KR100734781B1 - 액정 디스플레이 기판용 플라즈마 식각 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정 디스플레이 기판을 상하로 이동시키는 복수 개의 리프트 핀들을 구비하는 플라즈마 식각 장치에 관한 것이다. 본 발명의 플라즈마 식각 장치는 플레이트와, 복수 개의 리프트 핀들과, 플레이트 하단부와 연결되고 리프트 핀을 둘러싸는 벨로우즈 튜브와, 리프트 핀과 벨로우즈 튜브를 체결하고, 플레이트로부터 벨로우즈 튜브를 경유하여 리프트 핀으로 도통되는 고주파 전원을 차단시키는 체결부재 및, 플레이트와 리프트 핀 사이를 전기적으로 연결하는 연결 케이블을 포함한다. 따라서 본 발명에 의하면, 플라즈마 식각 장치는 플레이트와 리프트 핀 사이를 직접 전기적으로 연결하고, 벨로우즈 튜브로부터 리프트 핀으로 공급되는 고주파 전원을 차단함으로써, 고주파 전원의 흐름을 원활하게 하여, 식각 균일성을 유지한다.
리프트 핀, 플라즈마 식각 장치, 벨로우즈 튜브, 연결 케이블, 고주파 전원

Description

액정 디스플레이 기판용 플라즈마 식각 장치{PLASMA ETCHING APPARATUS FOR SUBSTRATE OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY}
도 1은 일반적인 액정 디스플레이 기판의 플라즈마 식각 장치의 일부 구성을 도시한 도면; 그리고
도 2는 본 발명에 따른 액정 디스플레이 기판을 상하로 이동시키는 리프트 핀들을 구비하는 플라즈마 식각 장치의 일부 구성을 도시한 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 플라즈마 식각 장치 102 : 박막
104 : 글래스 106 : 액정 디스플레이 기판
108 : 플레이트 110 : 전원 공급부
112 : 리프트 핀 114 : 체결부재
116 : 벨로우즈 튜브 118 : 지지부재
120 : 연결 케이블 122 : 연결부재
본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 액정 디스 플레이 기판의 플라즈마 식각 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 설비는 공정 진행시, 액정 디스플레이 기판 또는 웨이퍼 기판 등의 피처리물을 고정하기 위한 플레이트(plate) 또는 스테이지(stage)를 구비하고, 플레이트는 기판을 로딩 및 언로딩시 기판을 지지하는 리프트 장치(예를 들어, 리프트 핀, 지지핀 등)를 구비한다.
예를 들어, 플라즈마 식각 장치는 플라즈마 상태의 이온들 및 활성 종들의 작용을 이용하여 기판을 건식 식각한다. 이 때, 플레이트는 식각 공정에서 피처리물을 최적의 위치에 고정시킨다. 이를 위해 일반적으로, 플라즈마 식각 장치는 정전 흡착 방식으로 플레이트에 고주파 전원을 인가하여, 플레이트의 표면상에 정전기를 유도시켜서 피검사물을 흡착한다.
도 1을 참조하면, 일반적인 액정 디스플레이 기판용 플라즈마 식각 장치(10)는 고주파(RF) 전원을 공급하는 전원 공급부(22)와, 글래스(glass)(4)에 박막(thin film)(2)이 형성된 액정 디스플레이 기판(6)이 로딩되는 플레이트(12)와, 플레이트(12)에 형성된 복수 개의 홀들에 대응하여 액정 디스플레이 기판(12)이 안착되는 복수 개의 리프트 핀(14)들과, 리프트 핀(14)을 둘러싸는 벨로우즈 튜브(18)와, 벨로우즈 튜브(18)와 리프트 핀(14)을 체결하는 체결부재(16) 및, 리프트 핀(14)들을 연결되도록 결합시키고 리프트 핀(14)들 하부를 지지하는 지지부재(20)를 포함한다.
플레이트(12)는 플라즈마 공정 챔버 내부에 구비되며, 예를 들어, 액정 디스플레이 기판(6) 상에 잔존하는 포토레지스터의 찌꺼기를 제거하기 위해 고주파(RF) 전원을 공급받아서 높은 온도로 가열되고, 리프트 핀(14)들은 외부로부터 액정 디스플레이 기판(6)이 로딩되면, 액정 디스플레이 기판(6)을 상승 및 하강시킨다.
그리고 체결부재(16)는 전도성 물질로 구비되고 지지부재(20)는 절연 물질로 구비되어 플레이트(12)로 공급된 고주파 전원이 벨로우즈 튜브(18) 및 체결부재(16)를 통하여 리프트 핀(14)으로 전달된다.
이러한 플라즈마 식각 장치(10)는 리프트 핀(14)에 의한 불균일성을 제거하기 위해 플레이트에 인가되는 고주파 전원이 벨로우즈 튜브를 경유하여 자연스럽게 리프트 핀(14)에 인가되는 방식을 사용한다. 그러나, 도면의 화살표로 나타낸 고주파 전원은 플레이트(12)로부터 벨로우즈 튜브(18)를 통하여 리프트 핀(14)으로 도통되어, 리프트 핀(14)과 액정 디스플레이 기판(6)이 접촉되는 부분이 불균일한 플라즈마가 형성된다. 이 경우, 벨로우즈 튜브(18)에 의하여 리프트 핀(14)으로의 원활한 고주파 전원 공급에 방해를 받게 된다. 그 결과, 고주파 전원이 손실되고, 또 식각 공정에서 리프트 핀(14) 주변의 액정 디스플레이 기판(6)에서 플라즈마는 불균일한 특성을 보여서 액정 디스플레이 기판(6)의 식각 불균일성이 발생하는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 식각 균일성을 위한 액정 디스플레이 기판용 플라즈마 식각 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 리프트 핀들과 플레이트의 고주파 전원을 원활히 공 급하도록 하는 액정 디스플레이 기판용 플라즈마 식각 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 액정 디스플레이 기판용 플라즈마 식각 장치는 플레이트와 리프트 핀 사이를 직접 전기적으로 연결하고, 벨로우즈 튜브로부터 리프트 핀으로 공급되는 고주파 전원을 차단하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 플라즈마 식각 장치는 벨로우즈 튜브를 경유하여 리프트 핀으로 공급되는 고주파 전원을 차단하여 리프트 핀 주변의 액정 디스플레이 기판을 식각 균일성을 유지하게 한다.
본 발명의 플라즈마 식각 장치는, 액정 디스플레이 기판이 로딩되고, 고주파 전원을 공급받는 플레이트와; 상기 플레이트에 구비되어 상기 로딩된 액정 디스플레이 기판을 상하로 이동시키는 복수 개의 리프트 핀들과; 상기 플레이트 하단부와 연결되고 상기 리프트 핀을 둘러싸는 벨로우즈 튜브와; 상기 리프트 핀과 상기 벨로우즈 튜브를 체결하고, 상기 플레이트로부터 상기 벨로우즈 튜브를 경유하여 상기 리프트 핀으로 도통되는 고주파 전원을 차단시키는 체결부재 및; 상기 플레이트와 상기 리프트 핀 사이를 전기적으로 연결하는 연결 케이블을 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 플라즈마 식각 장치는; 상기 리프트 핀들을 연결하는 연결부재 및; 상기 연결부재를 지지하는 지지부재를 포함하되; 상기 연결 케이블은 상기 플레이트와 상기 연결부재를 전기적으로 연결하고, 상기 연결부재를 통하여 상기 플레이트와 상기 리프트 핀이 전기적으로 연결된다.
이 실시예에 있어서, 상기 지지부재는 절연 물질로 구비된다.
다른 실시예에 있어서, 상기 체결부재는 절연 물질로 구비된다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 고주파 전원을 공급받는 플레이트와 리프트 핀들 사이를 직접 전기적으로 연결하는 플라즈마 식각 장치가 제공된다. 이와 같은 본 발명의 플라즈마 식각 장치는 고주파 전원을 공급을 원활하게 하여 액정 디스플레이 기판의 식각 균일성을 유지할 수 있다.
본 발명의 액정 디스플레이 기판용 플라즈마 식각 장치는, 상기 액정 디스플레이 기판이 로딩되는 플레이트와; 상기 플레이트에 구비되어 상기 로딩된 액정 디스플레이 기판을 상하로 이동시키는 복수 개의 리프트 핀들 및; 상기 플레이트와 상기 리프트 핀들이 전기적으로 연결되도록 상기 플레이트와 상기 리프트 핀들을 연결하는 연결 케이블을 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 플라즈마 식각 장치는; 상기 리프트 핀들을 연결하는 연결부재 및; 상기 연결부재를 지지하는 지지부재를 포함하되; 상기 연결 케이블은 상기 플레이트와 상기 연결부재를 전기적으로 연결하고, 상기 연결부재를 통하여 상기 플레이트와 상기 리프트 핀이 전기적으로 연결된다.
이 실시예에 있어서, 상기 지지부재는 절연 물질로 구비된다.
다른 실시예에 있어서, 상기 플라즈마 식각 장치는; 상기 플레이트 하단부와 연결되고 상기 리프트 핀을 둘러싸는 벨로우즈 튜브와; 상기 리프트 핀과 상기 벨로우즈 튜브를 체결하고, 상기 플레이트로부터 상기 벨로우즈 튜브를 경유하여 상기 리프트 핀으로 도통되는 고주파 전원을 차단시키는 체결부재를 더 포함한다.
이 실시예에 있어서, 상기 체결부재는 절연 물질로 구비된다.
본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예들로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 액정 디스플레이 기판을 위한 플라즈마 식각 장치의 일부 구성을 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 플라즈마 식각 장치(100)는 플라즈마 공정 챔버 내부에 글래스(104)에 박막(102)이 형성된 액정 디스플레이 기판(106)이 로딩되는 플레이트(108)와, 플레이트(108)에 복수 개가 관통된 리프트 홀들에 대응하여 구비되는 복수 개의 리프트 핀(112)들 및 플레이트(108)와 리프트 핀(112)들을 직접 전기적으로 연결하는 연결 케이블(120)을 포함한다.
그리고 플라즈마 식각 장치(100)는 플레이트(108)로 고주파(RF) 전원을 공급하는 전원 공급부(110)와, 플레이트(108) 하부에 체결되어 리프트 핀(112)을 둘러싸는 벨로우즈 튜브(116)와, 벨로우즈 튜브(116)와 리프트 핀(112) 하단부를 체결하는 체결부재(114)와, 복수 개의 리프트 핀(112)들을 결합하고, 전기적으로 연결시키는 연결부재(122) 및, 연결부재(122)를 지지하는 지지부재(118)를 포함한다. 여기서 체결부재(114) 및 지지부재(118)는 절연 물질로 구비되며, 연결부재(122)는 전도성 물질로 구비된다.
체결부재(114)는 전원 공급부(110)로부터 플레이트(108)로 공급되는 고주파 전원이 벨로우즈 튜브(116)를 경유하여 리프트 핀(112)으로 공급되는 것을 차단시킨다.
그리고 연결 케이블(120)은 예를 들어, 플렉시블 케이블(flexible cable) 타입으로 구비되어, 플레이트(108)와 연결부재(122)를 직접 연결하고, 플레이트(108)로부터 공급되는 고주파 전원을 연결부재(120)를 경유하여 리프트 핀(112)으로 공급한다.
본 발명의 플라즈마 식각 장치(100)는 리프트 핀(112)에 인가되는 고주파 전원의 흐름을 원활하게 하기 위하여, 벨로우즈 튜브(116)를 통하여 공급되는 고주파 전원을 차단시키고, 플레이트(108)와 리프트 핀(112) 사이에 직접 전기적으로 연결한다. 따라서 플레이트(108) 및 리프트 핀(112)으로 원활한 고주파 전원을 공급이 가능하고, 이로 인하여 리프트 핀(112) 주변의 플라즈마를 균일하게 형성한다.
이상에서, 본 발명에 따른 액정 디스플레이 기판을 위한 플라즈마 식각 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면을 이용하여 설명하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 액정 디스플레이 기판용 플라즈마 식각 장치는 플레이트로 공급되는 고주파 전원의 흐름을 원활하게 하기 위하여, 벨로우즈 튜브를 경유하여 리프트 핀으로 공급되는 고주파 전원을 차단하고, 플레이트와 리프트 핀을 전기적으로 연결시킴으로써, 액정 디스플레이 기판 전체에 플라즈마를 균일하게 형성할 수 있다.
그러므로 벨로우즈 튜브를 경유하여 공급되는 고주파 전원에 의해 리프트 핀 주변의 불균일한 플라즈마 형성을 방지함으로써, 액정 디스플레이 기판의 식각 균일성을 유지할 수 있다.

Claims (9)

  1. 플라즈마 식각 장치에 있어서:
    액정 디스플레이 기판이 로딩되고, 고주파 전원을 공급받는 플레이트와;
    상기 플레이트에 구비되어 상기 로딩된 액정 디스플레이 기판을 상하로 이동시키는 복수 개의 리프트 핀들과;
    상기 플레이트 하단부와 연결되고 상기 리프트 핀을 둘러싸는 벨로우즈 튜브와;
    상기 리프트 핀과 상기 벨로우즈 튜브를 체결하고, 상기 플레이트로부터 상기 벨로우즈 튜브를 경유하여 상기 리프트 핀으로 도통되는 고주파 전원을 차단시키는 체결부재 및;
    상기 플레이트와 상기 리프트 핀 사이를 전기적으로 연결하는 연결 케이블을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 식각 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 플라즈마 식각 장치는;
    상기 리프트 핀들을 연결하는 연결부재 및;
    상기 연결부재를 지지하는 지지부재를 포함하되;
    상기 연결 케이블은 상기 플레이트와 상기 연결부재를 전기적으로 연결하고, 상기 연결부재를 통하여 상기 플레이트와 상기 리프트 핀이 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 식각 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 지지부재는 절연 물질로 구비되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 식각 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 체결부재는 절연 물질로 구비되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 식각 장치.
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