TWI393823B - Reel device - Google Patents
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- TWI393823B TWI393823B TW098123635A TW98123635A TWI393823B TW I393823 B TWI393823 B TW I393823B TW 098123635 A TW098123635 A TW 098123635A TW 98123635 A TW98123635 A TW 98123635A TW I393823 B TWI393823 B TW I393823B
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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- F16C13/02—Bearings
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
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Description
本發明係關於用於塑膠之片體或薄膜等之塗層、成薄膜狀之電子裝置製造(捲對捲方式)、或該片體、薄膜等之搬送的捲筒裝置。
例如專利文獻1中，提出有關於徑向方向及推力方向使用靜壓氣體軸承之捲筒裝置。
然而，如此之捲筒裝置，由於用於塑膠之片體或薄膜等之塗層、成薄膜狀之電子裝置製造(卷對卷方式)、或該片體、薄膜等之搬送上，因而要求例如振動精度1μm以下之較高的旋轉精度或減少旋轉摩擦、提高旋轉速度。
本發明係鑒於上述各點而完成者，其目的在於提供一種可謀求較高之旋轉精度、減少旋轉摩擦、提高旋轉速度的捲筒裝置。
本發明之捲筒裝置，其特徵為具備：中空之捲筒體；軸體，其與捲筒體保持軸承間隙而插通於其中空部且其兩端部由捲筒體突出；及一對靜壓氣體軸承，其分別配置於捲筒體之兩端部且分別介於捲筒體與軸體之間；且，一方之靜壓氣體軸承具備：一方之軸承體，其具有與捲筒體之內周面保持軸承間隙而相對之徑向軸承面、及持有軸承間隙地與固著於捲筒體之一端部之中空圓板狀板的一方的面相對之推力軸承面，且其固著於軸體；另一方之軸承體，其具有與上述板之另一方之面保持軸承間隙而相對之推力軸承面，且其固著於軸體；環狀之連結體，其介於上述板與軸體之間，且連結一方之軸承體與另一方之軸承體；供氣通路，其形成於一方之軸承體、另一方之軸承體及連結體，俾使可由一方之軸承體之徑向軸承面向軸承間隙供給應供給之氣體、由一方之軸承體之推力軸承面向軸承間隙供給應供給之氣體、以及由另一方之軸承體之推力軸承面向軸承間隙供給應供給之氣體；一方之排氣通路，其形成於板，俾使得可將由一方之軸承體之徑向軸承面供給於軸承間隙之氣體排出於軸體之一端部側，及將由一方之軸承體之推力軸承面供給於軸承間隙之氣體從該軸承間隙之外周側排出於軸體之一端部側；及另一方之排氣通路，其形成於連結體及另一方之軸承體，俾使得可將由一方之軸承體之推力軸承面供給於軸承間隙之氣體從該軸承間隙之內周側排出於軸體之一端部側，及將由另一方之軸承體之推力軸承面供給於軸承間隙之氣體從該軸承間隙之內周側排出於軸體之一端部側；又，另一方之靜壓氣體軸承具備：軸承體，其具有與捲筒體之內周面保持軸承間隙而相對之徑向軸承面，且其固著於軸體；供氣通路，其形成於上述軸承體，俾使得可由該軸承體之徑向軸承面向軸承間隙供給應供給之氣體；及排氣通路，其形成於另一方之靜壓氣體軸承之軸承體，俾使得可將由上述軸承體之徑向軸承面供給於軸承間隙之氣體、及由一方之靜壓氣體軸承之一方之軸承體的徑向軸承面供給於軸承間隙之氣體排出於軸體之另一端部側。
根據本發明之捲筒裝置，尤其是由於具備上述一方之靜壓氣體軸承及另一方之靜壓氣體軸承，因此可提高捲筒體之旋轉精度，可減輕捲筒體之重量而謀求旋轉摩擦之減少及旋轉速度之提高，且可擴大一方之靜壓氣體軸承及另一方之靜壓氣體軸承之與徑向方向相關的軸承直徑，又，由於一方之靜壓氣體軸承於推力方向亦非接觸支撐捲筒體，因此可減少軸體等之熱膨脹之影響，而藉由一方之靜壓氣體軸承於徑向方向及推力方向予以非接觸支撐且藉由另一方之靜壓氣體軸承於徑向方向予以非接觸支撐，藉此可解放捲筒體之另一方之靜壓氣體軸承側之部位，而減少軸方向之熱膨脹的影響，且可將供給於軸承間隙之氣體(壓縮氣體)順利排出於捲筒裝置之外部，進而防止因該氣體之不安定的排氣而導致捲筒體之旋轉精度降低、旋轉摩擦增大及旋轉速度降低。
本發明之捲筒裝置之較佳例中，排氣通路具備：環狀通路，其於軸體之長度方向鄰接於由一方之靜壓氣體軸承之徑向軸承面供給氣體之軸承間隙，且形成於板之一方之面；及連通路，其連通於上述環狀通路，且以於板之另一方之面開口之方式形成於上述板。
本發明之捲筒裝置之較佳例中，排氣通路具備：環狀間
隙，其形成於板之內周面與連結體之外周面之間；通路，其係貫穿連結體及板而形成，且於板之另一方之面開口；及連通路，其連通於上述通路，且於上述環狀間隙開口。
根據本發明，可提供一種可謀求較高之旋轉精度、減少旋轉摩擦、提高旋轉速度之捲筒裝置。
以下，茲根據所圖示之較佳實施形態之例更詳細說明本發明。另，本發明並非限定於該等例。
圖1至圖6中，本例之捲筒裝置1具備：中空之捲筒體2；軸體4，其與捲筒體2保持間隙3而插通於其中空部；及一對靜壓氣體軸承7及8，其分別配置於捲筒體2之兩端部5及6且分別介於捲筒體2與軸體4之間。
捲筒體2具備：圓筒狀本體11；圓筒體15，其外周面13固著於圓筒狀本體11之一端部5之內周面12的部位；圓筒體18，其外周面16固著於圓筒狀本體11之另一端部6之內周面12的部位；及中空圓板狀之板20，其固著於位於軸體4之一端部21側之圓筒體15之環狀端面19。圓筒體15及18之壁厚相等。板20係經由圓筒體15而固著於圓筒狀本體11之一端部5。
圓柱狀或圓筒狀之軸體4對於圓筒狀本體11、圓筒體15及18以及板20，與捲筒體2保持間隙3而插通於其中。軸體
4之兩端部21及22分別由捲筒體2之兩端部5及6突出，且藉由該兩端部21及22被固定支撐於框架等。軸體4具備：大徑軸部23，其於上述軸體4之長度方向位於圓筒體15及18間；小徑軸部24及25，其位於大徑軸部23之兩側；及階部27及28，其形成於大徑軸部23與小徑軸部24及25分別之連結部。小徑軸部24及25之直徑在本例中為相等，但亦可不等。
靜壓氣體軸承7具備：圓筒狀之一方之軸承體36，其具有與圓筒體15之內周面14保持軸承間隙31而相對之徑向軸承面32、及與位於一端部21側之板20之面33保持軸承間隙34而相對之推力軸承面35，且其固著於軸體4；中空圓板狀之另一方之軸承體41，其具有與位於一端部21側之板20之面38保持軸承間隙39而相對之推力軸承面40，且其固著於軸體4；環狀之連結體42，其介於板20與軸體4之間，且連結軸承體36與41；供氣通路44，其形成於軸承體36、軸承體41及連結體42，俾使得可由徑向軸承面32向軸承間隙31供給應供給之氣體、由推力軸承面35向軸承間隙34供給應供給之氣體、以及由推力軸承面40向軸承間隙39供給應供給之氣體；一方之排氣通路45，其形成於板20，俾使得可將由徑向軸承面32供給於軸承間隙31之氣體排出於一端部21側，及將由推力軸承面35供給於軸承間隙34之氣體從該軸承間隙34之外周側排出於一端部21側；及另一方之排氣通路46，其形成於連結體42及軸承體41，俾使得可將由推力
軸承面35供給於軸承間隙34之氣體從該軸承間隙34之內周側排出於一端部21側，及將由推力軸承面40供給於軸承間隙39之氣體從該軸承間隙39之內周側排出於一端部21側。
軸承體36及41係夾著板20而相對配置。軸承體36及41係經由螺絲等而相互連結於連結體42。
軸承體36具備：圓筒狀之本體55，其以內周面51固著於小徑軸部24，且以大徑軸部23側之端面53固著於階部27；作為多孔質體之圓筒狀之多孔質金屬燒結層56，其係接合於本體55之外周面52；及作為多孔質體之環狀之多孔質金屬燒結層57，其係接合於本體55之板20側之端面54上形成之環狀凹槽58。
多孔質金屬燒結層56及57，其各內部具有於其全表面之無秩序之多數部位開口且相互無秩序連通之多數的細孔。徑向軸承面32係由多孔質金屬燒結層56之相對應支撐之圓筒體15而露出的外周面構成，推力軸承面35係由多孔質金屬燒結層57之相對應支撐之板20而露出之該板20側的面構成。推力軸承面35在本例中對於端面54為一面，但例如亦可於橫方向配置於端面54之一方側或另一方側。多孔質金屬燒結層56及57，可分別由4重量%以上10重量%以下之錫、10重量%以上40重量%以下之鎳、0.1重量%以上小於0.5重量%之磷、2重量%以上10重量%以下之無機物質粒子、及剩餘部分為銅而構成。多孔質金屬燒結層56及57分散而含有之無機物質粒子可由石墨、氮化硼、氟化石墨、氟化鈣、氧化鋁、氧化矽及碳化矽中之至少一種構成。
相對軸承體36配置於一端部21側之軸承體41具備：中空圓板狀之本體62，其以內周面61固著於小徑軸部24；及作為多孔質體之環狀之多孔質金屬燒結層64，其係接合於本體62之板20側之面63上形成之環狀凹槽65。推力軸承面40係由多孔質金屬燒結層64之相對應支撐之板20而露出之該板20側的面構成。推力軸承面40相對面63為一面。多孔質金屬燒結層64之形成與多孔質金屬燒結層57相同，且係夾著板20而相對配置。
供氣通路44具備：複數之環狀通路71、72及73，其形成於本體55之外周面52；環狀通路74，其形成於環狀凹槽58之底面；環狀通路75，其形成於環狀凹槽65之底面；及連通路76，其係貫穿本體55、連結體42及本體62而形成，且連通於環狀通路71至75各通路並於本體62之外周面開口。如此供氣通路44，經由連通路76使由上述開口供給之氣體(壓縮氣體)流入環狀通路71至75各通路，其後將該流入之氣體供給於多孔質金屬燒結層56、57及64各層，其後再將氣體供給於軸承間隙31、34及39。
排氣通路45，尤其如圖6所示，具備：環狀通路81，其於軸體4之長度方向鄰接於軸承間隙31且形成於板20之面33；及連通路82，其連通於環狀通路81，且以於板20之面38開口之方式形成於板。如此排氣通路45，將供給於軸承間隙31之氣體由板20側排出，且將供給於軸承間隙34之氣體由該軸承間隙34之外周側排出。另，供給於軸承間隙39之氣體中排出於外周側之氣體，係直接排出於捲筒裝置1
之外部。
排氣通路46，尤其如圖6所示，具備：環狀間隙87，其形成於板20之內周面85與連結體42之外周面86之間；通路88，其係貫穿連結體42及本體62而形成，且於本體62之一端部21側之面66開口；及連通路89，其連通於通路88，且於環狀間隙87開口。如此排氣通路46，將供給於軸承間隙34之氣體由該軸承間隙34之內周側排出，且將供給於軸承間隙39之氣體由該軸承間隙39之內周側排出。
靜壓氣體軸承8具備：軸承體93，其具有與圓筒體18之內周面17保持軸承間隙91而相對之徑向軸承面92，且其固著於軸體4；供氣通路94，其形成於上述軸承體93，俾使得可由軸承體93之徑向軸承面92向軸承間隙91供給應供給之氣體；及排氣通路95，其形成於軸承體93，俾使得可將由徑向軸承面92供給於軸承間隙91之氣體、及由徑向軸承面32供給於軸承間隙31之氣體，即靜壓氣體軸承7及8間的氣體排出於另一端部22側。
軸承體93具備：圓筒狀之本體105，其以內周面101固著於小徑軸部25，且以大徑軸部23側之端面103固著於階部28；及作為多孔質體之圓筒狀之多孔質金屬燒結層106，其係接合於本體105之外周面102。徑向軸承面92係由多孔質金屬燒結層106之相對應支撐之圓筒體18而露出的外周面構成。多孔質金屬燒結層106之形成與多孔質金屬燒結層56相同。
供氣通路94，尤其如圖1所示，具備：複數之環狀通路111、112及113，其形成於本體105之外周面102；及連通路114，其連通於環狀通路111至113各通路，且以於本體105之另一端部22側之端面104開口之方式形成於本體105。如此供氣通路94，經由連通路114使由上述開口供給之氣體(壓縮氣體)流入環狀通路111至113各通路，其後將該流入之氣體供給於多孔質金屬燒結層106之各層，其後再將氣體供給於軸承間隙91。
排氣通路95，尤其如圖1所示，係由分別於端面103及104開口且形成於本體105之通路構成。如此排氣通路95，使分別供給於軸承間隙31及91之氣體中排出於捲筒體2之中空部的氣體由端面103之開口流入，再將流入之氣體由端面104側之開口排出。另，供給於軸承間隙91之氣體中排出於另一端部22側之氣體，被直接排出於捲筒裝置1之外部。
另，符號120係藉由擰緊螺栓121而壓接於軸體4之帶孔的緊鎖件，各緊鎖件120用以將靜壓氣體軸承7及8分別固著於軸體4。
如此捲筒裝置1，藉由從供氣通路44及94對多孔質金屬燒結層56、57、64及106分別供氣，而由徑向軸承面32及92、推力軸承面35及40分別對軸承間隙31、34、39及91供氣，其後，藉由靜壓氣體軸承7及8以非接觸式將捲筒體2旋轉自由地支撐於R方向。關於捲筒體2之橫方向之位置偏移係藉由軸承間隙34及39之非接觸支撐而被禁止。分別供給於軸承間隙31、34、39及91之氣體分別由排氣通路45、46及95被如上述排出。
根據本例之捲筒裝置1，由於其具備：中空之捲筒體2；軸體4，其與捲筒體2保持間隙3而插通於其中空部且其兩端部21及22由捲筒體2突出；及一對靜壓氣體軸承7及8，其分別配置於捲筒體2之兩端部5及6且分別介於捲筒體2與軸體4之間；且，靜壓氣體軸承7具備：一方之軸承體36，其具有與捲筒體2之內周面14保持軸承間隙31而相對之徑向軸承面32、及與固著於捲筒體2之一端部5之中空圓板狀之板20的一方的面33保持軸承間隙34而相對之推力軸承面35，且其固著於軸體4；另一方之軸承體41，其具有與上述板20之另一方之面38保持軸承間隙39而相對之推力軸承面40，且其固著於軸體4；環狀之連結體42，其介於上述板20與軸體4之間，且連結一方之軸承體36與另一方之軸承體41；供氣通路44，其形成於一方之軸承體36、另一方之軸承體41及連結體42，俾使得可由一方之軸承體36之徑向軸承面32向軸承間隙31供給應供給之氣體、由一方之軸承體36之推力軸承面35向軸承間隙34供給應供給之氣體、以及由另一方之軸承體41之推力軸承面40向軸承間隙39供給應供給之氣體；一方之排氣通路45，其形成於板20，俾使得可將由一方之軸承體36之徑向軸承面32供給於軸承間隙31之氣體排出於軸體4之一端部21側，及將由一方之軸承體36之推力軸承面35供給於軸承間隙34之氣體從該軸承間隙34之外周側排出於軸體4之一端部21側；及另一方之排氣通路46，其形成於連結體42及另一方之軸承體41，俾使得可將由一方之軸承體36之推力軸承面35供給於軸承間隙34之氣體從該軸承間隙34之內周側排出於軸體4之一端部21側，及將由另一方之軸承體41之推力軸承面40供給於軸承間隙39之氣體從該軸承間隙39之內周側排出於軸體4之一端部21側；又，另一方之靜壓氣體軸承8具備：軸承體93，其具有與捲筒體2之內周面17保持軸承間隙91而相對之徑向軸承面92，且其固著於軸體4；供氣通路94，其形成於上述軸承體93，俾使得可由該軸承體93之徑向軸承面92向軸承間隙91供給應供給之氣體；及排氣通路95，其形成於另一方之靜壓氣體軸承8之軸承體93，俾使得可將由上述軸承體93之徑向軸承面92供給於軸承間隙91之氣體、及由一方之靜壓氣體軸承7之一方之軸承體36的徑向軸承面32供給於軸承間隙31之氣體排出於軸體4之另一端部22側，因此，可提高捲筒體2之旋轉精度，可減輕捲筒體2之重量而謀求旋轉摩擦之減少及旋轉速度之提高，且可擴大一方之靜壓氣體軸承7及另一方之靜壓氣體軸承8之關於徑向方向的軸承直徑，又，由於一方之靜壓氣體軸承7於推力方向亦非接觸支撐捲筒體2，因此可減少軸體4等之熱膨脹之影響，而藉由一方之靜壓氣體軸承7於徑向方向及推力方向予以非接觸支撐且藉由另一方之靜壓氣體軸承8於徑向方向予以非接觸支撐，可解放捲筒體2之另一方之靜壓氣體軸承8側之部位，而減少軸方向之熱膨脹的影響，且，可將分別供給於軸承間隙31、34、39及91之氣體順利排出於捲筒裝置1之外部，進而防止因該氣體之不安定的排氣而導致捲筒體2之旋轉精度降低、旋轉摩擦增大及旋轉速度降低。
1．．．捲筒裝置
2．．．捲筒體
3．．．間隙
4．．．軸體
5、6．．．兩端部
7、8．．．靜壓氣體軸承
11．．．圓筒狀本體
12．．．內周面
13．．．外周面
14．．．內周面
15．．．圓筒體
16．．．外周面
17．．．內周面
18．．．圓筒體
19．．．端面
20．．．板
21．．．軸體之一端部
22．．．軸體之另一端部
23．．．大徑軸部
24、25．．．小徑軸部
27、28．．．階部
31、34、39、91．．．軸承間隙
32、92．．．徑向軸承面
33、38．．．板之面
35、40．．．推力軸承面
36、41．．．軸承體
42．．．連接體
44、94．．．供氣通路
45、46、95．．．排氣通路
51．．．內周面
52．．．外周面
53．．．大徑軸部側之端面
54．．．板側之端面
55．．．本體
56、57．．．多孔質金屬燒結層
58．．．環狀凹槽
61．．．內周面
62．．．本體
63．．．板側之面
64．．．多孔質金屬燒結層
65．．．環狀凹槽
71、72、73．．．環狀通路
74、75．．．環狀通路
76．．．連通路
81．．．環狀通路
87．．．環狀間隙
93．．．軸承體
101．．．內周面
102．．．外周面
103．．．大徑軸部側之端面
104．．．本體之另一端部側之端面
105．．．本體
106．．．多孔質金屬燒結層
111、112、113．．．環狀通路
114．．．連通路
120．．．緊鎖件
121．．．螺栓
圖1係本發明之實施形態之例的部分省略剖面說明圖。
圖2係圖1所示之例之II-II線剖面箭頭視說明圖。
圖3係圖1所示之例之III-III線剖面箭頭視說明圖。
圖4係圖1所示之例之IV-IV線剖面箭頭視說明圖。
圖5係圖1所示之例之V-V線剖面箭頭視說明圖。
圖6係圖4所示之例之VI-VI線剖面箭頭視說明圖。
1．．．捲筒裝置
2．．．捲筒體
3．．．間隙
4．．．軸體
5、6．．．兩端部
7、8．．．靜壓氣體軸承
11．．．圓筒狀本體
12．．．內周面
13．．．外周面
14．．．內周面
15．．．圓筒體
16．．．外周面
17．．．內周面
18．．．圓筒體
19．．．端面
20．．．板
21．．．軸體之一端部
22．．．軸體之另一端部
23．．．大徑軸部
24、25．．．小徑軸部
27、28．．．階部
31、34、39、91．．．軸承間隙
32、92．．．徑向軸承面
33、38．．．板之面
35、40．．．推力軸承面
36、41．．．軸承體
42．．．連接體
44、94．．．供氣通路
51．．．內周面
52．．．外周面
53．．．大徑軸部側之端面
54．．．板側之端面
55．．．本體
56、57．．．多孔質金屬燒結層
58．．．環狀凹槽
61．．．內周面
62．．．本體
63．．．板側之面
64．．．多孔質金屬燒結層
65．．．環狀凹槽
71、72、73．．．環狀通路
74、75．．．環狀通路
76．．．連通路
81．．．環狀通路
87．．．環狀間隙
93．．．軸承體
95．．．排氣通路
101．．．內周面
102．．．外周面
103．．．大徑軸部側之端面
104．．．本體之另一端部側之端面
105．．．本體
106．．．多孔質金屬燒結層
111、112、113．．．環狀通路
114．．．連通路
120．．．緊鎖件
121．．．螺栓
Claims (3)
- 一種捲筒裝置，其特徵為具備：中空之捲筒體；軸體，其與捲筒體保持間隙地插通於其中空部且其兩端部由捲筒體突出；及一對靜壓氣體軸承，其分別配置於捲筒體之兩端部且分別介於捲筒體與軸體之間；且一方之靜壓氣體軸承具備：一方之軸承體，其具有與捲筒體之內周面保持軸承間隙而相對之徑向軸承面、及與固著於捲筒體之一端部之中空圓板狀之板的一方的面保持軸承間隙而相對之推力軸承面，且其固著於軸體；另一方之軸承體，其具有與上述板之另一方之面保持軸承間隙而相對之推力軸承面，且其固著於軸體；環狀之連結體，其介於上述板與軸體之間，且連結一方之軸承體與另一方之軸承體；供氣通路，其形成於一方之軸承體、另一方之軸承體及連結體，俾使得可由一方之軸承體之徑向軸承面向軸承間隙供給應供給之氣體、由一方之軸承體之推力軸承面向軸承間隙供給應供給之氣體、以及由另一方之軸承體之推力軸承面向軸承間隙供給應供給之氣體；一方之排氣通路，其形成於板，俾使得可將由一方之軸承體之徑向軸承面供給於軸承間隙之氣體排出於軸體之一端部側，及將由一方之軸承體之推力軸承面供給於軸承間隙之氣體從該軸承間隙之外周側排出於軸體之一端部側；及另一方之排氣通路，其形成於連結體及另一方之軸承體，俾使得可將由一方之軸承體之推力軸承面供給於軸承間隙之氣體從該軸承間隙之內周側排出於軸體之一端部側，及將由另一方之軸承體之推力軸承面供給於軸承間隙之氣體從該軸承間隙之內周側排出於軸體之一端部側；又，另一方之靜壓氣體軸承具備：軸承體，其具有與捲筒體之內周面保持軸承間隙而相對之徑向軸承面，且其固著於軸體；供氣通路，其形成於上述軸承體，俾使得可由該軸承體之徑向軸承面向軸承間隙供給應供給之氣體；及排氣通路，其形成於另一方之靜壓氣體軸承之軸承體，俾使得可將由上述軸承體之徑向軸承面供給於軸承間隙之氣體、及由一方之靜壓氣體軸承之一方之軸承體的徑向軸承面供給於軸承間隙之氣體排出於軸體之另一端部側。
- 如請求項1之捲筒裝置，其中排氣通路具備：環狀通路，其於軸體之長度方向鄰接於由一方之靜壓氣體軸承之徑向軸承面供給有氣體之軸承間隙，且形成於板之一方之面；及連通路，其連通於上述環狀通路，且以於板之另一方之面開口之方式形成於上述板。
- 如請求項1或2之捲筒裝置，其中排氣通路具備：環狀間隙，其形成於板之內周面與連結體之外周面之間；通路，其係貫穿連結體及板而形成，且於板之另一方之面開口；及連通路，其連通於上述通路，且於上述環狀間隙開口。
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