TWI359535B - Zif connectors and semiconductor testing device an - Google Patents
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Description
1359535 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種ZIF連接器、半導體測試裝置與半導體測試系統， 特別是有關於一種具有電路圖案配置之ZIF連接器以及具有ZIF連接器之 1 半導體測試裝置與半導體測試系統。 【先前技術】 零插入力式連接器(簡稱ZIF連接器)常用在半導體測試裝置或設備，請 φ 參考第1圖’係揭露一種習知技術之ZIF連接器11與測試載板12(或者是 針測卡基板)的連結模式。如圖所示，鉚釘14可直接貫穿ZIF連接器u與 測試載板12之貫穿孔16，藉以將ZIF連接器u鉚接於測試載板12。此外 ZIF連接器11的兩側各具有一列複數個的金手指(g〇ldenfmger)i3，以電性 連接ZIF連接器之母接座(未圖示）。上述的鉚釘連結模式，於衝壓(麵㈣ 鉚釘14時必須相當精密的控制施力的大小與方向，才可以使得所有金手指 13與測s式載板12上的接點(未圖示)接觸時，仍然能保持一定的間隙a與一 定之預壓力’如此阻抗匹配(impedancematch)才得以固定而得到穩定的測試 訊號。在晶圓測試過程中，ZIF連接器11必須經常承受ZIF連接器之母接 *座反覆插拔的操作嘯吏金手指η會發生磨耗現象，如此間隙A及麵力 都會改變’造成金手指13制試載板12的接點部分接觸不良，進而影響 測試效果，導致必須對整個針測卡進行檢修。 然而上述習知技術的ZIF連接器由於其特殊的結構設計，使得金手指 13與鎖合件(例如：鉚釘14)之間以及金手指13與測試載板12之間分別^ 成-接面阻抗，進峨得通過金手彳旨13之職訊號產生接面阻抗而造成訊 號失真的現象，因此導致ZIF連接器在實際使用上對半導體測試環境 良影響。 1359535 【發明内容】 為了解決上述先前技術不盡理想之處，本發明提供了一種具有創新結 構之ZIF連接器，其中此ZIF連接器包含有一本體部以及一卡持部，其中 本體部為印刷電路板並設有電路圖案，而此本體部進一步包含有複數個 訊號孔位於本體部之上部以電性連接複數個訊號纜線；以及複數個電氣端 子位於本體部之下部且排列本體部相對的兩個側邊以電性連接一基板之複 數個電氣接點，且此等電氣端子經由本綱之電關案以電性連接此等訊 號孔，此外卡持部係自本體部的一個側邊水平延伸以將此ZIF連接器鎖固 在一連接器載板。 因此，本發明之主要目的係提供一種ZIF連接器，由於此ZIF連接器 具有印刷電路板之結構’而使得ZIF連接器之電氣端子或金手指不需與測 試載板之間維持-賴隙之預壓接觸，據此ZIF連接器與測試載板之間可 避免因母接座之反覆插拔而產生接觸不良。 本發明之次要目的係提供一種ZIF連接器，由於此ZIF連接器之内部 具有印刷電路板之結構’可使其電氣端子或金手指藉由内部電路圖案而與 測試裝置之接點直接接觸而μ與職載板電性接觸，據此降低測試載板 之製作成本。 本發明之另一目的係提供一種ZIF連接器，由於此ZIF連接器之内部 具有印刷電路板之結構，可藉由内部電路酸以提供訊航與魏端子或 金手指之間的電性連接，進而避免在ZIF連接器之接面發生接面阻抗。 本發明之又一目的係提供一種ZIF連接器，由於此ZIF連接器之内部 具有印刷電路板之結構，可藉由其邮卩電_案促使域减電氣端子或 金手指之間的電性連接’以縮短測試訊號流經ZIF連接器之内部路徑長度。 本發明之再一目的係提供一種具有ZIF連接器之半導體測試裝置與半 導體測試系統’由於此ZIF連接器具有印刷電路板之結構，而使得孤連 接器之電氣端伐金手指不需與測試紐之縣持—定聰之預壓接觸， 據此避免ZIF連接器與測試載板之間因母接座之反覆插拔而產生接觸不良。 5
Claims (1)
1359535
七 、申請專利範圍： 從f· /月少正雜頁! 1. -種ZIF連接器，用在—半導體測試裝置，該2輯接器包含有一本體 部以及一*^持部，其特徵在於： 該本體部為一印刷電路板，設有電路圖案，包含有 複數個訊號孔’位於該本H部之上部，靠冑性連接複触^號缓線； 複數個電氣端子，位麟本體部之下部且洲該本體部相對的兩個側邊 表面Xf；f·生連接—基板之複數個電氣接點，且該等電氣端子經由該 本體部之電關如紐連接鱗訊號孔 :以及
該卡持部係自該本體部的—個側邊水平延伸以將該ZIF連接器鎖固在一 連接器載板。 2.如申請專利範圍第！項所述之ζιρ連接器，其中該連接器載板具有至少 -储槽，該卡持部包含至少一導引件，以導引該ΖΙρ連接器卡持在該 連接器載板之插槽内。 3·如申請專利範圍第i項所述之ZIF連接器，其中該卡持部包含至少一個 第-鎖合孔，藉由-鎖合件可以將該ZIF連接器鎖合在該連接器載板。 4.如申請專利細第3項所述之ZIF連接器，其中該連接器載板進一步包
含至少-個第二鎖合孔，藉由該鎖合件可以將該孤連接器鎖合在該連 接器載板的第二鎖合孔。 5·如申請專利細第！項所述之ZIF連接器，其中該基板為一可插拔之測 试主機板。 種半導體/則4裝置，包含有一連接器載板、—測試載板與一針測卡， 其中該連接器載板包含複數個ZIF連接器並進而導引該等zif連接器連 接至該測試載板，該測試載板係電性連接該針測卡，而該針測卡具有針 測觸鬚以測試一待測之晶圓，其特徵在於 該各個ZIF連接器包含有一本體部以及一_^持部，其中 該本體部為一印刷電路板，設有電路圖案，包含有 複數個訊魏’位賊本體狀上部，_電性連接概舰魏線； 12 1359535 複數個電氣端子，位於該本體部之下部且排顺本體部姆的制固侧邊 表面m輯接—基板之複數個魏接點，且料魏端子經由該 本體部之電路圖案以電性連接該等訊號孔；以及 該卡持部係自該本體部的一個側邊水平延伸以將該等ZIF連接器鎖固在 該連接器載板之内。
7. -種半導體測試裝置’包含有—晶圓承載台、—針測卡、—測試載板與 一連接器載板，其中該連接器載板包含複數個ZIF連接器並進而導引該 等ZIF連接器連接至該測試載板，該測試載板係電性連接該針測卡，該 晶圓承載台係提供X-Y-Z三轴之移動以承載一待測之晶圓，該針測卡具 有針測觸鬚以測試該待測之晶圓，其特徵在於 該各個ZIF連接器包含有一本體部以及一_^持部，其十 該本體部為一印刷電路板，設有電路圖案，包含有 複數個訊號孔，位於該本體部之上部，用以電性連接複數個訊號纜線； 複數個電氣端子，位於該本體部之下部且排列該本體部相對的兩個側邊 表面，用以電性連接一基板之複數個電氣接點，且該等電氣端子經由該 本體部之電路圖案以電性連接該等訊號孔；以及
該卡持部係自該本體部的一個側邊水平延伸以將該ZIF連接器鎖固在該 連接器載板之内。 8. —種半導體測試系統，用以測試一待測之晶圓，該半導體測試系統至少 包含有一測試承座與一測試主機板，其中 該測試承座至少具有一晶圓承載台、一針測卡、一測試載板與一連接器 載板，其中該連接器載板包含複數個ZIF連接器並進而導弓丨該等ζιρ連 接器連接至該測試載板，該測試載板係電性連接該針測卡，該晶圓承載 台係提供X-Y-Z三軸之移動以承載該待測之晶圓，該針測卡具有針測觸 鬚以測試該待測之晶圓；以及 該測試主機板具有與該等ZIF連接器對應連接之複數個母接座，並根據 13 1359535
hv'r q ' …、- ·…，J 該待測之晶圓之測試規格以提供適當之測設信號;一一〜.一」 其特徵在於 該各個ZIF達接器包含有一本體部以及一卡持部，其中 該本體部為一印刷電路板，設有電路圖案，包含有 複數個訊號孔，位於該本體部之上部，用以電性連接複數個訊賴線； 複數個電氣舒’錄财體敎下部且侧該本細目對的兩個側邊 表面，用以電性連接該測試主機板之複數個電氣接點，且該等電氣端子 經由該本體部之電路圖案以電性連接該等訊號孔,·以及 該卡持部係自該本體部的-個側邊水平延伸以將該等ζιρ連接器鎖固在 該連接器載板之内。 9_二種半導體測試裝置，用以測試一積體電路元件，該半導體測試裝置包 :有-連接輯板、-制卡與—測試插座，其中該連接賴板包含複 /個ZIF連接器並進而導引該等ZIF連接器連接至該針測卡，該針測卡 係電性連接該測試插座，該測試插座用以容置該積體電路元件且設置有 硬數個縱向貫穿該測試插座之探針以電性接觸該積體電路 其特徵在於 該各個ZIF連接器包含有一本體部以及一卡持部，其中 該本體部為一印刷電路板，設有電路圖案，包含有 =固訊航，她該本體狀上部，_祕連純數她號纔線； ^數個電祕，峨機⑶同聯物目制兩個側邊 二’肋m輕-紐之複數個電氣接點，且鱗電氣端子經由該 本體。p之電路圖案以電性連接該等訊號孔；以及 =持部係自該本體部的一個側邊水平延伸以將該等z 該連接器載板之内。 ι〇· j铸體_統，_試—積體電路元件，該半導體測試系統包 a —連接器載板、-針測卡、—測試插座、—壓合臂與—轉接板，其 14 1359535 中該連接器載板包含複數個ZIF連接器並進而導引該等ZIF連接器連接 至該針測卡，該針測卡係電性連接該測試插座，該測試插座用以容置該 積體電路元件且設置有複數個縱向貫穿該測試插座之探針以電性接觸該 積體電路元件，該壓合臂係壓合該積體電路元件使其接觸該測試插座^ 探針， 其特徵在於 該各個ZIF連接器包含有一本體部以及一_^持部，其中 該本體部為一印刷電路板，設有電路圖案，包含有 • 複數個訊號孔，位於該本體部之上部，用以電性連接複數個訊號纜線； 複數個電氣端子，位於該本體部之下部且排舰本體部相對的兩個侧邊 表面，収紐連接—基板之複數個電氣接點，且該等電氣端子經由該 本體部之電路圖案以電性連接該等訊號孔；以及 該卡持部係自該本體部的一個側邊水平延伸以將該ζιρ連接器鎖固在該 連接器載板之内。
15 1359535
>1 正替换頁
>32 >31 第3圖 20 4013.59535
43 48 49 Λ 490 44 > 41 450 46 45 470 ^ 47 第4圖
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