1344729 、九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 •本發㈣有M —種進行液晶面板或半導 •電子零件之導通狀態檢査或動作特性檢査 = 子零件之電極或端子，+尸 按間在该電 觸件嚴-芬，首Φ 進订電乳讯號收發訊之導電性接 觸件早兀及導電性接觸件。 【先前技術】 卩往’於有關半導體積體電路等檢査對象之電氣特性 =之技術領域’已知有關於藉由對應半導體積體電路之 連接端子而配設複數個導電性接觸件，且使導電性接 =物理方式接觸在連接端子，而具有確保電性導通功能之 導電性接觸件單元的技術。該導電性接觸件單元之 至少具備複數個導電性接觸件、及用以保持導電性接ς件 之導電性接觸件保持具。此種導電性接觸件單元中，為了 能夠對應伴隨著作為檢査對象之半導體積體電路等的微細 >化傾向而之連接端子排列間隔的狹小化’因此揭示有一種 使複數個導電性接觸件之排刺隔狹小化的各種技術。 例如就貫現排列間隔狹小化的導電性接觸件而t， 揭示有一種藉由板狀導電性構件，一體形成與檢査對1等 接觸的接觸部及對該接觸部施以彈壓的彈性部之構造。該 技術中’理論上可藉由將板狀導電性接觸件朝板厚方向排 列，而將複數個導電性接觸件配置在狹小區域，因此可實 現對應設於檢査對象的連接端子之排列間隔狹小化之導電 性接觸件（參照例如專利文獻1 )。 ％ 318780 6 1344729 [專利文獻1]曰本特開2〇〇卜343397號公報 【發明内容】 [發明所欲解決的課題] 上述具備板狀導電性接觸件之f知導電性接觸件單 兀’係具有在導電性接觸件保持具形成導引孔，將導電性 =件收：在該導引孔之構造。此時’根據對應導電性接 數的導引孔之排列間隔，來規定導電性接觸件之 導引孔係配合作為形成對象之導電性接觸件 保持具的物理性強度等條件，來限制其形成間隔的最小 。儘管導電性接觸件本身具有適於排列間隔狹小 =之構成’但由於未騎㈣,料料保持具的構造施以 、分的對策，因此就導電性接觸件單元整體來看時 以使導電性接觸件之排列間隔狹小化的情形。 、 而且，利用習知導電性接觸件單元進行檢査時， 望進行操作的操作者可目視導電性接觸件前端和檢査 之接觸，但於習知導電性接觸件單元之情形，從上方看护， :二的導電性接觸件前端比導電性接觸件保持具側面:’ 2内側之位置，因此在觀察與導電性接觸件前端部附近 的仏査對象之接觸狀況時’操作者本身必須以彎 規視接觸部位附近’隨著觀察次數之增加， 擔亦變大。 ’ 、、 再者，習知導電性接觸件單元中，導電性接觸件前端 ㈣月吳彈性體伸縮方向大致平行的方向伸縮，因此益法充 分去除形成在檢査對象表面的氧化膜或附著在其表面的污 318780 7 1344729 物等’而有無法獲得穩定之電性接 對導電性接觸件施加過度之負載之虞― 本發明係鑑於上述課題而研創者，其目的在於提供— 種可對應排列間隔之狹小化，並且可容易地從上方目視與 才《査對象之接觸狀況，在不施加過度之負载之情形下亦可 獲得穩定的電性接觸之導電性接觸單元及導電性接觸件。 [%•決課題的手段] 為了解決上述課題以達成目的，本發明之導 件單元係收容在與電路構造之間分別進行電性訊號之輸出 复數Γ!性接觸件’而用以電性連接不同的電路構 ^ ，、特敛為具備：導電性接觸件保持呈， 固第1導引溝及第2導引溝，該第！導引溝係以滑二 自如方^合保持前料電性摘狀長邊 =第2導引溝係與前述第1導引溝相對向配置：： =如入在前述第1導引溝之前述導電性接二 導電性接觸件，具有第^觸 復數個别述 第1連接部、以及第2連接妾觸部、彈性部、 ^^ + 接邛忒弟1接觸部係以物理方 式接觸在則述不同的電路構造之任一者， 物里方 以物理方式接觸在與前述第1接觸部所接觸 觸部係 構造，該彈性部係介於前述第1接觸部和前電路 之間且在長邊方向自由伸縮，該 '接觸部 述彈性部和、f楚1社 接部係用以連接前 U讀袖别述第J接觸部，該第2連 逑接則 述彈性部和前述第2接觸部，且形 ^用以連接前 兩貝通在厚度方向之 3J8780 8 1344729 開口部，當收容在前述導電性接觸 ..2導引溝端部朝前述導電 持’從前述第 '棒狀構件，係貫通形成在複之外部突出；及 具有的别述第2連接部之前述開口部， 厅2 性接觸件保持具而成者。 接在别述V電 再者，本發明之導電性接觸件單元之特徵，係 叙明中，前述導電性接觸件所 …述 少之-部分，係比前述導電性接：=接觸部之至 法線方向突出。導刀的外側面更朝該外側面之 發明==之導電性接觸件單元之特徵，係於上述 =性接觸時，施加在前述第2接觸部的負 又了則述第1導引溝及前述第2導引溝分別延伸的方向交 •發明：者丄：：明之導電性接觸件單元之特徵，係於上述 ，月中，則述棒狀構件之與長邊方向垂直之 形成在前述導電性接觸件的前述開口部之面積小。4 間，電性接觸件係電性連接不同的電路構造 特徵為〜Ϊ構造之間進行電性訊號之輸出入者，其 -者物理=觸第=:與前述L同：電路構造之任 觸者不同的電 心與和前述第1接觸部所接 接觸部和前^ ^物理性接觸；彈性部，介於前述第1 处弟2接觸部之間，且於長邊方向自由伸縮； 318780 9 丄 第i連接部，用以連接前述、^_ ^ ^ .'第2連接部，用以連接前过f别述第1接觸部；及 述第2連：S =之開口部；前述第2接觸部係比前 [發明之效果]見 端部在更朝寬度方向突出。 根據本發明之導電性 _ 觸件保持具，1分別且η牛早70 ’係具備：導電性接 該第1導μΠΛ 第1導引溝及第2導引溝， 長邊方向之—方緣'月動方式嵌合保持導電性接觸件之 溝相對向配置，=二Γ導引溝係與前述第… 溝之前述導電性接觸Ί Γ式將嵌入在前述第1導弓1 板狀之複數個方緣端部予以嵌合保持；形成 接觸部、彈性^第^接觸件’具有第1接觸部、第2 接觸部係盘前1連接部、以及第2連接部，該第】 第2接：;=L的電路構造之任-者物理性接觸，該 •構造物理::ΓΓ述第1接觸部所接觸者不同的電路 #第2接^ 卩❹於前述第1接觸部和前述 弟ζ接觸部之間且在 |不月j述 用以連接前述彈性部和該第1連接部係 方向貫前述第2接觸部’且形成有在厚度 時，自舒、p 〇卜§收容在前述導電性接觸件保持且 部突出=導引溝端部朝前述導電性接觸件保持具外 大出，及棒狀構件，係 ^ 觸件所分別且有穿Ή在稷數個前述導電性接 在前述導電性接觸：：接部之前述開口部’且固接 呆持具而構成，藉此可對應排列間隔 318780 J44729 _ 之狹小化，並且可宏县士士 、況'在不施加過::=ίΓ視與檢査對象之接觸狀 ,·.觸。 又之負載的情形下亦可獲得射的電性接 觸，而據本發明之導電性接觸件，係具備：第1接 二=_造之任-者物理性接觸，♦第2接觸 接觸了二㈣部所接觸者不同的電路構造物理性 間，且於异"於則述第1接觸部和前述第2接觸部之 .彈性部向自由伸縮，·第1連接部，用以連接前述 彈性：=第=;及第2連接部，連接前述 2接觸部’且形成有於厚度方向貫通之開 L稭由使前述第2接觸部比前述 :端:更朝該寬度方向突出，而可對應排列間=之 方目二:以導電性接觸件保持具保持時，可容易地從上 形下對象之接觸狀況，在不施加過度之負載之情 下亦可獲得穩定之電性接觸。 【實施方式】 h 麥照附圖說明用以實施本發明之最佳形態（以下 = ·τ_態」此外’圖式係模式性者，應注意各部 刀厚度和寬度的關係、各部分厚度比率等亦有與實際者不 =情形’圖式相互間當然亦包含彼此的尺寸關係或比率 不同的部分之情形。 (貫施形態1) 第1圖係表示本發明實施形態i之導電性接觸件單元 、構成之斜視圖。第i圖所示之導電性接觸件單元！係進 318780 11 1344729 ^行作為檢査對象之液晶面板等電路樣1认·曾 動作特性檢査者，具備複數個導=二=、檢査: ，.保持複數個導電性接觸件2之導電f 以收合 .接在導電性接觸件保持具3以^ =觸件㈣具3、固 的棒狀構件4。 數料電性接觸件2 之導=説明導電性接觸件2…圖係本實施形態1 ==件2的構成之示意圖°以下説明中，分別將 =中：垂直方向稱為「導電性接觸件2的長邊方向」、 將第2圖中的水平方向稱為「導電性接觸件2的寬度方 =將與該等長邊方向和寬度方向正交之方向稱為「導電 性接觸件2的板厚（厚度）方向」。 第2®所示之導電性接觸件2係用以確保不同的電路 ^間之電性連接者’具備··第1接觸部21，係與預定的 ，構造（具體而㈣包含檢査用電路之電路構造熵理性 第2接觸部22係、與不同於第】接觸部⑽接觸者 #的電路構造（具體而言係液晶面板等檢査對象）物理性接 3 ’彈性部23’係介於第，接觸部21及第2接觸部以之 在長邊方向自由伸縮；第1連接部24,係且有斑彈 ，部23,同的寬度及厚度，且連接第i接觸部？！及彈性 ^ 第2連接部2 5，係具有與彈性部2 3相同的寬度及 旱度且連接第2接觸部22及彈性部23，並形成有貫通 在^厚方向的開口部26。第2接觸部22係比第2連接部 25寬度方向的緣端部更朝該寬度方向突出。該導電性接觸 件2係以利用導電性材料而形成為呈板狀。 318780 12 此外，亦可在導電性接觸件2 絕緣層。而且，筮丨$面的局部或全部形成 ' 苐1連接部24及第2連杻邶9ζ + J彈性部23不同的寬度及/或厚度。4接心亦可具有 接著，説明導電性接觸件保持具3。 持具3係如第！圖所示，具有：保===保 方體狀的外觀形狀，貫通上面部3“二二=長 圖广且用以保持複數個導電性接觸件；及固接用°未 32，係分別形成在隔著佯持 σ 3b之預定㈣"者保持。P 31而彼此相對向的側面部 電性二:二广X固接棒狀構件4之端部。第3圖係導 3圖所-的上面部％的局部放大斜視圖。如第 :第Γ導;丨於:3Γ部31形成下述咖 滑動方式嵌===電性接觸件2時，以自由 端部·及^ 觸件2的寬度方向之一方緣 第2導引溝仙，係與該第1導引溝仏 雌的導^置’以自由滑動方式將嵌人在該第1導引溝31a 鲁持ί觸件2之寬度方向的料以嵌合保 雷_對之第1導引溝31a及第2導引溝31b係具有將導 呈古接觸件2定位於與長邊方向垂直之面方向的功能，並 '導引導電性接觸件2之伸縮動作的功能。而且，成對 =弟1導引溝31a及第2導引溝31b中相鄰之對彼此之間 ^完全相等且彼此平行。 第Λ導引溝31a及第2導引溝3ib係分別具有相同的 1=(设定為w)，且具有相同的溝深（設定為d)。其中的溝 ^要此確貫地保持導電性接觸件2而使之不脫落即可， 318780 13 1344729 ::第I導引溝31a的溝深和第2導引溝仙的溝深可以 第4圖係包含導電性接觸件保持具3的保持部3 構成之導電性接觸件單元】的内部構成之示意圖。第4圖 所不之導電性接觸件保持具3係相當於第3圖之心二 =右如第4圖所示，第】導引溝仏及第2導引溝 :有沿著第4圖之z軸方向（與溝寬方向垂直之 此 平行地延伸之構造。第！導引溝…在第4圖之 = 延伸的長度係比第2導引溝在相 向 ^ 屏在相冋z軸方向延伸的長度 引溝^雖到達導電性接觸件保持具3的底面 但第1導引溝31a僅到達底面部 方 位置。 〜土且上万之 觸件構成的導電性接觸件保持具3係將導電性接 在第1圖及第4圖所示之座標系(xyz) 見度方向與X軸方尚正―,^ 保符成 邊方向盘/反厚方向與乂轴方向平行、長 > P，、Z軸方向平行。因而，導電性接觸件2 # JL t 第1導引澧、 〒电丨王丧蜩仵2係具有比 而且，導電性接2導引溝训之溝寬⑷略小的板厚。 部26可由棒狀構件之長：：向的長度係形成為：開口 21及第？垃鉬 貝通’且在不施加負載於第1接觸部 接觸二 的狀態下(第4圖所示之狀態)，第2 接觸。卩22的前端比導電 朝"_突出預：量電( = : 的側面部3。更 底面部3d朝為以，且其前端從 h)。而且，第2=的方向突出預定量(將突出量設定為 接觸部22係形成在從平行於彈性部23或 318780 14 1344729 第1連接部24之長邊方向的對稱㈣偏離預^離之位置 (將偏離量設定為Δ0。突出量占…、以及偏離量係 依據導電性接觸件2或導電性接觸件保持具3的大小、須 施加在檢査對象之負載等條件而適當決定。 /、 從1止與導電性接觸件2電性連接而產生短路的觀點 =，：ΓΓ件保持具3係以利用絶緣性材料來形成 為佳。5式舉一例，利用低熱膨脹的合成樹脂來形成導電性 由㈣^形成第】導引溝3ia及 ^ t 即可。另外，亦可藉由例如氧化銘_)、 乳化錯（Zr〇3)、二氧化石夕（Si〇2)等陶究、石夕、環氧等埶硬 =:母：碳酸醋等工程塑夥等而形成導電性接觸件保 ^具3料材’並藉由鞋刻等加工技術而形成第】導引溝 二而且’亦可利用其他適當材料(不 的部分（包含第丨並對能與導電性接觸件2接觸 適當的_^、。 4、h ^ 2導引溝31b的部分）塗布 ^電性接觸件保成’而取代利用絶緣性材料來形成 部3 = 1=:=導電性接觸件2裝設在保持 兩端部插通在分別妒成開口部26之後，將其 的側面部3一==^㈣件料Μ彼此相對 持具3。棒狀 邠2，而固接在導電性接觸件保 複數個導電11#由―:欠貫㈣保持部31所保持的 觸件2從伴持^件2的開口部26 ’而發揮防止導電性接 保持㈣脫落的功能，並發揮對導電性接觸件2 318780 15 賤予初期彎曲的功能β .棒狀構件4之與長邊方向垂直的剖面係形 •角呈倒角的形狀’其面積係比導電性接觸件2二 口部26之面積小。夢由抓 有的開 接觸件…疋此種剖面形狀，可使對導電性 且H :形成固接用孔部32時的加工容易地進行。而 觸件前述剖面形狀，可使施加負載於導電性接 定負載於導件2的動作順暢，亦可確保施加預 接觸件2時之棒狀構件4的支撐穩定性。 ^查對象接觸在導電性接觸件2時，開 二棒狀構件4分離，而可相對於棒狀構件4自由移動。 所述’導電性接觸件2可產生微小的旋轉。 於上述者，ST件4 J與長邊方向垂直的剖面形狀不限 固接用m、" ’、例如多角形或正方形等’亦可為圓形。 =孔糊形狀當然亦可依據棒狀構件4的剖面形狀 有鑑於該棒狀^ ^棒㈣件4亦由絕緣性材料所形成。 且即使施加負載亦少彎曲_接觸件L故以藉由剛性高 佳。 1瓷卓絶緣性材料來形成為最 第5圖係表示在導雷 電路基板之狀態的局部放，持具3上方’安裝有 立與產生輸出檢杳用-中該電路基板係用以確 便於比較，利用1點鏈線圖示“圖所示之 318780 16 1344729 2的位置。第5圖所示之雷I t n M ^ ^ ^ 電路基板1 00係於聚醯亞胺等所 連=一方表面’形成有錦等所構成的多數 配線及連接用之電極者。第5 其也刚Μ❼ 有弟5圖係顯示進行定位而使電路 :::二=導電性接觸件2的第1接觸部21接觸， 保持具3同様的材料所構成的固定 =二及導電性接觸件保持具3,挾持電 一 土板1 〇〇固定在導電性接觸件單 疋1 % ’利用螺絲等將導電性接觸 ⑼鎖w㈣和固定構件 ^ 此檀方式從第4圖所示之狀熊 轉受到第5圖所示之狀能時u 〜 .^ 在各導電性接觸件2施加有 起口於作用在本身之重力以外 、^ ^ 夂J刀里之負載（初期負載）， 彈性邰23 ^朝長邊方向收縮。 路ί去電阁路基^反1〇0的另一端係如上所述連接在訊號處理電 i未圖示在與接觸在第2接觸部22的檢査對象之間進 :觸二Si之收發讯。此外’第5圖中，與使電路基板10° 導電性接觸件2，但取代之，亦可設計成使訊號輸 出電路的連接用端子直接接觸在導電性接觸件2之構成。 習知導電性接觸件單元係利用平板狀蓋構件將初期負 ==在導電性接觸件，但利用該蓋構件時，因為該蓋構 令尽度部分而必須增加導電性接觸件前端之接觸部的突 =，因此施加負載時，不穩定部分所佔的比例變大，而 則端附近容易彎曲的間題。本實施形態1之導電性接觸 件f元1不使用蓋構件，因此沒有產生前述問題之虞，可 將第1接觸部21形成為明顯地比以往小。 318780 17 r艇j者’ 日月關於導電性接觸件單元1和檢査對象之接 / 、 ―1圖係檢查對象200剛接觸在導電性接觸件 接觸22之後’導電性接觸件2下端部附近的狀態 τ 圖。此外，第6-2圖係使檢查對象200上升到檢查 国、μ置％導電性接觸件2下端部附近的狀態之示意 圖。第6 —2圖中 ^ • T ’為便於比較’藉由1點鏈線圖示剛接觸 後的導電性接觸件2之位置。 立第2接觸。卩2 2的前端係如參照第4圖所説明，從彈性 p、3或第1連接部24之長邊方向的對稱軸（中心軸）〇偏 離。因此，作用在接觸於檢査對象2⑽的第2接觸部 月J知邛的負載之作用線並未通過導電性接觸件2的重 口此在導電性接觸件2會產生力矩。結果，從第6一^ 圖所示之狀態轉變為第6一2圖所示之狀態之間，導電性接 觸件上係彈性部23收駐開口部26從棒狀構件分離4， 且因則述力矩而些微地旋轉。該旋轉係因彈性部23之寬产 籲方向的緣端部和第1導引溝…及第2導引溝31b之間^ 在有微小隙間而產生者。 由於上述旋轉’第2接觸部22係在第6-2圖以順時鐘 方向紋轉微小角度，且一面持續與檢査對象2〇〇之接觸狀 態，一面在檢査對象200表面上移動。更具體而言，第2 接觸部22的前端係從初期接觸點Ρι到最終接觸點^，一 面在檢査對象2GG上滑行刮過，—面朝χ軸向移動達 〇)。如此，藉由第2接觸部22前端在檢査對象2〇〇上移動 的方式，去除形成在檢査對象2〇〇表面的氧化膜或附著在 318780 18 1344729 其表面的污物，而可獲得在與檢査對象2〇〇之間穩定的電 ·.=接觸。此時，若適當地控制檢査對象200的移動速度（上 .·-=速度），則第2接觸部22前端不會對檢査對象2〇〇表面 •造成大㈣’亦不會對導電性接觸件2施加過度之 因此更為理想。 、
乂上°兑明之導電性接觸件單元1係以局部嵌入在沿著 導電ί·生，觸件2的彈性部23之伸縮方向延伸的第j導引溝 31a及第2導引溝31b之狀態，保持導電性接觸件2。因此， 可防止產生板狀導電性接觸件2特有的問題，亦即可防止 彈性部23收縮時的壓曲及扭曲，而不會產生起因於上述壓 曲及扭曲之產生造成彈性部23之彈簧特性劣化。因而，即 使在適當範圍内對導電性接觸件2施加—定以上之負載， 亦不會產生壓曲或扭曲’可實現大衝程，而可在與檢査對 象200之間獲得所希望的接觸狀態。 斤而且’在導電性接觸件單幻中，藉由第丨導引溝仏 #及弟2導引溝31b來保持導電性接觸件2，因此可減少導 電性接觸件2和導電性接觸件保持具3(之保持部31)之間 的接觸面積並減少滑動阻力，而可順利地進行導電性接觸 件2的伸縮動作。 再者’在導電性接觸件單元1 t，第1導引溝31&及 第2㈣溝31b的溝寬⑷為與導電性接觸件2的板厚相同 即可，彼此鄰接的第1導引溝3la之間及第2導 =之Γ各間隔，只要是可充分確保鄰接的導電性 1的絶緣性之值’則可為任意小的値。因而， 318780 19 1J44/29 可使複數個導電性尨g 地對應接觸對象之電：的排列間隔狹小化’而可充分 排列間隔的狹小^構造所具有的連接用電極或端子之 此外’在導電性接觸件單元 貫通在導電性接觸件2,而對導電性接觸件= 犬構件4 曲，並防止導電性接觸件2之脫落。結果牛=二=彎 部22的前端、亦即導電性接觸件 第2接觸 保持具3的底面部3 d朝錯直下方:二電性接觸件 言之，在導電性接觸件單开〗由叮的大出置h變小。換 因此可防止導電性接觸件 二使弟2接觸部22變小， 電性接觸件2^二料4穩定地保持導 及/或第2導引溝仙脫落“士果，可 吏導電性接觸件2的位置精確度提升 觸件單元1的可靠性及耐久性。⑽升導電性接 件2 在組裝導電性接觸件單元1時，將導電性接觸 導=二藉由將寬度方向 =la及弟：導引溝31b而完成。因而，相較於以往 效果。#㈣早％容易組裝’亦可獲得降低製造成本的 -根據以上説明的本發明實施形態i之導電性接觸件單 係具備：導電性接觸件保持具，分別具有複數個第1 ^弓溝及第2導引溝’該第！導引溝係以自由滑動方式嵌 古保持所收容的導電性接觸件長邊方向一方之緣端部，該 3]8780 20 第2導引溝係與前述第】導^溝 、 方式將嵌入在前述第 ’ ° i ’以自由滑動 緣端部予以嵌合保二=之㈣電性接觸件另-方 件，具有第】接截、β / &狀之複數個前述導電性接觸 以及第2連接:::/2接觸部、彈性部、第1連接部、 任-者物理性接觸、i接觸部係前述不同的電路構造中 觸部所接觸者的電路構接觸部係與不同於前述第1接 前述第！接觸心ί 接觸，該彈性部係介置於 伸縮該第連 嗜第2、表垃Λ /連别述彈性部和前述第1接觸部， 成有在严广連接前述彈性部和前述第2接觸部，且形 件伴持ΓβΓ方向貫通之開口部’當收容在前述導電性接觸 ^呆持從前述第2導引溝至端部朝前述導電 ^ =具外部突出；及棒狀構件，係貫通形成在複數個前 邻 接觸件所分別具有的前述第2連接部之前述開口 心Ϊ固接在前述導電性接觸件保持具而成者；藉由使前 “導電性接觸件所具有的前述第2接觸部之至少一部八 比^述導電性接觸件保持具之外側面亦即在内側形^前 述弟1導引溝的部分之外側面更朝該外側面的法線方向突 出即可對應排列間隔之狹小化，並且可容易地從上方目 視與檢査對象之接觸狀況’在不施加過度之負載的情形下 亦可獲得穩定之電性接觸。 而且，根據本實施形態1之導電性接觸件，具備：與 2同的電路構造中任一者物理性接觸之第丨接觸部；與和 刚述第1接觸部所接觸者不同的電路構造物理性接觸之第 318780 21 接觸部和前述第2接觸部之間且 接觸部之第1連拉# 部，連接前述彈性部和前述第1 部且形成有在厚度方向貫 ^生朴别述第2接觸 使前述第2接觸部比前述第2】：：之第2連接部；藉由 朝該寬度方向突出^接。卩見度方向的緣端部更 於以導電性接;: = 應=間隔之狹小化，並 檢査對象之接觸狀況，在不施加過;：易=方9視與 獲得穩定的電性接觸。 a貞載的情形下亦可 如此，根據本實施形態丨，奋 性接觸件單元上方容易地進行二:=，可從導電 =確：：電性接觸件前端和檢査對象之物理性接觸， 性接觸二’因此操作者不彡貞^姿勢來觀察導電 ”象之接觸狀況。因而，可進-步提高檢 之作業性、可罪性，並減輕操作者之負擔。 此處，係列舉在檢査對象2〇〇驗晶面板時 :電性接觸件單元1之一實施例。此實施例中，將導電= 觸件2以為板厚2—、寬2,7顏、長】5職。導電性 接觸件保持具3係設定為大約可收容片具有前述尺 之導電性接觸件2,將第】導引溝…及第2導5|溝仙 的溝寬w設定為30"、溝深廿為i5〇"ffl。棒狀構件 全長為大約28mm，將與該其長邊方向垂直之剖面形狀嗖定 為〇‘8minxl.5mm之大致長方形（有倒角）。將第2接觸部"μ 前端從側面部3c突出之突出量&設為〇 4咖、將第^接 318780 22 1344729 ”觸部P前端從彈性部23及第1連接部24的對稱轴偏離之 _扁離量α又為2. 2mm、將第2接觸部22前端部從導電性 ，.接觸=保持具3的底面部3d突出之突出量h設為〇她。 . 藉由如上所述構成導電性接觸件單元丨的方式，可將 導電性接觸件2的彈性常數設定在大約〇 〇lg/#m，且能 以500 # m之彎曲產生5g之負載。該値係與針銷型導電性 妾觸件同等之値，就形成薄板狀的導電性接觸件2而古， 現極大的負載、大衝程者。而且，利用具有上述： 2導電性接觸件單元卜使導電性接觸件2接觸在檢査對 ί2〇〇,並施加預定負載的結果，係於檢査對象_表面 產生大約…m的刮痕。由此，得知 對象200，可確實地去除形杰力甘主 又也偵傷知査 其表面的污物。成在其表面的氧化膜或附著在 (實施形態2) 第7圖係本發明實施形態2之導電性接 ^思圖。以下説明中，分別將第7圖中的錯直方向稱為% 電性接觸件5的長邊方向」、將第7圖中的水平 = 方向」、將與該等長邊方向和宽度方向 之方向稱為V電性接觸件5的板厚（厚幻方向。 第7圖所示之導電性接觸件5係用以確保 構造間之電性連接者，具備：帛1接觸部勺電路 電路構造(具體而言是包含檢査 路係:;預定的 接觸.筮9拉雄加c。 <電路構造）物理性 弟接觸σΡ 52，係、與和第1接觸部51所接觸去不 同的電路構造物理性接觸（具體 。你履日日面板等檢査對 3187S0 23 1344729 „象）；彈性部53’係介置於第〗接觸部51及第2接觸部52 之間，且在長方向自由伸縮；第丨連接部54，係具有和彈 ·.性部53相同的寬度及厚度，且連接第丨接觸部5丨及彈性 •部53 ;及第2連接部55 ’係具有和彈性部53相同的寬度 及厚度，連接第2接觸部52及彈性部，且具有在板厚 方向貫通的開口部56。該導電性接觸件5係利用導電性材 料形成為板狀，除了第2接觸部52及第2連接部55之外 的各邓刀之形狀，係與上述實施形態1之導電性接觸件2 擊所對應的部位之形狀相同。 ¥電性接觸件5的第2接觸部52之前端係形成在從第 1連接部54經由彈性部53到達第2連接部55之寬度方向 緣端部的終端位置（第7圖中最下端）。其意為，本實施形 態2之導電性接觸件5中，第2接觸部52並未比第2連接 部55更朝寬度方向突出。 -立第8圖係本實施㈣2之導電性接觸件單元的構成之 #不意圖1 8圖所示之導電性接觸件單元1()係用以進行作 2檢査對象之液晶面板等之電路構造的導通狀態檢査或動 特性檢査者’具備1有上述構叙複數個導電性接觸 5,導電性接觸件保持具6，用以收容保持複數個導電性 ，件L及棒狀構件7，係貫通形成在複數個導電性接觸 的開口部56,與長邊方向垂直的剖面積係比開口部％ ’、，且兩端固接在導電性接觸件保持具6。 h朝^性接觸件料具6具備保持部61，其係從上面部 63朝預U向貫通於導電性接觸件保持具6内部，以保持 318780 24 才是數個導電性接自g彳生c 第8圖⑽直方w /該保持部61的貫通方向係相對於 σ方向（ζ軸向）傾斜達預定角Θ。換言之，保 I及Λ料件料具6的導钱接㈣5的第1接觸 相對於稱轴（中心轴）0’所指向之方向，係 少有向傾斜達角度0。該傾斜角θ之値至 y有大約1度即可。 導引ΐ:持部61形成有複數個下述之對：直線狀之第1 係於裝設導電性接觸件5時，以自由滑動方 式肷&保持該導電性接觸件5 :直:狀之:2導引溝61b，係與該第丄 :::L動::::，1，61— 且往溝底*延伸之方向以嵌合保持’ 之第1導引溝6la及第2導“二導引溝613長。成對 ^引溝6 1 b係具有使導電性接觸 引=與該長邊方向垂直之面方向的功能，並具有導 伸縮動作的功能。而且，第ι導引溝… ==溝㈣所形成的對彼此中，鄰接的對彼 且彼此平行。此外，導電性接觸件保持具6 =、上述貫施形態i之導電性接觸件保持具3同様地，呈 有插通棒狀構件7而固接之固接用孔部，但未圖示。-在具有以上構成之導電性接觸件單元ι〇中，第2 :第4引聋=的Z轴方向)與第1導引溝61a 及弟2V引溝61b各自延伸的方向形成角度θ(>〇)而交叉 318780 25 U44729 P方式，來決定與檢査對象之位置關係。因此，第2接觸 广P 52刖端係比第1導引溝61 a外側面即側面部6c，更朝x 車由Γ向突出（突出量為$ 2)。因而，從第8圖斜左上方之位 置可看見第2接觸部52的前端，由於可容易地觀察導電性 接觸件5的則端和檢査對象之接觸，因此操作者在檢査時 不須以彎曲姿勢來觀察接觸狀態。 第9圖係使檢查對象3〇〇接觸在 •的狀態之示意圖。在第9圖中，將第8圖的下端部= ^ ’為便於比較，卩1點鏈線圖示檢査對象3GG剛接觸在 $接觸部52前端之後的狀態。其意為，第9圖係對應於 弟6-2圖之圖式。 如第9圖所示，檢査對象300以接近底面部6d的方 胸It軸方向上升而接觸在第2接觸部52之前端時， &接觸部52之前端施加具有第9圖中之z轴方向之朝 崩=載（換言之’從第2接觸部52對檢査對象_施加 。^圖2轴負方向的負載由於該負載的作用線並未 2導電性接觸件5的_，因此在導電性接觸件5合產 :矩二結果’導電性接觸件5因為係檢査對象_施加 負載’彈性部53會收縮且開口部56從棒狀構件7分離， ，由前述力矩而些微地旋轉’使檢査對象3。。的表面上 朝X軸向移動。 鐘二= 部2係在第9圖中以順時 -面2 初期接觸點Ρ3到最終接觸點Ρ4, 面在仏査對象300上到過，一面朝 318780 26 1344729 :在’可去除形成在檢査對象3GG表面的氧化膜或附 電物’而在與檢査對象3°°之間獲得穩定之 的移動速態2中’若適當地控制檢査對象3〇0 大損傷，亦不會在導電性接觸件5施加 X之負載，因而較為理想。 此外’導電性接觸件5係利用 性接觸…Γ 件7係利用與上述實施形態1之導電 現。觸件保持具及棒狀構件各自同様的絕緣性材料而實 單元之實_態2之導電性接觸件 第1導:溝:第！=觸件保持具’分別具有多複數個 式山人 該第1導引溝係以自由滑動方 > :二的Γ性接觸件之長邊方向-方緣端 與前述第1導引溝相對向配置，以自 另：=”嵌入在前述第1導引溝之前述導電性接觸件 連接二第2接觸部、彈性部、第1 路構造中任__者物理該弟1接觸部係前述不同的電 1接= 觸，該第2接觸部係與和前述第 俜八置所接觸者不同的電路構造物理性接觸，該彈性部 第:Π::前述第2接觸部之間= 人連接部係'連接前述彈性部和前述第 318780 27 1344729 1接觸部，該第2連接部係遠桩贵、+ 觸邻，且m淨性部和前述第2接 觸。P且形成有在厚度方向貫通之開口部 接 導電性接觸件保持具時，從前 田欠令在則述 ⑽觸件保持具之外部突出；及棒狀構 ： =前述導電性接觸件所分別具有的前述第二: 之削述開口部，且固接在前述導電 者；前述第2接觸部和前述不同的電路構造中任二=物 理性接觸時，藉由使施加在前述第2接觸部的負載之方 2、與前述第1導引溝及前述第2導引溝分 :又之方式，可對應排列間隔之狹小化，且： 方目視與檢査對象之接觸狀況，在不施加過度 = 形下亦可獲得穩定之電性接觸。 貞載的、 而且’本實施形態2中，實際檢査時，可從導電性接 ^單元上方容易地進行藉由目視或顯微鏡之觀^ = 確認導電性接觸件前端和檢査對象的物理性接觸，一面進 =檢査作業’因此操作者不須以彎曲姿勢來觀察導電性接 檢査對象之接觸狀況。因而’可進一步提升檢査的 作業性、可靠性並減輕操作者之負擔。 (其他實施形態） 至此’實施本發明的最佳形態已詳述實施形態1及2, 仁本發明並非限定於該等兩種實施形態者。例如，亦可藉 由利用實施形態2中的導電性接觸件保持具，收容保持： 述貫施形態1之導電性接觸件，來構成導電性接觸件單元。 而且，導電性接觸件的第2接觸部形狀係應根據該導 318780 28 :::::的材質、收容保持該導電性接觸件的導電性接 =件保持具之形狀、應施加在該導電性接觸件保持具的負 檢査對㈣賴等各㈣件而決定者，只要具備本發 明之技術特徵，就可以針對其形狀細部進行適當變更。 、再者’本發明之導妹接觸件單元絲了檢査液晶面 板^’亦可適用於搭載有半導體晶片的封裝基板或用於 晶圓等級檢查的高密度探測單元。 如此，本發明係可包含此處未記載的各種實施形態等 者，只要在不超出中請專利範圍所特^之技術思想之範圍 内’可施行各種設計變更等。 [産業上之可利用性] 如上所述，本發明之導電性接觸件單元及導電性接觸 件，係適用於進行液晶面板或半導體積體電路等電子零件 的導通狀態檢査或動作特性檢査時。 【圖式簡單說明】 鲁 第1圖係表示本發明實施形態1之導電性接觸件單元 的構成之斜視圖。 第2圖係本發明實施形態1之導電性接觸件的構成之 示意圖。 第3圖係導電性接觸件保持具之上面部的局部放大斜 視圖。 第4圖係本發明實施形態1之導電性接觸件單元的内 部構成之示意圖。 第5圖係表示在導電性接觸件保持具之上方，安裝有 29 318780 1344729 連接在檢查”路的電路基板之狀態的局部放大圖。 雷^㈠圖係使檢查對象接觸在本發明實施形態1之導 電生接觸件單元後的狀態之示意圖。 第6-2 電性接觸件 第7圖 示意圖。 圖係使檢查對象相對於本發明實施形態i之導 單元上升到檢查時的位置時的狀態之示意圖。 係本發明實施形態2之導電性接觸件的構成之
第8圖係本發明 内部構成之示意圖。 之實施形態2之導電性接 觸件單元的 性接觸/ = 相對於本發明實施形態2之導電 觸件早凡上升到檢查時的位置時的狀態之示 【主要元件符號說明】 ％、圖 5 導電性接觸件 3a、6a上面部 3d、6d底面部 21、51第1接觸部 23、53彈性部 25、55第2連接部 31、61保持部 31b、61b第2導弓丨溝 1〇〇 電路基板 200、300檢查到象 P2、P4最終接觸點 6 1、6 2、h突出量 1、10導電性接觸件單元 3、6導電性接觸件保持具 3b、3c、6c側面部 φ4 ' 7 棒狀構件 22、52第2接觸部 24、54第1連接部 2 6、5 6開口部 31a、61a第1導引溝 32 固接用孔部 101 固定構件 Pl、P3初期接觸點 △ 1 偏離量 318780 30