JPS5967440A - 光学系の検査装置 - Google Patents

光学系の検査装置

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JPS5967440A
JPS5967440A JP17867782A JP17867782A JPS5967440A JP S5967440 A JPS5967440 A JP S5967440A JP 17867782 A JP17867782 A JP 17867782A JP 17867782 A JP17867782 A JP 17867782A JP S5967440 A JPS5967440 A JP S5967440A
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JP
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target
light
signal
lens
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JP17867782A
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English (en)
Inventor
Izumi Umemura
泉 梅村
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Nippon Kogaku KK
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Publication date
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Publication of JPS5967440A publication Critical patent/JPS5967440A/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • G01M11/0228Testing optical properties by measuring refractive power

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、光学系を検査する装置に関し、特に眠樟用レ
ンズを検査するレンズメータとして用いるに最適なもっ
である。
従来市販されているレンズメータは、検者がターゲツト
像を観察しつつ手動的に測定を行なうものが一般的であ
る。従って、これらの装置では測定値に個人差が生ずる
ために、近年、光電変換素子を用いて自動的に測定を行
なうものが提案されている。このような装置としては、
例えば被検レンズに光ビームを入射せしめ、被検レンズ
による変位計イヒ光ビームの位置検出可能な光電変換素
子(先位(ば検出器)に−C測定し、被検レンズの屈折
力を得る装置がある。
しかしながら、この装置では、光ビームの変位欲から直
接に被検レンズの屈折力(球面度数81乱視度数01乱
視nl+ AX )を得ているため、屈折力の精度が光
位置検出器′り分解能及びリニアリティに依存している
。一方、一般的な光位置検出器では実用十分な測定範囲
で分解能とりニアリテイを持たせ、また安定さを保証す
ることは極めて難しい。従って、上述の装置における測
定精度は、正確さ、安定性を欠いたものに成り易く、ま
た正確さ、安定性を保証しようとすると、構成が複雑に
なるという欠点があった。
本発明の目的は、簡単な構成でかつ精度の高い測定が安
定に行なえるような、光学系の検査装置を提供すること
にある。
以下、図面に示した実施例に基づいて本発明を説明する
第1図は本発明の一実施例の光学系であり、第2図は第
1図の光学系と共に用いられる電気系のブロック図であ
る。
ターゲット照明用の発光ダイオードlからの光は、ター
ゲット2を裏面から照明している。ターゲット2は例え
ば第3図の如く、遮光板にピンホールを直線配置して構
成される。ターゲット2を通過した光は、第1ハーフミ
ラ−3にて光路を直角に曲げられた後、第1コリメータ
レンズ4に入射する。第1コリメータレンズ4の後側焦
点位置を土、ターゲット2上にある。第1コリメータレ
ンズ4を通過した光は、該レンズ4とコリメータレンズ
系を形成する第2コリメータレンズ5を通過した後、中
央に微小な貫通孔6を形成された反射鏡7に入射する。
反射鏡7は、発光ダイオード8によ・て裏面から照明さ
れるように成っており、寸た、光軸方向に移動可能であ
る。反射鏡7で反射した光、貫通孔6を通過した光は、
第2コリメータレンズ5、第1コリメータレンズa、m
xノ八へ7ミラー3を通過し、第2ノh−フミラー9に
入射する。第2ノ・−7ミラー9にて反射した光は、先
位Ia検出器10に入射する。光位置検出器10は反射
鏡7の貫通孔6を通過した発光ダイオード8からの光を
測光する。第2ハーフミラ−9を通過した光は、第1コ
リメータレンズ4の後側焦点位置に配設された像検出器
11に入射する。像検出器11は、例えばCCDやMO
Sの一次元イメージセンサで、その走査方向がピンホー
ル像の方向に一致して配設されており (第9図(a)
参照)、ターゲット2を通過した発光ダイオードlから
の光を測光する。像検出器11とターゲット2は、互い
の方向を一定の関係に維持しつつ、互いに連動して光軸
を中心に回転するように歯車装置■■によって結合され
ている。被検レンズLは、第1コリメータレンズ4、第
2コリメータレンズ5の間の光路中に挿入される。
このような光学系と関連付けられる電気系は、第2図に
示した如くマイクロコンピュータ12i有しており、マ
イクロコンピュータ12によって各部材の制御、データ
の取り込み、演算処理を行なう。像検出器11は、上述
の如く、例えばL4 CDイメージセンサであり、駆動
回路13によって、駆動される。CCDイメージセンサ
11の蓄積時間やスタートパルスのタイミング等の決定
は、マイクロコンピュータ12からの制御信号によって
駆動回路13を制御して行なわれる。CCDイメージセ
ンサ11から順次出力される映像信号は、前置増幅器1
4により増幅さ・れた後、検波回路15にて検波される
。検波回路15の出力信号は、マイクロコンピュータ1
2によって利得が制御される交流増幅器16により増幅
され、絶対値回路17にて整流される。絶対値回路17
の整流出力信号let、入力セレクタ18を通して積分
型のA−D変換器19にてデジタル信号に変換される。
A−D変換器の変換器19の変向時間1′よ、入力セレ
クタ18を介して絶対値回路17からの信号を入力して
いるとき、マイクロコンピュータ12からの制御信号に
より、CCDイメージセンサ11の一掃査分または数走
査分の積分時間を持つように設定される。その結果、A
−D変換器19からマイクロコンピュータ12へ入力さ
れる信号は、CCDイメージセンサ11への光入力の、
明暗の変化の大きさに対応している。マイクロコンピュ
ータ12は、A−D変換器19の出力信号から交流増幅
器16の出力信号の大きさが最適になるように、交流増
幅器16へ制御信号を入力する。ターゲット照明用の発
光ダイオード1は、マイクロコンピュータ12からの制
御信号によ・て点灯、消灯を制御される。一方、プリズ
ム測定用の発光ダイオード8は、変調回路20からの信
号によって数KH2で変調発光するが、変調発光するか
否かはマイクロコンピュータ12からの制御信号によっ
て制御される。光位置検出器10は、2次元のCCDイ
メージセンサ、4分割素子などを用いることができるが
、本例でIr!、光像の重心位置に応じた信号を得るこ
とのできるポジションセンサを用いている。
ポジションセンサ10からは、・座標値を表わす2つの
信号と、)f座標値を表わす2つの信号の計4つの信号
が出力される。この4つの信号は、発光ダイオード8の
変調周波数と同じ周波数を同調周波数とする、同調増幅
器21で増幅される。同調増幅器21の出力信号は、交
流−直流変換回路22によって直流信号に変換される。
交流−直流変換回路2204つの出力信号から、加減算
回路23によ〜てX位置信号、Y位It信号、強度信号
が演算され、これらの信号は入力セレクタ18、A−D
変換器19を通してマイクロコンピュータ12へ入力さ
れ、プリズム量が演算される。マイクロコンピュータ1
2はさらに、パルスモータ24を駆動する駆動回路25
及び、パルスモータ26を駆動する駆動回路27に各々
制御されたパルスを入力すると共に、入力セレクタ18
に選択信号を、又表示器28に表示信号を入力せしめる
。ノ(ルスモーク24は、ターゲット2と像検出Wil
lとを歯爪装置Hを介して同期回転させ、またパルスモ
ータ26は、図示なき変換装置を介して反射鏡7金光軸
方向にて往復移動せしめる。
以下、第4図乃至第7図に示した。マイクロコンピュー
タ12のフローチャートを説明1−る。
図示なき電源をオンすると (第4図のブロック29)
、マイクロコンピュータ12は発光ダイオード1を点灯
せしめると共に、入力セレクタ18に絶対値回路17か
らの信号を選択する如く制御信号を入力せしめる。そし
て、駆動回路25゜27にパルスを入力し、駆動回路2
5 + 27がパルスモータ24,26を回転し、ター
ケラ1−2トCCDイメージセンサ11の回転角度を0
0に、反射鏡7を往復動の一方の端部位置(この位置は
例えば−25D・・・・・・−25デイオプター・・・
・・・に相当する)に設定する。この動作が初期設定(
第4図のブロック30)である。ターゲット2とCCD
イメージセンサ11の回転角度0°及び、反射鏡7の往
復動の端部位置の検出+4.フォトカプラー、リミット
スイッチなどを用いて行なわれる。なお、マイクコニ1
ンピユータ12!寸、あらかじめパルス数と回転角度の
関係及び、パルス数と反射鏡7の位置、すなわちディオ
プターとの関係をあらかじめ導入されている。このよう
にして初期設定が完了t−ると、マイクロコンピュータ
121d、ターゲット2のピント位置の一次測定を行な
う (ブロック31)。すなわち、マイクロコンピュー
タ12は、反射鏡7を往復動の他の端↑1μ位置、すな
わち+25Dの位置に向けで移動させながら、CCI)
イメージセンサ■1の信号強度がピーク位置を示すとこ
ろを探]7、その位置に反射鏡7を止める。
その詳細なフローチャートをi、J5図にて説明する。
マイクロコンピュータ12は、ブロック50において、
保検114器としてのCCDイメージセンサ11の信号
強度が所定の大きさより大きいかどうかを、A−D変換
器19の出力信号と、あらかじめ導入されている所定の
大きさの信号とを比較することにより調べ判断する(ブ
ロック51)。所定の大きさより大きくないときは、ブ
ロック52において、反射鏡7の1ステップ送り量を0
.25Dに対応する軟(パルス数)に設定し、ブロック
53において、反射鏡7を中方向へ1ステップ動かす如
く、駆動回路27に信号を入力せしめる。一方、ブロッ
ク51において、A−Df換器19の出力信号が所定の
大きさの信号より大きいときは、マイクロコンピュータ
12は、ブロック54において、反射鏡7の1ステップ
送りtを0.03125Dに対応する喰(パルス数)に
設定iると共に、ブロック55において、A−D変換器
19の出力信号・0大きさと、反射鏡7の位置に対応す
るディオプターとを記憶する。記憶が完了すると、ブロ
ック56において、マイクロコンピュータ12は、反射
鏡7を中方向へlステップ動かす9口く駆動回路27に
信号を入力せしめるブロック53もしくはブロック56
にて示される反射鏡7の1ステツプ移動が完了すると、
ブロック57において、反射鏡7が+25Dに相当する
位置にあるか否かを判断する。この判断は反射鏡7が+
25Dに相当する位置にあるとオンする如きリミットス
イッチの信号によって行なう。 (なお、マイクロコン
ピュータ12はパルス数によって反射鏡7の位置を知る
ことができるので、この場合のリミットスイッチは省い
−Cも良い。)。反射la7が+25Dに相当する位置
にないときは、再びブロック5oに戻り、反射鏡7か+
25Dに相当する位置にあるときは、ブロック58に移
る。ブロック58ではブロック55にて記憶されだA−
D変換器19の出力信号を検索し、最大値を示した信号
のディオプターに対応する反射鏡7の位置を求める。そ
して、ブロック59において、コンピューター12d、
)lij6だ位置まで反射鏡7を移動する如く駆動回路
27に信号を入力せしめる。以上でターゲット2のピン
ト位置の一次測定が完了する。
次にマイクロコンピュータ12は、第4図のブロック3
2において、ターゲットの回転角度の一次測定を行なう
。その詳細を第6図によって説明すると、マイクロコン
ピュータ12は、ブロック60において、ターゲット2
を1°おきに00〜18o0まで回転させる如く、駆動
回路25にパルスモータ24を駆動する信号を人力せし
め(この際、イメージセンサ11も同時に回転するが、
以丁、ターゲット2にて代表する。)、各角度毎に、角
度とA−D変換器19の出力信号とを対応して記憶する
。次に、ブロック61において、記憶した八−り変換器
■9の出力信号の最大値に対応する角度を求める。次に
、ブロック62において、求めた角度にターゲツト20
角度位置を設定する如く、駆動回路25に信号を入力せ
しめる。以上でターゲット2の回転角度の一次測定が゛
完了する。
次にマイクロコンピュータ12ば、第4図のブロック3
3におい−C1被検レンズの変化、変更チェックを行な
う。すなわち、マイクロコンピュータ12は、A−D変
換器19の出方信号を一定時間(例えば0.5秒)毎に
測定し、被検レンズの移動、交換が行なわれだかどうか
を調べる。そしてブロック34において、所定の大きさ
より大きな信号強度の変化が有ったと判断すると、ブロ
ック30に戻り、上述の変化が無いと判断すると、ブロ
ック35に進む。ブロック35では、現在の測定モード
がプリズム・乱視軸測定モードか否かを、外部スイッチ
からの指昨信号によって判断する。
プリズム・乱視軸測定モードでない場合には、ブロック
36において、屈折力測定スタートスイッチが押された
か否かを調べる。ブロック37において、屈折力測定ス
タートスイッチが押されていないと判断するとブロック
33に戻り、押されていると判断するとブロック38に
進む。ブロック38では、反射鏡7を現在の位置から−
0,5Dに相当する位置まで移動する如く、マイクロコ
ンピュータ12から駆動回路27に信号が入力される。
その後、ブロック39にてターゲットのピント位置の二
次測定が行なわれる。その詳細ブロックを第7図にて説
明する。
マイクロコンピュータ12は、第7図のブロック63に
おいて、反射鏡7を現在の位置から+1.ODに相当す
る位置まで1ステツプ(0,03125D)ずつ動かす
如く、駆動回路27に信号を人力せしめると共に、各ス
テップ毎に、反射鏡7の位置に対応したディオプターと
、そのときのA−D変換器19の出力信号とを対応し゛
C記憶する。次に、フ゛ロック64において、フ゛ロッ
ク63にて言己憶した出力信号の最大値に対応するディ
オプターを求める。そして、ブロック65で(・ま、こ
のディオプターに対応rる位置まで反射鏡7を移動させ
て、ターゲットのピント位(dの二次測スにが〕E’L
Tる。
第4図のブロック39の操作が完rrると、ブロック4
0において、ターゲットの回転角度の二次測定に入る。
ターゲットの回転角度の二次側定寸、前述のブロック3
2と同じであ−て、詳細は第6図のブロック60乃至ブ
ロック62である。
こDようにしてターゲットの回転角度の二次測定が終了
すると、マイクロコンピュータ12は、ブロック41に
おいて、被検レンズのもう一つの経線の屈折力を測定す
るために、ターゲット2を90°回転するy口く駆動回
路25に信号と入力せしめる。その後、ブロック42に
おいて、もう一つ・O後縁の屈折力を測定を行なう。
詳細は、第7図に示した如く、ブロック66において、
反射鏡7を現在のピント位置から+6Dに相当する位置
寸で1ステツプ(0,03125D)ずつ動かし、おの
おのの位[dでのA−D変換器19の出力信号の大きさ
を記憶し、それ以降はブロック64、ブロック65、と
)’cどってA−D変換器19の出力信号のピークが検
出されれば、その位if VC反射鏡7を停止せしめる
第4図のブロック43において、もう一つのピークが検
出できたと判断すると、マイクロコンピユー111Tj
:、ブロック45において、球面度数S、乱視度該C1
乱視軸Ax の算出表示を行ないもう 一つのピークが
検出できないと判断すると、ブロック44において、再
度もう一つの径線の屈折力の測定を行なう。すなわち、
第7図に示した如く、ブロック67において、反射鏡7
を現在のピント埋置より一6Dに相当する位置まで動か
し、さらにブロック68において、現在のピント位置よ
り−60に相当する位置まで反射鏡7を1ステツプ(0
,03125D)ずつ動かし、おのおのの位置でのA−
D変換器19の出力信号を記憶する。その後は、ブロッ
ク64.ブロック65を経てターゲットのピント位置の
測定を終了する。
測定が終了すると、マイクロコンピュータ12は、ブロ
ック45において球面度数S、乱視度数C1乱視軸AX
の算出表示を行なう。すなわち、マイクロコンピュータ
12は、ブロック39.ブロック40.ブロック42.
ブロック44で求めた2つのディオプター、ターゲット
角度より、球面度数S、乱視度数C1乱視軸AXの3つ
のファクタを算出し表示器28にて表示せしめる。また
、マイクロコンピュータ12は、ブロック46において
、反射鏡7及びターゲット2を、ブロック40にて設定
された位置に戻すように駆動回路25゜27に信号を入
力せしめるその後、ブロック33に戻る。
一方、第4図のブロック35で、現在の測定モードがプ
リズム・乱視軸測定モードであると判断すると、技検し
ンズLt−変化しない状態で一度以上の球面度数S、乱
視度数C1乱視軸AXの測定が行なわれたか否かをさら
に、ブロック350で判断し、測定が行なわれていれば
ブロック47において、乱視軸の連続測定を行ない、ブ
ロック48において、乱視軸を連続表示した後、ブロッ
ク49のプリズム量の測定、表示を行ない、測定が行な
われていなければ、ブロック49に進む。ブロック49
が終了するとブロック35に戻る。ブロック47、ブロ
ック49の詳細を第6図、第8図に示す。
マイクロコンピュータ12は、第6図のブロック69に
おいて、ターゲット2を、現在の回転角度に対し−10
’〜+10°の範囲で10おきに回転させる妬く、駆動
回路25に信号を入力し、おのおのの角度におけるA−
D変換器19の出力信号全記憶する。ブロック61、ブ
ロック62を経て乱視軸の連続測定が終了する。第4図
のブロック47で求めた角度位置は、ブロック48にお
いて、表示器28にて表示される。その後、ブロック4
9において、プリズム量の測定が行なわれる。マイクロ
コンピュータエ2は、第8図のブロック7゜において、
ターゲット照明用の発光ダイオードlを消灯し、変調回
路20を介してプリズム測定用の発光ダイオード8を点
滅せしめると共に、入力セレクタ18が加減算回路23
からの信号全出力する如く入力セレクタ18に制御信号
を入力せしめる。そして、ブロック71において、マイ
クロコンピュータ12は、加減算回路23小らのX位置
信号、Y位置信号、強度信号に対応したA−D変換器1
9の出力信号を入力し、ブロック72において、X位置
信号、Y位置信号を強度信号によって正規化し、座標信
号(11,ν)に変換する。
その後、ブロック73において、ブロック72で求めた
座標信号(・、2)を、プリズムディオプターに変換し
、表示器28に表示せしめる。これが終了するとブロッ
ク35に戻る。
なお、上述のフローチャートには示さなか・たが、マイ
クロコンピュータ12は、第4図のブロック32で得ら
れる信号の大きさが最適になる如く、交流増幅器16の
利得を制御する。特に、被検レンズLとしてカラーレン
ズを用いる等によ−て、ブロック39で得られる信号の
大きさが小さくなりすぎるときに、測定不能になるので
、交流増幅器16の利得を最適にするように動作する。
このような構造であるから、被検レンズLが測定光路中
にない場合を考えると、装置は0デイオプターの被検レ
ンズがあるのと等価な動作を行なう。すなわち、図示な
き電源スイッチをオンすると、マイクロコンピュータ1
2は、第4図のブロック29、ブロック30を行なう。
CCDイメージセンサ11上には第9図(a)の如く、
大きくボケだターゲツト像2が生じているので(実際に
はもつとボケでいる)、イメージセンサ11から出力さ
れる信号・注第11図(a)の如くほぼ一定のレベルの
映像信号となる。ただし、第11図(a)において横軸
は時間t1縦軸は信号強度■である。従って、交流増幅
器16のためにA−D変換器19の出力信号はほぼ零で
ある。マイクロコンピュータ■2は、第5図のフローチ
ャートに従って反射鏡7を一25Dに対応釘る一端から
+25Dに対応する他端まで移動せしめる。その結果得
られた反射鏡7の位置(横軸:ディオプタ−D)に対す
るA −D外換器19の出力信号の大きさく縦軸;I)
の関係は第10図(a)の如くである。すなわち、CC
Dイメージセンサ11上でターゲツト像のピントが合一
でくると、第9図(b)のような状態とノ?す、イメー
ジセンサ11の出力信号の包絡線は第ti図(b)の如
くになり、交流外が大きくなるからである(又流増幅器
16を用いていることに注意)。
第10図(a)において、A−D変換器■9の出力信号
がピークとなる反射鏡7の位置は、反射鏡7の移動範囲
の中心であるOティオプターを示す位置である。従って
、ブロック31のターゲットのピント位置の一次測定が
終了後、反射鏡7は0デイオプターの位1ξで停止する
。次に、ブロック32において、ターゲット2の回転角
度の一次測定に入るが、光学系中に乱視要素はないから
、おのおのの角度におけるA−D変換器19の出力信号
は一定である(第10図(b))。従って、ターゲット
2はJ80°の回転位置で停止しこの位置が新たな0°
の回転位置となる。次にマイクロコンピュータ12は、
ブロック34において、被検レンズの変化、変更チェッ
クを所定の太きさより大きな信号強度が有ったか否かで
判断し、信号強度が変化せず、かつプリズム・乱視軸測
定モードが選択されていないときは、測定系は待期状り
となる(ブロック35)。
被検レンズLとして乱視レンズを測定光路中に入れると
、ブロック34で信号変化を検出1/、被検レンズLに
応じ/こ初期設定動作をブロック30゜ブロック;31
.ブロック32によ・ンて行なう。この場合、ターゲッ
トのピント位置及び方向が被検し/ズLと合っていない
と、CCI)イメージセンサ11土には第9図(C)の
如くターゲツト像21が生ずる。このときに、CCDイ
メージセンサ11から得られる映像信号の包絡線は第1
1図(C)の如くで、あ”M o反射鏡7が移動し、そ
の位置が被検レンズ■、の最弱の屈折力、又は最強の屈
折力に達すると、第9図(a)の如く、被検レンズLの
軸方向に流れた像24が結像する。この場合、CODイ
メージ七ンサ11から得られる映像信号の包絡線は第1
1図(d)の如くになる。第9図(C) 、 (d)を
比べれば明らかな如く、第9図(d)の状態の方が、像
の明暗差がイメージセンサ11の走査方向に関して大き
いので、交流成分が大きくなることがわかる。
さらに反射鏡7を移動していくと、ターゲツト像は最小
錯乱円の状態になる。この場合は、ターゲツト像の面積
は第9図(C)に比してイメージセンサ11の走査方向
に拡がり、その結果、交流成分は低下する。さらに反射
鏡7を移動していくと、ターゲツト像のボケ方向は第9
図(C) 、 (d)とは直交した方向に大きくなると
共に、再びイメージセンサ11の走査方向に小さくなる
ので、交流成分は再び増加する。引き続いて反射鏡7を
移動して行くと、ボケ量が全体的に大きくなり、交流成
分はどんどん低下していく。その結果、反射鏡7の位置
に対するA−D変換器19の出力信号の関係は第10図
(C)の如く2つのピークを有する信号になる。
A−D変換器19の出力信号の2つのピーク付近でj4
.0.03125Dの精度で測定が行なわれているので
ピークが0.03125Dの精度で求まる。プロツり3
工によって反射鏡7は、最大ピークが得られる位置に固
定される。
反射鏡7が固定され、ると、ターゲット2が回転を始め
る。回転していく間に、第9図(e)の如く、ターゲツ
ト像の流れ方向と、イメージセンサ11の方向が直交す
ると、交流成分は最大になる。すなわち、ターゲット2
の回転角度に対するA−D変換器19の出力信号は第1
0図(d)の如くになる。
第10図(d)において、信号のピーク位置に対応する
回転角変パ、ま、交流成分が最大になった角度、すなわ
ち一方の乱視軸を示す。ターゲット2及びイメージセン
サ11ば、この角度に設定される。このようにしてター
ゲツト20回転角度の一次測定が終了する。
被検レンズLに変更がなく、かつプリズム・乱視軸測定
モード指定スイッチ及び屈折力測定スタートスイッチが
オンされていないと装置はそのまま時期状態になる。ブ
ロック37において、屈折力測定スタートスイッチをオ
ンしたと判断すると、ブロック38において、反射鏡7
は現在の位置から−0,5Dに相当するだけ移動される
。その後、ブロック39.ブロック40において、反射
鏡7の位置及びターゲット20回転角1(の二次測定が
行なわれ、その後、ブロック41において、もう一つの
経線の屈折力の測定のために、ターゲット2はイメージ
センサ11と共に90°回転きれる。
さらに、その後、ブロック42.ブロック43゜ブロッ
ク44において、もう一つの経線の)Id 17を力の
測定が行なわれ、表示器28に被検レンズしの球面度数
81乱視度数01乱視軸Ax が表示される。
一方、被検レンズLを測定光路中に入れた後、プリズム
・乱視軸測定モードを指定すると、ブロック35に套っ
て、表示器28に乱視軸AX 、プリズム壊が表示され
る。従って、単にプリズム承を測定したい場合には、プ
リズム・乱視軸測定モードを指定すれば良い。
通常、被検レンズLの頂点における球面度数81乱視度
数01乱視軸Axを測定するために、被検レンズLの光
軸を測定光軸に一致させる必要があるが、第1図の光学
系では反射鏡7を用いているため、アライメントの必要
はないが、レンズ周辺の収差の影響を除去するためアラ
イメントを必要とする場合には、被検レンズLを測定光
路に入れた後、プリズム・乱視軸測定モードを指定し、
プリズム景が零になる如く被検レンズLの軸合わせを行
ない、その後屈折力測定スタートスイッチをオンして屈
折力(S + C+ Ax )の測定を行なうように成
せば良い。また、プリズム・乱視軸測定モードを指定し
ておけば、乱視軸の連続表示が行なわれるので、手でレ
ンズを回しながら、乱視軸の角度を設定したい場合に有
効である。
以上の実施例は以下の如く利点がある。
(1)第1図の光学系では、被検レンズLのアラインメ
ントを必要とせず、被検レンズの屈折力(s + c 
l AX )を測定回である。 (ただしレンズの収差
の関係から周辺は収差が多いので、正確なアラインメン
トをした方が精度よい測定が可である。) (2)第1図の光学系では、被検レンズLを測定光束が
2度通るなどの特徴から、ターゲツト像の結像の焦点深
度を浅くでき、乱視などのレンズ屈折力成分により、大
きく結像が変化するので通常のレンズメータより精度の
良い測定が可能で有る。
(3)受光素子−トでの結像の状態(コントラスト:明
暗の変化の度合)を検出しCいること。そのためにVま
色々なターゲット、検出器を考えることができる。それ
を検出さえできれば良い。
(4)実質的な測定時間を減らすために被検レンズLが
そう人された時点で、検出器上で結像状態が大きく変化
するのを利用して、レンズのそう人の有ったことを検出
し、自動的に、そのレンズの屈折力の測定を開始するよ
うにシーケンスを組んでいる。つ′fす、通常、レンズ
がそう人されていない状、嘘で電源が入っていれば、装
置は、ゼロディオプタの位置に反射鏡を固定している。
その間1秒間に1回程度、検出器lの信号を読み出し、
結像状態が変化したかどうかを常にチェックしている。
変化を検出すると即座に、外部からの指命に応じて自動
的に屈折力(S 、 C、Ax)、ブリズムの測定を開
始し完了する。これにより、被検レンズLのそう人によ
り、表示が2〜3秒で出るという、システムが完了する
。屈折力の測定を完了ノーると、プリズム・乱視(紬測
定モードに自動的に切り替わる如く成しておけば、プリ
ズム・乱視軸のリアルタイムな1jlll定1表示が行
なえる。 (実際、この2つのファクターだけがレンズ
の移動などにより変化する。他の屈折力のファクターは
、一度測定を行えば変ることはない。したがって、リア
ルタイムな測定は、それ程要求されない。)なお、第1
図の光学系は焦点深度が極めて浅いため、反射鏡7を移
動したとき得られる信号・のビーク前後では1ステップ
0.03125D程度の反射鏡7の移動でも充分判別で
きるだけの信号変化を得ることが出来るので、上述の説
明の如く一走査を行なうだけで、信号の極大値を得るこ
とも0]′能であるが(ブロック31参照)、2ステツ
プのオーバーランを行い、また、4ステツプの逆送りを
行って、その極大値を確認する如く成しても良い。
その極大値が、ノイズ等によるもので有って、確認が成
されなかった場合は、極大値が無か−たものとして再び
反射鏡7の移動を続行すれば良い。
また、乱視軸の検出感度を高めるために、第12図のよ
うなターゲット2を併用することが望ましい。このよう
に横長の透光部を有するターゲットの場合、イメージセ
ンサiiに像の流れをうまく映すことが可能であり、 
(第13図(a)は一般的な場合、第13図(b)+r
よ乱視軸を検出した場合)第14図(a) 、 (b)
のように、ターゲット2の角度に対して急しゅんなピー
クを求めることが可能である。
(第14図(a)は第3図のターゲットを用いた場合、
第14図(b)は第12図のターゲットを用いた場合で
ある。)この2つのターゲット (第3図、第12図)
は、機械的に切り替えることができるし、光学的に2種
類を選択してイメージセンサ11上に映すこともできる
。また、第15図(a)のように直交して2つのターゲ
ットを一板のガラス基板に作り、乱視軸測定時に、イメ
ージセンサ11に対しターゲット2を90°回転して、
検出感度の向上を計ることもできる。(ただしこの場合
、イメージセンサ11とターゲット2は、個々に別々に
回転するようにしておく。)また、第15図(b)のよ
うな同心円状のターゲット2を用いれば、ターゲット2
の回転を行なわなくても、イメージセンナ110回転の
みにより同様なことを行なえる。なお、ターゲット2の
透光部のピッチとその大きさは、イメージセンサ11の
分解能に合わせて最適なものが選択される。
さらに、上述の実施例では、乱視レンズLを手で回しな
がら乱視軸の角度を設定したい場合に、第4図のブロッ
ク47、ブロック48によっていたが、第16図で説明
する如き原理によ・でも良い。第16図(a) 、 (
b)a A −D変換器19の出方信号を示したグラフ
であり、横軸はターゲットの回転角θであり、角度範囲
Φは振動範囲を示し、縦軸は信号のレベル(I)である
。また第16図(c)は、第16図(a)においてター
ゲットが振動範囲の各端部にある場合に得られる信号レ
ベルを示したもので、横軸は時間t1縦軸は信号レベル
Iである。
第16図(d)は第16図(b)に対応しており、第1
6図(c)と同様のグラフである。第16図(e)はタ
ーゲ゛ットが振動範囲のいずれの端部にあるかを識別す
るだめの論理信号である。マイクロコンピュータ12は
、現在のピーク位置から士数度の範囲で第16図(e)
の如き周期でターゲラ)2(CCDイメージセンサ11
も同様)を振動せ17める。マイクロコンピュータ12
を、A−D変換器[2の出力信号から第16図(C) 
、 (d)の如き信号を作成し、第16図(、)の論理
信号との位相を比較する如く成しておくことによって、
第16図(a)の如く乱視レンズLが回転し、ピーク位
置がターゲットの撮動中心p、より大きい角度位ftK
ずれた場合と、第16図(b)の如くピーク位置P2が
ターゲットの撮動中心p、より小さい角度位置にずれた
場合とを識別することができ、かつ振動範囲の両端部に
おける信号レベルが等しくなったことにより信号のピー
ク位置が振動中心に一致したことを知ることができる。
従って、乱視レンズLの乱視軸の方向を乱視レンズLの
回転に追従して表示することができる。
また、イメージセンサ11として2次元のものを用いれ
ば、第2ハーフミラ−9、光位置検出器ioを省くこと
ができる。発光ダイオード1.8を択一的に点灯したり
、実施例の如く発光ダイオード8を点滅する等によ・て
、屈折力の測定かプリズムの測定かを識別することがで
きる。
さらに、上述の実施例では歯車装置Hを用いて、ターゲ
ット2とイメージセンサ1■を、互いの位置関係を保持
したまま回転させていたが、ターゲット2とイメージセ
ンサ11を固定し、第2コリメータレンズ4と第1ハー
フミラ−3との間にイメージローテータを配設する如く
成しても良い。
この場合、発光ダイオード8の像位置がイメージローテ
ータの反射面によりてずれるので、あらかシメマイクロ
コンピュータ12にイメージローテータの回転角度に対
する補正値を入れておき、プリズム測定時には、光位置
検出器10がらの信号を補正してプリズム量を求める必
要がある。
以上述べた如く本発明によれば、ターゲツト像のコント
ラストをイメージセンサによって検出しているので、検
出素子の分解能やりニアリティに影響されずに測定が行
なえると共に、反射鏡を用いているだめに深度が非常に
浅くなり、反射鏡のわずかな移動によって大きなコント
ラストの変化が得られるので、簡単な構成でかつ高い精
度の測定が安定に行なえる光学系の検査装置を得ること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例の光学系、第2図は第1図と共
に用いられる電気系のブロック図、第3図(は第1図で
用いられるターゲット2の正面図、第4図乃至第8図は
第2図で用いられるマイクロコンピュータ12のフロー
チャート、第9図はイメージセンサ11とターゲツト像
2′の関係を説明する図、第1O図はマイクロコンピュ
ータ12に入力される信号波形図、第11図は第2図で
用いられる検波回路15の出力波形図、第12図はター
ゲットの他の例を示す正面図、第13図は第12図のタ
ーゲットを用いた場合のイメージセンサとターゲツト像
の関係を説明する図、第14図は第3図のターゲットと
第12図のターゲットによってマイクロコンピュータに
入力される信号を比較した図、第15図はターゲットの
他の例の正面図、第16図は被検レンズLの乱視軸の角
度を設定する原理を説明する図、である。 〔主要部分の符号の説明〕 l・・・発光ダイオード、  3・・・第1ノー−フミ
ラー、4.5・・・コリメータレンズ系、   7・・
・反射鏡、11・・・−次元イメージセンサ、  H・
・・歯車装置。 出願人  日本光学工業株式会社 代理人  渡  辺  隆  男 ″A=″1囚 f4図 75区 オ6霞 オ′7日 オ′8図 才q図 才10図       オフ7図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. コリメータレンズ系と、該コリメータレンズ系の光軸を
    2分する光学部材を設け、該2分された光軸′D〜方に
    前記光軸と直交する直線方向へ規則的に配列した光射出
    部材を配役し、他方には前記光射出部材と光学的に等し
    い位置に該部材からの光を測光するイメージセンサを配
    設し、前記光射出部材の光を前記コリメータレンズ系に
    よって結像せしめ、該像を再び前記コリメータレンズ系
    によって前記イメージセンサ上に結像させるための反射
    部材を光輸方向に移動可能に設け、前記光射出部材と前
    記イメージセンナの位置関係を保持したままで、前記光
    射出部材からの射出光を全方向から前記コリメータレン
    ズ系に入射せしめる如く走査する手段、を設けたことを
    特徴とする光学系の検査装置。
JP17867782A 1982-10-12 1982-10-12 光学系の検査装置 Pending JPS5967440A (ja)

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