TWI356168B - Finger tester for the testing of non-componented p - Google Patents

Description

I356168 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關m職未設置零件的印刷電路板之指狀 測試機，减-種㈣此指_試機簡試未設置轉的印刷電 路板的方法。尤其係—種具有複數偏m指之指狀測試機， 其中測試減自動移_與待測試電路板之電路板賴點相接 觸。 【先前技術】 肖簡試電路板❹境_常可以分為兩類1狀測試機 ' 、（鱗）及平行測賴。平行測試機係為藉由-轉接n同時與待 、 糾電路板之全部歧少主要翻點铜之峨機。指狀測試機 係為用以測試未設置零件或有設置零件的印刷電路板之測試機， 其使用兩個或更多個測試指依次掃描各接觸點。 _ 測試指通常連結至-滑塊上，此滑塊可沿著—橫桿移動，而 ^㈣-輸刪㈣鳩，物定位於通常 矩形戦陣财之任何賊之地點上。為了與—待測試電路 2接觸，將滑塊設計成可於橫桿上垂直移動_試探針能沿滑 •:=移動，使得測試指可以從上方與/或從下方放置於電路板 接觸點、電路板測試點上。 指狀測試機在歐洲專利案第0468 153 (A1)號中揭露，並且 使用-指狀測試機以測試電路板的方法在歐洲專利案第剛如 5 山0168 (A1)號中有揭露。 礼狀測試機之測試探針於歐洲專利案第⑽例⑻）號、 缺國專利案第6,384,614 (B1)號、世界專利案第_觸⑽ 唬及歐洲專利案第〇99〇912(A2)號中有揭露。 狀測=::Π9Γ)號揭露了_試電路板之指 -細 探針沒有獨立驅動。測試探針具有 m試針之針尖可與—電路板之測試點相接觸。測試針 要糟由至少兩組彈性彈簧保持臂固定至一基座上，並中至少一 保持臂由導紐鄕成㈣連接卿树 跨，形’使得在電路板接觸期二^ 尖之滑動。I /、4扭勁度以防止在接觸過程中探針 7專利案第03娜037(A1)號揭露了一種指狀測試機及一種 在、狀測試機支援下以測試電路板之方法，其中各 :聚焦於測断尖端處的翻機，使得照相機可胁^盘電路 點接觸之械探針尖端之任何偏離 ' 試指之位置抑適當修正。在此文件中面中測 上方垂直排列。實際上，雖然照相機沒有在_小 姻列，而是輕微偏於一側’使得探針尖端彻 ： 於與垂直方向為3G度至5G度的角度範圍内。因而昭。3 -角度觀酬試針之探攸。透過驗料，可靠地確財2 1356168 ^時接觸兩個相距很近之電路板測試點時，測試指不與照相機 :生处。此裝置及相_叫正探針尖端位置之方法實際上很 一 b方法也可胁取得枚賴針接觸尖端及制試的電路 板測試點間局部關係之標準資料。 習知之指㈣試機具有—與觸旨相分離的照相機 ，並且在 =路板峨點與顺針相接觸之實際測試過程之前，此照相機 王梢盍電路板之表面。為達此目的，照相機類似於測試指平 Z電路__。透觀_可__面的全部 衫像。由於照減之排_為了可垂直鱗電路絲面取像，較 2一角度固定於此測試指上的照相機所取得的電路板表面影像 j明顯更小的失真。與電路板表面垂直排列的視角方向是符合 而的，因為在此種方式τ ’電路板表面之影像品質較佳，並且 ^以取仔電路板之全部影像’此影像在隨後的光學分析中更容易 處理。 口此’如果用以偵測職針之探針尖端位置的助機能以相 =電路板表面1直視角方向剩的話，是具有很大優點的， ^樣指狀測試機能夠省去一用以拍攝電路板整個影像之照相 ^此附屬照相機需要-佔據指狀顯機寶貴空間之獨立驅動系 ”’。接下來f路板整個影像被-屬㈣陶旨之照域取得。 歐洲專利案第1 122546 (A2)號中之測試機為—用以測試電 板之測試機。此測試機具有一單獨的照相機，照相機透過一固 又於一角度之鏡片掃触品表面，齡m_—配設於鏡片鄰近 處之發光二極體作為光源。 【發明内容】 t依據世界專利案第__3取1)號，本發明致力於開發一種 指狀測試機’此種方式下，彼此相距很近的未設置零件的印刷電 路板之電路板職點可在沒有碰制情況下進行_。並且此指 狀測試機較之傳❹m機具有成本效益。 —此問題由申請專利範圍第！項解決，其他的優點則由其附屬 項定義。 、本發明也致力於設計一種使用此裝置進行電路板測試之方 法，此方法使用迅速且可靠。 此問題由申請專利_第u項解決’其他的優闕由其附屬 項定義。 本發明指狀測試機藉由兩個❹細陶旨私單獨接觸點提 供了連續掃描。透過f知之滑塊以_m指，此滑塊能沿一橫 糾多動。、由於各測試指具有—光_裝置，此光侧裝置可光學 ^田測试指目前所要檢查的區域，因此在光翻裝置間不存在碰 知的可紐。使驗本發明之细彳裝置具有—照減及—導光單 疋’導光單70將測試點區域向上反射之光線自垂直方向偏轉至水 平方向’並且將光料引至照相機，照相機固定於滑塊上，並且 滑塊與測試探針相分離。 1356168 本發明所揭露之光偵、測裝置以相距測試點或待測試電路板表 面不同距離之方式排歹,j，並且光偵測裝置排列於不同高度之平面 上。這裡’距離的設置要使得不同高度之平面相距足夠遠，即使 -滑塊及測試探針移動至彼此相距很近時，各導辟元均排列於另 •'一個之上’而沒有彼此碰撞的危險。 _導光單元相距測試指之接觸尖端刊高度，於電路板表 .面上垂直調料光單元之視角是可能的，而並不需要—個固定角 度的位置1種方式下所取得之影像品之於以—固定角度定 位之攝相機所取得之影像品質提高很多。 因為導光單元分別相距-測試探針尖及一測試點之不同高 度’自測試點至照相機之級運行距離之長度通常不同。由於導 光單元機助機必郷焦於測試點上，因而需要不同之接目鏡。 然而接目鏡是昂貴的，並且要以對於㈣平面中料光單元的不 齡同焦距之方式來排列接目鏡是相當費時且昂貴的。 _在本發明中，為了補償相距測試點之不同高度，改變導光單 ^長度it且為了減少導光單元在電路板上的固定高度，因而 在光線偏轉為水平方向後，改變縣單元的光線穿越距離。因此 自與電路板相距最近之絲測裝置至固定於其上方之光侧裝 =，導光單謂得雜越短。減本糾，其絲_物鏡及相 5鏡片配置可以—直使用，並且大幅減少裝置的成本。 由於導光單元可叫崎度及柯平面巾崎，在測試過程 9 丄356168 中，可以在測試探針相距报近的情況下進行測量。在此種情況下， 處於較高位置之導光單元及光侧裝置可能被—處於相應較低位 置之導光單元及一照相機遮擋。 本發明之方法，適於同時被不同測試指測試但彼此相距很近 之電路板測試點之情況，其中固定於一第一導光單元上方之一或 多個導光單元被賴，用被賴的導光單元，使驗低位置的導 光單元及較低位置的照相機之影像以光學地控制及監視此區域中 所有測試指。 本發明之裝置由於比較不需要預防碰撞的可能性，因此透過 間早的設計方式，g卩具雜佳之成本效益之優點，因此，測量的 結果更可靠也更迅速 本發明的襞置透過使用一照相機及一用以光學控制及偵測多 個測试彳胃之軸機影像’因此具有大·提高測試速度之優點。。 以上之關於本發明内容之說明及以下之實施方式之說明係用 以不範與解釋本發明之精神與原理，並且提供本發明之中請專利 範圍更進一步之解釋。 【實施方式】 以下在Λ施方式中詳細敘述本發明之詳細特徵以及優點，其 内谷足以使任何熟f糊技藝者了解本發明之技術内容並據以實 把:且根據本朗書所揭露之内容、申請專利範圖式，任何 熟I相關技*者可輕易地理解本發明相關之目 的及優點。 1356168 a本發明測越1具有—用作測試探針之測試針2，測試針2固 疋於配叹於-探針微晶片3上之控制桿4上。此探針微晶片可 刀別由歐洲專利案第1 451 594 (B1 )號及美國專利案第 〇5 〇〇1639 (A1)號中獲知。這些文獻之全部内容可用作參考。 依-人地’控制桿4固定於__致動裝置5上，致動㈣$具有一用 以固定一滑塊之固定裝置6。

匕'月塊為彳日狀測試機指之—部份’例如歐洲專利案第〇 468 53 (A1)號巾所揭露。各測試指均具有—滑塊，滑塊可沿“橫桿 移動’橫桿跨越於—較有制試電路板之職陣列上。 控制桿4係為一自備全套之控制桿4,其具有- L形支擇臂7、 一致動臂8、—概道9以及-探針微晶片基座1〇。 支擇臂7藉由其長L形腿7a固定於致動裝置5之下側，並且 自此處延伸。短L形腿7b自長L形腿％向下延伸，而一致動臂 大致化平彳了於長L频7a於絲短L獅％之方向上延伸。 致動臂8藉由__ 11連結至短L形腿7b上。致動臂8大致 為三角形，其與支撐臂7之長L形腿7a相對並且更寬且於短l形 ㈣相對處形成自由端8a。致動臂8超出致動裝置$且越過長l 腿a向外延伸。具有薄膜鉸鏈12之頂軌道$係位於短^形腿 %相對之支射7之自由端7e處1軌道9平行於長l形腿^ 及致動臂8向外延伸，並且其自由端9a超出致動臂8之自由端如 一些向外延伸。探針微晶片基錢大致為L形，藉.由—薄膜欽鍵

11 (S 丄356168 13連接長L形腿10b之自由端1〇a與頂執道長l形腿平行 於支標臂7之短L形腿7b。短L形腿1〇c平行於頂執道9向致動 臂8延伸且藉由-薄膜鉸鏈u連接至致動臂8上。支撐臂7、致 -動臂8、頂轨道9及探針微晶片基座1()形成—完備的 -(Self_C〇ntained)控制桿4。探針微晶片3係配設於探針微晶片基 座10之短L形腿l〇c之下側。 致動桿15自致練置5穿越支樓臂7之長L形腿7a延伸出， 致動桿15藉由一橫向螺栓16而附於致動臂8上。橫向螺检Μ在 致動臂8之區域内穿越致動桿15。當致動桿15向致動裝置$運動 .時致動臂8圍繞薄膜鉸鏈u作轴旋轉，使得探針微晶片基座 圍繞_韻13及14，與致動f 8旋轉方向相反而向下 得測試針2可停駐於一電路板位置上。此連接中，控制桿4或組 成此控制杯之臂及執道符合一定的設計，使得測試針2之接 _ =執行-純粹的垂直運動，而不是—水平或橫向運動。總而言之大 ^桿15被致動裝置5拉緊時，探針微晶片基座U)執行_俯 仰運動，此齡式下，測試針2之接觸尖端向下運動。 光债測裝置20固定於測試指、探針微晶片基座10及頂軌、首9 之上。 、、 光偵測裝置20具有—配設於致動裳置前側化上之保持 。自保持裝置21開始，_裝置2G分雕著 及致動臂8之方向延伸。偵測裝置㈣鄰近於保持裝置$具9 12 <：S ) 1356168 有一照相機模組22，自照相機模心開始，導光單元23沿著平 订於頂執道9之方向延伸至位於測試針2上面一位置處。 如上所述，翻裝置2〇 (如「第6圖」至「第^」所干） 具有照相機模組22及導光單元23，照相機模組22係為習知之昭 相機模組22,而導光單元23自照相機模組22之—前側面Μ斜 =伸導絲元23料—充分纽且具有—自_顺組Μ向 ^卜延伸之管體26,並且一導光單元頭27安裝於管體％之自由端。 導光單元頭27 _於—管體，其在—自由端28下方具有—孔29。 ^^29嫩峨_，暢—物2。偏轉元 、係配设於導光單元頭27中孔29之上方，偏轉元件％將穿 過孔29之光線偏轉為水平光線，並且將光線導龍一物鏡3卜物 鏡3!鄰近於管體26且固定於導光單元頭27中。自測試針2之區 域照射出之光線穿過孔29照射至偏轉树3()上，並且被 H偏轉躲平方向域料至物鏡31上，賴光線聚焦至照 目細組22之-感光層或感光面積上。照相機模組22通常包含 ，一具有光侧表面及一附屬物鏡之光學感測器（ccd元件）。測 T針尖之影像藉由物鏡31形成於光學感測器上，並且照相機模組 2之附屬物鏡應用於此處。光線之路徑分別由「第8圖」及「第 !、圖J中之箭頭32表示。由此可見，在偏轉鏡片3〇之支援下，位 ^待掃描電路板上方之照相機模組22之視野方向與電路板表面成 直角，並且與可具有一電路板之測試陣列成—直角。 13 (S) 這裡使用了兩個測試探針（如「第4圖」 置20之第一測試探針（如「 、偵測展

$ 4圖」左側所不）位於鄰近測I 針2的第-平面區域中，而第二測試探針（如「第4右^探 .^的偵測裝置20固定於—較高平面中，因而兩個_裝^ 具有足夠的分隔距離，因此彼此不會發生碰撞。 〇 因為要將自-電路板表面（圖未示）至一照相機模組 =表面(圖未示)之光線路徑保持為同樣長度，對相距心 之探針尖端距離較近之翻裝置2〇.(如「第6圖」及「第7圖 戶^ )而5 ’相距測試針2之探針尖端較大距離之偵測裝置加（如 “圖」及「第9圖」所示）設計為具有一導光單元頭^。導 早Γ27致使偏轉元件30或者光線之偏轉點更靠近於物鏡 過此種方式，對一指狀測試機之所有測試指而言，自測試 十2之尖端至光偵測表面之光線路徑保持固定。 為了補仏導光早兀頭27之變短，當然需要谓測裝置烈於測 ^ 2之方向上進—近於致動裝置5。_裝置2G及其偏轉 70 3〇與各自相關測試針2之尖端垂直排列。 麵·置2〇的優點中（如「第㈣」至「第12圖」所示）， =早疋頭27具有一平行且鄰近於孔四之加寬部份35，加寬部 口、有向下面對電路板之開口或窗口 36。腔室38固定於開 ^ π 36中或其後面。管37之兩側保持有物觀界定了孔四。 腔室38均具有發光二極體39。發光二極體39固定於例如-内 14 C 5 > 1356168 壁40上，内壁40固定於鄰近於管37之側壁上。一鏡片42固定 於腔至38之相對側内壁41上或前面，鏡片42具有粗糖或無光澤 表面。同呤，鏡片42之定位應符合發光二極體39發射之光線可 •向下導向至-電路板上之要求’因而可獲得—漫射光。自電路板 表面反射之光線穿過孔29 ’然後被偏轉元件30反射且穿過物鏡 31被導向題械额22之合騎或合適區域。這種改變是有利 的，由於光線自一鄰近於光線路徑點之處發出並漫射，使得裝置 春 評估及測試之可靠性得以大幅提高。 /上述實施例中，—鏡片用作光線的偏轉元件30。在本發明 之*圍内’亦可彻—稜鏡或―彎曲光纖束以替代鏡片來偏轉光 線0 在‘狀顧機巾’每個橫桿通常具有兩個或多侧試指（舉 例而言1參閱世界專利案第_96〇37(A1)號）。一指定測試指 ，同」k#上之鄰近戦指或與—_橫桿上之賴指發生碰撞 疋可㈣。舉例而言’假如—橫桿具有恰好兩個測試指的話，如 獨聽㈣，射—橫桿上之兩個測試指 度’而另-鄰近横桿之兩個測試指依次係為更不相同 ^裝3^_指間的碰撞可以可靠地避免。別的橫桿上 、、再-大與其餘橫桿之偵測襞置 不與鄰近橫桿上之_裝置以同一高度排列。因此二 有兩個測撕t物则的，_咖懈一側具有

15 1356168 複數個測試指，例如分佈於五_桿 就足夠了。亦即，且有雔俾μ 十個測試指，四個高度 本發明之枝;? 赌_以蚀目财夠了。 本發月之方去適用於測試針2測試一電 .彼此相鄰近測試點之情況 板（圖未不）上之 山、 菽间偵測裝置20 (如「第4 ίϋ 右侧所不）之導光單元23被較低雜置Μ ( 指 所示）之導光單元23所遮擋之情 :側 發現較低偵測裝置20之影像控制系統配置成如果 、 ㈣雜，較糾貞職置20之測試;^ 也被用以控制較高偵測裝置2〇。 曰 ”如果使用多於兩個_試探針且多於兩個_職置 f被遮糾’ ，朗财被賴_縣置在各 自控制的縣航下朗最低伽裝置之影像。 本發明指狀峨機具有能與電路域直角之則方向掃描待 測试電路板表面之優點。此特點之結果，與垂直方向成一角度的 視角方向掃描電路板相較’電路板表面之紀錄影像失真程度得以 大幅減少。這樣就簡化了紀錄影像之分析。以此種方式設計之偵 測裝置-方面允許與電路板_.__之職針位置的控制，、 另-方面可保留的整個電路板之紀錄影像，用以進—步分析，舉 例而s ’可以用以與待測試電路板電腦獅設計資料之合成影像 相比車乂。凊參閱德國專利專利案第1〇2〇〇6〇〇5 8〇〇3號。 本發明提出了世界專利專利案第〇3/〇96〇37(α1)號中之方法及 裝置之發展，此專利之全部内容可用作參考。

16 S 1356168 本發明指狀測試機可以以一種簡單且具有成本效益之方式使 用多個測試探針用以對未設置零件的印刷電路板進行測試而具 有無需改變各目鏡之焦距之優點。 本方法可以使用多個感測器及多個測試指，具有即使在遮擋 之情況下可以進行迅制試之優點，同時儘管受_擋，所有^ 試指均可使用。 雖然本發明以前述之實施例揭露如上，鮮並_以限定本 發明。在不麟本發明之精神和範_，所為之更動與潤飾，均 屬本發明之專利保護翻。關於本發明所界定之保護範圍請參考 所附之申請專利範圍。 【圖式簡單說明】 第1.圖係為用於本發明測試機之測試指之側視圖； 第2圖係為第1圖中之測試指之俯視圖； =3圖係為第1圖中之測試指之俯視透視圖，· 並且一導第1財兩個測試指之示意《，其彼此相距很近， 且導切錢於另—導光單元之上進行測試； 5圖係為第4圖中兩個測气 、 示意圖； 、八托之—進一步位於另一之上之 之示^圖係為導光單元及—照相機之局部剖視與-錢置 第7圖係為第6圖中之裝置之仰視圖；

17 1356168 第8圖係為一具有導光單元及一照相機之較高光偵測裝置之 側視圖； 第9圖係為第8圖中之裝置之仰視圖； 第10圖係為一具有導光單元及一照相機之較高光偵測裝置之 又一實施例之仰視圖，此光偵測裝置具有一附屬光單元； 第11圖係為第10 ®中之裳置之仰視圖；以及 第12圖係為第10 ®及第11圖中之裝置之橫截面圖，此橫截 面穿過位於附屬光單元區域中之導光單元。 【主要元件符號說明】 1 測試指 2 測試針 3 4 探針微晶片 控制桿 5 致動裝置 5a 致動裝置前側 6 固定裝置 7 支撐臂 7a 長L形腿- 7b 短L形腿 7c 自由端 8 致動臂 1356168

8a 9 9a 10 10a 10b 10c 11 ' 12 > 13 ' 14 15 16 20 21 22 23 25 26 27 28 29 30 31 自由端 頂軌道 自由端 探針微晶片基座 自由端 長L形腿 短L形腿 薄膜鉸鏈 致動桿 橫向螺栓 偵測裝置 保持裝置 照相機模組 導光單元 前側面 管體 導光單元頭 自由端 孔 偏轉元件/鏡片 物鏡 19 1356168

32 箭頭 35 加寬部份 36 開口/窗口 37 管 38 腔室 39 發光二極體 40 内壁 41 側内壁 42 鏡片

(S ) 20

Claims (1)

1. 、申請專利範圍： _ ::測試機，用以測試未設置零件的印刷電路板，該指狀 機使用至少兩個職指，各測試指具有-測試探針，㈠ 細試探狀上係配設有__裝置，㈣光學軸測該至少 針之接觸尖端之位置，其中具有該等測試指之該偵测 裝置排列_直間隔之不同平面巾，俾餘於制試探針上之 該偵測裝置之至少—些區域位於其他區域之上，取垂直排列但 並不發生接觸。 2.如申請專纖圍第1項所述之指狀峨機，其中各該偵測裝置 具有-導光單元，該導光單元具有一偏轉元件，其用以將自待 職電路板表面之光線偏轉至—_表面，對該侧裝置而 呂’其中該制試電路板表面至各軸測表面之距離是固定 的。 3·如申請專利顧第2項所述之指狀測試機，其中該各偵測裝置 具有-照相機模組，該照相機模組具有一偵測表面各該導光 單元具有-孔’用作測試探針區域中該電路板表面之反射光線 之入口’在軸轉元件偏_親雜上配設有—物鏡，用以 將光線聚焦於-照相機之一光偵測表面上，其中，與該電路板 之導光單元之w度無關，自該電路板至該偏轉元件及自該偏 轉元件至該侧表面之光線路徑保持為固定，並且相應於一較 南南度，為了補償該較高高度，該導光單元與/或自該偏轉元 件至該偵測表面之距離變得較短。 21 1356168 4. 5. 6· 7. 8· 9. I 1〇0年8月12日替換頁- 如申請專纖圍第2樹述之指㈣機機，丄中該： 為一鏡片、棱鏡或導光塊。 如申請專利範圍第3項所述之指狀測試機，其中該偏轉元件係— 為為一鏡片、棱鏡或導光塊。 如申請專概圍第丨項所述之指狀測試機，其中於該_裝置 上配設有至少-發光裝置，該發光裝置向該待測試電路板發射 一漫射光線，並且照亮該待測試電路板上與該測試探針相接觸 之區域。 f 如申請專利範圍第5項所述之指狀測試機，其中於該偵測裝置 上配設有至少一發光裝置，該發光裝置向該待測試電路板發射 一、/艾射光線，並且照亮該待測試電路板上與該測試探針相接觸 之區域。 如申請專利範圍第6項所述之指狀測試機，其中該偵測裝置具 有一帶有孔之外殼，該孔用作自該待測試電路板表面發射之光 線之入口，並且該發光裝置配置於鄰近該孔處。 G 如申請專利範圍第7項所述之指狀測試機，其中該偵測裝置具 有一帶有孔之外殼，該孔用作自該待測試電路板表面發射之光 線之入口’並且該發光裝置配置於鄰近該孔處。 如申请專利範圍第6項所述之指狀測試機，其中該發光裝置具 有一於側面發射光線之光源及一鏡片，該鏡片用以向該待測試 电路板表面偏轉光線，該鏡片具有一無光澤或粗鏠表面。 22 S 10. • u ^ 100年8月12曰替換頁 1 · I請專利範圍第9項所述之指狀測試機，^發光裝置具— ^一於側面發射光線之光源及-鏡片，該鏡片用以向該制試 12 ^路t表面偏轉光線’該鏡片具有—無光澤或粗齡面。 如申5月專利範圍第6項所述之指狀測試機，其中該發光裝置具 有—❹個發光二極體作為光源。 3‘如申請專利範圍第u項所述之指狀測試機，其中該發光裝置 % 具有一或多個發光二極體作為光源。 H如中請專利範圍第2項所述之指狀測試機，其中該導光單元自 雜相機模組之前觸向外延伸，該導林元為—管狀且具有 :自該照相機模組向外延伸之一管體，一導光單元頭配設於該 赠之自_，該導解元頭係為—管體，並且其㈣定有一 偏轉元件及一物鏡。 以如申請專利翻第13項所述之指狀測試機，其中該導光單元 • 自該照相機模組之前側面向外延伸，該導光單元為-管狀且具 有-自該照減模組向外延伸之_管體，—導光單元頭配設於 該管體之自由端’該導光單元頭係為一管體，並且其中固定有 偏轉元件及一物鏡。 16t申請專利細第1項所述之指狀測賴，其中該測試探針固 疋於-控制桿上，其中該控制桿藉由一探針微晶片固定至一致 動裝置上。 17'如申請專利範圍第15項所述之指狀測試機，其中該測試探針 23 1356168 100年8月12曰替換頁. 固定於-控制桿上，其㈣控制桿藉由—探^_J 致動裝置上。 18·如申請專利範圍第16項所述之指狀測試機，其中該控制桿係: 為-完備之控轉’其具有-L形切臂、—致射、一頂軌 道及-探針微晶絲座，以形成—大致上為矩形之控制桿該 支樓臂及該致動臂間、該支樓臂及該頂執道間、該致動臂及該 探針微晶片基座間、或該頂軌道及該探針微晶片基座間用一敍 鏈連結。 f. 19. 如申請專利範圍第17項所述之指狀測試機，其中該控制桿係 為-完備之控懈，其具有—L敎撐臂、—致動臂、—馳 道及-探針微晶片基座，以形成-大致上為矩形之控制桿，該 支擇臂及該致動臂間、該支撑臂及該頂轨道間、該致動臂及該 探針微晶片基座間、或該頂軌道及該探針微晶片_間用 鏈連結。 20. 如申請專利範圍第18項所述之指狀測試機，其中該控制桿大〇 致為伸長形狀且為矩形，其中一致動桿穿過該支撐臂之一長L 形腿連結至一致動臂上，該致動臂係配設於該支撐臂之該長L 形腿之下侧，錄方式下，當紐動桿及紐動壯狀時， 該致動臂圍繞該薄膜鉸鏈旋轉，使得該探針微晶片基座可在相 反方向上圍繞該薄膜鼓鏈向下旋轉，俾使該測試探針可駐留於 一電路板上。 24 ^^0168 21·如申請專利範圍第19項所述之指狀測試機，其中該控制桿大 致為伸長形狀且為矩形，其中一致動桿穿過該支樓臂之一長乙 形腿連結至一致動臂上，該致動臂係配設於該支樓臂之該長L 形腿之下侧’此種方式下，當該致動桿及該致動臂上升之時， 該致動臂圍繞該薄膜錢鏈旋轉，使得該探針微晶片基座可在相 反方向上圍繞該薄膜鉸鏈向下旋轉，俾使該測試探針可駐留於 —電路板上。

   22. 如申凊專利範圍第i項所述之指狀測試機，其中該光偵測裝置 於一與測試_成直角之制方向上制，以偵寺奴 未設置零件的印刷電路板。 m之 23. =請專利範圍第2!項所述之指狀測試機，其中該先偵測裝 測試陣列成直角之視角方向上排列，以偏測—待測試 之未《又置零件的印刷電路板。

   Μ 1娜術频，射軸狀測試機 該橫桿上固定有可運動之測試指，其中該測 越之刻·置侧於垂直分_不料 於各橫桿測試指之數目。 〃數目雙倍 25.如申請專利範圍第23項所述之指狀測試機， 機具有複數個橫桿，該橫桿上固定右H、中私狀測試 ^心之該偵測裝置排列於垂直分隔的不同平面中，雔 倍於各橫桿測試指之數目。 /、 又 (S ) 25 ⑺¢)168 6.種使用H職_試電路极之方法其具 兩個或多個挪試指，各該測 點連續接觸之測試探針，其㈣與電路板測試 1繼4 針可#由—運動裝置沿 ^ 之表面運動，其中一光偵測裝置用以光偵測 別私之該測試探針之接觸尖端之位置， 光須 測裝置排列於相距該電路板表面不同平面或不同曰之該债 如果該測試探針在該偵測裝置垂直覆蓋範:二處，並^ 中’至少一距離該待測試電路板較遠之一: =較近之一第二―，然後使 第仙咖⑽物擔赠針及該 弟一偵測裝置。 21 =請專利範圍第26項所述之方法，其中自一電路板表面至 各偵測裝置偵測表面之光線路徑保持於同樣長度，而盘該偵則 裝置相距魏路板上之高度㈣，由於—源自於電路板之光線 被一鏡片偏轉且導引至-物鏡上，為了補償相距該電路板較高 之一债測表面之高度，透過減少該鏡片及該物鏡間之距離，距 離改變量與透過該電路板至該鏡片增加之距離而導致 路徑改變量相當。 '' 28.如申請專利範圍第％項或第η項所述之方法，其中使用之 狀測試機具有： 曰 至少兩個測試指’各測試指具有一測試探針，其中各該測 S 26 試探針之上係配設有-制裝置，用以光學地偵測該至少—測 試探針之侧尖端之位置，其巾具有兩個❹讎測試指之該 债測裝置制㈣直_之不同平㈣，俾使條制試探針 上之該偵職置之至少-些_位於其他區域之上，取垂直排 列但並不發生接觸。 27 (S )