TWI392180B - 附有放電電極清掃機構之離子器 - Google Patents

Description

附有放電電極清掃機構之離子器

本發明，係有關於用以從帶電有正或是負的電荷之工件來將上述電荷除去(中和)所使用之離子器者，更詳細而言，係有關於以當經由輝光放電而產生正以及負的電荷之放電電極髒污時能夠藉由清掃構件來對該放電電極作清掃的方式所構成了的附有放電電極清掃機構之離子器者。

在半導體晶圓或液晶玻璃等之各種工件的處理工程中，為了將由於靜電所帶電了的工件之正以及負的電荷作中和(除電)，係使用利用有輝光放電之離子器。在此利用有輝光放電之離子器中，若是作大致的分類，則係存在有直流方式與交流方式，例如，直流方式之離子器，一般而言，係具備有設為了針狀之正的放電電極與負的放電電極，並藉由在此些之放電電極處施加正以及負的高電壓，來藉由電極前端之放電部而使輝光放電產生，再將此時所產生之正以及負的離子藉由空氣流來作搬送並吹至工件處，而將該工件上之正以及負的電荷作中和。又，交流方式之離子器，係經由對放電電極施加交流電壓，而從此放電電極來交互地產生正以及負的離子。

在此種離子器中，若是放電電極產生輝光放電，則空氣中之垃圾會被吸引至放電部處並附著，並使該放電部逐漸地成為被絕緣之狀態，因此，係成為難以產生輝光放電，並使得離子之產生被阻礙，而使除電效率降低。因此，係有必要藉由毛刷等之清掃構件來定期性地進行放電部之清掃。於此情況，若是在清掃中使用另外準備了的清掃構件，則在不進行清掃時，會有忘記對該清掃構件作收拾或是造成該清掃構件之遺失等的問題。

作為不會產生此種問題之離子器，在專利文獻(日本特開2004-234972號公報)中，係揭示有一種在殼體之送風口內而設置有放電電極與風扇以及清掃構件(毛刷構件)者。此離子器，係在上述送風口內設置藉由從風扇而來之空氣流而作旋轉的可動構件，並在此可動構件處安裝上述清掃構件，而構成為：當此清掃構件與上述可動構件一同旋轉時，係接觸放電電極之前端，並將附著於該前端處之髒污清除。

然而，上述專利文獻1中所記載之離子器，由於係將上述可動構件與清掃構件設置在送風口內，因此，包含有離子之空氣流，會被此些之可動構件與清掃構件而遮斷或是被擾亂，而使空氣之吹出效率降低，並且，正以及負的離子會由於空氣之紊亂而混合並作再結合，而有著會使被送至工件處之離子量減少的問題。

又，由於係在離子器之使用中來進行放電電極之清掃，因此，亦會有著從該放電電極所剝離之髒污，會經由空氣流而一同飛散，並再度附著於離子器之其他部分處、或是從離子器而流出並對除電環境造成污染，又或是被吹至工件處並使該工件被污染一般的問題。

本發明之目的，係在於將具備有放電電極之清掃構件的離子器，以下述的方式來構成：不會由於上述之清掃構件而使得從風扇而來之空氣流被遮斷或是被擾亂，且不會有由於清掃而從放電電極所剝離之贓物飛散至周圍並污染除電環境或是除電對象物的情況。

為了達成上述目的，本發明，係為一種附有放電電極清掃機構之離子器，係在開口於殼體上之送風口內，設置送風用之風扇，同時，在該殼體之面臨於上述送風口的位置處，設置藉由輝光放電而產生正、負之離子的複數之放電電極，該離子器，其特徵為：上述放電電極，係被安裝在可自由裝著卸下於上述殼體之電極支持框處，在此電極支持框處，上述放電電極清掃用之清掃構件，係以可在複數之放電電極間而一面與各放電電極相接觸一面作移動的方式而被安裝，該清掃構件，當上述電極支持框係為被裝著於上述殼體處的狀態下時，係佔據從上述送風口之區域而離開之待避位置處，而若是上述電極支持框被從該殼體而卸下，則係成為可為了進行放電電極之清掃而移動。

在本發明中，較理想，上述電極支持框，係由位置在上述送風口之其中一半部側的第1電極框、和位置在另外一半部側的第2電極支持框所成，在各電極支持框處，係分別被安裝有上述放電電極與清掃構件。

在本發明之具體的構成型態中，上述第1以及第2電極支持框，係具備有：與圓形之上述送風口的一部份作了配合之圓弧狀的彎曲部、和藉由使放電部從上述送風口內而突出的姿勢而被安裝在此彎曲部處之上述放電電極、和被形成在與上述電極支持框之前後兩面的上述彎曲部相鄰接之位置處的導引構件、和可沿著此導引構件而自由移動之上述清掃構件，上述清掃構件，係具備有：在上述彎曲部之位置處，以挾持上述電極支持框的方式而被安裝之毛刷支持器、和在該毛刷支持器之內部而以與上述放電電極相接的方式而被安裝之毛刷、和可對於上述導引構件而自由滑動之滑動構件。

在本發明中，上述導引構件，係具備有：由溝所成並沿著上述彎曲部而平緩地彎曲之主體部、和以在該主體部之其中一端處而被彎折之型態來相連之躲避部，又，上述滑動構件，係由可自由滑動地嵌合於此導引構件處之滑動突起所成，在上述毛刷支持器之兩側板部內面處，係分別被形成有複數之滑動突起，並構成為藉由使上述清掃構件移動至上述導引構件之端部處並使一部份之滑動突起嵌合於上述躲避部內，而使此清掃構件佔據上述待避位置。

在本發明中，較理想，上述第1電極支持框與第2電極支持框，係相互具備有互換性，並可相互置換地而裝著於上述殼體處。

在本發明中，在上述殼體處，係被設置有導通於高電壓源之複數的給電端子，又，在上述電極支持框處，係被設置有導通於上述放電電極之複數的受電端子，並構成為：若是將該電極支持框裝著於上述殼體處，則上述受電端子係被與上述給電端子個別地相連接。

又，在本發明中，係具備有複數之由產生相異極性的離子之2個的放電電極之組合所成的放電電極對，在該放電電極對處之2個的放電電極之從電極前端起直到送風口之中心為止的距離，係相互相異。

本發明之離子器，由於係在可相對於殼體而自由地裝著卸下之電極支持框處，安裝放電電極與清掃構件，並設為在將離子器之運轉停止且將上述電極支持框從殼體而卸下了的狀態下，藉由上述清掃構件來進行放電電極之清掃，因此，與上述之先前技術的裝置相異，不會有從該放電電極所剝離了的髒污由於從風扇而來之空氣流而飛散至周圍且污染除電環境或是除電對象物的事態。又，當將上述電極支持框裝著在殼體上時，由於上述清掃構件係佔據從送風口之區域而離開之待避位置處，因此，在離子器之運轉時，不會有由於該清掃構件而使得從風扇而來之空氣流被遮斷或是被擾亂的事態。

在圖1～圖4中，係展示有本發明之附有電極清掃機構之離子器的其中一種實施型態。此離子器，係為直流式，並藉由對於正以及負的放電電極3a以及3b而施加從高電壓源12a、12b而來之正以及負的直流高電壓，來使其產生輝光放電，並將此時所產生之正以及負的離子，經由從風扇4而來之空氣流，而吹至除電對象物(工件)處，該離子器，係將具備有上述放電電極3a、3b以及風扇4之風扇單元1；和內藏有對上述高電壓源12a、12b以及風扇4作控制之控制裝置7的控制單元2，作上下重疊配置，而構成之。

上述風扇單元1，係具備有全體形狀成為矩形之合成樹脂製的上部殼體5a。在此上部殼體5a之內部，係以在該風扇單元1之前後方向上作開放的方式，而被形成有圓形之送風口10，在此送風口10之內周部分處，被安裝在電極支持框11a、11b處之複數之正的放電電極3a與複數之負的放電電極3b，係以將電極前端朝向上述送風口10之中心O的姿勢，而在該中心O之周圍保持有特定之間隔地被規則性地作配設。又，在上述送風口10之內部，係被設置有上述風扇4，並成為藉由從此風扇4而來之空氣流，而將在上述放電電極3a以及3b處所產生之正以及負的離子朝向帶電之工件來作搬送。

另一方面，上述控制單元2，係在合成樹脂製之下部殼體5b中，收容有上述控制裝置7，而在該下部殼體5b之前面，係被設置有：電源開關8a、用以在外部電源或外部機器之間而將配線作連接之連接器8b、風量調整用之旋轉開關8c、外部感測器連接用之模組化連接器8d、AC轉接器連接用之插口8e、動作狀態顯示用之指示器8f等。

此控制單元2，係為亦兼作為將指示器設置在特定之設置場所處時的基台者，該控制單元2之前後方向寬幅，係被形成為較風扇單元1之前後方向寬幅為更廣。但是，此些之風扇單元1與控制單元2間的前後方向寬幅，係亦可互為相同。

上述風扇單元1之上部殼體5a與控制單元2之下部殼體5b，係分別為形成離子器全體之殼體5的一部份者。故而，在以下之說明中，亦有將此些之上部殼體5a與下部殼體5b稱為「殼體5」的情況。此些之上部殼體5a與下部殼體5b，係可相互一體化的形成，亦可各別被形成並可分離地作結合。

上述風扇4，係為由位置在中心處之電動式的馬達4a、和被安裝在此馬達之輸出軸處的扇葉4b所成者，並在上述送風口10之內部被作同心狀的配設，而上述馬達4a係被電性連接於上述控制裝置7。

在上述風扇單元1之內部處，係被收容有用以對上述正的放電電極3a而施加正的高電壓之正的高電壓源12a、和用以對負的放電電極3b施加負的高電壓之負的高電壓源12b，此些之高電壓源12a以及12b，係被連接於上述控制裝置7與各放電電極3a以及3b處。

另外，在直流式之離子器中，係存在有連續施加一定大小之高電壓的DC方式、和施加脈衝狀之高電壓的DC脈衝方式，但是，在本實施型態中，該兩者係均可使用。

又，上述高電壓源12a、12b，係亦可與上述控制裝置7一同地而被配設在上述控制單元2之內部，或者是，亦可將此些之控制裝置7與高電壓源12a、12b配設在上述風扇單元1之內部。

上述正的放電電極3a與負的放電電極3b，係以2根作為一組地而形成放電電極對3A、3B。在圖示之例中，4根之正的放電電極3a與4根之負的放電電極3b，係被一根一根地交互配設，並經由相鄰接之正的放電電極3a與負的放電電極3b間之組合，而形成全部共4組之放電電極對3A、3B，此些之放電電極對3A、3B，係在上述送風口10之中心O的周圍，保持有一定之間隔地被作配設。

上述各放電電極對3A、3B處之正的放電電極3a與負的放電電極3b，其在送風口10內所突出之長度、亦即是電極長度，係相互成為相異。換言之，從電極前端起直到上述送風口10之中心O為止的距離(前端-中心間距離)，係相互成為相異。於此情況，正的放電電極3a與負的放電電極3b處之前端-中心間距離的大小關係，係並非為在所有的放電電極對3A、3B處均成為相同，在第1放電電極對3A與第2放電電極對3B處，係成為相互相異。亦即是，第1放電電極對3A，係為具備有藉由將電極長度縮短而使上述前端-中心間距離變長了的正的放電電極3a、和藉由將電極長度變長而使上述前端-中心間距離縮短了的負的放電電極3b者，第2放電電極對3B，則係為具備有藉由將電極長度變長而使上述前端-中心間距離縮短了的正的放電電極3a、和藉由將電極長度縮短而使上述前端-中心間距離變長了的負的放電電極3b者。

而，2組的第1放電電極對3A與2組的第2放電電極對3B，係以使第1放電電極對3A彼此以及第2放電電極對3B彼此相對於上述送風口10之中心O而相互佔據於相對稱之位置處的方式，來在該中心O之周圍處交互地作配設。於此情況，在4組的放電電極對3A、3B之相互間處的正的放電電極3a彼此之配設間隔以及負的放電電極3b彼此之配設間隔，係分別為略90度，但是，在各放電電極對3A、3B處之正的放電電極3a與負的放電電極3b間之配設間隔，係較90度為更小。

上述放電電極3a、3b，係如圖5中所示一般，具備有被設為圓柱狀之本體部分14a、和成為前端逐漸變細之形狀的前端部分14b，上述本體部分14a，係藉由以合成樹脂等之電性絕緣材15而作被覆，或是藉由埋入至由合成樹脂等之電性絕緣材所成的上述電極支持框11a、11b之內部，而僅使上述前端部分14b露出於外部，並藉由此露出之前端部份14b來產生輝光放電，而經由此來產生離子。故而，此前端部分14b，係為形成放電部者。故而，在以下之說明中，亦有在此「放電部」處附加符號「14b」的情況。

另外，上述放電電極3a、3b之前端部份14b的形狀，係可為如同圓錐狀一般之前端尖銳的形狀，亦可為前端略帶有圓球狀之形狀。

上述放電電極3a、3b，除了上述放電部14b之外，其他之部分由於係藉由電性絕緣物而被作被覆，因此，就算是將正以及負的放電電極3a以及3b相互近接配置，將兩放電電極3a以及3b之放電部14b彼此經由上述電性絕緣材15之表面與電極支持框11a以及11b之表面所連結的沿面距離，亦係較該放電電極3a、3b未被作被覆的情況時而更長。因此，直到由於長期間之使用或是惡劣環境下之使用所造成的不純物附著於放電電極處並產生絕緣破壞為止的期間係變長。

上述放電電極3a、3b，係如同由圖4而可明顯得知一般，為分別被安裝在上述2個的電極支持框11a以及11b處。此些之電極支持框11a、11b，係為將把矩形之構件作了縱方向二分割後所得者，其相對向之側邊的中間部分，彎曲為與上述送風口10之內週形狀作了配合的圓弧一般之形狀，而2個的電極支持框11a與11b係相互成為對稱之形狀。而後，在各電極支持框11a以及11b之彎曲部17處，分別安裝2組的放電電極對3A以及3B。具體而言，在各電極支持框11a以及11b之彎曲部17處，係分別被安裝有第1放電電極對3A以及第2放電電極對3B。此時，以使電極長度為短之放電電極位置於彎曲部17之兩端處，並使電極長度為長之放電電極位置在中間的方式，來配置各放電電極3a以及3b。

如此這般，若是在各放電電極對3A、3B處之正的放電電極3a與負的放電電極3b間之前端-中心間距離係為相異，則由於正的離子與負的離子係在送風口10之半徑方向的相異之位置處而產生，因此，由於從風扇4而來之迴旋的空氣流所造成的正、負離子之混合以及再結合之比例係減少，而到達除電對象工件處之離子量係變多。

並且，藉由使第1放電電極對3A與第2放電電極對3B混合存在，送風口10之半徑方向的離子分佈係被平均化，而離子平衡係變佳。

上述電極支持框11a、11b，係從開口於上述上部殼體5a的上面之2個的支持框安裝孔18a、18b而朝向該上部殼體5a之內部來以使上述彎曲部17相互對向並配合了的狀態而插入，藉由此，其中一方之第1電極支持框11a係位置在上述送風口10之其中一半部側，另外一方之第2電極支持框11b係位置於該送風口10之另外一半部側，而藉由此種態樣來可自由裝著卸下地安裝在該上部殼體5a處。

上述第1電極支持框11a與第2電極支持框11b，不僅是外型形狀為相同，且上述放電電極3a、3b之安裝構造或是後述之受電端子21a～21d以及清掃構件23之安裝構造等，亦係相互具備有相同之構成。故而，係相互具備有互換性，而能夠在上述上部殼體5a之支持框安裝孔18a、18b處相互置換地作裝著。

在上述電極支持框11a、11b之上端部處，係被安裝有由彈性地作開閉之一對的彈片19a所成之鎖合構件19。上述彈片19a，係從上述電極支持框11a、11b之側面而朝向上方延伸，之後，成為上端朝向該側面之外方向而被彎折為略直角的形狀，在各彈片19a之側面處，係被形成有卡合突起19b。而，若是將上述電極支持框11a、11b插入至上部殼體5a之支持框安裝孔18a、18b中，則上述卡合突起19b係彈性地卡合於上部殼體5a處，並成為將該電極支持框11a、11b固定在該上部殼體5a處。

當將上述電極支持框11a、11b從上述殼體5a而取出時，係只要使上述彈片在相互接近之方向上作彈性變形，並使上述卡合突起19b之卡合脫離，再於該狀態下而將該電極支持框11a、11b從上述支持框安裝孔18a、18b而拉出即可。

又，在上述電極支持框11a、11b之前後兩面處，係在近接於上述彎曲部17之相反側的側邊之位置處，如同由圖6以及圖7亦可得知一般地而被設置有個別導通於上述各放電電極3a以及3b之複數的上述受電端子21a～21d。亦即是，在電極支持框11a、11b之前後一方的面上，係被設置有與電極長度為短之最上方的放電電極3a或3b以及電極長度為長之從上方數起第3個的放電電極3a或3b個別作導通之2個的受電端子21a以及21c，在電極支持框11a、11b之另外一方的面上，係被設置有與電極長度為長之從上方數起第2個的放電電極3b或3a以及電極長度為短之最下方的放電電極3b或3a個別作導通之2個的受電端子21b以及21d，此些之4個的受電端子21a～21d，係在電極支持框11a、11b之上下方向上而相互佔據相異之位置。

相對於此，在上述上部殼體5a之支持框安裝孔18a以及18b之各個處，係如圖2以及圖4中所示一般，被設置有與上述高電壓源12a以及12b作導通之正以及負的複數(各4個)之給電端子22a～22d以及22e～22h，若是將上述電極支持框11a、11b插入至上述支持框安裝孔18a、18b內並裝著於上部殼體5a處，則相對應之受電端子21a～21d與給電端子22a～22h係相互接觸並被作電性連接，並成為對於各放電電極3a以及3b而施加所決定之極性的高電壓。

在圖示之例中，於第1支持框安裝孔18a處的前後之孔壁面中，在後側之孔壁面的上下相異之位置處，係被設置有與正的高電壓源12a相導通之2個的正的給電端子22a以及22c，在前側之內壁面的上下相異之位置處，係被設置有與負的高壓電源12b相導通之2個的負的給電端子22b以及22d。又，於第2支持框安裝孔18b處的前後之孔壁面中，在後側之孔壁面的上下相異之位置處，係被設置有與正的高電壓源12a相導通之2個的正的給電端子22f以及22h，在前側之內壁面的上下相異之位置處，係被設置有與負的高壓電源12b相導通之2個的負的給電端子22e以及22g。

故而，若是將第1電極支持框11a插入至第1支持框安裝孔18a內，並將第2電極支持框11b插入至第2支持框安裝孔18b內，則在上述第1電極支持框11a處，受電端子21a以及21c係被與正的給電端子22a以及22c相連接，同時，受電端子21b以及21d係被與負的給電端子22b以及22d相連接，又，在第2電極支持框11b處，受電端子21a以及21c係被與負的給電端子22e以及22g相連接，同時，受電端子21b以及21d係被與正的給電端子22f以及22h相連接，因此，被施加於兩電極支持框11a以及11b之各放電電極3a以及3b處的高電壓之極性，係成為如同圖4中所示一般。

又，若是將上述第1電極支持框11a與第2電極支持框11b前後反轉並相互替換，而將第1電極支持框11a插入至第2支持框安裝孔18b內，並將第2電極支持框11b插入至第1支持框安裝孔18a內，則在兩電極支持框11a以及11b處之各放電電極3a以及3b的極性係逆轉。亦即是，係成為在圖4中而將符號「11a」與「11b」作了置換之狀態。

一般而言，當在放電電極處使輝光放電產生的情況時，於正的放電電極與負的放電電極處之耗損的程度係為相異，此事係為週知。因此，藉由如同上述一般而使2個的電極支持框11a與11b具備有互換性，並將該些定期地作置換而將放電電極交互使用在正以及負之處，能夠將各放電電極之耗損均一化，並成為能夠延長總體上之使用期間。

在上述電極支持框11a、11b處，用以對上述放電電極3a以及3b作清掃之清掃構件23，係以成為沿著被形成於該電極支持框11a、11b處之導引構件24而自由移動的方式來作安裝。

上述清掃構件23，係如同由圖4、圖9以及圖10亦可得知一般，具備有：在上述電極支持框11a、11b處而以從上述彎曲部17之側起來將該電極支持框11a、11b作包挾的方式而被安裝了的溝形剖面之毛刷支持器25；和在該毛刷支持器25之內部而以相接於上述放電電極3a以及3b的方式而被安裝了的毛刷26；和在上述毛刷支持器25之基端部處而與上述導引構件24以可自由滑動的方式來作嵌合所形成了的滑動構件27。

上述之毛刷支持器25，係為藉由合成樹脂等之電性絕緣材所形成者，並具備有左右之側板部25a、和將該側板部25a之前端部彼此作連接的端板部25b，在該端板部25b之內面處，上述毛刷26係將毛前端朝向毛刷支持器25之基端部側而被作安裝。當該清掃構件23橫切過放電電極3a、3b之位置時，此毛刷26係成為與該放電電極3a、3b之前端部分(亦即是放電部14b)作接觸並將該放電部14b之髒污除去。上述毛刷26，係被安裝於毛刷基台26a處，此毛刷基台26a，係被安裝於上述毛刷支持器25之端板部25b處。此毛刷基板26a，係亦可為可自由裝著卸下。

上述導引構件24，係為由被形成於上述電極支持框11a、11b之前後兩面的與上述彎曲部17相鄰接之位置處的圓弧狀之溝所成者，並具備有：沿著上述彎曲部17而延伸之主體部24a、和在該主體部24a之其中一端(上端)處而如同被朝向上述彎曲部17之相反側來急遽地作彎折一般地相連之躲避部24b。

上述主體部24a之曲率半徑，係較上述彎曲部17之曲率半徑更大，又，該主體部24a之曲率中心，係並非位於與上述彎曲部17之曲率中心相同的位置，而是位於該彎曲部17之曲率半徑的延長線上。因此，該主體部24a，係在上述彎曲部17之中央附近處而最為接近於該彎曲部17，並以隨著朝向該彎曲部17之兩端方向前進而逐漸地從該彎曲部17而遠離的方式來延伸。藉由此，被安裝在該彎曲部17之靠兩端的位置處之電極長度為短的放電電極3a、3b，和被安裝在該彎曲部17之中間位置處的電極長度為長之放電電極3a、3b，其之從上述主體部24a起直到各放電部14b為止的沿著上述毛刷支持器25之距離，係成為略相等，其結果，係成為能夠藉由上述清掃構件23之毛刷26，來將電極長度相異之各放電電極3a以及3b的放電部14b確實地作清掃。

上述滑動構件27，係由被形成在上述毛刷支持器25之兩側板部25a的內面處之滑動突起27a所成。在各側板部25a之內面處，係分別被形成有2個的滑動突起27a，此些之滑動突起27a，係被嵌合於形成上述導引構件24之溝內。而，在上述清掃構件23所致之放電電極3a以及3b的清掃時，上述滑動突起27a，係如同圖8以及圖9中所示一般地嵌合於上述主體部24a內，並在該主體部24a內作滑動。又，當放電電極3a以及3b之非清掃時，係如圖9中以鍊線所示一般，藉由使位於上方之1個的滑動突起27a嵌合於上述躲避部24b內，上述清掃構件23係移動至待避位置處。

在上述待避位置處之上述清掃構件23的姿勢，係成為朝向與電極支持框11a、11b之上邊平行的方向，且與被安裝在該電極支持框11a、11b之上端的邊緣框29之下面相抵接的姿勢，在如此這般之清掃構件23被移動至了待避位置處之狀態下，上述電極支持框11a、11b係被安裝在上部殼體5a處。此時，上述清掃構件23，由於係從上述送風口10之區域而離開，因此，在離子器之動作時，在上述送風口10內所流動之空氣流，係不會有被此清掃構件23所遮斷或是被擾亂的事態。

另外，在上述待避位置處，上述清掃構件23，係藉由在被形成於左右之側板部25a處的卡合孔30內而嵌合被形成於電極支持框11a、11b處之卡合突起31，來卡合在此待避位置處。

又，在上述清掃構件23處，係於左右之側板部25a的外面處，被形成有鎖合用突起32，當將上述電極支持框11a、11b安裝在上部殼體5a處時，藉由使此鎖合用突起32嵌合於上部殼體5a之一部分處，該清掃構件23係成為無法移動至清掃位置處。

圖9中之符號33，係為被形成於上述電極支持框11a、11b之上述彎曲部17所位置之側的端面處之凹溝，當上述清掃構件23位置於上述待避位置處時，毛刷26之前端部係嵌合於此凹溝33內。

在具備有上述構成之離子器中，當藉由上述清掃構件23來進行放電電極3a以及3b之清掃時，係停止該離子器之運轉，並如圖4中所示一般，將上述電極支持框11a、11b從上部殼體5a而卸下。而後，如圖8以及圖9中所示一般，針對各電極支持框11a、11b，係將位於待避位置處之上述清掃構件23移動至可沿著導引構件24而作滑動之位置處，並使該清掃構件沿著該導引構件24之主體部24a來作一次往返或是複數次之往返。此時，該清掃構件23，係在從上述彎曲部17而突出於送風口10之區域內的狀態下，一面些許地改變姿勢，一面在各放電電極3a以及3b間作移動，並經由使上述毛刷26依序與各放電電極3a以及3b之放電部14b作滑動接觸，來將附著在該放電部14b處之髒污除去。

如此這般，若是將對於髒污了的放電電極3a以及3b之清掃，設為在停止離子器之運轉並將電極支持框11a、11b從殼體而卸下了的狀態下來進行，則由於從該放電電極3a以及3b所剝離了的髒污係不會有經由空氣流而飛散的情況，因此，對於如同先前技術一般之髒污再度附著於離子器之其他部分、或是從離子器流出而對除電環境造成污染、亦或是被吹至除電對象工件處並對該工件造成污染之類的問題，係能夠確實地迴避。

若是放電電極3a、3b之清掃結束，並使上述清掃構件23移動至導引構件24之上端而使上方之滑動突起嵌合於上述躲避部24b內，則如圖6中所示一般，此清掃構件23，係佔據從上述送風口10之區域而離開之待避位置。藉由在此狀態下而將上述電極支持框11a、11b安裝於上部殼體5a處，離子器之運轉係成為可能。而，就算是在此狀態下而使離子器作運轉，亦由於上述清掃構件23係佔據從送風口10之區域而離開之待避位置，因此，不會有由於該清掃構件而使得從風扇4而來之空氣流被遮斷或是被擾亂的事態，其結果，身為先前技術之離子器的缺點之空氣吹出效率的降低或者是由於空氣之擾亂而使得正以及負的離子相互混合並作再結合並使得被送至除電對象工件處之離子量減少一般的問題，係確實地被迴避。

另外，上述電極支持框11a、11b之上端的上述邊緣框29，除了係具備有作為上述清掃構件23之在待避位置處的定位用構件之功能以外，當將該電極支持框11a、11b安裝於上部殼體5a之安裝孔18處時，亦具備有將該安裝孔18之上端作堵塞的功能。

在上述實施型態中，清掃構件23之毛刷係藉由一定長度之纖維所形成，且該毛刷26之前端係成為一平面，但是，亦可如圖11中所示一般，將毛刷26之前端形狀，形成為以朝向外側凸起之形狀而作彎曲的曲面。若是將毛刷26形成為此種形狀，則由於該毛刷26之前端係與放電電極3a、3b之各種的場所相接觸，因此，清掃能力係提升。又，當正以及負的2個的放電電極3a、3b之電極長度並沒有太大差異的情況時，藉由將毛刷26之前端形狀形成如同上述一般之形狀，將上述導引構件24之主體部24a形成為與彎曲部17同心之圓弧一事係亦成為可能。

在圖示之實施型態中，雖係在各電極支持框11a、11b處分別安裝有2組之放電電極對3A、3B，但是，在各電極支持框11a、11b處，係亦可安裝1組或者是3組以上之放電電極對3A、3B。

又，在上述實施型態中，雖係具備有2個的電極支持框11a、11b，但是，此些之電極支持框11a、11b，係亦可為一體化的相連。亦即是，電極支持框係亦可為1個。於此情況，清掃構件23，係亦可在1個的電極支持框之其中一半部側與另外一半部側處分別作設置，但是，亦能夠以可沿著送風口10之全週來移動的方式而僅設置1個。

進而，在放電電極對3A、3B處之正的放電電極3a與負的放電電極3b間之電極長度、亦即是前端-中心間距離，係並非一定需要為相異，當並不需要對於正以及負的離子之再結合的問題作過多考慮的情況時，係亦可相互為相同。於此情況，導引構件24之主體部24a，係被形成為與上述彎曲部17同心之圓弧。

又，上述實施型態之離子器，雖係為直流式，但是，本發明係亦可適用於交流式之離子器中。於此情況，只要構成為對於各放電電極對3A、3B處之2個的放電電極3a以及3b，而以使兩放電電極3a以及3b之極性成為相互相逆一般之時序來施加交流之高電壓即可。

1．．．風扇單元

2．．．控制單元

3A．．．放電電極對

3B．．．放電電極對

3a．．．正的放電電極

3b．．．負的放電電極

4．．．風扇

4a．．．馬達

4b．．．扇葉

5．．．殼體

5a．．．上部殼體

5b．．．下部殼體

7．．．控制裝置

8a．．．電源開關

8b．．．連接器

8c．．．旋轉開關

8d．．．模組化連接器

8e．．．AC轉接器連接用之插口

8f．．．指示器

10．．．送風口

11a．．．電極支持框

11b．．．電極支持框

12a．．．正的高電壓源

12b．．．負的高電壓源

14a．．．本體部分

14b．．．前端部分

15．．．電性絕緣材

17．．．彎曲部

18a．．．支持框安裝孔

18b．．．支持框安裝孔

19．．．鎖合構件

19a．．．彈片

19b．．．卡合突起

21a．．．受電端子

21b．．．受電端子

21c．．．受電端子

21d．．．受電端子

22a．．．正的給電端子

22b．．．負的給電端子

22c．．．正的給電端子

22d．．．負的給電端子

22e．．．負的給電端子

22f．．．正的給電端子

22g．．．負的給電端子

22h．．．正的給電端子

23．．．清掃構件

24．．．導引構件

24a．．．主體部

24b．．．躲避部

25．．．毛刷支持器

25a．．．側板部

25b．．．端板部

26．．．毛刷

26a．．．毛刷基台

27．．．滑動構件

27a．．．滑動突起

29．．．邊緣框

30．．．卡合孔

31．．．卡合突起

32．．．鎖合用突起

33．．．凹溝

O．．．中心

圖1，係為展示本發明之離子源的其中一種實施形態之立體圖。

圖2，係為展示圖1之離子器的重要部分之概略性剖面圖。

圖3，係為將風扇單元之內部構造作概略性展示的重要部分正面圖。

圖4，係為展示圖1之離子器的將電極支持框取出了的狀態下之立體圖。

圖5，係為展示放電電極之構造的重要部分剖面圖。

圖6，係為其中一方之電極支持框的正面圖。

圖7，係為圖6之電極支持框的背面圖。

圖8，係為展示藉由清掃構件而對放電電極作清掃之狀態的正面圖。

圖9，係為圖8之重要部分擴大圖。

圖10，係為清掃構件之立體圖。

圖11，係為展示清掃構件之相異例子的部分剖面圖。

1．．．風扇單元

2．．．控制單元

3A．．．第1放電電極對

3B．．．第2放電電極對

3a．．．正的放電電極

3b．．．負的放電電極

4．．．風扇

5．．．殼體

5a．．．上部殼體

5b．．．下部殼體

10．．．送風口

11a．．．電極支持框

11b．．．電極支持框

18a．．．支持框安裝孔

18b．．．支持框安裝孔

19．．．鎖合構件

19a．．．彈片

19b．．．卡合突起

21a～21d．．．受電端子

22a～22h．．．給電端子

23．．．清掃構件

24．．．導引構件

29．．．邊緣框

Claims (7)

1. 一種附有放電電極清掃機構之離子器，係在開口於殼體上之送風口內，設置送風用之風扇，同時，在該殼體之面臨於上述送風口的位置處，設置藉由輝光放電而產生正、負之離子的複數之放電電極，該離子器，其特徵為：上述放電電極，係被安裝在可自由裝著卸下於上述殼體之電極支持框處，在此電極支持框處，上述放電電極清掃用之清掃構件，係以可在複數之放電電極間而一面與各放電電極相接觸一面作移動的方式而被安裝，該清掃構件，當上述電極支持框係為被裝著於上述殼體處的狀態下時，係佔據從上述送風口之區域離開之待避位置處，而若是上述電極支持框被從該殼體而卸下，則係成為可為了進行放電電極之清掃而移動。
2. 如申請專利範圍第1項所記載之離子器，其中，上述電極支持框，係由位置在上述送風口之其中一半部側的第1電極支持框、和位置在另外一半部側的第2電極支持框所成，在各電極支持框處，係分別被安裝有上述放電電極與清掃構件。
3. 如申請專利範圍第2項所記載之離子器，其中，上述第1以及第2電極支持框，係具備有：與圓形之上述送風口的一部份作了配合之圓弧狀的彎曲部、和藉由使放電部突出於上述送風口內的姿勢而被安裝在此彎曲部處之上述放電電極、和被形成在與上述電極支持框之前後兩面的上述彎曲部相鄰接之位置處的導引構件、和可沿著此導引構件而自由移動之上述清掃構件，上述清掃構件，係具備有：在上述彎曲部之位置處，以挾持上述電極支持框的方式而被安裝之毛刷支持器、和在該毛刷支持器之內部而以與上述放電電極相接的方式而被安裝之毛刷、和可對於上述導引構件而自由滑動之滑動構件。
4. 如申請專利範圍第3項所記載之離子器，其中，上述導引構件，係具備有：由溝所成並沿著上述彎曲部而平緩地彎曲之主體部、和以在該主體部之其中一端處而被彎折之型態來相連之躲避部，又，上述滑動構件，係由可自由滑動地嵌合於此導引構件處之滑動突起所成，在上述毛刷支持器之兩側板部內面處，係分別被形成有複數之滑動突起，並構成為藉由使上述清掃構件移動至上述導引構件之端部處並使一部份之滑動突起嵌合於上述躲避部內，而使此清掃構件佔據上述待避位置。
5. 如申請專利範圍第2項乃至第4項中之任一項所記載之離子器，其中，上述第1電極支持框與第2電極支持框，係相互具備有互換性，並可相互置換地而裝著於上述殼體處。
6. 如申請專利範圍第1項乃至第4項中之任一項所記載之離子器，其中，在上述殼體處，係被設置有導通於高電壓源之複數的給電端子，又，在上述電極支持框處，係被設置有導通於上述放電電極之複數的受電端子，並構成為：若是將該電極支持框裝著於上述殼體處，則上述受電端子係被與上述給電端子個別地相連接。
7. 如申請專利範圍第1項乃至第4項中之任一項所記載之離子器，其中，係具備有複數之由產生相異極性的離子之2個的放電電極之組合所成的放電電極對，在該放電電極對處之2個的放電電極之從電極前端起直到送風口之中心為止的距離，係相互相異。