KR100524881B1 - 핀 지지대가 외부에 구비된 진공처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공분위기 하에서 증착 또는 식각 등 소정의 처리를 수행하는 진공처리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 하부전극에 기판을 올려놓거나 하부전극상의 기판을 들어올리는 기능을 하는 리프트 핀을 지지하는 핀 지지부재가 상기 진공처리 장치의 외부에 구비된 진공처리 장치에 관한 것이다.
본 발명의 일관점에 따른 진공처리 장치는, 내부에 상부 전극, 하부 전극 및 기판에 소정의 처리를 하기 위한 기판 처리 장치가 구비된 진공처리 장치에 있어서, 상기 하부 전극의 소정 부위를 관통하여 형성되는 핀 통과홀에 삽입되어 구비되는 복수개의 리프트 핀; 상기 진공처리 장치의 내부에서 상기 리프트 핀의 하단에 결합되어 상기 리프트 핀을 고정시키며, 상기 진공처리 장치의 하면을 관통하여 구비되는 핀 고정수단; 그 상부는 상기 핀 고정수단의 상부 소정부위에 결합되고, 그 하부는 상기 진공처리 장치의 하부면에 결합되되, 상기 핀 고정수단을 감싸도록 구비되는 밀봉수단; 진공처리 장치의 외부에서 상기 핀 고정수단의 하단과 결합하며, 상기 핀 고정수단을 지지하는 핀 지지대; 및 상기 핀 지지대에 연결되어 상기 핀 지지대를 상하 방향으로 구동시키는 구동수단;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 관점에 따른 진공처리 장치는, 내부에 상부 전극, 하부 전극, 기판에 소정의 처리를 하기 위한 기판 처리 장치가 구비된 진공처리 장치에 있어서, 상기 하부 전극의 소정 부위를 관통하여 형성되는 제1 핀 통과홀 및 상기 진공처리 장치의 하부면 소정 부위를 관통하여 형성되는 제2 핀 통과홀에 삽입되어 구비되는 복수개의 리프트 핀; 그 상부는 상기 진공처리 장치의 하면에 결합되고, 상기 핀 고정수단을 감싸도록 구비되는 밀봉수단; 진공처리 장치의 외부에서 상기 리프트 핀 하단 및 상기 밀봉수단의 하부와 결합하며, 상기 리프트 핀을 지지하는 핀 지지대; 및 상기 핀 지지대에 연결되어 상기 핀 지지대를 상하 방향으로 구동시키는 구동수단;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

핀 지지대가 외부에 구비된 진공처리 장치{Processing apparatus in low pressure condition comprising outer liftpin}
본 발명은 진공분위기 하에서 증착 또는 식각 등 소정의 처리를 수행하는 진공처리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 하부전극에 기판을 올려놓거나 하부전극상의 기판을 들어올리는 기능을 하는 리프트 핀을 지지하는 핀 지지대가 상기 진공처리 장치의 외부에 구비된 진공처리 장치에 관한 것이다.
대직경의 반도체 웨이퍼 또는 대면적의 평판디스플레이 제작에 있어서, 기판을 에칭하거나 기판상에 어떤 대상물들을 증착하기 위해, 진공처리 장치가 유용하게 사용되고 있다. 이러한 진공처리 장치에는 스퍼터 에칭, RIE(Reactive Ion Etching), 및 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 등이 포함된다.
일반적으로 이러한 진공처리가 이루어지는 진공 상태의 처리장치 내에는 고주파 전력과 연결된 상부 전극과 기판을 지지하며, 접지되는 하부 전극 및 기판에 소정의 처리를 실시하기 위한 가스공급시스템과 배기시스템 등 기판 처리 장치가 구비된다.
도 1은 종래의 진공처리 장치의 구조를 나타내는 모식 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 진공처리 장치(100)에는 상부 전극(110)과 하부 전극(120)이 구비된다. 그리고 상기 하부 전극(120)에는 소정의 처리가 진행될 기판이 위치되며, 상기 기판의 반입 및 반출을 돕는 리프트 핀(132)이 상기 하부 전극(120)의 소정 부분을 관통하여 구비된다. 이때 상기 리프트 핀(132)은 하나의 진공처리 장치 내에 복수개가 구비되고, 상기 복수개의 리프트 핀(132)은 모두 하나의 핀 지지대(134)에 결합되어 동시에 상하 방향으로 구동된다. 종래에는 도 1에 도시된 바와 같이 상기 핀 지지대(134)가 진공처리 장치(100) 내부에 설치된다. 따라서 상기 핀 지지대(134)의 하부에 핀 지지대 구동축(136)이 복수개 연결되고, 상기 핀 지지대 구동축(136)은 상기 진공처리 장치(100)의 하부면을 관통하여 상기 진공처리 장치(100) 외부에 구비되어 있는 외부 플레이트(138)와 결합된다. 그리고 상기 외부 플레이트(138)와 결합된 구동수단(140)이 상기 외부 플레이트(138)를 구동시킴으로써, 이와 연결된 핀 지지대 구동축(136) 및 핀 지지대(134)를 구동시켜서 상기 리프트 핀(132)을 상하로 구동시키는 것이다.
그러나 종래와 같이 상기 핀 지지대(134)를 진공처리 장치(100) 내부에 설치하면, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 핀 지지대(134)가 차지하는 높이만큼 진공처리 장치(100)의 내부 체적이 증가되어야 하는 문제점이 있다. 즉, 상기 핀 지지대(134)로 인하여 진공처리 장치(100)의 내부 체적이 증가되고, 그에 따라 상기 진공처리 장치(100)의 내부를 진공분위기로 만들기 위한 펌핑 작업에 소요되는 시간이 길어져서 진공처리 장치(100)의 운용 효율이 낮아지는 문제점이 있다.
또한, 상기 핀 지지대(134)를 진공처리 장치(100) 내부에 설치하면, 상기 진공처리 장치(100) 내부에서 기판에 소정의 처리를 하기 위해 플라즈마를 발생시키므로 그 내부에 열이 발생하여 상기 핀 지지대(134)에 변형이 발생한다. 따라서 상기 핀 지지대(134)의 두께를 두껍게 형성시키게 되는데 이러한 두꺼운 핀 지지대(134)를 사용하게 되면 상기 진공처리 장치(100)의 내부 체적이 증가되는 문제점은 더욱 가중되며, 핀 지지대(134)의 구조적 불안정성도 심화되는 문제점이 있다.
더구나, 상기 핀 지지대(134)를 진공처리 장치(100)의 내부에 설치하면, 상기 핀 지지대(134)의 유지 및 보수 작업이 매우 어려워지며, 상기 핀 지지대(134)를 지지하기 위한 별도의 외부 플레이트(138)가 더 요구되어 장치 자체의 구조가 복잡해지는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 핀 지지대를 진공처리 장치의 외부에 구비시킨 진공처리 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 장치 전체의 구조를 단순화시키고, 장치의 높이를 낮춘 진공처리 장치를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일관점에 따른 진공처리 장치는, 내부에 상부 전극, 하부 전극 및 기판에 소정의 처리를 하기 위한 기판 처리 장치가 구비된 진공처리 장치에 있어서, 상기 하부 전극의 소정 부위를 관통하여 형성되는 핀 통과홀에 삽입되어 구비되는 복수개의 리프트 핀; 상기 진공처리 장치의 내부에서 상기 리프트 핀의 하단에 결합되어 상기 리프트 핀을 고정시키며, 상기 진공처리 장치의 하면을 관통하여 구비되는 핀 고정수단; 그 상부는 상기 핀 고정수단의 상부 소정부위에 결합되고, 그 하부는 상기 진공처리 장치의 하부면에 결합되되, 상기 핀 고정수단을 감싸도록 구비되는 밀봉수단; 진공처리 장치의 외부에서 상기 핀 고정수단의 하단과 결합하며, 상기 핀 고정수단을 지지하는 핀 지지대; 및 상기 핀 지지대에 연결되어 상기 핀 지지대를 상하 방향으로 구동시키는 구동수단;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 관점에 따른 진공처리 장치는, 내부에 상부 전극, 하부 전극, 기판에 소정의 처리를 하기 위한 기판 처리 장치가 구비된 진공처리 장치에 있어서, 상기 하부 전극의 소정 부위를 관통하여 형성되는 제1 핀 통과홀 및 상기 진공처리 장치의 하부면 소정 부위를 관통하여 형성되는 제2 핀 통과홀에 삽입되어 구비되는 복수개의 리프트 핀; 그 상부는 상기 진공처리 장치의 하면에 결합되고, 상기 핀 고정수단을 감싸도록 구비되는 밀봉수단; 진공처리 장치의 외부에서 상기 리프트 핀 하단 및 상기 밀봉수단의 하부와 결합하며, 상기 리프트 핀을 지지하는 핀 지지대; 및 상기 핀 지지대에 연결되어 상기 핀 지지대를 상하 방향으로 구동시키는 구동수단;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 진공처리 장치의 각 실시예 별 구조 및 작용을 상세하게 설명한다.
< 실시예 1 >
본 실시예에 따른 진공처리 장치(200)는 도 2에 도시된 바와 같이 내부에 상부 전극(210), 하부 전극(220) 및 기판 처리 장치(도면에 미도시)가 구비된 진공처리 장치에 복수개의 리프트 핀(232), 핀 고정수단(236), 밀봉수단(240), 핀 지지대(242), 구동수단(246)을 더 구비한다.
상기 리프트 핀(232)은 상기 하부 전극(220) 상에 기판을 올려놓거나 상기 하부 전극(220) 상에 위치된 기판을 들어올리는 역할을 한다. 상기 리프트 핀(232)은, 상기 하부 전극(220)의 소정 부분에 관통하여 복수개의 핀 통과홀(234)을 형성시키고, 상기 핀 통과홀(234) 마다 그 내부에 리프트 핀(232)을 삽입시켜 설치된다. 따라서 상기 리프트 핀(232)은 상기 핀 통과홀(234) 내부를 통과하며 상하로 구동하고, 상기 리프트 핀(232)의 상단이 상기 기판과 접촉하여 기판을 상하로 이동시키는 것이다. 이때 상기 리프트 핀(232)은 플라즈마에 견딜 수 있는 내플라즈마성 재료로 형성되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 리프트 핀(232)의 하단은 핀 고정수단(236)과 결합된다. 즉, 상기 핀 고정수단(236)은 도 2에 도시된 바와 같이 상기 리프트 핀(232)의 하단과 견고하게 결합되어 상기 리프트 핀(232)을 고정시키며, 그 하단은 상기 진공처리 장치(200)의 하면 소정 부위에 형성된 핀 고정수단 통과홀(238)을 관통하여 상기 핀 지지대(242)와 연결되어 상기 리프트 핀(232)을 상기 핀 지지대(242)와 연결시키는 역할을 한다. 따라서 상기 리프트 핀(232)에 손상이 발생하는 등 상기 리프트 핀(232)의 교체 내지 보수가 요구되는 경우 상기 리프트 핀(232)을 상기 핀 고정수단(236)에서 분리할 수 있도록 구비되어, 복수개의 리프트 핀(232) 중 일부만을 용이하게 교체, 보수할 수 있도록 하는 것이다.
다음으로 상기 밀봉수단(240)은 그 상부가 상기 핀 고정수단(236)의 상단과 결합되고, 그 하부가 상기 진공처리 장치(200)의 하부면에 결합되며, 상기 핀 고정수단(236)의 소정 부분을 감싸도록 구비되어 진공처리 장치(200)의 내부와 외부를 격리시키면서 상기 핀 고정수단(236)이 상하로 구동할 수 있도록 하는 역할을 한다. 즉, 상기 밀봉수단(240)은 상하 방향으로 신장 및 수축이 가능한 구조로 구비되며, 그 하부는 상기 핀 고정수단 통과홀(238)의 외부를 감싸도록 밀봉 형성되어 상기 핀 고정수단(236)과 함께 신장 및 수축하면서 상기 핀 고정수단(236)의 상하 운동시에 상기 진공처리 장치(200)의 내부의 진공분위기를 계속하여 유지할 수 있도록 한다. 이때, 상기 밀봉수단(240)은 벨로우즈 모듈(Bellows modules)인 것이 바람직하다.
다음으로 상기 핀 지지대(242)는 판상의 형상으로 구비되며, 상기 핀 고정수단(236)의 하단과 결합된다. 즉, 상기 핀 지지대(242)는 상기 복수개의 리프트 핀(232)과 결합되어 있는 상기 각 핀 고정수단(236) 모두와 결합됨으로써 상기 복수개의 리프트 핀(232)이 동시에 상하로 구동되도록 하는 역할을 한다. 상기 복수개의 리프트 핀(232)은 그 상단에 접촉되는 하나의 기판 중 여러 부위를 동시에 지지하여 그 기판을 상승 또는 하강시키므로 동시에 같은 높이로 구동할 것이 요구된다. 따라서 상기 핀 지지대(242)를 이용하여 동시에 구동시키는 것이다.
이때 상기 핀 지지대(242) 소정 부위에는 구동축(244)이 더 구비되는 것이 바람직하다. 상기 구동축(244)은 상기 핀 지지대(242) 및 상기 구동수단(246)에 연결되도록 구비되어 상기 구동수단(246)의 동력에 의하여 상기 핀 지지대(242)를 상하로 구동시키는 역할을 한다. 상기 구동축(244)은 볼 스크류(Ball screw) 또는 볼 스플라인(Ball spline)으로 형성되는 것이 바람직하다. 이는 상기 구동축(244)을 볼 스크류 또는 볼 스플라인으로 형성시킴으로써 미세한 높이 조정이 가능하도록 하기 위함이다. 즉, 상기 구동축(244)은 상기 구동수단(246)의 동력을 이용하여 회전함으로써 구동축(244)의 외면에 형성되어 있는 숫나사 구조 및 상기 숫나사 구조에 호응되게 상기 핀 지지대(242)에 형성되어 있는 암나사 구조에 의하여 상기 핀 지지대(242)가 상하로 구동되게 함으로써 상기 핀 지지대(242)의 높이에 대한 매우 미세한 조정이 가능하게 되는 것이다.
그리고 상기 구동축(244)은 상기 핀 지지대(242)와 직접 결합되거나 상기 구동축(244)에 의하여 간접적으로 결합되어 상기 핀 지지대(242)가 상하로 구동하는데 필요한 동력을 발생시켜 공급하는 역할을 한다.
이때 상기 구동수단(246)은 상기 핀 지지대(242)와 연결되거나 상기 구동축(244)과 연결될 수도 있지만, 상기 구동수단(246)이 상기 핀 지지대(242) 또는 구동축(244)과 직접 연결되는 경우에는 구동수단(246)이 상기 핀 지지대(242) 또는 구동축(244)의 하부에 연결될 수 밖에 없어서, 진공처리 장치(200) 자체의 높이가 높아지는 문제점이 있다. 진공처리 장치(200)는 클린룸 내부에 설치되므로 그 자체의 높이가 높아지면 클린룸의 높이도 높아져야 하므로 진공처리 장치(200)의 설치 단가가 높아지는 문제점이 있다.
따라서, 도 2에 도시된 바와 같이 상기 구동수단(246)을 상기 구동축(244)의 측방에 상기 구동축(244)과 평행하게 설치하고, 상기 구동수단(246)과 상기 구동축(244)을 동력전달수단(248)으로 연결하여 동력을 전달시키는 것이 바람직하다. 즉, 상기 구동수단(246)을 상기 구동축(244)의 하방이 아니라 측방에 위치시킴으로써 진공처리 장치(200)의 높이가 높아지지 않고서도 구동이 가능하도록 한 것이다. 이때 상기 동력전달수단(248)은 타이밍 벨트(timing belt)인 것이 바람직하다.
이하에서는 본 실시예에 따른 진공처리 장치(200)의 리프트 핀(232)이 구동되는 과정을 상세히 설명한다.
먼저 상기 구동수단(246)이 구동하면 구동수단(246)에 의하여 발생한 동력을 상기 동력전달수단(248)이 상기 구동축(244)에 전달하여 상기 구동축(244)을 회전시킨다. 그러면 상기 구동축(244)이 회전하게 되고, 상기 구동축(244) 및 상기 핀 지지대(242)에 형성되어 있는 나사구조에 의하여 상기 핀 지지대(242)가 상방 또는 하방으로 운동하게 된다. 그러면 상기 핀 지지대(242)에 결합되어 있는 복수개의 핀 고정수단(236) 및 리프트 핀(232)이 동시에 상방 또는 하방으로 운동하게 된다. 이때 상기 밀봉수단(240)도 상기 핀 고정수단(236)과 함께 상방 또는 하방으로 신장 또는 수축함으로써 상기 핀 고정수단(236)의 상하운동에도 불구하고 상기 진공처리 장치(200) 내부가 진공분위기를 유지할 수 있도록 한다.
< 실시예 2 >
본 실시예에 따른 진공처리 장치(300)는, 도 3에 도시된 바와 같이 내부에 상부 전극(310), 하부 전극(320), 기판 처리 장치(도면에 미도시)가 구비된 진공처리 장치에 복수개의 리프트 핀(332), 밀봉수단(338), 핀 지지대(340), 구동수단(344)이 더 구비되어 구성된다.
먼저 상기 리프트 핀(332)은 실시예 1에서의 리프트 핀(232)과 마찬가지로 상기 하부 전극(320) 상에 기판을 위치시키거나 들어올리는 역할을 한다. 다만, 본 실시예에서는 상기 리프트 핀(332)이 도 3에 도시된 바와 같이 상기 하부 전극(320)과 진공처리 장치(300)의 하부면을 모두 관통하여 설치된다. 즉, 상기 하부 전극(320)의 소정부위에 관통하여 형성된 제1 핀 통과홀(334)과 상기 진공처리 장치(300)의 하부면 소정 부위에 관통하여 형성된 제2 핀 통과홀(336)을 관통하여 설치되는 것이다. 이때 상기 리프트 핀(332)은 도 3에 도시된 바와 같이 실시예 1에 따른 리프트 핀(232)보다 길이가 길게 형성되어야 하므로 전체를 하나의 부재로 가공하는 것이 곤란할 수 있으므로 복수개의 조각으로 가공하여 중간 부분을 연결하는 것이 바람직하다.
그리고 상기 밀봉수단(338)은 상기 진공처리 장치(300)의 외부에 설치되며, 그 상부가 상기 진공처리 장치(300)의 하부면과 결합되고, 그 하부는 상기 핀 지지대(340)의 상부면과 결합된다. 즉, 상기 밀봉수단(340)은 상기 진공처리 장치(300)의 하부면 중 제2 핀 통과홀(336)이 형성된 부분 외부에 결합되고, 상기 리프트 핀(332)이 핀 지지대(340)에 결합된 부분의 외부에 결합되어 상기 리프트 핀(332)의 하부를 감싸도록 구비되는 것이다. 따라서 상기 밀봉수단(338)은 상기 리프트 핀(332)이 상하로 구동되더라도 상기 진공처리 장치(300)의 내부에 형성된 진공분위기를 유지할 수 있도록 하는 것이다. 이때 상기 밀봉수단(340)은 벨로우즈 모듈로 형성되는 것이 바람직하다.
따라서 본 실시예에서는 상기 밀봉수단(338)이 상기 진공처리 장치(300)의 외부에 설치되므로 상기 실시예 1과 달리 상기 밀봉수단(338)의 높이에 의한 진공처리 장치(300)의 내부 높이가 불필요하므로 상기 진공처리 장치(300)의 체적을 실시예 1보다 더 줄일 수 있는 장점이 있다. 또한 상기 밀봉수단(338)이 진공처리 장치(300)의 외부에 설치되어 있으므로 그 사용 과정상에 보수 작업이 요구되는 경우 그 보수작업이 용이한 장점이 있다.
다음으로 본 실시예에서도 상기 실시예 1에서와 마찬가지로 핀 지지대(340)에 상기 리프트 핀(332)의 하부가 결합된다. 이때 상기 복수개의 리프트 핀(332)은 모두 하나의 핀지지대(340)에 결합된다. 따라서 상기 핀 지지대(340)의 상하 구동에 의하여 복수개의 리프트 핀(332)이 동시에 상하로 구동하게 되는 것이다. 또한 상기 핀 지지대(340)에는 구동축(342)이 더 구비되는 것이 바람직하다. 따라서 상기 구동축(342)은 상기 구동수단(344)의 동력을 전달 받아서 상기 핀 지지대(340)를 상하로 구동시킨다. 이때 상기 구동축(342)은 볼 스크류 또는 볼 스플라인으로 형성되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 구동축(342)은 구동수단(344)과 연결된다. 이때 상기 구동수단(344)은 상기 구동축(342)의 하부에 직접 연결될 수도 있지만, 도 3에 도시된 바와 같이 동력전달수단(346)에 의하여 간접적으로 연결되어 상기 구동축(342)의 측방에 평행하게 연결될 수도 있다. 동력전달수단(346)에 의하여 상기 구동축(342)과 구동수단(344)을 연결시키는 이유는 실시예 1에서와 마찬가지로 진공처리 장치(300)의 전체의 높이를 낮추기 위한 것이다. 이때 상기 동력전달수단(346)은 타이밍 벨트인 것이 바람직하다.
이하에서는 본 실시예에 따른 진공처리 장치(300)의 작동방법을 설명한다. 먼저 상기 구동수단(344)에서 동력을 발생시킨다. 상기 구동수단(344)에서 발생된 동력은 상기 동력전달수단(346)에 의하여 상기 구동축(342)으로 전달되고, 상기 구동축(342)을 회전시킨다. 그러면 상기 구동축(342)의 외부면과 상기 핀 지지대(340) 중 상기 구동축(342)과 연결되는 부분에 형성되어 있는 나사구조에 의하여 상기 핀 지지대(340)가 상하로 구동하게 된다.
상기 핀 지지대(340)가 상하로 구동하게 되면 상기 핀 지지대(340)에 모두 한꺼번에 결합되어 있는 상기 복수개의 리프트 핀(332)이 동시에 상하로 구동한다. 그리고 상기 밀봉수단(338)은 상기 리프트 핀(332)이 상하로 구동함에 따라 상하 방향으로 함께 신장 또는 수축함으로써 상기 리프트 핀(332)이 상하로 구동함에도 불구하고 상기 진공처리 장치(300) 내의 진공분위기를 유지하게 된다.
본 발명에 의하면 핀 지지대를 진공처리 장치의 외부에 설치함으로써 핀 지지대의 구조적인 안정성을 확보할 수 있으며, 핀 지지대의 유지, 보수 작업이 용이한 장점이 있다.
또한, 본 발명에 의하면 핀 지지대를 진공처리 장치의 외부에 설치함으로써 상기 핀 지지대에 의한 진공처리 장치 내부의 체적을 감소시킬 수 있는 장점이 있고, 따라서 상기 진공처리 장치의 진공분위기를 위한 펌핑 작업에 소요되는 시간을 단축할 수 있는 장점이 있다.
또한 본 발명에 의하면 핀 지지대를 상기 진공처리 장치의 외부에 설치함으로써 핀 지지대 자체의 두께를 얇게 형성시킬 수 있어서, 핀 지지대의 기계적인 안정성이 향상되며, 진공처리 장치 외부에 별도의 외부 플레이트가 필요치 않아서 핀 지지대의 구조가 간단해지는 장점이 있으며, 진공처리 장치 자체의 높이를 낮출 수 있는 장점이 있다.
도 1은 진공처리 장치에 설치되어 있는 종래의 핀 지지대의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 핀 지지대가 진공처리 장치에 설치된 구조를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시에에 따른 핀 지지대가 진공처리 장치에 설치된 구조를 나타내는 단면도이다.
< 도면의 주요부분에 대한 부호 설명 >
100 : 종래의 진공처리 장치 110 : 종래의 상부 전극
120 : 종래의 하부 전극 132 : 종래의 리프트 핀
134 : 종래의 핀 지지대 140 : 종래의 구동수단
200 : 실시예 1에 따른 진공처리 장치
210 : 실시예 1의 상부 전극 220 : 실시예 1의 하부 전극
232 : 실시예 1의 리프트 핀 242 : 실시예 1의 핀 지지대
244 : 실시예 1의 구동축 246 : 실시예 1의 구동수단
248 : 실시예 1의 동력전달 수단
300 : 실시예 2에 따른 진공처리 장치
310 : 실시예 2의 상부 전극 320 : 실시예 2의 하부 전극
332 : 실시예 2의 리프트 핀 340 : 실시예 2의 핀 지지대
342 : 실시예 2의 구동축 344 : 실시예 2의 구동수단
346 : 실시예 2의 동력전달수단

Claims (15)

  1. 내부에 상부 전극, 하부 전극 및 기판에 소정의 처리를 하기 위한 기판 처리 장치가 구비된 진공처리 장치에 있어서,
    상기 하부 전극의 소정 부위를 관통하여 형성되는 핀 통과홀에 삽입되어 구비되는 복수개의 리프트 핀;
    상기 진공처리 장치의 내부에서 상기 리프트 핀의 하단에 결합되어 상기 리프트 핀을 고정시키며, 상기 진공처리 장치의 하부면을 관통하여 구비되는 핀 고정수단;
    그 상부는 상기 핀 고정수단의 상부 소정부위에 결합되고, 그 하부는 상기 진공처리 장치의 하부면에 결합되되, 상기 핀 고정수단을 감싸도록 구비되는 밀봉수단;
    진공처리 장치의 외부에서 상기 핀 고정수단의 하단과 결합하며, 상기 핀 고정수단을 지지하는 핀 지지대;
    상기 핀 지지대에 연결되어 상기 핀 지지대를 상하 방향으로 구동시키는 구동수단; 및
    소정 부위에 상기 핀 지지대 및 상기 구동수단에 연결되도록 구비되어 상기 핀 지지대가 상하로 구동되도록 하는 구동축;
    을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 진공처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 밀봉수단은,
    벨로우즈 모듈(Bellows module)인 것을 특징으로 하는 진공처리 장치.
  3. 삭제
  4. 제2항에 있어서, 상기 구동축은,
    볼 스크류(ball screw) 또는 볼 스플라인(ball spline)인 것을 특징으로 하는 진공처리 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 구동축과 상기 구동수단은 동력전달수단에 의하여 연결되는 것을 특징으로 하는 진공처리 장치.
  6. 제5항에 있어서 상기 구동수단은,
    상기 구동축의 측방에 평행하게 위치되는 것을 특징으로 하는 진공처리 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 동력전달수단은,
    타이밍 벨트(timing belt)인 것을 특징으로 하는 진공처리 장치.
  8. 내부에 상부 전극, 하부 전극 및 기판에 소정의 처리를 하기 위한 기판 처리 장치가 구비된 진공처리 장치에 있어서,
    상기 하부 전극의 소정 부위를 관통하여 형성되는 제1 핀 통과홀 및 상기 진공처리 장치의 하부면 소정 부위를 관통하여 형성되는 제2 핀 통과홀에 삽입되어 구비되는 복수개의 리프트 핀;
    그 상부는 상기 진공처리 장치의 하면에 결합되고, 상기 핀 고정수단을 감싸도록 구비되는 밀봉수단;
    진공처리 장치의 외부에서 상기 리프트 핀 하단 및 상기 밀봉수단의 하부와 결합하며, 상기 리프트 핀을 지지하는 핀 지지대;
    상기 핀 지지대에 연결되어 상기 핀 지지대를 상하 방향으로 구동시키는 구동수단; 및
    소정 부위에 상기 핀 지지대 및 상기 구동수단에 연결되도록 구비되어 상기 핀 지지대가 상하로 구동되도록 하는 구동축;
    을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 진공처리 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 리프트 핀은,
    복수개의 조각으로 이루어지고, 각 조각은 밀착, 결합되는 것을 특징으로 하는 진공처리 장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 밀봉수단은,
    벨로우즈 모듈(Bellows module)인 것을 특징으로 하는 진공처리 장치.
  11. 삭제
  12. 제10항에 있어서, 상기 구동축은,
    볼 스크류(ball screw) 또는 볼 스플라인(ball spline)인 것을 특징으로 하는 진공처리 장치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 구동축과 상기 구동수단은 동력전달수단에 의하여 연결되는 것을 특징으로 진공처리 장치.
  14. 제13항에 있어서 상기 구동수단은,
    상기 구동축의 측방에 평행하게 위치되는 것을 특징으로 하는 진공처리 장치.
  15. 제13항에 있어서, 상기 동력전달수단은,
    타이밍 벨트(timing belt)인 것을 특징으로 하는 진공처리 장치.
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