TWI300234B - - Google Patents

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1300234 A7 B7 五、發明説明（） 1 技術領域 本發明係有關構成電漿顯示器面板的板面材料，具製 造效率高、形成圖形性優，又可使用轉印薄膜，比向來的 力法可更實質的提高作業性的電漿顯示器面板的製造方法 及轉印薄膜。 先行技術 電漿顯示器面板（PDP)係大型面板中製造製程容易，視 角廣，自發光型顯示品位高等的理由，在平面面板顯示技 術之中被注目，特別是彩色電漿顯示器面板，20吋以上的 壁掛電視用的顯示裝置期待成爲將來的主流。 彩色-PDP由氣體放電發生的紫外線照射於螢光物可顯 示彩色。而一般相關的彩色-PDP，紅色發光用螢光物位置 、綠色發發光用螢光物位置及藍色發光用螢光物位置係形 成於基板上，各色的發光顯示胞均勻的構成混合存在於全 體。具體的，如於玻璃所成的基板表面，設置由絕緣材料 形成的所謂柵欄的隔板，由此，隔板多數的顯示胞被區隔 ，該顯示的內部成爲電漿作用的空間。因此，此電漿作用 空間可設置螢光物位置的同時，於此螢光物位置設置作用 電漿的電極，構成各各顯示胞的顯示單位的電漿顯示器面 板。 圖1所示爲交流型的PDP的剖面形狀的模式圖。同圖， 1及2爲對向配置的玻璃基板，3爲隔板，由玻璃基板1、玻 璃基板2及隔板3區隔形成”胞”。4爲固定於玻璃基板1的透明 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填《$頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -4- 1300234 at B7 五、發明説明（2 ) 電極、5爲降低透明電極的電阻爲目的，於透明電極上形成 的配線電極、6爲固定於透明基板的座標電極、7爲保持於 胞內的螢光物，8爲被覆透明電極4及配線電極5形成於玻璃 基板1表面的介電質層、9爲被覆座標電極6於玻璃基板2的 表面上形成的介電質層、10爲由氧化鎂所成的保護膜。又 ，直流型的PDP，通常電極端子（陽極端子）與電極簧片（陽 極簧片）之間設置電阻。又，爲提高PDP的對比，設置紅色 、綠色、藍色的彩色濾片或黑影像板於上述介電質8與保護 膜10之間。 有關此的電漿顯示器面板的面板材料的製造方法，已 知（1)由離子潑射法或電子束蒸鍍法等的方法，（2)焙燒由網 板印刷法等形成含無機粉體樹脂，除去有機物質的方法等 ，各個面板材料，通常由重複上述（1)或（2)的方法而形成。 發明揭示 但是，上述（1)的方法需要大型的真空設備，步驟上的 產能慢爲問題。因此，通常大部份的面板材料使用上述（2) 的方法，上述（2)的方法至少需要重複形成含無機粉體的樹 脂層及焙燒，在製造的效率面亦不能說是充分。又，形成 高精細的圖案可由已知的含曝光、顯像處理的光學平板印 刷法完成含無機粉體樹脂層的圖案形成法，顯像處理時無 機層上含無機粉體樹脂層的圖案容易剝落爲其問題。 本發明的第1目的爲提供製造效率優，於無機層上形成 具有無機圖案的面板材料的電漿顯示面板的製造方法。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ；297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -5- 1300234 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 3 本發明的第2目的爲提供顯像時密合性良好、圖案形成 性優的電漿顯示面板的製造方法。 本發明的第3目的爲提供製造效率、圖案形成性及作業 性優的新穎轉印薄膜。 有關本發明的第一電漿顯示面板的製造方法（以下稱爲 「製造方法I」），由含下述步驟（i)〜（iii)的方法形成無機膜 上的圖案爲其特徵。 (i) 於基板上形成非感光性的第一之含無機粉體之樹脂 層後’於該含無機粉體的樹脂層上形成感光性的第二之含 無機粉體之樹脂層的步驟， (η)將第二之含無機粉體的樹脂層曝光、經顯像處理， 形成第二之含無機粉體之樹脂層的圖案的步驟， (lii)焙燒第一之含無機粉體之樹脂層及形成於該第一之 含無機粉體樹脂層上之第二之含無機粉體樹脂層的步驟。 有關本發明的第一電漿顯示面板的製造方法（以下稱爲 「製造方法II」），由含下述步驟（i)〜（iv)的方法形成無機膜 上的圖案爲其特徵。 (1)於基板上形成非感光性的第一之含無機粉體之樹脂 層後，於該第一之含無機粉體之樹脂層上形成感光性的第 二之含無機粉體之樹脂層，於該第二之含無機粉體之樹脂 層上形成抗蝕膜的步驟， (ii) 將抗蝕膜曝光、經顯像處理，於第二之含無機粉體 之樹脂層上形成圖案的步驟， un)將第二之含無機粉體的樹脂層鈾刻處理，將對應抗 請 先 閲 讀 背 © 之 注 意 事 項 再

訂 Μ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -6 - 1300234 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明h ) 4 蝕膜的第二之含無機粉體之樹脂層的抗蝕圖案形成於第一 之含無機粉體之樹脂層的步驟， (iv)焙燒第一之含無機粉體之樹脂層及形成於該第一之 含無機粉體樹脂層上之第二之含無機粉體樹脂層的步驟。 又，有關發明的第一轉印薄膜（以下以「轉印薄膜I」 稱之），係由支撐薄膜上含有鹼可溶性樹脂成分的感光性之 含無機粉體樹脂層，及含鹼不溶性或難溶性樹脂成分的非 感光性之含無機粉體樹脂層的層合膜所形成爲其特徵。 又，有關發明的第一轉印薄膜（以下以「轉印薄膜II」 稱之），係由支撐薄膜上含鹼可溶性樹脂成分的抗蝕層、含 有鹼可溶性樹脂成分之含無機粉體樹脂層，及含鹼不溶性 或難溶性樹脂成分之含無機粉體樹脂層的層合膜所形成爲 其特徵。 發明之最佳實施形態 以下詳細說明本發明。 <電漿顯示器面板之製造方法> 本發明的電漿顯示器面板之製造方法I，係由含有Π]第 一之含無機粉體之樹脂層的形成步驟、[2]第二之含無機粉 體之樹脂層的形成步驟、[3]曝光步驟、[4]第二之含無機粉 體之樹脂層的顯像步驟、[5]焙燒步驟而形成無機膜上的圖 案。又，本發明的電漿顯示器面板之製造方法Π，係上述 [2]第二之含無機粉體之樹脂層的形成步驟之後，加入[2，]抗 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填頁) Μ 訂 線 1300234 A7 B7 5 五、發明説明（ 鈾膜的形成步驟’更且上述[4]第二之含無機粉體之樹脂層 的顯像步驟改爲[4-1]抗鈾膜的蝕刻步驟及[4-2]第二之含無 機粉體之樹脂層的飩刻步驟。依本發明的電漿顯示器面板 之製造方法，可於介電質層上形成隔板、電極、電阻物、 螢光物、濾色片及黑色矩陣（Black Matrix )中任一種之面 板材料。

[1 ]第一之含無機粉體之樹脂層的形成步驟 訂 弟一之含無機粉體之樹脂層係使用支撐薄膜上形成含 無機粉體樹脂層所構成的轉印薄膜，在基板上由轉印該無 機粉體樹脂層所形成者爲理想，依此形成方法，可容易形 成膜厚均勻性優的無機粉體樹脂層，可期待所形成的圖案 的膜厚均勻化。更且，可使用上述轉印薄膜重複η次轉印 ，可形成η層（η爲2以上整數）第一之含無機粉體之樹脂層 的層合物，或，亦可使用支撐薄膜上由η層的第一之含無 機粉體之樹脂層的層合物所形成的轉印薄膜，一倂轉印於 基板上，形成上述層合物。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 轉印步驟的的例如下。依必要轉印薄膜的保護膜層剝 離後，基板的表面與含無機粉體樹脂層的表面緊接與轉印 薄膜重疊，此轉印薄膜以加熱輥輪熱壓合後，由含無機粉 體樹脂層剝離除去支撐薄膜。依此，基板表面上由轉印含 無機粉體樹脂層呈密合狀態。此處所示轉印條件，例如， 加熱輥輪的表面溫度爲40〜140 °C ，加熱輥輪的輪壓爲 0.1〜10kg/cm，加熱輥輪的移動速度爲〇.1〜10m/分鐘。又， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8 - 1300234 Α7 Β7 五、發明説明（6 ) 基板可先行預熱，預熱溫度可爲40〜140°C。 又，基板上可由網版印刷法、輥輪塗覆法、回轉塗覆 法、流動塗覆法等種種方法，塗覆非感光性的含無機粉體 樹脂成物後，由乾燥塗膜的方法，可形成第一之含無機粉 體之樹脂層。又，上述步驟重複η次可形成η層的層合物 [2]第二之含無機粉體之樹脂層的形成步驟 第二之含無機粉體之樹脂層係使用支撐薄膜上形成含 無機粉體樹脂層所構成的轉印薄膜，第一之含無機粉體樹 脂層上使用轉印無機粉體第二樹脂層所形成者爲理想。更 且，可使用上述轉印薄膜重複η次轉印，可形成η層（η爲2 以上整數）第二之含無機粉體之樹脂層的層合物，或，亦可 使用支撐薄膜上由η層的第二之含無機粉體之樹脂層的層 合物所形成的轉印薄膜，一倂轉印於基板上，形成上述層 合物。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，第二之含無機粉體之樹脂層的轉印條件，可使用 上述第一之含無機粉體之樹脂層的形成步驟的相同條件。 又，第一之含無機粉體之樹脂層上以網版印刷法、輥 輪塗覆法、回轉塗覆法、流動塗覆法等種種方法，塗覆非 感光性的含無機粉體樹脂成物後，由乾燥塗膜的方法，可 形成第二之含無機粉體之樹脂層。又，上述步驟重複η次 可形成η層的層合物。 更且’上述[1 ]及[2 ]相關的樹脂層的形成步驟，係使用 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） -9- 1300234 Α7 Β7 五、發明説明（7 ) 支撐薄膜上形成第一之含無機粉體樹脂層及第二之含無機 粉體之樹脂層層合膜所構成的轉印薄膜，該層合膜轉印至 基板上樹脂層及第二之含無機粉體樹脂層一倂形成更爲理 想。依此形成方法，可容易形成膜厚均勻性優的無機粉體 樹脂層，提昇圖案形狀的同時，可期盼簡略化其步驟。又 ，亦可使用各自獨立η層的第一/或第二之含無機粉體樹脂 層形成於支撐薄膜上的轉印薄膜，一倂轉印於基板上，形 成上述層合物。 又，上述的轉印條件，可使用上述[1 ]第一之含無機粉 體之樹脂層的形成步驟的相同條件。 [2’]抗蝕膜的形成步驟 使用於製造方法II的抗鈾膜係使用支撐薄膜上形成含 抗鈾膜所構成的轉印薄膜，以基板上由第二之含無機粉體 樹脂層上轉印抗触膜所形成者爲理想。 又，抗鈾膜的轉印條件，可使用上述第一之含無機粉 體之樹脂層的形成步驟的相同條件。 又，抗蝕膜以網版印刷法、輥輪塗覆法、回轉塗覆法 、流動塗覆法等種種方法，塗覆非感光性的含無機粉體樹 脂成物後，經乾燥塗膜的方法，可形成抗蝕膜。 更且’上述[1]、[2]及[2’]相關的樹脂層的形成步驟， 係使用支撐薄膜上形成抗蝕膜、第二之含無機粉體樹脂層 及第一之含無機粉體之樹脂層層合膜所構成的轉印薄膜， 該層合膜轉印至基板上以含無機粉體樹脂層、第二之含無 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10- 1300234 A7 B7 五、發明説明（） 8 機粉體樹脂層及抗蝕膜一倂形成更爲理想。依此形成方法 ’可容易形成膜厚均勻性優的無機粉體樹脂層，提昇圖案 形狀的同時，可期盼簡略化其步驟。 又’上述的轉印條件，可使用上述[1 ]第一之含無機粉 體之樹脂層的形成步驟的相同條件。 [3] 曝光步驟 此步驟係爲製造方法I的含有機粉體第二樹脂層的表 面、製造方法II的抗蝕膜表面，介入曝光用罩膜，進行紫 外線等的放射線之基板邊沿照射（曝光），形成圖案的潛像。 此處的射線裝置，可使用上述光學平版印刷法所使用 的紫外線裝置、半導體及液顯示裝置製造時所使用的曝光 裝置等，無特別的限制。 又’由第二之含無機粉體樹脂層或抗蝕膜轉印所形成 時’不剝離第二之含無機粉體樹脂層或抗蝕膜上的支撐薄 膜的狀態下進行曝光，曝光後剝離支撐薄膜。不剝離支撐 薄膜進行曝光，可防止曝光用罩的污染，又可防止曝光時 由氧元素的障害所引起的結合樹脂硬化速度的降低。 (請先閲讀背面之注意事項再填_頁) ^丨 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -11 - 1300234 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（。） 9 的種類，顯像液的種類、組成、濃度、顯像時間、顯像溫 度、顯像方法（例如浸漬法、搖動法、淋浴法、噴霧法、表 面張力法等）、顯像裝置等作適當的選擇。 [4-1]抗蝕膜的蝕刻步驟（製造方法Π) 此步驟係抗蝕膜曝光後、由顯像處理在成第二之含無 機粉體之樹脂層上形成抗蝕膜的圖案。 此處的顯像處理條件，依第二之含無機粉體之樹脂層 的種類，顯像液的種類、組成、濃度、顯像時間、顯像溫 度、顯像方法（例如浸漬法、搖動法、淋浴法、噴霧法、表 面張力法等）、顯像裝置等作適當的選擇。 [4-2]第二之含無機粉體之樹脂層的触刻步驟（製造方法Π) 此步驟係第二之含無機粉體之樹脂層蝕刻處理後、在 第一之含無機粉體之樹脂層上形成對應抗鈾圖案的第二之 含無機粉體之樹脂層圖案。 即’第二之含無機粉體之樹脂層內，以蝕刻液除去抗 蝕劑的抗蝕圖案的對應部份。繼續蝕刻處理，除去對應抗 鈾圖案的第二之含無機粉體之樹脂層，露出第一之含無機 粉體之樹脂層的表面。 此處的蝕刻處理條件，依第二之含無機粉體之樹脂層 的種類，蝕刻液的種類、組成、濃度、處理時間、處理溫 度、處理方法（例如浸漬法、搖動法、淋浴法、噴霧法、表 面張力法等）、處理裝置等作適當的選擇。 (請先聞讀背面之注意事項再填Ϊ頁) 裝— 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210'乂297公釐） -12- 1300234 at B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（） 10 又，蝕刻液可使用顯像步驟所使用的顯像液相同的溶 液，依所選擇的抗飩膜及第二之含無機粉體之樹脂層的種 類，顯像步驟及蝕刻步驟可連續的實施，可由步驟簡略化 而獲得製造效率的提昇。 此處，構成抗蝕圖案的抗蝕膜的殘留份，在蝕刻時緩 緩的被溶解，在形成第二之含無機粉體之樹脂層的階段（蝕 刻處理終了時）完全被除去爲理想。 又，蝕刻處理後殘留的一部份或全部抗蝕膜殘留份， 該殘留份在其次的焙燒步驟其除去。 [5]焙燒步驟 有關此步驟，第一之含無機粉體之樹脂層及形成於該 第一之含無機粉體之樹脂層上的第二之含無機粉體之樹脂 層樹脂層圖案一倂焙燒處理，含無機粉體的第一及第二樹 脂層（殘留份）中的有機物質被燒掉，無機膜上形成無機的圖 案。 此時的焙燒處理溫度，必需爲能燒掉含無機粉體樹脂 層（殘留份）中的有機物質的溫度，通常爲400〜600°C。又， 焙燒時間爲10〜90分鐘。 以下說明各步驟所使用的材料、各種條件等。 <基板〉 作爲基板材可例舉如玻璃、矽、聚碳酸酯、聚酯、芳 香胺、聚醯胺基醯亞胺、聚醯亞胺等的絕緣材料所成的板 (請先閲讀背面之注意事項再填Ϊ頁) 裝— 訂 線 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） -13- 1300234 A7 B7 五、發明説明) 11 狀材料。此板狀材料的表面依必要可用偶合劑等加以藥品 處理；等離子處理；鍍離子法、潑射法氣相反應法、真空 蒸鍍法等形成薄膜處理等施以適當的前處理。 又，本發明的基板，以使用具有耐熱性的玻璃爲理想 。理想的可例舉如玻璃基板日本旭硝子（株）製PD-200。 <含無機粉體的第一樹脂組成物> 有關本發明的含無機粉體的第一樹脂組成物係以無機 粉體、結合樹脂及溶劑爲必要成分，通常爲爲非感光性的 組成物。 (a)無機粉體 含無機粉體的第一樹脂組成物所使用的無機粉體，依 圖案材料的種類而相異，爲形成介電質層以含有透明玻璃 質爲理想。 上述透明玻璃質的組成可例舉如①氧化鉛、氧化硼、 氧化矽（PbO-B2〇3-Si〇2系）的混合物、②氧化鋅、氧化硼、氧 化矽（ZnO-BzCh-SiC^系）的混合物、③氧化鉛、氧化硼、氧化 矽、氧化鋁（Pb〇-B2〇3-Si〇2-Al2〇3系）的混合物、④氧化鉛、 氧化鋅、氧化硼、氧化矽（Pb〇-ZnO-B2〇3-Si〇2系）的混合物等 。又’上述以外亦可使用適當組成透明玻璃質形成電漿顯 示器的介電質層。 相關的透明玻璃質的軟化點，通常爲400〜60(TC的範圍 。透明玻璃質的軟化點低於400°C時，本發明的電漿顯示器 面板的製造方法中的焙燒步驟，第一之含無機粉體之樹脂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填Ϊ頁) Μ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -14 - A7 B7 1300234 五、發明説明（） 12 層所含的結合樹脂等的有機物質尙未分解除去的階段，透 明玻璃質已熔融，所形成的介電質層中殘留一部份有機物 質’結果，介電質層被著色，其光穿透率有下降的傾向。 一方面，透明玻璃質的軟化點高於600°C時，焙燒需要高於 600°C的高溫，玻璃基板容易發生變形。又，爲形成高光穿 透率的介電質層，透明玻璃質的軟化點以450〜55(TC爲理想。 透明玻璃質的平均粒徑（中數徑），通常使0.1〜10// m者 ，理想爲1.0〜3.0 // m。透明玻璃質的粒徑低於1.0 // m時， 使用其所得的組成物的本發明的製造方法偏好使用的轉印 薄膜第一之含無機粉體之樹脂層的可塑性不能充分提昇。 又透明玻璃質的平均粒徑超過3.0// m時，會損及所形成介 電質層的均勻性。故透明玻璃質的平均粒徑以1.5〜3.0# m 爲理想。此處「透明玻璃質的平均粒徑」係指由雷射反射 散亂法所測定粒子徑求出之値。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 含無機粉體的第一樹脂組成物所使用的無機粉體，可 含有透明玻璃質及鉻等的金屬、無機顏料、陶瓷等的任意 的其他無機粉體。（a)無機粉體中有關的透明玻璃質的含量 ，以100質量份無機粉體中通常爲80〜100質量份。 (b)結合樹脂 第一之含無機粉體之樹脂層有關的結合樹脂，以丙烯 酸樹脂爲理想。結合樹脂由於含有丙烯酸樹脂，本發明偏 好的轉印薄膜，對基板具有優（加熱）接合性。因，含無機粉 體的第一樹脂組成物塗覆於支撐薄膜上製造轉印薄膜，所 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15- 1300234 Λ7 B7 五、發明説明（13 ) 得的轉印薄膜成爲第一之含無機粉體之樹脂層的優轉印（對 基板的加熱接合性）。 構成含無機粉體的第一樹脂組成物的丙烯酸樹脂，具 有適度的粘合性可結合無機粉體，可由膜成材料的焙燒處 理（400°C〜600°C )能完全氧化的（共）聚合物中選擇。 又，上述丙烯酸樹脂以鹼不溶性或鹼難溶性者爲理想 。此處所謂「鹼不溶性或鹼難溶性」係有關本發明第二之 含無機粉體之樹脂層的顯像或蝕刻條件下，代替該第二之 含無機粉體之樹脂層以使用丙烯酸被覆膜顯像時，在顯像 後該被覆膜殘留50%，特別理想爲90%以上的性質。 有關的丙烯酸樹脂爲如下述式（1)所示（甲基）丙烯酸酯 化合物的單獨聚合物，二種以上下述式（1)所示（甲基）丙烯 酸酯化合物的的共聚合物，及下述式（1)所示（甲基）丙烯酸 酯化合物與共聚合性單體的共聚合物。 R1

I H2 C = C-COOR2 (1) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 [式中所示，R1爲氫原子或甲基，R2爲1價的有機基。] 上述一般式（1)所示（甲基）丙烯酸酯化合物的具體例可 列舉如甲基（甲基）丙烯酸酯、乙基（甲基）丙烯酸酯、丙基（甲 基）丙烯酸酯、異丙基（甲基）丙烯酸酯、丁基（甲基）丙烯酸酯 、異丁基（甲基）丙烯酸酯、叔-丁基（甲基）丙烯酸酯、戊基（ 甲基）丙烯酸酯、異戊基（甲基）丙烯酸酯、己基（甲基）丙烯酸 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16- 14 2-羥基丁基（甲基）丙烯酸酯 4-羥基丁基（甲基）丙烯酸酯 2-羥基-3-苯氧基丙基（甲基） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1300234 A7 B7 五、發明説明（ 酯、庚基（甲基）丙烯酸酯、辛基（甲基）丙烯酸酯、異辛基（甲 基）丙烯酸酯、2-乙基己基（甲基）丙烯酸酯、壬基（甲基）丙烯 酸酯、癸基（甲基）丙烯酸酯、異癸基（甲基）丙烯酸酯、十一 烷基（甲基）丙烯酸酯、十二烷基（甲基）丙烯酸酯、月桂基（甲 基）丙烯酸酯、硬脂醯基（甲基）丙烯酸酯、異硬脂醯基（甲基） 丙烯酸酯、等的烷（甲基）丙烯酸酯； 羥基甲基（甲基）丙烯酸酯、2_羥基丙基（甲基）丙烯酸酯 、3-羥基丙基（甲基）丙烯酸酯 、3-羥基丁基（甲基）丙烯酸酯 等的羥基烷基（甲基）丙烯酸酯 苯基乙基（甲基）丙烯酸酯 丙烯酸酯等的苯氧基烷基（甲基）丙烯酸酯； 2-甲氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、2-乙氧基乙基（甲基）丙 烯酸酯、2-丙氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、2-丁氧基乙基（甲基 )丙烯酸酯、2-甲氧基丁基（甲基）丙烯酸酯等的烷氧基烷基（ 甲基）丙烯酸酯； 聚乙二醇單（甲基）丙烯酸酯、乙氧基二乙二醇（甲基）丙 烯酸酯、甲氧基聚乙二醇（甲基）丙烯酸酯、苯氧基聚乙二醇 (甲基）丙烯酸酯、壬基苯氧基聚乙二醇（甲基）丙烯酸酯、聚 丙二醇單（甲基）丙烯酸酯、甲氧基聚丙二醇（甲基）丙烯酸酯 、乙氧基聚丙二醇（甲基）丙烯酸酯、壬基苯氧基聚丙二醇（ 甲基）丙烯酸酯等的聚烷撐基甘醇（甲基）丙烯酸酯； 環己基（甲基）丙烯酸酯、4-丁基環己基（甲基）丙烯酸酯 、二環戊基（甲基）丙烯酸酯、二環戊烯基（甲基）丙烯酸酯、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 請 先 閲 讀 背 之 注 意 事 項 再 填

-17- A7 B7 1300234 五、發明説明（^ ) \〇 二環戊二烯基（甲基）丙烯酸酯、冰片基（甲基）丙烯酸酯、異 冰片基（甲基）丙烯酸酯、三環癸基（甲基）丙烯酸酯等的環烷 基（甲基）丙烯酸酯； 苄基（甲基）丙烯酸酯、四氫糖醇（甲基）丙烯酸酯等。 此中上述一般式（1)R2所示之基，以含烷基或烷氧基烷 基之基爲理想，以（甲基）丙烯酸酯化合物之丁基（甲基）丙烯 酸酯、2-乙基己基（甲基）丙烯酸酯、月桂基（甲基）丙烯酸酯 、異癸基（甲基）丙烯酸酯及2-乙氧基乙基（甲基）丙烯酸酯等 爲理想。其他的共聚合性單體以可與上述（甲基）丙烯酸酯化 合物共聚合的化合物者無特別限制’例如（甲基）丙嫌酸、乙 烯苯甲酸、馬來酸、乙烯酞酸、等的不飽合酸；乙烯苄基 醚、乙烯環氧丙基醚、苯、α -甲基苯、丁二烯、異丙烯等 含乙烯基根聚合性化合物。 有關構成含無機粒體第一樹脂組成物的丙烯酸樹脂， 上述一般式（1)所示（甲基）丙烯酸酯化合物來源的共聚合成 分通常爲70質量％以上，理想爲90質量份％以上。又，上述 一般式（1)中，R2所示之基爲含以含烷基或羥基烷撐基之基 之爲理想，含（甲基）丙烯酸酯化合物來源的共聚合成分爲50 質量％以上，含80質量份％以上的丙烯酸樹脂更爲理想。 特別理想的丙烯酸樹脂的具體例爲聚甲基甲基丙烯酸 酯、聚丁基甲基丙烯酸酯、甲基甲基丙烯酸-丁基甲基丙烯 酸酯共聚合物等。 構成含無機粒體第一樹脂組成物的丙烯酸樹脂的分子 量，以GPC苯換算的重量平均分子量（以下以「Mw」稱之） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填】 裝丨. 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 • 18- 1300234 Α7 Β7 五、發明説明（u ) ib 爲4,000〜300,000者爲理想，理想爲10,000〜200,000。 有關含無機粒體第一樹脂組成之結合樹脂比例，以100 質量份無機粉體對5〜50質量份爲理想，更理想爲5〜25質量 份。結合樹脂比例小時，無機粉體不能確實保持結合，一 方面，此比例過大時，焙燒時除去有機成分有困難。 (c)溶劑 有關含無機粒體第一樹脂組成物之溶劑，以與透明玻 璃質等的無機粉體之親和性，結合樹脂的溶解性良好，可 賦予含無機粉體樹脂組成物適度的粘度的同時，能容易以 乾燥蒸發除去者爲理想。 又，又有關特別理想的溶劑，可列舉如標準沸點（1氣 壓下的沸點）爲100〜200°C的酮類、醇類及酯類（以下以「特 定溶劑」稱之）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 有關之溶劑的具體例可列舉如二乙基酮、甲丁基酮、 二丙基酮、環己酮等的酮類；η-戊醇、4-甲基-2-戊醇、環 己醇、二丙酮醇等的醇類；乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙 基醚、乙二醇單丁基醚、丙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基 醚、丙二醇單乙基醚等的醚系醇類；醋酸-η-丁酯、醋酸戊 酯等的飽和脂肪族單羧酸烷酯類；乳酸乙、乳酸-π-丁酯等 的乳酸酯類；甲基溶纖素醋酸酯、乙基溶纖素醋酸酯、丙 二醇單甲基醚醋酸酯、乙基-3-乙氧基丙酸酯等的醚系酯類 等的示例，其中，以甲丁基酮、環己酮、二丙酮醇、乙二 醇單丁基醚、丙二醇單甲基醚、乳酸乙酯、丙二醇單甲基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇X297公釐） -19- 17 (2) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1300234 A7 B7 五、發明説明（ 醚醋酸酯、乙基-3 *乙氧基丙酸酯等爲理想。此特定溶齊彳可* 單獨或二種以上組合使用。 特定溶劑以外的溶劑的具體例可列舉如松節油、乙基 溶纖素、甲基溶纖素、萜品醇、丁基卡必醇醋酸酯、丁基 卡必醇、異丙醇、苄基醇等。 有關含無機粒體第一樹脂組成物之溶劑的含量比例’ 由含無機粒體第一樹脂組成物之粘度維持適宜範圍的觀點 而言，以100質量份無機粉體對1〜50質量份爲理想’更理想 爲5〜40質量份。 又，全溶劑中特定溶劑的含量比例以50質量％以上爲理 想，更理想爲70質量％以上。 上述成分以外，含無機粒體第一樹脂組成物爲提高無 機粉體的分散安定性的目的，可含有含甲矽烷基化合物。 有關該含甲矽烷基化合物，以下述一般式（2)所示含甲矽烷 基化合物[含飽和烷基（烷基）烷氧基矽烷]爲理想。

CpH2p+1 Si 十 OCmH2m+1) (CnH2n+l)3.a (式中，3〜20的整數，m爲1〜3的整數、η爲1〜3的整數 而a爲1〜3的整數。） 有關上述式（2)，飽和烷基的碳數p所示爲3〜20的整數 理想爲4〜16的整數。 含有P數低於3的含飽和烷基（烷基）烷氧基矽烷，所得 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 請 先 聞 讀 背 面 之 注 項 再 填 ψ - 20- 1300234 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（18 ) 的圖案膜形成材料層，可能發生可繞性不充分的情形。一 方面，含有P數高於20的含飽和烷基（烷基）烷氧基矽烷，則 分解溫度高，於本發明的電漿顯示器面板的製造方法中的 焙燒步驟，有機物質（上述矽烷衍生物）有不能完全分解除去 的狀態，所形成的介電質層等的無機層中殘留一部份有機 物質，其結果。相關的介電質層其光穿透率有下降的情形 〇 一般式（2)所示含甲矽烷基化合物的具體例可列舉如n-丙基二甲基甲氧基矽烷、η-丁基二甲基甲氧基矽烷、η-癸基 二甲基甲氧基矽烷、η-十六烷基二甲基甲氧基矽烷、η-廿烷 基二甲基甲氧基矽烷等的飽和烷基二甲基甲氧基矽烷類（a=l ，m= 1，n= 1); η-丙基二乙基甲氧基矽烷、η-丁基二乙基甲氧基矽烷、 η-癸基二乙基甲氧基矽烷、η-十六烷基二乙基甲氧基矽烷、 η-廿烷基二乙基甲氧基矽烷等的飽和烷基二乙基甲氧基矽 院類（a=l，m=l，η = 2); η-丁基二丙基甲氧基矽烷、η-癸基二丙基甲氧基矽烷、 η-十六烷基二丙基甲氧基矽烷、η-廿烷基二丙基甲氧基矽烷 等的飽和烷基二丙基甲氧基矽烷類（a = l，m=l，η = 3); η-丙基二甲基乙氧基矽烷、η· 丁基二甲基乙氧基矽烷、 η-癸基二甲基乙氧基矽烷、η-十六烷基二甲基乙氧基矽烷、 η-廿烷基二甲基乙氧基矽烷等的飽和烷基二甲基乙氧基矽 烷類（a=l，m = 2，η=1); 丙基_*乙基乙氧基砂院、η -丁基一*乙基乙氧基砍院、 (請先閲讀背面之注意事項再填 •岭-- 頁 訂

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -21 - 1300234 Α7 Β7 五、發明説明（19 ) n -癸基·一乙基乙氧基砂院、η-十六院基一^乙基乙氧基5夕院、 心廿烷基二乙基乙氧基矽烷等的飽和烷基二乙基乙氧基石夕 院類（a=l，m = 2，η = 2); η-丙基二丙基乙氧基矽烷、η-丁基二丙基乙氧基矽烷、 η-癸基二丙基乙氧基矽烷、η-十六烷基二丙基乙氧基矽烷、 η-廿烷基二丙基乙氧基矽烷等的飽和烷基二丙基乙氧基矽 院類（a=l，m = 2，η = 3); η-丙基二甲基丙氧基矽烷、η-丁基二甲基丙氧基矽烷、 η-癸基二甲基丙氧基矽烷、η_+六烷基二甲基丙氧基矽烷、 η-廿烷基二甲基丙氧基矽烷等的飽和烷基二甲基丙氧基矽 院類（a=l，m = 3，η=1); η-丙基二乙基丙氧基矽烷、η-丁基二乙基丙氧基矽烷、 η-癸基二乙基丙氧基矽烷、η·十六烷基二乙基丙氧基矽烷、 η_廿烷基二乙基丙氧基矽烷等的飽和烷基二乙基丙氧基矽 院類（a=l，m = 3，η = 2); η-丁基二丙基丙氧基矽烷、η-癸基二丙基丙氧基矽烷、 η-十六烷基二丙基丙氧基矽烷、η-廿烷基二丙基丙氧基矽烷 等的飽和烷基二丙基丙氧基矽烷類（a=l，m = 3，η = 3); η-丙基甲基二甲氧基矽烷、η-丁基甲基二甲氧基矽烷、 η-癸基甲基二甲氧基矽烷、η-十六烷基甲基二甲氧基矽烷、 η-廿烷基甲基二甲氧基矽烷等的飽和烷基甲基二甲氧基矽 垸類（a = 2，m=l，η=1); η-丙基乙基二甲氧基矽烷、η-丁基乙基二甲氧基矽烷、 η-癸基乙基二甲氧基矽烷、η-十六烷基乙基二曱氧基矽烷、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再 頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -22- A7 B7 1300234 五、發明説明（2()) η-廿烷基乙基二甲氧基矽烷等的飽和烷基乙基二甲氧基砂 院類（a = 2，m=l，η = 2); (請先閲讀背面之注意事項再填一 η-丁基丙基二甲氧基矽烷、η-癸基丙基二甲氧基矽烷、 η-十六烷基丙基二甲氧基矽烷、η-廿烷基丙基二甲氧基矽垸 等的飽和烷基丙基二甲氧基矽烷類（a = 2，m=l，η = 3); η-丙基甲基二乙氧基矽烷、η-丁基甲基二乙氧基矽烷、 η-癸基甲基二乙氧基矽烷、η-十六烷基甲基二乙氧基矽烷、 η-廿烷基甲基二乙氧基矽烷等的飽和烷基甲基二乙氧基矽 垸類（a = 2，m = 2，η=1); η-丙基乙基二乙氧基矽烷、η·丁基乙基二乙氧基矽烷、 η-癸基乙基二乙氧基矽烷、η-十六烷基乙基二乙氧基矽烷、 η-廿烷基乙基二乙氧基矽烷等的飽和烷基乙基二乙氧基矽 院類（a = 2，m = 2，η = 2); η_丙基丙基二乙氧基矽烷、η_丁基丙基二乙氧基矽烷、 η-癸基丙基二乙氧基矽烷、η-十六烷基丙基二乙氧基矽烷、 η-廿烷基丙基二乙氧基矽烷等的飽和烷基丙基二乙氧基矽 院類（a = 2，m = 2，η = 3); 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 η-丙基甲基二丙氧基矽烷、η-丁基甲基二丙氧基矽烷、 η-癸基甲基二丙氧基矽烷、η-十六烷基甲基二丙氧基矽烷、 η-廿烷基甲基二丙氧基矽烷等的飽和烷基甲基二丙氧基矽 院類（a = 2，m = 3，η=1); 丙基乙基二丙氧基矽烷、丁基乙基二丙氧基矽烷、 η-癸基乙基二丙氧基矽烷、η-十六烷基乙基二丙氧基矽烷、 η-廿烷基乙基二丙氧基矽烷等的飽和烷基乙基二丙氧基矽 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -23- 1300234 Α7 Β7 五、發明説明（21 ) 垸類（a = 2，m = 3，n = 2); n_丁基丙基二丙氧基矽烷、η-癸基丙基二丙氧基矽烷、 η-十六烷基丙基二丙氧基矽烷、η-廿烷基丙基二丙氧基矽烷 等的飽和烷基丙基二丙氧基矽烷類（a = 2，m = 3，η = 3); η-丙基三甲氧基矽烷、η-丁基三甲氧基矽烷、η-癸基三 甲氧基矽烷、η-十六烷基三甲氧基矽烷、η-廿烷基三甲氧基 矽烷等的飽和烷基三甲氧基矽烷類（a = 3，m=l) η-丙基三乙氧基矽烷、η-丁基三乙氧基矽烷、η-癸基三 乙氧基矽烷、η-十六烷基三乙氧基矽烷、η-廿烷基三乙氧基 矽烷等的飽和烷基三乙氧基矽烷類（a = 3，m = 2) n_丙基三丙氧基矽烷、η-丁基三丙氧基矽烷、癸基三 丙氧基矽烷、η-十六烷基三丙氧基矽烷、η-廿烷基三丙氧基 矽烷等的飽和烷基三丙氧基矽烷類（a = 3，m = 3)等，此類中可 單獨或2種以上組合使用。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中，η-丁基三甲氧基矽烷、η-癸基三甲氧基矽烷、η-十六烷基三甲氧基矽烷、η-癸基二甲基甲氧基矽烷、η-十六 烷基二甲基甲氧基矽烷、η-丁基三乙氧基矽烷、η-癸基三乙 氧基矽烷、η-十六烷基三乙氧基矽烷、η-癸基乙基二乙氧基 矽烷、η-十六烷基乙基二乙氧基矽烷、η-丁基三丙氧基矽烷 、η-癸基三丙氧基矽烷、η-十六烷基三丙氧基矽烷等爲理想 〇 有關含無機粒體第一樹脂組成物之含矽烷基化合物的 含量比例，對100質量份透明玻璃質的無機粉體以5質量份 以下爲理想，更理想爲3質量份以下。含矽烷基化合物的含 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -24- 1300234 Λ7 B7 五、發明説明（22 ) 量比例過高時，所得的含無機粒體第一樹脂組成物在保持 時粘度因經時變化而上昇，含矽烷基化合物們引起反應， 成爲焙燒後有機物質殘留的原因。 又，有關含無機粒體第一樹脂組成物，爲形成有關含 無機粒體第一樹脂層具有良好的可繞性及燃燒性，可使其 含有可塑劑。作爲可塑劑，由下述一般式（3)或（4)所示化合 物所成的可塑劑 r3-(o-r^s( ，或聚丙二烯爲理想 Ο Η 0丨丨/丨、丨丨/ ,

〇—C

C—0 十 ϊί °tR, (3) (請先閲讀背面之注意事項 再填 頁) (式中，R3及R6所示爲各自相同或相異的碳數1〜30的烷 基，R4及R5所示爲各自相同或相異的伸甲基或碳數2〜30的 伸烷基，s爲0〜5的整數，t爲1〜10的整數。） Η Η

I I H3C——C——C—O——C—R7 (4 )

II II OH H 〇 (式中，R7所示爲碳數1〜30的院基，或鏈嫌基。） 依具備含有可塑劑的含無機粒體第一樹脂層的轉印薄 膜，將其彎曲時，該膜形成材料層的表面不會發生微小的 龜裂（裂痕）’又，該轉印薄膜爲柔軟性優者，可容易捲成筒 狀。 特別是’由上述一般式（3)或（4)所示化合物所成的可塑 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公爱） 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -25- 1300234 A? B7 五、發明説明（23 ) 劑’容易由熱分解除去’不會賦予該含無機粒體第一樹脂 焙燒所得的無機層不良影響。 (請先閲讀背面之注意事項再頁) 上述一般式（3)，R3及R6所示烷基，及…及以所示烷基 ’不論其爲直鏈分枝狀，又，爲飽和基或不飽和基均相宜 〇 R3及R6所示院基的碳數爲1〜30，理想爲2〜20，更理想 爲4〜10。 該烷基的碳數超過3 0時，溶劑對可塑劑的溶解性降低 ，不能得到良好的可繞性。上述構造式（3)所示化合物具體 的例可列舉如己二酸二丁酯、己二酸異二丁酯、己二酸二_ 2-乙基己酯、己二酸二-2-乙基己酯、二酸二丁酯、己二酸 二乙醇酯等。以η爲2〜6的所示的化合物爲理想。 上述一般式（4)R7所示爲碳數1〜30的院基，或鏈儲基， R7所示的烷基，或鏈烯基，不論其爲直鏈分枝狀，又，爲 飽和基或不飽和基均相宜。 R7所示的烷基，或鏈烯基爲碳數1〜30，理相爲2〜20，更 理想爲10〜18。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述一般式（4)所示的化合物的具體例可列舉如單月桂 酸丙二醇酯、單油酸丙二醇酯等。 又，聚丙二醇作爲可劑使用時，該聚丙二醇的重量平 均分子量（Mw)的範圍以200〜3,000爲理想，300〜2,000的範圍 特別理想。聚丙二醇的（Mw)低於200時，在支撐薄膜上形成 膜強度大的第一之含無機粉體樹脂層有困難的狀態，使用 具備該第一之含無機粉體樹脂層的轉印薄膜進行轉印步驟 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -26- 1300234 A7 B7 五、發明説明（〜） 24 時，玻璃基板加熱接合的第一之含無機粉體樹脂層，由支 撐薄膜剝離時，該第一之含無機粉體樹脂層發生凝聚破壞 。一方面，Mw超過3,000時，不能得到與玻璃基板有加熱接 合性良好的第一之含無機粉體樹脂層。 有關第一之含無機粉體樹脂層可塑劑的含量，1〇〇質量 份，以0.5〜10質量份爲理想，以2〜7質量份更爲理想。可塑 劑添加量增加時，所得到的適於本發明電漿顯示器面板的 製造方法的轉印薄膜的強度不能確保。 第一之含無機粉體樹脂組成物，除了上述的成分以外 ，可含有粘合性賦與劑、表面張力調整劑、安定劑、消泡 劑、分散劑等的各種添加劑作爲任意成分。分散劑以使用 脂肪酸爲理想。特別是，碳數爲8〜30的脂肪酸爲理想。上 述脂肪酸的具體例可列舉如辛酸、十一碳烷酸、肉桂酸、 肉豆蔻酸、棕櫚酸、十五碳烷酸、硬脂酸、廿碳烷酸等的 飽和酸；反油酸、亞油酸、亞麻油、花生浸烯酸、羧基聚 己單丙烯酸酯等的不飽和酸等，此等可單獨或二種以上組 合使用。 第一之含無機粉體樹脂組成物相關的分散劑的含量比 例，100質量份無機粉體，以5質量份以下爲理想，更理想 爲3質量份以下。 第一之含無機粉體樹脂組成物通常將上述（a)機粉體、 (b)結合樹脂、（c)溶劑及其他的有機成分以輥輪混練機、混 合器、均質混合機、混砂機等混練-分散機加以混練調製。 該第一之含無機粉體樹脂組成物的粘度以100〜10,000mPa · 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填一^頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -27- 1300234 A7 B7 五、發明説明（） Z0 s爲理想。 <第二之含無機粉體樹脂層> 本發明使用的第二含無機粉體樹脂層係塗覆以含有無 機粉體、結合樹脂、及溶劑作爲必要成分所成的膏狀含無 機粉體樹脂組成物後，將塗膜乾燥除去溶劑的一部份或全 部而形成。又，製造方法II所使用的第二之含無機粉體樹 脂層更以含有感光性成分作爲必要成分。製造方法Π所使 用的第二之含無機粉體樹脂層通常爲非感光性，亦可全體 或一部份（例如由η層所成的樹脂層的一層）爲具感光性者。 本發明偏好使用的轉印薄膜係於支撐薄膜上塗覆上述 含無機粉體樹脂組成物，乾燥後形成第二含無機粉體樹脂 層，該第二之含無機粉體樹脂層的表面可設置保護薄膜。 (1)第二之含無機粉體樹脂組成物 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明使用的第二之含無機粉體樹脂層係塗覆以含有 無機粉體、結合樹脂、及溶劑作爲必要成分，使用於製造 方法I時更須以感光成分爲必要成分。 (a)無機粉體 含無機粉體的第一樹脂組成物所使用的無機粉體，依 圖案材料的種類而相異。 使用於電極形成材料的無機粉體，可列舉如銀、金、 鋁、鎳、銀-鈀合金、銅、鉻等的粒子。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -28- 1300234 A7 B7 五 、發明説明（26 使用於隔板形成材料或介電質形成材料的無機粉體， 可舉例如上述含無機粉體的第一樹脂組成物中之透明玻璃 質。 使用於電阻形成材料的無機粉體可列舉如ru〇2。 使用於面光物形成材料的無機粉體，紅色爲γ2〇3 : EU3 + 、Si〇5Eu 、Y3Al5〇12Eu3+、YVCUEii3.、（Y，Gd)B〇3Eu3+、

Zn3(P〇4)2 : Μη 等’綠色爲 Zn2Si〇4 : Μη、BaAluOw : Μη、 BaMgAl〗4〇23 : Μη、LaP〇4 : (ce,Tb)、YdAUGahOu : Tb 等， 藍色爲 Y2Si〇5 : Ce、BaMgAl1()〇l7 ·· Eu2+、BaMgAl14〇23 : Eu 、（Ca，Sr,Ba)i〇(P〇4)6Ch : Eu2+、（Zn，Cd)S : Ag 等。 使用於彩色過濾器成材料的無機粉體可列舉如紅色用 的 Fe2〇3、Pb3〇4等’綠色用的 Cr2〇3等，藍色用的 2(Al2Na2Si3〇1〇”Na2S4 等。 使用於黑色面板形成材料的無機粉體可列舉如Ni、Ti 、（:u、Μη、Fe、Ci:、Co等的金屬，金屬氧化物，（:u-Cr、 Cu-Fe-Mn、Cu-Cr-Mn、Co-Cr-Fe、Co-Fe-Mn 等 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此等無機粉體的平均粒徑以〇 · 〇 1〜1 〇 // m爲理想，更理 想爲0.0 5〜5 // m。無機粉體的平均粒徑小於〇. 〇 1 # m時，無 機粉體的比表面積大’在含無機粉體感光性第二樹脂組成 物中粒子谷易Μ聚’難於得到安定的分散狀態。一方面， 無機粉體的平均粒徑大於1 0 // m時，難於得到高精細的圖 案。 又，電極、電阻、螢光物、彩色過濾器、黑色矩陣形 成材料，除了上述各無機粉體以外，可含有隔板及介電質 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -29 - 1300234 A7 B7 五、發明説明（27 ) 層所使用的透明玻璃質。爲獲得此等的面板材料的含無機 粉體樹脂組成物的透明玻璃質含量爲無機粉體的全量的80 質量％以下，理想爲50質量％以下。 (b)結合樹脂 含無機粉體感光性第二樹脂層有關的結合樹脂，可使 用種種的樹脂，以含有0〜100重量％比例的鹼可溶性丙烯酸 樹脂爲理想。此處所謂「鹼可溶性」係指以鹼性飩刻液（顯 像液）可溶解，具有可逐行作爲目的的蝕刻處理的溶解性性 質。 相關的鹼可溶性樹脂的具體例可列舉如（甲基）丙烯酸樹 脂、羥基苯乙烯樹脂、酚醛清漆樹脂、聚酯樹脂等。 此等鹼可溶性樹脂之中，特別理想者可列舉如下述單 體（a)及單體⑷的共聚合物、單體（a)單體（b)及單體（c)的共 聚合物等的丙烯酸。 單體（a):含羧基單體類 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸、富馬酸、巴豆酸、甲 叉丁二酸、檸康酸、中康酸、肉桂酸、琥珀酸單（2-(甲基） 丙烯酸酿氧乙基乙基酯、ω-羧基-聚內己酯單（甲基）丙烯酸 酯等。 單體（b):含ΟΗ單體類 (甲基）丙烯酸2-羥基乙酯、（甲基）丙烯酸2-羥基丙酯、（ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） •30- 1300234 Λ7 B7 28 五、發明説明（ 甲基）丙烯酸3-羥基丙酯等的含羥基單體類；〇-羥基苯乙燃 、m -經基苯乙烯、p -經基苯乙等的含酚性羥基單體類等 請 先 閲 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 單體（c):其他可共聚合的單體類 (甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸乙酯、（甲基）丙燃酸 η-丁酯、（甲基）丙烯酸2-乙基己酯、（甲基）丙烯酸n-月桂酯 、（甲基）丙烯酸苄酯、（甲基）丙烯酸環氧丙酯、（甲基）丙烯 酸戊酯等的單體（a)以外的（甲基）丙烯酸酯類：苯乙烯、α _ 甲基苯乙烯等的芳香族乙烯系單體類；丁二烯、異丙烯、 等的共軛二烯類、聚苯乙烯、聚（甲基）丙烯酸甲酯、聚（甲 基）丙烯酸乙酯、聚（甲基）丙烯酸苄酯等的聚合物鏈的一端 具有（甲基）丙烯醯基等的聚合性不飽和基的大單體等。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述單體（a)與單體（b)的共聚合物，或單體（a)與單體（b) 及單體（c)的共聚合物，由於存在共聚成分來源的單體（a)， 而成爲具有鹼可溶性者。其中單體（a)與單體（b)及單體（c)的 共聚合物以（A)無機粉體的分散安定性或後述的對鹼顯像液 的溶解性的觀點而言特別理想。有關此共聚合物來源的單 體（a)的共聚合成分含量理想爲5〜60質量％，特別理想爲 10〜40質量％，共聚合成分來源單體（b)的含量以1〜50爲理想 ，特別理想爲5〜30質量％。 上述鹼可溶性樹脂的分子量Mw以5,000〜5,000,000爲理 想，更理想爲1〇,〇〇〇〜300,000。 又，第二含無機粉體樹脂組成物相關的結合樹脂含量 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -31 - A7 B7 1300234 五、發明説明（29 ) 比例，以100質量份無機粉體，對1〜200質量份爲通常’理 想爲5〜100質量％，特別理想爲1〇〜80質量％。 (請先閲讀背面之注意事項再填^^頁) (c) 溶劑 構成無機粉體第二樹脂組成物相關的溶劑’係爲賦予 該含無機粉體感光性樹脂組成物適當的流動性或可塑性、 良好的膜形成性，可使用上述的（1)無機粉體第一樹脂組成 物相關的同種溶劑。 無機粉體第二樹脂組成物相關的溶劑含量比例，以可 獲得良好的膜形成性（流動性或可塑性）的範圍內作適當的選 擇。 (d) 感光性成分 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 無機粉體第二樹脂組成物相關的感光性成分，例如可 舉（a)多官能性單體與光聚合引發劑的組合，（b)三聚腈胺樹 脂與能由光照射形成酸的光酸引發劑的組合等的理想示例 ，上述（a)的組合中，以多官能性（甲基）丙烯酸酯與光聚合 引發劑的組合特別理想。 構成感光性成分的多官能性（甲基）丙酸酯的具體例可列 舉乙二醇、丙二醇等的烷撐基甘醇的二（甲基）丙烯酸酯類； 聚乙二醇、聚丙二醇等的聚烷撐基甘醇的二（甲基）丙烯酸酯 類；兩末端羥基聚丁二烯、兩末端羥基聚異丙烯、兩末端 羥基聚己內酯等的兩末端羥基合物的二（甲基）丙烯酸酯類； 甘油、1，2,4-丁三醇、三羥甲基烴、四羥甲基烴、季戊 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -32- 30 1300234 A7 B7 五、發明説明（ 四醇、二季戊四醇等的3價以上的多價的聚（甲基）丙烯酸酯 類；3價以上的多價醇的聚烷撐甘醇加成的聚（甲基）丙烯酸 酯類；1，4-環己二醇、1，4-苯二醇類的環式聚醇的聚（甲基） 丙烯酸酯類；聚酯聚（甲基）丙烯酸酯、環氧聚（甲基）丙烯酸 酯、尿烷聚（甲基）丙烯酸酯、醇酸樹脂聚（甲基）丙烯酸酯、 矽樹脂聚（甲基）丙烯酸酯、螺烷樹脂聚（甲基）丙烯酸酯等的 低聚聚（甲基）丙烯酸酯類；此等可單獨或二種以上組合使用 〇 又，構成感光性光聚合引發劑的具體例可列舉如苄、 苯偶因、二苯甲酮、樟腦醌、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-羥環己基苯基酮、2,2-二甲氧基-2-苯基乙醯基苯酮、 2 -甲基-[4’-(甲硫基）苯基]-2-嗎啉代-1-丙酮、2-;基-2-二甲 基氨基-1-(4-嗎啉代苯基）-丁烷-1-酮等羰基化合物；偶氮異 丁基腈、4 -迭氮苯甲醛等偶氮化合物或迭氮化合物；锍醇 二硫化物、等的大機硫化合物；苯醯過氧化物、二-叔-丁基 過氧化物、叔-丁基氫過氧化物、枯烯氫過氧化物、二甲基 氫過氧化物等的有機過氧化物；1，3-雙（三氯甲基）-5-(2,氯苯 基）-1，3,5-三嗪、2-[2-(2-咲喃基）乙燦]-4-6-雙（三氯甲基）一 1，3-3,三嗪等的三鹵甲烷類；2,2’·雙（2-氯苯基）4,5,4，，5，-四苯 基-1,2’-二咪唑等的咪唑二聚物等。等可單獨或二種以上組 合使用。 製is方法I所使用的弟一含無機粉體樹脂組成物的感 光性成分的含量比例，以100質量份無機粉體，爲1〜500質 量份、理想爲5〜100質量份。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 請 先 閲 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 填.

Ft 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -33- 1300234 A7 B7 五、發明説明（31 ) 又，上述第二含無機粉體樹脂組成物的任意成分，可 含有可塑劑、分散劑、顯像促進劑、接合助劑、光暈防止 劑、矯正劑、保存安定劑、消泡劑、抗氧化劑、紫外線吸 收劑、增感劑、鏈移動劑等的各種添加劑。 又，上述的一般式（2)所示含甲矽烷基化合物或由一般 式（3)或（4)所示化合物所成的可塑劑、或與第一含無機粉體 樹脂組成物同樣含聚丙二醇。 第二含無機粉體樹脂組成物可由上述無機粉體、結合 樹脂、溶劑、感光性成分及依必要的任意成分，以輥輪混 練機、混合器、均質混合機、混砂機等混練-分散機加以混 練調製。 如上述所調製的第二含無機粉體樹脂組成物爲具流動 性適於塗覆的膏狀的組成物，其粘度通常爲100〜l，〇〇〇,〇〇〇cp ，理想爲 500〜300,000cp。 <抗蝕膜> 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明的製造方法II所使用的抗蝕膜可由含樹脂、感 光性成分及溶劑爲必要成分所成的膏狀的抗蝕組成物，經 塗覆後，將塗膜乾燥後除去溶劑的一部份或全部而形成。 本發明的製造方法II偏好使用的轉印薄膜，係於支撐薄膜 上塗覆上述抗蝕組成物、經乾燥形成抗蝕膜而得，該抗蝕 膜的表面可設置保護薄膜層。 (1)抗飩組成物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） -34- 1300234 A7 B7 32 五、發明説明（ 請 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項 再 爲形成光組膜而使用的抗蝕組成物可列舉如鹼顯像型 射性抗蝕組成物、有機溶劑顯像型射性抗鈾組成物、水性 顯像型射性抗蝕組成物等，理想係使用鹼顯像型射性抗蝕 組成物。又，本發明所謂「感放性」係含可視光線、紫外 線、遠紫外線、電子線、X線等。 鹼顯像型射性抗蝕組成物係由含鹼可溶樹脂及感放射 性成分爲必要成分所成。 作爲構成鹼顯像型射性抗蝕組成物的鹼可溶性樹脂， 可列舉如構成第二含無機粉體樹脂組成物的結合樹脂成分 所例示的鹼可溶性樹脂。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 構成鹼顯像型射性抗蝕組成物的成分，例如可舉（a)多 官能性單體與光聚合引發劑的組合，（b)三聚腈胺樹脂與能 由光照射形成酸的光酸引發劑的組合等的理想示例，（c)以 放射線照射鹼難溶性物能變爲鹼可溶性的化合物，上述（a) 的組合中，以多官能性（甲基）丙烯酸酯與光聚合引發劑的組 合特別理想。多官能性（甲基）丙酸酯及光聚合引發劑的具體 例’可列舉如構成製造方法〗所使用的第二含無機粉體樹 脂組成物的感光成分所例示者。 鹼顯像型射性抗蝕組成物的感放射性成分的含量比例 以100質量份鹼可溶性樹脂，爲1〜200質量份、理想爲5~100 質量份。 又’鹼顯像型射性抗鈾組成物爲良好的膜形成性，可 含適宜的溶劑。此等溶劑可列舉如構成第一含無機粉體樹 脂組成物例示者。 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -35- 1300234 A7 B7 33 五、發明説明（ 本發明所使用的抗蝕組成物可含有顯像促進劑、接合 助劑、光暈防止劑、矯正劑、保存安定劑、消泡劑、抗氧 化劑、紫外線吸收劑、塡充劑、螢光物、顏料、染料等的 各種添加劑作爲仕意成分。 <轉印薄膜> 本發明的轉印薄膜I係於支撐薄膜上形成由第二含無 機粉體樹脂層，及第一含無機粉體樹脂層的層合膜所成。 又，適合本發明的製造方法I的其他轉印薄膜，可列舉如 由支撐薄膜上形成第一含無機粉體樹脂層者、由支撐薄膜 上形成第二含無機粉體樹脂層者等，此等的樹脂層各自由n 層所成的層合膜亦可。 又，本發明的轉印薄膜II係於支撐薄膜上由含有鹼可 溶性的樹脂成分的抗蝕層及含有鹼可溶性的樹脂成分的含 無機粉體樹脂層及含鹼不溶性樹脂層或難溶成的樹脂成分 的樹脂層形成層合膜而成。又，適合本發明的製造方法II 的其他轉印薄膜，可列舉如由支撐薄膜上形成第一含無機 粉體樹脂層者、由支撐薄膜上形成第二含無機粉體樹脂層 者、由支撐薄膜上形成抗蝕膜者、支撐薄膜上形成由第二 含無機粉體樹脂層，及第一含無機粉體樹脂層的層合膜所 成者、由支撐薄膜上形成抗蝕膜及第二含無機粉體樹脂層 的層合膜所成者，此等的樹脂層各自由η層所成的層合膜 亦可。 構成轉印薄膜的支撐薄膜以具耐熱性及耐溶劑性的同 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 請 先 閲 讀 背 面 之 注 意 事 項 再

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -36- 1300234 A7 B7 五、發明説明（34 ) 時，具有可繞性的樹脂薄膜爲理想。由支撐薄膜的可繞性 ，可以由輥輪塗覆機塗覆膏狀組成物，含無機粉體樹脂層 可以以捲成輥輪狀形態保存、供給。形成支撐薄膜的樹脂 ，可列舉如聚對苯二甲酸酯乙二醇酯、聚酯、聚乙烯、聚 丙烯、聚苯乙烯、聚醯亞胺、聚乙烯醇、聚氯乙烯、聚氟 乙烯等的含氟樹脂、尼龍、纖維素等，支撐薄膜的厚度爲 20〜100// m 〇 含無機粉體樹脂組合物或抗鈾薄膜於支撐薄膜上的塗 覆方法，以有效率形成均勻性膜厚、厚度大（例如1 0 // m以 上）的塗膜者爲必要，具體的可列舉如輥輪塗覆機、括刀塗 覆機的塗覆方法、簾幕塗覆機的塗覆方法、模頭塗覆機的 塗覆方法、繞線塗覆機的塗覆方法等的理想方法。 又，塗覆含無機粉體樹脂組合物或抗蝕薄膜的支撐薄 膜表面以施以脫模處理者爲理想。由此，於後述的轉印步 驟支撐薄膜可容易進行剝離操作。 塗膜的乾燥條件爲50〜150°C，5〜30分鐘，乾燥後溶劑的 殘留比例（含無機粉體樹脂層或抗蝕膜中的含量）通常爲2質 量％以內。 如上述支撐薄膜上所形成的含無機粉體樹脂層的厚度 、依無機粉體的含量、材料的種類或尺寸而異，爲5〜20// m 〇 如上述支撐薄膜上所形成的含抗鈾膜的厚度爲5〜20 // m 〇 又，含無機粉體樹脂層的表面的保護薄膜可舉例如聚 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再 —^1 頁 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -37- 1300234 Α7 Α7 Β7 五、發明説明（ 35 乙烯膜、聚乙烯醇膜等 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 <曝光用罩膜> 本發明的製造方法步驟所使用的曝光用罩膜的圖案， 依材料而異，一般爲10〜500 // m的條紋。 <顯像液> 本發明的製造方法步驟所使用的顯像步驟所使用的顯 像液，以使用鹼性顯像液爲理想。又，製造方法II依抗蝕 膜（抗鈾組成物）的種類，適當的選擇顯像液。 又，製造方法I，含無粉體樹脂層的無機粉體，因鹼可 溶性樹脂而均勻的分散，由鹼性溶液將接合劑的鹼可溶性 樹脂溶解，以清洗無機粉體同時除去。 鹼性顯像液的有效成分可列舉如氫氧化鋰、氫氧化鈉 、氫氧化鉀、磷酸氫鈉、磷酸氫二銨、磷酸氫二鉀、磷酸 Μι —^納、憐酸一氯錢、憐酸二氯紳、憐酸一氯納、砂酸鍵 、矽酸鉀、矽酸鈉、碳酸鋰、碳酸鉀、碳酸鈉、硼酸鋰、 硼酸鉀、硼酸鈉、氨等的無機鹼性化合物；氫氧化四甲基 銨、單甲基胺、二甲基胺、二甲基胺、單乙基胺、二乙基 胺、二乙基胺、單丙基胺、二丙基胺、乙醇胺等的有機鹼 性化合物等。 第二之含無機粉體樹脂層或抗蝕膜的顯像步驟所使用 的鹼性顯像液，可由上述鹼性化合物的一種或二種以上以 水溶解而調製。有關鹼性顯像液的鹼性化合物濃度，通常 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 請 閎 背 項 再 填 頁 -38 - A7 B7 36 1300234 五、發明説明（ 爲0.001〜10重量％，理想爲0·01〜5重量％。又，以鹼性顯像液 顯像處理後，通常施以水洗處理。 請 先 聞 讀 背 之 注 意 事 項 再 <蝕刻液> 製造方法II第二含無機粉體樹脂層的蝕刻步驟所使用 的鈾刻液，以鹼性溶液爲理想，第二之含無機粉體樹脂層 所含的鹼可溶性樹脂可容易溶解除去。 又，第二之含無機粉體樹脂層所含之無機粉體，因鹼 可溶性樹脂而均勻的分散，由鹼性溶液將接合劑的鹼可溶 性樹脂溶解，以清洗無機粉體同時除去。 此處，作爲蝕刻液用的鹼可溶性溶液以與顯像液同一 組成的溶液爲理想。 蝕刻液與抗蝕膜的顯像步驟所使用的鹼性顯像液爲同 一溶液時，抗鈾膜的顯像步驟與蝕刻步驟可連續的實施， 可圖謀步驟的簡略化。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，以鹼性溶液蝕刻處理後，通常施以水洗處理。 實施例 以下以實施例說明本發明，但不限定於。又，以下有 關的「份」爲「重量份」。 <實施例1(製造方法1)> (1)第一含無機粉體樹脂組成物（介電質形成用組成物） 的調製： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -39- 1300234 Α7 Β7 37 五、發明説明（ 請 先 閲 讀 背 之 注 意 事 項 再 填 (a)作爲無機粉體的PbO-B2〇3-Si〇2系透明玻璃質（軟化點 爲570°C、平均粒徑爲1.5//m)100份，（b)作爲結合樹脂的n-丁基甲基丙烯酸酯/ η—月桂基甲基丙烯酸酯/ 2-羥基丙基 甲基丙烯酸酯=40質量％/50質量％/ 10質量％共聚合物（重 量平均分子量：100,000)20份、（c)作爲溶劑的丙二醇單甲基 醚20份及作爲可塑劑的丙二醇單油酸酯4份以分散機混練調 製成粘度4,000mPa _ s —的第一含無機粉體樹脂組成物。 (2)第二含無機粉體樹脂組成物（黑色矩陣形成用感光性 組成物）的調製： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (a)作爲無機粉體的Cu-Cr系複合氧化物黑色顏料（平均 粒徑0·3 // m)60份、Bi2〇3-0-B2〇3-Si〇2系透明玻璃質（軟化點 5 60°C、平均粒徑2.0// m)40份、（b)作爲結合樹脂的2-乙基己 基丙烯酸酯/ 2-羥基丙基丙烯酸/丙烯酸=60質量％/ 25質 量％/15質量％共聚合物（重量平均分子量：50,000)20份、 (c)作爲溶劑的丙二醇單甲基醚20份及（d)作爲感光成分的三 丙二醇二丙烯酸酯20份、2-苄-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯 基）-丁烷-1-酮（光聚合引發劑5份以分散機混練調製成粘度 4,000mPa · s—的第二之含無機粉體樹脂組成物。 (3)轉印薄膜的製造： 使用輥輪塗覆機塗覆上述（1)所調製的第一之含無機粉 體樹脂組成物於預先脫模處理的PET薄膜的支撐薄膜（寬 200mm、長30m、厚度38// m)上，塗膜於100 °C乾燥5分鐘， 將溶劑完全除去，於支撐薄膜上形成50 // m的第一之含無 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -40- 1300234 A7 B7 五、發明説明（QQ ) 〇〇 機粉體樹脂層，（以下以「轉印薄膜（1-1)稱之」）。 同樣的，使用輥輪塗覆機塗覆上述（1)所調製的第二之 含無機粉體樹脂組成物於預先脫模處理的PET薄膜的支撐 薄膜（寬200mm、長30m、厚度38// m)上，塗膜於100°C乾燥5 分鐘，將溶劑完全除去，於支撐薄膜上形成1 5 // m的第一 之含無機粉體樹脂層，（以下以「轉印薄膜（1-2)稱之」）。 (4) 薄膜的轉印步驟： 6吋面板用玻璃基板的表面，與轉印薄膜（1-1)的含無機 粉體樹脂膜的表面疊合，此轉印薄膜（1-1)以加熱輥輪熱壓 接合。其熱壓條件爲加熱輥輪的表面溫度爲12CTC，輥輪壓 力爲4kg/cm，加熱輥輪的速度爲0.5m/分鐘。 熱壓處理絳了後支撐薄膜以剝離除去。依此，玻璃基 板的表面由轉印而密合第一之含無機粉體樹脂層的狀態。 其次，第一之含無機粉體樹脂層的表面，與轉印薄膜 (1-2)的第二之含無機粉體樹脂膜的表面疊合，此轉印薄膜 (1-2)以加熱輥輪熱壓接合。其熱壓條條爲加熱輥輪的表面 溫度爲1 20°C，輥輪壓力爲4kg/cm，加熱輥輪的速度爲〇.5m/ 分鐘。 (請先閱讀背面之注意事項再填一

訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -41 - 1300234 Δ7 Α7 Β7 五、發明説明（39 400mJ/cm2 〇 (6) 第二之含無機粉體樹脂層的顯像步驟： 第二之含無機粉體樹脂膜由支撐薄膜剝離後，曝光處 理後的第二之含無機粉體樹脂層，以丨.〇質量％的碳酸鈉溶 液（30°C)作爲顯像液，由淋浴法施以30秒的顯像處理，由此 將未被紫外線照射未硬化的第二之含無機粉體樹脂層除去 ’第一之含無機粉體樹脂層上得到第二之含無機粉體樹脂 層的圖案。 (7) 焙燒步驟： 第一之含無機粉體樹脂層上形成第二之含無機粉體樹 脂層的圖案的玻璃基板，於環境溫度590 °C的焙燒爐內進行 3 0分鐘的焙燒處理。由此得到玻璃基板的表面厚25 // m電質 層上形成寬200 // m、高6 // m的黑色條紋的面板材料。 <實施例2> 實施例1中（3)有關的轉印薄膜的製造，上述（2)所調製 的第二之含無機粉體樹脂組成物於預先脫模處理的PET薄 膜的支撐薄膜（寬200mm、長30m、厚度38 // m)上，塗膜於 1 00 °C乾燥5分鐘，將溶劑完全除去，於支撐薄膜上形成15 // m的第二之含無機粉體樹脂層。 更且，上述（1)所調製的第一之含無機粉體樹脂組成物 於第二之含無機粉體樹脂層上使用輥輪塗覆機塗覆，塗膜 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 請 先 閎 讀 背 之 注 意 事 項 再 4

訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -42- 1300234 A7 __ B7 五、發明説明（4()) 於100°C乾燥5分鐘，將溶劑完全除去，於支撐薄膜上形成 15/z m的第一含無機粉體樹脂層，（以下以「轉印薄膜（1_3) 稱之」）。 實施例中（4)有關的轉印步驟，6吋面板用玻璃基板的表 面’與轉印薄膜（1-3)的第一之含無機粉體樹脂層的表面疊 合’此轉印薄膜（1-3)以加熱輥輪熱壓接合。其熱壓條件爲 加熱輥輪的表面溫度爲120°C，輥輪壓力爲4kg/cm，加熱輥 輪的速度爲0.5m/分鐘。 與實施例1同樣，進行第二之含無機粉體樹脂的曝光步 驟、顯像步驟及焙燒步驟。由此得到玻璃基板的表面厚25 # m電質層上形成寬200 // m、高6 # m的黑色條紋的面板材 料。 <實施例3> 第一之含無機粉體樹脂組成物（介電質形成用組成物）的 調製： 與實施例1 (1)同樣’調製第一之含無機粉體樹脂組成物 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〇 (2)第二之含無機粉體樹脂組成物（黑色矩陣形成用感光 性組成物）的調製： (a)作爲無機粉體的Cu-Cr系複合氧化物黑色顏料（平均 粒徑0.3 // m)60份、Bi2Ch-〇-B2〇3-Si〇2系透明玻璃質（軟化點 560°C、平均粒徑2.0# m)40份、（b)作爲結合樹脂的2-乙基己 基丙烯酸酯/ 2-羥基丙基丙烯酸/丙烯酸=60質量％/25質 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -43- 五 1300234 A7 B7 、發明説明（41 量％/15質量％共聚合物（重量平均分子量：50,000)20份、 (c)作爲溶劑的丙二醇單甲基醚20份及作爲可塑劑的三丙二 醇二丙烯酸酯20份以分散機混練調製成粘度4,000mPa · s一1 的第二之含無機粉體樹脂組成物。 (3)鹼性顯像型感放性抗蝕組成物的調製： 作爲鹼可溶性樹脂的苄基甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸 = 7 5 / 25 (質量％ )共聚合物（Mw = 60,000)60份、作爲多官能 性單體（感放線性成分）的三丙二醇二丙烯酸酯40份、作爲光 聚合引發劑（感放線性成分）的2-苄-2-甲基氨基-1-(4-嗎啉代 苯基）-丁烷-1-酮5份及作爲溶劑的丙二醇單甲基醚醋酸酯 1 00份由混調製成鹼性顯像型感放性抗蝕組成物（以下以「抗 蝕組成物」稱之）。 (4)轉印薄膜的製造： 使用輥輪塗覆機塗覆上述（1)所調製的第一之含無機粉 體樹脂組成物於預先脫模處理的PET薄膜的支撐薄膜（寬 200mm、長30m、厚度38/zm)上，塗膜於100°C乾燥5分鐘， 將溶劑完全除去，於支撐薄膜上形成5 0 // m的第一之含無 機粉體樹脂層，（以下以「轉印薄膜（11_1)稱之」）。 同樣，同樣的，使用輥輪塗覆機塗覆上述（1)所調製的 第二之含無機粉體樹脂組成物於預先脫模處理的PET薄膜 的支撐薄膜（寬200mm、長30m、厚度38// m)上，塗膜於100 °C乾燥5分鐘，將溶劑完全除去，於支撐薄膜上形成1 5 // m 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 填一 頁 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -44- 五 1300234 Α7 Β7 、發明説明（42 ) 的第一之含無機粉體樹脂層，（以下以「轉印薄膜（II-2)稱之 j ) 0 再同樣的，使用輥輪塗覆機塗覆上述（3)所調製的抗蝕 組成物於預先脫模處理的PET薄膜的支撐薄膜（寬200mm、 長30m、厚度38// m)上，塗膜於100°C乾燥5分鐘，將溶劑完 全除去，於支撐薄膜上形成8 // m的抗蝕薄膜，（以下以「轉 印薄膜（II-3)稱之」）。 (4)薄膜的轉印步驟·‘ 6吋面板用玻璃基板的表面，與轉印薄膜（II-1)的含無機 粉體樹脂膜的表面疊合，此轉印薄膜（Π-1)以加熱輥輪熱壓 接合。其熱壓條件爲加熱輥輪的表面溫度爲120°C，輥輪壓 力爲4kg/cm，加熱輥輪的速度爲0.5m /分鐘。 熱壓處理終了後支撐薄膜以剝離除去。依此，玻璃基 板的表面由轉印而密合第一之含無機粉體樹脂層的狀態。 其次，第一之含無機粉體樹脂層的表面，與轉印薄膜 (II-2)的第二之含無機粉體樹脂膜的表面疊合，此轉印薄膜 (II-2)以加熱輥輪熱壓接合。其熱壓條條爲加熱輥輪的表面 溫度爲120°C，輥輪壓力爲4kg/cm，加熱輥輪的速度爲0.5m/ 分鐘。 再之，第二之含無機粉體樹脂層的表面，與轉印薄膜 (II-3)的抗蝕膜的表面疊合，此轉印薄膜（II-3)以加熱輥輪熱 壓接合。其熱壓條條爲加熱輥輪的表面溫度爲1 20°C，輥輪 壓力爲4kg/cm，加熱輥輪的速度爲〇.5m/分鐘。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 請 先 閲 讀 背 之 注

I

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -45- 1300234 A7 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（43 ) (5) 抗蝕膜的曝光步驟： 形成於第二之含無機粉體樹脂層上的抗蝕膜，介以曝 光用罩膜（寬200 // m的條紋），於支撐薄膜上以超高壓水銀 燈照射i線（波長365nm的紫外線）。其照射量400m；i/cm2。 (6) 抗蝕膜的顯像步驟： 抗蝕膜由支撐薄膜剝離後，曝光處理後的抗蝕膜，以 〇·6質量％的碳酸鈉溶液（30°C)作爲顯像液，由淋浴法施以30 秒的顯像處理，由此將未被紫外線照射未硬化的抗蝕膜除 去，第二之含無機粉體樹脂層上得到抗蝕圖案。 (7) 第二含無機粉體樹脂層的蝕刻步驟： 接續上述（6)抗鈾膜的顯像步驟，對第二之含無機粉體 樹脂層以0.6質量％的碳酸鈉溶液（30°C)作爲鈾刻液，由淋浴 法施以60秒的顯像處理後，其次以超純水進行水洗處理及 乾燥處理，由此將對應除去抗蝕膜的第二之含無機粉體樹 脂層除去，於第一之含無機粉體樹脂層上得到第二之含無 機粉體樹脂層圖案。 (8) 焙燒步驟： 第一之含無機粉體樹脂層上形成第二之含無機粉體樹 脂層的圖案的玻璃基板，於環境溫度590°C的焙燒爐內進行 30分鐘的焙燒處理。由此將抗蝕圖案、第二之含無機粉體 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐Ί ' 一 -46- (請先閎讀背面之注意事項再頁) —►i· 、?τ c 1300234 A7 B7 五、發明説明（44 ) 樹脂層的圖案及第一之含無機粉體樹脂層的有機成分除去 ，得到玻璃基板的表面厚25 // m電質層上形成寬2〇〇 # m、 高6 /z m的黑色矩陣（條紋）的面板材料。 <實施例4> 實施例3(4)相關的轉印薄膜製造、以實施例3(3)所調製 的抗鈾組成物於預先脫模處理的P E T薄膜的支撐薄膜（寬 200mm、長30m、厚度38//m)上以逆輥塗覆器塗覆，塗膜於 l〇〇°C乾燥5分鐘，將溶劑完全除去，於支撐薄膜上形成μ // m的第二之含無機粉體樹脂層。 再之，實施例3(1)所調製的第一之含無機粉體樹脂組成 物以括刀塗覆器塗覆於第二之含無機粉體樹脂層上，塗膜 於lOOt乾燥5分鐘，將溶劑完全除去， 其次，第二之含無機粉體樹脂層上形成50的第一 含無機粉體樹脂層，得到本發明的轉印薄膜（以下以「轉印 薄膜（II-4)稱之」）。 實施例3(5)相關的薄膜轉印步驟，6吋面板用玻璃基板 的表面，與轉印薄膜（II-4)的第一之含無機粉體樹脂層的表 面疊合，此轉印薄膜（II-4)以加熱輥輪熱壓接合。其熱壓條 件爲加熱輥輪的表面溫度爲120°C，輥輪壓力爲4kg/cm，加 熱輥輪的速度爲0.5m /分鐘。 與實施例1同樣，進行抗鈾膜的曝光步驟、顯像步驟及 焙燒步驟。由此得到玻璃基板的表面厚25 // m電質層上形 成寬200 // m、高6 // m的黑色矩陣（條紋）的面板材料。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再. 丨^丨 頁 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -47- 1300234 A7 B7 五、發明説明（45 ) 商業上之利用領域 依本發明可獲下述的效果。 (1) 提供製造效優於無機層上形成具圖案的面板材料的 電漿顯示器面板的製造方法。 (2) 提供顯像時密合性良好，圖案形成性優的電漿顯示 器面板的製造方法。 (3) 提供作業性優的電漿顯示器面板的製造方法。 (4) 提供製造效率、圖案形成性及作業性優的新_員_£卩 薄膜。 圖面之簡單說明 【圖1】所示爲一般的PDP說明用剖面圖 符號的說明 (請先閲讀背面之注意事項再頁)

訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 2 3 4 5 6 7 8 9 玻璃基板 玻璃基板 隔壁 透明電極 配線電極 座標電極 螢光物 誘電体層介電質層 介電質層 -48- 1300234 五、發明説明（^ ) 46 10 保護層 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -49-

Claims (1)

1. Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍1 1·一種電漿顯示器面板之製造方法，其特徵係由含下述 步驟（i)〜（iii)的方法於無機膜上形成圖案，其中由第—之含 無機粉體之樹脂層形成介電體層，由第二之含無機粉體之 樹脂層形成選自隔板、電極、電阻物、螢光物、濾色片及 黑色矩陣（Black Matrix )中任一種之面板材料； (i)於基板上形成非感光性的含有驗不溶性或難溶性的 樹脂成份的弟一之含無機粉體之樹脂層，於該第—·之含無 機粉體的樹脂層上形成感光性的含有驗可溶性的樹脂成分 的第二之含無機粉體之樹脂層之步驟， (U)將第二之含無機粉體之樹脂層曝光、顯像處理，形 成第二之含無機粉體之樹脂層的圖案之步驟， (iU)焙燒第一之含無機粉體之樹脂層及形成於該第一之 含無機粉體樹脂層上之第二之含無機粉體樹脂層圖案之步 驟。 2·—種電漿顯示器面板之製造方法，其特徵係由含下述 步驟（i)〜（iv)的方法於無機膜上形成圖案，其中由第一之含 無機粉體之樹脂層形成介電體層，由第二之含無機粉體之 樹脂層形成選自隔板、電極、電阻物、螢光物、濾色片及 黑色矩陣中任一種之面板材料； (i)於基板上形成含有鹼不溶性或難溶性的樹脂成分的 第一之含無機粉體之樹脂層，於該第一之含無機粉體之樹 脂層上形成含有鹼可溶性的樹脂成分的第二之含無機粉體 之樹脂層，於該第二含無機粉體之樹脂層上形成含有鹼可 溶性的樹脂成分的抗蝕膜之步驟， 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） • ϋ n — 裝 I 訂I 線 (請先閲讀背面之注意事項再本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -50- 1300234 A8 B8 C8 D8 穴、申請專利範圍2 (ii) 將抗蝕膜曝光、顯像處理，於第二之含無機粉體之 樹脂層上形成抗蝕圖案之步驟， (iii) 將第二之含無機粉體之樹脂層蝕刻處理，使對應抗 蝕圖案的第二之含無機粉體之樹脂層的圖案形成於第一之 含無機粉體之樹脂層上之步驟， (iv) 焙燒第一之含無機粉體之樹脂層及形成於該第一之 含無機粉體之樹脂層上之第二之含無機粉體之樹脂層圖案 〇 3·如申請專利範圍第1項之電漿顯示器面板之製造方法 ，其包含使用將支撐薄膜上所形成的含無機粉體樹脂層轉 印之步驟之方法，以形成含第一之含無機粉體之樹脂層及 第二之含無機粉體之樹脂層的至少一者。 4·如申請專利範圍第2項之電漿顯示器面板之製造方法 ，其中包含使用將支撐薄膜上所形成的含無機粉體樹脂層 轉印的步驟，以形成含第一含無機粉體之樹脂層及第二含 無機粉體之樹脂層的至少一者。 5.如申請專利範圍第1項之電漿顯示器面板之製造方法 ，其包含使用將支撐薄膜上所形成的第二之含無機粉體之 樹脂層及第一之含無機粉體之樹脂層轉印至基板上的步驟 之方法，以形成第一之含無機粉體之樹脂層及第二之含無 機粉體之樹脂層。 6·如申請專利範圍第2項之電漿顯示器面板之製造方法 ，其包含使用將支撐薄膜上所形成的抗鈾膜、該支撐薄膜 上所形成的第二之含無機粉體之樹脂層及該第二之含無機 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再ϋΙ本頁} 冬 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -51 - 1300234 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍3 粉體之樹脂層上所形成之第一之含無機粉體之樹脂層的靥 合膜轉印至基板上，以於基板上形成第一之含無機粉體之 樹脂層、第二之含無機粉體之樹脂層及光阻膜。 7. 如申請專利範圍第1項之電漿顯示器面板之製造方法 ’其中第一之含無機粉體之樹脂層係以玻璃透明釉作爲無 機粉體。 8. 如申請專利範圍第2項之電漿顯示器面板之製造方法 ’其中第一含無機粉體之樹脂層係以玻璃透明釉作爲無機 粉體。 9·一種轉印薄膜，其特徵係於支撐薄膜上形成含有含鹼 可溶性樹脂成分的感光性之第二之含無機粉體之樹脂層， 及含鹼可溶性性樹脂成分的非感光性之第一之含無機粉體 之樹脂層。 10·—種轉印薄膜，其特徵係於支撐薄膜上形成含鹼可 溶性樹脂成分的抗鈾層、含鹼可溶性樹脂成分的第二之含 無機粉體之樹脂層，及含鹼可溶性樹脂成分的第一之含無 機粉體之樹脂層。 11.如申請專利範圍第9項之轉印薄膜，其中第一之含 無機粉體之樹脂層與第二之含無機粉體之樹脂層中至少1 層，可再含有下式（3 )或（4 )所示之化合物所得的可塑 劑，或含有丙二醇 R-^O- 0 4\ II R-+0—C / s 6 ο R5-—0 ounc\τ* Η1cI/t H 本紙張尺度適用中國國家操準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲·«背面之注意事項再ml本頁) .裝· -訂- -52- 1300234 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍4 (式中，R3及R6所示爲各自相同或相異的碳數1〜30的烷 基，R4及R5所示爲各自相同或相異的伸甲基或碳數2〜30的 伸烷基，s爲0〜5的整數，t爲1〜10的整數） Η ΗH3C—c—C-O—c—R7 OH H 〇 (4) (式中，R7所示爲碳數卜30的烷基，或鏈烯基）。 12.如申請專利範圍第10項之轉印薄膜’其中第一之含 無機粉體之樹脂層與第二之含無機粉體之樹脂層中至少1 層，可再含有下式（3 )或（4 )所示之化合物所得的可塑 劑，或含有丙二醇， 6 (3) (請先閱讀背面之注意事項再本頁)

   經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，R3及R6所示爲各自相同或相異的碳數1〜30的烷 基，R4及R5所示爲各自相同或相異的伸甲基或碳數2〜30的 伸烷基，s爲0〜5的整數，t爲1〜10的整數） 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -53- 1300234 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍5 h3c Η ΗI I C——C——0I I OH Η C—R7II ο (4) (式中，R7所示爲碳數1〜30的烷基，或鏈烯基）

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