JP4519353B2 - 硬さ試験機 - Google Patents
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- 238000007542 hardness measurement Methods 0.000 title 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、硬さ試験機に関し、詳細には、ビッカース硬さ試験機や微小硬さ試験機のように、試料表面に形成されたくぼみの大きさから硬さを計測する硬さ試験機に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、ビッカース硬さ試験機には、くぼみの形状を計測するための光学顕微鏡とくぼみを形成するための四角錐形の圧子が設けられており、硬さ試験を実施する際には、まず試料表面と光学顕微鏡の焦点合わせを行った後、所定の荷重を圧子により試料表面に加えてくぼみを形成し、再び光学顕微鏡によりくぼみの対角線の長さを計測することにより硬さを算出する。
【0003】
光学顕微鏡の焦点合わせを自動で行うビッカース硬さ試験機には、試料台を上下移動させる駆動機構部と、光学顕微鏡の焦点を検出する焦点検出機構部が設けられており、焦点検出機構部は試料表面のコントラストを検出し、コントラストが極大となった位置で駆動機構部を停止させ、焦点合わせを行っている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、光学顕微鏡の焦点検出機構は試料表面のコントラストのみに基づいて、焦点合わせを実施するため、くぼみの焦点合わせを実施する際、くぼみの周囲に形成された陥没や盛り上がりの影響を受けることがあり、正しい合焦位置よりずれた位置を合焦位置として認識してしまい、くぼみの測定データの信頼性が損なわれるという問題がある。
【0005】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、信頼性の高いくぼみの測定データを取得する硬さ試験機を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
対物レンズ5を介して試料Sの表面を照射する光源(ランプハウス14)と、前記試料もしくは前記対物レンズの少なくとも一方を前記対物レンズの光軸に沿って移動させる移動手段(駆動部8)と、前記試料もしくは前記対物レンズの少なくとも一方を、前記移動手段により移動させて前記対物レンズの焦点合わせを行う自動焦点合わせ手段と、(CCDカメラ9、制御部10)を有する硬さ試験機において、前記自動焦点合わせ手段により、前記対物レンズと前記試料表面の第1の焦点合わせ、および前記対物レンズと前記試料表面に形成されたくぼみの第2の焦点合わせを実施し、各焦点合わせにおける試料高さ位置を取得する取得手段(制御部10)と、前記取得手段により取得した前記第1の焦点合わせにおける試料高さ位置と、前記第2の焦点合わせにおける試料高さ位置との差が所定の範囲を超えた場合に、第2の焦点合わせは正確に実施されていないと判別する判別手段(制御部10)と、前記判別手段により前記第2の焦点合わせは正確に実施されていないと判別した場合に、当該くぼみの測定データを不採用データとするデータ選択手段(制御部10)と、を備えることを特徴とする。
【0007】
請求項1記載の発明によれば、第1の焦点合わせにおける試料表面の高さと、第2の焦点合わせにおけるくぼみの高さの差が所定の範囲を超えた場合に、当該くぼみの測定データはくぼみの周囲の盛り上がりや陥没等の影響で合焦位置が正しく認識できなかったと判別し、データを選択するため、信頼性の高いくぼみの測定データが取得できる。
【0008】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の硬さ試験機において、前記対物レンズと前記光源の間には、前記光源から発した光の一部を遮断する遮光部(ガラス板19)が設けられており、前記遮光部は、その投影像が前記対物レンズの焦点を含む前記対物レンズに平行な平行面に結像する位置に配置され、前記自動焦点合わせ手段は、前記投影像に焦点を合わせることで前記第1の焦点合わせを実施すること特徴とする。
【0009】
請求項2記載の発明によれば、対物レンズの焦点を含む平面には、遮光部によって形成された投影像が投影される。そのため、自動焦点合わせ手段は、よりコントラストが明瞭な前記投影像の焦点を合わせることで試料表面と対物レンズの焦点を合わせられ、対物レンズと試料表面の焦点合わせが正確にできるようになる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を適用したビッカース硬さ試験機を詳細に説明する。
【0011】
図1に示すように、ビッカース硬さ試験機1は、本体部2と、本体部2の上側に取り付けられる光学顕微鏡3と、この光学顕微鏡3の下部に設けられ回転することにより圧子4と対物レンズ5との切り換えが可能なターレット6と、前記ターレット6と対向配置された試料台7と、試料台7を上下に移動させる駆動部8と、駆動部8の駆動制御を行う制御部10と、制御部10から送信されるデータを記憶する記憶部20などにより構成されている。
【0012】
光学顕微鏡3は、図2に示すように、対物レンズ5の他、試料表面に光を供給する光源部13と、試料表面からの反射光の角度を変更させる反射鏡12と、反射鏡12によって角度が変更された反射光を通す鏡筒11と、前記鏡筒11に接続され、鏡筒11を通過した反射光を受光し試料表面の像を撮像するCCDカメラ9などにより構成される。
【0013】
光源部13は、図3に示すように、電灯を内蔵するランプハウス14、このランプハウス14に接続されランプハウス14からの光の通路となる光路管15などを備えている。
光路管15の先端部15aの端面は斜めになっており、先端部15aは鏡筒11に挿入されている。また、この先端部15aの端面には、ハーフミラー21が取り付けられている。
【0014】
そして、ランプハウス14より放出された光はハーフミラー21に反射され、対物レンズ5を通って試料表面に落射照明するようになっている。
また、試料表面から反射した光は対物レンズ5、ハーフミラー21を通り、CCDカメラ9に取り込まれるようになっている。
【0015】
光路管15の内部には、図4に示すように凸レンズ16、半凸レンズ17からなるコリメータレンズと、凸レンズ16、半凸レンズ17に挟まれた開口リング18が設けられており、ランプハウス14から放出された光は凸レンズ16、開口リング18、半凸レンズ17を通って鏡筒11に放射される。
【0016】
開口リング18は、図5に示すように、ランプハウス14からの光を通過させるように開口部18aが設けられており、この開口リング18には、開口部18aを塞ぐようにガラス板19が取り付けられている。
このガラス板19には一本の直線模様20が描かれており、ガラス板19の直線模様20は、図5に示すように光路の中心からはずれた位置に配置され、開口リング18を光が通過した場合、直線模様の影が試料表面に投影されるようになっている。
即ち、ランプハウス14から放射された光は、開口リング18、ハーフミラー21、反射鏡12、対物レンズ5を介して試料表面に到達する。そのため、試料表面には開口リング18に描かれた直線模様の影が投影される。
【0017】
このとき、開口リング18を通過した際に投影される直線模様の影が合焦する位置と、対物レンズ5と試料表面との合焦する位置とが等しくなるように設計されている。
すなわち、試料表面と対物レンズ5、対物レンズ5と半凸レンズ17の間の距離は決まっているので、この距離と、対物レンズ5と半凸レンズ17の屈折率からガラス板19の直線模様と対物レンズ5の焦点が合致する位置が算出され、その位置にガラス板19を配置することにより、対物レンズ5が試料表面で合焦する位置と模様が試料表面で合焦する位置が等しくなる。
【0018】
この影と対物レンズ5の合焦点が等しくなるように設計されているため、対物レンズ5と試料表面の焦点が合っていないときには影のコントラストが小さくなり、対物レンズ5の焦点が合っているときには光と影のコントラストが大きくなる。このように、ガラス板19の直線模様の影を試料表面に投影すると、試料表面のコントラストの変化が大きくなり、コントラストの小さい試料であっても焦点が検出しやすくなっている。
【0019】
また、ガラス板19の直線模様20は、ビッカース硬さ試験機1の最大計測長、すなわち、ビッカース硬さ試験機1が計測できるくぼみの大きさ最大の長さよりも外側に投影され、くぼみの計測に影響を与えないようになっている。
【0020】
CCDカメラ9は、複数の受光素子が2次元に配列された構成をしており、試料表面からの反射光を取り込むと、各受光素子が試料表面の光の強さを検出し、電気信号(光度情報)に変換して制御部10に送信する。
【0021】
制御部10は、図7に示すように、CCDカメラ9および駆動部8と接続されており、CCDカメラ9から送信される電気信号に基づいて対物レンズ5と試料表面の合焦を検出し、試料台7の昇降動作を制御する。
制御部10の合焦検出方法は、例えば、コントラスト検出方式であり、CCDカメラ9から送信される電気信号の振り幅を検出して、電気信号の振り幅が極大になると制御部10は駆動部8に制御信号を送信し、試料台7の昇降動作を中止させるとともに、制御部10は試料表面の合焦位置の高さを記憶部20に記録する。
【0022】
さらに、制御部10はくぼみの焦点合わせを行う。
試料表面に圧子4を押し込み、試料Sにくぼみを形成すると、制御部10はくぼみの面積を計測するためにくぼみの輪郭に焦点を合わせる。
試料表面にくぼみを形成すると、くぼみの周囲に盛り上がりや陥没ができることがあり、この盛り上がりや陥没データの影響のため、制御部10は、合焦位置を誤認し、その位置で計測が行われるため、硬さデータの信頼性が失われてしまうことがある。
そのため、制御部10には試料ごとの許容範囲が記録されており、くぼみの合焦位置と試料表面との高さの差が許容範囲内にない場合には、そのくばみを不採用データをして排除することにより、データの信頼性を向上することが出来るようになっている。
【0023】
この許容範囲とは、十分な回数の試験の結果、統計的に得られたデータであり、試料の種類などに応じて各々許容範囲が設定されている。
【0024】
次に、対物レンズ5の焦点合わせ動作について説明する。
まず、オペレータが試料Sをビッカース硬さ試験機1の試料台7に載せ、試料の種類を入力し、硬さ試験の開始を指示すると、ターレット6が回転して、試料Sと対物レンズ5が対向するとともに、ランプハウス14の電灯が点灯し、試料Sの表面を照らす。
【0025】
そして、制御部10が試料台7の駆動部8を駆動させ、試料台7の上昇操作が開始する。このとき、ランプハウス14からの光は凸レンズ16、開口リング18、半凸レンズ17を通って試料表面に向かうが、この光の一部は開口リング18のガラス板19に描かれた直線模様に遮られ、試料表面には図6に示すように直線模様の影が投影される。
【0026】
次いで、試料表面に投影された直線模様の影は対物レンズ5を介してCCDカメラ9に取り込まれるが、対物レンズ5と試料表面の焦点が合っていないときは、CCDカメラ9に取り込まれる影の像のコントラストは小さくなるが、対物レンズ5と試料表面の焦点が合うとコントラストが大きくなる。
そして、試料表面のコントラストが大きくなるとCCDカメラ9の各受光素子が検出する光度情報の差も大きくなる。
【0027】
そのため、制御部10はCCDカメラ9から送信される光度情報の振り幅から試料表面の像のコントラストを検出し、コントラストが極大になると、駆動部8に制御信号を送信して、試料台7の昇降操作を停止させるとともに、当該試料台7の高さの位置を記憶部20に記録する。
【0028】
次いで、制御部10はターレット6を回転させ、試料Sの上方に圧子4を配置させる。この状態で、制御部10は試料Sの表面に圧子4を押し込みくぼみを形成させたのち、くぼみの焦点合わせを開始する。
【0029】
くぼみの焦点合わせにおいて制御部10は、まず、駆動部8により再び試料台7を昇降させ、くぼみの輪郭に焦点を合わせる。次いで、くぼみの輪郭のコントラストが極大となった試料台7の高さ位置と、記憶部20に記憶した試料表面の高さ位置とを比較する。そして、例えば、くぼみの盛り上がりや陥没による高さ方向のずれが許容範囲内にない場合には、制御部10は、当該くぼみデータを排除する。一方、焦点位置のずれ許容範囲内にある場合には、くぼみの表面積を計測して試料の硬さデータを取得する。
【0030】
以上のように本発明におけるビッカース硬さ試験機1は、一部に影のある光を試料表面に照射し、光と影のコントラストを比較することにより合焦位置を検出するため、表面を鏡面に磨いた試料であっても、試料のコントラストがはっきりし、焦点合わせが容易になる。
【0031】
さらに、本発明のビッカース硬さ試験機は、試料ごとに許容範囲を設定し、くぼみの輪郭と試料表面の高さの差が許容範囲に含まれない場合に、当該くぼみデータを排除するので、くぼみの周囲の盛り上がりや陥没による測定データの誤差を排除できることとなって、硬さ試験のデータの信頼性が向上する。
【0032】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形・改良等は本発明に含まれるものとする。
例えば、本実施例では、本発明をビッカース硬さ試験機に適用したが、必ずしもビッカース硬さ試験機である必要はなく、本発明はブリネル硬さ試験機やヌープ硬さ試験機などのように、試料表面にくぼみを形成しそのくぼみの形状によって硬さを計測する硬さ試験機に適用される。
【0033】
また、本実施例では対物レンズ5と試料表面の焦点検出方法としてCCDカメラ9のコントラスト検出方式を用いたが、必ずしもこの方法で焦点を検出する必要はなくその他の焦点検出法を用いてもよい。
【0034】
【発明の効果】
請求項1記載の発明によれば、第1の焦点合わせにおける試料表面の高さと、第2の焦点合わせにおけるくぼみの高さの差が所定の範囲を超えた場合に、当該くぼみの測定データはくぼみの周囲の盛り上がりや陥没等の影響で合焦位置が正しく認識できなかったと判別し、データを選択するため、信頼性の高いくぼみの測定データが取得できる。
【0035】
請求項2記載の発明によれば、対物レンズの焦点を含む平面には、遮光部によって形成された投影像が投影される。そのため、自動焦点合わせ手段は、よりコントラストが明瞭な前記投影像の焦点を合わせることで試料表面と対物レンズの焦点を合わせられ、対物レンズと試料表面の焦点合わせが正確にできるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したビッカース硬さ試験機の構造を示す概略正面図である。
【図2】光学顕微鏡の構造を示す光学顕微鏡要部の縦断面図である。
【図3】光源部の構造を示す正面図である。
【図4】光源部の内部構造を示す断面図である。
【図5】開口リングの構造を示す斜視図である。
【図6】試料表面の投影像を示す図である。
【図7】制御構造を示すブロック図である。
【符号の説明】
1 硬さ試験機
4 圧子
5 対物レンズ
8 駆動部
9 CCDカメラ
10 制御部
14 ランプハウス
19 ガラス板
S 試料
Claims (2)
- 対物レンズを介して試料の表面を照射する光源と、
前記試料もしくは前記対物レンズの少なくとも一方を前記対物レンズの光軸に沿って移動させる移動手段と、
前記試料もしくは前記対物レンズの少なくとも一方を、前記移動手段により移動させて前記対物レンズの焦点合わせを行う自動焦点合わせ手段と、
を有する硬さ試験機において、
前記自動焦点合わせ手段により、
前記対物レンズと前記試料表面の第1の焦点合わせ、および前記対物レンズと前記試料表面に形成されたくぼみの第2の焦点合わせを実施し、各焦点合わせにおける試料高さ位置を取得する取得手段と、
前記取得手段により取得した前記第1の焦点合わせにおける試料高さ位置と、前記第2の焦点合わせにおける試料高さ位置との差が所定の範囲を超えた場合に、前記第2の焦点合わせは正確に実施されていないと判別する判別手段と、
前記判別手段により前記第2の焦点合わせは正確に実施されていないと判別した場合に、当該くぼみの測定データを不採用データとするデータ選択手段と、
を備えることを特徴とする硬さ試験機。 - 請求項1記載の硬さ試験機において、
前記対物レンズと前記光源の間には、前記光源から発した光の一部を遮断する遮光部が設けられており、
前記遮光部は、その投影像が前記対物レンズの焦点を含む前記対物レンズに平行な平行面に結像する位置に配置され、
前記自動焦点合わせ手段は、前記投影像に焦点を合わせることで前記第1の焦点合わせを実施することを特徴とする硬さ試験機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001121467A JP4519353B2 (ja) | 2001-04-19 | 2001-04-19 | 硬さ試験機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001121467A JP4519353B2 (ja) | 2001-04-19 | 2001-04-19 | 硬さ試験機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002310869A JP2002310869A (ja) | 2002-10-23 |
JP4519353B2 true JP4519353B2 (ja) | 2010-08-04 |
Family
ID=18971334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001121467A Expired - Fee Related JP4519353B2 (ja) | 2001-04-19 | 2001-04-19 | 硬さ試験機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4519353B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108344633A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-07-31 | 中国航发动力股份有限公司 | 一种用于布氏硬度机的光源装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5777957B2 (ja) * | 2011-07-05 | 2015-09-16 | 株式会社ミツトヨ | 硬さ試験機、及び硬さ試験方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05196561A (ja) * | 1992-01-17 | 1993-08-06 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 硬度測定装置および硬度測定方法 |
JPH0643080A (ja) * | 1992-02-13 | 1994-02-18 | Akashi:Kk | ビッカース硬度自動測定装置 |
JP2002310870A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-23 | Akashi Corp | 硬さ試験機 |
-
2001
- 2001-04-19 JP JP2001121467A patent/JP4519353B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05196561A (ja) * | 1992-01-17 | 1993-08-06 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 硬度測定装置および硬度測定方法 |
JPH0643080A (ja) * | 1992-02-13 | 1994-02-18 | Akashi:Kk | ビッカース硬度自動測定装置 |
JP2002310870A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-23 | Akashi Corp | 硬さ試験機 |
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CN108344633A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-07-31 | 中国航发动力股份有限公司 | 一种用于布氏硬度机的光源装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002310869A (ja) | 2002-10-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20050304 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080306 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100512 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100518 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100519 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130528 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4519353 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130528 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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