TWI377113B - Polishing apparatus - Google Patents

Polishing apparatus Download PDF

Info

Publication number
TWI377113B
TWI377113B TW095110700A TW95110700A TWI377113B TW I377113 B TWI377113 B TW I377113B TW 095110700 A TW095110700 A TW 095110700A TW 95110700 A TW95110700 A TW 95110700A TW I377113 B TWI377113 B TW I377113B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
base
work
grinding
top ring
working object
Prior art date
Application number
TW095110700A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200635705A (en
Inventor
Miyashita Tadakazu
Nakamura Yoshikazu
Nomura Yoshiyuki
Original Assignee
Fujikoshi Machinery Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujikoshi Machinery Corp filed Critical Fujikoshi Machinery Corp
Publication of TW200635705A publication Critical patent/TW200635705A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI377113B publication Critical patent/TWI377113B/zh

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68728—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a plurality of separate clamping members, e.g. clamping fingers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/34—Accessories
    • B24B37/345—Feeding, loading or unloading work specially adapted to lapping
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
    • H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68735—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by edge profile or support profile
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68785—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by the mechanical construction of the susceptor, stage or support

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Description

九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明有關一種用以研磨工作物件，例如晶圓，的 研磨裝置。其係一種常見研磨裝置具有一研磨板，其上 表面覆蓋有勉光布，以及一頂環，其具有用以維持一工 作物件並壓迫工作物件之一底面至拋光布上的底面 者。此研磨板與頂環係相對移動以研磨工作物件的底 面。 【先前技術】 一般來說，工作物件被一機械手臂運送至一轉移 單元，此轉移單元將工作物件放在中央處，而頂環移 動至轉移單元以接收工作物件。 具有一轉移單元的一種習用研磨裝置係揭露於曰 本專利公報第11-347922號中。 此轉移單元包括：具有一支擔面的一推進台，於其 上一工作物件，如一半導體晶片，將被放置者；一用於 垂直移動推進台之提舉單元；以及一導引件，其位在推 進台的周圍者且其具有一導引面，其為推拔面者。 半導體晶）{由機械手臂運送至推進台且放置在推 進台的支撐面上。繼而，推進台連同晶片一起往下移 動。晶片到達導引件，且晶片之一外周面接觸導引件的 導引面，放晶片可被置於中央位置處。推進台往上移 動，承接位在中央處的晶片且壓迫位於中央位置的晶片 1377113 . 至頂環的一底面，因而晶片可受頂環所限定β . 晶片研磨後，受研磨晶片經反向步驟自頂環被運送 到轉移單元，接著晶月透過機械手臂自轉移單元被轉送 • 到另處β 、 . 然而，在習用轉移單元中，工作物件由推進台被移 動至推拔導引面以使工作物件被定位在中央處。當工作 物件被轉移到頂環，推進台向上移動以承接工作物件並 Φ 壓迫工作物件至頂環上。因此，當推進台朝向頂環移動 時位在中間的工作物件係被震動，因而工作物件將輕易 地由中央移開。若工作物件自中央移開或轉移，工作物 件將損壞或破裂。 【發明内容】 本發明係被構思以解決上述問題。 - 本發明之一目的在於提供一種研磨裝置’其可使工 φ 作物件不自中央移開地運送一工作物件至一頂環且可 準確地研磨工作物件者。 為達此目的，本發明具有以下结構。 亦即’本發明之研磨裝置包含： 具有罩覆有拋光布之一頂面的〆研磨板； . 具有用於維持一工作物件並麈迫工作物件之一底 面至抛光布上之一底面的一頂環，此頂環係相對研磨板 移動以研磨工作物件的底面；以及 位在一工作物件運送位置的〆轉移單元，於其工作 6 1377113 物件被運送至頂環者， 其中轉移單元包括： 具有一接收部，其引導被運送工作物件之一外缘以 使工作物件位在中央者，的一導引件； 對應於導引件相對垂直地移動之一放置桌，放置桌 具有一固定部，其以向上突出之一頂面自導引件承接位 在中央的工作物件者；及 撐持放置桌且允許放置桌向下移動的一支撐機 構，且其中放置桌係相對移動靠近頂環且壓迫工作物件 至頂環底面上以將工作物件運送至頂環。 研磨裝置中，頂環可往下移動並驅動工作物件，其 已位在放置桌中央位置者，連同放置桌以轉運工作物件 到頂環。 研磨裝置中，導引件可為多數個銷，其每一具有一 推拔頂端作為使工作物件位在中央位置的導引部者。 研磨裝置中，放置桌之固定部可環狀地自放置桌之 一外周緣向上突起。 研磨裝置中，固定部之一置放面可為一推拔面，其 内徑朝一底端逐漸地變小。 研磨裝置中，一彈性體係可設置於一底座，及 此彈性體可彈性地支撐放置桌並允許放置桌朝下 移動。 研磨裝置中，彈性體可為一螺旋彈簧，其由放置桌 往下延伸，接附於穿過底座之一軸上且彈性地夾設於放 7 置桌和底座間者。 研磨裝置中，轴的一部份，其自底座向下突伸者， 可為一第一螺接部， 一螺帽可與第一螺接部相螺設， 軸的一部份，其穿過底座者，可被一螺接套筒其外 周面具有與底座螺設之一第二螺接部者所罩覆，與 放置桌相對於底座之一高度與螺旋彈簧之一彈力 可藉著調整螺接套筒相對於底座之一螺鎖位置和螺帽 之一螺鎖位置而被調整。 研磨裝置中，放置桌可相對底座維持一水平狀態地 沿著一導桿垂直地移動。 研磨裝置中，一提舉件，其垂直地由一驅動單元所 驅動者，可設在底座，及 導引件可設在提舉件中。 研磨裝置中，導桿不僅可引導放置桌更可引導提舉 件。 研磨裝置中，轉移單元可更包括： 撐持放置桌之一支撐件，支撐件具有一彈性體，其 允許放置桌向下移動者；及 多數個設在支撐件以觸及工作物件，其.已位在放置 桌中央處者，之一外緣並定位工作物件的定位部件。 藉著採用本發明之研磨裝置，工作物件可不自中央 處移開地被運送至頂環，故工作物件能夠以高研磨精準 度地被輾磨。 1377113 【實施方式】 本發明之較佳實施例現將參照隨附圖式被詳細說 明。 第1圖為本發明第一實施例之一研磨裝置的一示 意圖。 第1圖中，拋光布13係接附於一研磨板12之一頂 面，透過例如，黏合劑。研磨板12以一軸14為軸心於 一水平面旋轉。此轴14是由一已知裝置所驅轉（未顯 示）。 一頂環16接附於一旋轉軸17的底端。此旋轉軸 17繞其軸線旋轉且藉由一已知機構（未顯示）垂直地被 驅動。頂環16於一第一位置，其位在研磨板12之上者， 與一第二位置X，其位在研磨板12以外者，間移動。 第二位置X係為一工作物件運送位置。 用以運送一工作物件之一轉移單元18是位在工作 物件轉換位置X。一輸送單元19具有一機械手臂（未顯 示）。此輸送單元19載送待研磨工作物件進入轉移單元 18且自其將已研磨工作物件取出。 工作物件由轉移單元18被轉換至頂環16之一底 面，頂環16壓迫工作物件至研磨板12的拋光布13上， 且研磨板12與頂環16轉動，故工作物件可被輾磨。待 輾磨完成後，工作物件自頂環16被轉移至轉移單元 18，繼而工作物件由機械手臂自轉移單元18被取出。 9 第2圖為頂環16之一斷面視圖。頂環16為一種已 知項環，故其結構將簡要地被說明。 一頭固有件2〇具有一頂段21，其定位於軸π去， 、一圓柱段22，其定位於頂段21之一下外周緣者β s 限定板24位於頭固有件20之下且可以連同一環狀 隔琪25向上並向下移動。隔膜25之一外周緣以一 件m 〜议 ^ 固定至圓柱段22的一底面；隔膜25之一内周緣 藉著一定位件27固定至限定板24的外周緣》 一第一隔室29，其緊密地受隔膜25封閉者，係形 成於頭固有件20與限定板24間。一加壓流體藉著一接 頭3〇自流體源（未顯示）被引入第一隔室29内。藉此結 構’工作物件可被壓迫於拋光布13上。 共軸第二隔室31形成於限定板24中。第二隔室 31透過以輻射方向延伸之溝槽（未顯示）彼此連通。許 多小孔32，其連通第二隔室31者，係同樣開放於限定 板24之一底面。 一加壓流體自流體源（未顯示）透過接頭34和一導 管35被引入第二隔室31且由限定板24的小孔32往下 噴出》如第3圖中所示，具有微孔之一支持墊36被設 置在限定板24底面，而一環狀模板37設於支持墊36 之一下外周緣。加壓流體，其已自限定板24底面往下 噴出者，更自支持墊36之i孔往下喷出。因此，工作 物件W更被喷出流體推往拋光布13上。 為維持工作物件，第二隔室31中的流體係被吸 1377113 引，故工作物件W被拉引至並維持於支持墊36之底面 上。 注意的是，圓柱段22之一内面與定位件27之一外 面為推拔面38，其為對應配合者，故限定板24能夠不 自圓柱段22掉出地被正確定位於中央。 本發明之特點在於轉移單元18。 第4圖為第一實施例轉移單元18之一斷面圖。 一提舉桌（提舉件）42，其垂直地由一引擎單元（一 驅動單元）41所驅動者，設置在一底座40。提舉件42 連結一活塞桿41a，且導桿43分別地受到導引套管44 所引導。藉著驅動引擎單元41，提舉件42以維持水平 狀態地被垂直移動。 提舉件42為一環狀板體。六個銷（導引件）45 ,其 向上延伸者，設在提舉件42之一外周緣並按照規律間 隔地以環繞方向排列（見第5圖）。 如第3圖中所示，每一個銷45包括一底銷段46， 其為一較粗段者，與一頂銷段47，其為一推拔部者。 介在底銷段4 6與頂銷段4 7間的一邊緣段具有一推拔面 48，其直徑係往一底端逐漸變大者。以及，頂銷段47 亦具有一推拔面49,其直徑朝一底端逐漸變大者。注 意的是，頂銷段47之一底端為一具有固定直徑且連結 於推拔邊緣段之一頂端的枉狀部50。 六個銷45之頂銷段47外周面作為用以導引工作物 件W之接收部。一種已知機械手臂Η(見第5圖）握持工 11 1377113 作物件W之一外周緣並運送工作物件W至六個頂銷段 47間的一空間，接著機械手臂釋放工作物件W。藉此動 作，工作物件W之外周緣受到頂銷段47之外周面所引 導，故工作物件W落入六個柱狀部50間的空間。因而， 工作物件W位於中央處且設在推拔面48的頂部上。柱 狀部50之外周面與工作物件W之外周面間的距離約為 0. 5 微米（μιη)。 第4圖中，感應器51，其每一具有一光發射部與 一光接收部者，偵測工作物件W是否通過銷45之頂銷 部47間的空間。 一放置桌53為一圓板，且一環狀固定部54，其向 上延展者，係沿著放置桌53之外周緣設置。藉著驅動 銷45往下，工作物件W自銷45被轉移至固定部54。 固定部54包括一為推拔面之置放面54a，其内徑係朝 一底端逐漸變小者。如第3圖中所示，當工作物件W被 轉移至置放面54a，工作物件W頂面之一高度為置放面 54a —頂端的高度。亦即，工作物件W與置放面54a的 尺寸係被設计以使工作物件W向上突出。如第3圖中所 示，當頂環16向下移動而以支持墊36壓迫工作物件W 時，工作物件W的突出高度係被設計以防止模板37與 固定部54頂部相干擾。 如第5圖中所示，固定部54包括凹口 54b，其具 有半圓形者，且每一銷45之一内半部可通過每一凹口 54b。 12 1377113 放置桌53係彈性地受到螺旋彈簧（彈性體）所撐持 並被允許相對於底座40往下移動。用於撐持放置桌53 的支撐機構將被說明。 四個導桿43與四個軸56係自放置桌53底面往下 延伸’且它們交錯地排列在同一個圓上。導桿43與軸 56的底部穿過底座40，且它們更向下延伸。它們的排 列方式以實線顯示於第5圖中。 導桿43藉由導引套管57穿伸過底座40。亦即， 導管43不僅僅引導提舉件42更引導放置桌53。放置 桌53能夠以維持水平狀態地被向上與向下驅動。 軸56的頂部為一寬徑部56a，其直徑大於底部者。 軸56的部分56b，其自底座40往下凸出者，為第 一螺接部，且螺帽58與第一螺接部56b相螺接。軸56 的部份，其穿過底座40者，係分別受到螺接套筒6〇套 覆者’其外周面具有與底座40相螺設之第二螺接部6〇a 者。一工具可與螺接套筒60之接合部60b相接舍以轉 動螺接套筒60。透過轉動螺接套筒，螺接套筒6〇相 對於底座40的位置可被調整。螺接套筒6〇可被螺帽 62所固定。 螺旋彈簧64包覆軸56的部份，其每一位在螺接套 筒60頂端與寬徑部56a底面間者。因此，放置桌53由. 四個螺旋彈簧64所支撐。當放置桌53受壓向下，螺旋 彈簧64係向下地被壓縮（見第7圖）◊ 透過此結構，放置桌53相對於底座的一高度以及 13 1377113 螺旋彈簧64的彈力可藉著調整螺接套筒6〇相對於底座 40的螺接位置與螺帽58的螺接位置而被調整。 第一實施例之轉移單元18具有上述結構。接下 來，轉移單元18的動作將被說明。 第4圖中，提舉桌42已被向上驅移’且銷45之頂 銷段47完全位在放置桌53之固定部頂面上的位置。 在此狀態中，機械手臂Η握持工作物件f外緣，盆 已容設，例如，-ϋ槽(未顯示)之中者且運送工作物件 1至六個頂鎖段47間的空間。然後，機械手臂Η釋放 工作物件W。工作物件W受到頂銷部〇的外周 =第至：48_’故，件w可正確地被定 繼而，如第6圖中所示，引擎星 42連同銷45往下。利用此動作，工作物件桌 固定部54的置放面54a上。如上所述，=移至 面的高度高於置放面54a的頂端高度，故杏物件W頊 被轉移至置放面54a，工作物件w二付工作物件W 圖）。 不凸起（見苐3 接者，如第7圖中所顯示，頊聲Μ 支持墊36(見第3圖）觸及工作物件？的：移動，且 狀態中，頂環16進一步操抗螺旋彈簧64 面在此 動。嫘旋彈簧64被壓縮，故螺旋彈簧以=力向下移 迫工作物件W至支持墊36 (見第/ 則述彈力壓 禮，例如，空氣，於第二隔室31中係被^面土。流 刀，故工作 14 1377113 物件W被拉往並由支持墊36底面所維持。接著，頂環 16往上移動，移往研磨板12之上的位置，並向下移動。 藉此動作，工作物件W被塵迫於抛光布13上。透過轉 動研磨板12與頂環16，工作物件W的底面可被研磨〇 研磨完成後，工作物件W被送到轉移單元18(見第 4圖），然後以機械手臂Η被運往一外部位置。 第一實施例中，工作物件W，其已被銷45定位於 中央者，於該狀態中被轉移到放置桌53上，且由頂環 16,其向下移動者，所吸引且限定著，於此位置。因而， 工作物件W可被頂環16以不使工作物件W移位地所限 定0 要注意的是，頂環16向下移動以維持工作物件W 於頂環16之底面，但轉移單元18可被向上驅動以轉移 送工作物件W至頂環16。此例中，運送動作先前係由 推進台所執行，其被用於習知研磨裝置中者，現係不被 實施，故工作物件W的移位可被預防。 轉移單元18之一第二實施例顯示於第8-10圖中。 注意，第一實施例中所說明之結構元件指定相同標號， 與說明者將被省略。 一撐持桌（一撐持件）7〇係設在放置桌53之下並被 允許向下移動。 即，多數個支撐軸71固定於放置桌53底面且往下 延伸。支撐軸Π穿過撐持桌70並自其往下延伸。墊圈 72分別地以螺帽73定位支撐軸71的底部。螺旋彈簧（彈 15 性體）74分別罩覆支撐軸71。螺旋彈簧74係分別彈性 地設置在撐持桌70底面與墊圈72之間。 藉此結構，撐持桌70可隨同放置桌53 —起被往下 驅動並可分離地對應放置桌53向下移動。 要注意的是，導桿76設在放置桌53之底面。導引 套管77設在撐持桌70。 撐持桌70形成為環狀或輻射狀。多數個定位部件 80，其向上延展者，設在撐持桌70之外緣或邊緣。 如第9圖與第10圖中所示，四個定位部件80為按 規律角度間隔地環狀地排列。定位部件80的位置與銷 45者並不同。定位部件80分別由環狀固定部54之凹 口 54c往上延伸。如第4與10圖中所示，突部80a， 其當工作物件W設置於固定部54之置放面54a上時， 環繞工作物件W外周面以不使工作物件W偏離地正確定 位工作物件W者，係分別設於定位部件80的頂部。
當定位部件80之突部80a接觸到工作物件W的外 周面，即使銷45被向下驅動，工作物件W並不會被移 位。當頂環16向下移動，模板37首先觸及並壓迫突部 80a，故定位部件80連同撐持桌70向下被驅動。然後， 頂環16更往下移動，支持墊36觸及工作物件W的頂 面，且放置桌53亦向下移動。故，工作物件W以前述 之力被迫壓至夫持墊36底面，而頂環16吸引並維持工 作物件ff。注意的是，即使突部80a向下移動，模板37 取代突部80a限定著工作物件W外緣，因此工作物件W 1377113 的移位可被防止。 在不偏離主要特徵之精神下，本發明可藉由他種特 定形式實施。因而現有實施例在各方面被視為說明但非 為限制，本發明之範疇係附屬於申請專利範圍所揭示者 而非前述說明，且衍生自申請專利範圍内之等效含義及 範圍的所有變化，均被包含在内。
17 I377ll3 f圓式之簡單說明】 本發明之實施例現將以例示並參隨所附圖式的方 式被述明，其中： 第1圖係本發明研磨裝置之一第一實施例的一示 意圖； 第2圖為一頂環之一斷面圖； 立第3圖為顯示頂環’一工作物件與一固定部的一示 意圖； ^ 4^'-轉移單元，於其中工作物件 中央者，的一斷面圖； "、 第5圖係顯示導桿，轴與鎖之排列方式的一示意 斷面圖第;6圖係轉移單元，於μ銷係往下移動者’的- 單元Π::頂環往下—作物件時，轉移 第8圖係一第二實施例之轉 第9圖係顯示第二實施例的-斷面圖； 列方式的一平面圖；以及 夕早70之定位部件排 第10圖係顯示定位部件，一 示意圖。 一％板與工作物件的一 【圖式中元件名稱與符號對照】 10 :研磨裝置 18 1377113 13 :拋光布 12 :研磨板 14 :轴 16 :頂環 17 :旋轉轴 18 :轉移單元 19 :輸送單元 20 :頭固有件 21 :頂段 22 :圓柱段 24 :限定板 25 :環狀隔膜 26 :定物件 29 :第一隔室 30 :接頭 31 :第二隔室 32 :小孔 34 :接頭 35 :管 37 :環狀模板 36 :支持墊 27 :定位件 38 :推拔 40 :底座 1377113 42 :提舉桌（提舉件） 41 :引擎單元（驅動單元） 41a :活塞桿 43 :導桿 44 :導引套管 45 :銷（導引件） 46 :底銷段 47 :頂銷段 48、49 :推拔面 50 :柱狀部 51 :感應器 53 :放置桌 54 :固定部 54a :置放面 54b :凹口 56 :轴 56a :寬徑部 56b :部分 57 :導引套管 58 :螺帽 60 :螺接套筒 60a :第二螺接部 60b :接合部 62 :螺帽 20 1377113 64 :螺旋彈簧 70 :撐持桌（撐持件） 71 :支撐軸 72 :墊圏 73 :螺帽 74 :螺旋彈簧 76 :導桿 77 :導引套管 80 :定位部件 80a :突部

Claims (1)

1377113 十、申請專利範圍： Μ月4日修(荩)正本 種研磨裝置，包含： 具有—以拋光布罩覆頂面的一研磨板； 抛光二！：：於維持工作物件並壓迫工作物件底面至 作物：：環’該頂環相對於研磨板移動以研磨工 作物件底面；以及 :在^作物件轉移位置，使工作物件 頂％之一轉移單元， 其中該轉移單元具有： 作物收部’及引導受轉移工作物件外緣以令工 作物件位在中央的一導引件； =導引件相對垂直移動之—放置桌，該放置桌具 ::固义部，其以往上突出之一頂面自 中央之工作物件；及 你 構，I料放置桌並允許放置桌往下移動之支樓機 其中放置桌係可相對移近該頂環並墨迫工作物件 至頂裱底面，以轉移工作物件至該頂環，· 其中―彈㈣設置於—底座上，轉性體彈性地支 標放置桌並允S午放置桌向下移動； “該彈性體為一螺旋彈簧，其自放置桌向下延伸附 2-穿伸過底座之轴上並彈性地設於放置桌與底座 之.間； 其中軸之-部分’係自底座往下突出而為第一螺接 22 丄 J//U3 邛，了螺帽螺設於該第一螺接部；該軸的一部份穿過底 座，^由一外周面具有一螺設於底座之第二螺接部的螺 较同所罩设，且，放置桌相對於底座之一高度與螺旋' 彈音的彈力可藉著調整螺接套筒相對於底座之螺 置與螺帽的螺接位置而被調整。 班2.如申請專利範圍第1項之研磨裝置，其中該頂 衣係向下移動且驅移位在放置桌中央的工作物件者連 同放置桌轉移工作物件至該頂環。 3. 如申請專利範圍第1項之研磨裝置，其中導引 件為夕數個銷，其每—銷具有_推拔頂端作為用以使 工作物件位於中央處的引導段。 4. 如申請專利範圍第1項之研磨裝置，其中放置 桌之固定部係自放置桌外周緣環狀地向上突起。 Λ 5·如申請專利範圍第1項之研磨裝置，其中固定 4之置放面為—推拔面’其内徑朝—底端逐漸變小。 6. 如申請專利範圍第1項之研磨裝置，其中放置 桌對應於底座維持水平狀態地沿著—導桿被垂直驅動。 7. 如申請專利範圍第1項之研磨裝置，其中一提 舉件，其垂直地由一驅動單元所驅動者，係設於底座， 且導引件設在該提舉件中。 8. 如申請專利範圍第7項之研磨裝置，其中導桿 不僅引導放置桌，更引導提舉件。 9. 如申請專利範圍第1項之研磨裝置，其中該轉 移單元更包含： 23 1377113 支撐放置桌之一撐持件，該撐持件具有一彈性體， 其允許放置桌向下移動；以及 設置於撐持件，接觸位於放置桌中央的工作物件， 外緣並定位該工作物件之多數個定位部件。 24
TW095110700A 2005-04-01 2006-03-28 Polishing apparatus TWI377113B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005106895A JP4642532B2 (ja) 2005-04-01 2005-04-01 研磨装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW200635705A TW200635705A (en) 2006-10-16
TWI377113B true TWI377113B (en) 2012-11-21

Family

ID=36615722

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW095110700A TWI377113B (en) 2005-04-01 2006-03-28 Polishing apparatus

Country Status (8)

Country Link
US (1) US7235001B2 (zh)
EP (1) EP1707314B1 (zh)
JP (1) JP4642532B2 (zh)
KR (1) KR101228178B1 (zh)
CN (1) CN100591480C (zh)
DE (1) DE602006001415D1 (zh)
MY (1) MY144252A (zh)
TW (1) TWI377113B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7644922B2 (en) * 2004-06-14 2010-01-12 Wms Gaming Inc. Gaming terminal with transformable cabinet
JP5033354B2 (ja) * 2006-05-29 2012-09-26 不二越機械工業株式会社 ワークセンタリング装置
JP2009194134A (ja) * 2008-02-14 2009-08-27 Ebara Corp 研磨方法及び研磨装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4944119A (en) 1988-06-20 1990-07-31 Westech Systems, Inc. Apparatus for transporting wafer to and from polishing head
US5885138A (en) * 1993-09-21 1999-03-23 Ebara Corporation Method and apparatus for dry-in, dry-out polishing and washing of a semiconductor device
JP3580936B2 (ja) * 1996-02-26 2004-10-27 株式会社荏原製作所 ポリッシング装置のプッシャー及びポリッシング装置
EP0911114B1 (en) 1997-10-20 2007-08-01 Ebara Corporation Polishing apparatus
KR100524054B1 (ko) * 1997-11-21 2005-10-26 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 폴리싱 장치와 이에 사용되는 대상물 홀더 및 폴리싱 방법 및 웨이퍼제조방법
JPH11347992A (ja) 1998-06-02 1999-12-21 Komoda Kogyo:Kk 配管切断システムおよびこのシステムにおいて使用されるコンピュータ読み取り可能な記録媒体
JP3675237B2 (ja) * 1999-07-09 2005-07-27 株式会社東京精密 平面加工装置
US6358126B1 (en) * 2000-05-23 2002-03-19 Ebara Corporation Polishing apparatus
US6609950B2 (en) * 2000-07-05 2003-08-26 Ebara Corporation Method for polishing a substrate
JP2002184732A (ja) * 2000-12-12 2002-06-28 Ebara Corp 受け渡し装置
JP3920720B2 (ja) * 2002-03-29 2007-05-30 株式会社荏原製作所 基板受渡し方法、基板受渡し機構及び基板研磨装置
KR100472959B1 (ko) * 2002-07-16 2005-03-10 삼성전자주식회사 언로딩구조가 개선된 반도체 웨이퍼의 표면평탄화설비
US7101253B2 (en) * 2002-08-27 2006-09-05 Applied Materials Inc. Load cup for chemical mechanical polishing

Also Published As

Publication number Publication date
CN100591480C (zh) 2010-02-24
TW200635705A (en) 2006-10-16
EP1707314B1 (en) 2008-06-11
DE602006001415D1 (de) 2008-07-24
US20060223421A1 (en) 2006-10-05
EP1707314A1 (en) 2006-10-04
KR101228178B1 (ko) 2013-01-30
JP4642532B2 (ja) 2011-03-02
KR20060105511A (ko) 2006-10-11
US7235001B2 (en) 2007-06-26
CN1840290A (zh) 2006-10-04
JP2006281400A (ja) 2006-10-19
MY144252A (en) 2011-08-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI663687B (zh) 基板保持裝置及基板洗淨裝置
JP6307143B2 (ja) 基板把持装置
US5966765A (en) Cleaning apparatus
JP6183301B2 (ja) 自動ハンドリング装置
TWI377113B (en) Polishing apparatus
JP2010012539A (ja) 傾斜角調整装置及びワーク装着装置
JP6974065B2 (ja) 基板処理装置および基板を基板処理装置のテーブルから離脱させる方法
US20120214290A1 (en) Substrate holder, pair of substrate holders, substrate bonding apparatus and method for manufacturing devices
JP4630178B2 (ja) ワーク用チャック装置
US9821427B2 (en) Grinding method for workpieces
WO2006046303A1 (ja) 支持体と可動体の連結装置
JP5908703B2 (ja) 研削装置及び円形板状ワークの洗浄方法
JP4032268B2 (ja) ウェーハの平面加工装置
JP3758778B2 (ja) チャック装置
CN101941179A (zh) 化学机械研磨设备
JP2009200390A (ja) プローブカード移載装置
JP6635840B2 (ja) 剥離装置、平面研磨装置および剥離方法
KR20070048937A (ko) 웨이퍼 이송 장치
JP2017220549A (ja) チャックテーブル
JP2015196124A (ja) ロールスポンジホルダー、ロールスポンジの製造方法、基板洗浄装置及び基板処理装置
JP2005205595A (ja) 基板把持装置
JP2009285790A (ja) 加工装置
WO2002098676A1 (fr) Dispositif de polissage
JP2002210652A (ja) 研磨治具及びこれを用いる研磨装置