TWI417403B - A manufacturing method of a vapor deposition mask, a method of manufacturing a vapor deposition mask, and a sheet having a vapor deposition mask - Google Patents

Description

附有蒸鍍遮罩之薄片、蒸鍍遮罩裝置之製造方法、以及附有蒸鍍遮罩之薄片的製造方法

本發明，係有關於被使用為蒸鍍遮罩的附有蒸鍍遮罩之薄片。又，本發明，係有關於從附有蒸鍍遮罩之薄片而製造具備有蒸鍍遮罩之蒸鍍遮罩裝置的方法。進而，本發明，係有關於製造被使用為蒸鍍遮罩的附有蒸鍍遮罩之薄片之方法。

於先前技術中，係週知有：使用包含有以所期望之圖案而被配列之孔的蒸鍍用遮罩，來以所期望之圖案而形成薄膜之方法。而，最近，係強烈地要求有：例如在有機EL顯示裝置之製造時而將有機材料蒸鍍於基板上的情況等之中，經由蒸鍍來進行極為高精細度之圖案化。

另外，此種蒸鍍用遮罩，一般而言，係可經由使用有光微影技術之蝕刻，來在金屬板上形成孔，並藉由此而製造之(例如，JP2004－39319A)。又，在經由蝕刻而在金屬板上形成孔的情況時，係存在有：從金屬板之兩方之側的面來進行蝕刻之方法、和僅從金屬板之其中一方之側的面來進行蝕刻之方法。

然而，當對於為了進行極為高精細度之圖案化而以良好精確度來形成有細微之孔的蒸鍍遮罩作處理的情況時， 例如，在搬送蒸鍍遮罩時，會有使蒸鍍遮罩破損之虞。特別是，在製造有機EL顯示裝置時，例如在為了以所期望之圖案來將有機發光材料於玻璃基板上作圖案化而被使用的蒸鍍遮罩中，係有將在相同之方向上而延伸為細長狀之複數的孔以短節距來作配置的情形。而，當對此種蒸鍍遮罩作處理時，由於對蒸鍍遮罩所作用之力，會容易地產生有：蒸鍍遮罩之孔與孔之間被切斷、或是在孔與孔之間而延伸為線狀之部分其彼此之間相交絡一般的問題。

又，在使用有經由蝕刻所致作之蒸鍍遮罩的情況時，就算是蒸鍍遮罩並未破損，亦會有無法以良好精確度來進行極為高精細度之圖案下的蒸鍍之問題。在本案發明者針對此問題之原因而進行了調查研究後，確認了以下之事態。

在使用有光微影技術之蝕刻中，侵蝕係從金屬板中之未被光阻膜所覆蓋的區域而開始進行。而後，侵蝕係不僅是在金屬板之厚度方向進行，而亦在沿著金屬板之板面的方向上進行。故而，經由蝕刻，係被形成有前端為細之孔。因此，當從金屬板2之兩方之側的面來進行蝕刻的情況時，係如圖12所示一般，成為在金屬板2之厚度方向的端部以外處，被形成有在孔2a內而剖面積(開孔面積)成為最小之突出部3。而後，當使用此種蒸鍍遮罩1來進行蒸鍍的情況時，在對應於基板4中之突出部3的背面側之區域處所被成膜之蒸鍍膜5的膜厚係不會安定。其結果，蒸鍍圖案之邊緣部會暈開(蒸鍍圖案之輪廓會變的不明 確)。又，基本上，對於在孔內所形成之突出部的位置或是剖面形狀作控制一事本身便極為困難。由以上可以得知，當對金屬板從兩方側之面來作蝕刻的情況時，係無法以良好精確度來進行極為高精細度的圖案下之蒸鍍。

另一方面，當對於金屬板而僅從上方側之面來進行蝕刻處理的情況時，在經由侵蝕所形成之前端較細之孔中，會殘留有已被使用於侵蝕而侵蝕能力變低了的蝕刻液。而後，當金屬板之孔到達了下方側之面處時，到此為止所殘留在孔內之蝕刻液會從下方之面而流出，而侵蝕能力為高之新的蝕刻液會流入所形成之孔內。

此時，在剖面積(開孔面積)變小的孔內之下方側區域處，液壓係變高，而孔內之下方側的區域，會被新的蝕刻液而劇烈地侵蝕。其結果，與從金屬板之兩側來進行蝕刻的情況時同樣的，在孔內會形成突出部。

又，當隔著光阻膜7而對於金屬板6僅從下方側之面來進行蝕刻的情況時，如同圖13所示一般，若是藉由侵蝕所形成之前端為細的孔6a貫通金屬板6，則在上側面之孔的周圍，會有殘留有蝕刻液8的情況。其結果，由於所殘留之蝕刻液，從金屬板之上方側的面，侵蝕亦會進行，而與從金屬板之兩側來進行蝕刻的情況時同樣的，在孔內會形成突出部。

由於此些原因，就算是在對於金屬板而僅從一方側之面來進行蝕刻的情況中，蒸鍍圖案之邊緣部亦會暈開(蒸鍍圖案之輪廓會變的不明確)。又，基本上，當對於金屬 板而從一方之面側來進行蝕刻的情況時，藉由在孔被貫通而蝕刻液開始流入時之所產生之壓力，會有孔的剖面形狀變形的情況。而，於此情況，將孔以良好精確度來形成為所期望之形狀一事本身係成為困難。此現象，係在上述之用以進行高精細的圖案化之蒸鍍遮罩中，會成為更加顯著。由以上可以得知，當對金屬板而僅從一方側之面來作蝕刻的情況時，亦係無法以良好精確度來進行極為高精細度的圖案下之蒸鍍。

而，本發明，係為考慮有此些之點而進行者，其目的，係在於提供一種附有蒸鍍遮罩之薄片，其係包含有可進行極為高精細度之圖案化的蒸鍍遮罩，且能夠對處理中之蒸鍍遮罩的破損作抑制。

又，本發明之目的，係在於提供一種：從係包含有可進行極為高精細度之圖案化的蒸鍍遮罩之附有蒸鍍遮罩之薄片，來不使蒸鍍遮罩產生破損地而製造蒸鍍遮罩之方法。

進而，本發明之目的，係在於提供一種製造包含有可進行極為高精細度之圖案化的蒸鍍遮罩，且能夠對處理中之蒸鍍遮罩的破損作抑制之附有蒸鍍遮罩之薄片的方法。

本發明所致之附有蒸鍍遮罩之薄片，其特徵為，具備有：樹脂製薄片；和被形成有複數之孔，且被層積於前述樹脂製薄片處之金屬製薄片，前述金屬製薄片，係在與前述樹脂製薄片分離後，成為被作為蒸鍍遮罩而使用。

在本發明所致之附有蒸鍍遮罩之薄片中，亦可設為： 從前述金屬製薄片之不與前述樹脂製薄片相對面的側之面起，朝向前述金屬製薄片之與前述樹脂製薄片相對面之側的面，被形成於前述金屬製薄片處之孔的剖面積係逐漸變小。在此種附有蒸鍍遮罩之薄片中，前述孔，係亦可為藉由在將前述金屬製薄片與前述樹脂製薄片相層積後的狀態下而對前述金屬製薄片作蝕刻來形成之。

又，本發明所致之附有蒸鍍遮罩之薄片，係亦可更進而具備有被與前述金屬製薄片相互固定了的框架。

進而，在本發明所致之附有蒸鍍遮罩之薄片中，前述樹脂製薄片之對於前述金屬製薄片的接合力，係亦可成為會藉由對前述樹脂製薄片照射UV光而降低。在此種附有蒸鍍遮罩之薄片中，前述樹脂製薄片，係具備有基材薄片、和將前述基材薄片與前述金屬製薄片相接合之UV剝離層，前述UV剝離層之接合力，係亦可成為若是被照射UV光則會降低。

進而，在本發明所致之附有蒸鍍遮罩之薄片中，亦可設為：前述複數之孔，係沿著一個方向而被並排配列，各孔，係沿著與前述一個方向而相正交之另外一個方向而延伸。

進而，在本發明所致之附有蒸鍍遮罩之薄片中，前述金屬製薄片，係亦可為包含有：以特定之圖案而被配置有複數之孔的複數之有孔區域；和被配置於前述有孔區域間之無孔區域。

進而，在本發明所致之附有蒸鍍遮罩之薄片中，係亦 可設為：在與前述金屬製薄片之薄片面正交的剖面處，在連接前述金屬製薄片之不與前述樹脂製薄片相對面的側處之前述孔的端部、以及在前述金屬製薄片之與前述樹脂製薄片相對面的側處之前述孔的端部之兩者間的直線，和前述金屬製薄片之與前述樹脂製薄片相對面之面，其兩者間所成之角度，係為60°以下。

本發明所致之蒸鍍遮罩裝置之製造方法，係為由上述之附有蒸鍍遮罩之薄片來製造蒸鍍遮罩裝置之方法，其特徵為，具備有：使前述樹脂製薄片從前述金屬製薄片而分離，並將前述樹脂製薄片從前述附有蒸鍍遮罩之薄片上而除去之工程。

在本發明所致之蒸鍍遮罩裝置之製造方法中，係亦可為：前述樹脂製薄片之對於前述金屬製薄片的接合力，係成為會藉由對前述樹脂製薄片照射UV光而降低，在前述除去樹脂製薄片之工程中，係對前述樹脂製薄片照射UV光，而使前述金屬製薄片與前述樹脂製薄片相分離。

又，在本發明所致之蒸鍍遮罩裝置之製造方法中，係亦可為：前述複數之孔，係沿著一個方向而被並排配列，各孔，係沿著與前述一個方向而相正交之另外方向而延伸，在前述除去樹脂製薄片之工程中，係沿著前述另外方向而使前述金屬製薄片與前述樹脂製薄片相分離。

進而，本發明所致之蒸鍍遮罩裝置之製造方法，係亦可更進而具備有在前述金屬製薄片上安裝前述框架之工程。在金屬製薄片上安裝前述框架之工程，係可在將樹脂製 薄片除去之工程前來進行，亦可在將樹脂製薄片除去之工程後再來進行。

本發明所致之附有蒸鍍遮罩之薄片之製造方法，係為製造如上述一般之附有蒸鍍遮罩之薄片之方法，其特徵為，具備有：供給具備有樹脂製薄片和被層積於前述樹脂製薄片上之金屬製薄片的層積體之工程；和對所供給之層積體進行蝕刻，而在金屬製薄片上形成多數之孔的工程。

在本發明所致之附有蒸鍍遮罩之薄片的蝕刻前述層積體之工程中，係亦可形成身為沿著一個方向而被並排配列、且各孔係沿著與前述一個方向而相正交之另外方向而延伸的多數之孔。

又，在本發明所致之附有蒸鍍遮罩之薄片中，前述層積體，係亦可沿著前述另外方向而被供給。

進而，在本發明所致之附有蒸鍍遮罩之薄片的前述蝕刻層積體之工程中，係亦可在金屬製薄片處，形成複數之以特定之圖案而被配置有複數之孔的有孔區域。

進而，在本發明所致之附有蒸鍍遮罩之薄片的前述供給層積體之工程中，係亦可供給包含有若是照射UV光，則其之對於前述金屬製薄片的接合力會降低之樹脂製薄片的層積體。

進而，本發明所致之附有蒸鍍遮罩之薄片之製造方法的前述供給層積體之工程中，係亦可將捲繞有前述層積體之捲體回捲，而將延伸為帶狀之層積體作供給。

若藉由本發明，則係可以得到包含有隨著從其中一方 之面而朝向另外一方之面而剖面積逐漸地變小、同時在另外一方之面的形狀係被高精確度地形成的蒸鍍遮罩之附有蒸鍍遮罩之薄片。且，在對附有蒸鍍遮罩之薄片作處理的期間中，例如在搬送附有蒸鍍遮罩之薄片的期間中，成為蒸鍍遮罩之被形成有多數的孔之金屬製薄片，係經由樹脂製薄片而被保護。故而，在搬送等之處理中，係能夠防止成為蒸鍍遮罩之金屬製薄片破損的事態。

以下，參考圖1乃至圖11，對本發明所致之附有蒸鍍遮罩之薄片、蒸鍍遮罩裝置之製造方法、以及附有蒸鍍遮罩之薄片的製造方法之其中一種實施型態作說明。於此，圖1乃至圖11，係為用以對本發明之其中一種實施型態作說明之圖。另外，在以下之實施型態中，係列舉出相關於在製造有機EL顯示裝置時用以將有機發光材料以所期望之圖案來在玻璃基板上進行圖案化而被使用之蒸鍍遮罩(蒸鍍用之金屬遮罩)的例子，來對附有蒸鍍遮罩之薄片、蒸鍍遮罩裝置之製造方法、以及附有蒸鍍遮罩之薄片之製造方法作說明。但是，本發明係並不被限定於此種例子，對於在各種之用途中所被使用之蒸鍍遮罩(蒸鍍用之金屬遮罩)，均可適用本發明。

最初，針對附有蒸鍍遮罩之薄片、還有由此附有蒸鍍遮罩之薄片所得到之蒸鍍遮罩以及蒸鍍遮罩裝置的其中一例，主要參考圖1乃至圖6而作說明。於此，圖1係為將 附有蒸鍍遮罩之薄片由樹脂製薄片側來作展示的平面圖，圖2係為沿著圖1之Ⅱ－Ⅱ線的剖面圖，圖3係為將附有蒸鍍遮罩之薄片從金屬製薄片側來作展示的部分平面圖，圖4係為展示可由圖1中所示之附有蒸鍍遮罩之薄片而製造的蒸鍍遮罩以及蒸鍍遮罩裝置之其中一例的立體圖，圖5係為用以對蒸鍍遮罩以及蒸鍍遮罩裝置之使用方法作說明的圖。

如同於圖1乃至圖4中所示一般，附有蒸鍍遮罩之薄片60，係具備有樹脂製薄片32、和被層積於樹脂製薄片32上之金屬製薄片34。金屬製薄片34，係由矩形狀之金屬製薄片所成，並被形成有複數之孔25。又，金屬製薄片34，係在從樹脂製薄片32而被分離後，成為蒸鍍遮罩20。

如圖1中所示一般，在本實施型態中，以成為蒸鍍遮罩20之方式而成的附有蒸鍍遮罩之薄片60的金屬製薄片34，在俯視時係為略四角形形狀，更正確而言，係於俯視時具備有略矩形狀之輪廓。附有蒸鍍遮罩之薄片60的金屬製薄片34，係具備有：被形成有孔25之複數的有孔區域22、和並未被形成有孔25，而佔據將有孔區域22之周圍作包圍的區域之無孔區域23。如圖1所示一般，各有孔區域22，於俯視時係為略四角形形狀，更正確而言，係於俯視時而具備有略矩形狀之輪廓。

在本實施型態中，複數之有孔區域22，係沿著與附有蒸鍍遮罩之薄片60之金屬製薄片34的一邊相平行之一方 向，而空出有特定之間隔地被作配置，同時，係沿著與前述一方向相正交之另外一方向，而空出有特定之間隔地被作配置。

又，如圖1以及圖3中所示一般，被設置在各有孔區域22處之複數的孔25，在該當有孔區域22中，係沿著前述之一方向而空出有等間隔地被並排配置。

又，各孔25，係平行於與前述一方向正交之另一方向，而從有孔區域22之其中一端起直到另外一端地延伸為細長狀。又，如圖2所示一般，從金屬製薄片34之其中一方之面34a而朝向另外一方之面34b，在沿著金屬製薄片34之薄片面的剖面處之各孔25之剖面積，係成為逐漸地變小。

如同於後所詳述一般，從附有蒸鍍遮罩之薄片60，而製作出蒸鍍遮罩裝置10。特別是，附有蒸鍍遮罩之薄片60的金屬製薄片34，在與樹脂製薄片32相分離後，係成為作為蒸鍍遮罩裝置10之蒸鍍遮罩20而被使用。

於此，參考圖4乃至圖6，對使用蒸鍍遮罩20以及蒸鍍遮罩裝置10來進行蒸鍍的方法作說明。於圖4所示之例中，蒸鍍遮罩裝置10，係具備有：由附有蒸鍍遮罩之薄片60之金屬製薄片34所成的蒸鍍遮罩20、和被安裝於矩形狀之蒸鍍遮罩20的周圍邊緣部之框架15。蒸鍍遮罩裝置10之框架15，係以不會使蒸鍍遮罩20彎曲的方式，來將蒸鍍遮罩保持在被拉張之狀態下。蒸鍍遮罩20與框架15，例如係藉由點溶接而相互地被固定。

蒸鍍遮罩裝置10，係如圖5以及圖6中所示一般，使蒸鍍遮罩20成為與玻璃基板42相對面，並支持於蒸鍍裝置40內。在蒸鍍裝置40內，係在挾持此蒸鍍遮罩裝置10之玻璃基板42的下方處，被配置有：收容蒸鍍材料(作為其中一例，例如有機發光材料)48的坩鍋44、和對坩鍋44作加熱之加熱器46。

坩鍋44內之蒸鍍材料48，係藉由從加熱器48所進行之加熱，而被氣化又或是昇華，並成為附著於玻璃基板42之表面上。如上述一般，在蒸鍍遮罩20處，係被形成有多數之孔25，蒸鍍材料48，係經由此孔25而附著於玻璃基板42上。

其結果，蒸鍍材料48，係以對應於蒸鍍遮罩20之孔25的位置之所期望的圖案，而在玻璃基板42之表面上成膜。

另外，在本實施型態中，1個的有孔區域22，係成為對應於1個的有機EL顯示裝置。亦即是，若是藉由於圖1中所示之蒸鍍遮罩裝置10(蒸鍍遮罩20)，則成為可進行多區劃面之蒸鍍。

然而，如圖6中所示一般，當蒸鍍遮罩裝置10被收容於蒸鍍裝置40中的情況時，蒸鍍遮罩20(金屬製薄片34)之其中一方的面20a(34a)，係與保持蒸鍍材料48之坩鍋44相對面，而蒸鍍遮罩20(金屬製薄片34)之另外一方的面20b(34b)，係與玻璃基板42相對面。亦即是，如圖6中所示一般，蒸鍍材料48，係通過剖面積逐漸 變小之孔25，而附著於玻璃基板42上。如圖6中所示一般，蒸鍍材料48，係亦會有並不從坩鍋44朝向玻璃基板42進行直線移動，而是對於玻璃基板42之板面而斜向移動的情況。此時，若是孔25之剖面形狀係具備有圖6中之以點線所展示的輪廓，則斜向移動之蒸鍍材料48，係會附著在蒸鍍遮罩20上，而不會到達玻璃基板42。

亦即是，為了提高蒸鍍材料之利用效率(成膜效率：附著於玻璃基板42上之比例)而節約高價的蒸鍍材料，在蒸鍍遮罩20(金屬製薄片34)之與薄片面正交的剖面(圖6之剖面)處，經由連接其中一方之面20a(34a)側的孔25之端部以及另外一方之面20b(34b)側的孔25之端部的直線L、和另外一方之面20b(34b)的兩者間所成之角度β，係以越小越好。但是，相對於玻璃基板42之垂線而以大的角度來朝向玻璃基板42來移動的蒸鍍材料之比例係為少。而，若是前述之直線L相對於另外一方之面20b所成的角度β係成為60°以下，則蒸鍍材料之成膜效率係成為充分的值。又，若是欲將直線L與另外一方之面20b所成的角度β設為未滿30°，則不但孔25之形成係成為困難，且並無法得到能夠匹配於其之困難性的成膜效率之提升。亦即是，直線L與另外一方之面20b所成之角度β，係以設為30°以上60°以下為理想。

另外，若是將角度β縮小，則係如同在圖6中以二點鍊線所示一般，相鄰之孔25的壁面會成為彼此連接。然而，若是考慮蒸鍍遮罩20(金屬製薄片)之強度，則係以 不使相鄰之孔25的壁面彼此連接為理想，並以在其中一方之面20a處的相鄰之孔25之間形成有5 μm以上之平坦的面為更理想。

亦即是，直線L之與另外一方之面20b所成的角度β，係以設為能夠在其中一方之面20a處的相鄰之孔25之間形成有5 μm以上之平坦的面的角度以上，而設為60°以下為理想。

然而，如同上述一般，在本實施型態中，孔25係在各有孔區域22處被等間隔地配置。作為其中一例，當附有蒸鍍遮罩之薄片60係被使用於用以製作行動電話或是數位相機等之顯示器(2~3吋左右)的蒸鍍遮罩20(蒸鍍遮罩裝置10)之情況時，孔25之配列節距(參考圖3)，係可設為84 μm(300ppi)以上，254 μm(100ppi)以下左右。另外，當欲進行彩色顯示的情況時，亦可沿著孔25之配列方向(前述之其中一方向)而使蒸鍍遮罩20(蒸鍍遮罩裝置10)與玻璃基板42緩慢少量地相對移動，並將紅色用之有機發光材料、綠色用之有機發光材料以及藍色用之有機發光材料依序作蒸鍍。又，當附有蒸鍍遮罩之薄片60係被使用於用以製作行動電話之顯示器的蒸鍍遮罩20(蒸鍍遮罩裝置10)之情況時，沿著各孔25之配列方向(上述之其中一方向)的寬幅(細縫寬幅)，係可設為28 μm以上84 μm以下左右。

又，蒸鍍遮罩裝置10，係被保持於成為高溫氛圍之蒸鍍裝置40的內部。故而，將成為蒸鍍遮罩20之附有蒸鍍 遮罩之薄片60的金屬製薄片60、以及被使用於蒸鍍遮罩裝置60中的框架15，係為了防止彎曲或是熱應力的發生，而以經由熱膨脹率為低之相同的材料來製作為理想。作為此種材料，例如，係可使用36% Ni之恆範鋼(invar)材。但是，係並不限定於此，而亦可將由不鏽鋼、銅、鐵、鋁所成之薄片作為金屬製薄片34而使用。

另一方面，作為附有蒸鍍遮罩之薄片60的樹脂製薄片32，例如，係可使用由具備有50 μm~150 μm左右之厚度的聚對苯二甲酸乙二酯或是聚丙烯所成之薄片。在本實施型態中，係採用若是照射UV光則其之相對於金屬製薄片34的接合力會下降一般之樹脂製薄片32。具體而言，係如圖2所示一般，樹脂製薄片32，係可設為具備有：由聚對苯二甲酸乙二酯所成之基材薄片32a、和在被層積在基材薄片32a上的同時，而與金屬製薄片34相對面之UV剝離層32b。於此，所謂UV剝離層32b，於初始，係為具備有黏著力，並將基材薄片32a與金屬製薄片34相接著，但是，若是被照射UV光，則被照射之部分的黏著力係會降低。例如，係成為若是被照射UV光，則被照射之部分會硬化且對於金屬製薄片34之接合力會降低。此種UV剝離層32b，例如，係可由丙烯系UV再剝離型接合劑來形成。

接下來，針對使用由上述一般之構成所成之附有蒸鍍遮罩之薄片60而製造蒸鍍遮罩裝置10的方法，主要參考圖7而作說明。

如圖7所示一般，在本實施型態中，蒸鍍遮罩裝置之製造方法，係包含有：準備包含有樹脂製薄片32與被層積在樹脂製薄片32上並已形成有孔之金屬製薄片34的附有蒸鍍遮罩之薄片60的工程；和使樹脂製薄片32從金屬製薄片34而分離，並將樹脂製薄片32從附有蒸鍍遮罩之薄片60上而除去之工程；和將金屬製薄片34安裝於框架15上的工程。針對各工程，於以下更進而作詳細說明。

首先，將所準備之附有蒸鍍遮罩之薄片60，供給至除去裝置(除去手段)54處。

於圖7所示之例中，附有蒸鍍遮罩之薄片60，係以使金屬製薄片34位置於下方，同時使樹脂製薄片32位置於上方的方式，來作供給。又，如圖7所示一般，在本實施型態中之除去裝置54，係具備有UV光照射手段55。UV光照射手段55，係沿著附有蒸鍍遮罩之薄片60的移動路徑而被設置，並具備有將附有蒸鍍遮罩之薄片60從樹脂製薄片32側來作包覆之遮蔽罩(shade)55a，和被配置在遮蔽罩55a內之UV光源55b。而後，被作搬送之附有蒸鍍遮罩之薄片60，係從樹脂製薄片32側而被照射UV光，經由通過樹脂製薄片32之基材薄片32a的UV光，將基材薄片32a與金屬製薄片34(蒸鍍遮罩20)作接著之UV剝離層32b的接著力係大幅減弱。其結果，成為附有蒸鍍遮罩之薄片60之樹脂製薄片32與金屬製薄片34(蒸鍍遮罩20)，係成為可相互分離。而後，如圖7所示一般，一面經由滾輪57來對附有蒸鍍遮罩之薄片60作導引， 一面將樹脂製薄片32從金屬製薄片34而緩慢地剝離。

另外，將樹脂製薄片32從金屬製薄片34而拉扯剝離之方向，係以與被形成在金屬製薄片34上之孔25所延伸存在之方向(上述之另外方向)平行為理想。當沿著此種方向而將樹脂製薄片32從金屬製薄片34分離的情況時，係能夠有效地防止金屬製薄片34之孔25與孔25之間被切斷、或是在孔25與孔25之間而延伸為線狀之部分相交絡的事態。

如此這般，係可得到由從樹脂製薄片32所分離之金屬製薄片34而成的蒸鍍遮罩20。而後，對於所得到之蒸鍍遮罩20，而將框架15固定。在圖7所示之例中，係經由銲點溶接裝置59，來將框架15對於蒸鍍遮罩20而作固定。

如同上述一般，而得到由蒸鍍遮罩20和被固定於蒸鍍遮罩20上之框架15所成的蒸鍍遮罩裝置10。

另外，在上述一般之蒸鍍遮罩裝置之製造方法中，附有蒸鍍遮罩之薄片60以及蒸鍍遮罩20(金屬製薄片34)之搬送方向，係以與被形成在金屬製薄片34上之孔25所延伸存在之方向(上述之另外方向)平行為理想。當沿著此種方向而搬送附有蒸鍍遮罩之薄片60以及蒸鍍遮罩20(金屬製薄片34)的情況時，係能夠有效地防止金屬製薄片34之孔25與孔25之間被切斷、或是在孔25與孔25之間而延伸為線狀之部分相交絡的事態。

若藉由上述一般之方法，則係能夠從附有蒸鍍遮罩之 薄片60，而極為容易地製作蒸鍍遮罩裝置10。又，藉由將把樹脂製薄片32從金屬製薄片而剝離之方向、以及附有蒸鍍遮罩之薄片60以及蒸鍍遮罩20(金屬製薄片34)的搬送方向，均設定為被形成在金屬製薄片34處之孔25所延伸的方向，係能夠有效地防止金屬製薄片34之孔25與孔25之間被切斷、或是在孔25與孔25之間而延伸為線狀之部分相交絡的事態。亦即是，能夠避免已被形成於金屬製薄片34處的細微之孔25的形狀，在其後之處理過程中被損傷的問題。

接下來，針對製造附有蒸鍍遮罩之薄片的方法，主要參考圖8乃至圖10而作說明。

如圖8中所示一般，在本實施型態中之蒸鍍遮罩之製造方法，係包含有：供給具備有樹脂製薄片32和被層積於樹脂製薄片32上之金屬製薄片34的層積體30之工程；和對層積體30之金屬製薄片34施加使用有光微影技術之蝕刻，而在金屬製薄片34上形成多數之孔25的工程；和在蝕刻工程後，將層積體30切斷為特定之長度的工程。針對各工程，於以下更進而作詳細說明。

如圖8中所示一般，在本實施型態中，係準備有將層積體30捲收於供給芯31的層積體之捲體29。而後，藉由使此供給芯旋轉並將捲體29回捲，來如同圖8所示一般地供給延伸為帶狀之層積體30。於此，層積體30，係以使金屬製薄片34位置於下方，同時使樹脂製薄片32位置於上方的方式，來作供給。此種捲體29，係可以低價而獲 得，且在處理上係非常方便。

另外，層積體30之金屬製薄片34，係被形成有孔25並成為蒸鍍遮罩20。故而，如上述一般，金屬製薄片34，例如係由36% Ni恆範鋼材所成。又，樹脂製薄片32，係如上述一般，例如，係由具備有50 μm~150 μm左右之厚度的聚對苯二甲酸乙二酯或是聚丙烯所成。但是，為了能夠從金屬製薄片34而將樹脂製薄片32容易地剝離，係如上述一般，以使用若是照射UV光則其之對於金屬製薄片34的接合力係會降低的樹脂製薄片32為理想。

被供給之層積體30，係經由蝕刻裝置(蝕刻手段)50而被施加蝕刻處理。具體而言，首先，係在層積體30之金屬製薄片34的面上(圖9之紙面處的下側之面上)塗布感光性光阻材料，並在金屬製薄片34上形成光阻膜36。接下來，準備以不使光透過光阻膜36中之欲除去之區域的方式而製作的玻璃乾板37，並將玻璃乾板37配置在光阻膜36上。

而後，如圖9所示一般，將光阻膜36隔著玻璃乾板37而曝光，並進而將光阻膜36顯像。如上述一般，而在層積體30之金屬製薄片34上形成光阻圖案36a。

另外，亦可將玻璃乾板37中之與欲除去的光阻膜相對面之區域設為黑色，並使用可視光來作為曝光光。於此情況，藉由以黑色部分來吸收可視光，在光阻膜36之應除去的區域處係不會入射有光，而光阻膜36係不會固定在金屬製薄片34上。另一方面，在光阻膜36之不應除去 的區域處係會入射光，而在該當區域光阻膜36係會固定在金屬製薄片34上。未固定之光阻膜36，例如係經由熱水洗淨而被除去。

接下來，如圖10所示一般，將被形成在金屬製薄片34上之光阻圖案36a作為遮罩，而藉由蝕刻液38來對層積體30作蝕刻。在本實施型態中，蝕刻液38，係從配置在被作搬送之層積體30的下方處之蝕刻裝置50的噴嘴51，來隔著光阻圖案36a而朝向金屬製薄片34之其中一方的面34a來作噴射。此時，如同於圖10中以點線所示一般，在金屬製薄片34中之未被光阻圖案36a所覆蓋的區域處，係開始蝕刻液所致之侵蝕。而後，侵蝕係不僅是在金屬製薄片34之厚度方向進行，而亦在沿著金屬製薄片34之薄片面的方向上前進。如上述一般，蝕刻液所致之侵蝕，係從金屬製薄片34之其中一方的面34a而進行至另外一方之面34b，並形成將金屬製薄片34貫通之孔25。

而後，將層積體30上之光阻圖案36a除去，並進而對層積體30進行水洗。如此這般，係可得到由樹脂製薄片32和被形成有多數之孔25的金屬製薄片34而成之附有蒸鍍遮罩之薄片60。

然而，若是未設置有樹脂製薄片32，則如上述一般，在金屬製薄片34被貫通並形成了孔25之後，在金屬製薄片34之另外一方之面34b側，蝕刻液係會滯留，而有可能會產生使孔25之形狀以及大小變得不安定之問題。但是，若藉由本實施型態，則就算是被形成有將金屬製薄片 34貫通之孔25，此孔25之上方側，亦係經由樹脂製薄片32而被覆蓋。故而，能夠對於在先前之方法中所產生的問題確實地迴避。

其結果，金屬製薄片34係僅從其中一方之面34a而進行侵蝕，被形成於金屬製薄片34處之孔25的剖面積，係成為從其中一方之面34a(20a)起朝向另外一方之面34b(20b)而逐漸地變小。又，係能夠將具備有所期望之開孔面積(俯視時之孔25的面積)的孔25，以良好精確度來形成。

而後，如此這般所得到之附有蒸鍍遮罩之薄片60，係藉由以將該當附有蒸鍍遮罩之薄片60作挾持的狀態來作旋轉的一對之搬送滾輪52、52，而被搬送至切斷裝置(切斷手段)53處。另外，經由以此搬送滾輪52、52之旋轉而在附有蒸鍍遮罩之薄片60以及層積體處起作用的張力(拉張力)，來使上述之供給芯31旋轉，並成為從捲體29而供給層積體30。

又，在本實施型態中，金屬製薄片34係經由樹脂製薄片32而被作支持以及補強。故而，在層積體30以及附有蒸鍍遮罩之薄片60的搬送時，能夠對於經由在孔25與孔25之間所作用之應力所造成的在金屬製薄片34之孔25與孔25之間被切斷、或者是在孔25與孔25之間而延伸為線狀的部分相交絡一般之問題極為有效的作抑制。其結果，能夠避免在蝕刻工程中所形成於金屬製薄片34處的細微之孔25的形狀，在其後之處理過程中被損傷的問題 。

另外，當形成有如同上述一般之沿著與配列方向相正交之方向而細長延伸的孔25之情況時，孔25之延伸方向(上述之另外方向)，與層積體30之被作供給的方向(層積體以及附有蒸鍍遮罩之薄片60被作搬送的方向)，係以成為略平行為理想。於此情況，係能夠有效地防止金屬製薄片34之孔25與孔25之間被切斷、或是在孔25與孔25之間而延伸為線狀之部分相交絡的事態。

如此這般而被搬送至切斷裝置53處的附有蒸鍍遮罩之薄片60，係以使金屬製薄片34成為具備有與一枚之蒸鍍遮罩20的長度相同長度之方式，而依序被切斷。如上述一般，而依序製作枚葉狀之附有蒸鍍遮罩之薄片60。

如上述一般，若藉由本實施型態，則會成為蒸鍍遮罩20之附有蒸鍍遮罩之薄片60的金屬製薄片34，係被層積於樹脂製薄片32上，並經由樹脂製薄片32而被保護。故而，在處理附有蒸鍍遮罩之薄片60時，例如在搬送附有蒸鍍遮罩之薄片60時，作用在附有蒸鍍遮罩之薄片中的金屬製薄片34處的張力(拉張力)係顯著的降低，而能夠有效地防止被形成在金屬製薄片34上之細微的孔25之破損。

又，可對於被層積在樹脂製薄片32上之金屬製薄片34來形成孔25。故而，能夠對於金屬製薄片34而僅從其中一方之面34a來作蝕刻，並形成貫通金屬製薄片34之孔25。於此情況，孔25雖係貫通金屬製薄片34，但是位 置於金屬製薄片34之另外一方的面34b側之孔25的端部，係經由樹脂製薄片32而被覆蓋。亦即是，由於孔25係並未貫通層積體30，因此，能夠避免上述之先前技術中的問題。藉由此，能夠在金屬製薄片34上，形成從其中一方之面34a(20a)起朝向另外一方之面34b(20b)而剖面積逐漸變小之孔25。又，亦能夠將以高精細之圖案而開孔之蒸鍍遮罩20，以良好精確度來製作。

而後，經由從此附有蒸鍍遮罩之薄片60而將樹脂製薄片32除去，而能夠容易地製作由金屬製薄片34而成的蒸鍍遮罩20。若藉由如此這般所得到之蒸鍍遮罩20、以及使用有此蒸鍍遮罩20之蒸鍍遮罩裝置10，則能夠以良好精確度來進行高精細之圖案下的蒸鍍。故而，如此這般所得到之蒸鍍遮罩20以及蒸鍍遮罩裝置10，係非常適合於在製造有機EL顯示裝置時而用以例如將有機發光材料以所期望之圖案來在玻璃基板上進行圖案化所使用的蒸鍍遮罩(蒸鍍用之金屬遮罩)。

另外，關於上述之實施形態，係可在本發明之要旨內作各種的變更。

以下，針對變形例之其中一例作說明。

在上述之實施型態中，在製造蒸鍍遮罩裝置10時，雖係展示對樹脂製薄片32照射UV光，並將樹脂製薄片32從層積體30而除去的例子作了說明，但是，樹脂製薄片32之除去方法，係並不限定於此。例如，亦可將層積體30送入加熱爐(除去手段)中，並使層積體30之樹脂 製薄片32燃燒，來從層積體30而將樹脂製薄片32除去。當使樹脂製薄片32燃燒而將其除去的情況時，係可藉由使用有簡易的裝置之簡易的方法，來不對形成於金屬製薄片34(蒸鍍遮罩20)上之孔25形成影響地而將樹脂製薄片32從金屬製薄片34而分離。另外，當使樹脂製薄片32燃燒並將其除去的情況時，則係並不需要使用經由照射UV光而使其之對於金屬製薄片34的接合力降低的樹脂製薄片32。

又，在上述之實施型態中，在製造附有蒸鍍遮罩之薄片60時，雖係展示準備預先將樹脂製薄片32與樹脂製薄片34作了層積後的層積體30並作供給的例子作了說明，但是，係並不限定於此。例如，係亦可在供給延伸為帶狀之金屬製薄片34的同時，供給延伸為帶狀之樹脂製薄片，並將所供給之金屬製薄片34與樹脂製薄片32作層積，而製作層積體30，再對依序被製作之層積體30而施加上述之處理，來製作附有蒸鍍遮罩之薄片60。或者是，亦可在供給延伸為帶狀之金屬製薄片34的同時，在被供給之金屬製薄片34上層積枚葉狀之樹脂製薄片32，並對於金屬製薄片34中之被層積有枚葉狀之樹脂製薄片32的部分(層積體30)依序施加上述之處理，來製作附有蒸鍍遮罩之薄片60。或者是，亦可在供給延伸為帶狀之樹脂製薄片32的同時，在被供給之樹脂製薄片32上層積枚葉狀之金屬製薄片34，並對於被層積於樹脂製薄片32上之金屬製薄片34而依序施加上述之處理，來製作附有蒸鍍遮罩之 薄片60。

進而，在上述之實施型態中，在製造附有蒸鍍遮罩之薄片60時，雖係展示在金屬製薄片34上形成孔25，而後將金屬製薄片34經由切斷裝置53來切斷為特定之長度的例子作了說明，但是，係並不限定於此。例如，係亦可在將孔25形成於金屬製薄片34處之前，而進行將金屬製薄片34切斷之工程。

進而，在上述之實施型態中，在製造附有蒸鍍遮罩之薄片60時，雖係展示以使附有蒸鍍遮罩之薄片60的金屬製薄片34成為具備有與蒸鍍遮罩20之一枚份的長度相同之長度的方式，來將附有蒸鍍遮罩之薄片60作切斷的例子作了說明，但是，係並不限定於此。例如，亦能夠以使附有蒸鍍遮罩之薄片60的金屬製薄片34成為具備有較蒸鍍遮罩20之一枚份的長度為更長之長度(例如，蒸鍍遮罩20二枚份之長度)的方式，來切斷附有蒸鍍遮罩之薄片60。又，亦可如圖11所示一般，並不將延伸為帶狀之附有蒸鍍遮罩之薄片60切斷，而將其捲取於捲取芯61上，並作為附有蒸鍍遮罩之薄片60的捲體60a來進行處理(出貨以及搬送等)。進而，代替將附有蒸鍍遮罩之薄片60全體作切斷，亦能夠以不會將樹脂製薄片32一起切斷的方式，來將層積體30作半切斷(half cut)，而僅將金屬製薄片34切斷。進而，在經由蝕刻而形成孔25之工程中，亦能夠以將金屬製薄片34以特定之長度來作邊緣切割的方式而進行蝕刻。亦即是，在經由蝕刻而形成孔25 時，亦能夠藉由蝕刻來將金屬製薄片34分離為特定之長度。於此情況，係能夠節省另外將金屬製薄片34切斷為特定之長度的工程。

進而，在上述之實施型態中，在從附有蒸鍍遮罩之薄片60來製造蒸鍍遮罩裝置10時，雖係展示將框架15安裝在從樹脂製薄片32所分離之金屬製薄片34(蒸鍍遮罩20)上的例子，但是，係並不限定於此。例如，亦可在從樹脂製薄片32而分離之前，便將框架15安裝在金屬製薄片34(蒸鍍遮罩20)上。又，在製造附有蒸鍍遮罩之薄片60時，亦可設置將框架15安裝於金屬製薄片34上之工程，並作為被安裝有框架15之附有蒸鍍遮罩之薄片60來進行處理(出貨以及搬送等)。

1‧‧‧蒸鍍遮罩

2‧‧‧金屬板

2a‧‧‧孔

3‧‧‧突出部

4‧‧‧基板

5‧‧‧蒸鍍膜

6‧‧‧金屬板

6a‧‧‧孔

7‧‧‧光阻膜

8‧‧‧蝕刻液

10‧‧‧蒸鍍遮罩裝置

15‧‧‧框架

20‧‧‧蒸鍍遮罩

20a‧‧‧其中一方之面

20b‧‧‧另外一方之面

22‧‧‧有孔區域

23‧‧‧無孔區域

25‧‧‧孔

29‧‧‧捲體

30‧‧‧層積體

31‧‧‧供給芯

32‧‧‧樹脂製薄片

32a‧‧‧基材薄片

32b‧‧‧UV剝離層

34‧‧‧金屬製薄片

34a‧‧‧其中一方之面

34b‧‧‧另外一方之面

36‧‧‧光阻膜

36a‧‧‧光阻圖案

37‧‧‧玻璃乾板

38‧‧‧蝕刻液

40‧‧‧蒸鍍裝置

42‧‧‧玻璃基板

44‧‧‧坩鍋

46‧‧‧加熱器

48‧‧‧蒸鍍材料

50‧‧‧蝕刻裝置

51‧‧‧噴嘴

52‧‧‧搬送滾輪

53‧‧‧切斷裝置

54‧‧‧除去裝置

55‧‧‧UV光照射手段

55a‧‧‧遮蔽罩

55b‧‧‧UV光源

57‧‧‧滾輪

59‧‧‧點溶接裝置

60‧‧‧附有蒸鍍遮罩之薄片

60a‧‧‧捲體

61‧‧‧捲取芯

〔圖1〕圖1，係為展示本發明所致之附有蒸鍍遮罩之薄片的其中一種實施型態之俯視圖。

〔圖2〕圖2，係為沿著圖1之Ⅱ－Ⅱ線的剖面圖。

〔圖3〕圖3，係為圖1中所示之附有蒸鍍遮罩之薄片的部分底面圖。

〔圖4〕圖4，係為展示可由圖1中所示之附有蒸鍍遮罩之薄片而製造的蒸鍍遮罩以及蒸鍍遮罩裝置之其中一例的立體圖。

〔圖5〕圖5，係為用以對蒸鍍遮罩以及蒸鍍遮罩裝置之使用方法作說明的圖。

〔圖6〕圖6，係為用以對蒸鍍遮罩之作用作說明的圖。

〔圖7〕圖7，係為用以對本發明所致之蒸鍍遮罩裝置之製造方法的其中一種實施型態作說明之圖，而係為用以對從圖1中所示之附有蒸鍍遮罩之薄片來製造蒸鍍遮罩以及蒸鍍遮罩裝置之方法作說明之圖。

〔圖8〕圖8，係為用以對本發明所致之附有蒸鍍遮罩之薄片之製造方法的其中一種實施型態作說明之圖，而係為用以對製造圖1中所示之附有蒸鍍遮罩之薄片的方法作說明之圖。

〔圖9〕圖9，係為用以對在層積體(金屬製薄片)上形成光阻圖案之方法作說明的圖。

〔圖10〕圖10，係為用以說明對層積體(金屬製薄片)作蝕刻之方法的圖。

〔圖11〕圖11，係為對應於圖8之圖，而係為用以對製造附有蒸鍍遮罩之薄片之方法的其中一種變形例作說明的圖。

〔圖12〕圖12，係為對應於圖6之圖，而係為用以對使用由從兩側而被蝕刻之金屬板所成的蒸鍍遮罩來進行蒸鍍之方法作說明的圖。

〔圖13〕圖13，係為對應於圖10之圖，而係為用以對從下方側之面而對金屬板進行蝕刻來製造蒸鍍遮罩之方法作說明的圖。

20‧‧‧蒸鍍遮罩

22‧‧‧有孔區域

23‧‧‧無孔區域

32‧‧‧樹脂製薄片

34‧‧‧金屬製薄片

60‧‧‧附有蒸鍍遮罩之薄片

Claims (17)

1. 一種附有蒸鍍遮罩之薄片，其特徵為，具備有：樹脂製薄片；和被形成有複數之孔，且被層積於前述樹脂製薄片處之金屬製薄片，前述金屬製薄片，係在與前述樹脂製薄片分離後，成為被作為蒸鍍遮罩而使用。
2. 如申請專利範圍第1項所記載之附有蒸鍍遮罩之薄片，其中，從前述金屬製薄片之不與前述樹脂製薄片相對面的側之面起，朝向前述金屬製薄片之與前述樹脂製薄片相對面之側的面，被形成於前述金屬製薄片處之孔的剖面積係逐漸變小。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所記載之附有蒸鍍遮罩之薄片，其中，係更進而具備有被與前述金屬製薄片相互固定了的框架。
4. 如申請專利範圍第1項或第2項所記載之附有蒸鍍遮罩之薄片，其中，前述樹脂製薄片之對於前述金屬製薄片的接合力，係成為會藉由對前述樹脂製薄片照射UV光而降低。
5. 如申請專利範圍第4項所記載之附有蒸鍍遮罩之薄片，其中，前述樹脂製薄片，係具備有基材薄片、和將前述基材薄片與前述金屬製薄片相接合之UV剝離層，前述UV剝離層之接合力，係成為若是被照射UV光則會降低。
6. 如申請專利範圍第1項或第2項所記載之附有蒸鍍遮罩之薄片，其中，前述複數之孔，係沿著一個方向而被並排配列，各孔，係沿著與前述一個方向而相正交之另外一個方向而延伸。
7. 如申請專利範圍第1項或第2項所記載之附有蒸鍍遮罩之薄片，其中，前述金屬製薄片，係包含有：以特定之圖案而被配置有複數之孔的複數之有孔區域；和被配置於前述有孔區域間之無孔區域。
8. 一種蒸鍍遮罩裝置之製造方法，係為由申請專利範圍第1項所記載之附有蒸鍍遮罩之薄片來製造蒸鍍遮罩裝置之方法，其特徵為，具備有：使前述樹脂製薄片從前述金屬製薄片而分離，並將前述樹脂製薄片從前述附有蒸鍍遮罩之薄片上而除去之工程。
9. 如申請專利範圍第8項所記載之蒸鍍遮罩裝置之製造方法，其中，前述樹脂製薄片之對於前述金屬製薄片的接合力，係成為會藉由對前述樹脂製薄片照射UV光而降低，在前述除去樹脂製薄片之工程中，係對前述樹脂製薄片照射UV光，而使前述金屬製薄片與前述樹脂製薄片相分離。
10. 如申請專利範圍第8項所記載之蒸鍍遮罩裝置之製造方法，其中，形成在前述金屬製薄片的複數之孔，係沿著一個方向而被並排配列，各孔，係沿著與前述一個方向而相正交之另外方向而延伸，在前述除去樹脂製薄片之 工程中，係沿著前述另外方向而使前述金屬製薄片與前述樹脂製薄片相分離。
11. 如申請專利範圍第8項乃至第10項中之任一項所記載之蒸鍍遮罩裝置之製造方法，其中，係更進而具備有在前述金屬製薄片上安裝框架之工程。
12. 一種附有蒸鍍遮罩之薄片的製造方法，係為製造如申請專利範圍第1項所記載之附有蒸鍍遮罩之薄片之方法，其特徵為，具備有：供給具備有樹脂製薄片和被層積於前述樹脂製薄片上之金屬製薄片的層積體之工程；和對所供給之層積體進行蝕刻，而在金屬製薄片上形成多數之孔的工程。
13. 如申請專利範圍第12項所記載之附有蒸鍍遮罩之薄片的製造方法，其中，在前述蝕刻層積體之工程中，係形成身為沿著一個方向而被並排配列、且各孔係沿著與前述一個方向而相正交之另外方向而延伸的多數之孔。
14. 如申請專利範圍第13項所記載之附有蒸鍍遮罩之薄片的製造方法，其中，前述層積體，係沿著前述另外方向而被作供給。
15. 如申請專利範圍第12項所記載之附有蒸鍍遮罩之薄片的製造方法，其中，在前述蝕刻層積體之工程中，係在金屬製薄片處，形成複數之以特定之圖案而被配置有複數之孔的有孔區域。
16. 如申請專利範圍第12項所記載之附有蒸鍍遮罩 之薄片的製造方法，其中，在前述供給層積體之工程中，係供給包含有若是照射UV光，則其之對於前述金屬製薄片的接合力會降低的樹脂製薄片之層積體。
17. 如申請專利範圍第12項所記載之附有蒸鍍遮罩之薄片的製造方法，其中，在前述供給層積體之工程中，係將捲繞有前述層積體之捲體回捲，而將延伸為帶狀之層積體作供給。