CN205527728U - 一种吸气剂电加热激活装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种吸气剂电加热激活装置，包括采用耐高温绝缘材料制作的支撑桥面，所述支撑桥面通过导电桥墩搭建起来，在支撑桥面上设置有吸气材料层，所述吸气材料层通过电加热金属丝进行加热激活，所述电加热金属丝与导电桥墩电连接，形成供电通路。本实用新型使用时，在高真空环境下将电加热金属丝通电加热，利用其“热电阻效应”间歇性检测电阻值，实现闭环检测温度，保障其准确的温度控制，充分激活吸气材料，提高吸气效率，保障相关真空器件的性能和寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种吸气剂加热激活装置，具体涉及一种吸气剂电加热激活装置。
背景技术
采用MEMS工艺制造的智能传感器，如：加速度、陀螺仪、谐振压力、光电图像等，这些智能传感器需要工作在高真空、高洁净的环境下，才能保障其指标Q值和寿命。为了满足智能传感器工作环境需求，通常将智能传感器封装于密闭腔体内并在密闭腔体内设置杂质吸附器件，例如吸气剂，用来吸收封装腔体内部缓慢释放的气体、水分等污染物，维持内部高真空环境。
目前，吸气剂普遍采用薄膜、柱状、片状等形态，在使用前需要将吸气剂加热到300～900℃，充分激活后才能够正常使用。例如本公司在申请号为2015107877841中所公开的，其中，柱状及片状吸气剂通常采用内置金属丝进行电加热激活，而薄膜状吸气剂则通常采用金属板加热激活。采用上述吸气剂加热激活装置，其温度无法精确控制，不能确保充分激活吸气剂，无法满足市场对高性能吸气剂激活装置的需求。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种新型吸气剂电加热激活装置，对传统吸气剂加热激活装置进行了突破性的改进，显著提高激活效果。
本实用新型采用的技术方案为：一种吸气剂电加热激活装置，包括采用耐高温绝缘材料制作的支撑桥面，所述支撑桥面通过导电桥墩搭建起来，在支撑桥面上设置有吸气材料层，所述吸气材料层通过电加热金属丝加热激活，所述电加热金属丝与导电桥墩电连接，形成供电通路。
优选地，所述吸气剂电加热激活装置为单层结构，所述支撑桥面的个数为1，所述吸气材料层和电加热金属丝分别设置在支撑桥面的上表面和下表面上，或者下表面和上表面上。
优选地，所述吸气剂电加热激活装置为单层结构，所述支撑桥面的个数为2，其中，第一支撑桥面通过导电桥墩搭建起来，第二支撑桥面通过电加热金属丝设置在第一支撑桥面上，所述吸气材料层分别设置在第一支撑桥面的下表面和第二支撑桥面的上表面上。
优选地，所述吸气剂电加热激活装置为多层结构，每一层中支撑桥面的个数为1，所述吸气材料层和电加热金属丝分别设置在支撑桥面的上表面和下表面上，或者下表面和上表面上。
优选地，所述吸气剂电加热激活装置为多层结构，每一层中支撑桥面个数为2，其中，第一支撑桥面通过导电桥墩搭建起来，第二支撑桥面通过电加热金属丝设置在第一支撑桥面上，所述吸气材料层分别设置在第一支撑桥面的下表面和第二支撑桥面的上表面上。
优选地，所述电加热金属丝为弯折状或圆环状。
优选地，所述导电桥墩采用金属或合金制成。
优选地，所述吸气材料层是合金或石墨烯。
优选地，所述支撑桥面的形状为方形、多边形或圆形。
优选地，所述支撑桥面采用氮化硅或氧化硅制作而成。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：
本实用新型对传统吸气剂加热激活装置进行了突破性的改进，将采用耐高温绝缘材料制作的支撑桥面通过桥墩搭建起来，在支撑桥面上设置有吸气材料层，所述吸气材料层通过电加热金属丝进行加热激活。使用时，在高真空环境下将电加热金属丝通电加热，利用其“热电阻效应”间歇性检测电阻值，实现闭环检测温度，准确控制温度，充分激活吸气材料，提高吸气效率，全面保障相关真空器件的性能和寿命；另外，将本实用新型设计成多层结构能够为吸气材料提供更多安置空间，在有限的空间内显著增大吸气材料接触面积，提高吸气效果，延长相关真空器件使用寿命。
附图说明
图1是实施例1中提供的吸气剂电加热激活装置结构示意图1；
图2是实施例1中提供的吸气剂电加热激活装置结构示意图2；
图3是实施例1中提供的吸气剂电加热激活装置结构示意图3；
图4是本实用新型吸气剂电加热激活装置俯视图1；
图5是本实用新型吸气剂电加热激活装置俯视图2；
图6是实施例2提供的吸气剂电加热激活装置结构示意图4；
图7是实施例2提供的吸气剂电加热激活装置结构示意图5；
图8是实施例2提供的吸气剂电加热激活装置结构示意图6。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步描述。
实施例1：参见图1至3，一种吸气剂电加热激活装置，包括采用耐高温绝缘材料制作的支撑桥面10，所述支撑桥面10通过导电桥墩20搭建起来，在支撑桥面10上设置有吸气材料层30，所述吸气材料层30是通过电加热金属丝40进行加热激活，所述电加热金属丝与导电桥墩电连接，形成供电通路。在本实用新型中，所述电连接可以是直接连接或者通过导电金属实现电连接均可。
具体地，所述支撑桥面可以但不限于选用氮化硅或氧化硅等耐高温绝缘材料制成；所述导电桥墩可以但不限于采用金属或合金制成；所述吸气材料层可以选择市场上通用的吸气材料，例如锆、钒、铁、铝、铼或钛中的两种或两种以上元素形成的合金，采用化学沉积CVD或蒸镀法沉积在支撑桥面上；或者石墨烯材料，采用纳米工艺制作而成。
在本实施例中，所述吸气剂电加热激活装置是单层结构，所述吸气材料层30和电加热金属丝40的设置方式的关键在于：电加热金属丝40需要设置在支撑桥面上相对吸气材料层30的另一面上，间隔支撑桥面10实现绝缘。
示例的，所述支撑桥面10的个数为1，所述吸气材料层30和电加热金属丝40可以分别设置在支撑桥面10的上表面或下表面上，所述电加热金属丝40可直接连接导电桥墩，实现供电，如图1所示；
或者，所述支撑桥面10的个数为1，所述吸气材料层30与所述电加热金属丝40分别设置在支撑桥面的下表面和上表面上，所述电加热金属丝40通过导电金属连接导电桥墩实现供电，如图2所示；
又或者，所述支撑桥面的个数为2，其中，第一支撑桥面11通过导电桥墩20搭建起来，第二支撑桥面12通过电加热金属丝40设置在第一支撑桥面11上，所述吸气材料层30分别设置在第一支撑桥面11的下表面和第二支撑桥面12的上表面上，如图3所示。很明显地，采用此种方式能够增大吸气材料接触面积，提高吸气效果，同时降低激活能耗。需要注意的是，单层结构的吸气剂加热激活装置中支撑桥面的个数并不限定于1或2，还可以是3、4、5等其他情况，本实用新型不能穷举。
这里，电加热金属丝40的形状可以有多种选择。
示例的，所述电加热金属丝40可以是为弯折状，其两端接口分别连接两个导电桥墩，形成供电通路，如图4所示；或者，所述电加热金属丝40为圆环状，其两端接口连接两个导电桥墩，形成供电通路，如图5所示。其中，电加热金属丝40优选采用市场上通用的金属材料，例如钨、钼、镍中的一种，采用标准的MEMS工艺制造，将图形化的金属材料通过PVD、化学沉积CVD或蒸镀法等方法沉积在支撑桥面上。当然，所述电加热金属丝的形状和制造工艺还可以有其他选择，并不限定于此。
使用时，在高真空环境下将电加热金属丝40通电加热，利用其“热电阻效应”间歇性检测电阻值，实现闭环检测温度，保障其准确的温度控制，充分激活吸气材料，提高吸气效率，全面保障智能传感器的性能和寿命。
实施例2：在实施例1中，所述吸气剂电加热激活装置是单层结构。然而，在本实用新型中，所述装置可以是多层结构，其层数可以根据需要进行设定。因此，在本实施例中，所述吸气剂电加热激活装置的具体层数为3，每一层的桥墩之间通过导电金属进行连接，实现多层供电。
具体地，每一层中支撑桥面10的个数为1，通过导电桥墩20逐层搭建起来，所述吸气材料层30和电加热金属丝40分别设置在支撑桥面的上表面和下表面上，如图6所示；或者，所述吸气材料层30和电加热金属丝40分别设置在支撑桥面的下表面和上表面上，如图7所示。
又或者，所述吸气剂电加热激活装置为多层结构，具体层数为3，每一层中支撑桥面个数为2，其中，第一支撑桥面11通过导电桥墩20搭建起来，第二支撑桥面12通过电加热金属丝40设置在第一支撑桥面11上，所述吸气材料层30分别设置在第一支撑桥面的下表面和第二支撑桥面的上表面上，如图8所示。
很明显地，多层结构能够为吸气材料提供更多安置空间，在有限的空间内显著增大吸气材料接触面积，提高吸气效果，延长相关真空器件使用寿命。
需要注意的是，在上述实施例中，所述支撑桥面和桥墩为方形，但所述支撑桥面和桥墩的形状还可以是三角形、方形、多边形或者圆形等等，本实用新型不做具体限定。
总之，以上仅为本实用新型较佳的实施例，并非用于限定本实用新型的保护范围，在本实用新型的精神范围之内，对本实用新型所做的等同变换或修改均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种吸气剂电加热激活装置，其特征在于：包括采用耐高温绝缘材料制作的支撑桥面，所述支撑桥面通过导电桥墩搭建起来，在支撑桥面上设置有吸气材料层，所述吸气材料层通过电加热金属丝加热激活，所述电加热金属丝与导电桥墩电连接，形成供电通路。
2.根据权利要求1所述的一种吸气剂电加热激活装置，其特征在于：所述吸气剂电加热激活装置为单层结构，所述支撑桥面的个数为1，所述吸气材料层和电加热金属丝分别设置在支撑桥面的上表面和下表面上，或者下表面和上表面上。
3.根据权利要求1所述的一种吸气剂电加热激活装置，其特征在于：所述吸气剂电加热激活装置为单层结构，所述支撑桥面的个数为2，其中，第一支撑桥面通过导电桥墩搭建起来，第二支撑桥面通过电加热金属丝设置在第一支撑桥面上，所述吸气材料层分别设置在第一支撑桥面的下表面和第二支撑桥面的上表面上。
4.根据权利要求1所述的一种吸气剂电加热激活装置，其特征在于：所述吸气剂电加热激活装置为多层结构，每一层中支撑桥面的个数为1，所述吸气材料层和电加热金属丝分别设置在支撑桥面的上表面和下表面上，或者下表面和上表面上。
5.根据权利要求1所述的一种吸气剂电加热激活装置，其特征在于：所述吸气剂电加热激活装置为多层结构，每一层中支撑桥面个数为2，其中，第一支撑桥面通过导电桥墩搭建起来，第二支撑桥面通过电加热金属丝设置在第一支撑桥面上，所述吸气材料层分别设置在第一支撑桥面的下表面和第二支撑桥面的上表面上。
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的一种吸气剂电加热激活装置，其特征在于：所述电加热金属丝为弯折状或圆环状。
7.根据权利要求1至5中任意一项所述的一种吸气剂电加热激活装置，其特征在于：所述导电桥墩采用金属或合金制成。
8.根据权利要求1至5中任意一项所述的一种吸气剂电加热激活装置，其特征在于：所述吸气材料层是合金或石墨烯。
9.根据权利要求1至5中任意一项所述的一种吸气剂电加热激活装置，其特征在于：所述支撑桥面的形状为多边形或圆形。
10.根据权利要求1至5中任意一项所述的一种吸气剂电加热激活装置，其特征在于：所述支撑桥面采用氮化硅或氧化硅制作而成。
Priority Applications (1)
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| CN201620276266.3U CN205527728U (zh) | 2016-04-06 | 2016-04-06 | 一种吸气剂电加热激活装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN105692545A (zh) * | 2016-04-06 | 2016-06-22 | 合肥芯福传感器技术有限公司 | 一种吸气剂电加热激活装置 |
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2016
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