TWI299964B - - Google Patents

Description

1299964 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於一種具備去除方型玻璃基板等表面的帶 電的搬運裝置。 【先前技術】. 在電子產業，習知就被指摘藉由靜電放電（ESD)使得 裝置受損的情形，針對於此種情形的對策，進行者使用電 離器發生離子化的空氣，而將該空氣噴在帶電物質，或從 放電電極放射電力線來進行除電。 例如，在日本特開200 1 - 1 48297號公報中揭示將電力線 放射至帶電物體進行除電；而在特開2001 -203092號公報 中揭示將電力線與離子化的空氣放射至帶電物體進行除電 〇 然而’欲在方型玻璃基板的表面藉由旋轉塗佈形成塗 膜，而在使用真空夾頭來吸附玻璃基板的狀態下，一面旋 轉一面以離心力均勻地擴散所滴下的塗佈液。如此，在完 成塗佈之後，欲從真空夾頭拆下玻璃基板之際，玻璃基板 由靜電彼吸附於真空夾頭，而有無法快速地拆下的情形。 該趨勢是隨著基板之大型化更顯著，而藉由隨著該大型化 的夾頭面的擴大成爲更顯著。 在玻璃基板藉由靜電被吸附在真空夾頭時，若欲藉由 提昇銷用力地剝下玻璃基板，則有玻璃基板破裂，或損壞 提昇銷的情形。 -6 - (2) . 1299964 如此，習知就使用電離器，或也進行照射紫外線，惟 . 藉由電離器時，膜斑發生在塗佈後的膜表面的缺失，即使 照射紫外線所產生的效果也小° 又，考慮從放電電極放射電力線來進行除電，惟在該 狀態下的適用會增加作業工序’而需設置專用的除電站等 會成爲大型化者。 【發明內容】 φ 爲了解決上述課題，本發明的基板的搬運裝置，是隔 著特定間隔安裝將電力線作用於基板表面的正負一對或一 對以上的放電電極。 上述一對放電電極的間隔是如在370mmx 470的方型基 ， 板時爲20至30 cm較理想，又放電電極的高度位置是與保持 的基板表面的間隔成爲4 0至5 0 m m的位置較理想。此些間 隔是基板的尺寸可適當地變更成適當數値。 又，上述成對的放電電極的正極與負極的安裝角度， 鲁 是傾斜地安裝成爲朝連結正極與負極的線分的中間點垂下 ' 至基板的垂線與基板的交點者，比對於基板成爲正交者更 _ 具靜電去除的效果。 【實施方式】 以下依據所附圖式說明本發明的實施形態。第1圖是 表不本發明的基板的搬運裝置的側視圖；第2圖是表示同 一搬運裝置的俯視圖；在該實施例中說明了對於塗佈裝置 (3) 1299964 搬運基板的例子。 搬運裝置是在棒狀本體1設置軌道2，3，而在該軌道2 ，3分別卡合保持構件4，5，藉由驅動未圖示的缸單元等 ，進行接近遠離移動保持構件4，5。 又，在棒狀本體1安裝有一對放電電極6, 7。其中一方 的放電電極6是經由：引出線被連接於直流電源電壓電源8 的正極，而另一方的放電電極7是被連接於直流電源8的負 極。對於直流電源8，設在棒狀本體1以外的部位也可以。 針對於上述一對放電電極6，7，傾斜地安裝於棒狀本 體1。亦即，安裝放電電極6，7成爲朝裝載於真空夾頭10 的玻璃基板W的大的中心，能放出電力線。又，在真空夾 頭10設有連結於真空裝置的吸引孔1 1及提昇銷12。 第3圖是表示其他實施例的除電裝置的俯視圖；在該 實施例是將本體1的形狀作成二股狀，且增加支持玻璃基 板的部位，而能對應於大型的玻璃基板。在該實施例中， 放電電極6，7是傾斜地安裝成爲朝連結放電電極6，7的線 分的中間點垂下至玻璃基板W的垂線與基板之交點。 又，在實施例中與塗佈裝置有關而說明了搬運裝置， 惟本發明的搬運裝置是塗佈裝置以外的裝置，例如也可適 用於對於顯像裝置，蝕刻裝置的搬運裝置。 (發明之效果） 如上所述地依照本發明，不會發生基板的剝離帶電， 例如從夾具剝離基板時，對於基板不會有損傷。 (4) 1299964 又，即使爲相同靜電去除，與電離器不同地不會發生 膜斑等。 又’在搬運裝置賦予靜電去除功能，而不必設置去除 靜電所需的多餘的工作站，或施以多餘的工序之故，因而 有效率地處理基板。而且若在各搬運裝置添加去除靜電功 能，基板是成爲在每搬運一次會去除靜電，而不會受到依 帶電所產生的損傷。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示本發明的除電裝置的側視圖。 第2圖是表示本發明的除電裝置的俯視圖。 第3圖是表示其他實施例的除電裝置的俯視圖。 [符號說明] I :棒狀本體 2，3 :軌道 4，5 :保持構件 6，7 :放電電極 8 :直流電源 10 :真空夾頭 II :吸引孔 1 2 :提昇銷 W :基板

Claims (1)

1299964 (1) 拾、申請專利範圍 1·一種基板的搬運裝置，屬於進行移送，或接受或交 接基板的基板的搬運裝置，其特徵爲：該搬運裝置是在基 板表面隔著特定間隔安裝有作用電力線的正負一對或一對 以上的放電電極者。 2·如申請專利範圍第1項所述基板的搬運裝置，其中， 上述成對的放電電極的正極與負極，是傾斜地安裝成爲朝 連結此些正極與負極的線分的中間點垂下至基板的垂線與 基板的交點者。 -10-