TWI401448B - 測試裝置、測試方法、電子元件的生產方法、測試模擬器以及測試模擬方法 - Google Patents

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Description

測試裝置、測試方法、電子元件的生產方法、測試模擬器以及測試模擬方法
本發明為關於一種電位比較器，用於將一對訊號間的電位差與所定的閥值電位之間的大小關係導出，其中該對訊號間的電位差形成由檢查對象輸出的差動訊號。本申請案與下述之日本專利申請案有關連，對於認可編入參考文獻的國家，下述的專利申請案說明書所述之內容，編入做為本申請案說明書之一部分供參考。
日本專利特願2005-062044
申請日期 2005年3月7日
先前已有檢查電子電路之特性的檢查裝置。該些檢查裝置，具體的說是具有以下功能：利用電位比較器，對由作為檢查對象之電子電路所輸出的電訊號，與所定的閥值電壓進行比較，依據比較結果判定電子電路之良否。因此，檢查裝置的檢查之可靠性，與進行電位比較的電位比較器之比較精度有很大的關係。構成檢查裝置的電位比較器，由檢察的可靠性等觀點來看是非常重要的設備。
但是，為提升傳輸速度的高速化及耐雜訊之特性，有提出利用所謂的差動傳輸方式代替原來的單端傳輸之技術。差動傳輸方式，為利用兩條傳輸線傳送訊息之技術，具體的說是依據經由兩條傳輸線傳送二個電訊號間的電位差，判定高(High)或低(Low)。對應此種利用差動傳輸方式的電子電路之增加，在進行電子電路的特性檢查之 檢查裝置的領域中，亦要求有配備對應差動傳輸方式的電位比較器之檢查裝置。
專利文獻1：日本專利特開2002-215712號公報
但是，先前的測試裝置及測試模擬器，在由電子元件或是模擬該電子元件的元件模擬器，輸出多數的輸出訊號之場合，仍然對各個輸出訊號獨立測試。因此，在該些多數的輸出訊號之間，且各個輸出訊號變化的時刻有關聯之場合，亦不能依此相關來測試電子元件，以判別良否。
本發明的目的即在提供一種能解決上述問題的測試裝置、測試方法、電子元件的生產方法、測試模擬器、以及測試模擬方法。此目的可由申請專利範圍的各獨立項所述之特徵的組合達成，又各附屬項規定本發明之更有利的具體例子。
為解決上述之問題，本發明的第一形態提供一種測試裝置，在供給電子元件測試訊號之同時，將由該電子元件對應該測試訊號輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試該電子元件是否進行所期待之動作。該測試裝置包括：基準時刻檢測部，檢測出一個輸出訊號發生變化；設定部，預先設定：由一個輸出訊號的發生變化到另一個輸出訊號發生變化的最小時間；取入部，在基準時刻檢測部檢測出一個輸出訊號發生變化之時起至經過該最小時間之時刻止，取得該另一個輸出訊號之值；以及識別部，當由取入部收取的另一個輸出訊號之值，與該經過最小時間 後應取得的另一個輸出訊號之值不一致時，識別出該電子元件為不良品。
取入部亦可包括：閃控訊號發生部，從基準時刻檢測部檢測出一個輸出訊號發生變化時起至經過該最小時間之時刻止，發生閃控訊號；以及比較器，依據閃控訊號取得另一個輸出訊號之值。該測試裝置亦可配置一個期待值保持部，將在由一個輸出訊號之值發生變化之時起至經過該最小時間之時刻止應取得之另一個輸出訊號之值做為期待值預先保持。所謂的最小時間，為對於接受該電子元件的輸出訊號發生動作的其他之電子元件，用一個輸出訊號之建立時間，或另一個輸出訊號之保持時間，之任一項皆可以。
本發明的第二形態提供一種測試方法，在供給電子元件測試訊號之同時，將由該電子元件對應該測試訊號而輸出的多數之輸出訊號，各個與期待值比較，以測試該電子元件是否進行期待之動作。該測試方法包括：基準時刻測試步驟，檢測出一個輸出訊號發生變化；設定步驟，預先設定：由一個輸出訊號發生變化到另一個輸出訊號發生變化的最小時間；取入步驟，在基準時刻檢測步驟檢測出一個輸出訊號發生變化之時刻起，經過該設定的最小時間，收取另一個輸出訊號之值；以及識別步驟，在取入步驟收取之另一個輸出訊號之值，與經過最小時間後應收取的另一個訊號之值不一致時，識別該電子元件為不良產品。
本發明的第三形態提供一種電子元件的生產方法，為 一種在供給電子元件測試訊號之同時，將由該電子元件對應該測試訊號輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以篩選表現出所期待之動作的電子元件之生產方法。該生產方法包括：基準時刻測試步驟，檢測出一個輸出訊號發生變化；設定步驟，預先設定：由一個輸出訊號發生變化到另一個輸出訊號發生變化的最小時間；取入步驟，在基準時刻檢測步驟檢測出一個輸出訊號發生變化之時刻起，經過最小時間，收取另一個輸出訊號之值；以及識別步驟，在取入步驟收取之另一個輸出訊號之值，與經過最小時間應收取的另一個訊號之值不一致時，識別該電子元件為不良產品。
又，本發明的第四形態提供一種測試模擬器，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給測試訊號，同時將由該元件模擬器對應該測試訊號輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試該電子元件是否實行如所期待的動作的測試模擬器。該測試模擬器包括：基準時刻檢測部，檢測出一個輸出訊號發生變化；設定部，預先設定：由一個輸出訊號發生變化起到另一個輸出訊號發生變化的最小時間；取入部，在基準時刻檢測部檢測出一個輸出訊號發生變化時起，經過最小時間，取入另一個輸出訊號之值；以及識別部，由該取入部取入之另一個輸出訊號之值，與經過最小時間後取入的另一個輸出訊號之值不一致時，識別該電子元件為不良產品。
本發明的第五形態提供一種測試裝置，為一種在供給 電子元件測試訊號之同時，將由該電子元件對應該測試訊號輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試該電子元件是否實行如期待之動作的裝置。該測試裝置包括：基準時刻檢測部，檢測出一個該輸出訊號發生變化；設定部，預先設定：由該一個輸出訊號發生變化起到另一個輸出訊號發生變化的最小時間；經過時間檢測部，檢測由一個輸出訊號發生變化起，到另一個輸出訊號發生變化的經過時間；以及識別部，在該經過時間較該最小時間短時，識別該電子元件為不良產品。
本發明的第六形態提供一種測試方法，為一種在供給電子元件測試訊號之同時，將由該電子元件對應該測試訊號輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試該電子元件是否進行如期待之動作的測試方法。該測試方法包括：基準時刻測試步驟，檢測出一個輸出訊號發生變化；設定步驟，預先設定：由一個輸出訊號發生變化起到另一個輸出訊號發生變化的最小時間；經過時間檢測步驟，檢測由一個輸出訊號發生變化起，到另一個輸出訊號發生變化的經過時間；以及識別步驟，在該經過時間比該最小時間短時，識別該電子元件為不良產品。
本發明的第七形態提供一種電子元件的生產方法，為一種在供給電子元件測試訊號之同時，將由該電子元件對應該測試訊號輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以篩選出進行所期待之動作的電子元件的生產方法；該生產方法包括：基準時刻檢測步驟，檢測出一個輸出訊 號發生變化；設定步驟，預先設定：由一個輸出訊號發生變化起到另一個輸出訊號發生變化的最小時間；經過時間檢測步驟，檢測由一個輸出訊號發生變化起，到另一個輸出訊號發生變化的經過時間；以及識別步驟，在經過時間比該最小時間短時，識別該電子元件為不良產品。
本發明的第八形態提供一種測試模擬器，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給測試訊號，同時將由該元件模擬器對應該測試訊號輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試該電子元件是否實行如期待的動作的測試模擬器。該測試模擬器包括：基準時刻檢測部，檢測出一個輸出訊號發生變化；設定部，預先設定：由一個輸出訊號發生變化起到另一個輸出訊號發生變化的最小時間；經過時間檢測部，檢測由一個輸出訊號發生變化起到另一個輸出訊號發生變化的經過時間；以及識別部，在該經過時間較該最小時間短時，識別該電子元件為不良品。
本發明的第九形態提供一種測試裝置，為一種在提供電子元件測試訊號之同時，將由該電子元件對應該測試訊號輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試是否能夠正確測試該電子元件的測試裝置。該測試裝置包括：基準時刻取得部，取得一個測試訊號發生變化之時刻；設定部，預先設定：由一個測試訊號發生變化起到另一個測試訊號發生變化的最小時間；測試訊號檢測部，由基準時刻取得部取得的一個測試訊號發生變化之時刻起，在經過該最小時間的時刻，檢測出另一個測試訊號之值；以及通 知部，檢測部檢測出的另一個測試訊號之值，與預先取得的作為經過最小時間後應取得的一個其他測試訊號之值不一致時，判斷為不能測試該電子元件，並通知該意旨。
本發明的第十形態提供一種測試模擬器，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給多數的測試訊號，同時將由該元件模擬器對應該些多數的測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試是否能夠正確測試該電子元件的測試模擬器。該模擬器包括：基準時刻取得部，取得一個測試訊號發生變化的時刻；設定部，預先設定：由一個測試訊號發生變化起到另一個測試訊號發生變化的最小時間；測試訊號檢測部，由基準時刻取得部取得的一個測試訊號發生變化之時刻起，在經過該最小時間的時刻，檢測出另一個測試訊號之值；以及通知部，在檢測部檢測出的另一個測試訊號之值，與預先儲存的作為經過最小時間後取得的其他一個測試訊號之值不一致時，判斷為不能正確測試該電子元件並通知該意旨。
本發明的第十一形態提供一種測試模擬方法，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給多數的測試訊號，同時將由該元件模擬器對應該些多數的測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試是否能夠正確測試該電子元件的測試模擬方法。該測試模擬方法包括：基準時刻取得步驟，取得一個測試訊號發生變化的時刻；設定步驟，預先設定：由一個測試訊號發生變化起到另一個測試訊號發生變化的最小時間；測試訊號檢測步 驟，由基準時刻取得步驟取得的一個測試訊號發生變化之時刻起，在經過該最小時間的時刻，檢測出另一個測試訊號之值；以及通知步驟，在檢測步驟檢測出的其他一個檢測訊號之值，與預先儲存的作為經過最小時間後應取得的其他一個測試訊號之值不一致時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知該意旨。本測試模擬方法，亦可增加儲存步驟，在通知步驟進行通知後，將修正的測試訊號之圖案儲存，在儲存步驟後再度實施基準時刻取得步驟，及測試訊號檢測步驟。
本發明的第十二形態提供一種電子元件的生產方法，為一種在模擬電子元件之動作的元件模擬器供給多數測試訊號之同時，將由該元件模擬器對應該多數的測試訊號輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試是否能夠正確測試該電子元件，並且利用該測試時用的測試訊號圖案，測試電子元件的實物，以篩選符合執行所期待之動作的電子元件產品之生產方法。該生產方法包括：基準時刻取得步驟，取得一個測試訊號發生變化之時刻；設定步驟，預先設定：由一個測試訊號發生變化起到另一個測試訊號發生變化的最小時間；測試訊號檢測步驟，由基準時刻取得步驟取得的一個測試訊號發生變化之時刻起，在經過該最小時間的時刻，檢測出另一個測試訊號之值；通知步驟，在檢測步驟檢測出的其他一個測試訊號之值，與預先儲存的作為經過最小時間後應取得的另一個測試訊號之值不一致時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知 該意旨；儲存步驟，在通知步驟通知該意旨後，儲存修正後的測試訊號之圖案；重復檢測步驟，在儲存步驟後，再度重復實施基準時刻取得步驟與測試訊號檢測步驟；實物測試步驟，在檢測步驟檢測出的其他一個檢測訊號，與經過最小時間後之其他一個測試訊號該得之值一致時，使用修正的測試訊號圖案測試該電子元件實物；以及識別步驟，依實物測試步驟，在電子元件的輸出訊號之值與期待值一致時，識別該電子元件為良品。
本發明的第十三形態提供一種測試裝置，為一種在對電子元件供給多數的測試訊號之同時，將由元件模擬對應該些多數的測試訊號輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試是否能夠正確測試該電子元件的測試裝置。該測試裝置包括：基準時刻取得部，取得一個測試訊號發生變化之時刻；設定部，預先設定：由一個測試訊號發生變化起到另一個測試訊號發生變化的最小時間；經過時間檢測部，檢測出由基準時刻取得的一個測試訊號發生變化之時刻起，到另一個測試訊號發生變化的經過時間；以及一通知部，在該經過時間比該之最小時間更短時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知該意旨。
本發明的第十四形態提供一種測試模擬器，為一種在對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給多數的測試訊號之同時，將由該元件模擬器對應該些多數的測試訊號而輸出之多數的輸出訊號，各個與期待值比較，以測試是否能夠正確測試該電子元件的測試模擬器。該測試模擬器包 括：基準時刻取得部，取得一個測試訊號發生變化之時刻；設定部，預先設定：由一個測試訊號發生變化起到另一個測試訊號發生變化的最小時間；經過時間檢測部，檢測出由基準時刻取得部取得的一個測試訊號發生變化之時刻起，到另一個測試訊號發生變化的經過時間；以及通知部，在該經過時間比該之最小時間更短時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知該意旨。
本發明的第十五形態提供一種測試模擬方法，為一種在對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給多數的測試訊號之同時，將由該元件模擬器對應該些多數的測試訊號而輸出之多數的輸出訊號，各個與期待值比較，以測試是否能夠正確測定該電子元件的測試模擬方法。該模擬方法包括：基準時刻取得步驟，取得一個測試訊號發生變化之時刻；設定步驟，預先設定：由一個測試訊號發生變化起到另一個測試訊號發生變化的最小時間；經過時間檢測步驟，檢測出由基準時刻取得步驟取得的一個測試訊號發生之時刻起，到另一個測試訊號發生變化的經過時間；以及通知步驟，在該經過時間比前述之最小時間更短時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知該意旨。本測試模擬方法亦可增加儲存步驟，在通知步驟通知不能正確測試之意旨時，儲存修正的測試訊號之圖案，在儲存步驟後，再進行基準時刻取得步驟及經過時經檢測步驟。
本發明的第十六形態提供一種電子元件的生產方法，為一種在對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給多 數的測試訊號之同時，將由該電子模擬器對應該些多數的測試訊號而輸出之多數的輸出訊號，各個與期待值比較，以測試是否能夠正確測試該電子元件，並且利用該測試使用的測試訊號之圖案，測試電子元件之實物，以篩選符合期待之動作的電子元件產品的生產方法。該生產方法包括：基準時刻取得步驟，取得一個測試訊號發生變化之時刻；設定步驟，預先設定：由一個測試訊號發生變化起到另一個測試訊號發生變化的最小時間；經過時間檢測步驟，檢測出由基準時刻取得步驟取得的一個測試訊號發生變化之時刻起，到另一個測試訊號發生變化的經過時間；通知步驟，在該經過時間比該之最小時間更短時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知該意旨；儲存步驟，在通知步驟通知不能正確測試後，儲存修改的測試訊號之圖案；重復檢測步驟，在儲存步驟後，再度重複基準時刻取得步驟與經過時間檢測步驟；實物測試步驟，在檢測步驟中檢測出另一個測試訊號之值，與在經過最小時間後應取得的其他一個測試訊號之值一致之場合，使用該測試訊號之圖案，測試電子元件之實物；以及識別步驟，依實物測試步驟，在由電子元件的輸出訊號與期待值一致時，識別該電子元件為良品。
本發明利用測試電子元件輸出的多個輸出訊號間，各個輸出訊號發生變化的時間之相互關係，能夠以更高精度識別該電子元件之良否。
又，上述的發明概要並未列舉本發明的全部之必要特徵，又該些特徵群的副組合，亦可形成本發明。
為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。
以下透過實施例說明本發明，但以下的實施例並未用以限定申請專利範圍的各項發明，又在實施例中說明的特徵之組合，不限定全部是本發明的解決問題所必須的。
第一實施例
圖1繪示本發明第一實施例的測試系統10的功能構造之一例的方塊圖。該測試系統10包括：測試控制裝置12、測試裝置14以及DUT(Device Under Test，測試元件)16。測試系統10利用測試裝置14來測試電子元件DUT16。測試控制裝置12控制測試裝置14，以在測試裝置14上執行DUT16的測試。測試裝置14供給DUT16測試訊號，並將由DUT16對應測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試DUT16是否進行期待之動作。DUT16，對應由測試裝置供給的測試訊號發生多數的輸出訊號，經過設在DUT16的多數的各個接腳而輸出該些多數的各個輸出訊號。
本發明第一實施例的測試裝置14，不像先前的測試裝置之功能測試，只做DUT16輸出的多數的各個輸出訊號與期待值比較處理，各輸出訊號獨立進行測試。本測試裝 置14尚測試在多數的輸出訊號間，各個輸出訊號的變化時序的相關性，而能夠以更高的精度識別DUT16的良否為其目的。
又，例如在DUT16對DRAM等之其他電子元件輸出指定位址的訊號之場合，本例說明的變化時刻有互相關係的多個輸出訊號為：位址訊號，及對表示該位址訊號之位址值的列位址之輸入時刻進行表示的列位址閃控(RAS)訊號，或對表示該位址訊號之位址值的行位址之輸入時刻進行表示的行位址閃控(CAS)訊號。
測試裝置14包括：圖案發生部100、時刻發生部110、波形形成部120、驅動器130、基準時刻檢測部140、設定部150、取入部160、期待值保持部170以及識別部180。該圖案發生部100，依據測試控制裝置12的控制，發生應供給DUT16的測試訊號，將發生的測試訊號之圖案輸出到波形形成部120。又，圖案發生部100，對應該發生的測試訊號之圖案，在該測試訊號供給之場合，生成表示DUT16輸出之輸出訊號的期待值的資訊，並將該生成的資訊輸出到期待值保持部170。此處，表示期待值的資訊可包含例如在DUT16輸出的多個輸出訊號之中，一個輸出訊號與另一個輸出訊號間，各個輸出訊號的變化時序有互相關連之場合，在經過由該一個輸出訊號發生變化起至該另一個輸出訊號發生變化止的最小時間之時刻，應取得的該另一個輸出訊號之值。該時刻發生部110，依據測試控制部12的控制，發生應供給測試訊號到DUT16的時刻， 並將該表示時刻的資訊輸出到波形形成部120、基準時刻檢測部140、及期待值保持部170。
波形形成部120，依據從圖案發生部100收取應供給到DUT16的測試訊號之圖案，及由時刻發生部110收取表示應供給到DUT16的測試訊號之時刻的資訊，形成應供給到DUT16之波形，並輸出到驅動器130。驅動器130將收自波形形成部120的測試訊號，供給到DUT16。又，測試裝置14設有對應在DUT16配設的多個接腳的多個接腳卡，利用設在每一個接腳卡的各驅動器130，對該些多數的接腳個別給與互異的測試訊號。然後，DUT16對應供給的測試訊號發生多數的輸出訊號，並將發生的輸出訊號輸出到基準時刻檢測部140及取入部160。
基準時刻檢測部140，用於檢測DUT16輸出的多數的輸出訊號之中，一個輸出訊號發生變化之現象。例如，基準時刻檢測部140，在發生多數的閃控訊號之同時，從該些多個閃控訊號的各個中取得一個輸出訊號之值，可由該取得之值與前次取得之值是否有變化，檢測出該一個輸出訊號發生變化。然後，基準時刻檢測部140，將表示該一個輸出訊號發生變化的時刻之資訊，輸出到取入部160。設定部150，例如：依測試控制裝置12的控制，預先設定：在DUT16輸出的多個輸出訊號之中，一個輸出訊號與另一個輸出訊號間，各輸出訊號的變化時刻有互相關連之場合，將由該一個輸出訊號發生變化起，至該另一個輸出訊號發生變化的最小時間。然後，設定部150將表示設定的 最小時間之資訊輸出到取入部160。
取入部160包含：閃控訊號發生部162及比較器164。該取入部160，在由基準時刻檢測部140檢測出一個輸出訊號發生變化時起到經過由設定部150設定的最小時間的時刻止，取入另一個輸出訊號之值。閃控訊號發生部162，在由基準時刻檢測部140檢測出一個輸出訊號發生變化時起到經過設定的最小時間的時刻止，發生閃控訊號，並將發生的閃控訊號輸出到比較器164。又，該閃控訊號發生部162與時刻發生部110成為一體也可以。比較器164依照由閃控訊號發生部162所發生的閃控訊號，取得由DUT16輸出的另一個輸出訊號之值。具體的說，比較器164是在表示發生的閃控訊號之時刻中，將另一個輸出訊號之值與基準電壓比較，並將比較結果的邏輯值作為該另一個輸出訊號之值。然後，比較器164將另一個訊號之值輸出到識別部180。
期待值保持部170，依據從圖案發生部100收取的表示期待值之資訊，及從時刻發生部110收取的供給到DUT16測試訊號之時刻，發生DUT16對應該測試訊號而輸出之輸出訊號的期待值，並將發生的期待值預先保存。具體的說，是期待值保持部170，在DUT16輸出的多個輸出訊號之中，一個輸出訊號與另一個輸出訊號之間，各輸出訊號發生變化的時間有互相關連之場合，在由該一個輸出訊號發生變化起，經過由設定部150設定的最小時間之時刻，將該另一個輸出訊號之應取得的值作為期待值預先 保存。
識別部180，利用比較由取入部160取得的輸出訊號與期待值保持部170保存之期待值，識別DUT16的良否。具體的說，識別部180，以取入部160取得的另一個輸出訊號之值，作為經過設定的最小時間之後應取得之另一個輸出訊號之值，與在期待值保持部170保存的期待值不一致時，識別DUT16為不良產品。然後，識別部將對DUT16之良否的識別結果輸出到測試控制部12，向測試者提示。
以上說明了測試裝置14，依據在多個輸出訊號之間的變化之時刻的相關性，識別DUT16的良否。但測試裝置14更能與先前的測試裝置之功能測試同樣的，在預先決定的時刻，將多數的輸出訊號各別與在期待值保持部170保存之期待值比較，識別DUT16的良否。
依本發明第一實施例的測試裝置14，在電子元件輸出的多個輸出訊號間，各個輸出訊號的變化時刻有互相關連之場合，可依據其相關性測試該電子元件。因此，在先前的進行功能測試之場合，即使在各預定時間的各輸出訊號與期待值一致之情況，仍有各輸出訊號不能滿足預定的相關性。亦即，在由一個輸出訊號發生變化，到預先設定的最小時間經過後的時刻之另一個輸出訊號之值，與期待值不同之場合，能夠識別電子元件為不良產品。相反地，先前的進行功能測試之場合，在預定的時刻之各輸出訊號之值與期待值不一致時，亦有因各輸出訊號之變化時刻有一樣的變位，各個輸出訊號能滿足預定的相關性之場合，亦 可識別該電子元件為不良產品。如上所述，測試裝置14與先前的進行功能測試之測試裝置相比，能以更高之精度，且更彈性地測試電子元件。
又，依本測試裝置14，在多數的輸出訊號之中，由一個輸出訊號發生變化的時序起到經過最小時間之時序止，發生閃控訊號，取入另一個輸出訊號之值，能夠確實測試各輸出訊號的相關性。繼而，藉由測試裝置14，以另一個輸出訊號之取得的值為期待值而預先保存，與取入的另一個輸出訊號比較，在使用多種測試訊號的圖案之場合，仍能依據該測試訊號之各別圖案的期待值進行測試。
圖2繪示本發明第一實施例的DUT16之輸出訊號的一例。本圖顯示的輸出訊號之中，輸出訊號A為在圖1之說明的一個輸出訊號。又，輸出訊號B，為在圖1之說明的另一個輸出訊號。此處，輸出訊號A與輸出訊號B，各個之變化時刻有相關性。例如輸出訊號B，在輸出訊號A發生變化後到預先設定的最小時間經過之前不發生變化。在本圖中，輸出訊號A發生的變化時刻為時刻T1，由時刻T1到依據設定部150設定的最小時間經過之時刻為時刻T2。又，在期待值保持部170保持的期待值，即在時刻T2時輸出訊號B應採取之值為L邏輯。因此在時刻T2時，輸出訊號B顯示H邏輯之場合，識別部180識別DUT16為不良產品。
此處的最小時間為：對接受從作為DUT16的電子元件的輸出訊號而發生動作的其他電子元件，用一個輸出訊 號亦即輸出訊號A的建立時間，或為另一個輸出訊號亦即輸出訊號B的保持時間的任一項皆可。具體的例，可舉DUT16對其他電子元件DRAM輸出位址訊號及表示該位址訊號之列位址的時刻之列位址閃控訊號RAS之場合作說明。亦即，測試裝置14測試以下之功能：DUT16輸出該位址訊號及該RAS訊號。在此場合，如輸出訊號A為位址訊號，輸出訊號B為RAS訊號時，對於其他電子元件，最小時間可為輸出訊號A之建立時間。又，如輸出訊號A為RAS訊號，輸出訊號B為位址訊號時，對於其他電子元件，最小時間可為輸出訊號B之保持時間。如此，測試裝置14，能夠識別：在RAS訊號發生變化的時刻，另一電子元件有否確實讀入位址訊號，即DUT16電子元件輸出的輸出訊號，是否能使另一電子元件正常發揮功能。
圖3繪示關於本發明第一實施例之測試裝置14的電子元件測試方法的處理流程之一例的流程圖。首先，由設定部150，預先設定在DUT16輸出的多個輸出訊號之中，由一個輸出訊號發生變化到另一個輸出訊號發生變化的最小時間(S1000)。接著，基準時刻檢測部140，在DUT16對應測試訊號輸出的多個輸出訊號之中，取入一個輸出訊號(S1010)。在此，基準時刻檢測部140，判定該取入的一個輸出訊號之值是否與前次取入之值發生變化(S1020)。當該輸出訊號之值沒有發生變化之場合(S1020，否)，基準時刻檢測部140返回S1010處理，再度進行取入一個輸出訊號。另一方面，在該輸出訊號之 值發生變化時(S1020，是)，基準時刻檢測部140，檢測出該發生變化之時刻為基準時刻(S1030)。
然後，閃控訊號發生部162，在由該檢測出的基準時刻起經過設定的最小時間的時刻止，發生閃控訊號(S1040)。其次，比較器164在表示發生閃控訊號的時刻，自DUT16輸出的多數訊號中取入該另一個輸出訊號(S1050)。然後，由識別部180，判定該取入的另一個輸出訊號之值，是否與期待值保持部170保持的期待值一致(S1060)。當該另一個輸出訊號之值與期待值一致時(S1060，是)，識別部180識別該DUT16電子元件為良品(S1070)。另一方面，在該另一個輸出訊號之值與期待值不一致時(S1060，否)，識別部180識別該DUT16電子元件為不良品(S1080)。
本發明第一實施例的測試方法，在電子元件輸出的多個輸出訊號之間，各個輸出訊號發生變化的時刻有相關性之場合，可依據其相關性測試該電子元件，能夠以更高精度，更彈性測試該電子元件是否與期待之動作相符。又，依照本圖所示的處理流程測試電子元件，能夠高精度，更彈性地篩選生產符合期待值之動作的電子元件。
圖4繪示本發明第二實施例的測試模擬系統20之功能構造之一例的方塊圖。測試模擬系統20包括：測試模擬器控制部22、測試模擬器24以及元件模擬器26。測試模擬器24，用軟體模擬由圖1至圖3說明的本發明第一實施例之測試裝置14的動作。具體的說，測試模擬器24，在 對模擬電子元件之動作的元件模擬器26供給測試訊號，同時將該元件模擬器26反應該測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試電子元件是否進行期待之動作。
測試模擬器24包括：圖案發生部100、時刻發生部110、波形形成部120、驅動器130、基準時刻檢測部140、設定部150、取入部160、期待值保持部170以及識別部180。又，本圖所示的測試模擬器24含有之各個構件，在圖1所示的測試裝置14中皆有，由於附加同一符號的各構件功能大略相同，故省略說明。但是，測試模擬器24的各構件是用軟體模擬其對應的測試裝置14之構件的功能。測試模擬器24中，用測試模擬器控制部22代替測試控制裝置12控制運作；又作為電子元件之實物的DUT16亦利用由軟體模擬該電子元件的元件模擬器26來代替，以進行該電子元件的測試。
本發明第二實施例的測試模擬裝置24，在模擬電子元件的元件模擬器，輸出的多個輸出訊號間，各個輸出訊號發生變化的時刻有相關性之場合，能夠依據其相關性測試該電子元件。因此，與先前的模擬只能進行功能測試的測試裝置的測試模擬器相比，能夠以更高之精度，更彈性地進行電子元件的模擬測試。
圖5繪示關於本發明第三實施例的測試系統30之構造的一例之方塊圖。測試系統30包括：測試控制裝置32、測試裝置34以及DUT36。測試系統30，使用測試裝置34 測試電子元件DUT36。測試控制裝置32，用以控制測試裝置34，以使DUT36的測試在測試裝置34進行。測試裝置34，在供給DUT36測試訊號之同時，由DUT36對應於測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試DUT36是否進行期待之動作。DUT36，對應由該測試裝置34供給的測試訊號而發生多個輸出訊號，利用設在DUT36的多個接腳，輸出多個各輸出訊號。
關於本發明第三實施例的測試裝置34，不僅可如使用先前的測試裝置的功能測試，將由DUT36輸出的多個輸出訊號的各個與期待值比較處理，每一個輸出訊號獨立進行以測試DUT36，且可利用多個輸出訊號間，各個輸出訊號發生變化之時刻的相關性之測試，以求能夠更高精度測試DUT36的良否為目的。
本測試裝置34含有：圖案發生部300、時刻發生部310、波形形成部320、驅動器330、基準時刻檢測部340、經過時間檢測部350、比較器360、設定部370、期待值保持部380以及識別部390。圖案發生部300，依照測試控制裝置32的控制，發生應供給到DUT36的測試訊號之圖案，並將發生的測試訊號之圖案輸出到波形形成部320。又，圖案發生部300產生資訊，該資訊表示輸出訊號之期待值，其中該輸出訊號與發生的測試訊號對應，且在該測試訊號被供給之場合時該輸出訊號由DUT36輸出。並且，圖案發生部300將產生的資訊輸出到期待值保持部380。時刻發生部310，依測試控制裝置32的控制，發生應供給 DUT36測試訊號的時刻，並將表示該時刻的資訊輸出到波形形成部320，基準時刻檢測部34，及期待值保持部380。
波形形成部320，依據從圖案發生部300所收取的應供給到DUT36的該測試訊號之圖案，及從時刻發生部310所收取的表示應供給到DUT36的測試訊號之時刻的資訊，而形成應供給到DUT36的測試訊號之波形，並輸出到驅動器330。驅動器330，將從波形形成部320所收取的測試訊號供給到DUT36。又，測試裝置34，設有接腳卡，該接腳卡對應於DUT36上設置的各個接腳，利用設置於每一個接腳卡的各個驅動器330，可對該些多個接腳各別供給互異的測試訊號。然後，DUT36反應於供給的測試訊號，而發生多個輸出訊號，並將發生的輸出訊號輸出到基準時刻檢測部340、經過時間檢測部350以及比較器360。
基準時刻檢測部340，檢測出DUT36輸出的多個輸出訊號之中，一個輸出訊號發生變化之現象。例如，基準時刻檢測部340，在發生多個閃控訊號之同時，藉由該些多個閃控訊號的各個中，取得的該輸出訊號之值，可由該取得之值與前次取得之值是否變化，檢測出該輸出訊號是否發生變化。繼而，基準時刻檢測部340將表示該輸出訊號發生變化的時刻之資訊，輸出到經過時間檢測部350。
經過時間檢測部350檢測出：在DUT36輸出的多個輸出訊號之中，一個輸出訊號與另一個輸出訊號間，各個輸出訊號發生變化的時刻有相關性之場合，從基準時刻檢測部340檢測出一個輸出訊號發生變化到另一個輸出訊號 發生變化的經過時間。例如，在基準時刻檢測部340檢測出一個輸出訊號發生變化的場合，經過時間檢測部350產生多個閃控訊號，同時藉由該些多個閃控訊號的各個中，取得該一個輸出訊號之值，檢測取得之值與前次取得之值的變化之時刻。接著，經過時間檢測部350，檢測出由基準時刻檢測部340檢測到該一個輸出訊號發生變化，到該另一個輸出訊號之值發生變化的時間為經過時間。然後，經過時間檢測部350，將表示檢測的經過時間之資訊輸出到識別部390。該比較器360，將DUT36輸出的各個輸出訊號與基準電壓比較，並將表示比較結果的邏輯值輸出到識別部390。
在DUT36輸出的多個輸出訊號之中，一個輸出訊號與另一個輸出訊號間，各個輸出訊號發生變化的時間有相關性之場合，例如依據測試控制裝置32的控制，設定部370預先設定由該一個輸出訊號變化到該另一個輸出訊號發生變化的最小時間。然後，設定部370將表示設定的最小時間之資訊輸出到識別部390。該期待持保持部380，依據從圖案發生部300所收取的表示期待值之資訊，及由時刻發生部310收取的應供給到DUT36的測試訊號之時刻，而產生的輸出訊號之期待值，並預先保存該發生的期待值，其中該輸出訊號為DUT36對應該測試訊號而輸出的。
識別部390，依據從經過時間檢測部350所收取的經過時間、及從比較器360所收取的比較結果，識別作為 DUT36的電子元件之良否。具體的說，在從經過時間檢測部350所收取的經過時間，比設定部370所收取的最小時間還短之場合，識別部390識別DUT36為不良產品。又，在從比較器360所收取的表示輸出訊號與基準電壓之比較結果的邏輯值，與在期待值保持部380所保存的期待值不一致之場合，識別部390識別DUT36為不良產品。然後，識別部390將關於DUT36之良否的識別結果輸出到測試控制裝置32，並向使用者提示。
關於本發明第三實施例的測試裝置34，在電子元件輸出的多個輸出訊號間，各個輸出訊號發生變化的時刻有相關性之場合，能夠依據該相關性測試該電子元件。因此，在進行先前的功能測試之場合，即使在預定時刻的各輸出訊號之值與期待值一致情況，仍有各輸出訊號不能滿足預定的相關性。亦即，在由一個輸出訊號發生變化到另一個輸出訊號發生變化之時間，比預定的最小時間更短之場合，可識別該電子元件為不良產品。相反地，進行先前的功能測試之場合，在預定的時刻之各個輸出訊號之值與期待值不一致時，亦有因各輸出訊號發生變化的時刻變位相同，各個輸出訊號能夠滿足預定的相關性之情況，能識別該電子元件為不良產品。如上所述，藉由測試裝置34，與只進行先前的功能測試之測試裝置相比，能以更高之精度，更彈性的測試電子元件。
又，對於收取從作為DUT36之電子元件的輸出訊號而發生動作的其他電子元件，藉由設定部370而設定的最 小時間為：一個輸出訊號的建立時間，或另一個輸出訊號之保持時間之任一項。
圖6繪示關於使用本發明第三實施例的測試裝置34的電子元件之測試方法的處理流程之一例的流程圖。首先，設定部370預先設定：DUT36輸出的多個輸出訊號之中，由一個輸出訊號發生變化到另一個輸出訊號發生變化的最小時間(S1100)。接續，基準時刻檢測部340，在DUT36對應測試訊號輸出的多個輸出訊號之中，取得一個輸出訊號(S1110)。在此，基準時刻檢測部340，判定取得的該輸出訊號之值，與上次取得之值有否發生變化(S1120)。在該輸出訊號之值未變化之場合(S1120，否)，基準時刻檢測部340返回處理步驟S1110，再度進行取得一個輸出訊號。另一方面，當該輸出訊號之值發生變化之場合(S1120，是)，基準時刻檢測部340檢測出該變化時刻作為基準時刻(S1130)。
其次，經過時間檢測部350，在DUT36對應測試訊號輸出的多個輸出訊號中，取得另一個輸出訊號(S1140)。在此，經過時間檢測部350，判定取得的另一個輸出訊號之值，是否與上次取得之值有否變化(S1150)。在另一個輸出訊號之值未變化之場合(S1150，否)，經過時間檢測部350返回處理步驟S1140，再度進行取得另一個輸出訊號。另一方面，在另一個輸出訊號發生變化之場合(S1150，是)，經過時間檢測部350檢測出由基準時刻到另一個輸出訊號之值發生變化的時間為經過時間 (S1160)。其次，識別部390判定檢測的經過時間是否短於設定的最小時間(S1170)。在經過時間不短於最小時間之場合(S1170，否)，識別部390識別DUT36的電子元件為良品(S1180)。另一方面，在經過時間短於最小時間之場合(S1170，是)，識別部390識別DUT36之電子元件為不良產品(S1190)。
本發明第三實施例的測試方法，為在電子元件輸出的多個輸出訊號間，各個輸出訊號發生變化的時刻有相關性之場合，依據該相關性測試該電子元件。藉此，能夠以更高精度、更彈性測試該電子元件是否發生所期待之動作。又，藉由本圖所示的處理之流程進行電子元件的測試，能夠更高精度、更彈性的篩選執行發生所期待之動作的電子元件。
圖7繪示關於本發明第四實施例之測試模擬系統40的功能構造之一例的方塊圖。該測試模擬系統40包含：測試模擬器控制部42、測試模擬器44以及元件模擬器46。測試模擬器44，為用軟體模擬在圖5及圖6說明的本發明第三實施例之測試裝置34的動作。具體地說，測試模擬器44，為對模擬電子元件之動作的元件模擬器46供給測試訊號，並將從元件模擬器46對應測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試該電子元件是否發生期待的動作。
測試裝置44包含：圖案發生部300、時刻發生部310、波形形成部320、驅動器330、基準時刻檢測部340、經過 時間檢測部350、比較器360、設定部370、期待值保持部380以及識別部390。本圖所示之測試模擬器44所有的各構件，與圖5所示的測試裝置34之構件中附加同一符號之各構件有同樣的功能，故省略其說明。但在測試模擬器44中的各構件，係用軟體模擬測試裝置34的對應之構件的動作。又，在測試模擬器44，用測試模擬器控制部42代替測試控制裝置32控制測試動作，且元件模擬器46代替作為該電子元件實物的DUT36，而藉由軟體模擬該電子元件，以進行該電子元件的測試。
關於本發明第四實施例的測試模擬器44，為在模擬電子元件的元件模擬器輸出的多個輸出訊號間，各個輸出訊號發生變化的時刻有相關性之場合，可依據其相關性測試該電子元件。因此，與先前的只做功能測試的測試裝置之測試模擬器相比，能夠以更高精度、更彈性的進行電子元件的模擬測試。
圖8繪示關於本發明第五實施例之測試模擬系統50的功能構造的一例之方塊圖。本測試模擬系統50包含：測試模擬器控制部52、測試模擬器54以及元件模擬器56。該測試模擬器54，為用軟體模擬測試電子元件的測試裝置之動作。具體的說，測試模擬器54，為對模擬電子元件之動作的元件模擬器56供給多個測試訊號，同時將由該元件模擬器56對應該些多個測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試是否能夠正確測試該電子元件。亦即，測試模擬器54測試：於測試電子元件之場合用的測 試訊號，即測試程式。元件模擬器56，以軟體模擬該設有多個接腳的電子元件之動作，對應於由該測試模擬器54各別供給該些多個接腳的多個測試訊號，各別輸出多數的輸出訊號。
關於本發明第五實施例的測試模擬器54，為利用測試供給元件模擬器56的多個測試訊號間，各個測試訊號的變化時刻之相關性，以測試是否能夠使用該些多個測試訊號，以正確地檢測該元件模擬器56之模擬的電子元件為目的。
又，在本例中說明之變化時間有相關性的多個測試訊號，例如對於模擬DRAM的元件模擬器56，用指定位址的訊號作為測試訊號供給之場合中，為位址訊號、及對表示該位址訊號之位址值的列位址之輸入時刻進行表示的RAS訊號或對表示該位址訊號之位址值的行位址之輸入時刻進行表示的CAS訊號。
測試模擬器54包含：圖案發生部500、時刻發生部505、波形形成部510、基準時刻取得部515、設定部520、測試訊號檢測部525、通知部530、驅動器535、比較器540、期待保持部545以及識別部550。該圖案發生部500，依據測試模擬器控制部52的控制，發生供給到元件模擬器56的測試訊號之圖案，將發生的測試訊號之圖案輸出到波形形成部510。在此，圖案發生部500，可對應於在元件模擬器56所模擬的電子元件設置之多個接腳，發生多個測試訊號。又，圖案發生部500對應於發生的測試訊號之圖案而 產生：於該測試訊號被供給之場合，元件模擬器56輸出之輸出訊號的期待值之資訊。並且，圖案發生部500將產生的資訊輸出到期待值保持部545。
時刻發生部505，依據測試模擬器控制部52的控制，發生應對元件模擬器56供給測試訊號的時刻，並將表示該時刻的資訊輸出到波形形成部510、基準時刻取得部515及期待值保持部545。波形形成部510，依據從圖案發生部500所取入的應供給到元件模擬器56的測試訊號之圖案，及由時刻發生部505所取入的表示應供給到元件模擬器56的測試訊號之時刻的資訊，形成應供給元件模擬器56的該些多個測試訊號的波形，並輸出到基準時刻取得部515及測試訊號檢測部525。
基準時刻取得部515，依據由波形形成部510輸入的多個測試訊號，取得在該些多數的測試訊號之中，一個測試訊號發生變化之時刻。例如，基準時刻取得部515，在預先設定的時間間隔，重複取得該測試訊號之值，依取得之值與前次取得之值有否變化，檢測出該測試訊號發生變化之現象，並取得該檢測時刻。然後，基準時刻取得部515，將表示該取得時刻的資訊，輸出到測試訊號檢測部525。
設定部520，在波形形成部510輸出的多個測試訊號之中，一個測試訊號與另一個測試訊號間，各個測試訊號的變化時刻有相關性之場合，例如依據測試模擬器控制部52的控制，預先設定由該一個測試訊號發生變化到該另一個 測試訊號發生變化的最小時間。然後，設定部520將表示設定之最小時間的資訊輸出到測試訊號檢測部525。
測試訊號檢測部525，由波形形成部510取得應供給到元件模擬器56的測試訊號。然後，測試訊號檢測部525，在基準時刻取得部515取得一個測試訊號發生變化的時刻起至經過設定部520設定的最小時間後的時刻止，檢測出另一個測試訊號之值。其後，測試訊號檢測部525將檢測出的測試訊號之值輸出到通知部530。又，測試訊號檢測部525，將自波形形成部510所收取的各個測試訊號，輸出到驅動器535。
通知部530，依據測試訊號檢測部525檢測出的另一個測試訊號之值，判斷該測試模擬器54是否可用現在的測試訊號，正確地測試該元件模擬器56正在模擬的電子元件。具體的說，通知部530，在多數的測試訊號之中，一個測試訊號與另一個測試訊號間，各個測試訊號發生變化的時刻有相關性之場合，由測試訊號檢測部525檢測出的另一個測試訊號之值，與作為由一個測試訊號發生變化時起至經過最小時間後另一個測試訊號應取得之值而預先保存之值不一致時，判斷用現在的測試訊號不能正確測試電子元件，並該將意旨通知測試模擬器控制部52。此處，作為另一個測試訊號應取得之值而預先保存之值，例如為由圖案發生部500依據測試模擬器控制部52的控制而發生，並在通知部530預先保存之值。
驅動器535，將自測試訊號檢測部525輸入的多個測 試訊號，供給到元件模擬器56。然後，元件模擬器56，對應供給的多個測試訊號而發生輸出訊號，並將發生的輸出訊號輸出到比較器540。比較器540比較由元件模擬器56輸入的輸出訊號與基準電壓，將作為比較結果之邏輯值輸出到識別部550。又，元件模擬器56將輸出訊號不用類比值而用邏輯值輸出之場合，比較器540不進行前述的比較處理，將收取的邏輯值照原樣輸出到識別部550。
期待值保值部545，依據從圖案發生部500所收取的表示期待值之資訊，及由時刻發生部505所收取的供給元件模擬器56測試訊號之時刻，而發生元件模擬器56對應該測試訊號而輸出的輸出訊號之期待值，並預先保持該發生的期待值。識別部550依據從比較器540所收取的比較結果，識別元件模擬器56所模擬的電子元件之良否，或測試程式的良否。具體的說，識別部550，在從比較器540所收取的表示輸出訊號與基準電壓的比較結果之邏輯值與在期待保持部545保持的期待值不一致之場合，識別該電子元件或測試程式為不良品。其後，識別部550，將對電子元件或測試程式的良否之識別結果，輸出到測試模擬器控制部52，並提示使用者等。
關於本發明第五實施例的測試模擬器54，在供給模擬電子元件之元件模擬器56的多個測試訊號間，各個測試訊號發生變化的時刻有相關性之場合，能依據該相關性檢測是否可用該測試訊號正確地測試該電子元件。如此，在預定之時刻的各個測試訊號之值與該取得之值不一致之場合，仍因各個測試訊號不能滿足預定之相關性，即由一個測試訊號發生變化起至經 過預先設定的最小時間之時刻的另一個測試訊號之值，與該取得之值不同之場合，可判斷為用該些測試訊號不能正確測試該電子元件。又，相反地，在預定的時刻之各個測試訊號之值，與該取得之值不一致時，仍因各個測試訊號的變化時刻有同樣的變位，各個測試訊號能滿足該預定相關性之場合，亦可判斷為能夠用該些測試訊號而正確地測試電子元件。由上所述，測試模擬器54，比先前進行模擬測試的測試模擬器，可以更高精度、更彈性地檢測是否能夠正確進行電子元件的測試。
以上，用圖8說明了用軟體模擬測試電子元件的測試裝置之動作的測試模擬器54，但是代之以實際的測試裝置，進行與上述之測試模擬器54做的同樣之處理亦可。具體的說，該測試裝置可包含：圖案發生部500、時刻發生部505、波形形成部510、基準時刻取得部515、設定部520、測試訊號檢測部525、通知部530、驅動器535、比較器540、期待值保持部545以及識別部550。此處，該測試裝置含有之各構件，與本圖的測試模擬器54中以同一符號所示的各構件有略相等之功能。接著，測試裝置對取代元件模擬器56的實際之電子元件，供給多個測試訊號，同時由該電子元件對應該些多個測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，測試該電子元件是否進行期待之動作。又，本測試裝置，可依照代替測試模擬器控制部52的測試控制裝置之控制，進行電子元件的測試。又，該測試裝置，進行與作為本圖之測試模擬器54的處理而所說明的處理相同，在供給電子元件的多個測試訊號間，各個測試訊號發生變化的時刻有相關性之場合，能夠依據該相關性檢 測：是否能用該測試訊號正確測試該電子元件。
圖9繪示關於本發明第五實施例的測試模擬器54中所使用的測試訊號之一例。本圖所示的測試訊號之中，測試訊號A為在圖8說明的一個測試訊號。又，測試訊號B為在圖8說明的另一個測試訊號。此處，測試訊號A與測試訊號B，各個的變化時刻有相關性。例如測試訊號B，在測試訊號A變化之後的預定之最小時間經過前不會變化。又在本圖，設測試訊號A的變化時刻為時刻T1，再設由時刻T1起經過設定部520設定的最小時間後的時刻為時刻T2。又在時刻T2，應取得的測試訊號B之值為L邏輯。因此，在時刻T2，測試訊號B顯示H邏輯之場合，通知部530判斷用本圖所示之測試訊號，該元件模擬器56不能正確地測試模擬之電子元件。
此處，最小時間可為一個測試訊號即測試訊號A的建立時間，或為另一個測試訊號即測試訊號B的保持時間，之任一項。具體之例為用測試模擬器54對模擬DRAM的元件模擬器56，供給位址訊號、及對表示該位址訊號之位址值的列位址之輸入時刻進行表示的RAS訊號作為測試訊號之場合說明。此場合，測試訊號A為位址訊號，測試訊號B為RAS訊號時，最小時間可用測試訊號A的建立時間。又，以測試訊號A為RAS訊號，測試訊號B為位址訊號的場合時，最小時間可為對元件模擬器56所模擬之電子元件的測試訊號B之保持時間。由上所述，可判斷在RAS訊號發生變化的時刻，對元件模擬器56所模擬的電子元件，是否確實讀入位址訊號，即能夠判斷是否可用該些測試訊號正確測試該電子元件。
圖10繪示使用本發明第五實施例的測試模擬系統50進行電子元件的測試模擬方法，及生產方法的處理流程之一例的流程圖。首先，設定部520設定在多數的測試訊號之中，由一個測試訊號發生變化到另一個測試訊號變化的最小時間(S1200)。其次，基準時刻取得部515，在多數的測試訊號中，檢測出該一個測試訊號之值(S1205)。此處，基準時刻取得部515，判定檢測出的該測試訊號之值，是否與上次取得之值有變化(S1210)。在該測試訊號之值沒有變化之場合(S1210，否)，基準時刻取得部515回到S1205之處理，再度檢測出該測試訊號之值。另一方面，在該測試訊號之值發生變化之場合(S1210，是)，基準時刻取得部515，取得發生變化之時刻(S1215)。
接著，測試訊號檢測部525，在由該一個測試訊號之值發生變化之時刻起至經過設定的最小時間之時刻止，檢測出另一個測試訊號之值(S1220)。其次，通知部530判斷檢測出的另一個測試訊號之值，是否與應該取得之值一致(S1225)。在判定另一個測試訊號之值，與應該取得之值不一致之場合(S1225，否)，通知部530判定該些測試訊號不能正確測試元件模擬器56模擬之電子元件，並通知該意旨(S1230)。接著，測試模擬器控制部52，將從通知部530所接受的通知內容提示使用者等，由使用者修正測試訊號，再儲存修正過的測試訊號(S1235)。然後，測試模擬系統50，回到S1205之處理，再度重復進行基準時刻取得部515的一個測試訊號發生變化之時刻的取得處理，及在測試訊號檢測部525的另一個測試訊號 之值的檢測處理。
另一方面，在判斷另一個測試訊號之值，與應取得之值一致時(S1225，是)，用實際的測試裝置取代測試模擬器54，使用該測試訊號之圖案，測試該元件模擬器56模擬的電子元件之實物(S1240)。然後，該測試裝置判定：向電子元件之實物供給測試訊號時由該電子元件取得的輸出訊號之值，與對應該測試訊號之圖案而發生的該輸出訊號之期待值是否一致(S1245)。在輸出訊號之值與期待值一致之場合(S1245，是)，測試裝置識別該電子元件為良品(S1250)。另一方面，輸出訊號之值與期待值不一致之場合(S1245，否)，測試裝置識別該電子元件為不良品(S1255)。
依照本圖所示由S1200到S1235的各處理流程的測試模擬方法，在多個測試訊號間，各個測試訊號發生變化的時間有相關性之場合，可依據其相關性驗證測試訊號。又，在判斷為不能正確測試該電子元件之場合，仍能修正測試訊號之圖案，再重復驗證該圖案，藉此，使用者能夠高精度地產生：可正確地測試電子元件的測試訊號之圖案。又，依照本圖所示的電子元件之模擬測試及實物測試的處理流程，能夠以更高精度、更彈性地篩選該電子元件的良否，以生產電子元件。
圖11繪示本發明第六實施例的測試模擬系統60之功能構造之一例的方塊圖。測試模擬系統60包括：測試模擬器控制部62、測試模擬器64以及元件模擬器66。測試模擬器64包含：圖案發生部500、時刻發生部505、波形形成部510、基準時刻取得部515、設定部620、經過時間檢測部625、通知部630、 驅動器535、比較器540、期待值保持部545以及識別部550。本圖所示之測試模擬器64含有之構件中，與圖8所示之測試模擬器54中以相同符號表示之構件有大略相同之功能，故除不同點外，其餘的說明省略。但是，在測試模擬器64中，用測試模擬器控制部62取代測試模擬器控制部52的控制，同時亦用元件模擬器66取代元件模擬器56進行測試。
設定部620，在波形形成部510輸出的多個測試訊號之中，一個測試訊號與另一個測試訊號間，各個測試訊號的變化時刻有相關性之場合，例如依據測試模擬器控制部62的控制，預先設定：由一個測試訊號發生變化到另一個測試訊號發生變化的最小時間。然後，設定部620，將表示設定之最小時間的資訊輸出到通知部630。
經過時間檢測部625，從波形形成部510取入要供給到元件模擬器66的測試訊號。然後，經過時間檢測部625，檢測由基準時刻取得部515取得的從一個測試訊號的變化時刻到另一個測試訊號的變化止的經過時間。例如，經過時間檢測部625，由該測試訊號發生變化之時刻起，以預定的時間間隔，重複取入另一個測試訊號之值，依據取入之值與上次取入之值是否有變化，檢測出另一個測試訊號發生了變化。其次，經過時間檢測部625檢測出：由該一個測試訊號發生變化的時刻起到另一個測試訊號發生變化經過的時間作為經過時間。然後，經過時間檢測部625，將表示檢測之經過時間的資訊，輸出到通知部630。
通知部630，依據從經過時間檢測部625取入的經過時 間，判斷：測試模擬器64藉由使用現在的測試訊號，是否能夠正確測試在元件模擬器66模擬的電子元件。具體的說，通知部630在該經過時間較從設定部620取入的最小時間短時，判斷用現在的測試訊號不能正確測試該電子元件，並將該意旨通知測試模擬器控制部62。
藉由本發明第六實施例的測試模擬器64，在供給到模擬電子元件的元件模擬器66的多數測試訊號間，各個測試訊號的變化時刻有相關性之場合，可依據該相關性檢測是否能用該測試訊號正確測試該電子元件。由此，即使在預定之時間的各測試訊號之值，與應該取得之值一致之場合，仍有各個測試訊號不能滿足相關性之情況，即由一個測試訊號發生變化到另一個測試訊號變化的經過時間，較預先設定的最小時間短之場合，亦能夠判斷使用該些測試訊號不能正確測試該電子元件。又，相反地，在預訂之時間的各個測試訊號之值，與應取得之值不一致之場合，亦有因各個測試訊號的變化時刻之變位相同，各個測試訊號能滿足預定的相關性之場合，此時亦能夠判斷使用該些測試訊號能正確測試電子元件。如上所述，使用測試模擬器64，比先前的測試模擬器，能夠更高精度，更彈性地檢測是否能正確測試電子元件。
又，由設定部620設定的最小時間，可為一個測試訊號的建立時間，或另一個測試訊號的保持期間之任一方。
以上，用圖11說明利用軟體模擬測試電子元件的測試裝置之動作的測試模擬器64，但用實際的測試裝置取代測試模擬器64進行如以上說明的處理亦可。具體的說，該測試裝置 包含：圖案發生部500、時刻發生部505、波形形成部510、基準時刻取得部515、設定部620、經過時間檢測部625、通知部630、驅動部535、比較器540、期待值保持部545以及識別部550。此處該測試裝置含有之各構件，在圖11所示的測試模擬器64以同一符號所表示的各構件，其功能幾乎相同。該測試裝置對取代元件模擬器66的實際電子元件供給多個測試訊號，並將由該電子元件對應該些多個測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試該電子元件是否進行所期待之動作。又，該測試裝置，用測試控制裝置代替測試模擬器控制部62，以進行電子元件的測試。繼而，該測試裝置，進行如上說明的圖11之測試模擬器64之同樣的處理，在供給電子元件的多數測試訊號間，各個測試訊號之變化時刻有相關性之場合，可利用其相關性來試驗：是否能夠用該些測試訊號正確測試該電子元件。
圖12繪示使用本發明第六實施例之測試模擬系統60的電子元件之測試模擬方法及生產方法的處理流程之一例的流程圖。首先，設定部620設定在多數的測試訊號之中，由一個測試訊號發生變化起到另一個測試訊號發生變化止的最小時間(S1300)。接著，由基準時刻取得部515，在多數的測試訊號之中，檢測出該一個測試訊號之值(S1305)。在此，基準時刻取得部515判定：檢測出的該一個測試訊號之值是否與上次檢測之值有所變化(S1310)。在該測試訊號之值無變化之場合(S1310，否)，基準時刻取得部515，返回處理步驟S1305，再度檢測該測試訊號之值。另一方面，在該測試訊號之值有變 化之場合(S1310，是)，基準時刻取得部515，取得發生變化的時刻(S1315)。
其次，經過時間檢測部625，在多數的測試訊號之中，檢測出另一個測試訊號之值(S1320)。在此，經過時間檢測部625，判定檢測出的另一個測試訊號之值，是否與上次檢測之值有變化(S1325)。在另一個測試訊號之值無變化之場合(S1325，否)，經過時間檢測部625，返回S1320之處理，再度檢測該另一個測試訊號之值。另一方面，在另一個測試訊號之值有變化之場合(S1325，是)，經過時間檢測部625，檢測出該測試訊號發生變化到另一個測試訊號變化的經過時間(S1330)。在此，通知部630判定：該檢測出的經過時間是否短於預先設定的最小時間(S1335)。在判定為經過時間短於最小時間之場合(S1335，是)，通知部530，判定用該些測試訊號，不能正確測試元件模擬器66模擬的電子元件，並通知該意旨(S1340)。其次，測試模擬器控制部62，將由通知部630通知的內容提示給使用人等，讓使用人進行測試訊號的修正，再儲存修正後的測試訊號(S1345)。然後，測試模擬系統60，返回S1305的處理，再度重復實施在基準時刻取得部515的取得一個測試訊號發生變化之時刻的處理，及在經過時間檢測部625中的經過時間之檢測處理。
另一方面，在經過時間不短於最小時間之場合(S1335，否)，以實際的測試裝置取代測試模擬器64，使用該些測試訊號的圖案，進行元件模擬器66所模擬的電子元件實物之測試(S1350)。然後，測試裝置將測試訊號供給到該電子元件的實 物，並判定從該電子元件取入的輸出訊號之值，與對應該測試訊號而發生的該輸出訊號之期待值，是否一致(S1355)。在輸出訊號之值與期待值一致之場合(S1335，是)，測試裝置識別該電子元件為良品(S1360)。又，輸出訊號之值與期待值不一致之場合(S1355，否)，測試裝置識別該電子元件為不良品(S1365)。
利用圖12所示之測試模擬方法的S1300到S1345的處理流程，在多數的測試訊號間，各個測試訊號的變化時刻有相關性之場合，可依據該相關性的驗證，判斷是否能用該測試訊號正確測試該電子元件。又，在判斷為不能正確測試該電子元件之場合，使用人亦可修正測試訊號的圖案及重復該圖案的驗證，高精度生成能正確測試該電子元件的測試訊號之圖案。又，依照圖12所示的處理流程，進行電子元件的模擬測試及實物測試，能夠更高精度且更彈性地篩選該電子元件是否為良品，以進行電子元件的生產。
圖13繪示本發明第七實施例的電腦1500的硬體構造之一例的方塊圖。本實施的電腦1500，包括：CPU週邊部分，包含經由主控制器1582互相連接的CPU1505、RAM1520、圖形控制器1575、與顯示裝置；輸入輸出部分，包含：經I/O控制器1584連接主控制器1582的通訊介面(通訊I/F)1530、硬碟機1540、與CD-ROM驅動機1560；以及舊有輸入輸出部分，包含與I/O控制器1584連接的ROM1510、軟碟機1550、與I/O晶片1570。
主控制器1582，連接RAM1520、與高速率進出RAM1520 的CPU1505及圖形控制器1575。CPU1505，依據在ROM1510及RAM1520儲存的程式動作，進行各部分的控制。圖形控制器1575，取得CPU1505等在RAM1520內設置的畫面緩衝器上發生的影像資料，並在顯示裝置1580上顯示。亦可取代上述之方式，使圖形控制器1575在其內部含有畫面緩衝器，該畫面緩衝器儲存CPU1505等所生成的影像資料。
I/O控制器1584，連接主控制器1582、及作為比較高速的I/O裝置之通訊介面1530、硬碟機1540、CD-ROM驅動機1560。通訊介面1530，可透過網路與其他裝置通訊。硬碟機1540，儲存電腦內之CPU1505使用的程式及資料。CD-ROM驅動機1560，由CD-ROM1595讀取程式及資料，並透過RAM1520提供給硬碟機1540。
又，I/O控制器1584，亦連接ROM1510、與軟碟機1550、及I/O晶片1570中比較低速的輸入輸出裝置。ROM1510，儲存電腦1500在啟動時施行的啟動程式，或與電腦1510的硬體有關之程式等。軟碟機1550，從軟碟1590讀取程式或資料，並透過RAM1520提供給硬碟機1540。I/O晶片1570，可經軟碟機1550、或例如平行埠、序列埠、鍵盤埠、滑鼠埠等連接各種輸入輸出裝置。
透過RAM1520提供給硬碟機1540的測試模擬程式由使用人提供，並儲存在軟碟1590、CD-ROM1595、或IC卡等之記錄媒體，測試模擬程式，從記錄媒體讀出，透過RAM1520安裝在電腦1500內的硬碟機1540，在CPU1505實行。安裝在電腦1500被實行的測試模擬程式，啟動CPU1505等，使電腦 1500形成如圖1至圖12說明的測試模擬器(24、44、54、64)發揮其功能。
以上所述的程式，也可記錄在外部的記憶媒體。所謂的記憶媒體，除了軟碟1590、CD-ROM1595之外，尚可用DVD或PD等光學記憶媒體、MD等的光磁記憶媒體、磁帶媒體、IC卡等的半導體記憶體等。又，也可使用與專用通訊網路或網際網路連接伺服器系統內設置的硬碟或RAM等記憶裝置為記憶媒體，透過網際網路提供電腦1500該些程式。
雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何本領域具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可做些許之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
10‧‧‧測試系統
12‧‧‧測試控制裝置
14‧‧‧測試裝置
16‧‧‧DUT
20‧‧‧測試模擬系統
22‧‧‧測試模擬器控制部
24‧‧‧測試模擬器
26‧‧‧元件模擬器
30‧‧‧測試系統
32‧‧‧測試控制裝置
34‧‧‧測試裝置
36‧‧‧DUT
40‧‧‧測試模擬系統
42‧‧‧測試模擬器控制部
44‧‧‧測試模擬器
46‧‧‧元件模擬器
50‧‧‧測試模擬系統
52‧‧‧測試模擬器控制部
54‧‧‧測試模擬器
56‧‧‧元件模擬器
60‧‧‧測試模擬系統
62‧‧‧測試模擬器控制部
64‧‧‧測試模擬器
66‧‧‧元件模擬器
100‧‧‧圖案發生部
110‧‧‧時刻發生部
120‧‧‧波形形成部
130‧‧‧驅動器
140‧‧‧基準時刻檢測部
150‧‧‧設定部
160‧‧‧取入部
162‧‧‧閃控訊號發生部
164‧‧‧比較器
170‧‧‧期待值保持部
180‧‧‧識別部
300‧‧‧圖案發生部
310‧‧‧時刻發生部
320‧‧‧波形形成部
330‧‧‧驅動器
340‧‧‧基準時刻檢測部
350‧‧‧經過時間檢測部
360‧‧‧比較器
370‧‧‧設定部
380‧‧‧期待值保持部
390‧‧‧識別部
500‧‧‧圖案發生部
505‧‧‧時刻發生部
510‧‧‧波形形成部
515‧‧‧基準時刻取得部
520‧‧‧設定部
525‧‧‧測試訊號檢測部
530‧‧‧通知部
535‧‧‧驅動器
540‧‧‧比較器
545‧‧‧期待值保持部
550‧‧‧識別部
620‧‧‧設定部
625‧‧‧經過時間檢測部
630‧‧‧通知部
1500‧‧‧電腦
1505‧‧‧CPU
1510‧‧‧ROM
1520‧‧‧RAM
1530‧‧‧通訊I/F
1540‧‧‧硬碟機
1550‧‧‧軟碟機
1560‧‧‧CD-ROM驅動機
1570‧‧‧I/O晶片
1580‧‧‧顯示裝置
1582‧‧‧主控制器
1584‧‧‧I/O控制器
1590‧‧‧軟碟
1595‧‧‧CD-ROM
S1000~S1080‧‧‧流程圖符號
S1100~S1190‧‧‧流程圖符號
S1200~S1255‧‧‧流程圖符號
S1300~S1365‧‧‧流程圖符號
圖1繪示本發明第一實施例的測試系統10的功能構造之一例的方塊圖。
圖2繪示本發明第一實施例的DUT16的輸出訊號之一例。
圖3繪示使用本發明第一實施例的測試裝置14之電子元件測試方法的處理流程之一例的流程圖。
圖4繪示本發明第二實施例的測試模擬系統20的功能構造之一例的方塊圖。
圖5繪示本發明第三實施例的測試系統30的構造之一例的方塊圖。
圖6繪示使用本發明第三實施例的測試裝置的電子元件測試方法之處理流程的一例之流程圖。
圖7繪示本發明第四實施例的測試模擬系統40的功能構造之一例的方塊圖。
圖8繪示本發明第五實施例的測試模擬系統50的功能構造之一例的方塊圖。
圖9繪示本發明第五實施例的測試模擬器54使用的測試訊號之一例。
圖10繪示使用本發明第五實施例之測試模擬系統50的電子元件之測試模擬方法及生產方法，處理流程之一例的流程圖。
圖11繪示本發明第六實施例的測試模擬系統60之功能構造之一例的方塊圖。
圖12繪示使用本發明第六實施例之測試模擬系統60的電子元件之測試模擬方法及生產方法，處理流程之一例的流程圖。
圖13繪示本發明第七實施例之電腦1500的硬體構造之一例的方塊圖。
10‧‧‧測試系統
12‧‧‧測試控制裝置
14‧‧‧測試裝置
16‧‧‧被測試元件
100‧‧‧圖案發生部
110‧‧‧時刻發生部
120‧‧‧波形形成部
130‧‧‧驅動器
140‧‧‧基準時刻檢測部
150‧‧‧設定部
160‧‧‧取入部
162‧‧‧閃控訊號發生部
164‧‧‧比較器
170‧‧‧期待值保持部
180‧‧‧識別部

Claims (29)

  1. 一種測試裝置，為一種在供給電子元件測試訊號之同時，將由該電子元件對應該測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試該電子元件是否進行所期待之動作的測試裝置，該測試裝置包括：基準時刻檢測部，檢測出一個輸出訊號發生變化的時刻；設定部，預先設定由一個輸出訊號發生變化到另一個輸出訊號發生變化的最小時間；取入部，在該基準時刻檢測部檢測出一個輸出訊號發生變化之時刻起，在經過該最小時間之時刻，取得上述之另一個輸出訊號之值；以及識別部，在該取入部取得的上述之另一輸出訊號之值，與在經過最小時間之時刻，上述之另一個輸出訊號應取得之值不一致時，識別該電子元件為不良品，其中該取入部包括：閃控訊號發生部，在該基準時刻檢測部檢測出一個輸出訊號發生變化起至經過該最小時間的時刻止，發生閃控訊號；以及比較器，依據該閃控訊號，取得上述之另一個輸出訊號之值。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的測試裝置，更包括：期待值保持部，將由一個輸出訊號之值發生變化起經過該最小時間之時刻止，取得上述另一個輸出訊號之應取 得值，以作為期待值預先保持。
  3. 如申請專利範圍第2項所述的測試裝置，該最小時間，對於接受該電子元件的輸出訊號而發生動作之另一電子元件，可用該輸出訊號的建立時間，或上述另一個輸出訊號的保持時間之任一項。
  4. 一種測試方法，為一種在供給電子元件測試訊號之同時，將由該電子元件對應該測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試該電子元件是否進行所期待之動作的測試方法，該測試方法包括：基準時刻檢測步驟，檢測出一個該些輸出訊號發生變化的時刻；設定步驟，預先設定由該輸出訊號發生變化到另一個輸出訊號發生變化的最小時間；取入步驟，由該基準時刻檢測步驟檢測出一個輸出訊號發生變化之時起經過該最小時間之時刻，取得上述另一個輸出訊號之值；以及識別步驟，在該取入步驟取得上述另一個輸出訊號之值，與在該最小時間經過之時刻，上述另一個輸出訊號應取得之值不一致時，識別該電子元件為不良品，其中該取入步驟包括：閃控訊號發生步驟，在該基準時刻檢測步驟檢測出一個輸出訊號發生變化起至經過該最小時間的時刻止，發生閃控訊號，並依據該閃控訊號，取得上述之另一個輸出訊號之值。
  5. 一種電子元件的生產方法，為一種在供給電子元件測試訊號之同時，將由該電子元件對應該測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以篩選實行所期待之動作的電子元件的電子元件生產方法，該電子元件的生產方法包括：基準時刻檢測步驟，檢測出一個輸出訊號發生變化的時刻；設定步驟，預先設定由該輸出訊號發生變化到另一個輸出訊號發生變化的最小時間；取入步驟，由該基準時刻檢測步驟檢測出一個輸出訊號發生變化起經過該最小時間之時刻止，取得上述另一個輸出訊號之值；以及識別步驟，在取入步驟取得上述另一個輸出訊號之值，與在該最小時間經過之時刻，上述另一個輸出訊號應取得之值不一致時，識別該電子元件為不良品，其中該取入步驟包括：閃控訊號發生步驟，在該基準時刻檢測步驟檢測出一個輸出訊號發生變化起至經過該最小時間的時刻止，發生閃控訊號，並依據該閃控訊號，取得上述之另一個輸出訊號之值。
  6. 一種測試模擬器，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給測試訊號，同時將由該元件模擬器對應該測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試該電子元件是否實行所期待之動作的測試模擬器，該 測試模擬器包括：基準時刻檢測部，檢測出一個輸出訊號發生變化的時刻；設定部，預先設定由一個輸出訊號發生變化到另一個輸出訊號發生變化的最小時間；取入部，在該基準時刻檢測部檢測出一個輸出訊號發生變化之時刻起，在經過該最小時間之時刻，取得上述另一個輸出訊號之值；以及識別部，在取入部取得的另一輸出訊號之值，與在經過該最小時間之時刻，該另一個輸出訊號應取得之值不一致時，識別該電子元件為不良品，其中該取入部包括：閃控訊號發生部，在該基準時刻檢測部檢測出一個輸出訊號發生變化起至經過該最小時間的時刻止，發生閃控訊號；以及比較器，依據該閃控訊號，取得上述之另一個輸出訊號之值。
  7. 一種測試裝置，為一種在供給電子元件測試訊號之同時，將由該電子元件對應該測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試該電子元件是否實行所期待之動作的測試裝置，該測試裝置包括：基準時刻檢測部，檢測出一個輸出訊號發生變化的時刻；設定部，預先設定由一個輸出訊號發生變化到另一個 輸出訊號發生變化的最小時間，並輸出表示所設定的該最小時間的資訊；經過時間檢測部，檢測出由基準時刻檢測部偵測到一個輸出訊號發生變化起到另一個輸出訊號發生變化的經過時間，並輸出表示所檢測的該經過時間的資訊；以及識別部，接收表示所設定的該最小時間的資訊、及表示所檢測的該經過時間的資訊，並在由該經過時間檢測部接收到的所檢測的該經過時間比由該設定部接收到的所設定的上述最小時間短時，識別該電子元件為不良品。
  8. 一種測試步驟，為一種在供給電子元件測試訊號之同時，將由該電子元件對應該測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試該電子元件是否實行如期待之動作的測試步驟，該測試步驟包括：基準時刻檢測步驟，檢測出一個輸出訊號發生變化的時刻；設定步驟，預先設定由一個輸出訊號發生變化到另一個輸出訊號發生變化的最小時間，並輸出表示所設定的該最小時間的資訊；及經過時間檢測步驟，檢測出由該基準時刻檢測部偵測到一個輸出訊號發生變化起到另一個輸出訊號發生變化的經過時間，並輸出表示所檢測的該經過時間的資訊；以及識別步驟，接收表示所設定的該最小時間的資訊、及表示所檢測的該經過時間的資訊，並在由該經過時間檢測步驟接收到的所檢測的該上述經過時間比由該設定步驟接 收到的所設定的上述最小時間短時，識別該電子元件為不良產品。
  9. 一種電子元件的生產方法，為一種在供給電子元件測試訊號之同時，將由該電子元件對應該測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以篩選實行所期待之動作的電子元件之電子元件的生產方法，該電子元件的生產方法包括：基準時刻檢測步驟，檢測出一個輸出訊號發生變化的時刻；設定步驟，預先設定由一個輸出訊號發生變化到另一個該些輸出訊號發生變化的最小時間，並輸出表示所設定的該最小時間的資訊；經過時間檢測步驟，檢測出由該基準時刻檢測部偵測到一個輸出訊號發生變化起，到另一個輸出訊號發生變化的經過時間，並輸出表示所檢測的該經過時間的資訊；以及識別步驟，接收表示所設定的該最小時間的資訊、及表示所檢測的該經過時間的資訊，並在由該經過時間檢測步驟接收到的所檢測的該上述經過時間比由該設定步驟接收到的所設定的上述最小時間短時，識別該電子元件為不良產品。
  10. 一種測試模擬器，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給測試訊號，同時將由該元件模擬器對應該測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較， 測試該電子元件是否實行所期待之動作的測試模擬器；該測試模擬器包括：基準時刻檢測部，檢測出一個輸出訊號發生變化的時刻；設定部，預先設定由一個輸出訊號發生變化到另一個輸出訊號發生變化的最小時間，並輸出表示所設定的該最小時間的資訊；經過時間檢測部，檢測出由該基準時刻檢測部偵測到一個輸出訊號發生變化起，到另一個輸出訊號發生變化的經過時間，並輸出表示所檢測的該經過時間的資訊；以及識別部，接收表示所設定的該最小時間的資訊、及表示所檢測的該經過時間的資訊，並在由該經過時間檢測部接收到的所檢測的該上述經過時間比由該設定部接收到的所設定的上述最小時間短時，識別該電子元件為不良產品。
  11. 一種測試裝置，為一種在供給電子元件多個測試訊號之同時，將該電子元件對應該些多個測試訊號輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測驗是否能夠正確測試該電子元件的測試裝置，該測試裝置包括：基準時刻取得部，取得一個測試訊號發生變化的時刻；設定部，預先設定由一個測試訊號發變化到另一個測試訊號發生變化的最小時間；測試訊號檢測部，由該基準時刻取得部取得的該一個測試訊號發生變化之時刻起，在經過該最小時間時止，取 得另一個測試訊號之值；通知部，在該檢測部取得的另一個測試訊號之值，與預先儲存之在上述最小時間經過後，另一個測訊號應取得之值不一致時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知該意旨；以及測試部，在該檢測部取得的另一個測試訊號之值，與預先儲存之在上述最小時間經過後，另一個測訊號應取得之值一致時，測試該電子元件。
  12. 一種測試模擬器，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給多個測試訊號的同時，將由該元件模擬器對應該些多個測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測驗是否能夠正確測試該電子元件的測試模擬器，該測試模擬器包括：基準時刻取得部，取得一個測試訊號發生變化的時刻；設定部，預先設定由一個測試訊號發變化到另一個測試訊號發生變化的最小時間；測試訊號檢測部，由基準時刻取得部取得的一個測試訊號發生變化之時刻起，在經過該最小時間之時刻止，取得另一個測試訊號之值；通知部，在檢測部取得的另一個測試訊號之值，與預先儲存在該最小時間經過後，上述另一個測訊號應取得之值不一致時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知該意旨；以及 測試部，在該檢測部取得的另一個測試訊號之值，與預先儲存之在上述最小時間經過後，另一個測訊號應取得之值一致時，測試該電子元件。
  13. 一種測試模擬方法，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給多個測試訊號之同時，將由該元件模擬器對應該些多個測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測驗是否能夠正確測試該電子元件的測試模擬方法，該測試模擬方法包括：基準時刻取得步驟，取得一個測試訊號發生變化的時刻；設定步驟，預先設定由一個測試訊號發變化到另一個測試訊號發生變化的最小時間；測試訊號檢測步驟，由基準時刻取得步驟取得的一個測試訊號發生變化之時刻起，在經過該最小時間之時刻止，取得另一個測試訊號之值；通知步驟，在檢測部取得的另一個測試訊號之值，與預先儲存之在該最小時間經過後另一個測訊號應取得之值不一致時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知該意旨；以及測試步驟，在該測試訊號檢測步驟取得的另一個測試訊號之值，與預先儲存之在上述最小時間經過後，另一個測訊號應取得之值一致時，測試該電子元件。
  14. 如申請專利範圍第13項所述的測試模擬方法，其特徵為，增加儲存步驟，在通知步驟進行通知之後，儲存 修正後的該測試訊號之圖案，在該儲存步驟之後，再度施行該基準時刻取得步驟、及該測試訊號檢測步驟。
  15. 一種電子元件的生產方法，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給多個測試訊號，同時將由該元件模擬器對應該些多個測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測驗是否能夠正確測試該電子元件；並且利用該測驗用的該測試訊號圖案，測試該電子元件之實物，以篩選進行所期待之動作的電子元件之電子元件的生產方法；該電子元件的生產方法包括：基準時刻取得步驟，取得一個該些測試訊號發生變化的時刻；設定步驟，預先設定由一個測試訊號發變化到另一個該測試訊號發生變化的最小時間；測試訊號檢測步驟，由該基準時刻取得步驟取得的一個測試訊號發生變化之時刻起，在經過該最小時間時，取得另一個測試訊號之值；通知步驟，在該檢測部取得的另一個測試訊號之值，與預先儲存之在最小時間經過後，另一個測訊號應取得之值不一致時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知該意旨；儲存步驟，在通知步驟進行該通知之後，儲存修正後的該測試訊號之圖案；在該儲存步驟之後，再度重複實施該基準時刻取得步 驟，及該測試訊號檢測步驟；及實物測試步驟，在該檢測步驟檢測出的另一個測試訊號之值，與經過該最小時間的另一個測試訊號應取得之值一致之場合，使用該修正的測試訊號之圖案，測試該電子元件之實物；以及識別步驟，依據該實物測試步驟，在由該電子元件取得的輸出訊號之值，與期待值一致之場合，識別該電子元件為良品。
  16. 一種測試裝置，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給多個測試訊號，同時將由該電子元件對應該些多個測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測驗是否能夠正確測試該電子元件的測試裝置，該測試裝置包括：基準時刻取得部，取得一個該些測試訊號發生變化的時刻；設定部，預先設定由一個測試訊號發變化起到另一個測試訊號發生變化的最小時間，並輸出表示所設定的該最小時間的資訊；經過時間檢測部，檢測出由該基準時刻取得部取得一個測試訊號發生變化的時刻起，到另一個測試訊號發生變化止的經過時間，並輸出表示所檢測的該經過時間的資訊；以及通知部，接收表示所設定的該最小時間的資訊、及表示所檢測的該經過時間的資訊，並在由該經過時間檢測部 接收到的所檢測的該上述經過時間比由該設定部接收到的所設定的上述最小時間短時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知該意旨。
  17. 一種測試模擬器，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給多個測試訊號，同時將由該元件模擬器對應該些多個測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測驗是否能夠正確測試該電子元件的測試模擬器，該測試模擬器包括：基準時刻取得部，取得一個該些測試訊號發生變化的時刻；設定部，預先設定由該一個測試訊號發變化到另一個該測試訊號發生變化的最小時間，並輸出表示所設定的該最小時間的資訊；經過時間檢測部，檢測出由該基準時刻取得部取得一個測試訊號發生變化的時刻起，到另一個測試訊號發生變化止的經過時間，並輸出表示所檢測的該經過時間的資訊；以及通知部，接收表示所設定的該最小時間的資訊、及表示所檢測的該經過時間的資訊，並在由該經過時間檢測部接收到的所檢測的該上述經過時間比由該設定部接收到的所設定的上述最小時間短時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知該意旨。
  18. 一種測試模擬方法，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給多個測試訊號，同時將由該元件模擬 器對應該些多個測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測驗是否能夠正確測試該電子元件的測試模擬方法，該測試模擬方法包括：基準時刻取得步驟，取得一個測試訊號發生變化的時刻；設定步驟，預先設定由一個測試訊號發變化到另一個測試訊號發生變化的最小時間，並輸出表示所設定的該最小時間的資訊；經過時間檢測步驟，檢測出由該基準時刻取得步驟偵測到該一個測試訊號發生變化之時刻起，到另一個測試訊號發生變化止的經過時間，並輸出表示所檢測的該經過時間的資訊；以及通知步驟，接收表示所設定的該最小時間的資訊、及表示所檢測的該經過時間的資訊，並在由該經過時間檢測步驟接收到的所檢測的該上述經過時間比由該設定步驟接收到的所設定的上述最小時間短時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知該意旨。
  19. 如申請專利範圍第18項所述的測試模擬方法，更包括：儲存步驟，在通知步驟施行上述通知後，儲存修正後的該測試訊號之圖案；以及在儲存步驟之後，再度實施該基準時刻取得步驟，及該經過時間檢測步驟。
  20. 一種電子元件的生產方法，為一種對模擬電子元 件之動作的元件模擬器供給多個測試訊號，同時將由該元件模擬器對應該些多個測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測驗是否能夠正確測試該電子元件；並且利用該測驗用的該測試訊號圖案，測試該電子元件之實物，以篩選實行所期待之動作的電子元件之電子元件的生產方法；該電子元件的生產方法包括：基準時刻取得步驟，取得一個該些測試訊號發生變化的時刻；設定步驟，預先設定：由該一個測試訊號發生變化起到另一個測試訊號發生變化止的最小時間；經過時間檢測步驟，檢測出：由該基準時刻取得部偵測到一個測試訊號發生變化之時刻起到另一個測試訊號發生變化止的經過時間；通知步驟，在上述經過時間較上述最小時間短時，判斷為不能正確試該電子元件，並通知該意旨；儲存步驟，在通知步驟通知該意旨後，儲存修正後的該測試訊號之圖案；在該儲存步驟之後，再度重複實施該基準時刻取得步驟，及該經過時間檢測步驟；實物測試步驟，在該檢測步驟中檢測出的另一個測試訊號之值，與經過該最小時間後另一個測試訊號應取得之值一致之場合，使用該修正的測試訊號之圖案，測試該電子元件之實物；以及識別步驟，依據該實物測試步驟，在由該電子元件取 得的輸出訊號之值，與期待值一致之場合，識別該電子元件為良品。
  21. 如申請專利範圍第18項所述的測試模擬方法，其中當上述經過時間不小於上述最小時間，則進行測試該電子元件的測試步驟。
  22. 一種測試裝置，為一種在供給電子元件測試訊號之同時，將由該電子元件對應該測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試該電子元件是否進行所期待之動作的測試裝置，該測試裝置包括：基準時刻檢測單元，檢測出一個輸出訊號發生變化的時刻；設定單元，預先設定由一個輸出訊號發生變化到另一個輸出訊號發生變化的最小時間；取入單元，在該基準時刻檢測單元檢測出一個輸出訊號發生變化之時刻起，在經過該最小時間之時刻，取得上述之另一個輸出訊號之值；以及識別單元，在該取入單元取得的上述之另一輸出訊號之值，與在經過最小時間之時刻，上述之另一個輸出訊號應取得之值不一致時，識別該電子元件為不良品，其中該取入單元包括：閃控訊號發生單元，在該基準時刻檢測單元檢測出一個輸出訊號發生變化起至經過該最小時間的時刻止，發生閃控訊號；以及比較器，依據該閃控訊號，取得上述之另一個輸出訊 號之值。
  23. 一種測試模擬器，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給測試訊號，同時將由該元件模擬器對應該測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測試該電子元件是否實行所期待之動作的測試模擬器，該測試模擬器包括：基準時刻檢測單元，檢測出一個輸出訊號發生變化的時刻；設定單元，預先設定由一個輸出訊號發生變化到另一個輸出訊號發生變化的最小時間；取入單元，在該基準時刻檢測單元檢測出一個輸出訊號發生變化之時刻起，在經過該最小時間之時刻，取得上述另一個輸出訊號之值；以及識別單元，在取入單元取得的另一輸出訊號之值，與在經過該最小時間之時刻，該另一個輸出訊號應取得之值不一致時，識別該電子元件為不良品，其中該取入單元包括：閃控訊號發生單元，在該基準時刻檢測單元檢測出一個輸出訊號發生變化起至經過該最小時間的時刻止，發生閃控訊號；以及比較器，依據該閃控訊號，取得上述之另一個輸出訊號之值。
  24. 一種測試裝置，為一種在供給電子元件測試訊號之同時，將由該電子元件對應該測試訊號而輸出的多個輸 出訊號，各個與期待值比較，以測試該電子元件是否實行所期待之動作的測試裝置，該測試裝置包括：基準時刻檢測單元，檢測出一個輸出訊號發生變化的時刻；設定單元，預先設定由一個輸出訊號發生變化到另一個輸出訊號發生變化的最小時間，並輸出表示所設定的該最小時間的資訊；經過時間檢測單元，檢測出由基準時刻檢測單元偵測到一個輸出訊號發生變化起到另一個輸出訊號發生變化的經過時間，並輸出表示所檢測的該經過時間的資訊；以及識別單元，接收表示所設定的該最小時間的資訊、及表示所檢測的該經過時間的資訊，並在由該經過時間檢測單元接收到的所檢測的該經過時間比由該設定單元接收到的所設定的上述最小時間短時，識別該電子元件為不良品。
  25. 一種測試模擬器，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給測試訊號，同時將由該元件模擬器對應該測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，測試該電子元件是否實行所期待之動作的測試模擬器；該測試模擬器包括：基準時刻檢測單元，檢測出一個輸出訊號發生變化的時刻；設定單元，預先設定由一個輸出訊號發生變化到另一個輸出訊號發生變化的最小時間，並輸出表示所設定的該最小時間的資訊； 經過時間檢測單元，檢測出由該基準時刻檢測單元偵測到一個輸出訊號發生變化起，到另一個輸出訊號發生變化的經過時間，並輸出表示所檢測的該經過時間的資訊；以及識別單元，接收表示所設定的該最小時間的資訊、及表示所檢測的該經過時間的資訊，並在由該經過時間檢測單元接收到的所檢測的該上述經過時間比由該設定單元接收到的所設定的上述最小時間短時，識別該電子元件為不良產品。
  26. 一種測試裝置，為一種在供給電子元件多個測試訊號之同時，將該電子元件對應該些多個測試訊號輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測驗是否能夠正確測試該電子元件的測試裝置，該測試裝置包括：基準時刻取得單元，取得一個測試訊號發生變化的時刻；設定單元，預先設定由一個測試訊號發變化到另一個測試訊號發生變化的最小時間；測試訊號檢測單元，由該基準時刻取得單元取得的該一個測試訊號發生變化之時刻起，在經過該最小時間時止，取得另一個測試訊號之值；通知單元，在該檢測單元取得的另一個測試訊號之值，與預先儲存之在上述最小時間經過後，另一個測訊號應取得之值不一致時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知該意旨；以及 測試單元，在該檢測單元取得的另一個測試訊號之值，與預先儲存之在上述最小時間經過後，另一個測訊號應取得之值一致時，測試該電子元件。
  27. 一種測試模擬器，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給多個測試訊號的同時，將由該元件模擬器對應該些多個測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測驗是否能夠正確測試該電子元件的測試模擬器，該測試模擬器包括：基準時刻取得單元，取得一個測試訊號發生變化的時刻；設定單元，預先設定由一個測試訊號發變化到另一個測試訊號發生變化的最小時間；測試訊號檢測單元，由基準時刻取得單元取得的一個測試訊號發生變化之時刻起，在經過該最小時間之時刻止，取得另一個測試訊號之值；通知單元，在檢測單元取得的另一個測試訊號之值，與預先儲存在該最小時間經過後，上述另一個測訊號應取得之值不一致時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知該意旨；以及測試單元，在該檢測單元取得的另一個測試訊號之值，與預先儲存之在上述最小時間經過後，另一個測訊號應取得之值一致時，測試該電子元件。
  28. 一種測試裝置，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給多個測試訊號，同時將由該電子元件對應 該些多個測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測驗是否能夠正確測試該電子元件的測試裝置，該測試裝置包括：基準時刻取得單元，取得一個該些測試訊號發生變化的時刻；設定單元，預先設定由一個測試訊號發變化起到另一個測試訊號發生變化的最小時間，並輸出表示所設定的該最小時間的資訊；經過時間檢測單元，檢測出由該基準時刻取得單元取得一個測試訊號發生變化的時刻起，到另一個測試訊號發生變化止的經過時間，並輸出表示所檢測的該經過時間的資訊；以及通知單元，接收表示所設定的該最小時間的資訊、及表示所檢測的該經過時間的資訊，並在由該經過時間檢測單元接收到的所檢測的該上述經過時間比由該設定單元接收到的所設定的上述最小時間短時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知該意旨。
  29. 一種測試模擬器，為一種對模擬電子元件之動作的元件模擬器供給多個測試訊號，同時將由該元件模擬器對應該些多個測試訊號而輸出的多個輸出訊號，各個與期待值比較，以測驗是否能夠正確測試該電子元件的測試模擬器，該測試模擬器包括：基準時刻取得單元，取得一個該些測試訊號發生變化的時刻； 設定單元，預先設定由該一個測試訊號發變化到另一個該測試訊號發生變化的最小時間，並輸出表示所設定的該最小時間的資訊；經過時間檢測單元，檢測出由該基準時刻取得單元取得一個測試訊號發生變化的時刻起，到另一個測試訊號發生變化止的經過時間，並輸出表示所檢測的該經過時間的資訊；以及通知單元，接收表示所設定的該最小時間的資訊、及表示所檢測的該經過時間的資訊，並在由該經過時間檢測單元接收到的所檢測的該上述經過時間比由該設定單元接收到的所設定的上述最小時間短時，判斷為不能正確測試該電子元件，並通知該意旨。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007017179A (ja) * 2005-07-05 2007-01-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体集積回路の検証方法および検査方法
US8067943B2 (en) * 2009-03-24 2011-11-29 Advantest Corporation Test apparatus, calibration method, program, and recording medium
US20130120010A1 (en) * 2011-11-10 2013-05-16 Qualcomm Incorporated Power Measurement System for Battery Powered Microelectronic Chipsets
KR101483519B1 (ko) * 2012-05-15 2015-01-16 삼성전자 주식회사 밀폐형 왕복동 압축기
KR101618822B1 (ko) * 2014-10-29 2016-05-18 (주)이노티오 스캔 테스트 시간 최소화 방법 및 그 장치
JP6688665B2 (ja) * 2016-04-11 2020-04-28 横河電機株式会社 機器保全装置、機器保全方法、機器保全プログラム及び記録媒体
JP2017218975A (ja) * 2016-06-08 2017-12-14 三菱電機株式会社 劣化診断装置
JP6832654B2 (ja) * 2016-09-09 2021-02-24 東京エレクトロン株式会社 検査システムの調整方法およびそれに用いる補助エレメント
TWI665565B (zh) * 2018-04-03 2019-07-11 孕龍科技股份有限公司 Signal pairing analysis method

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001051025A (ja) * 1999-08-12 2001-02-23 Advantest Corp 半導体試験用プログラムデバッグ装置
US6339555B1 (en) * 2000-07-24 2002-01-15 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor memory device enabling test of timing standard for strobe signal and data signal with ease, and subsidiary device and testing device thereof
TW519569B (en) * 2000-07-06 2003-02-01 Advantest Corp Test method and apparatus for semiconductor device
TW522322B (en) * 2000-09-29 2003-03-01 Advantest Corp Method for design validation of complex IC
TW578002B (en) * 1999-09-25 2004-03-01 Advantest Corp Event based semiconductor test system
WO2004031789A1 (ja) * 2002-10-01 2004-04-15 Advantest Corporation 試験装置、及び試験方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2952131B2 (ja) * 1993-05-11 1999-09-20 シャープ株式会社 半導体集積回路の試験装置
US5633879A (en) 1996-01-19 1997-05-27 Texas Instruments Incorporated Method for integrated circuit design and test
JP2000009809A (ja) * 1998-06-26 2000-01-14 Advantest Corp 誤設定検出機能を具備したｉｃ試験装置
JP3613036B2 (ja) * 1998-11-10 2005-01-26 松下電器産業株式会社 半導体検査装置および半導体検査方法
JP2001255357A (ja) * 2000-01-07 2001-09-21 Advantest Corp テストパターン妥当性検証方法及びその装置
JP2003161767A (ja) * 2001-11-27 2003-06-06 Ando Electric Co Ltd 半導体試験装置
US7437261B2 (en) * 2003-02-14 2008-10-14 Advantest Corporation Method and apparatus for testing integrated circuits
JP2004272312A (ja) * 2003-03-05 2004-09-30 Fuji Electric Device Technology Co Ltd テスト装置及びテスト方法
JP4558405B2 (ja) * 2004-08-17 2010-10-06 株式会社アドバンテスト 試験エミュレータ、エミュレーションプログラム、及び半導体デバイス製造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001051025A (ja) * 1999-08-12 2001-02-23 Advantest Corp 半導体試験用プログラムデバッグ装置
TW578002B (en) * 1999-09-25 2004-03-01 Advantest Corp Event based semiconductor test system
TW519569B (en) * 2000-07-06 2003-02-01 Advantest Corp Test method and apparatus for semiconductor device
US6339555B1 (en) * 2000-07-24 2002-01-15 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor memory device enabling test of timing standard for strobe signal and data signal with ease, and subsidiary device and testing device thereof
TW522322B (en) * 2000-09-29 2003-03-01 Advantest Corp Method for design validation of complex IC
WO2004031789A1 (ja) * 2002-10-01 2004-04-15 Advantest Corporation 試験装置、及び試験方法

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