TWI301215B - Flat panel display manufacturing apparatus - Google Patents

Description

1301215 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係與一種可於真空條件下在一基板上執行如沉積或蝕 刻等預定製程之平面顯示器製造裝置有關者。 、 【先前技術】 通常，一般所稱之平面顯示器（nat pane；l dispiay，FpD)， 包括液晶顯示器（liquid crysta丨display，LCD)、電漿顯示器 (plasma display，PDP)、及有機發光二極體顯示器（〇rganic light-emitting diode display)等，多指大尺寸平面顯示裝置而 言，而在製作這些平面顯示器之過程中，用以蝕刻基板或沉積預 設材質於基板上之平面顯示器製造裝置，其重要性實不容忽視。 此平面嘁示斋製造裝置係可運用濺鍍姓刻法（sputter的比丨职）、 _子反應姓刻法（reactive ion etching)、或電漿加強式化學氣 相 /儿積法（plasma enhanced chemical vapor deposition，PECVD) 等，去執行預定製程。 在真空條件下執行一預定製程之平面顯示器製造裝置通常包 括有·一連結於向頻電源之上電極、一於接地時用以支撑基板之 下電極、及一如氣體供應系統與排氣系統等用以在基板上執行一 預定製程之基板處理單元。 第1圖所不係一傳統平面顯示器製造裝置之斷面結構圖。 如第1圖所示，一平面顯示器製造裝置1包括有一上電極10 與一下私極20 ’其中該下電極2〇之上放置一基板以供施行一預定

647-FCRiP 1301215 衣矛玉又，相當數量之昇降卿柱32係+ 定位置，㈣確言之，係穿觸==牙偏下紐洲之某些預 22 ^ ifhw^ir^ ' α屯極20之某些昇降腳柱穿孔 ^ ^ /、載或卸除基板之用。 而=為降腳柱32係連結於一單一昇降腳柱支撐件 柱納降她32得以同時進行蝴動，其中該昇降腳 支撐m Γ前辭面顯㈣製造裝_，域昇降腳柱

當昇降腳柱支撐件34如第！圖所示設入該平面顯示器努紗 =時’平義抑製造裝置丨之⑽容魏會對應降雜 撐件34所具有之高度而增加。更明確言之，平面顯示器製造裝 置:之内部容義置人糾腳蚊料34而增大之同時，要將平 面顯不器製造裝置1㈣減高度真空所糾間也會相對延長， 故而平面顯示H製造裝置i之作業效率不免要受到影響。騎， 由鮮轉示器製造裝置i _藉由錢之產生以便在基板上執 行預又製权’因此也將導致該平面顯示器製造裝置^内部溫度 升^因為平面顯示·造裝置1内部溫度升高，所以置:ί 之昇降腳柱支撐件34遂發生變伽致其本身厚度增加，而此厚度 腳柱支作=緖合有複數個昇降_支撐件驅_6。該昇降 人切系驅動轴36係穿過該平面顯示器製造裝U之底部而結 二_裝置外部之外板38。該外板__與之結合之驅動 =0予以驅動’進而驅動該等昇降腳柱支撐件驅咖6與昇 牛P枝支料34’使得該昇降腳柱⑽能夠垂直運動。

647-tCRip 6 1301215 之增加又進—步擴大該平面顯示器製造裝置i之 導致辦厚之料雖切件34在結構上 還有’設於平面顯示器製造裝置1内部之昇降腳柱支撐件 生其保養與維修工作進行不易，且前賴以切該昇降腳柱支 :34之外板38亦進而造成平面顯示器製造裝置i之結構 1匕。 該傳統平賴㈣製造裝置丨之糾_ %與科腳桂支撐 件34都是鋁製品，且兩者皆經過陽極表面處理，其中該等鋁掣昇 降腳♦主32在完成-預定製錢，會遭受所產生之電漿攻擊而= 狐光以致受損或破壞，且其形成之不純粒子對於基板上之 勻度會有貞面影響。 Μ 又’由於該昇降腳柱32容易折損，因此有必要經常更新，此 —缺點也難免影響到該傳統平面顯示器製造裝置丨之工作效率。 而且’當§亥等昇降腳枉32垂直地進出前述下電極2〇之昇降 腳枉穿孔22時，可能會擦傷或破壞該等穿孔内緣表面所形成之陽 極處理保護膜。 -旦形成於昇降腳柱穿孔22内緣之該保護膜被破壞掉，則該 等昇降腳柱穿孔22就容易遭受電漿攻搫而形成不純物。 ^ 【發明内容】 有蓉於此，本發明目的之一在於提供_種外部設有一聊挺支 撐件之平面顯不器製造裝置。 647-iCRIP 7 1301215 β又本U目的之二在於提供—種結構簡單且高度降低之平 面顯示器製造裝置。 又本毛明目的之二在於提供—種平面顯示器製造裝置，其設 有以絕緣材料製得可防電料擊之昇降腳柱。 又’本發明目的之四在於提供—種平面顯示器製造裝置，其設 有口昇IV腳柱缝直上下運動而不易磨損之昇降腳柱穿孔。

、依據本兔n丨意向’為達成以上各目的域，所提供之 平面顯示器製造裝置應包括：—上電極…下電極、與-可在基 板上執仃彳伏製程之基板處理單元，域等上電極、下電極、盘 基板處理單元皆係設置於該平面顯示器製造裝置之内。前述平面 顯示=製造裝置進純財：複數個昇降餘，其係分別嵌設於 垂=透該下電極若干特定位置之昇降雜穿孔者；複數個腳柱 固又早το ’其係穿設於該平面顯示器製造裝置底部且接於該平面 顯示器製造裝置内之昇降腳柱底端以蚊該科降腳柱者；複數 個选封單7L，其頂部係接於與之對應之腳柱蚊單元，而底部則 接於斜面顯不|§製造裝置之底部内表面，以便該等密封單元分 別圍繞於腳柱固定單元之若干特定位置，且當該等昇降腳柱垂直 地移動時，密封單元也會隨著在垂直方向膨脹或收縮藉以保持該 平面顯示ϋ製造裝部之真空度；—躲支撐件，係接於該平 面顯示器製造裝置下方之腳柱固定單元底端以支撐與固定該腳柱 固定單元；及，一驅動單元，係接於該腳柱支撐件以驅動其向上

647-KRIP 8 1301215 或向下移動。 置^括依據本發㈣—設計意向，所提供之平面顯示器製造裝 上二—極、—T電極、與—基板4理單元以供在基板 〇 玄4上电極、下電極、與基板處理單元皆 又置於抖面和器製造裝置之内。前述平面顯示器製造裝置 =包括有：複數料降腳柱，其係穿_直設於該下電極某歧 寸疋位置之右干弟—腳柱穿孔以及垂直設於該平面顯示器製造穿 置底部某些蚊位置之若干第二腳柱穿孔，㈣從該下電極舉起 基板或置放基板於該下電極之上；一腳柱支撐件，係接於該平面 顯示器製造裝置下方之昇降腳柱底端並加_定；多個密封單 頂端係接於該平面顯示器製造裝置之底部外表面且圍繞於 轉第—触福’其底刺接賤練讀件 柱所穿透該眺續件之位置，使該等密封單元分賴繞於= 腳柱底部，又，於料昇㈣柱進行齡運鱗，前述密封單元 係可在垂直方向膨脹或收縮以保持該平面顯示轉造裝置内部之 真空度；及’ -_單元係接於該腳柱支撐件以供向上或向下 動之。 【實施方式】 以下係配合相關圖式之若干實施例說明： 實施例一 第2圖所示係本發3砰面顯示造m-較佳實施例剖

647-iCRIP 9 1301215 面結構視圖。如圖所示，本發明一平面顯示器製造裝置包括 有：一上電極110、一下電極120、與一基板處理單元（未示），且 彼等皆設於該裝置1GG内部。又，該平面顯示器製造裝置⑽尚 包括：複數個昇降腳柱132、腳柱固定單元136、密封單元、 一腳柱支撐件142、及一驅動單元146。 該昇降腳柱132係供置放一基板於下電極12〇上或自該下電極 12〇頂起-基板之用。下電極120在其預定位置形成有分別對^於 各昇降腳柱132之複數個昇降腳柱穿孔134以供各該昇降腳柱132 穿設及垂直活動其中，以及使該昇_柱132之糊與基板接觸 而得以垂直移_基板。該昇降腳柱132之製作纽抗電裝材料 為之。 昇降腳柱132之下端部係分別結合於腳柱固定單元136，更明 確言之，係緊接於該腳柱固定單元136上端部以固定之。腳柱固 疋單元136之下端部係穿過預先形成於平面顯示器製造裝置 底部之腳柱固定單元穿孔138後，連結至一腳柱支撐件142。因 此，該等昇降腳柱132乃係透過腳柱固定單元136而結合於前述 腳柱支撐件142者。如此一來，萬一昇降腳柱132受損必須維修 或更換時，因為可將其與腳柱固定單元136分開，所以作業上較 無困難。 岔封單元140之上端部係分別結合於腳柱固定單元之上 端部’而密封單元140之下端部則接於平面顯示器、製造裝置1〇〇

647-iCRiP 10 1301215 底部之内表面，料’該密封單元14Q實侧繞於触固定單元 136之4寸定部位。《岔封單元14〇冑為一(摺疊伸縮型）風箱模組， 其設置有利於垂直方向之伸縮，以利峨岐單元136進行垂直 運動，而平面顯示ϋ製造裝置⑽之内部與外部贿藉由密封單 元140而受到隔離。又’密封單元140 Τ端部與腳柱固定單元穿 孔138上端部之間形成有—封閉處，故而當腳柱固定單元伽發

生垂直運動而導致密封單元刚伸縮時，仍得以保持該平面顯: 器製造裝置100内部之真空狀態。 ’、王攸狀而銜接於腳柱固定單元136 下端^更明確而言，因為與複數個昇降腳柱132連結之該等; 柱固定單元136亦同時接於腳柱支樓件142，所以各昇降腳柱厂 可以同時進行垂直運動。今因，該複數個昇降腳柱132之上辦 係接觸與支撐—基板之不同部位而職基板上推或下移，是以 Γ^!Ζί 132 ^

13^、王體有必要藉助於單—腳柱支撐件142 —體推動。 軸144 =柱支撐件142宜在—預粒置設-鶴軸144，該驅重 ==__#142_單元146以便利用 =，之動力垂直驅動該腳柱支撐件142。另

647-KRiP Π 1301-215 該驅動單元146係可直接或透過驅動軸144間接連 撐件142 ’其產生之動力可供垂直,鶴該她支撐件⑷。 如上所述，_鮮元146可連_柱切件142或驅動輪 144。細_單元146直類離支撐件142或陶嗔結合 時，由於必須連結至驅動車由144或腳柱支標件142之上部，因2 有必要提高解製造裝置⑽之高度，又因域平2 不杰製造裝置_係裝設於-潔淨室内，所崎潔淨室之安裝費 用勢必隨著該平面顯示器製造裝置⑽之增高而水漲船高。、、 有鑒於此如第2圖所示之較佳實施例係將驅動單元洳 ，設在驅動軸M4之側邊且與之平行，更明確而言，係將該驅動 早146裝設在驅動軸144之側邊而非下方，同時透過—動力傳 輸單元148將動力傳送給該驅動軸144，應不失為一可行之方式、。 況且此-改變可在不增加該平面顯示雜造裝置⑽高度之條件 下’實施驅_作。其中所述之動力傳輸單元U8係定 皮帶。 ^ 以下係就本發明平面顯示器製造裝置⑽之實施例—中 昇降腳柱132之運作方式㈣說明之： 扣當驅動單元U6 _運作後，其所產生之動力係透過動 輸单7L 148傳送給驅動軸144使之轉動；該驅動轴⑷轉動時， 由於腳柱支撐件142與驅動轴144間之螺旋結合_，該^支 撐件142會向上或向下運動而導致與之連結之複數個腳柱固定單

647-KRIP 12 1301*215 元136及昇降離132同時向上或向下運動；在該等腳柱固定單 —36和動之同4 ’搶封單元mo亦隨之向上或向下運動，社果， 雖然該等腳柱固定單元136發生垂直移動，然卻不影響該料顯 示态製造裝置100之内部真空度。 實施例二 第3圖所示係本發明平面顯示器製造裝置之第二較佳實施例 剖面結構視0。如51所示，本發明-平義示ϋ製造裝置200包 括有上私極21〇、一下電極220、與一基板處理單元（未示）， 且彼等皆设於該裝置2〇〇内部。又，該平面顯示器製造裝置 進而包括：複數個昇降腳柱232、密封單元238、一腳柱支撐件 240、及一驅動單元244。 該等複數個昇降腳柱232之作用如同實施例一之昇降聊枝 132，係用以置放一基板於下電極220或從該下電極22〇頂起一基 板。然而在第3圖所示之本實施例中，該等昇降腳柱烈2係一併 穿透下電極220以及該平面顯示器製造裝置200之底部。更明確鲁 a之’该等昇降腳柱232係穿過形成於該下電極220某些特定位 置之第一腳柱穿孔234以及形成於該平面顯示器製造裝置2〇〇底 邰某些#疋位置之第二腳柱穿孔236。第3圖所示本例之昇降腳柱 · 232，其長度比實施例一之昇降腳柱132略勝一籌，因此，要各別 ： 形成昇降腳柱232較為困難，若以複數個各自獨立又連體方式為 、 之，似更適當。

647-fCRIP 1301215 山密封單元238係設於該平面顯示器製造裳置2〇〇之外部，其 上端部係結合於該平面顯示賴造裝置_之底部外表面，而下 端部則接於腳柱支樓件24Q之上側。更明確言之，該密封單元238 係圍繞於前述第二腳柱穿孔236而接於平面顯示器製造裝置· .· 之底4 ’且該密封單元238亦圍繞於該等昇降腳柱232所穿透之, 腳柱支擇件24_位置耐_腳蚊撐件⑽，藉此該密封單 疋238遂得圍繞於該昇降腳柱2兕之底部。 此-實施例中，由於密封單元238係配置於平面顯示器 # 製造裝置之外部，因此不須如同前實施例—樣必須在該平面 顯示器製造裝置200内部增加相當於密封單元咖之高度。所以， 本發明實關二之平面顯示轉造裝置細部容雜實施例 —之平面顯示器製造裝置⑽内部容積為小，而且密封單元哪 之維護也較為容易。 ⑴牛-枉之底部係如同實施例一所示 亦結合於腳柱支撐件24G，而且是複數個昇降腳柱微同時结合於 單-腳柱支撐件施，因此，全部昇降腳柱微係隨該單一腳柱支 擇件240同步向上或向下移動。該腳柱支撐件_宜在其一特定 部位設置-驅動軸242，該驅動軸242係自驅動單元_得動力 以垂直地驅動該腳柱支撐件挪，其中該驅動輛242宜為—滾珠絲 槓(ball screw)或滾珠花鍵(baU印丨^)。 該驅動軸242係結合於前述,鶴單元244。如第3圖所示’該

647-KRiP 1301215 驅動單元=4雖可錢連結至驅動轴242之底部，然亦得 動力傳輸單元246關接魏絲242辆。此例令— 單元244係設於該驅動軸242 一側且與之平行。今由於^ 係透過動力傳輸單元246而與驅動單元244連結，所以 Μ製造裝置之整體高姐實關—而言相對較I其= 该動力傳輸單元246係可為一定時皮帶。 "， =擬就本發明㈣顯示器製造裝置2〇〇之實 作方式予以詳述之： 當驅動單元244動作時，其所產生之動力係透過動力傳 凡246傳送給驅動軸242使之轉動；驅動轴242轉動時，彻驅 動軸242外表面形成有陽螺紋部與餘切件⑽之對應 有陰螺紋之螺旋結合_而促使該她支撐件24〇向上:下^ 動’易言之’只要該驅動軸242開始轉動，該腳柱支撐件細就 會垂直地被驅動。 ' ‘—腳柱支撐件240被向上或向下购，職數個昇降腳柱 232也會同時被向上或向下驅動，此際，該密封單元娜亦跟隨在 垂直方向發生伸縮變化。是以，即便該等昇降腳柱232在垂直方 向運動，該平面顯示賴造裝置⑽⑽仍能維持—定之真空度。 實施例S 、又 第4圖所示係本發明平面顯示器製造裝置之第三較佳實施例 剖面結構視圖。如圖所示，本發明—平面顯示器製造裝置細設

647-fCRIP 15 1301215 —連結於—腳柱支撐件31Q之若干昇降峰挪。又如第$圖所 ^ _昇降腳柱咖各分別具有一支撐部您與—結合部似。 ^切部322係一長柱造型，其上端部經過圓滑化而下端部 :-第-結合裝置322a以利連結於該結合部划，其中 料制=322a宜為—螺紋造型且係如卫㈣膠等電氣絕緣材 衣者，其材料若選自陶竟、石黃胺•坐(ce麵⑹、或維斯佩 強調^的咖:^種聚亞軸之商品名稱博群族則更^有一點需要 受於勃用上述任—絕緣材料製作之支撐部322，可以避免遭 特定製_產生魏之攻擊。既錢受電漿攻擊，則 Λ牙^f2之使用壽命自可獲得延長而無需經常更換。 叫聊柱32G之結合部划在其頂部設有—第二結合裝 if又’用Γ麵成於該支撐部322底部之該第一結合裝置 社人穿置32你亥什降断主320之結合部324在其底部設有一第三 二二置：’且該第三結合裝讓係與一形成 L 合裝置（未示）相結合者，其找第：狀f置 324b與第喊合裝置 …衣置 但不須利用絕緣_作而^為仏。再者，該結合部324不 果可能的話，該姓人部奴且取且知用南強度之金屬材質。如 攻擊的時間也相對更長。的直城得愈大愈好，㈣承受電漿 之絕各昇降腳柱32G尚可包括—最好以容易加工 、巴緣材科巾物26，晰輸^其嶋用之材料

647-KRIP 16 1301215 與該支撐部322相同。 引之中間部326之上端部與下端部分別設有用以連結該支撐 F 322舁邊結合部324之第五結合裝置犯如與第六結合裝置 一示），其中该第五結合裝置與第六結合裝置宜採螺紋造 ' ,"~开^，該結合部324亦設有第二結合裝置324a用以連結 ， ° 26之第/、結合裝置326b。本實施例之第二結合裝置 324a雖可王第5圖之陰螺紋造型，但亦得為第了a圖所示之陽螺紋 造型。 各昇降腳桎32〇之具有前述中間部犯6之理由為：當該支撐 部322，以一種絕緣材料製成時，因為該支撐部3四之強度較差， ^人/、第結合裝置322a有可能會被折斷，若折斷的當兒該第一 衣置322a係結合於第二結合裝置324a，要將該第一結合裝 置322&私除可相當費事。當各昇降腳柱320有了該中間部326之 後’就可以輕易將折損之第一結合裝置概移除，同時，因為該 中門4 326採用了谷易加工之材料，所以，該中間部咖中形成 _ 第六結合裝置326b之位置，亦得輕奸以改變。另—種選擇是事 先備女在不同位置設有第六結合裝置難之各類中間部32β，必 要時就可更換該中間部326以利進行各昇降腳柱320之位置微調。. 如第8圖所示，本發明該平面顯示器製造裝置3〇〇之實施例 ： 二内部一下電極3b0形成有若干昇降腳柱穿孔卿第8圖僅顯示 ， -穿孔）’各昇降腳柱穿孔352具有之第-直徑部足夠接納該昇降

647-fCRIP 17 1301215 雜320穿透之。特別的是，各昇降離穿孔紐之底部設有〆 直徑大於各該昇降腳柱穿孔352第一直徑部之第二直徑部。將第9 圖所示之一昇降腳柱插頭咖插入該昇降腳柱穿孔紐後，藉由 該昇降腳柱穿孔352之第二直徑部，可防該昇降雜插頭脫 又如弟y圖所示 、幵k腳柱插頭360係一筒狀造型，長 内部定義有一空心部362。再者，該昇降腳柱插頭刻在其底部設 有-對應於該昇降腳柱穿孔352第二直徑部之突部編。又，前述 昇降腳柱插職宜以-電性絕緣材料，例如卫程塑膠，製作之， 其材料若選自陶究、磺胺♦坐、或維斯佩爾等群族則更佳。 以下係配合第u圖說明該昇降聊枉32〇之作動方式^ 圖所示’當該支撐部322分別在各昇降離穿謂内上下運動 時，係藉由各該支撐部322之圓滑頂部切—基板(參閱第4圖）。 ==:Γ::_，在於極小化_ ^ 與基板S之翻面。材，轉昇降腳她頭· 降腳柱穿孔脱係用以避免當昇降她咖垂 ，、= 該昇降腳柱穿孔352之内緣面受到磨損。 不k成 由於相當數量的昇降陳咖_地結合 310，所以，當驅動該腳柱支撐件3 文棕件 動時，該腳柱支撐件310亦同時向.向早元330進行垂直運 數個昇降腳柱320同時向上或向下移動。下移動’進而帶動該複

647-FCRIP 1301215 «以上祝明顯然可知’本發明提供之平面顯示器製造裝置具 有—設於外部其穩定度已獲改善且保養與維修均便之腳柱支樓 件。而且，因騎離支料係設於平面齡n製造裝置之外部， 所以將容積變小之平_示轉钱肋部滅雜衫所需時 間可以大幅縮短。 ; 口為及腳柱支樓件係設於平面顯示器製造裝置之外部， 所以其厚度已輕變薄以及機械敎度已賴得改善，而且也不必 :平面,、、、員示為衣造&置外部加設一外板，從而得以簡化該腳柱籲 支撐件之結構並降低辭賴示器製造裝置之高度。 本發明之昇降腳柱係採絕緣材料製作者，故可抗拒電漿之攻 相展延其工作壽命。再者，若昇降腳柱受損，更替亦非常方便。 此外，該昇降腳柱亦得進而包含—㈣部以賴昇降腳柱之微調 所需。 又，該昇降腳柱插頭係插設於該等形成於下電極之各昇降腳 挺穿孔内，從錢昇_柱於穿過該昇_”孔而上下運動 # 日守’不致於磨損其内表面。而且，若昇降腳柱插頭萬—受損，更 換也十分方便。 以上，對於熟悉本技術領域之人士而言，本發明之基本理念 · 當運用於其他不同形式或方式，而本發明所提示之實施例僅供-

例證而非用以限制其實施範圍者，惟任何引伸之變化仍應受申請 . 專利範圍各申請項之節制。 、又^ 647-KRIP 19 1301215 【圖式簡單說明】 為使本發明之結構、特徵、及效用等更易 合實财切_技術之解_若干_2見-配 弟i圖所示係—傳統平面顯示賴造裝置之剖面 第2圖所示係本發明平面顯示器製造裝置之第—二 剖面結構視圖，· 毕乂 <土貝、％例 第3圖所示係本發明平面顯示雜造裝置之第 剖面結構視圖； Ά⑽ 第4圖所稀本發3砰_示賴紗置1三較佳實施例 剖面結構視圖； ―第5圖所示係本發明—較佳實施例之糾腳柱立體分解視圖； 第6圖所示係第5圖之昇降腳柱剖面視圖； 弟7Α圖所不係本發明另一較佳實施例之昇降腳柱立體分解視 圖； 第7Β圖所示係第7Α圖之昇降腳柱剖面視圖； 第8圖所示係本發a砰面齡_造裝置之第三較佳實施例 之昇降腳柱穿孔之結構剖面視圖； 第9圖所不係本發明_孔塞之結構立體視圖； 第10圖所示係本發明中設於下電極之該孔塞剖面視圖；及 第11圖所示係本發明中設於下電極之該昇降腳柱與孔塞之 剖面視圖。

647-KRIP 20 1301215 【主要元件符號說明】 1--------平面顯示器製造裝置 10-------上電極 100------平面顯示器製造裝置 ' 110------上電極 ： 120------下電極 132------昇降腳柱 134------昇降腳柱穿孔 · 136------腳柱固定單元 138------腳柱固定單元穿孔 140------密封單元 142------腳柱支撐件 144------驅動轴 146------驅動單元 148------動力傳輸單元 鲁 20-------下電極 200------平面顯示器製造裝置 210------上電極 · 220------下電極 ： 22-------昇降腳柱穿孔 · 232------昇降腳柱 234------第一腳柱穿孔 647-KRIP 21 1301215 236------第二腳柱穿孔 238------密封單元 240------腳柱支撐件 242------驅動軸 244------驅動單元 246------動力傳輸單元 300------平面顯示器製造裝置 310------腳柱支撐件 32-------昇降腳柱 320------昇降腳柱 322------支撐部 322a-----第一結合裝置 324------結合部 324a------第二結合裝置 324b------第三結合裝置 326-------中間部 326a------第五結合裝置 326b------第六結合裝置 330-------驅動單元 34------昇降腳柱支撐件 350------電極

647-KRiP 1301215 352------昇降腳柱穿孔 36-------昇降腳柱支撐件驅動軸 360------昇降腳柱插頭 362------空心部 364------突部 38-------外板 40-------驅動單元 647-KRIP 23

Claims (4)

1301215 十、申請專利範圍： 種平面痛示器製造裝置，包括：一上電極、一下電極、及一可在 基板上實_定製程之基板處理單71’其中鱗上電極、下電極、以及基 板處理單TL皆係配置於該平面顯示器製造裝置内部者；又 ’所述之平面顯 示态製造裝置進而包括有： ·- 複數個昇降聊柱，其係分別嵌設於垂直穿透該下電極若干特定 位置之昇降腳柱穿孔者； 複數個腳柱固定單元，其係穿設於該平面顯示器製造裝置底鲁 P接於及平面頌示器製造裝置内之昇降腳柱底端以固定該等昇 降腳柱者； 複數個始封單元，其頂部係接於與之對應之腳柱固定單元， 而底。卩職於斜蝴示雜造裝置之底勒表面，讀該等密 封單元分棚繞於腳_定單元之轩舰㈣，且當該等昇降 才垂直地移動3才’密封單元也會隨著在垂直方向膨服或收縮藉 以保持該平面顯示器製造裝置内部之真空度； · 腳柱支撐件’其係接於該平面顯示器製造裝置下方之腳柱 固定單元底端以找翻定該餘ϋ定單元；及， 驅動單元’其係接於該腳柱支撐件以驅動其向上或向下移· 動者。 . 專利申wfe圍第1項所述之裝置，其中該密封單元係為可’ 伸縮風箱模組者。 647-KRfP 24 13〇1215 3.如專利帽顧g丨撕狀裝置，財 某一特定部位設有-驅動轴，节驅動祕接私、，又嫁件在其 、， 助軸舰動軸係接於魏_主支撐件與 ".早π亚利用該驅動單元所提供之動力驅動該聊柱支撑件者。 4. 料利申請範圍第3項所述之裝置，其中該驅動轴係為—滾 ;、4相或棘花鍵造型，其轉動可垂直地推動該雜支標件。 5. 如專利申請範圍第3項所述之裝置，射該驅動單元係配置 於驅動軸之側邊且透過—動力傳輸單元接於該驅動輛。 6. 如專辦__丨撕叙裝置，財各昇降離包括有； 一支擇部，其係採用-絕緣材料製得且具有—圓滑化頂端之長 形柱體；及 一結合部，其係用以結合該支撐部之底端以連結該支撐部至前 述腳柱支撐件者。 塑膠 .如專利申請範圍第6項所述之裝置，其中該絕緣材料係工程 8.如專利巾請翻第6項所述之裝置，其中各該昇降腳柱進而 包括： -中間部’錢配置於蚊撐部與結合部之間肋連結該支 撐部與結合部者，且射_在其聊與底物娜螺紋以利 其結合於所叙支撐部減合部，糾奴料又在其底端對應 於該中間部之陽觀部減嫌喊，叹雜合部又在其頂端 對應於该中間部之陽螺紋部位設有陰螺紋。 647-KRIP 25 1301215 其中該中間部係以工 9·如專利申請範圍第8項所述之裝置， 程塑膠製得者。 1〇β如專利申請範圍第7或9項所述之裝置，其中該 膠係廷自陶m^(eerazQle)、或維斯佩_( 聚亞酿胺）其中之一者3 u.如專利申請範圍第1項所述之裝置，其進而包括有： 複數個昇降腳柱插頭，其係分別插設於該等昇降腳柱穿孔， 且各昇降雜插頭之中心部位設有—空心部以供對應之昇降腳柱 12, 如專利中請範圍第u項所述之裝置，其中該等昇降腳柱 插頭係以工程塑膠製得。 13. -種平面顯示器製造裝置，包括：一上電極、一下電極、及 一可在基板上實施特定製程之基板處理單元，其中該等上電極、下電極、 以及基板處理單元皆係配置㈣平面顯示器製造裝如部者；又，所述 之平面顯示器製造裝置進而包括有： 衩數個昇降腳柱，其係分別嵌設於垂直穿透該下電極預設位置之 第一腳柱穿孔與垂直形成於該平面顯示器製造裝置底部之第 二腳柱穿孔，以便自該下電極舉起一基板或置放一基板於 該下電極之上者； 一腳柱支撐件，其係接於該平面顯示器製造裝置下方之昇降腳柱 底端以支撐及固定該昇降腳柱；

647-FCRIP 26 1301215 複數個密封單元，其頂部係接於斜面縣器製造裝置之底部外 表面且圍繞料二腳柱纽，㈣部則接於娜卩柱支料且圍缝 於昇降雜之該餘支撐件嵌人纽使轉紐單元得以分別圍 繞於各該料雜之底部，是以當該料降腳㈣直地軸時，： 密封單认會隨著麵直方⑽脹歧轉贿持辭_示器： 製造裝置内部之真空度；及 -驅動單元’其係接_腳蚊撐件尋祕向上或向下移動 者。 φ Η.如專利申請範圍第13項所述之裝置，其中各該昇降腳柱具 有衩數個彼此結合之連結片。 15. 如專利申請範圍第13項所述之裝置，其中該等密封單元為 伸縮風箱模組。 16. 如專利申請範圍第13項所述之裝置，其中該腳柱支標件之 一特定位置設有-驅祕’該連結至_柱支撐件以及 =動單元’以便利用該驅動單元提供之動力垂直驅動該腳柱支樓· 一 π.如專利申請範圍第16項所述之裝置，其中該驅動轴係可為 一滚珠絲槓或滾珠花鍵。 ' 18丄如專利申請範圍第16項所述之裝置，其中該驅動單元係配' 置於則述驅動軸之側邊且係透過—動力傳輸單㈣連結於該驅動， 車由0 647-iCRiP 27 1301215 19. 如專利申請範圍第13項所述之裝置，其進而包括有： 複數個昇降腳柱插頭，其係分設於多個昇降腳柱穿孔，其中各 昇降腳柱插頭之中心部位設有一空心部，以供對應之昇降腳柱穿 過。 20. 如專利申請範圍第19項所述之裝置，其中該昇降腳柱插頭 係採工程塑膠製得者。

647-KRCP 28 1301215 七、指定代表圖： (一） 本案指定代表圖為：第（2 )圖。 (二） 本代表圖之元件符號簡單說明： 100-----平面顯示器製造裝置 110------上電極 120------下電極 132------昇降腳柱 134------昇降腳柱穿孔 136------腳柱固定單元 138------腳柱固定單元穿孔 140------密封單元 142------腳柱支撐件 144------驅動軸 146------驅動單元 148------動力傳輸單元 八、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式

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