JP6614648B2 - リニアゲージ - Google Patents
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Description
量を調節することによりケース内の圧力を調節してシャフトを突き出す方向に移動させる第2の力と、の力の差が、被測定物に対する上記測定子の押付け力を調節する調節機能を有するため、被測定物の表面形状や材質に応じて、測定子の押付け力を調節して被測定物に押付けることができ、被測定物の厚みを正確に測定することができる。
20には、図2に示すように、シャフト11の側面110から均等な間隔を設けて側面110に対面させる内側の支持面121と、支持面121からシャフト11の側面110に向けてエアを吹き付ける複数の噴出口122と、図示しないエア供給源に接続された流入口123と、流入口123と各噴出口122とを連通させる流路124とを備える。支持面121は、シャフト11の形状に対応して4つの平面状の面から構成されている。
す装置に搭載されて使用される。
付け力を調節しつつ、測定子10の先端部10aで被測定物6に押付けたら、このときのスケール14の目盛り140を検知部151が読み取り、その読み取った位置に基づいて、被測定物6の厚みを検出する。
4:載置台 5:保持テーブル 6:被測定物 7:内部空間
10:測定子 10a:先端部 11:シャフト 110:側面
12:エアスライダ 120:筒 121:支持面 122:噴出口
123:流入口 124:流路 125:上側排気口 126:下側排気口
13 移動手段 130:シリンダ 131:ピストン 132,133:流入口
14:スケール 140:目盛り 15:検知手段 150:支持板 151:検知部
16:排気口 17:絞り弁 18:レギュレータ
19:移動手段 190:圧縮スプリング 191:ピストン
20:移動手段 200:引張スプリング
Claims (1)
- 被測定物の表面の変位を測定するリニアゲージであって、
先端を被測定物の表面に接触させる測定子と、
該測定子に連結されるシャフトと、
該シャフトを収容する筒の内側の支持面を該シャフトの側面に対面させ該支持面から該シャフトの側面に向けてエアを吹き付け該シャフトの側面と該支持面との間にエアを介在させ該シャフトを支持し該筒の上方と下方とからエアを排出させ該シャフトの軸方向の移動を可能にするエアスライダと、
該シャフトに連結され該シャフトの軸方向の位置を検出するためのスケールと、
該シャフトを軸方向に移動させる移動手段と、
該シャフトと該エアスライダと該スケールと該移動手段とを収容するケースと、
該エアスライダから該ケース内に排気されるエアを該ケース外へ排気させる排気口と、
該排気口から排気される排気量を調節するバルブと、を備え、
該移動手段は、シリンダとピストンとにより構成され、
該ピストンを該シリンダから突き出す方向に移動させ該シャフトを被測定物から離間させる方向に移動させるときの第1の力と、
該ケース内から該ケース外へ排気させるエアの排気量を調節することにより該ケース内の圧力を調節して該シャフトを突き出す方向に移動させる第2の力と、の力の差が被測定物に対する該シャフトの該測定子の押付け力を調節する調節機能を有するリニアゲージ。
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