TWI530700B - 測試機台及其操作方法 - Google Patents

Description

測試機台及其操作方法

本發明是關於一種測試機台，且特別是有關於一種可以使得探針緩慢接觸待測物的測試機台。

在實驗或研發中，用以量測電子元件的量測機台，不論是全自動式、半自動式或者是手動式，均可配置有手動操作的測試機台，藉此讓量測機台的操作更彈性化。

傳統上，測試者藉由操作把手，以把設有探針的升降台上下移動，以使探針接觸或遠離待測物。若測試者在操作把手時使用的速度不穩定，則升降台上下移動也隨之不穩定；或者是，當升降台移動的速度過快，亦會導致探針在接觸待測物時會產生較大的撞擊力，在在皆容易對探針或待測物造成損壞。

因此，如何能使探針能夠精準地接觸待測物、且亦不容易損壞探針或待測物，是業界一個重要的課題。

本發明之一技術態樣在於提供一種測試機台，其中 探針接觸待測物的速度受到阻尼器的限制，使得探針能夠緩慢且精準地接觸待測物，而探針與待測物均不容易在相互接觸時因撞擊力過大而受到損壞。

根據本發明的一實施方式，一種測試機台包含機座、測試平台、探針平台、控制桿、暫時定位機構與阻尼器。測試平台連接機座，並用以承載待測物。探針平台連接機座，並能夠相對測試平台沿縱向方向移動，且探針平台用以連接至少一探針，探針對應待測物。控制桿連接機座與探針平台，藉由操作控制桿，探針平台受到控制桿帶動而相對測試平台沿縱向方向移動。暫時定位機構連接控制桿，且用以暫時固定探針平台與控制桿於特定位置。阻尼器連接機座，當探針與待測物沿縱向方向之距離小於緩衝距離時，阻尼器至少部分抵接控制桿，以降低探針接近待測物的速度。

根據本發明的一實施方式，一種測試機台的操作方法包含下列步驟(應了解到，在本實施方式中所提及的步驟，除特別敘明其順序者外，均可依實際需要調整其前後順序，甚至可同時或部分同時執行)：以暫時定位機構固定探針平台與控制桿於特定位置；操作控制桿以將探針平台沿縱向方向朝測試平台移動；在探針平台與控制桿離開特定位置時，停止施力操作控制桿，使得探針平台因探針平台的自重與控制桿的自重而朝測試平台移動；以及 在探針平台與控制桿離開特定位置後，且當探針平台上之探針與待測物沿縱向方向之距離小於緩衝距離時，以阻尼器抵接控制桿，使得探針平台與控制桿壓縮阻尼器，直至探針接觸待測物。

本發明上述實施方式與已知先前技術相較，至少具有以下優點：

(1)由於當探針與待測物沿縱向方向之距離小於緩衝距離時，阻尼器至少部分抵接控制桿，以降低探針接近待測物的速度，因此，探針能夠緩慢且精準地接觸待測物，且探針與待測物不容易向彼此產生過大的撞擊，而探針或待測物也不容易在相互接觸時受到損壞。

(2)本發明上述實施方式係以彈性元件連接阻尼器的固定件與活動件，因此，當活動件抵接控制桿時，彈性元件受壓而縮短，並儲存一彈性位能，而當控制桿離開阻尼器時，彈性元件將釋放復位的力量，使阻尼器復位。

100‧‧‧測試機台

110‧‧‧機座

120‧‧‧測試平台

130‧‧‧探針平台

140‧‧‧調節器

150‧‧‧控制桿

160‧‧‧阻尼器

161‧‧‧固定件

162‧‧‧活動件

162a‧‧‧通孔

163‧‧‧彈性元件

170‧‧‧線性移動機構

190‧‧‧暫時定位機構

191‧‧‧轉軸

192‧‧‧轉盤

192a‧‧‧凹陷部

193‧‧‧彈珠結構

193a‧‧‧彈珠

193b‧‧‧殼體

193c‧‧‧彈性元件

200‧‧‧待測物

201‧‧‧第一子待測物

202‧‧‧第二子待測物

300‧‧‧探針

400‧‧‧顯微鏡

a‧‧‧力臂

D1‧‧‧縱向方向

D2‧‧‧第一方向

D3‧‧‧第二方向

F‧‧‧反作用力

H‧‧‧液壓油

M1‧‧‧第一彎矩

M2‧‧‧第二彎矩

M3‧‧‧第三彎矩

P‧‧‧特定位置

X‧‧‧距離

第1圖繪示依照本發明一實施方式之測試機台的正視圖。

第2圖繪示第1圖之測試機台的控制桿及阻尼器的側視圖。

第3圖繪示阻尼器至少部分抵接控制桿的局部剖面圖。

第4圖繪示第1圖之探針平台的移動速度對比探針與待測物的距離的關係圖。

第5圖繪示第1圖之測試機台的正視圖，其中探針接觸第一子待測物。

第6圖繪示第1圖之測試機台的正視圖，其中探針平台回到特定位置。

第7圖繪示第1圖之測試機台的正視圖，其中探針接觸第二子待測物。

以下將以圖式揭露本發明之複數個實施方式，為明確說明起見，許多實務上的細節將在以下敘述中一併說明。然而，應瞭解到，這些實務上的細節不應用以限制本發明。也就是說，在本發明部分實施方式中，這些實務上的細節是非必要的。此外，為簡化圖式起見，一些習知慣用的結構與元件在圖式中將以簡單示意的方式繪示之。

除非另有定義，本文所使用的所有詞彙(包括技術和科學術語)具有其通常的意涵，其意涵係能夠被熟悉此領域者所理解。更進一步的說，上述之詞彙在普遍常用之字典中之定義，在本說明書的內容中應被解讀為與本發明相關領域一致的意涵。除非有特別明確定義，這些詞彙將不被解釋為理想化的或過於正式的意涵。

請參照第1~2圖。第1圖繪示依照本發明一實施方式之測試機台100的正視圖。第2圖繪示第1圖之測試 機台100的控制桿150及阻尼器160的側視圖。如第1~2圖所示，一種測試機台100包含機座110、測試平台120、探針平台130、控制桿150、暫時定位機構190與阻尼器160。測試平台120連接機座110，並用以承載待測物200。探針平台130連接機座110，並能夠相對測試平台120沿縱向方向D1移動，且探針平台130用以連接至少一探針300，探針300對應待測物200。控制桿150連接機座110與探針平台130，藉由操作控制桿150，探針平台130受到控制桿150帶動而相對測試平台120沿縱向方向D1移動。暫時定位機構190連接控制桿150，且用以暫時固定探針平台130與控制桿150於特定位置P。阻尼器160連接機座110，當探針300與待測物200沿縱向方向D1之距離X小於緩衝距離時，阻尼器160至少部分抵接控制桿150，以降低探針300接近待測物200的速度。在本實施方式中，測試平台120可為真空吸盤，而待測物200可為半導體晶圓或是LED晶圓等，但本發明並不以此為限。此外，需說明的是，為了方便說明，本實施方式之圖式非以實際比例繪製，而實際上以正視方向觀看時，暫時定位機構190並非明顯，特此說明，不應用以限制本發明。

更具體地說，上述的「特定位置P」，是指探針平台130與控制桿150暫時所位於的一個位置，於這個特定位置P時，探針300不會碰到待測物200，而隨後當探針300朝待測物200接近時，探針300與待測物200之間之距離X會縮減至一個緩衝距離。上述的「距離X」，是指探針 300朝向待測物200之針尖，與待測物200沿縱向方向D1之距離。上述的「緩衝距離」，是指探針300因阻尼器160至少部分抵接控制桿150而開始減速，直至探針300緩慢且精準地接觸待測物200的距離。要特別說明的是，距離X是會隨著探針300朝向待測物200而有所變動，也就是說，例如距離X是有可能會大於或小於緩衝距離。詳細說明如下所述。

在暫時定位機構190暫時固定探針平台130與控制桿150於特定位置P時，若使用者向控制桿150施力，探針平台130將沿縱向方向D1朝測試平台120移動而離開特定位置P，亦使得暫時定位機構190不再固定探針平台130與控制桿150於特定位置P。在探針平台130與控制桿150離開特定位置P後，使用者可於此時放手控制桿150，由於探針平台130自重及控制桿150自重的帶動，探針平台130將繼續沿縱向方向D1朝測試平台120移動，直至探針300與待測物200沿縱向方向D1之距離X小於緩衝距離時，阻尼器160至少部分抵接控制桿150。

更具體地說，上述的緩衝距離為一個預設值，而預設值的設定，是基於以足夠的距離X讓探針300沿縱向方向D1朝待測物200的移動減速，較佳的緩衝距離設定值為當探針300與待測物200接觸的瞬間，探針300與待測物200之間的相對速度減至零或接近零，因而探針300能夠緩慢且精準地接觸待測物200，且探針300與待測物200不容易向彼此產生過大的撞擊，而探針300或待測物200也不 容易在相互接觸時受到損壞。

如第2圖所示，暫時定位機構190包含轉軸191、轉盤192與彈珠結構193。轉軸191連接控制桿150。轉盤192連接轉軸191，且具有至少一凹陷部192a。彈珠結構193連接機座110，且位置對應凹陷部192a，凹陷部192a以暫時固定轉盤192與彈珠結構193的相對位置。當轉盤192與彈珠結構193的相對位置固定時，探針平台130與控制桿150固定於特定位置P，而控制桿150不會碰觸到阻尼器160，但不應用以限制本發明。

再者，彈珠結構193更包含彈珠193a、殼體193b與彈性元件193c。殼體193b連接機座110。彈性元件193c連接彈珠193a與殼體193b，彈珠193a至少部分凸出於殼體193b，且彈珠193a位置對應凹陷部192a，以暫時固定轉盤192的位置，亦使得探針平台130與控制桿150固定於特定位置P。當使用者向控制桿150施力而使探針平台130沿縱向方向D1朝測試平台120移動而離開特定位置P時，也就是說，彈珠193a將被轉盤192擠壓以朝殼體193b移動，由於彈珠193a同時遠離凹陷部192a，使用者此時可以把手放開控制桿150，而轉盤192連同控制桿150在探針平台130自重及控制桿150自重的帶動下能夠相對彈珠結構193轉動，並且，當凹陷部192a隨轉盤192轉動而離開彈珠193a一段距離後(如第3圖所示)，且探針300與待測物200沿縱向方向D1之距離X小於緩衝距離時，如上所述，阻尼器160至少部分抵接控制桿150，使得探針300 接近待測物200的速度也因而降低，進而令探針300能夠緩慢且精準地接觸待測物200。

另外，如第1~3圖所示，阻尼器160包含固定件161與活動件162。固定件161連接機座110。活動件162可滑動地連接固定件161，活動件162於探針平台130與控制桿150離開特定位置P，且探針300與待測物200沿縱向方向D1之距離X小於緩衝距離時，至少部分抵接控制桿150。

請參照第3圖，其繪示阻尼器160至少部分抵接控制桿150的局部剖面圖。從結構上來說，如第3圖所示，阻尼器160的活動件162位於固定件161中之一端呈活塞狀，且呈活塞狀的部分具有複數個通孔162a，而固定件161中充滿液壓油H，液壓油H可通過通孔162a而流動於呈活塞狀的部分之相對兩側。當活動件162抵接控制桿150時，活動件162被抵壓而使呈活塞狀的部分傾向於固定件161中滑動，但液壓油H卻於瞬間形成一股阻力以阻止呈活塞狀的部分即活動件162相對固定件161滑動，然而，藉由液壓油H逐漸通過通孔162a而流動至活塞之另一側，呈活塞狀的部分得以在固定件161中滑動，亦即活動件162可相對固定件161滑動，並且其滑動的速度受到液壓油H的限制。

請繼續參照第3圖，更具體地說，阻尼器160更包含彈性元件163。彈性元件163連接固定件161與活動件162，當活動件162抵接控制桿150時，彈性元件163受壓 而縮短，並儲存一彈性位能，而當使用者操作控制桿150以將控制桿150離開阻尼器160時，彈性元件163將釋放復位的力量，有助復位受壓縮的阻尼器160，因此有助使用者把控制桿150抬起。為有效達到復位的效果，彈性元件163的彈力大於液壓油H所能產生的阻力。

要特別說明的是，如第3圖所示，當彈性元件163受壓時，彈性元件163會驅使活動件162向控制桿150施加反作用力F，而反作用力F與其相對控制桿150的力臂a將對控制桿150產生第三彎矩M3。為了讓探針平台130在使用者停止施力操作控制桿150時能夠繼續沿縱向方向D1朝測試平台120移動，探針平台130的自重施加於控制桿150之第一彎矩M1與控制桿150的自重所產生的第二彎矩M2的總和會大於彈性元件163受壓時施加於控制桿150之第三彎矩M3。依照第一彎矩M1與第二彎矩M2總和大於第三彎矩M3的原則，阻尼器160之活動件162的滑動方向亦可依縱向方向D1設置，但本發明並不以此為限。此外，本發明選擇使用的阻尼器160需留意上述說明的阻尼器160與控制桿150二者之間的匹配原則。

請參照第4圖，其繪示第1圖之探針平台130的移動速度對比探針300與待測物200的距離的關係圖。當探針平台130與控制桿150離開特定位置P後，在探針平台130自重及控制桿150自重的帶動下，探針300與待測物200的距離X將逐漸減少，直至距離X小於緩衝距離時，阻尼器160至少部分抵接控制桿150，而藉由以上阻尼器 160的緩衝機制，活動件162被抵壓的力量與阻尼器160受壓縮短的速度構成一曲線的關係。因此，如第4圖所示，隨著探針300越接近待測物200，探針平台130的移動速度則越低，甚至接近零或等於零。值得注意的是，探針300與待測物200的距離X在探針平台130與控制桿150固定於特定位置P時，可比緩衝距離更小，也就是說，也可以是當在探針平台130與控制桿150固定於特定位置P時，阻尼器160已至少部分抵接控制桿150，但本發明並不以此為限。

相較於以摩擦力減速的機制，亦即以摩擦力施加於探針平台130及/或控制桿150，以抵消探針平台130及控制桿150受探針平台130自重及控制桿150自重所帶動的力量。由於摩擦力的大小是與摩擦面抵壓探針平台130及/或控制桿150的正向力成正比，而卻與探針平台130及/或控制桿150相對摩擦面移動的速度無關。因此，例如當探針平台130及控制桿150受探針平台130的自重及控制桿150的自重帶動而移動，並且探針平台130及控制桿150移動的力量足以克服摩擦力時，探針平台130及控制桿150會以移動力量大於摩擦力的力量差加速，因此無法讓探針平台130及控制桿150移動的速度降低，亦即難以讓探針300緩慢且精準地接觸待測物200。即使控制桿150移動力量剛好克服摩擦力，探針平台130及控制桿150還是會以固定的速度移動，在這情況下亦難以讓探針300緩慢且精準地接觸待測物200。相對地，由於本發明使用的阻尼器 160所發揮的緩衝效果是與控制桿150及探針平台130移動的速度有關，因此，阻尼器160能夠有效讓控制桿150及探針平台130減速，使得探針300接近待測物200的速度也因而降低，進而令探針300能夠緩慢且精準地接觸待測物200。

在本實施方式中，阻尼器160以使用單向阻尼器為較佳，但不應用以限制本發明。使用單向阻尼器較佳的原因是在於，當待測物200的量測結束後，由於量測時間是由使用者決定的，因此，使用者需要以手動操作把控制桿150往上抬起(以本實施方式為例，不應用以限制本發明)，直至暫時定位機構190再次暫時固定探針平台130與控制桿150於特定位置P。由於使用的阻尼器160為單向阻尼器，因此，把控制桿150往上抬起所需的力量將不會受到阻尼器160的阻力影響，使得使用者把控制桿150往上抬起變得輕鬆容易。相較於以摩擦力減速的機制，特別是使用摩擦力較大的控制桿時，除了在克服摩擦力後仍難以讓探針300緩慢且精準地接觸待測物200外，在量測過程結束後，使用者把控制桿往上抬起時摩擦力反而成為一股阻力，使得控制桿復位並不輕鬆容易。

請回到第1圖。當探針平台130位於特定位置P時，暫時定位機構190使探針平台130與控制桿150暫時固定於特定位置P。在實務的應用中，待測物200更可包含多個子待測物，在本實施方式中以第一子待測物201及第二子待測物202為例，進行說明。然而，由於第一子待測 物201及第二子待測物202的體積通常較為細小，使用者可在操作控制桿150前，可先利用顯微鏡400確認第一子待測物201的位置，但本發明並不以此為限。

一般而言，初次量測一晶圓時，會使用調節器140使探針300接觸晶圓上的待測物200，藉此確認探針300與待測物200之間的距離；而在其後的量測中，只要待測物200的表面平整或無其他問題產生的話，使用者便不需要再次調整調節器140，詳如下述。要特別說明的是，以下說明的量測方式，是以初次使用調節器140後，便不需要再次使用為主，但不應用以限制本發明。

請繼續參照第1圖與第5圖。第5圖繪示第1圖之測試機台100的正視圖，其中探針300接觸第一子待測物201。當欲進行初次量測一晶圓，當探針平台130位於特定位置P時，使用者向控制桿150施力而使探針平台130沿縱向方向D1朝測試平台120移動而離開特定位置P，此時，探針平台130會因探針平台130自重及控制桿150自重的帶動下而繼續沿縱向方向D1朝測試平台120移動，當探針300與待測物200沿縱向方向D1之距離X小於緩衝距離時，此時阻尼器160將抵接控制桿150，使得探針300朝第一子待測物201移動的速度將會降低，此時，探針300還未與第一子待測物201接觸。接著，如第1圖與第5圖所示，探針平台130更包含調節器140，調節器140連接探針300，並用以調節與知曉探針300與待測物200接觸的距離。也就是說，初次量測一晶圓時，當阻尼器160縮短到 最短的行程且探針300還未與第一子待測物201接觸時，如第5圖所示，使用者可藉由調整調節器140以將探針300接觸第一子待測物201，亦即探針300與第一子待測物201之間的距離X等於零(第5圖未示距離X)。此時，使用者已可以知曉探針300與之後其餘子待測物之間的距離，且此時可以以探針300對第一子待測物201進行量測。

請參照第6圖，其繪示第1圖之測試機台100的正視圖，其中探針平台130回到特定位置P。如第6圖所示，當探針300對第一子待測物201的量測結束後，使用者可藉由操作控制桿150，以使探針平台130沿縱向方向D1移動回到特定位置P，使得探針300沿縱向方向D1離開第一子待測物201，並且探針300與第一子待測物201之間再次具有距離X。由於調節器140已將探針300欲接觸待測物200的距離已調整過，此時的距離X應將較原來的距離X小，也就是說即是較第1圖的距離X小。

繼而，使用者調整測試平台120以將第二子待測物202對準探針300。如第6圖所示，測試機台100更包含平面移動機構170。平面移動機構170用以驅動測試平台120相對機座110沿平面移動，亦即沿第6圖所示的第一方向D2及第二方向D3(第二方向D3即進入第6圖或從第6圖射出之方向)移動，平面(即第一方向D2及第二方向D3)與縱向方向D1實質正交，且實質上平行於測試平台120。在本實施方式中，第一方向D2及第二方向D3與縱向方向D1相互垂直，但本發明並不以此為限。當針對第一子待測 物201的量測結束後，並且探針300與待測物200之間再次具有距離X時，使用者可調整測試平台120以將第二子待測物202對準探針300，亦即使探針300對準第二子待測物202，但不應用以限制本發明。

請參照第7圖，其繪示第1圖之測試機台100的正視圖，其中探針300接觸第二子待測物202。當探針300對準第二子待測物202後，使用者可操作控制桿150以使探針平台130再次沿縱向方向D1朝測試平台120移動而離開特定位置P，此時，彈珠結構193(請參照第3圖)的彈珠193a將被轉盤192擠壓以朝殼體193b移動。也由於彈珠193a遠離凹陷部192a，使用者此時可以把手放開控制桿150，而轉盤192連同控制桿150能夠因探針平台130自重及控制桿150自重的帶動而相對彈珠結構193轉動，並且，當探針300與待測物200沿縱向方向D1之距離X小於緩衝距離時，阻尼器160至少部分抵接控制桿150。由於阻尼器160的活動件162相對固定件161滑動的速度受到液壓油H的限制，因此探針平台130沿縱向方向D1朝測試平台120移動的速度也因而受到限制而降低，使得探針300接近第二子待測物202的速度因而降低，因此，探針300能夠緩慢且精準地接觸第二子待測物202，且探針300與第二子待測物202不容易向彼此產生過大的撞擊，而探針300或第二子待測物202也不容易在相互接觸時受到損壞。如第7圖所示，探針300與第二子待測物202相互接觸，亦即使探針300與第二子待測物202之間的距離X等於零(第 7圖未示距離X)。

應了解到，在上述實施方式中所提及的步驟，除特別敘明其順序者外，均可依實際需要調整其前後順序，甚至可同時或部分同時執行。

綜上所述，本發明的技術方案與現有技術相比具有明顯的優點和有益效果。通過上述技術方案，可達到相當的技術進步，並具有產業上的廣泛利用價值，其至少具有以下優點：

(1)由於當探針與待測物沿縱向方向之距離小於緩衝距離時，阻尼器至少部分抵接控制桿，以降低探針接近待測物的速度，因此，探針能夠緩慢且精準地接觸待測物，且探針與待測物不容易向彼此產生過大的撞擊，而探針或待測物也不容易在相互接觸時受到損壞。

(2)本發明上述實施方式係以彈性元件連接阻尼器的固定件與活動件，因此，當活動件抵接控制桿時，彈性元件受壓而縮短，並儲存一彈性位能，而當控制桿離開阻尼器時，彈性元件將釋放復位的力量，使阻尼器復位。

雖然本發明已以實施方式揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

100‧‧‧測試機台

110‧‧‧機座

120‧‧‧測試平台

130‧‧‧探針平台

140‧‧‧調節器

150‧‧‧控制桿

170‧‧‧平面移動機構

190‧‧‧暫時定位機構

200‧‧‧待測物

201‧‧‧第一子待測物

202‧‧‧第二子待測物

300‧‧‧探針

400‧‧‧顯微鏡

D1‧‧‧縱向方向

Claims (10)

1. 一種測試機台，包含：一機座；一測試平台，連接該機座，該測試平台用以承載一待測物；一探針平台，連接該機座，該探針平台能夠相對該測試平台沿一縱向方向移動，且該探針平台用以連接至少一探針，該探針對應該待測物；一控制桿，連接該機座以及該探針平台，藉由操作該控制桿，該探針平台受到該控制桿帶動而相對該測試平台沿該縱向方向移動；一暫時定位機構，連接該控制桿，該暫時定位機構用以暫時固定該探針平台與該控制桿於一特定位置；以及一阻尼器，連接該機座，當該探針與該待測物沿該縱向方向之一距離小於一緩衝距離時，該阻尼器至少部分抵接該控制桿，以降低該探針接近該待測物的速度。
2. 如請求項1所述之測試機台，其中該阻尼器包含：一固定件，連接該機座；以及一活動件，可滑動地連接該固定件，該活動件於該探針平台與該控制桿離開該特定位置，且該探針與該待測物沿該縱向方向之該距離小於該緩衝距離時，至少部分抵接該控制桿。
3. 如請求項2所述之測試機台，其中該阻尼器更包含一彈性元件，連接該固定件與該活動件，當該活動件抵接 該控制桿時，該彈性元件受壓而縮短。
4. 如請求項3所述之測試機台，其中該探針平台的自重施加於該控制桿的一第一彎矩與該控制桿的自重所產生的一第二彎矩的總和，大於該彈性元件受壓時施加於該控制桿之一第三彎矩。
5. 如請求項1所述之測試機台，其中該阻尼器為單向阻尼器。
6. 如請求項1所述之測試機台，更包含：一平面移動機構，用以驅動該測試平台相對該機座沿一平面移動，該平面與該縱向方向實質正交。
7. 如請求項1所述之測試機台，其中該暫時定位機構包含：一轉軸，連接該控制桿；一轉盤，連接該轉軸，該轉盤具有至少一凹陷部；以及一彈珠結構，連接該機座，且位置對應該凹陷部，以暫時固定該轉盤與該彈珠結構的相對位置。
8. 如請求項7所述之測試機台，其中該彈珠結構更包含：一彈珠；一殼體，連接該機座；以及一彈性元件，連接該彈珠與該殼體，該彈珠至少部分凸出於該殼體，且該彈珠位置對應該凹陷部。
9. 一種測試機台的操作方法，包含： 以一暫時定位機構固定一探針平台與一控制桿於一特定位置；操作該控制桿以將該探針平台沿一縱向方向朝一測試平台移動；在該探針平台與該控制桿離開該特定位置時，停止施力操作該控制桿，使得該探針平台因探針平台的自重與控制桿的自重而朝該測試平台移動；以及在該探針平台與該控制桿離開該特定位置後，且當該探針平台上之一探針與一待測物沿該縱向方向之一距離小於一緩衝距離時，以一阻尼器抵接該控制桿，使得該探針平台與該控制桿壓縮該阻尼器，直至該探針接觸該待測物。
10. 如請求項9所述之測試機台的操作方法，更包含：操作該控制桿以將該控制桿離開該阻尼器；以及復位受壓縮的該阻尼器。