283199A (ja) | センサーユニットおよび該センサーユニットを用いた印刷状態検査装置 | |
JP2004325308A (ja) | 画像撮像装置及び画像撮像方法 | |
JP2008275414A (ja) | 画像処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees |