TWI297308B - Method of controlling functional liquid supply apparatus, functional liquid supply apparatus, liquid droplet ejection apparatus, method of manufacturing electro-optical device, electro-optical device, and electronic device - Google Patents

Description

1297308 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本么明係有關將複數功能液槽加壓，自各功能液槽對於 吐出功㊣液滴之功能液滴吐出帛，分別加壓供、給各種功能 夜之功忐液供給裝置之控制方法、功能液供給裝置、液滴 吐出裝置、光電裝置之製造方法、光電裝置及電子機器: 【先前技術】 自以往，於作為液滴吐出裝置之一種而為人所知之噴墨 式列印機’係將墨水卡]£(功能液槽）配置在比列印頭（功能 液滴吐出頭）下方，以墨水加壓機構加壓墨水卡匣，藉此 將儲存於墨水卡匿之墨水（功能液）加壓供給至列印頭。 [專利文獻1]日本特開2〇02_166569號公報 然而’功能液滴吐出頭所吐出之功能液滴極為細微，功 能液滴吐出頭之喷頭内流路中之功能液之壓力（噴頭内壓 )曰對於自功旎液滴吐出碩吐出之功能液滴造成影 響。因此為了使用液滴吐出裝置進行高精度之描晝，必須 藉由加壓機構控制加壓力，以使噴頭内壓力成為特定之設 定壓力。 然而’液滴吐出裝置具有複數功能液槽且不同之複數種 功能液儲存於此之情況，若以同—壓力將此等加壓，即使 相同地構成到達啃頭内流路之管長度或直徑，#因於各功 能液之黏性等不同，壓力損失仍會不$，無法使喷頭内流 路之壓力成為特定之設定壓力’唯恐對描晝造成不良影

107967.doc 1297308 【發明内容】 因此，本發明之課題在於提供在複數功能液槽中儲存有 =之複數種功能液之情況，能以噴頭内壓力成為特定之 设疋壓力之方式，將各種功能液進行加壓供給之功能液供 給裝置之控制方法、功能液供給裝置、液滴吐出裝置、光 電裝置之製造方法、光電裝置、及電子機器。 本發明之功能液供給裝置之控制方法之特徵在於：將分 別儲存不同《之功能液之複數功能液槽，藉由對應之複 數加壓泵加壓’自複數功能液槽’對於吐出功能液滴之功 能液滴吐出頭分別加壓供給各種類之功能液；且具備：壓 力損失計算步驟，其係分別求出各功能液自功能液槽到功 能液滴吐出頭之功能液流路之壓力損失；供給壓算出步 驟’其係將壓力損失而後求出功能液供給壓，以使：能： 滴吐出頭中之各種類之功能液之嘴頭内壓力，成為分H 設定之設t壓力；及獨立加壓步驟，其係根據算出之功能 液供給壓，分別將複數功能液槽獨立加壓。 此外’本發明之功能液供給裝置之特徵在於：將分別儲 存不同種類之功能液之複數功能㈣，藉由對應之複數加 壓泵加壓，自複數功能液槽，對於吐出功能液滴之功能液 滴吐出頭分別加壓供給各種類之功能液；且具備：壓力損 失計算機構，其係分別求出各功能液自功能㈣^能= 滴吐出頭之功能液流路之壓力損~;供給壓算出機構，其 係將壓力損失而後求出功能液供給壓，以使功能液滴^出 頭中之各種類之功能液之喷頭内壓力， 107967.doc 1297308 之功能液供給 設定壓力，·及獨立加壓機構，其係根據算出 壓’分別將複數功能液槽獨立加壓。 若根據此等構成，對應於不同之I _ 士 个^之各功旎液來計算功能液 流路中之壓力損失，並對各Λ 耵谷功月匕液，纟出已將算出之壓力 損失之功能液爾。接著根據求出之功能液供給塵，夢 由複數加愿汞，將分別錯存各功能液之複數功能液槽獨: 加屋’因此可使功能液滴吐出頭之喷頭内流路到達時之黑 水之到達Μ力，成為力，可防止㈣㈣^ 内之墨水產生麼力變動。而且於此情況，設定麼力係考岸 功能液滴吐出頭之吐出性能等’因應於實際情況來設定即 可’可對於所有功能液設定同一屋力’或對各功能液設定 不同壓力。 於此情況，壓力損失钟管半驟—曰士 貝天冲开步驟宜具有：黏度資料輸入步 驟，其係輸入各種類之功能液之黏度資料；及壓力損失設 定步驟’其係根據輸入之黏度資料、及賦予黏度資料與壓 力損失關連之壓力損失設定資訊而設定壓力損失。 此外’於此情況’壓力損失計算機構宜具有：黏度資料 輸入機構’其係輸入各種類之功能液之黏度資料；及壓力 相失设定機構’其係根據輸人之黏度資料、及賦予黏度資 料與壓力損失關連之壓力損失設定資訊而設定壓力損失。 若根據此等構成，可參考壓力損失設m，計算因應 於輸入之功能液之黏度資料之壓力損失。於此情況，壓力 扣失e又疋貝矾可為表形式，《為黏度資料與壓力損失之關 係式。 107967.doc 1297308 β於此情況，功能液之加Μ供給宜藉由以維持特定之 壓力之方式驅動加壓泵，加壓各功能液槽而 2 堡步驟宜具有：Μ力檢測步驟，其係將功能液供給麼作: 刼作壓力，檢挪功能液供給虔是否達到操作塵力之下㈣ 力；及加壓步驟，其係將未達到下限壓力之功能液槽，： 虔至操作壓力範圍之上限壓力。 料，於此情況，功能液之加壓供給宜藉由以維持特定 之細作力之方式驅動加屢泵，加Μ各功能液槽而進行； 獨立加壓機構宜具有：壓力檢測機構，其係將功能液供給 壓作為操作壓力，檢測功能液供給壓是否達到操作壓力之 下限墨力；及加麼㈣，其係將未達到下限a力之功能液 槽’加壓至操作壓力之上限壓力。 若根據此等構成，加壓泵之操作壓力係可使喷頭内壓力 成為特定之設定壓力之功能液供給壓，因此可將加壓供給 之功此液，維持在异出之功能液供給壓，故可將噴頭内壓 力維持於設定壓力。 本發明之液滴吐出裝置係一面使功能液滴吐出頭對於描 晝對象物相對地移動，一面驅動功能液滴吐出頭，藉此使 功能液滴吐出，而於描畫對象物進行描晝；其特徵在於： 具備上述任一項所記載之功能液供給裝置。 右根據此構成，由於具備可使喷頭内壓力成為特定之設 疋壓力之上述功能液供給裝置，因此功能液滴吐出頭中之 功能液之喷頭内塵力不會自設定壓力偏離。因此可有效減 ^由於喷頭内壓力之偏差所產生之功能液滴之吐出量或吐 ^7967.000 1297308 出速度等之偏差'實現高精度之描晝。 、本發明之光電裝置之製造方法之特徵在於：使用上述液 滴土出a置，於基板上形成由功能液滴所形成之成膜部。 此外’本發明之光電裝置之特徵在於：使用上述液滴吐 出义置，於基板上形成由功能液滴所形成之成膜部。 若根據此構造，由於使料實現高精度描晝之液滴吐出 裝置製造，因此可製造可靠性高之光電裝置。而且作為光 電裝置(平面顯示器），可考慮彩色滤光器、液晶顯示裝 置、有機EL裝置、PDP裝置、電子放出裝置等。而且，電 子放出裝置係包含所謂FED(Field Emissi〇n·場發 射·顯不 $ )或 SED(SUrface_conducti〇n EIectr〇n Emhter D — lay :表面傳導電子發射顯示器)裝置之概念。並且作 為光電裝置’可考慮包含金屬布線形成、透鏡形成、抗蝕 劑形成及光擴散體形成等之裝置。 本發明之電子機器之特徵在於：搭載上述光電裝置。 於此情況，作為電子機器，除了搭載所謂平面顯示器之 行動電話、個人電腦以外，各種電器產品亦相當於此。 【實施方式】 以下參考附圖，說明有關本發明之第一實施型態之液滴 吐出裝置之一種之喷墨列印機。此喷墨列印機係連接於個 人電腦等主機電腦而使用之大型彩色列印機，根據自主機 電腦傳送來之印刷資料，藉由噴墨方式在印刷對象物之滾 筒紙上進行印刷。 如圖1及圖2所示，噴墨列印機i具備：列印機本體2，其 107967.doc -10- 1297308 係具有喷墨頭4 1 (後述）；及支撐架3，其係支撐列印機本體 2 〇 列印機本體2係由裝置盒11包覆外廓，於其上部後方， 開閉自如地設有用以使滾筒紙R插拔之滾筒紙蓋12，並且 自滾筒紙蓋12之前方至列印機本體2之正面，插拔自如地 設有大幅開放内部之開閉蓋13。此外，亦於裝置盒丨丨，形 成用以插拔墨水卡匣81之卡匣蓋17。並且於列印機本體2 鲁 之正面，使印刷完畢之滾筒紙R出紙之出紙口 14係位於開 閉蓋1 3之下側而形成。 於滾筒紙蓋12之内側，形成插拔自如地收納滾筒紙尺之 滾筒紙收納部1 5，並設有填裝滾筒紙R而將此送出之送出 捲盤1 6。 另一方面，於開閉蓋13之内側，形成將送出之滾筒紙以 达至出紙口 14之搬送路徑（省略圖式），沿著此搬送路徑， 設有用以在滾筒紙R進行印刷之印刷機構2 j。 # 作為基本構成，此喷墨列印機1具備··印刷機構21，其 係具有噴墨碩41，用以在滾筒紙R進行印刷；搬送機構 22，其係將滾筒紙&沿著搬送路徑搬送；墨水供給機構 23，其係具有墨水卡匣81，對噴墨頭41供給墨水；維護機 構24,其係供喷墨頭41之維護；控制機構&其係藉由一 面使此等各機構相互關連一面進行控制，以便控制喷墨列 印機1王版（夢考圖7)。而且，一面藉由墨水供給機構U對 噴墨頭41供給墨水，一面使印刷機構21及搬送機構22同步 驅動’以便在滾筒紙R印刷圖像。 107967.doc !297308 +印刷機構21具備：喷頭單元31，其係搭載噴墨頭4i ;及 噴頭移動機構32，其係移動自如地支撐噴頭單元3 1， 頭單元3 1移動。 、 加噴頭單S31係將吐出墨水（滴）之複數喷墨頭川荅載於托 架42而構成。如圖3所示，喷墨頭“具備：墨水導入部 51，其係設有自墨水供給機構23接受墨水供給之連接針 52 ;及噴頭本體53，其係連接於墨水導入部51之下方，用 • 以使供給之墨水吐出。喷頭本體53之構成包含：噴嘴板 54，其係具有多數（36〇個）吐出噴嘴57開口之噴嘴面％ ;及 盒55，其係裝有壓電（piez〇)元件；於噴墨頭“，藉由盒μ 内之壓電（piezo)元件之收縮而自吐出噴嘴57吐出墨水滴。 而且，本實施型態之噴墨頭41為所謂2串列式，於墨水 導入部5丨設有個別供以墨水之2個連接針以，並且於=嘴 板54(噴嘴面56)，形成自各連接針52個別地供以墨水之2排 喷嘴串列。各噴嘴串列係使多數（18〇個）吐出噴嘴”等間隔 鲁 配置’相互偏離半間距（約7〇 μηι)分位置而形成。因此， 於噴墨頭41，可對各喷嘴串列供給不同種類之墨水，使其 吐出2種墨水，或亦可2排噴嘴串列同時以半間距間隔吐出 墨水（進行高解像度之描晝）。 托架42係將複數噴墨頭41以已定位之狀態保持，若將複 數噴墨頭41定位固定於托架42，於托架42會形成由各噴墨 頭4 1之噴嘴串列所組成之特定之描晝線。所謂描畫線，其 係於滾筒紙R之搬送方向（γ軸方向）連續，且為供以同一色 墨水之喷嘴串列（吐出喷嘴57)之排列；於本實施型態，對 107967.doc 12 1297308 應於墨水供給機構23所供給之4色（4個）墨水’在托架心上 形成有4道描晝線。 噴頭移動機構32係用以使噴頭單元31(托架42)，在與滾 =紙R之搬送方向（Y軸方向）正交之χ軸方向（主掃描方向） 私動’且具備：托架馬達；動力傳遞機構(省略圖式），其 係傳遞托架馬達之動力，使喷頭單元31移動於⑲方向； 及導引構件62，其係將噴頭單元31對於又軸方向滑動自如 Φ 地支撐，並且延伸於X軸方向來導引其移動。 托架馬達（省略圖示）係以可正、逆向旋轉之DC伺服馬達 構成。動力傳遞機構具有：i對滑輪，·及確動皮帶（timing belt)其係架没於1對滑輪間，為了使喷墨頭41之喷嘴面 對於搬送路徑平行，而將托架42之基部固定（兩者均省略 圖示）。於一方之滑輪連接有托架馬達，若托架馬達進行 正、逆向旋轉，動力會經由確動皮帶傳遞至噴頭單元3 i， 以導引構件62為導引，托架42係往又軸方向來回移動。 _ 而且，噴頭移動機構32係構成為，使喷頭單元31來回移 動於預先設定之噴頭移動區域64内。於本實施型態，相當 於噴頭移動區域64之圖示右侧端之位置，係設定為喷頭單 元1之起始位置，將此位置作為基準位置來掌握噴頭單元 3 1之移動位置。 具體而言，於喷墨列印機丨，設有檢測喷頭單元31之起 置之起始位置檢測感測裔6 5，並且設有X軸線性編碼 為66 ’其係包含··搭載於托架42之光感測器、及並設於導 引構件62之延伸於X軸方向之線性比例尺；以起始位置檢 107967.doc -13- 1297308 測感測器檢測出喷頭單元31之起始位置後，以光感測器依 序檢測設在線性比例尺之多數檢測線，藉此掌握移動於喷 頭移動區域64内之喷頭單元31之移動位置。 、 搬送機構22係用以送出收納於滾筒紙收納部。之滾筒紙 R ’並且用以將送出之滾筒紙汉沿著搬送路徑搬送，且具 備：搬送馬達（省略圖示），其係用以送出滾筒賊之驅動 源；及搬送滾筒（省略圖示），其係臨向搬送路徑而配置， 並且經由動力傳遞機構（省略圖示）而連接於搬送馬達，將 滾筒紙R送出並搬送。而且，於喷頭移動區域料内，對應 於安裝之滾筒紙R之寬度而設定印刷區域，滾筒紙r係藉 由搬送機構22，通過此印刷區域而搬送。 於此喷墨列印m係藉由重複主掃描及副掃描，以便在 滾筒紙R描畫所需之圖I ;其中，主掃描係面驅動嗔頭 移動機構32,使噴頭單元3mx軸方向移動，―面選擇性 地驅動複數噴墨頭41 ’藉此在滾筒紙R吐出墨水滴，·副掃 描係驅動搬送顧22所進行U紙R之搬送。 主墨水供給機構23具備：4個墨水卡㈣，其係分別儲存 汽色〇〇1紅色（M)、毅藍色（C)及黑色（B)墨水；卡匿保 持益82 ’其係收納4個墨水卡㈣；加壓機構83，1係藉 由對各墨水切81供給空氣而加㈣水卡_，使各墨水 卡㈣之墨水進行加壓送液；複數支（本實施型態為4支）給 _，其係將⑷固)墨水卡£81與(複數 管連接。 如圖5所不，各墨水卡E 81具有··儲存墨水之墨水包91 107967.doc -14- 1297308 及收納墨水包91之卡£盒93。墨水包91係在重疊之片長方 形之（可撓性）薄膜片並進行熱熔接之袋狀物，裝有供給墨 水之樹脂製供給π 92，並構成為可變形。卡^的係以密 閉狀態收納墨水包91，並且設有連通於加壓機構83之空氣 配官113(後述）之空氣供給口（省略圖示）。 卡E保持器82係固定地設置在比噴墨頭41之嘴嘴面低之 位置。卡㈣持器82具有用以安裝特定色之墨水卡_之 4個卡㈣裝部·。於各卡£安裝部⑻設有連接配接器 (省略圖示），若於卡匣安裝部1〇1安裝墨水卡匣Η，空氣配 管113及卡匣盒93會經由連接配接器而連接成氣密狀態。 加麼機構83具備空氣供給機構lu，其係藉由對各墨水 卡匣81(卡匣盒93)獨立地供給空氣，而將各墨水卡匣“獨 立加壓，分別對應於4個之各墨水卡匣8丨，具備具有獨立 之驅動系統之4個空氣供給機構丨u。 各空氣供給機構111具備：加壓泵112，其係對各墨水卡 匣81供給空氣，將此加壓；空氣配管113(空氣流路），其係 連接加壓泵112及各墨水卡匣81 ;調節器114，其係介設於 二氣配笞113，及壓力感測器11 5，其係介設於位在調節器 114之下游側之空氣配管113，藉由檢測空氣流路内之壓 力’以便檢測作用於墨水包91之加壓力。 加壓泵112係使用隔膜式，其對於構成泵室之一部分之 隔膜（diaphragm)，經由動力傳遞機構而傳遞泵馬達（步進 馬達）之動力，使泵室之容積增減而進行空氣之吸入、供 給（均省略圖不）。若驅動加壓泵丨12，空氣會經由空氣配管 107967.doc -15· 1297308 ⑴供給而加壓卡匠盒93内。藉此，加壓收納於墨水卡£ 81之墨水包9卜將儲存於墨水包91之墨水加壓供給。 空氣配管113係-端連接於加壓泵112，並且另一端分別 連接於配設在各切安裝部1〇1之4個連接配接器，將自各 加壓泵112所供給之空氣’經由連接配接器而供給至*個之 各墨水卡匣81(卡匣盒93)。 調節器m為安全閥（逸散閥），其係用以使空氣流路内之 壓力（卡医盒93之加壓力）’不會起因於加壓果112之空氣供 給而超過㈣設定之特定上限壓力（於本實施型態為14Kpa)。 而且’於調節器114設有螺線管（S()lenc)id)114a，構成為在 喷墨列印機1之非運轉時等，將空氣流路内進行大氣開 放。 壓力感測器11 5係以光耦合器等所構成之〇N/〇FF(開啟/ 關閉）感測，檢測空氣流路内之壓力是否已達設定壓 力。詳細將於後面敘述，而壓力感測器115連接於控制機 構25，根據壓力感測器丨丨5之檢測結果，控制機構驅動 加壓泵112，藉此，自墨水卡£81所供給之墨水之墨水供 給壓力保持於特定之操作壓力内。 各給液管84係其一端連接於噴墨頭41之連接針52，另一 端連接於墨水卡匣8 1之供給口 92。4支給液管84集中收納 於圖外之纜線支持體（Cablebear :註冊商標），追隨於喷頭 單元3 1 (托架42)之移動而移動。 而且如圖4所示，於搭載有喷墨頭41之托架42，搭載用 以調整自墨水卡匣8 1所供給之墨水之壓力之複數壓力調整 107967.doc 1297308 闕121 ’於給液管84，介設有壓力調整閥12ι。 如圖6所示，壓力調整閥121係於閥殼122内，形成連通 於墨水卡£ 81之1次室123、連通於喷墨頭41之2次室124、 及連通1次室123及2次室124之連通流路125 ;於2次室124 之一面，面向外部而設置隔膜126(樹脂薄膜），於連通流路 125 ’設置藉由隔膜126進行開閉動作之閥體127。 自墨水卡匣8 1導入至1次室123之功能液，係經由2次室 124而供給至喷墨頭4丨，此時，藉由以作用於隔膜1之大 氣壓作為調整基準氣壓，使設在連通流路125之閥體127開 閉，以便進行2次室124内之壓力調整。於此情況，由於可 因應於離接於作為閥座之2次室124側之連通流路之開口緣 之閥體本體127a、與隔膜126之面積比，抑制墨水包…側 (1次側）之墨水之壓力變動，因此對於喷墨頭41，可供給壓 力變動極少之壓力安定之墨水。亦即，自墨水卡供 給之墨水之供給壓雖保持於特定之操作壓力，但藉由此壓 力調整閥121，可進而減少其壓力變動量。此外，由於以 閥體127隔絕在墨水包91側所發生之墨水脈動等，因此可 將此吸收（阻尼器功能 π硬微偁μ畀備：吸引機構131，其係吸引噴墨頭μ ; 及沖洗機構132，其係用以接受來自喷墨頭个丨之吐出。 吸引機構131係經由可密接於喷墨 貝角面而構成 之蓋⑷，使來自吸引泵等之吸引力作用於噴墨頭41，, 此強制地使墨水自吐出噴嘴57排出，可用於解除/防止口曰 出喷嘴57之堵塞。此外’吸引機構131(之蓋141)亦為了 = 107967.doc 1297308 管喷墨頭4i而使用，於喷墨列印機丨之非運轉時，使蓋i4i 密接於喷墨頭41之噴嘴面56’以防止吐出喷扣乾燥。而 且，吸引機構131係臨向起始位置而配置’可使蓋i4i對臨 向起始位置之喷頭單元3 1之噴墨頭4 1密接。 、冲洗機構132具有沖洗接受部151，其係接受來㈣㈣ 之吐出。沖洗接受部151係遍及吸引機構ΐ3ι之設置區域 除外之上述喷頭移動區域64 ’設置成包含喷墨頭41之移動 軌跡之凹溝，即使臨向喷頭單元31之任何位置，均接受來 自喷墨頭41之吐出而構成。藉此’以沖洗接受部i5i當然 可接受自喷墨頭4!棄置而吐出之墨水滴，而且亦可接受自 滾筒紙R之端緣溢出之墨水滴（參考圖句。 而且，在此所稱之「棄置而吐出」，其係將喷墨頭41之 吐出喷嘴57内（由於氣化等）黏度增加之墨水排出，並且為 了對吐出噴嘴57供給狀態良好之新墨水，而使墨水自喷墨 頭4+1之（所有）吐出噴嘴57吐出，藉由進行棄置而吐出，可 將噴墨頭4 1維持於適當狀態。 控制機構25係連接於噴墨列印機1之各機構，總括地控 制喷墨列印機1之全體。此外，於控制機構25，作為虚使 用介面係傷有顯示器（省略圖示）或各種指示器等。 =、 ί考圖7 D兒明有關喷墨列印機1之主控制系統。 如5亥圖所示，哈黑 、^歹】ί7機1具備：資料輸出入部！ 62，其係 2列印機介面161，用以輸入自主機電腦所傳送之印刷 ::(圖像資料或印刷控制資料)及各種指令，並且用以將 ' J 13機1内部之各種資料輸出至主機電腦；檢測部 I07967.doc -18- 1297308

163，其係具有上述χ軸線性編碼器^或麼力感測器ιι5 等，進行各種檢測；印刷部164，其係、具有印刷機構21及 搬送機構22,用以在滾筒紙R進行印刷；墨水供給部165, 其係具有墨水供給機構23，用以將墨水加壓供給；維護部 168，其係具有維護機構24，用以維護噴墨頭4丨；驅動部 166 ’其係具有驅動各部之各種驅動器，如驅動喷墨頭41 之噴頭驅動器171、或驅動托架馬達之托架馬達驅動器 172、驅動搬送馬達之搬送馬達驅動器173、用以驅動加壓 泵112之泵驅動驅動器174等；及控制部167，其係連接於 此等各部，控制喷墨列印機1全體。 除了具有可暫時記憶之記憶區域以外，控制部167尚具 備· RAM 1 8 1 ’其係作為用於控制處理之作業區域而使 用，ROM 1 82，其係具有各種記憶區域，記憶控制程式或 控制資料（顏色轉換表或文字修飾表等）；cpu 183，其係 運异處理各種資料；周邊控制電路（p_c〇N)184，其係裝有

用以處理與周邊電路間之介面信號之邏輯電路，並且裝有 用以進行時間控制之計時器丨85 ;及匯流排丨86，其係將此 等互相連接。 而且，於RA.M 1 8 1中，記憶有後述之追加加壓算出方法 所用之各種資料（例如卡£盒93之可加壓容積、每單位墨 水滴數之墨水體積等），並且設有墨水滴計數器（省略圖 不）’其係計算自各吐出噴嘴57所吐出之墨水滴數。此 外’於ROM 1 82中，記憶有用以驅動控制加壓泵U2之驅 動控制程式，追加加壓時間之算出亦由此驅動控制程式進 107967.doc -19- 1297308 行。 於控制部167，將經由P-CON 184而自各部輸入之各種資 料或RAM 1 8 1内之各種資料，按照記憶於1 82之控制 程式等，而使CPU 183進行運算處理，將其處理結果經由 P-CON 184而輸出至各部，藉此控制各部。 例如於控制部1 67連接有加壓機構83之壓力感測器11 5， 控制部167係根據壓力感測器} 15之檢測結果，間歇地驅動 空氣供給機構111(加壓泵112)，藉此將墨水卡匣81之加壓 力，亦即自墨水卡匣8 1所供給之墨水之供給壓力，調整在 預先ό又疋之細作堡力（Pmin〜Pm ax)内0 更具體而言，壓力感測器丨15係設定成檢測操作壓力之 下限壓力Pmin，亦包含初始加壓時在内，控制部167檢測 到壓力感測器11 5為下限壓力Pmin後（壓力檢測步驟），作 為追加加壓時間T(sec)，算出藉由加壓泵112之驅動，加壓 力（墨水之供給壓力）自操作壓力之下限壓力Pmin達到操作 [力之上限壓力pmax為止之時間。而且，按照算出之追加 加壓時間，藉由使加壓泵112驅動（泵驅動步驟），將墨水卡 E 8 1之加壓力調整至操作壓力。 而且，於喷墨頭41，作為補償有特定量（體積）之功能液 滴之吐出之功能液之壓力，係預先設定補償壓力範圍，上 述操作壓力設定成符合此補償壓力範圍。 於此，說明有關追加加壓時間算出方法。於本實施型 態，作為加麼泵112之每單位時間之空氣供給量 A(mI/SeC)、與使下限愿力Pmin達到上限屢力Pmax所需之 I07967.doc -20- 1297308 必,要空氣量月㈣之商而算出追加加塵時間r。追加加塵時 間异出方法係具備··空氣供給量測定步驟，其係測定每單 '位時：，空氣供給量Α;必要空氣量算出步驟，其係算出 要^量Β;及追加加壓時間算出步驟，其係根據測定 *之每單位時間之空氣供給量Α及算出之必要空氣量Β， 异出追加加壓時間丁。 处空氣供給量測定步驟係在以加壓汞112，將大氣開放狀 =之卡匣盒93加壓至上限壓力Pmax之初始加壓中，將卡匣 盒93之加壓力開始進行初始加壓至達到下限壓力為止 之達到時間t㈣、肖加壓系112在達到時間t之間所供給之 空氣供給量a㈣進行除算，算出每單位時間之线供 A 〇 達到時間t係使用裝入於控制部167(p_CON 184)之計時 器⑻，言十測為了初始加壓而開始驅動加壓泵112,至壓力 感:器115檢測到下限壓力Pmin為止之時間來作為時間t。 空氣供給量a係按照波以耳•查理定律，根據初始加壓 開始時之卡匣盒93之加壓容積及達到時間丨内之加壓力之 I力又化里而异出。加壓容積係從卡匿盒93之可加壓容積 ㈣（亦即自卡£盒93之容積減去墨水耗盡時之墨水包91之 容積），減去初.始加壓開始時殘留於墨水包91之墨水體積 (ml)而^出。於此情況，殘留於墨水包9 1之墨水體積係藉 由根據預先設定（記憶）之墨水全滿時之墨水體積、每單: 墨水滴數之墨水體積、及墨水計數器之計數值之運算處理 而算出。 107967.doc -21 - 1297308 而且於本貫施型態，空氣供給量測定步驟係每當開啟 喷墨列印機1之電源時進行。 必要空氣量算出步驟係與空氣供給量a之算出方法相 同，算出檢測到下限壓力Pmin時之卡厘盒们之加壓容 ，、’且於算出之加壓容積V，根據波以耳•查理定律， #出下限壓力達到上限壓力Pmax所需之必要空氣量B。 追加加壓時間算出步驟係將算出之每單位時間之空氣供 、:量A、與算出之必要空氣量B進行除算，來算出追加加 £時間τ。而且，在空氣供給量測定步驟所算出之每單位 時間之空氣供給量八係記憶於RAM 181，初始加塵後，使 用記憶於RAM 181之空氣供給量a來算出追加加壓時間丁。 於此情況，記憶於RAM 181之空氣供給量A係每當進行空 氣供給量測定步驟時更新。 然而，於噴墨頭41，吐出特定量（體積）之墨水滴之噴頭 2流路之墨水壓力（喷頭内壓力）係作為補償壓力而預先設 定另方面，適用於本實施型態之喷墨列印機丨之4色墨 水係黏性（黏度）分別不同，針對各墨水，在墨水卡匠81到 噴墨頭41之墨水流路中所產生之壓力損失程度不同，因此 若相同地設定加壓泵112之操作壓力，供給至喷墨頭“之 墨水之屢力會偏差，喷頭内壓力變動。 因此，於本實施型態之喷墨列印機丨，根據預先設定之 補償塵力及各墨水之㈣，針對各墨水設定加錢112之 操作壓力以使到達噴墨頭4 1 (喷頭内流路）時之墨水之壓 力（亦即喷頭到達麼力）成為補償屢力。而且，藉由根據設 107967.doc -22- 1297308 定之操作壓力，分別獨立驅動對應於各墨水（各墨水卡匿 川之4個空氣供給機構⑴，各墨水之噴頭到達壓力成為 補償壓力，可將喷頭内壓力維持於補償壓力。 於此，具體說明有關操作壓力之設定方法。於控制部 167之RAM 181，記憶有操作、壓力設定表（或關係式），其^ 將墨水流路之壓力損失（操作a力之平均壓力與補償壓力 之差麗m墨水黏度賦予關係、。於此情況，根據藉由在實 際之墨水流路’將不同墨水黏度之墨水進行送液所獲得之 實驗結果’進行墨水流路中之壓力損失與墨水黏度之關係 賦予。藉此，作為墨水流路之壓力減，可獲得已將墨水 流路之長度、給液管84之内徑、上述壓力調整閥i2i及接 縫等所造成之壓力損失之值。而ϋ力損失亦可根據給 液管84之管長、管#、管之彎曲、接縫、以及管内面之平 滑度及墨水之黏度等，藉由計算而求出。 此外，於墨水卡匣8 1設有記憶部（例如以EpR〇M構成）， 其係記憶包含墨水黏度或墨水顏色等在内之各種墨水資 訊；若將墨水卡E81安裝於對應之卡£安裝部1〇1，墨水 黏度將自墨水卡匣81之記憶部，藉由控制部167而讀入、 輸入。而且若墨水黏度輸入，控制部167在參考操作壓力 設定表，取得對應於輸入之墨水黏度之墨水流路之壓力損 失後，根據取得之墨水流路之壓力損失及設定之補償壓力 而設定操作壓力。亦即，（例如藉由對補償壓力加算取得 之墨水流路之壓力損失分，算出操作壓力之平均值，對此 加減特定之壓力分）決定操作壓力之上限壓力pmax及操作 107967.doc -23 - 1297308 壓力之下限壓力P m i η，將壓力感測器之檢測壓力設定於 Pmin 〇 如此，於本.實施型態，由於對應於4色之各墨水之黏 度’自操作壓力設定表取得墨水流路之M力損失，根據此 而個別地设定對應於各墨水之加壓泵112之操作壓力，因 此可將噴頭到達魔力作為補償慶力。因此可將各墨水之噴 頭内壓力維持於補償壓力，自噴墨頭41精度良好地吐出墨 水滴。 而且，亦可使用將已設定噴頭到達壓力之作為補償壓力 之操作壓力（之平均壓力）、與墨水黏度賦予關係之表，來 取代上述操作壓力設定表。於此情況，由於亦可考慮對各 墨水設定不同之補償壓力，因此宜對應於複數補償壓力而 準備複數表。 此外，於此係說明預先設定墨水之補償虔力，但在墨水 黏度與補償壓力具有相關之情況，亦可使RAM 181預先記 憶已將墨水黏度與補償壓力賦予關係之補償壓力設定表， 根據各墨水之墨水黏度之輸入，對各墨水設定補償壓力。 此外，於本實施型態構成為，若將墨水卡匣81安裝於卡 匣安裝部101，將會自墨水卡匣81之記憶部讀入、輸入墨 水黏度’但當然亦可由使用者直接輸入設定。 其次，說明有關本發明之第二實施型態之液滴吐出裝 置。此液滴吐出裝置係裝入於所謂平面顯示器之製造線， 將功能材料溶解於溶劑之功能液導入至功能液滴吐出頭， 稭由液滴吐出法（應用喷墨法），形成R(紅）、G(綠）、B(藍） 107967.doc -24- 1297308 之3色所組成之液黑显- 玖之液曰曰顯不裝置之彩色濾光器之著色層、或 作為有機EL裝置之各像素之發光元件等。 如圖9所示，液潘本山 出破置201具備：機台2〇2 ;描晝裝 置2 0 3 ’其係寬廣地葡罟 戰置於機台202上之全區，具有功能液 滴吐出頭此噴頭維護裝置綱，其係在機台加上，添 =描畫裝置203;功能液供給裝置2〇5,其係對功能液滴 \頭252供給功能液；及圖外之控制裝置206,其係控制 士裝置。而且於液滴吐出裝置2〇1 ’根據控制裝置206所進 =&制’描晝裝置2G3係對於自圖外之工件移載機器人 入之工件’進仃描畫動作，並且喷頭維護裝置2〇4係 對於功⑨Li _ 252適當進行維護處理(maimen_)。 描畫裝置203具備：χ軸台211，其係延伸於主掃描方向 (X軸方向” γ軸台212，其係正交於χ軸台211;主托架 213，其係移動自如地安裝於¥軸台212 ;及噴頭單元叫， /、系由主托木21 3所支撐，搭載有(複數)功能液 252 〇 又軸σ 2 11係在構成χ軸方向之駆動系統之χ轴馬達（省略 圖驅動之Χ軸滑塊221，移冑自如地搭載將I件W安裝 之安裝台222而構成。安震台如具有：吸著台切，其係 將工件w吸著安裝；及0台224’其係將安裝於吸著台223 之工件W之位置，w輪方向補正。而且，於機台加設 有X軸線性感測器225 ’其係用以掌握移動於χ軸方向之安 裝台222之移動位置。 Υ轴台212係與Χ軸台211大致相同地構成，具有構成μ 107967.doc •25- 1297308 方向之驅動系統之γ軸馬達（省略圖示）驅動之Υ軸滑塊 231，移動自如地將主托架213搭載於γ軸方向。此外，以 並設於Υ軸台212之方式，設置丫軸線性感測器232，其係 用以掌握移動於Υ軸方向之噴頭單元2Μ之移動位置了而 且，Υ軸台212係經由立設於機台2〇2上之左右支柱，以 橫跨配設在機台202上之X軸台211及噴頭維護位置2〇4之方 式而配設，X軸台211及Υ軸台212所重疊之區，係進行工 φ 件W之描畫之描晝區，Υ軸台212及喷頭維護裝置2〇4所重 $之區，係進行對功能液滴吐出頭252之維護動作之維蠖 ϋ 〇 ' 主托架2 1 3之構成包含：托架本體24丨，其係支撐噴頭單 兀214 ; Θ旋轉機構242，其係經由托架本體241，用以對噴 頭單元214之0方向進行位置補正；及大致τ字狀之吊設構 件（省略圖示），其係經由㊀旋轉機構242，使托架本體 241(噴頭單元214)支撐於γ軸台212。 • 喷頭單元214係在喷頭板251，經由喷頭保持構件（省略 圖示）搭載功能.液滴吐出頭252而構成。由於功能液滴吐出 頭252係採用與上述噴墨頭41相同之方式構成，因此在此 省略說明。 說明有關描晝處理時之描晝裝置2〇3之一連串動作，首 先經由Θ旋轉機構242進行喷頭單元214之位置補正，並且 經由Θ台224，進行安裝於安裝台222之工件…之位置補 正。其次，驅動X軸台211，使工件臂往主掃描以軸）方向 來回移動。與工件…之來動同步而驅動複數功能液滴吐出 107967.doc -26- 1297308 頭252，對卫件W進行功能液滴之選擇性吐出動作。若工 件w之來動結束，驅動γ軸台212，使喷頭單元214往副掃 描（Υ軸）方向移動。而且再度進行工件輝主掃描方向之 回動及功能液滴吐出頭252之驅動。如此，描晝處理係藉 由重複工件W往X軸方向之移動、與此同步之功能液滴吐 出頭252之吐出驅動（主掃描）、及噴頭單元214往丫軸方向 之移動（副掃描），來對於工件琛描畫特定之描晝圖案。 噴頭維濩裝置204具備：載置於機台2〇2上之移動台 261、沖洗單元262、吸引單元加及擦拭單元⑽。移動台 261係可移動於χ軸方向而構成。吸引單元及擦拭單元 264係排列於X軸方向而設置在移動台26ι上，於功能液滴 吐出頭252之維護時，驅動移動台261，吸引單元263及擦 拭單元264會適當地臨向維護區而構成。 沖洗單元262係用以在對於（1片）工件冒之一連串之描晝 處理中，接叉自噴頭單元2丨4之所有功能液滴吐出頭252所 棄置而吐出（沖洗）之功能液、及描晝處理中自工件W所溢 出之功此液’具有i對描畫沖洗盒271，其係沿著平行於吸 者台223之Y轴方向之一對邊（周緣）而設置。因此，若經由 吸著〇 223而使工件貿往χ軸方向來回移動，（即使於藉由1 主掃彳田’噴頭單元214正臨向工件W前及噴頭單元2 14剛 自工件w離開後之任一情況中）仍可使喷頭單元214之所有 功能液滴吐出頭252依序臨向描晝沖洗盒271，可適當地接 又正好在對工件w之描晝動作前、後所棄置而吐出之功能 液0 107967.doc -27- 1297308 吸引單元263相當於上述吸引機構131，且具備密接於功 能液滴吐出頭252之噴嘴面之蓋281、及經由蓋281而可吸 引功能液滴吐出頭252之單一吸引泵等。 从擦拭單元264係用以使用噴有洗淨液之拭片291，擦拭附 著於功能液滴吐出頭252之噴嘴面之髒污；且具備··捲取 翠元292 ’其係—面送出捲繞成滾筒狀之拭片29卜面捲 取；洗淨液供給單元293,其係於送出之拭片29ι散布洗淨 液；及擦淨單元294，其係以散布有洗淨液之拭片291捧淨 噴嘴面。 功能液供給裝置205具備·· 3個功能液槽3〇1，其係對應 於R、G、B 3色之功能液；槽保持器3〇2,其係收納3個功 能液槽3〇1 ;加麼機構3〇3，其係將功能液槽3〇1之功能 液，加避送液至功能液滴吐出頭252; I數支（本實施型態 為3支）給液管3〇4 ’其係將3個功能液槽3〇1與功能液滴吐 出碩252進行配管連接；及麼力調整闕3()5，其係與喷墨列 印機1相同構成，介設於各給液管3〇4。 功能液供給裝置205係與上述噴墨列印機丨之墨水供給機 構23大致相同地構成，功能液槽3〇1則採用卡匡式。於槽 保持器3G2，設有收納各功能液槽3〇1之功能液收納部（省 =圖示），於各功能液收納部，配設有連接功能液槽301與 二矾配官323之連接配接器（省略圖示）。此外，加壓機構 3〇3具有對應於各功能液槽301之3個空氣供給機構321，經 2連接配接器而對各功能液槽3〇1個別地供給空氣。於此 广月況，在空氣配管323亦介設有附螺線管調節器324及壓力 107967.d〇< -28- 1297308 $測器325，構成為空氣配管323内維持於特定之操作應 控制裝置206係以個人電腦等構成，具備用以進行 輸入、各種設定之輸入機構(鍵盤等），或用以視認輸入 料、各種設定狀態等之顯示器等（均省略圖示卜 、 參考圖，說明液滴吐出裝置加之主控制系統 吐出裝置2Ό1具備：描畫部如，其係具有描晝裝置2〇3 喷頭維護部332，其係具有噴頭維護 卹m甘尨 置204，功能液供給 ，八係具有功能液供給裝置205;檢測部334,1 具有描晝裝置203、喷頭维if梦$ 9n " 你， 虞置204及功能液供給裝置 觀各種感測器’進行各種檢測；驅動部335 = ㈣各部之各種驅動器（用以驅動描畫裝置加之描晝= 杏341、用以驅動噴頭維護裝置 - ⑷、用以驅動功能液供給裝置之功二=維護驅 K功月b液供給驅動器343 專），及&制部336(控制裝置寫），其 液滴吐出I置2G1全體。 ㈣各β ’控制

=制部336具備:介面351，其係 及喷頭維護裝置2叫；及硬碟H 料等，/:裝置2〇4、功能液供給裝置加之各種資 Ρ 记憶用以處理各種資料之程式等·广+ 與上述嘴墨列印機R㈣部25A致;^^之外係 RAM 353 > R〇A/r 地構成，具備 心⑽ m 354、CPU 355、計時器 356、_g” 於此液滴吐出裝置2〇1亦與上述噴墨列印機！進行相同之 107967.doc •29- 1297308 =制，構成為根據3色之各功能液之黏度，個別地設定加 壓泵322之操作壓力。因此可使功能液之噴頭到達壓力成 為補償壓力，將各墨水之喷頭内壓力維持於補償壓力。此 、、Ό果，可自功能液滴吐出頭252精度良好地吐出液滴，提 • 向製造上之良率，並且可製造可靠性高之產品。 其次，作為使用本實施型態之液滴吐出裝置2〇1所製造 之光電裝置(平面顯示器），舉例彩色濾光器、液晶顯示裝 _ 置、有機EL裴置、電漿顯示器（PDP裝置）、電子放出裝置 (FED裝置、SED裝置），進而舉例形成於此等顯示裝置而 成之主動矩陣型基板等，來說明有關此等之構造及其製造 方法。而且，所謂主動矩陣型基板，係指形成有薄膜電2 體及電性連接於薄膜電晶體之源極線、資料線之基板。 首先，說明有關裝入於液晶顯示裝置或有機£]^裝置等之 杉色遽光器之製* #法。圖！ ！係表示彩色遽光器之製造步 驟之流程圖，圖12A〜圖12E係以製造步驟依序表示之本實 • 施型態之彩色濾光器600(濾光器基體600A)之模式剖面 圖。 首先，於黑矩陣形成步驟（81〇1)中，如圖12A所示，於 基板（W)601上形成黑矩陣602。黑矩陣6〇2係由金屬鉻、金 屬鉻與氧化鉻之積層體、或樹脂黑等所形成。可使用機鍍 法或瘵鍍法，形成含金屬薄膜之黑矩陣6〇2。此外，於形 成含樹脂薄膜之黑矩陣6〇2之情況，可使用凹版印刷法、 光抗餘劑法、熱轉印法等。 接著，於岸堤（bank)形成步驟（§1〇2)，以重疊於黑起陣 107967.doc -30- Ϊ297308 602上之狀態形成岸堤603。亦即首床上 … , '百先如圖咖所示，以包 覆基板601及黑矩陣602之方式，形成含 ^ 樹脂之抗蝕劑層604。而且’在以形成矩陣圖案步狀 模薄膜605包覆之狀態下，將其上面進行曝光處理^ 、並且，如圖uc所示，藉由將抗㈣層6G4之未曝光部分 進行蝕刻處理’以便將抗蝕劑層6〇4圖案化而形成岸堤 6〇3 H，由樹脂黑形成黑矩陣之情況，可兼：黑：：

及岸堤用。 此岸堤603及其下之黑矩陣602係成為區劃各像素區域 6〇7a之區劃壁部607b,於後續之著色層形成步驟中，在藉 由功能液滴吐出頭252形成著色層（成膜部）6〇8R、6〇8〇、 608B時，規定功能液滴之落下區域。 藉由以上之黑矩陣形成步驟及岸堤形成步驟，獲得上述 渡光器基體600A。 而且於本貫施型態，作為岸堤603之材料係使用塗膜表 面為疏液（疏水）性之樹脂材料。而且，由於基板（玻璃基 板）601之表面為親液（親水）性，因此於後述之著色層形成 步驟中，液滴對於由岸堤603(區劃壁部607b)所包圍之各像 素區域607a内之落下位置精度係提升。 其次，於著色層形成步驟（S103)，如圖12D所示，藉由 功能液滴吐出頭252吐出功能液滴，使其落下於區劃壁部 607b所包圍之各像素區域607a内。於此情況，使用功能液 滴吐出頭252，導入r、g、B 3色之功能液（濾光器材料）， 進行功能液滴之吐出。而且，作為r、G、B 3色之排列圖 107967.doc 1297308 案，有條紋狀排列、馬赛克排列及三角狀排列等。 其後，經過乾燥處理（力σ熱等處理）而使功能液固定，形 成3色之著色層608R、608G、608Β。若已形成著色層 608R、608G、608Β，轉移至保護膜形成步驟（Sl〇4)，如圖 12E所示，以包覆基板601、區劃壁部6〇7b及著色層608R、 608G、608B之上面之方式形成保護膜6〇9。 亦即於基板601之形成有著色層6〇8R、608G、608B之面 全體’吐出保護膜用塗布液之後，經過乾燥處理而形成保 護膜609。 而且在形成保護膜609之後，彩色濾光器6〇〇係轉移至下 一步驟之透明電極之I 丁 0(Indium Tin 〇xide:氧化銦錫）等 之上膜步驟。 圖13係表示作為使用上述彩色濾光器6〇〇之液晶顯示裝 置之一例之被動矩陣型液晶裝置（液晶裝置）之概略構成之 要部剖面圖。在此液晶裝置620安裝液晶驅動用IC、背 光、支撲體等附帶要素，藉此獲得作為最終產品之透過型

液晶顯示裝置。而且由於彩色濾光器600係與圖12A〜12E 所示者相同，因此於對應之部位標示相同符號，並省略其 說明。 此液μ裝置620係藉由彩色濾、光器6〇〇、玻璃基板等所組 成之對向基板621、及夾持於此等間之STN(super Twisted Nematic :超扭轉向列）液晶組成物所組成之液晶層622而 概略構成’彩色濾光器6〇〇配置於圖中上側（觀測者側）。 而且雖未圖示，於對向基板621及彩色濾光器600之外面 107967.doc 1297308 (與液晶層622側相反側之面），分別配置有偏光板，而於位 在對向基板62 1側之偏光板之外側，配設有背光。 於圖13中，在彩色濾光器600之保護膜609上（液晶層 側），長形之長方狀第一電極623係在左右方向以特定間隔 形成複數，以包覆與此第一電極623之彩色濾光器6〇〇側相 反側之面之方式，形成第一定向膜624。

另一方面，於對向基板621中與彩色濾光器6〇〇對向之 面，長形之長方狀第二電極626係在與彩色濾光器6〇〇之第 一電極623正交之方向，以特定間隔形成複數，以包覆此 第二電極626之液晶層622側之面之方式，形成第二定向膜 627。此等第一電極623及第二電極626係由IT〇等透明導電 材料形成。 設在液晶層622内之間隔物628係用以將液晶層622之厚 度（胞間隙）保持在一定之構件。此外，密封材料629係用以 防止液曰曰層622内之液晶組成物漏出至外部之構件。而且 第一電極623之一端部係作為牽繞布線623a而延伸至密封 材料6 2 9之外側。 而且，第一電極623與第二電極626交又之部分為像素， 彩色渡光器600之著色層㈣、娜、咖位在成為此像 素之部分而構成。 通吊之製造步驟係於彩色濾光器_，進行第一電極⑶ 之圖案化及第一定向膜624之塗布，製作彩色濾光器_側 之部分，並且有別於此而另外於對向基板62ι，進行第二 電桎626之圖案化及第二定向膜627之塗布，製作對向基板 I07967.doc -33- 1297308 a "才料629製入’在此狀態下貼合彩色濾光器帽 側之部分。其次，自审 封材料629之注入口注入構成液晶 層622之液晶，將、、十 ' 封閉’其後積層兩偏光板及背 光。 、貫施型態之液滴吐出裝置2()1例如可在將構成上述胞間 隙之間隔壁材料丨功能、、在、 主布，並且在對向基板621側之部 :、彩色濾光器600側之部分前，於密封材料629所包圍 品或句勻地塗布液晶（功能液此外，亦能以功能液滴 吐出頭252進行上述密封材料㈣之印刷。並且亦能以功能 第二定向膜624、627之塗 液滴吐出頭252，進行第 布 圖14係表不使用在本實施型態所製造之彩色遽光器副 之液晶裝置之第二例之概略構成之要部剖面圖。 此液晶裝置6 3 0盘卜七十；：、、右b处印， η上这液日日裝置620很大之不同點為，彩 色濾光器600配置於圖中下側（與觀測者相反側）之點。 液日日衣置630係在彩色濾光器6〇〇與玻璃基板等所組成 之對向基板63 1之間’夾持有STN液晶所組成之液晶層㈣ 而概略構成。而且雖未圖示，於對向基板〇丨及彩色遽光 器600之夕卜面5分別配設有偏光㈣。 於衫色濾光器600之保護膜609上（液晶層632側），長形 之長方狀第一電極633係在圖中縱深方向以特定間隔形成 複數W包f與此第—電極633之液晶層W側之面之方式 形成第一定向膜634。 107967.doc -34- 1297308 於對向基板631之與彩色遽光器6〇〇對向之面上’延伸在 與彩色濾光器600側之第一電極633正交 狀之第二電⑽係以特定間隔形成複數，以包;= 電極63 6之液晶層632側之面之方式形成第二定向膜637。 於液晶層632設有：間隔物638，其係用以將此液晶層 632之厚度保持在一定；及密封材料639，其係用以防止液 晶層6 3 2内之液晶組成物漏出至外部。 而且與上述液晶裝置620相同，第一電極633與第二電極 636父叉之部分為像素，彩色濾光器6〇〇之著色層6⑽尺、 608G、608B位於此像素之部分而構成。 圖15係表示使用適用本發明之彩色濾光器6〇〇構成液晶 裝置之第二例，其係表示透過型之TFT(Thin

Transistor :薄膜電晶體）型液晶裝置之概略構成之分解立 體圖。 此液晶裝置650係將彩色濾光器6〇〇配置於圖中上側（觀 測者側）。 此液晶裝置650係藉由彩色濾光器6〇〇、配置成與此對向 之對向基板651、夾持於此等間之未圖示之液晶層、配置 於彩色遽光600之上面側（觀測者側）之偏光板655、及配 設於對向基板651之下面側之偏光板（未圖示）而概略構成。 於彩色遽光器600之保護膜609之表面（對向基板651側之 面）形成有液晶驅動用之電極6 5 6。此電極6 5 6係含I丁〇等 透明導電材料，成為包覆形成有後述之像素電極66〇之區 域全體之全面電極。此外，在包覆與此電極656之像素電 107967.doc •35- 1297308 極660相反側之面之狀態下，設置定向膜657。 在與對向基板65 1之彩色濾光器6〇〇對向之面，形成絕緣 層658，於此絕緣層658上，掃描線661及信號線662係以互 相正交之狀態形成。而且於此等掃描線661及信號線662所 包圍之區域内，形成像素電極66〇。而且在實際之液晶裝 置中，於像素電極060上設有定向膜，但省略圖示。 此外’於像素電極660之缺口部、掃描線661及信號線 662所包圍之部分，裝入具備源極電極、汲極電極、半導 體及閘極電極之薄膜電晶體663而構成。而且構成為可藉 由對掃描線661及信號線662施加信號，將薄膜電晶體663 開啟、關閉而對像素電極660進行通電控制。 而且’上述各例之液晶裝置62〇、63〇、650雖為透過型 之構成’但亦可設置反射層或半透過反射層，製成反射型 之液晶裝置或半透過反射型之液晶裝置。 其次’圖16為有機EL裝置之顯示區域（以下僅稱為顯示 裝置700)之要部剖面圖。 此顯不裝置700係於基板（w)701上，以積層電路元件部 702、發光元件部703及陰極704之狀態而概略構成。 於此顯示裝置700，自發光元件部703往基板701側發出 之光，係透過電路元件部7〇2及基板7〇 1而往觀測者側射 出’並且自發光元件部703往基板701之相反側發出之光係 由陰極704反射後，透過電路元件部702及基板701而往觀 測者側射出。 於電路元件部7〇2與基板701間，形成含矽氧化膜之底層 107967.doc -36 - 1297308 保濩膜7 0 6 ’於此底層保護膜7 0 6上（發光元件部7 〇 3側）形成 含多晶矽之島狀之半導體膜707。於此半導體膜707之左右 區域’藉由打入咼濃度陽離子而分別形成源極區域7〇7&及 汲極區域707b。而且未打入陽離子之中央部則成為通道區 域707c 〇 此外，於電路元件部702，形成包覆底層保護膜及半 導體膜707之透明之閘極絕緣膜7〇8，在此閘極絕緣膜7〇8 上之對應於半導體膜707之通道區域707c之位置，形成例 如由A卜Mo、Ta、Ti、W等構成之閘極電極7〇9。於此閘 極電極709及閘極絕緣膜708上，形成透明之第一層間絕緣 膜71 la及第二層間絕緣膜71lb。此外，貫通第一、第二層 間絕緣膜711&、7111)而形成接觸孔洞712&、71213，其係分 別連通於半導體膜707之源極區域7〇7a、汲極區域7〇7b。 而且於第二層間絕緣膜711b上，將含IT〇等之透明之像 素電極713圖案化成特定形狀而形成，此像素電極713係經 由接觸孔洞712a而連接於源極區域7〇7a。 此外，於第一層間絕緣膜711a上配設電源線714，此電 源線714係經由接觸孔洞712b而連接於汲極區域7〇7b。 如此，於電路元件部702,分別形成連接於各像素電極 7 1 3之驅動用之薄膜電晶體7丨5。 上述發光tl件部703係藉由功能層717及岸堤部718而概 略構成，其中該功能層717係層疊於複數像素電極713上之 各個，該岸堤部718係各像素電極713及功能層717之間所 具備’區劃各功能層71 7。 107967.doc -37- 1297308 藉由此等像素電極713、功能層717及配設於功能層7i7 上之陰極704而構成發光元件。而且，像素電極713係圖案 化成平面視野大致為矩形而开$占 ❿而开乂成，於各像素電極713之間 形成岸堤部71 8。 岸堤部718之構成包含··盔機物 …、饨物厗i疋層7 1 8a(第一岸堤 層），其係由例如SiO、Si02、TiO楚也ju 2 1102荨無機材料所形成；及 剖面梯形之有機物岸堤層718b(第- 、禾一厗i疋層），其係積層於 此無機物岸堤層718a上，由丙烯醅抖日匕^ 内碲敲枒脂、聚醯亞胺樹脂等 耐熱性、耐溶媒性優異之抗姓劑 4 W形成。此岸堤部71 8之 一部分係在抬升於像素電極713之用绪却l 周緣部上之狀態下形 成。 而且於各岸堤部718之間，形成對像素電極713往上方逐 漸擴開之開口部719。 /上述功能層717之構成包含：電、洞注入/輸送層π。其 係於開口部719内，以積層狀態形成於像素電極7丨3上；及 發光層717b，其係形成於此電洞注入/輸送層η。上j而 且亦可鄰接於此發光層717b，進一步形成且 ^ /办成具有其他功能之 /、他功能層。例如亦可形成電子輸送層。 電洞注入/輸送層71 7a係具有自像辛雷 曰1豕京電極713側輸送電 洞，並注入於發光層717b之功能。此電洞注入/輸送層 717a係藉由吐出含有電洞注入/輸送層形成材料之第一 ^ 成物（功能液）而形成。作為電洞注入/輸送層形成材料係使 用習知之材料。 發光層717b係發出紅色（R)、綠色（G)或藍色（b)之4 種 107967.doc -38- 1297308 光，藉由吐出含發光層形成材料（發光材料）之第二組成物 (功能液）而形成。作為第二組成物之溶媒（非極性溶媒）， 宜使對於電洞江入/輸送層717a不溶之習知材料，藉由在 啦光層717b之第一組成物使用此種非極性溶媒，可使電洞 注入/輸送層717a不會再溶解而形成發光層717b。 而且於發光層71 7b係構成為，自電洞注入/輸送層71乃 注入之電洞及自陰極704注入之電子在發光層再結合而發 光。

陰極704係以包覆發光元件部7〇3之全面之狀態形成，與 像素電極713成對而發揮將電流流入功能層717之作用。而 且於此陰極704之上部，配置有未圖示之密封材料。 其-人，參考圖17〜圖25，說明上述顯示裝置7〇〇之製造步 驟。 如圖17所不，j：匕顯示褒置7〇〇係經過岸土是部形成步驟 (sm)、表面處理步驟（SU2)'電洞注人/輸送層形成步驟 (SI")、發光層形成步驟(sii4)、及對向電極形成步驟 Θ 115)而製造β而且製造步驟不限於例示者，亦有因應於 需要而將其他步驟料或追加之情;兄。 ；岸疋邛形成步驟（sill)中，如圖18所示，在第 二層間絕緣膜71 lb上艰士也， ^ 乂 ^成無备物岸堤層7 1 8a。此無機物岸 疋層71 8a係藉由在形成 … ,.^ L 置形成無機物膜後，利用先微影 技術4將此無機物膜 ⑽之-部分係、以重《 案化。此時，無機物岸堤層 成。 ’、 ®於像素電極713之周緣部之方式形 107967.doc -39- 1297308 若已形成無機物岸堤層71 8 a，則如圖1 9所示，於無機物 岸堤層71 8a上形成有機物岸堤層718b。此有機物岸堤層 718b亦與無機物岸堤層718a相同，藉由光微影技術等進行 圖案化而形成。 如此而形成岸堤部718。此外，伴隨於此，在各岸堤部 718間，形成對於像素電極713往上方開口之開口部719。 此開口部71 9係規定像素區域。 於表面處理步驟（S 112)中，進行親液化處理及撥液化處 理。施加親液化處理之區域為無機物岸堤層71心之第一積 層部718aa及像素電極713之電極面71“，此等區域係藉由 例如以氧作為處理氣體之電漿處理，而親液性地進行^面 處理。此電漿處理亦兼作電極713之17〇之洗淨等。 此外，撥液化處理係施加於有機物岸堤層7丨8b之壁面 718s及有機物岸堤層718b之上面718t，藉由例如以四氟化 碳作為處理氣體之電漿處理，將表面進行氟化處理（處理 成撥液性）。 藉由此表面處理步驟，在使用功能液滴吐出頭252形成 功能層7Π時，可使功能液滴更確實地落下於像素區域， 此外亦可防止落下於像素區域之功能液滴自開口部719溢 出。 然後’藉由經過以上步驟獲得顯示裝置基體7〇〇a。此顯 示裝置基體700Α係载置於圖9所示之液滴吐出褒置2〇1之安 裝台23，進行以下之電洞注入/輪送屏 铷迗層形成步驟（S 113)及發 光層形成步驟（S 114)。 107967.doc -40· 1297308 如圖20所示，於電洞注入/輸送層形成步驟（S113)中，自 功能液滴吐出頭252，將含有電洞注入/輸送層形成材料之 第一組成物，於像素區域之各開口部719内吐出。其後如 圖21所示，進行乾燥處理及熱處理，使含於第一組成物之 極性溶媒蒸發，於像素電極（電極面713a)713上形成電洞注 入/輸送層717a。

其次，說明有關發光層形成步驟（S114)。於此發光層形 成步驟中，如上述為了防止電洞注入/輸送層717a之再溶 解，作為發光層形成時所用之第二組成物之溶媒係使用對 於電洞注入/輸送層7丨7a不溶之非極性溶媒。 然而另一方面，由於電洞注入/輸送層717a對非極性溶 媒之親和性低，因此即使將含有非極性溶媒之第二組成物 在電洞注入/輸送層717a上吐出，仍無法使電洞注入/輸送 曰7 1 7&與赉光層7 17b密接，或唯恐無法均勻地塗布發光層 717b 〇 因此，為了提高電洞注入/輸送層71乃之表面對於非極 ，溶媒及發光層形成材料之親和性，宜在發光層形成前進 仃表面處理(表面改質處理)。此表面處理係藉由將與發光 層形成時所用之第二組成物之非極性溶媒相同之溶媒、或 似於此之々媒之表面改質材料，塗布於電洞注入/輸送 層71 7a上，並使此乾燥而進行。

It由施加此處理，雪:円 义主電洞注入/輸送層717a之表面會容易 融合於非極性溶媒，於脐尨 此後之步驟中，可容易將含發光層 形成材料之第二組成物始句 句勻地塗布於電洞注入/輸送層 107967.doc -41 - 1297308 717a〇 然後其次，如圖22所示，將含有對應於各色中之任一色 (於圖22之例為藍色（B))之發光層形成材料之第二組成物， 作為功能液滴而將特定量打入於像素區域（開口部719)内。 打入於像素區域内之第二組成物係於電洞注入/輸送層 7 17a上擴散而充滿開口部719内。而且，萬一第二組成物 自像素區域偏離而落下於岸堤部718之上面71以之情況， 由於此上面71 8t以如上述施加有撥液處理，因此第二組成 物容易轉流入開口部71 9内。 其後，藉由乾燥步驟等，將吐出後之第二組成物進行乾 秌處理，使含於第二組成物之非極性溶媒蒸發，如圖U所 示，於電洞注入/輸送層717a上形成發光層717b。於此圖 之情況係形成對應於藍色（B)之發光層717b。 同樣地使用功能液滴吐出頭252，如圖24所示，依序進 行與對應於上述藍色（B)之發光層7171)之情況相同之步 驟’形成對應於其他色（紅色（R)及綠色（G)〉之發光層 而且每米層71 7 b之形成順序不限於例示之順序，以 任何順序形成均可。例如亦可因應於發光層形成材料而決 定形成順序。此外，作為R、G、B 3色之排列圖案，有條 紋排列、馬賽克排列及三角狀排列等。 如以上，於像素電極71 3上形成功能層71 7，亦即形成電 洞注入/輸送層717a及發光層717b，然後轉移至對向電極 形成步驟（S 115)。 於對向電極形成步驟（S115)中，如圖25所示，藉由例如 107967.doc 1297308 蒸鑛法、濺鍍法、CVD法等，於發光層717b及有機物岸堤 層7哪之全面形成陰極㈣對向電極）。於本實施錢，此 陰極704係例如層疊鈣層及鋁層而構成。 於此陰極704之上部’適當設置作為電極W膜、&膜 或用於防止其氧化之Si〇2、_等保護層。 如此地形成陰極704後’藉由施加利用密封構件密封此

陰極m之上部之密封處理、或布線處理等其他處理等， 而獲得顯示裝置7 〇 0。 其次’圖26為電㈣顯示裝置（pDp裝置：以下僅稱為顯 不裝置8〇〇)之要部分解立體圖。而且於該圖中，顯示裝置 800係以切下其一部分之狀態表示。 此顯不裝置800係包含互相對向配置之第一基板8〇1、第 一基板802、及形成於此等間之放t顯示部8〇3而概略構 成。放電顯示部803係由複數放電室8〇5所構成。此等複數 放電室805中，紅色放電室8〇5R、_色放電室8〇5g、藍色 放電室805B之3個放電室8〇5係成為一組，配置成構成⑽ 像素。 於第基板801之上面，以特定間隔將位址電極8〇6形成 條紋狀，以包覆此位址電極806及第一基板8〇1之上面之方 式形成介電體層807。於介電體層8〇7上，以位在各位址電 極806之間且沿著各位址電極8〇6之方式立設間隔壁⑼8。 此間隔壁808包含：如圖示延伸於位址電極8〇6之寬度方向 兩侧者、及延伸設置在與位址電極8〇6正交之方向之未圖 示者。 107967.doc -43- 1297308 而且由此間隔壁808所區隔之區域係成為放電室805。 於放電室805内配置有螢光體809。螢光體809係發出紅 (R)、綠（G)、藍（B)之任一色之螢光，分別於紅色放電室 805R之底部配置紅色螢光體809R，於綠色放電室805G之 底部配置綠色螢光體809G，於藍色放電室805B之底部配 置藍色螢光體809B。 於第二基板802之圖中下側之面，在與下述位址電極8〇6 籲 正交之方向，複數顯示電極811係以特定間隔形成條紋 狀。而且以包覆此等之方式，形成介電體層8 12及含Mg〇 等之保護膜813。 第一基板801及第二基板802係在位址電極8〇6與顯示電 極811互相正交之狀態下對向貼合。而且上述位址電極8〇6 及顯示電極8 11連接於未圖示之交流電源。 然後藉由對各鬼極806、811通電，於放電顯示部8〇3 中，螢光體809會激發而發光，可進行彩色顯示。 • 於本實施型態，可使用圖9所示之液滴吐出裝置2〇1，形 成上述位址電極806、顯示電極811及螢光體8〇9。以下例 示第一基板801之位址電極8〇6之形成步驟。 於此情況，在將第一基板801载置於液滴吐出裝置2〇丨之 女裝台2 2 2之狀態下，進行以下步驟。 首先’藉由功能液滴吐出頭252,將含有導電膜布線形 成用材料之液體材料（功能液）作為功能液滴，使其落下於 位址電極形成區域。此液體材料係作為導電膜布線形成用 材料，將金屬等之導電性微粒子分散於分散介質。作為此 107967.doc -44-

1297308 導電性微粒子係使用含有金、銀、銅、鈀或鎳等之金屬微 粒子或導電性聚合物等。 關於作為補充對象之所有位址電極形成區域，若液體材 料之補充結束，將吐出後之液體材料進行乾燥處理，使含 於液體材料之分散介質蒸發，藉此形成位址 電極806。 然而，於上述雖例示位址電極8〇6之形成，但關於上述 顯示電極811及.榮光體809,亦可藉由歷經上述各步驟而形 成。 形成顯不電極8 11之情況，與位址電極8〇6之情況相同， 將含有導電膜布線形成用材料之液體材料（功能液）作為功 能液滴’使其落下於顯示電極形成區域。 此外，於形成螢光體809之情況，將含有對應於各色 (R G B)之螢光材料之液體材料（功能液），自功能液滴 吐出頭252作為液滴而吐出，使其落下於對應色之放電室 805 内。 其-人’圖27為電子放出裝置（亦稱為fed裝置或s印裝 置：以下僅稱為顯示裝置9〇〇)之要部剖面圖。而且於該圖 係將顯示裝置_之其—部分作為剖面而表示。 此顯示裝置900係包含互相對 6反邳對向配置之第一基板9 〇]、第 一基板、及形成於此等間一 電琢放出顯不部9 0 3而概略 構成。電場放出顯示部9〇3係ώ献恶丄、^ 糸由配置成矩陣狀之複數電子 放出部905構成。 極9 0 6 a及弟一元件電極9 〇 6 b係 一元件電 此外，在 於第一基板901之上面 構成陰極電極906之第 互相正交而形成。 107967.doc -45- 1297308 以第一元件電極906a及第二元件電極9〇6b所區隔之部分， 形成已形成間隙908之導電性膜907。亦即，由第一元件電 極906a、第二το件電極906b及導電性膜9〇7構成複數電子 放出部905。導電性膜907係以例如氧化鈀（pd〇)等構成， 而間隙908係於導電性膜907成膜後，以成形法等形成。 於第二基板902之下面，形成與陰極電極9〇6對峙之陽極 電極909。於陽極電極909之下面，形成格子狀之岸堤部 911，在以此岸堤部911包圍之朝下之各開口部912，以對 應於電子放出部905之方式配置螢光體913 ^螢光體913係 發出紅（R)、綠（G)、藍（B)之任—色螢光，因此於各開口部 912紅色螢光體913R、綠色螢光體913G及藍色螢光體 913B係以上述特定圖案配置。 而且，如此而構成之第一基板901與第二基板9〇2係存在 微小間隙而貼合。於此顯示裝置9 〇 〇，、經由導電性臈(間隙 908)907 ’使自陰極之第一元件電極9〇6a或第二元件電極 906b飛出之電子，觸及形成於作為陽極之陽極電極9〇9之 螢光體913而激發發光，從而可進行彩色顯示。 於此情況亦與其他實施型態相同，可使用液滴吐出裝置 201形成第一元件電極906a、第二元件電極9〇“、導電性 膜907及陽極電極909，並且可使用液滴吐出裝置2〇1形成 各色之螢光體913R、913G、913B。 第一元件電極906a、第二元件電極9〇6b及導電性膜9〇7 係具有圖28A所示之平面形狀，在將此等成膜之情況，如 圖2犯所示’預先留下要製入第一元件電極购、第二元 107967.doc -46- 1297308 件電極906b及導電性膜907之部分而形成岸堤部bb(光微影 法）。其次，在由岸堤部BB所構成之溝部分，形成第一元 件電極906a及第二元件電極906b(由液滴吐出裝置2〇 1所進 行之噴墨法），使其溶劑乾燥而進行成膜後，形成導電性 膜907(由液滴吐出裝置201所進行之喷墨法）。接著，將導 電丨生膜907成膜後，除去岸堤部BB(灰化剝離處理），並轉 移至上述成形處理。而且與上述有機EL裝置之情況相同，

，進行對第一基板9〇1及第二基板9〇2之親液化處理、或對 岸堤部911、BB之撥液化處理。 ，此外’作為其他光電裝置，可考慮金屬布線形成、透鏡 形成、抗蝕劑形成及光擴散體形成等之裝置。藉由將上述 液滴吐出裝置2CU使用於各種光電裝置（deviee):製造，; 有效率地製造各種光電裝置。 【圖式簡單說明】

圖】係關於本發明之第 立體圖； 一實施型態之噴墨列印機之外觀 圃2係開放滾筒紙蓋、開閉蓋、卡 之第—實施型態之噴墨列印機之外觀立體圖； 圖3為噴墨頭（功能液滴吐出頭）之外觀立體圖； 圖4為噴墨列印機之模式說明圖； 圖5為墨水卡匣之說明圖，· 圖6為屢力調整閥之模式說明圖； 圖7為喷墨列印機之控制區塊圖； 圖8係關於加愿泵之驅動方法之說明圖； 107967.doc -47- I297308 圖9係模式性地表μ於本 匕吐出裝置之模式平面圖； 帛-霄細型悲之液滴 圖10係說明有關液滴吐圖Η係說明彩色遽光，製=主控制系統之區塊圖，·兀态I 4步騾之流程圖； U2A〜圖12E係依序表示製造步 面圖； 巴4尤态之楔式 剖面圖； 圖13係表示使用適用本發明之彩色滤光 概略構成之要部剖面圖； 圖14係表示使用適用本發明之彩色遽光器之第 晶裝置之概略構成之要部剖面圖； 圖15係表示使用適用本發明之彩色遽光器之第 晶裝置之概略構成之要部剖面圖； 圖16為有機EL裝置之顯示裝置之要部剖面圖· 圖圖17係說明有機EL裝置之顯示裝置之製造步# 圖18係說明無機物岸堤層之形成之步驟圖； 圖19係說明有機物岸堤層之形成之步驟圖； 圖20係說明形成電洞注入/輸送層之過程之步驟 圖21係說明已形成電洞注入/輸送層之狀態之步=， 圖22係說明形成藍色發光層之過程之步驟圖·圖， 圖23係說明已形成藍色發光層之狀態之步驟圖· 圖24係說明已形成各色發光層之狀態之步驟^ · 圖25係說明形成陰極之步驟圖； 圖26為電漿型顯示裝置（PDP裝置）之顯示 1 /、衣置之要部 器之液晶裝置 之 例之液 分 107967.doc -48- 1297308 解立體圖； 圖27為電子放出裝置（FED裝置）之顯示裝置之 圖；及 圖28A及圖28B分別為顯示裝置之電子放出部 面圖及表示其形成方法之平面圖。 【主要元件符號說明】 要部剖面 周圍之平

1 噴墨列印機 2 列印機本體 3 支撐架 11 裝置盒 12 滾筒紙蓋 13 開閉蓋 14 出紙口 15 滾筒紙收納部 16 送出捲盤 17 卡匣蓋 21 印刷機構 22 搬送機構 23 墨水供給機構 24 維護機構 25 控制機構 31 噴頭單元 32 噴頭移動機構 41 1墨碩 107967.doc -49- 1297308 42 托架 51 墨水導入部 52 連接針 53 噴頭本體 54 喷嘴板 55, 281 盒 5 6 喷嘴面 57 吐出喷嘴 62 導引構件 64 噴頭移動區域 65 起始位置檢測感測器 66 X轴線性編碼器 81 墨水卡匣 82 卡匣保持器 83, 303 加壓機構 84, 304 給液管 91 墨水包 92 供給口 93 卡匣盒 101 卡匣安裝部 111， 321 空氣供給機構 112, 322 加壓泵 113, 323 空氣配管 114, 324 調節器 107967.doc -50- 1297308

114a 115, 325 121， 305 122 123 124 125 126 127 127a 131 132 141 161 162 163, 334 164 165 166, 335 167, 336 168 171 172 173 螺線管 壓力感測器 壓力調整閥 閥殼 1次室 2次室 連通流路 隔膜 閥體 閥體本體 吸引機構 沖洗機構 蓋 列印機介面 資料輸出入部 檢測部 印刷部 墨水供給部 驅動部 控制部 維護部 喷頭驅動器 托架馬達驅動器 搬送馬達驅動器 107967.doc -51 - 1297308

174 泵驅動驅動器 181， 353 RAM 182, 354 ROM 183, 355 CPU 184 P-CON 185, 356 計時器 186 匯流排 201 液滴吐出裝置 202 機台 203 描晝裝置 204 喷頭維護裝置 205 功能液供給裝置 206 控制裝置 211 X軸台 212 Y軸台 213 主托架 214 喷頭單元 221 X軸滑塊 222 安裝台 223 吸著台 224 Θ台 225 X軸線性感測器 231 Y軸滑塊 232 Y軸線性感測器 -52- 107967.doc 1297308 235 左右支柱 241 托架本體 242 Θ.旋轉機構 251 喷頭板 252 功能液滴吐出頭 261 移動台 262 沖洗單元 263 吸引單元 264 擦拭單元 271 描晝沖洗盒 291 拭片 292 捲取單元 293 洗淨液供給單元 294 擦淨單元 301 功能液槽 302 槽保持器 331 描晝部 332 喷頭維護部 333 功能液供給部 341 描晝驅動器 342 喷頭維護驅動器 343 功能液供給驅動器 351 介面 352 硬碟 doc -53 - 1297308 357 600 600A 601， 701 602 603 604 605

607a 607b 608B，608G，608R 609, 813 620, 630, 650 621，631，651 622, 632 623, 633 623a 624, 634 626, 636 627, 637 628, 638 629, 639 655 65 6 107967.doc 内部匯流排 彩色濾光器 濾光器基體 基板 黑矩陣 岸堤 抗#劑層 掩模薄膜 各像素區域 壁部 著色層 保護膜 液晶裝置 對向基板 液晶層 第一電極 布線 第一定向膜 第二電極 第二定向膜 間隔物 密封材料 偏光板 電極 -54- 1297308

657 658 660 661 662 663, 715 700, 800, 900 702 703 704 706 707 707a 707b 707c 708 709 711a 711b 712a，712b 713 713a 714 717 定向膜 絕緣層 像素電極 掃描線 信號線 薄膜電晶體 顯示裝置 電路元件部 發光元件部 陰極 底層保護膜 半導體膜 源極區域 沒極區域 通道區域 閘極絕緣膜 閘極電極 第一層間絕緣膜 第二層間絕緣膜 接觸孔洞 各像素電極 電極面 電源線 功能層 107967.doc -55- 1297308 717a 電洞注入/輸送層 717b 發光層 718, 911, BB. 岸堤部 718a 無機物岸堤層 718aa 第一積層部 718b 有機物岸堤層 718s 壁面 718t 上面 719, 912 開口部 801， 901 第一基板 802, 902 第二基板 803 放電顯示部 805 放電室 805B 藍色放電室 805G 綠色放電室 805R 紅色放電室 806 位址電極 807, 812 介電體層 808 間隔壁 809 螢光體 809B5 913B(913) 藍色螢光體 809G，913G(913) 綠色螢光體 809R， 913R(913) 紅色螢光體 811 顯示電極 107967.doc -56- 1297308

903 電場放出顯示部 905 電子放出部 906 陰極電極 906a 第一元件電極 906b 第二元件電極 907 導電性膜 908 間隙 909 陽極電極 B 必要空氣量、藍 G 綠色 Pmax 上限壓力 Pmin 下限壓力 T 追加加壓時間 t 達到時間 R 滾筒紙、紅色 W 工件 107967.doc -57-

Claims (1)

1297308 十、申請專利範圍： 1，-種功能液供給裝置之控制方法，其特徵在於：將分別 儲存不同種類之功能液之複數功能液槽，藉由對應之複 數加壓泵加壓，自前述複數功能液槽，對於吐出功能液 滴之功能液滴吐出頭分別加壓供給前述各種類之：能 液；該控制方法包含： 壓力才貝失叶鼻步驟’其係分別灰ψ 1 、、 ^ 打刀刎水出則述各功能液自前

述功此液槽至前述功能液滴吐出頭 U 项之功能液流路之壓力 損失； 供給壓算出步驟，其係將前述壓力損失加入計算，而 後求出功能液供給μ，以使前述功能液滴吐出頭中之前 述各種類之功能液之噴頭内壓力，成為分別已設定之設 定壓力；及 獨立加壓步驟，其係根據算出之前述功能液供給壓， 分別將前述複數功能液槽獨立加壓。 2.如請求項！之功能液供給裝置之控制方法，1中前述壓 :損失計算步驟係包含：黏度資料輸入步驟，其係輸入 前述各種類之功能液之黏度資料；及 麗力損失設定步驟，其係根據輸入之前述黏度資料、 :::前述黏度資料與前述麼力損失關連之壓力損失設 定資訊而設定前述壓力損失。 3. 如請求項2之功能液供給裝置之控制方法，其中前述功 能液2加壓供給係藉由以維持特定之操作壓力之方式， 驅動前述加壓泵，加壓前述各功能液槽而進行. 107967.doc 1297308 前述獨立加壓步驟包含··壓力檢測步驟，其係將前述 功月b液供給壓作為前述操作壓力，檢測前述功能液供給 壓是否達到前述操作壓力之下限壓力；及 加壓步驟’其係將未達到前述下限壓力之前述功能液 槽’加壓至前述操作壓力之上限壓力。 4· 一種功能液供給裝置，其特徵在於：將分別儲存不同種 類之功能液之複數功能液槽，藉由對應之複數加壓泵加 I自則述複數功能液槽，對於吐出功能液滴之功能液 扃吐出碩分別加壓供給前述各種類之功能液丨該供給裝 置包含： 广貝失計算機構，其係分別求出前述各功能液自前 述力月b液枱至則述功能液滴吐出頭之功能液流路之壓力 損失； 供給麼算出機構，其係將前述壓力損失加入計算，而 Μ供給壓’以使前述功能液滴吐出頭中之前 述各種類之功能液之噴頭内壓力，成為分別已設定之設 定壓力；及 獨立加麼機構，盆丰 乂 /、糸根據异出之則述功能液供給壓， 刀別將則述複數功能液槽獨立加壓。 5 ·如晴求項4之功能液供终妒 甘+‘ 八、、、口裝置，其中則述麼力損失管 機構係包含··邦泠次把认 H損天冲异 mu輪人機構’其係輸人前述各種類 之功此液之黏度資料；及 壓力損失設定機構，1传 八係根據輸入之前述點唐資 及賦予前述黏声眘树洳乂丄 』乩鄱度貝科 度貝枓與爾力損失關連之麼力損失設 107967.doc 1297308 定資訊而設定前述壓力損失。 6·如請求項5之功能液供給裝置，其中前述功能液之加壓 供給係藉由以維持特定之操作壓力之方式，驅動前述加 壓泵，加壓前述各功能液槽而進行； 月il述獨立加壓機構包含：壓力檢測機構，其係將前述 功能液供給壓作為前述操作壓力，檢測前述功能液供給 左疋否達到則述操作壓力之下限壓力；及

加壓機構’其係將未達到前述下限壓力之前述功能液 槽’加壓至前述操作壓力之上限壓力。 7· 一種液滴吐出裝置，其係一面使前述功能液滴吐出頭對 於描畫對象物相對地移動，一面驅動前述功能液滴吐出 頭，藉此使前述功能液滴吐出，而於前述描畫對象物進 行描晝；其特徵在於： 包含如請求項4至6中任一項之功能液供給裝置。 8. 9. 種光電裝置之製造方法，其特徵在於：使用如請求項 7之液滴吐出裝置’於前述描㈣象物上形成由前述功 能液滴所成之成膜部。 -種光電裝置’其特徵在於：使用如請求項7之液滴吐 出裝置，於前述描晝對象物义 之成膜部。 —象H成由^功能液滴所成 1 〇· 一種電子機器，其特 電F……错由如請求項8之光 、氣w方法所製造之光電裝 光電裝置。 次如凊未項9之 107967.doc