TWI400362B

TWI400362B - 基板卸載裝置及基板卸載方法

Info

Publication number: TWI400362B
Application number: TW095137705A
Authority: TW
Inventors: Haruji Sasou; Hiroki Omura
Original assignee: Uyemura C & Co Ltd
Priority date: 2005-10-14
Filing date: 2006-10-13
Publication date: 2013-07-01
Also published as: TW200720490A; JP2007131942A; JP4714118B2; KR101324016B1; US20070098537A1; KR20070041373A; US7506742B2

Description

基板卸載裝置及基板卸載方法

將日本專利申請特願2005-300255號和特願2006-254759號的權利要求的範圍、說明書、附圖、摘要的內容組合到本申請中。

發明領域

本發明是關於如下技術的技術，即，涉及將基板從電鍍裝置等表面處理裝置中所使用的搬送用吊架上卸下並對該基板進行搬送的技術。

發明背景

首先，利用第7圖、第8圖，對具有基板卸載裝置(卸載機)的表面處理裝置的結構進行以下說明。第7圖是從上方觀察表面處理裝置100的俯視圖。第8圖是從α方向觀察第7圖所示的表面處理裝置100的側面圖。

如第7圖和第8圖所示，表面處理裝置100是所謂推進式電鍍裝置，該裝置具有：搬送用吊架15，其保持印刷基板等基板；升降導軌10、12，其使該搬送用吊架15以可滑動的狀態升降；以及固定導軌11、13，其用於一邊將該搬送用吊架15沿前後維持預定的間隔，一邊順次搬送該搬送用吊架15。

如第7圖所示，沿這些導軌10~13設置有：用於進行電鍍前處理程序的各種前處理槽1；用於進行電鍍的電鍍槽2；用於進行電鍍後處理程序的回收槽3和水洗槽4；用於進行基板的拆卸的、設置有基板卸載裝置的卸載部5；用於將附著在搬送用吊架15上的電鍍膜等剝離(吊架返回程序)的剝離槽6；在剝離處理後進行搬送用吊架15的水洗的水洗槽7；以及進行基板的安裝的裝載部8。

第7圖所示的升降導軌10、12既是將基板W(印刷基板等)在搬送用吊架15上進行安裝和拆卸的導軌，又是使基板W在浸漬於各種處理槽(電鍍槽2、剝離槽6、水洗槽、熱水清洗槽等)中時進行升降的導軌。固定導軌11、13是固定的導軌，分別用於對下降到電鍍槽2、剝離槽6等中的搬送用吊架15進行搬送。第8圖所示的升降導軌10、12在下降後的狀態下，與固定導軌11、13成為一體，導軌10~13構成一個環狀導軌。

利用第9圖和第10圖，對由第7圖所示的表面處理裝置100進行搬送的現有的搬送用吊架15的結構進行以下說明。第9圖是表示第8圖所示的搬送用吊架15的結構的詳細圖。第10圖是搬送用吊架15的局部中央剖面圖。

如第9圖所示，搬送用吊架15具有：被處理物保持部件90，其具有多個對被處理物W進行保持的夾鉗48；滑動部件35，其與固定導軌11等導軌滑動接觸；以及連接部件44，其將被處理物保持部件90和滑動部件35連接起來。

如第9圖所示，被處理物保持部件90是配設有如下部分而構成的部件：水平桿部46，其連接設置在連接部件44上，並且在搬送方向上大致水平地延伸；多個垂桿部49，其以下垂的狀態連接設置在該水平桿部46的預定部位；和夾鉗 48，其在該垂桿部49的下端夾持基板。

如第10圖所示，夾鉗48由安裝在垂桿部49上的固定部件48a和可動部件48b構成，可動部件48b可轉動地安裝在設置於固定部件48a的軸上。借助於彈簧，夾鉗48的固定部件48a和可動部件48b在前端部通常處於閉合的狀態。當克服彈簧的彈力，壓入可動部件48b的上端部時，在夾鉗48的前端部，在固定部件48a和可動部件48b之間形成間隙，從而可以在該間隙中插入基板W。

設置在第7圖所示的卸載部5上的基板卸載裝置5’如第11圖所示，具有：作為基板拆卸裝置的夾鉗開啟裝置50；吊架支承裝置51；以及接受台53。

夾鉗開啟裝置50是將夾鉗按壓部件安裝在按壓氣缸的前端而構成的，當到達第7圖所示的卸載部5的上方的搬送用吊架15如第11圖所示，與升降導軌12一起下降時，夾鉗開啟裝置50的按壓氣缸進行伸長動作，按壓夾鉗48(第10圖)的可動部件48b的上端部，解除對基板W的夾持。吊架支承裝置51是將支承板安裝在支承氣缸的前端而構成的，在夾鉗開啟裝置50動作前，吊架支承裝置51的支承氣缸進行伸長動作，該吊架支承裝置51從夾鉗開啟裝置50的相反側透過支承板，與上述下降後的搬送用吊架15的被處理物保持部件90抵接並對該保持部件90進行支承。從而，可以防止搬送用吊架15的被處理物保持部件90彎曲，可以防止夾鉗開啟裝置50按壓夾鉗48時的按壓力變弱。接受台53被配設在與升降導軌12一起下降後的搬送用吊架15的下方，接住並容納在解除由夾鉗48進行的夾持後落下的基板。

透過具有這些夾鉗開啟裝置50、吊架支承裝置51以及接受台53的基板卸載裝置5’，當通過夾鉗開啟裝置50和吊架支承裝置51，解除由夾鉗48進行的夾持時，與升降導軌12一起下降後的搬送用吊架15所夾持的基板W落下到接受台53上，就由其後的作業者進行運送和裝載(參照專利文獻1)。

專利文獻1 日本特開2002-363796號

但是，在如上所述的現有的基板卸載裝置5’中，存在如下的問題點。

作業者裝載落下到第11圖所示的接受台53上的基板W是繁雜而麻煩的作業。此外，因附著在基板W表面的處理液產生的表面張力或電鍍的黏著力，有時即使解除搬送用吊架15對基板W的夾持，基板W也不會從夾鉗48脫落，必須使裝置停止。進而，在厚度為0.1mm以下那樣的薄的基板W的情況下，由於上述處理液的表面張力，基板W在落下途中黏在接受台53上，沒有被接受台53接住的上端部有時會發生彎折等不良情況。

發明概要

本發明為了解決上述各問題，目的在於提供一種能夠容易地進行基板的拆卸作業的基板卸載裝置。

(1)本發明的基板卸載裝置是用於從夾持有基板的搬送用吊架上卸下基板的基板卸載裝置，其特徵在於具有：基板拆卸裝置，其解除搬送用吊架對基板的夾持；及基板收容裝置，其具有基板接受器，當從所述基板接受器的開口部在鉛直方向上接收和收容透過所述基板拆卸裝置從搬送用吊架上卸下的基板後，旋轉該基板接受器，將基板從所述開口部搬出。

從而，可以使基板的拆卸作業自動化，同時，可以容易地連接到公知的水平搬送式的輸送機或裝載裝置上，可以容易地進行裝載。

(2)本發明的基板卸載裝置的特徵在於：上述基板收容裝置將收容在旋轉後的基板接受器內的基板，透過基板搬送裝置從基板接受器的開口部搬出。

從而，可以將基板從基板接受器自動且順暢地搬出。

(3)本發明的基板卸載裝置的特徵在於：上述基板接受器於旋轉後下側的側壁上具有切口，上述基板搬送裝置通過該切口支承收容在旋轉後的基板接受器內的基板，並從上述基板接受器的開口部將該基板搬出。

從而，一邊支承整個基板，一邊將該基板搬出，可以防止基板在搬出時彎折。此外，可以快速地搬出基板，結果，即使是在單位時間內搬送來的基板塊數多(生產率高)的表面處理裝置，也可以進行順暢的自動基板拆卸。

(4)本發明的基板卸載裝置的特徵在於：上述基板收容裝置具有基板支承裝置，該基板支承裝置調節從上述搬送用吊架上卸下的基板的落下距離。

從而，即使在基板尺寸不同的情況下，也可以防止基板在落到基板接受器上時產生傷痕。

(5)本發明的基板卸載裝置的特徵在於：上述基板拆卸裝置具有基板脫落裝置。

從而，可以防止由於附著在基板表面的處理液的表面張力使基板不能從夾鉗等上脫落而必須停止裝置的動作。

(6)本發明的基板卸載裝置的特徵在於：上述基板接受器於旋轉後下側和上側的兩側壁上具有切口，當上述基板拆卸裝置解除搬送用吊架對基板的夾持時，噴氣裝置通過上述切口，從基板的兩側噴出空氣。

從而，可以防止基板在落下的途中黏在基板接受器的側壁上。

(7)本發明的基板卸載裝置的特徵在於：上述噴氣裝置至少朝向比基板的下端更靠上的位置噴出空氣。

從而，可以可靠地防止基板在落下的途中黏在基板接受器的側壁上。

(8)本發明的基板卸載裝置的特徵在於：在上述基板接受器的內面上，設置有防止黏貼導向件。

從而，可以防止基板黏在基板接受器的側壁上。

(9)本發明的基板卸載方法是用於從夾持有基板的搬送用吊架上卸下基板的基板卸載方法，其特徵在於：解除搬送用吊架對基板的夾持，卸下基板，當從基板接受器的開口部在鉛直方向上接收和收容從搬送用吊架上卸下的基板後，旋轉所述基板接受器，從所述開口部搬出基板。

從而，可以使基板的拆卸作業自動化，並且，可以容易地連接到公知的水平搬送式的輸送機或裝載裝置上，可以容易地進行裝載。

對於其他的目的、使用、效果，若參照以下的附圖和詳細說明，對於本領域的技術人員可以理解。

圖式簡單說明

第1圖是表示本發明的基板卸載裝置(卸載機5a)的結構的圖。

第2圖是表示第1圖所示的基板接受器52的結構的立體圖。

第3A圖是表示使基板接受器52旋轉後的狀態的側面圖，第3B圖是表示使基板接受器52旋轉後的狀態的仰視圖，第3C圖是從上方觀察基板接受器的開口部52a的圖。

第4圖是表示具有基板支承裝置60的卸載機5b的結構的圖。

第5圖是表示基板支承裝置60和基板接受器52的結構的圖。

第6圖是表示其他實施方式中的卸載機5c的結構的圖。

第7圖是從上方觀察電鍍裝置100的俯視圖。

第8圖是表示從α方向觀察電鍍裝置100的側面圖。

第9圖是表示搬送用吊架15的結構的詳細圖。

第10圖是搬送用吊架15的局部中央剖面圖。

第11圖是表示現有的基板卸載裝置(卸載機5’)的結構的圖。

第12圖是表示設置在升降導軌10的上部的間歇搬送裝置17的結構的俯視圖。

第13A圖、13B圖是表示基板脫落裝置58的結構的圖。

第14圖是表示其他實施方式中的基板卸載裝置的結構的圖。

第15圖是表示其他實施方式中的基板卸載裝置的結構的圖。

第16圖是表示其他實施方式中的基板卸載裝置的結構的圖。

第17圖是表示其他實施方式中的基板卸載裝置的結構的圖。

第18圖是表示其他實施方式中的基板卸載裝置的結構的圖。

第19圖是表示其他實施方式中的基板卸載裝置的結構的圖。

第20圖是表示其他實施方式中的基板卸載裝置的結構的圖。

第21圖是表示其他實施方式中的基板卸載裝置的結構的圖。

第22圖是表示基板卸載裝置中的控制流程的圖。

第23圖是表示其他實施方式中的基板卸載裝置的結構的圖。

第24圖是表示其他實施方式中的基板卸載裝置的結構的圖。

第25圖是表示其他實施方式中的基板卸載裝置的結構的圖。

第26圖是表示其他實施方式中的基板卸載裝置的結構的圖。

第27圖是表示其他實施方式中的基板卸載裝置的結構的圖。

第28圖是表示其他實施方式中的基板卸載裝置的結構的圖。

較佳實施例之詳細說明

具體實施方式

1．基板卸載裝置的結構

第1圖是表示本發明的基板卸載裝置(卸載機5a)的結構的圖。並且，第1圖所示的卸載機5a如後所述，被設置在第7圖所示的表面處理裝置100的卸載部5的位置上。

第1圖所示的卸載機5a是用於從夾持有基板W的搬送用吊架15卸下基板W的裝置，其用於從搬送用吊架15上卸下基板W、其後對基板W進行裝載(集積)的基板W的卸載作業。

如第1圖所示，卸載機5a具有：基板拆卸裝置，其由設置在基框70上的吊架支承裝置51以及設置在基框72上的夾鉗開啟裝置50和基板脫落裝置58構成；和基板收容裝置，其由基板接受器52(局部切口)、旋轉裝置54以及基板搬送裝置56構成。上述基板拆卸裝置解除搬送用吊架15對基板W的夾持，使基板W落下到基板收容裝置的基板接受器52中。此外，上述基板收容裝置收容透過基板拆卸裝置從搬送用吊架15上卸下並在鉛直方向上落下的基板W，然後使該基板W旋轉而以水平狀態將該基板W搬出。並且，基框70、72由鋼材構成。

首先，對由第1圖所示的吊架支承裝置51、夾鉗開啟裝置50以及基板脫落裝置58構成的基板拆卸裝置，進行以下說明。

如第1圖所示，吊架支承裝置51由位於搬送用吊架15左側的支承板51a和支承氣缸51b構成。在搬送用吊架15與升降導軌12一起下降到第1圖所示那樣的位置的狀態下，吊架支承裝置51從圖面左側與被處理物保持部件90抵接，來支承搬送用吊架15。

具體地，在後述的夾鉗開啟裝置50進行夾鉗48的解除前，支承氣缸51b動作，支承板51a與搬送用吊架15的被處理物保持部件90抵接並進行支承。從而，可以防止搬送用吊架15的被處理物保持部件90在夾鉗48的解除時彎曲，可以可靠地進行夾鉗48的解除。

如第1圖所示，夾鉗開啟裝置50由位於搬送用吊架15右側的夾鉗按壓部件50a和按壓氣缸50b構成。在搬送用吊架15與升降導軌12一起下降到第1圖所示那樣的位置的狀態下，夾鉗開啟裝置50解除夾鉗48對基板W的夾持。

具體地，第1圖所示的上述吊架支承裝置51的支承氣缸51b動作，在支承板51a成為與搬送用吊架15抵接的狀態後，在該狀態下，按壓氣缸50b動作，由此夾鉗按壓部件50a對夾鉗48的可動部件48b(參照第10圖)的上端部進行按壓，解除對基板W的夾持。

基板脫落裝置58由第1圖所示的基板推出部件58a和推出氣缸58b構成。在上述夾鉗開啟裝置50解除夾鉗48後，基板脫落裝置58在基板接受器52的開口部52a附近，在水平方向上前後移動，使基板W可靠地落下到基板接受器52內。例如，由於附著在基板W上的處理液的表面張力或電鍍的黏著力，有時即使解除夾鉗48的夾持，基板W也不會從夾鉗48脫落，或者基板W會黏在基板接受器52的側壁52e的內面上。即使在這樣的情況下，透過使基板推出部件58a與基板W接觸(例如，壓入幾毫米左右)，施加衝擊，可以使基板W搖動而落下。並且，此處，只使基板推出部件58a接觸基板W一次，但為了使基板W可靠地落下，也可以在基板接受器52的底面周圍設置感測器(未圖示)，使基板脫落裝置58多次進行前後運動，直到檢測到基板W已經落下為止。

第13A圖是從上方觀察基板脫落裝置58的俯視圖。如第13A圖所示，基板脫落裝置58的基板推出部件58a是將六個與基板W接觸並將該基板W推出的突起部件582安裝在安裝於推出氣缸58b的平板部件581上而構成的。突起部件582由樹脂(PP)形成，其前端進行圓角加工。這是為了在推出基板W時，使突起部件582不會損傷基板W。

第13B圖是表示上述基板脫落裝置58的突起部件582相對於搬送用吊架15和基板W的位置關係的圖。如第13B圖所示，基板脫落裝置58的突起部件582位於比搬送用吊架15的夾鉗48更靠下側(例如，靠下幾毫米)的位置，在比兩端的夾鉗48更靠內側的接觸位置583推出基板W。這是為了解除基板W與夾鉗48或基板接受器52內側壁之間產生的處理液的表面張力或電鍍的黏著力，特別是對厚度為1mm以下的薄基板，也要使推出動作可靠地傳遞到基板W上。並且，為了使基板W可靠地落下，優選使第13B圖所示的突起部件582的接觸位置583盡可能處於夾鉗48的近旁，進而，在要防止基板W黏在基板接受器52上的情況下，為了使基板W大幅度地搖動，也可以將離開夾鉗48的位置(鄰接的夾鉗48的中間位置)作為接觸位置583。

下面，利用第2圖等，對由第1圖所示的基板接受器52、旋轉裝置54以及基板搬送裝置56構成的基板收容裝置進行以下說明。並且，第2圖是表示基板接受器52的結構的圖，在本實施方式中，基板接受器52利用PVC(氯乙烯)成型。

基板收容裝置具有基板接受器52，該基板接受器52與旋轉裝置54連接，以便可以以第1圖所示的旋轉軸54c為中心向E方向旋轉，在基板接受器52中，如第2圖所示，在側壁52e上設置有縱向的切口(52b)。

當基板接受器52旋轉成為水平狀態時(用第1圖的虛線表示)，第1圖所示的作為上述基板搬送裝置的搬送輥56通過上述切口52b(參照第2圖)被引導到內部。從而，如第3A 圖、B所示，作為基板搬送裝置的搬送輥56通過上述切口52b支承基板W，以便在透過旋轉裝置54使基板接受器52成為水平狀態的位置，被收容於基板接受器52內的基板W不會接觸側壁52e和後述的防止黏貼導向件(guide)52d(參照第3C圖)。並且，第3A圖是表示基板接受器52旋轉後的狀態的側面圖，第3B圖是表示基板接受器52旋轉後的狀態的仰視圖。

這樣，透過在基板接受器52中設置第2圖所示那樣的切口52b，如第3B圖所示，通過基板接受器52的切口52b，基板W可以成為由搬送輥56支承的狀態，從而可以將基板W順暢地在第3A圖的F方向上搬送。例如，透過使搬送輥56從基板接受器52的側壁52e突出10mm左右，來支承基板W。

此外，如第1圖所示，基板接受器52具有開口部52a，該開口部52a在搬送用吊架15在鉛直方向(第1圖的D方向)下降時接收基板，開口部52a被成形為寬度朝向上方擴展的形狀，以使得該開口部52a可以將基板W可靠地引導到基板接受器52的內部。

此外，如第1圖所示，基板接受器52被配設成，搬送用吊架15的夾鉗48的位置(P)位於比基板接受器52的中央(M)更靠近側壁52e的內面附近(例如，距側壁52e的內面10~50mm)，從而使基板接受器52形成為沿基板接受器52的側壁52e的內面附近對基板W進行引導的結構。從而，當基板接受器52向第1圖的E方向旋轉時，可抑制收容在基板接受器52內的基板W在基板接受器52內移動而造成的基板W損傷。

另外，如第3C圖所示，在上述基板接受器52的側壁52e、52f的內面，朝向縱向、遍及整個側壁52e、52f地黏接設置有成形為桿狀(直徑幾mm)的PVC制的防止黏貼導向件52d。第3C圖是基板接受器52處於第1圖的實線狀態時，從上方觀察基板接受器的開口部52a的圖。從而，基板W與基板接受器52的側壁52e、52f的內面不會面接觸，既可以防止在基板W表面產生擦傷，又可防止因附著的處理液的表面張力，基板W黏在基板接受器52的側壁52e、52f的內面上。

如第1圖所示，旋轉裝置54由下列部分構成：旋轉氣缸54a，其成為使基板接受器52旋轉的動力；和旋轉臂54b，其一端被固定在上述基板接受器52的下端部，另一端連接到旋轉氣缸54a，是將旋轉氣缸54a的動力傳遞到基板接受器的L型的一體部件。第1圖所示的旋轉氣缸54a進行伸長動作，使旋轉臂54b以緊固在基框72上的軸54c為中心旋轉，由此基板接受器52在收容了基板W的狀態下，向第1圖的E方向旋轉。並且，旋轉氣缸54a的一端透過軸54e可旋轉地連接在基框72上，旋轉氣缸54a的另一端可旋轉地連接在固定於旋轉臂54b的軸54d上，該旋轉臂54b被緊固在基板接受器52上。

基板搬送裝置由搬送輥56構成，該搬送輥56由驅動電動機驅動，該基板搬送裝置將旋轉到第1圖的虛線位置後的基板接受器52所收容的基板W，從開口部52a沿水平方向(第1圖的F方向)搬出。並且，搬送輥56的直徑例如形成為 40mm。這是由於，在使用直徑太大的輥的情況下，對於薄的基板，基板的端部進入搬送輥56之間，有可能引起搬送不良。此外，搬送輥56的旋轉軸位於比旋轉後的狀態下的基板接受器52更靠下方的位置。

利用第22圖對卸載機5a中的控制流程進行說明。並且，卸載機5a的動作透過由CPU等構成的電鍍裝置100(第7圖)的控制部(未圖示)控制。

當由感測器(未圖示)檢測出具有基板W的搬送用吊架15從第7圖所示的電鍍裝置100的水洗槽4被搬送到卸載部5時，如第22圖所示，根據來自控制部的指令，升降導軌12在第1圖的D方向下降(步驟S02)。

接著，在上述感測器的檢測後，當透過計時器(timer)等的計測經過預定時間時，根據來自控制部的指令，第1圖所示的支承氣缸51b動作，支承板51a與被處理物保持部件90抵接，由此支承搬送用吊架15(步驟S04)。然後，當進一步經過預定時間時，根據來自控制部的指令，按壓氣缸50b動作，夾鉗按壓部件50a按壓夾鉗48的上端部，由此解除對基板W的夾持(步驟S06)。

當進一步經過預定時間時，推出氣缸58b動作，基板推出部件58a接觸基板W(步驟S08)。並且，在夾鉗48對基板W的夾持被解除時(上述步驟S06)，在基板W已經脫落的情況下，即使推出氣缸58b動作，基板推出部件58a也不接觸基板W。

當基板W被收容到基板接受器52內時(例如，由設置在基板接受器52上的感測器檢測出來)，旋轉氣缸54a動作，基板接受器52以第1圖所示的旋轉軸54c為中心，向E方向旋轉，基板W被搬送輥56保持為水平狀態(步驟S10)。當基板接受器52成為水平狀態時，搬送輥56開始旋轉，將基板W沿第1圖的F方向搬出(步驟S12)。

當基板W被搬送時，升降導軌12上升，同時，各氣缸(支承氣缸51b、按壓氣缸50b、推出氣缸58b、旋轉氣缸54a)分別退避而返回到原來的狀態(步驟S14)。

然後，卸下基板W後的搬送用吊架15被送到第7圖所示的剝離槽6中。另一方面，從水洗槽4將具有新基板W的搬送用吊架15搬送到卸載部5，就可進行由上述卸載機5a所做的一系列動作(從第22圖的步驟S02到S14)。

並且，在第22圖所示的控制流程中，在對基板W的夾持被解除(步驟S06)後，在步驟S08，當經過預定時間時，以使得推出氣缸58b動作的方式進行控制，但也可以進行如下控制，即，在設置於基板接受器52上的感測器檢測到基板W落下時，並不使推出氣缸58b動作，而是以使得基板接受器52旋轉(步驟S10)的方式進行控制，或者只限於在設置於基板接受器52上的感測器沒有檢測出基板W落下的情況下，才使推出氣缸58b動作。

如以上所述，本發明的卸載機5a具有由夾鉗開啟裝置50、吊架支承裝置51、基板脫落裝置58構成的基板拆卸裝置，以及由基板接受器52、旋轉裝置54、基板搬送裝置56構成的基板收容裝置，由此可以實現以下的事項。

(I)透過將公知的裝載(集積)裝置連接到本發明的卸載機5a的基板搬送裝置56上，由此直到基板W的裝載作業為止都可以實現自動化。此外，由於基板W被基板搬送裝置56搬出，因此，作業者可以容易地接收基板W，從而裝載作業變容易。

(Ⅱ)由於具有基板脫落裝置58，從而可以防止因附著在基板W表面上的處理液的表面張力而使基板W不會落下到基板接受器52內。由此，可以避免裝置停止的危險性，以及因薄的基板W沒有順暢地收容到基板接受器52內而引起的彎折等不良。

2．表面處理裝置和搬送用吊架的結構

使用本發明的卸載機5a的表面處理裝置的結構，與上述的第7圖、8所示的裝置的結構相同。

如第7圖和第8圖所示，表面處理裝置100是所謂推進式電鍍裝置，該裝置具有：搬送用吊架15，其保持印刷基板等基板W；升降導軌10、12，其使該搬送用吊架15以可滑動的狀態升降；以及固定導軌11、13，其一邊將該搬送用吊架15沿前後維持預定的間隔，一邊順次搬送該搬送用吊架15。沿著這些導軌10~13設置有：用於進行電鍍前處理程序的前處理槽1；用於進行電鍍程序的電鍍槽2；用於進行電鍍後處理程序的回收槽3和水洗槽4；用於進行基板W的拆卸的卸載部5；用於剝離附著在搬送用吊架15上的電鍍膜等的剝離槽6；在剝離處理後對搬送用吊架15進行水洗的水洗槽7；以及進行基板W的安裝的裝載部8。如第7圖或第 8圖所示，升降導軌10、12既是間歇地對搬送用吊架15進行搬送，將基板W(印刷基板等)在該搬送用吊架15上進行安裝(裝載)和拆卸(卸載)的導軌，又是將基板W浸漬在各種處理槽(電鍍槽2、剝離槽6、水洗槽、熱水清洗槽等)中時進行升降的導軌。

利用第9圖、第10圖等，對本發明的搬送用吊架15的結構進行說明。

如第9圖所示，搬送用吊架15具有：被處理物保持部件90，其具有多個對基板W進行保持的夾鉗48；滑動部件35，其與固定導軌11滑動接觸；以及連接部件44，其將被處理物保持部件90和滑動部件35連接起來。作為滑動部件35和連接部件44的材質，可採用銅、黃銅。

此外，如圖10所示，在滑動部件35的上部緊固有軸承(軸受)36，該軸承36具有與鏈帶39(構成圖7所示的固定導軌搬送裝置19)嚙合的單向離合式的齒幹40。因此，在固定導軌11、13上，與鏈帶39嚙合的齒輪40在送進時只向第9圖所示的B方向旋轉。

此外，透過使間歇搬送裝置17、22的推桿16、21(第8圖)與第9圖所示的推桿抵接面37抵接，從而可進行搬送用吊架15的搬送。例如，透過使第12圖所示的間歇搬送裝置22的推桿21c與處於第7圖的(j)位置的搬送用吊架15的推桿抵接面37抵接，從而搬送用吊架15被搬送到卸載機5a的位置(第7圖的(k)位置)。第12圖是表示設置在升降導軌10、12的上部的間歇搬送裝置17、22的結構的俯視圖。

第10圖的爪抵接部32是搬送用吊架15的搬送裝置即定位搬送裝置18的搬送爪30(第7圖)所抵接的部分。

3．其他實施方式

並且，在上述實施方式中，基板接受器52用其底面位置接住落下後的基板W(參照第1圖)，但也可以如第4圖所示，形成如下結構，即，在上述基板收容裝置中增設基板支承裝置60，在基板接受器52’內，用該基板支承裝置60來接住落下的基板W，同時，可以調節基板W落下的距離。第4圖所示的卸載機5b具有設置在基框74上的基板支承裝置60，在這一點上與第1圖所示的卸載機5a不同。並且，基框74由鋼材構成。

如第4圖所示，基板支承裝置60由下列部分構成：基板停止部件60a，其接住落下的基板W；和停止位置調節升降機60b，其透過電動機或電驅動器等的驅動，使基板停止部件60a移動到預定的高度位置。

具體地，在上述夾鉗開啟裝置50解除夾鉗48之前，對應於第4圖所示的搬送用吊架15所夾持的基板W的縱向長度，基板停止部件60a透過停止位置調節升降機60b的驅動，移動到預定高度(例如，與基板W的下端的間隔至少比夾鉗48對基板W的夾持量L10(第9圖)長的高度位置：優選是從基板W的下端靠下10~30mm的高度位置)，然後下降，使基板W的下端由基板接受器52’的底面支承。從而，當基板W被收容在基板接受器52’中時，可以有效地防止基板W損傷。

第5圖表示該實施方式的基板支承裝置60和基板接受器52’的結構。如第5圖所示，基板停止部件60a由在垂直方向上延伸的多個棒材構成，不僅在基板接受器52’上設置有第2圖所示的側壁52e的切口52b，而且在側壁52f上也設置有切口52c，以使這些棒材貫通基板接受器52’。

並且，在上述實施方式中，如第5圖所示，用基板停止部件60a調節基板W的落下距離，該基板停止部件60a貫通在基板接受器52’的側壁52e、52f上設置的切口52b、52c，但並不僅限於這樣的結構。例如，也可以形成如下結構，即，如第14圖所示，將旋轉裝置54固定在基板接受台55上，將基板接受器52(與第1圖所示的基板接受器52相同，在側壁52f上沒有切口52c)可上下移動地載置在該基板接受台55上，透過安裝在基板接受台位置調節升降機61b上的基板接受台支承部件61a的上下移動，對該基板接受器52的高度進行調節。

此外，在第4圖所示的實施方式中，為了調節基板W被收容到基板接受器52中時的基板W的落下距離，由停止位置調節升降機60b使接住基板W的基板停止部件60a移動，來調節高度，但並不僅限於這樣的結構，也可以不使用停止位置調節升降機60b。

例如，也可以形成如下所述那樣的結構，即，如第15圖所示，將兩個基板停止部件60a’、60a”安裝在調節氣缸60d上，分別預先以預定的高度固定在停止位置固定部件60c上，當使基板W落下時，根據基板W的尺寸，使基板停止部件60a’或60a”前進，插入基板接受器52’的切口52c內。

並且，在將第15圖所示的基板支承裝置60’作為基板卸載裝置進行實施的情況下，省略第4圖中的基框74，代替基板支承裝置60設置第15圖所示的基板支承裝置60’即可。

並且，在上述的實施方式中，如第1圖所示，基板W在基板接受器52的側壁52e的內面附近，在鉛直方向上被接收，但也可以在離開側壁52e內面的位置(例如，第1圖所示的開口部52a的中央周圍)接收基板W。

並且，在上述的實施方式中，如第1圖所示，沿鉛直方向設置基板接受器52，但也可以如第6圖所示，預先將基板接受器52傾斜設置，在該狀態下，沿鉛直方向接收基板W。

並且，在上述的實施方式中，透過第1圖所示的旋轉裝置54使基板接受器52旋轉到水平狀態後，用具有驅動源的基板搬送裝置56搬出基板W，但也可以用沒有驅動源的作為基板搬送裝置的自由輥。

例如，如第16圖所示，也可以在基板接受器52”的側壁52e”的內面設置沒有與驅動源連接的自由輥56a，透過旋轉裝置54，使開口部52a”相對於水平狀態為朝下，基板W在重力的作用下，透過自由輥56a而滑落，從而從開口部52a”被搬出。

並且，在將第16圖所示的基板接受器52”作為基板卸載裝置進行實施的情況下，也可使用第14圖中的基板接受器52來代替第16圖的基板接受器52”。作為裝置整體，可以設置第4圖中的基板接受器52來代替第14圖的基板接受器52” 和第16圖的基板接受台55，設置第4圖中的基板支承裝置60來代替第14圖的基板支承裝置61，同時，可以省略搬送輥56。

並且，在上述實施方式中，如第5圖所示，在基板接受器52的側壁52e上，沿縱向(沿搬送方向)成形有切口52b，但並不僅限於此。例如，也可以成形有對在第4圖中的沿各搬送輥56的朝著紙面向裏的方向上並列設置的輥進行引導的橫向(沿與搬送方向直交的方向)的切口。在此情況下，將側壁52f的切口52c沿橫向成形，使其可對輥進行引導，在設置第15圖所示的基板支承裝置60’的基板卸載裝置的實施方式中，也可以使用成形該橫向切口的基板接受器。

並且，在上述實施方式中，如第1圖所示，形成了搬送輥56，該搬送輥56通過基板接受器52的切口52b支承基板，並利用由作為驅動源的電動機驅動的輥進行搬出，但也可以如第17圖所示，在旋轉後的基板接受器52的底部(在旋轉前，底部的部分)的左側，設置作為驅動源的搬出氣缸56b，用該搬出氣缸56b推出和搬出基板W。此外，如第18圖所示，也可以在旋轉後的基板接受器52的右側(開口部的前面位置)，具有作為驅動源的牽引氣缸56c，在該牽引氣缸56c上，安裝用空氣等吸引基板W並將該基板W吸附到吸盤上的吸附裝置56d，透過牽引氣缸56c的動作，吸附裝置56d從開口部52a進入基板接受器52內，吸引並吸附基板W，利用牽引氣缸56c從基板接受器52之開口部52a，對基板W進行牽引並將其搬出。

並且，在上述實施方式中，第1圖所示的基板脫落裝置58在水平方向上前後移動，接觸基板W，使基板W搖動，但也可以透過氣缸震動(cylinder shock)，對基板接受器52的側壁52e或搬送用吊架15施加衝擊，使基板W搖動。

並且，在上述實施方式中，基板脫落裝置58如第1圖所示，只設置在夾鉗位置(P)的圖面的右側，但也可以只設置在圖面左側，還可以設置在圖面右側和左側這兩方。

例如，相對於第10圖所示的夾鉗48，基板W黏在可動部件48b或固定部件48a上，因此在黏到可動部件48b上的情況下，從圖面右側推出黏貼後的基板W，但對黏到固定部件48a上的基板W，從圖面左側推出是有效的。

並且，在上述實施方式中，基板拆卸裝置由夾鉗開啟裝置50、吊架支承裝置51以及基板脫落裝置58等三個裝置構成，但只要至少具有夾鉗開啟裝置50即可。

並且，在上述實施方式中，具有如下結構，即，透過使基板接受器52旋轉，使搬送輥56自動地支承基板W，但也可以這樣構成，即，在基板接受器52旋轉之後使搬送裝置上升，由此支承基板W。

並且，在上述實施方式中，如第3C圖所示，在基板接受器52的側壁52f的內面設置防止黏貼導向件52d，當基板W從搬送用吊架15落下時，防止該基板W附著在基板接受器52上，但也可以設置第19圖和第20圖所示那樣的由第1空氣噴嘴62和第2空氣噴嘴64構成的噴氣裝置，來代替設置防止黏貼導向件52d。

第19圖和第20圖是表示分別在第4圖和第5圖中還設置有作為噴氣裝置的第1空氣噴嘴62和第2空氣噴嘴64的狀態的圖，其中，第4圖表示利用基板支承裝置60時的卸載機5b的結構，第5圖表示基板接受器52的結構。第21圖是表示第19圖所示的基板接受器52’的Z部分之詳細的圖。

在本實施方式的基板接受器52’中，如第20圖所示，不僅在側壁52e(在旋轉後成為下側的側壁)上設置有切口52b，而且在側壁52f(在旋轉後成為上側的側壁)上也設置有切口52c。

此外，如第19圖所示，在基板接受器52’的圖中的右側(基框72側)，在四個位置(參照第20圖)設置第1空氣噴嘴62，該第1空氣噴嘴62的排出口62a朝向比水平更向上的方向(即，相對於下降的基板W傾斜的方向)，在基板接受器52’的圖中的左側(基框74側)，在四個位置(參照第20圖)設置第2空氣噴嘴64，該第2空氣噴嘴64的排出口64a朝向水平方向(即，與下降的基板W垂直的方向)。

此外，如第20圖所示，第1空氣噴嘴62被安裝在固定軸66(即使基板接受器52旋轉，該軸也不旋轉)上，該固定軸66沿緊固在基框72(參照第19圖)上的軸54c進行設置，第2空氣噴嘴64被安裝在噴出位置調節升降機64b上，該噴出位置調節升降機64b透過電動機或電驅動器等的驅動，使第2空氣噴嘴64移動到預定的高度位置。此處，為了更有效地防止基板W附著在基板接受器52’上，如第21圖所示，(I)調節第1空氣噴嘴62和第2空氣噴嘴64的高度，以及噴嘴的噴出角度，以便在搬送用吊架15下降時，至少朝向比基板的下端Y靠上的位置X噴出空氣，或者如第20圖所示，(Ⅱ)優選將第1空氣噴嘴62和第2空氣噴嘴64配置成，在基板W的表面和背面，來自對置位置的空氣對準同一位置X。

以下，利用第19圖和第20圖，對第1空氣噴嘴62和第2空氣噴嘴64的動作進行說明。並且，對第1空氣噴嘴62和第2空氣噴嘴64的空氣供給，利用在工廠內流動的淨化空氣，用壓縮機來進行，該控制對電磁閥的動作進行編程，由控制部進行。

如第19圖所示，當搬送用吊架15在鉛直方向(第19圖的D方向)下降時，在夾鉗開啟裝置50打開夾鉗48之前，或者在打開夾鉗48的同時，第1空氣噴嘴62和第2空氣噴嘴64開始噴出空氣。另外，基板W在夾鉗開啟裝置50解除搬送用吊架15的基板夾持狀態的同時落下，或者在不是這樣的情況下，透過基板脫落裝置58的基板推出部件58a在水平方向上前後移動並與該基板W接觸，由此該基板W落下。此時，空氣從基板接受器52’的外側通過切口52b、52c，從兩面均衡地噴在基板W的表面和背面，因此，基板W就在從基板接受器52’的內壁離開(浮起)的狀態下順暢地落下。當感測器(未圖示)感知到基板W已到達基板支承裝置60的基板停止部件60a時，由第1空氣噴嘴62和第2空氣噴嘴64進行的空氣噴出停止。然後，在收容基板W的狀態下，基板接受器52’向第19圖的E方向旋轉，基板W便從開口部52a沿水平方向(第19圖的F方向)被搬出。並且，上述一系列的程序透過上述的控制部(未圖示)控制而進行。

從而，可以將基板可靠地收容在基板接受器內，可以解除因基板W在落下途中黏在基板接受器52’的側壁上所產生的問題。例如，可以避免如下情形，即，基板W的上部從基板接受器52’的上部開口露出，在基板接受器52’旋轉時，基板W接觸基板脫落裝置58，產生彎折或損傷。

並且，在上述實施方式中，將第1空氣噴嘴62安裝在基板接受器52’的固定軸66上，但安裝位置和安裝方法並不僅限於此，例如，可以將第1空氣噴嘴62直接安裝在基框72上，或者如第23圖所示，可以將開設有空氣排出口80的管材82與板材84a、84b、84c組合起來，與基板接受器52’一體成形。

並且，在上述實施方式中，將第2空氣噴嘴64安裝在噴出位置調節升降機64b上，但安裝位置和安裝方法並不僅限於此，例如，如第24圖所示，也可以將第2空氣噴嘴64配設在覆蓋基板支承裝置60的蓋86上。

此外，如第25圖所示，也可以將第1空氣噴嘴62和第2空氣噴嘴64都安裝在基板停止部件60a(第4圖)上。例如，也可以如第25圖所示，形成如下結構，即，將第1空氣噴嘴62和第2空氣噴嘴64以位於基板接受器52(52f’、52e’)的外側的方式安裝在基板停止部件60a上。在空氣噴嘴62、64的可動範圍θ 1、θ 2內，可以調節空氣的對準位置。

並且，在上述實施方式中，使第1空氣噴嘴62的個數和第2空氣噴嘴64的個數分別為四個，但噴嘴個數並沒有特別地限定。

並且，在上述實施方式中，使來自第1空氣噴嘴62的空氣的噴出方向比起水平為向上的方向，使來自第2空氣噴嘴64的空氣的噴出方向為水平方向，但噴出方向並不僅限於此，例如，可以使噴出方向比起水平方向而向下，或者可以使來自第1空氣噴嘴62和第2空氣噴嘴64的空氣的噴出方向都為水平方向，也可以比起水平方向都為向上的方向。

此外，噴出空氣的角度或對置的空氣的對準方法，可以根據基板W的大小或厚度、重量、空氣的排出量等要素，任意地進行設定。

並且，在上述實施方式中，由第1圖所示的基板推出部件58a和推出氣缸58b構成基板脫落裝置58，但也可以利用第19圖、第20圖中所示的第1空氣噴嘴62或第2空氣噴嘴64中所使用的那樣的空氣噴嘴，來實現基板脫落裝置58，借助於空氣的壓力，使基板W從夾鉗48脫落。例如，也可以代替第13圖所示的基板推出部件58a和推出氣缸58b，如第26圖所示，將空氣噴嘴58d安裝在支承部件58c上，由此實現基板脫落裝置58。

在此情況下，用作基板脫落裝置58的空氣噴嘴可以只設置在第1圖所示的夾鉗位置(P)的圖面的右側，或者只設置在圖面的左側，也可以設置在圖面的右側和左側這兩方。此外，也可以將空氣噴嘴與基板推出部件58a和推出氣缸58b一起，作為基板脫落裝置58進行使用。

並且，在如第2圖所示那樣的、只在一個側壁52e上具有切口52b的基板接受器52的情況下，也可以如第27圖所示，在另一個側壁52f上開設用於使來自第2空氣噴嘴64的空氣通過的通氣孔88。

並且，在上述實施方式中，如第20圖所示，將第1空氣噴嘴62安裝在固定軸66(即使基板接受器52’旋轉，該軸也不旋轉)上，該固定軸66沿緊固在基框70(參照第19圖)上的軸54c進行設置，但也可以安裝在第28圖所示那樣的、當基板接受器52’旋轉時一起旋轉的旋轉軸66’上。

此外，上述實施方式中的基板接受器52(第1圖等)利用L型的一體部件構成旋轉臂54b，但在第28圖中，也可以透過分開固定在旋轉軸66’上的部件54b’和54b”構成旋轉臂，將第1空氣噴嘴62安裝在旋轉軸66’上。並且，在第28圖中，旋轉軸66’為可相對於基框72旋轉的結構。

並且，對於基板脫落裝置58、防止黏貼導向件52d、噴氣裝置(62、64)、用於檢測基板落下的感測器，可以分別將它們組合起來使用。以下，對將基板脫落裝置58、防止黏貼導向件52d、噴氣裝置(62、64)、用於檢測基板落下的感測器分別組合起來的情況所產生的效果，進行說明。

在將基板脫落裝置58和防止黏貼導向件52d組合起來的情況下，與只有基板脫落裝置58的情況相比，可以更可靠地防止基板W黏在基板接受器52上。在將基板脫落裝置58與噴氣裝置(62、64)組合起來的情況下，與只有基板脫落裝置58的情況相比，可以使基板W更可靠地收容到基板接受器52內。在將基板脫落裝置58和感測器組合起來的情況下，與只有基板脫落裝置58的情況相比，可以可靠地判別基板W正確地落下到基板接受器52內。

當將基板脫落裝置58和防止黏貼導向件52d以及噴氣裝置(62、64)組合起來時，與只有噴氣裝置(62、64)的情況相比，可以更可靠地防止基板W黏在基板接受器52上，同時，可以更可靠地判別基板W正確地落下到基板接受器52內。

當將防止黏貼導向件52d與噴氣裝置(62、64)組合起來時，與只有噴氣裝置(62、64)的情況相比，可以更可靠地防止基板W黏在基板接受器52上。在將防止黏貼導向件52d與感測器組合起來的情況下，不僅可以防止基板W黏貼，而且可以可靠地判別基板W正確地落下到基板接受器52內。當將噴氣裝置(62、64)與感測器組合起來時，可以使基板W可靠地落下到基板接受器52內，並可以可靠地對此進行判別。

在將基板脫落裝置58、防止黏貼導向件52d、噴氣裝置(62、64)以及感測器全部組合起來的情況下，可以可靠地判別基板W落下到基板接受器52內，可以將基板W非常可靠且安全地收容在基板接受器52內。

2‧‧‧電鍍槽

3‧‧‧回收槽

4‧‧‧水洗槽

5‧‧‧卸載部

5’‧‧‧基板卸載裝置

5a‧‧‧卸載機

5b‧‧‧卸載機

6‧‧‧剝離槽

7‧‧‧水洗槽

8‧‧‧裝載部

10、12‧‧‧升降導軌

11、13‧‧‧固定導軌

15‧‧‧吊架

16、21‧‧‧推桿

17、22‧‧‧搬送裝置

30‧‧‧搬送爪

32‧‧‧爪抵接部

35‧‧‧滑動部件

36‧‧‧軸承

37‧‧‧推桿抵接面

39‧‧‧鏈帶

40‧‧‧齒輪

44‧‧‧連接部件

46‧‧‧水平桿部

48‧‧‧夾鉗

48a‧‧‧固定部件

48b‧‧‧可動部件

49‧‧‧垂桿部

50‧‧‧夾鉗開啟裝置

50b‧‧‧按壓氣缸

50a‧‧‧夾鉗按壓部件

51‧‧‧吊架支承裝置

51a‧‧‧支承板

51b‧‧‧支承氣缸

52‧‧‧基板接受器

52’‧‧‧基板接受器

52”‧‧‧基板接受器

52a‧‧‧開口部

52a”‧‧‧開口部

52b‧‧‧切口

52c‧‧‧切口

52d‧‧‧黏貼導向件

52e、52f‧‧‧側壁

52e”‧‧‧側壁

53‧‧‧接受台

54‧‧‧旋轉裝置

54a‧‧‧旋轉氣缸

54b‧‧‧旋轉臂

54c‧‧‧軸

54d‧‧‧軸

54e‧‧‧軸

55‧‧‧基板接受台

56‧‧‧基板搬送裝置

56a‧‧‧輥

56b‧‧‧搬出氣缸

56c‧‧‧牽引氣缸

56d‧‧‧吸附裝置

58‧‧‧基板脫落裝置

58a‧‧‧基板推出部件

58b‧‧‧推出氣缸

58c‧‧‧支承部件

60‧‧‧基板支承裝置

60’‧‧‧基板支承裝置

60a’,60a”‧‧‧基板停止部件

60a‧‧‧基板停止部件

60b‧‧‧位置調節升降機

61‧‧‧基板支承裝置

61a‧‧‧基板接受台支承部件

61b‧‧‧位置調節升降機

62‧‧‧第1空氣噴嘴

64‧‧‧第2空氣噴嘴

64a‧‧‧排出口

64b‧‧‧調節升降機

66‧‧‧固定軸

70‧‧‧基框

72‧‧‧基框

74‧‧‧基框

80‧‧‧空氣排出口

82‧‧‧管材

84a、84b、84c‧‧‧板材

86‧‧‧蓋

88‧‧‧通氣孔

90‧‧‧處理物保持部件

100‧‧‧表面處理裝置

581‧‧‧平板部件

582‧‧‧突起部件

583‧‧‧接觸位置

D,E‧‧‧方向

M‧‧‧中央

W‧‧‧基板

θ 1、θ 2‧‧‧可動範圍

P‧‧‧夾鉗位置