TWI295741B - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- TWI295741B TWI295741B TW090120494A TW90120494A TWI295741B TW I295741 B TWI295741 B TW I295741B TW 090120494 A TW090120494 A TW 090120494A TW 90120494 A TW90120494 A TW 90120494A TW I295741 B TWI295741 B TW I295741B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- photoresist
- photopolymerization initiator
- photoresist material
- light
- color
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/028—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
- G03F7/031—Organic compounds not covered by group G03F7/029
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/22—Absorbing filters
- G02B5/223—Absorbing filters containing organic substances, e.g. dyes, inks or pigments
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
Description
1295741 五、發明說明(1) 技術領域 本發明係關於一種著色光阻材料組,及含有由該著色光 阻材料組所形成之著色光阻之濾光片,所述之著色光阻材 料組係用以形成適用於彩色電視機、液晶顯示元件、照相 機等所使用之濾光片中的3色(紅色(R)、綠色(G)、及藍色 (B))著色光阻者。 習知之技術 近年來,隨著個人電腦的發達,尤其是攜帶用個人電腦 之發達H顯示H 1別是彩色液晶顯示器的需要有增 士口 :傾肖。、然而’由於此種液晶顯示器為昂貴的,故降低 、#本ί ί ί :皿殷切’㊣中尤以對佔成本比重很高的彩色 戚先片的成本降低之要求為甚。 m的彩色濾光片中’通常具備紅色⑻、綠色⑹、 別的*辛:^ f色之著色光阻’藉由將對應R、G、及B個 = = 的控制,液晶可作為快門而動 於Ϊΐίί ;、G、及B之個別的光阻,而顯示顏色。 、此般的濾光片的製造方法之一, 種顏色分別塗佈含有弁平人d恭节丨有後述之方法·在母 脂)於ϋ日Λ / 劑之光阻材料(感光性樹 Ξ接基板/將於必須著色的區域作成透明之遮罩 昭射的邙产:Ϊ的照身士 ’造成經光照射的部份與未經光 後,藉由將么ί經由顯影而形成圖案(顯影步驟),其 猎由將其進行後段㈣(硬膜步驟),形成單色的光阻
90120494.ptd 第5頁 1295741 五、發明說明(2) 及β共3次重複之步驟,以形 ®案’以此作法分別作R 成著色層。 阻材之光聚合引發劑,係使用可於較短時間内使光 ^科硬化者,即光聚合引發劑之吸收光的波長區域為較 ^ π μ 合於該當光聚合引發劑,在光阻材料硬化之後, 曰、,?存於該當光阻内,因此會產生下述的問題。 Θ經由吸收較44〇nm短波長之光,使光阻材料硬 即用合有光吸收區域為較44〇nm短波長側之光聚人引 Γί!光阻材才斗,分別形成紅色⑻光阻、綠色⑹光口阻、 入=Β)光阻之情況下,於所形成之3色的光阻中之光聚 ·?ι % i別,即使在光阻形成之後,亦即作為彩色濾光片而 毛揮作用的情況下,仍會吸收較440nm短波長的光。 此處,一般係以具有約400〜570nm的波長的光作為藍色 光,具有約460〜65〇nm的波長的光作為綠色光,又,具有 約570〜70Onm的波長的光作為紅色光。 因而,在使用上述的光聚合引發劑(吸收較44〇11111短波長 的光者)形成3色(R、G、及B)之光阻之情況中,於紅色⑻ 光阻、及綠色(G )光阻中’即使含有該當光聚合引發劑, 也不會影響及該當光阻的光透過率(乃因該當光聚合引發 :原本即非吸收較44〇nm長的波長者),而在藍色⑻光阻 ,則光阻劑會將欲穿透過該當光阻之藍色光的一部份吸 收其名口|,成為導致藍色光阻的光透過率降低之原因。 第6頁 9〇120494.ptd 1295741 五、發明說明(3) 白:5(r %色t阻的光透過率之降低’會破壞畫素全體的 产及色度及/或亮度平衡),而使液晶顯示器 4之冗度及色彩產生問題。 本月有鑑於上述問題,而以提供—種著色光阻材料 ί光透】ίί:者=中’含有不會使各該當著色光阻 :ΐίίί: 引發劑之材料組…;且藉由 材料,组,可提供不會因為其上的著色光阻而降低 先透過率之彩色濾光片,為本發明之又一目 - 解決課題之丰於 本^月為達成上述目的,於申請專利範圍第!項中 色=料組,係至少含有紅色光阻材料、綠色 先阻材枓、及藍色光阻材料之3色的著色光阻材料,各光 含有反應性單體、光聚合引發劑、染料及/或 徵在於:上述紅色光阻材料中所含有之光聚合 ^鈉,係具有光吸收區域較570111]]短波長側的光聚合引 $诏,上述綠色光阻材料中所含有之光聚合引發劑,係具 有光吸收區域較46〇nm短波長側的光聚合引發劑,上述該、 色=阻材料中所含有之光聚合引發劑,係具有光吸收區^ 2400nm短波長側的光聚合引發劑,且’上述光聚合引發 背J ’係用至少2種以上之光聚合引發劑。 本^明中分別配合各色的波長將用在各光阻材料的光聚 白引發劑加以組合運用。亦即,用於各光阻材料之硬化上 的光聚合引發劑之光吸收區域係位於較各色(R、G、及b) 的波長為紐的短波長側,因此,在光阻形成之後,不會使 1295741
1295741 五、發明說明(5) [4 (曱硫基)笨基]—2一嗎啉基卜丙酮,有。 呀火爾907(汽巴特用化學品公司製) 。名為伊魯加 係容易取得者,且可簡便地使用。市上販貝’因此’ ,如申請專利範圍第4項所記述般,本發明 声ί中,藉由上述申請專利範圍第1至3項中:任 者之者色光阻材料組形成著色光阻。 用::之著色光阻材料組形成著色光 光阻的ί透過率不會降低,不會破壞=體 ♦ a =二,而可提尚液晶顯示器等之亮度及色彩。 施形態 I : ,?尤ί發明之著色光阻材料組’加以具體地說明。 之3色ί Γ ί二)色光阻材料組,係於形成彩色遽光片所具備 、綠色(G)、及藍色(Β))的著色光阻之時所 以π Α终a ^具有用以形成紅色光阻之紅色光阻材料、用 ^成綠色光阻之綠色光阻材料、及用以形成藍 藍色光阻材料。 拎:ί二此等3色的著色光阻材料,分別由如下所示之成 1刀所構成· [1 ]紅色光阻材料 (1)反應性單體 y 2)具有光吸收區域為較57〇nm短波長侧之光聚合引發劑 (3)染料及/或顏料 (4 )分散劑等之添加劑 U ]綠色光阻材料 第9頁 90120494.ptd 1295741
(1 )反應性單體 較4 6 0ηιη短波長侧之光聚合弓丨 發劑 (2 )具有光吸收區域為 (3) 染料及/或顏料 (4) 分散劑等之添加劑 [3 ]藍色光阻材料 (1) 反應性單體 (2) 具有光吸收區域為 (3) 染料及/或顏料 ' 較4 0 0 n m短波長側之光 聚合弓丨 發劑 (4)分散劑等之添加劑 構成本發明之著色光阻材料組之3色的著色光阻材 如上述般,其特徵在於:分別由反應性單體、光聚合 劑、、染料及/或顏料、與必要時所需之分散劑的添加物所X 構成,而且,分別有其光聚合引發劑。下面就本發明之 色光阻材料組的各構成成份加以詳細說明。 (1)反應性聚合物 所謂著色光阻材料中所含有之反應性單體,係指藉由後 述之光聚合引發劑之吸收光後所發生之自由基而使^被誘 發聚合反應之單體,本發明中,只要是具有該當性質之單 體皆可’可使甩至少具有1個可聚合之碳—碳不飽和鍵之化 合物。具體而言,可列舉如,丙烯酸烯丙酯、苄基丙烯酸 酯、丁氧基乙基丙烯酸酯、丁氧基乙二醇丙烯酸酿、環己 基丙烯酸酯、二環戊醯基丙烯酸酯、2-乙基己基丙婦酸 酯、甘油丙烯酸酯、丙烯酸環氧丙酯、2 -經基乙基丙稀酸 酯、2 -羥基丙基丙烯酸酯、異冰片烷基丙烯酸酯、異癸基
90120494.ptd 第10頁 1295741 五、發明說明(7) 丙烯酸醋、異辛基丙烯酸酯、十二烷基丙烯酸酯、2〜甲氧 基乙基丙烯酸酯、曱氧基乙二醇丙烯酸酯、苯氧基乙基丙 烯酸醋、硬脂酸基丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、二乙二 醇二丙烯酸酯、1,4- 丁二醇二丙烯酸酯、1,5-戊二醇二丙 烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,3_丙二醇丙烯酸賴、 1,4 - J衣己^一醇二丙稀酸酉旨、2,2 -二·曱基丙烧二内埽酸 酯、甘油二丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯、甘油三丙稀 酸醋、三經曱基丙烧三丙稀酸醋、聚氧乙基化三經甲基丙 烧三丙烯酸酯、異戊四醇三丙稀酸酯、異戊四醇四丙稀酸 酯、三乙二醇二丙烯酸酯、聚氧丙基三羥甲基丙烷三兩歸 酸酯、丁二醇二丙烯酸酯、1,2,.4- 丁三醇三丙烯酸酯、2 2, 4 -三甲基-1,3-戊二醇二丙烯酸酯、二烯丙基反丁烯二 酸酯、1,10-癸二醇二曱基丙稀酸酯、二異戊四醇六丙稀 酸酯、及將上述之丙烯酸酯基以甲基丙烯酸醋基取代者; 7-曱基丙烯氧基丙基三曱氧基矽烷、i —乙烯一 2 —"比咯烷 酮、羥乙基丙烯烯基磷酸酯、四氫糠基丙稀酸醋、二環戊 烯基丙烯酸酯、二環戊烯基羥乙基丙烯酸酿、丁二醇二 丙烯酸酯、第三戊二醇二丙烯酸酿、聚乙二醇二丙烯酸 酯、羥基三曱基乙酸酯第三戊二酵二丙烯酸酿、苯基環氧 乙烷變性丙烯酸酯、苯基環氧丙烷變性丙烯酸酯、Ν-乙烯 基-2-咄咯烷酮、雙酚Α-環氧乙烧變性二丙烯酸酿、異戊 四醇二丙烯酸酯單硬脂酸酯、四乙二酵二丙烯酸酯、聚丙 二醇二丙烯酸酯、三經甲基丙烧環乳丙烧變性二丙稀酸 酯、異三聚氰酸環氧乙烧變性三丙烯酸酯、二經曱基丙烧
90120494.ptd 第11頁 1295741 五、發明說明(8) 環氧乙烷變性三 醇六丙烯酸酯、 及將此等之丙稀 聚胺曱酸乙酯構 合其上,而成為 環氧基之低聚合 氧丙烯酸酯低聚 丙烯酸酯基結合 有環氧基構造之 之環氧丙浠酸酯 聚合物使之以甲 曱基丙稀酸酯低 以曱基丙稀酸酉旨 合物、對具有環 合其上而成之環 之聚胺曱酸乙酯 酯、具有丙烯酸 酯基之聚胺曱酸 之聚酯曱基丙烯 烯酸酯樹脂等。 上述者係可使 又,此等單體的 10〜90重量%,而 上述預聚體及 丙烯酸酯、異戊四醇五丙 異戊四醇四丙烯酸酿等之 酸酯基以甲基丙烯酸酿基 造之低聚合物(〇liS〇mer) 聚胺曱酸乙S旨丙烯酸醋低 物使之以丙浠酸S旨基結合 合物、對具有聚酯構造之 其上而成之聚酯丙烯酸酉旨 低聚合物使之以丙烯酸酉旨 低聚合物、對具有聚胺曱 基丙烯酸酯基結合其上而 聚合物、對具有聚醋構造 基結合其上而成之聚_曱 氧基之低聚合物使之以曱 氧曱基丙烯酸酯低聚合物 丙稀酸酯、具有丙烯酸酯 基之環氧丙浠酸酯樹脂、 乙酯曱基丙浠酸酯、具有 酸酯、具有曱基丙烯酸酯 用的單體之一例,惟並非 含有量,宜為樹脂組成物 以2 0〜8 0重量%的範圍為佳 單體可單獨使用,亦可至 烯酸酯 丙烯酸 取代者 使丙烯 聚合物 其上而 低聚合 低聚合 基結合 酸乙酯 成之胺 之低聚 基丙稀 基丙稀 、具有 基之聚 具有甲 甲基丙 基之環 、異戊四 酯單體、 、對具有 酸S旨基結 、對具有 成為之環 物使之以 物、對具 其上而成 構造之低 曱酸乙酯 合物使之 酸酯低聚 酸酯基結 丙稀酸基 酯丙烯酸 基丙烯酸 烯酸酯基 氧曱基丙 限定於此等。 的不揮發成份之 〇 少2種混合使
\\312\2d-code\90-10\90120494.ptd 第12頁 1295741 五、發明說明(9) 用 佳 其中尤以3官此基以上之多官能義 丙烯酸酯單體為特 (2)光聚合引發劑 所含有之光聚合引發劑 而引叙上述的反應性單 係藉 之聚 本發明之著色光阻材料中 由光的吸收而產生自由基, 合反應者。 而且’本發明之特徵在於,將各個 ,、 有之光聚合引發劑依該當光聚合引發劑料中所含 異而分別使用。亦即,紅色光阻材料中所入 領域的差 發劑,係具有較57〇nm短波長側之光吸收區域的1/入\ 發劑·’、綠色光阻材料中所含有之光聚合引發劑,係Y引 46〇nm短波長側之光吸收區域的光聚合引發劑;梦色光 材料中所含有之光聚合引發劑’係具有較4〇〇nm^波長側 之光吸收區域的光.聚合引發劑,是特徵所在。 通常’人的眼睛可辨識波長為4〇〇〜7〇〇nm的光,其中, 以具有約40 0〜57Onm的波長之光為藍光,以具有約46〇〜 6 5 0nm的波長之光為綠光,而以具有約57〇〜7〇〇nm的波長之 光為紅光。 因而,於液晶顯示器等中所用之彩色濾光片中之3色的 著色光阻中,若為藍色光阻,以能夠讓愈多的藍色光之波 長約4 0 0〜5 7 0 nm的光透過為佳,若為綠色光阻,以能夠讓 愈多的綠色光之波長約4 6 0〜6 5 0 n m的光透過為佳,又,若 為紅色光阻,以能夠讓愈多的紅色光之波長約570〜700nm 的光透過為佳。此乃由於讓愈多的此等波長域的光透過,
\\312\2d-code\90-J0\90120494.ptd 第13頁 五、發明說明(10) 可提高液晶顯示器的亮度與色彩之故。 本發明中,由於紅色光阻材料中所含有之光聚合引發劑 係具有較57〇nm短波長側之光吸收區域者,亦即對57〇11111以 ^ =波長的光不吸收,因此,即使使用本發明之紅色光阻 ^枓之紅色光阻,+會影響到亮度與色彩。同樣地,綠色 ί:材料中所含有之光聚合引發劑,係具有較46〇nm短波 f彳彳之光吸收區域者,藍色光阻材料中 :丄係具有幽⑽短波長側之光吸收區域有者 對於免度與色彩之影響。 而且,由於本發明之著色光阻^ ^ (R、G、及B)沒有影響之光|人ζ丨且係3有對上述各色 益Λ τ θ I九水合引發劑,因此,藉由哕去 者色光阻材料組來形成著色光阻w 阻之畫素部來形成液晶顯示器等,可 及色彩方面更佳之產品。 表成較I知者在壳度 有關可使用於本發明之朵取人 之光吸收區域且可產,只要是具有上述 必要的自由基者皆卩’並無特別=:體進打聚合反應所 可:::使:ii:明料組中之光聚合引發劑, 胺基二苯甲酮、4-甲氧基_4四甲基'4,4 -二 4, 4’-二乙基胺基二苯基酮、2;甲基,基二苯基綱、 酮類;二苯乙酮醇甲基鱗、二/基恩酿、菲等之芳香族 醇苯基醚等之二苯乙酮醇醚類;〗,、二苯乙酮 苯乙酮醇等之二苯乙酮醇、2 基一本乙酮醇、乙基二 ^ 2-(鄰—氯苯基)-4,5-苯|_4 1295741 五、發明說明(11) 二聚物、2-(鄰-氯苯基)-4, 5 -二(間-曱氧苯基)咪唑二聚 物、2-(鄰-氟苯基)-4, 5 -二苯基咪唑二聚物、2-(鄰-甲氧 苯基)-4,5 -二苯基坐二聚物、2,4,5 -三丙稀基味17坐二聚 物、2, 2’ -雙(鄰-氯苯基)-4, 5, 4’,5’ -四苯基-1,2’ -雙咪 σ坐、2-爷基-2 -二曱基胺基-1-(4 -嗎琳苯基)-丁酉同、2-三 氯曱基-5 -苯乙烯基-1,3, 4-4噻唑、2 -三氯曱基-5-(對-氰苯乙烯基)-1,3, 4 -巧噻唑、2 -三氣曱基-5-(對-曱氧苯 乙烯基)- 1,3, 4 - 噻唑等之鹵化曱基噻唑化合物、2, 4-雙 (三氯甲基)- 6 -對-曱氧苯乙烯基-S-三畊、2, 4 -雙(三氯曱 基)-6-(1-對-二曱基胺基苯基-1,3-丁二烯基)-3-三畊、 2-三氯曱基-4-胺基-6-對-曱氧苯乙烯基-S-三畊、2-(萘 -1-醯胺)_4, 6 -雙-三氯曱基-S-三畊、2-(4-乙氧基-萘-1-酉篮胺)- 4,6 -雙-三氯曱基-S-三σ井、2-(4- 丁氧基-蔡-1-酿 胺)-4, 6-雙-三氯曱基-S-三畊等之鹵化曱基-S-三畊系化 合物;2,2 -二曱氧基-1,2 -二苯基乙燒-1-酮、2-甲基 -1-[4-(曱硫基)苯基]- 2 -嗎琳基丙顏1、1,2-爷基-2_二曱 基胺基-1_(4_嗎琳基苯基)_1- 丁酮、1-羥基-環己基苯基 嗣、2-窄基-2 -二甲基胺基-1-(4 -嗎琳基苯基)-1- 丁酮(伊 魯加啾爾3 6 9,汽巴特用化學品公司製)、伊魯加啾爾 651 (汽巴特用化學品公司製)、2-曱基-1-[4-(甲硫基)苯 基]-2-嗎啉基-1-丙酮(伊魯加啾爾9 0 7,汽巴特用化學品 公司製)等之光聚合引發劑。於本發明中,可將此等光聚 合引發劑單獨或至少2種混合使用。 此等光聚合引發劑的添加量,宜為對樹脂組成物的不揮
I Η 1 mk ill
\\312\2d-code\90-10\90120494.ptd 第15頁 1295741
發成份100重量份之5〜40重量份,而以10〜20重量份為佳。 例如’作為藍色光阻材料中所含有之光聚合引發劑,在 上述引發劑之中,可使用芳香族酮類、二苯乙酮醇醚類、 一笨乙嗣醇類、味n坐二聚物類、鹵素曱基噻唾化合物、函 素曱基-S-三畊系化合物、二苯曱酮、[4-(曱基苯硫基)笨 基]苯基曱酮、乙基蔥醌、對-二曱基胺基苯曱酸異戊酯、 對-二曱基胺基苯曱酸乙基酯、2, 2 -二曱氧基-ι,2-二苯基 -1-乙酮、1-羥基—環己基苯基酮、2 -羥基-2-曱基-1—苯^ - 1-丙S同、1-經基-環己基苯基酮、;[-[4-(2-經基乙氧基) 苯基]-2-羥基-2-曱基-1_丙烷-1-酮、2_曱基-1 - [4-(曱硫 基)苯基]-2-嗎啉基-丙烷-1-酮、曱基二苯乙酮醇曱酸 酯、二苯乙酮醇丁基醚、苄基二曱基縮酮、2, 4, 6 -三甲基 二苯甲酮、4-甲基二苯甲酮、(2 -羥基-2-甲基-1 -(4 -(1-曱基乙烯基)苯基)丙酮、2-[(2 -二甲基胺基乙基)胺基] -4, 6 -雙(三氣曱基)—s-三畊-二甲基硫酸鹽、2-(4-曱氧基 苯基)-4, 6 -雙(三氯甲基)- S-三畊、2-曱基_4, 6 -雙(三氯 曱基)-S-三畊、2, 4, 6-參(三氯曱基)-S-三畊、歐克特化 學公司(Octel Chemicals)製匡達啾爾(QUANTACURE) ITX, ABQ,CPTX,BMS,EPD,DMB,MCA, EHA,米多麗(今七、、…) 化學公司製 TAZ -100, 101, 102, 104, 106, 107, 108 等。 又’作為綠色光阻材料中所含有之光聚合引發劑,可使 用上述藍色光阻材料用引發劑、2, 4-二乙基硫雜讪酮、2-氣硫雜4酮、2-芊基-2 -二甲基胺基-1-( 4 -嗎啉基苯基)-
\\312\2d-code\90-10\90120494.ptd 第16頁 1295741
丁酮-1、2-[2-(呋喃-2 -醯胺)乙烯基]—4,6—雙(三氯甲基) 一三啡、2一 [2一(5一甲基呋喃一2-醯胺)乙烯基]4, 6-雙(三 氯甲基)-S-三畊、2- [2-(3, 4-二曱氧基苯基)乙烯基]4, 6-雙(三氯甲基)-S-三畊、雙(2, 6_二甲氧基苯醯基)一2, 4 4-三y基戊基膦氧化物、或雙(2, 4, 6一三甲基苯醯基)_苯’ 基膦氧化物等之醯基膦氧化物、歐克特化學公司製匡達啾 爾QTX,米多麗化學公司製TAZ — 11〇, 113, 118, 12〇,
121, 122, 123、蘭柏蒂公司(Lamberti)製艾沙啾爾(ESA CURE) KT046 等。 而,作為紅色光阻材料中所含有之光聚合引發劑,可使 用··上述綠色光阻材料用引發劑、2, 2,—雙(鄰-氯苯) -4, 5-4’-5,-四苯基-1,2,-雙咪唑、4, 4,—二乙基胺基二苯 基酮、雙(y-2,4-環戊二烯—;[—醯基)-雙(2,6-二氟一 3一 (1H-咄咯-1-醯基)-苯基)鈦、或環戊二烯基—^―枯烷 基-鐵( + 1)-六氟磷酸鹽(-1)等之芳環烯之金屬絡合物、 2 - [2-(4 -二乙基胺基-2-曱基苯基)乙烯基]—4,6-雙(三氣 曱基)-s-三畊、米多麗化學公司製TAZ一j 14等。 而,本發明之著色光阻材料組的特徵,係組合上述般的 光聚合引發劑至少2種而使用。此組合之模式可舉出如下 述之3種。 ①紅色光阻材料、綠色光阻材料、藍色光阻材料分別使 用各自適合之3種類的光聚合引發劑(具有光吸收區域較 5 7〇11111短波長側的光聚合引發劑、具有光吸收區域較46〇11111 短波長側的光聚合引發劑、具有光吸收區域較4〇〇nm短波
1295741 五、發明說明(14) 長侧的光聚合引發劑)之模式。 係=:ί Ϊ (材Λ及:=7/”含有之光聚合引發劑 引發劑),而藍色光阻材料中所含有之 、先+口 用具有光吸收區域較400nm短波長側者,發劑則使 ③紅,光阻材料令所含有之光聚合引發劑吴, 吸收區f較570㈣短波長側之光聚合引發劑,吏用/、有先 材料及藍色光阻材料所含有之光 、,·彔色光阻 (具有光吸收區域細二 上述之中,於本發明,以藍色光阻材料中人式。 引發劑為具有光吸收區域較4〇〇nm短 斤者3有之先聚合 阻材料及紅色光阻材料中所含有之光】者,而綠色光 有光吸收區域較46。⑽短波長侧者為佳(:二=為具 由於現今所被使用之光聚合引發 j之杈式)。 光吸收區域者居多,因此 ^,、有短波長側之 色的光聚合引發劑安排全部相里:可:::;不須要將3 材料中所含有之光聚合引發劑選獨將藍色光阻 40〇nm短波長側者,而可 、誌' 有先吸收區域較 光聚合引發劑的影響將使藍色光亦不會受到該當 又,有關對上述本於明製二3色的光阻材料之時的成本。 燈源,藉由使用可發^斜,阻材料以光照射時所使用之 發劑最能吸收之光的各f斗中所含有之光聚合弓丨 •"源’可使生產效率提高,是較佳 \\312\2d-code\90-10\90l20494.ptd 第18頁 1295741 五、發明說明(15) 者。 例如,上述紅色光阻材料及綠色光阻材料中所含可 能的光聚合引發_ > AA ^ . , « 口八q制、之一的伊魯加啾爾36 9 (汽巴特用化學 5衣 係最此吸收波長約2 9 0〜3 6 5 n m的光,因此,以 =:發出該當範圍的光之燈具(例如水銀燈)為佳,又, 監色光阻材料中所含有之可能的光聚合引發劑之一的伊魯 爾=(汽巴特用化學品公司製),係最能吸收波長 隊 nm的光,因此,以使用可發出該當範光之 燈具為佳。 (3 )染料及/或顏料 j發明之著色光阻材料組中之各著色光阻材料(紅色光 阻料綠色光阻材料、及藍色光阻材料)中所含有之毕 料及/或顏料,係用以對該當光阻材料施以著色;有可; 用公知的染料及顏料。亦即可列舉例如化學構造上之蔥醌 '、V、弓丨木糸異叫丨啼滿酮糸、偶氮系、吼略并Π比|7各系、 喳啉酮系、酞菁系、士林系、三苯基甲烷系、、三烯丙基甲 、喳吖酮系、二巧畊系、二苯駢蒽系、peryn〇ne系及 4 :之金屬錯鹽等。此等有機色料,就其耐光性、耐熱性 點考1,以顏料形態者,用於彩色濾光片用途,係較 、、再者,作為彩色濾光片之色相的觀點考量,較佳之 顏料為·以紅色顏料而言有PR1 77、PR254、PR48 : 1 ;以黃 色顏料而言有,ΡΥ83、ΡΥ139、ΡΥ138、ργΐ5〇 ;作為綠色、 顏^料者為,PG7、pg3 6 ;以藍色顏料而言有ρβ丨5 : 3、ρβ! 5 : 6等之編號U系列的顏料、PB60、PB61、PB1、PB19 ;以紫 W312\2d.c〇de\9〇-i〇\9〇i2〇494.ptd 第19頁 五、發明說明(16) 色顏料而言有pV23。又,將此等顏料混合,使引發劑的光 吸收波長與晝素的主要的光透過波長域相互緊臨而不重疊 般地調整透過率光譜之下,可控制色相及提高亮度。舉混 合之顏料的較佳組合有, 紅色晝素用之組合:pR177+pY139 、pR177+pY83 、 PR254+PY139 、PR254+PY83 ; 綠色晝素用之組合:PG7 + PY83、pG36 + pY15〇、pG36 +PY138 ; PB15:6 + PV23 > PB15:3 + PV23 藍色晝素用之組合 PB15:6+PB60 〇 (4 )分散劑等之添加劑 本發明之著色光阻材料組中之各著 阻材料、綠色光阻材料、 何、"工^ ^ ^ ^ ^ ^ 汉孤色先阻材枓)中,可添加分 =Λ Λ Λ 等°例如,可列舉用以使上述的染 =/?科在光阻内均一分散之分散劑 使^之公知的分散劑,可使用例如,變性聚 ί: 2:ΐ二性ί丙烯酸酯、變性聚酯、變性聚醢胺 專之以子分散劑、磷酸§旨、㈣ 劑、有機色素衍生物等。舉右她Α 妝寺之界面 舉如欧菁系、偶氮系t 物的例子 料、染料等)之骨架上附加上 寻之有機色素c 基、項醯基等者,及其鹽類等鲮基石以夂基、胺基、嫁 士又與:m亦可使其含有黏結樹脂及溶劑。且體而 曰’舉黏結树脂的例子,可石|與 /、 了列舉如:乙烯〜醋酸乙烯共聚 1295741 、發明說明(17) 脂 、乙烯-氣乙烯共聚物、聚苯乙烯、丙醯腈-苯乙烯共聚 、ABS樹脂、聚甲基丙烯酸樹脂、乙烯曱基丙烯酸樹 月g、聚氣乙烯樹脂、氣化氣乙烯樹脂、聚乙烯醇、醋酸纖 維素醋丙酸酿、醋酸纖維素酯丁酸酯、尼龍6、尼龍66、 尼龍1 γ、聚對苯二甲二乙酯、聚對苯二曱二丁酯、聚碳酸 縮醛乙烯、聚醚酮、聚醚磺、聚硫化苯、聚丙烯 酉:二1醇縮丁酸1、環氧樹脂、齡氧樹脂、聚亞酿胺樹 月曰κ篮知亞醯胺樹脂、聚酸胺酸樹脂、聚_亞醢胺樹 ^、尿素甲„脂、及可聚合的單體之丙婦酸甲 西11:土丙烯酸曱酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙 烯酸異丙賴、;、丙稀酸異丙si、甲基丙 ^ ^第一丁基丙烯酸酯、第二丁基甲基丙烯酸 酉曰、.、丁基丙烯酸酯、異丁基 烯酸酯、第三丁其田I工此a ^^〇a弟一丁基丙 稀酸正戊酿、“r“甲1其丙烯酸正戊㉟、甲基丙 己基丙稀酸醋、2_乙心甲=烯酸正己醋、2~乙基 妒、甲其系比☆ G基己基曱基丙細酸S旨、丙烯酸正辛 ^ ^ ^ ^ s. 6ι ^ Λ' ^'2~Dtb ^ ^ ^^ 丙稀酸之二聚物(例上人’與丙浠酸、甲基丙稀酸、 康酸、巴豆酸、順丁烯Λ反成^學(股)則-5600)、衣 等之酸肝等之-種以上所構成之::二酸、醋酸乙烯、此 ,又,亦可列舉如對上述共聚物附::J共〒物' 、 羥基之乙烯類不飽和 胃二ϋ /、有縮水甘油基或 1295741 五、發明說明08) 此等。 上述黏結樹脂之中,就與併同使用之單體間的相容性之 觀點考量,以使用聚甲基丙烯酸甲酯樹脂、聚甲基丙稀酸 乙酯樹脂、聚曱基丙烯酸甲酯樹脂與聚曱基丙烯酸乙酯^ 脂的共聚物、苯氧樹脂、環氧樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚苯 乙烯樹脂、醋酸纖維素丙酸酯、醋酸纖維素丁酸酯、乙某 羥基乙基纖維素、纖維素三醋酸酯等為佳。特佳者為,二 曱基丙烯酸曱酯樹脂、聚甲基丙烯酸乙酯樹脂、聚笨乙^ 樹脂、甲基丙烯酸,與笨乙烯、縮水甘油曱基丙烯酸鲳之 共聚物,苯氧樹脂、環氧樹脂、及此等之變性物。 尤其是,^黏結樹脂而言,以較佳之環氧樹脂而言, 列舉如:三菱油化-殼牌(股)(Mitsubishiyuka-She 以系列、也協爾(股)(Daic⑴製“ 克赛付(celoxlde)系列、艾波利得(Epolead)系列、 酚-A型環氧樹脂、雙酚—p刑γ e u 是 叉附t型裱氧樹脂、雙酚-S型環氧榭 脂、酚醛型環氧樹脂、吝—私Μ 土衣乳树 k廿、i Α70羧I細水甘油基酯、多元醇縮 水甘油基酯、脂肪足痞日匕供j ρ π -^ ^ ^ „ 次知%式裱氧樹脂、胺基環氧樹脂、 基丙烯酸酿與能與之進行壤乳樹脂,縮水甘油甲 化合物。 〃义進仃自由基聚合之單體的共聚合環氧 此等黏結樹脂的含有晋,h 之10〜90重量%,而以20〜8()#^树脂組成物的不揮發成份 又,以溶劑而言,可列夹办丨丄.固馬住 n ^ rn 7 - ^ 牛例如·曱醇、乙醇、正丙醇、 呉丙知、乙一醇、丙二醢笠 知4之醇類;α -或召-萜品烯醇等
90120494.ptd 第22頁 1295741 五、發明說明(19) — 之萜烯類等;丙酮、甲乙酮、環己酮、N-甲基一2_咄咯烷 酮等之酮類;甲苯、二甲苯、四甲基苯等之芳香族烴類; 乙二醇單醚、甲基乙二醇單醚、乙基乙二醇單醚、卡必’ 醇、甲基卡必醇、乙基卡必醇、丁基卡必醇、丙二醇單甲 基醚、丙二醇單乙基醚、二丙二醇單甲基醚、二丙二醇單 乙基_、二乙二醇單甲基_、三乙二醇單乙基驗等之二醇 醚類;醋酸乙酯、醋酸丁酯、赛珞蘇醋酸酯、乙基賽珞蘇 醋酸酯、丁基赛珞蘇醋酸酯、卡必醇醋酸酯、乙基卡必醇 醋酸酿、丁基卡必醇醋酸酯、丙二醇單曱基醚醋酸酯、丙 二醇早乙基鱗醋酸g旨之醋酸g旨類。 本發明之彩色濾光片,由於係用上述之著色光阻材料組 來形成著色光阻材料,因此,不會有肇因於著色光阻中的 光聚合引發劑的光透過率降低之情事發生。又,由於不會 破壞晝素全體的白平衡(R、G、B的色度及/或亮度平衡), 因此不會有液晶顯示器等之亮度及色彩方面的問題發生。 有關本發明之彩色渡光片之製造方法,可採用習用之公 知的方法,其中尤以顏料分散法為佳。 實施例 實施例1 使用下面之表1〜3所示之著色光阻材料組,形成彩色濾 光片。 (1)所使用之著色光阻材料組 [1 ]紅色光阻材料
1295741 、9ϊίΙ _案號 90120494_年月日_修正 、_自恍, 五、發明說明(20) 成份 化合物名 含有量 反應性單體 DPHA (二異戊四醇六丙 烯酸酯) 4 . 0重量% 光聚合引發劑 商品名:伊魯加啾爾 3 6 9 (汽巴特用化學品公司 製) 2 · 0重量份 顏料:紅色顏 料 黃色顏料 P . R . 1 7 7 P . Y . 1 3 9 4 · 8重量份 1 · 2重量份 顏料分散劑 商品名:梭爾斯帕斯 (Solsperse) 24000 (阿比西亞(7匕シ了)公. 司製) 3 · 〇重量份 溶劑 丙二醇單甲基醚醋酸酯 8 0 . 0重量 份 黏結劑 聚合物-1 5 · 〇重量份 表1___ [2 ]綠色光阻材料 表2
成份 化合物名 含有量 反應性單體 DPHA (二異戊四醇六丙 烯酸酯) 4 . 0重量% 光聚合引發劑 商品名:伊魯加啾爾 3 6 9 (汽巴特用化學品公司 製) 2 · 0重量份 顏料:綠色顏 料 黃色顏料 P.G.36 (完全溴化酞菁 綠) P . Y . 1 3 9 4 · 2重量份 1 · 8重量份 顏料分散劑 商品名:梭爾斯帕斯 2 4 0 0 0 (阿比西亞公司製) 3 · 0重量份 溶劑 丙二醇單甲基醚醋酸酯 8 0 . 0重量 份 黏結劑 聚合物-1 5 . 0重量份 第24頁 (::\總檔\90\90120494\90120494(替換)-l.ptc 1295741
號 901?1UQ4 五、發明說明(21) [3 ]藍色光阻材料 表3 成份~ -— 反應性單體 ¥合物名 ' ^ DPHA (二異戊四醇六丙 烯酸酯) 含有量 4 · 〇重量% 光聚合引發劑 商品名:伊魯加啾爾9 0 7 (汽巴特用化學品公司 製) 」 2 · 〇重量份 顏料:藍色顏 料 〆 P . B . 1 5 : 6 6 · 〇重量份 顏料分散劑 吝百收1么V; All~~-- |涵品名:梭爾斯帕/斯 2 4 0 0 0 (阿比西亞公司製) 2 . 4重量份 顔料W生物 商口Π名.梭爾斯帕斯 1 2 0 0 0 (阿比西亞公司製) 〇 · 6重量份 裕劑 黏結劑 一 内一醇單甲基醚醋酸酯 ΛΛη , - 8 〇 · 0重量 份 t合物一1為’苄基甲基丙烯酸S旨:苯乙浠:丙稀酸:2 -經基乙基甲基丙烯酸酯=15· 6:37· 〇 :30· 5: 16· 9 (莫耳比) 之共聚物。 ' 顏料之記載係為色料索引編號(c〇1〇r Index Ν〇·)。 (2 )彩色濾光片形成方法 準備100mm X l〇〇mm,厚度〇· 7min之形成有黑色矩陣之玻 f基板’作為彩色濾光片用之基板。然後,用上述組成之 著色光阻材料組形成著色層。亦即,在基板上,以自旋式 塗佈法塗佈上述藍色光阻材料(塗佈步驟),再施行預備批 烤(預備烘烤步驟)(9(TC,3分鐘)。其後,用特定之著色、 圖案用之光罩將著色光阻層進行線列(alignment)曝光, 使只有被光照射到之部份的光阻材料硬化(曝光步驟)。妙 後,以顯影液(〇·〇5%ΚΟΗ水溶液)進行顯影(顯影步驟):= 接
C: \ 總檔 \ 90 \ 90120494 \ 90120494(替換)· 1. p t c 第25頁 1295741 號 9m9fUQ/| a 修正 9a 4. 替換 五、發明說明(22) 著施=後段烘烤(2〇(rc,3分鐘)(硬膜步驟),然後進行純 水洗=(洗淨步驟),在相對於黑色矩陣圖案之既定的位置 开成厚度1 · 5 // m的藍色圖案。又,曝光係使用水銀燈。 再以與上述同樣的方法形成綠色光阻圖案,最後, 成紅色光阻圖案。 ^ 貫施例2 (1)使用之著色光阻材料組 除了使用下面之表4中記述之紅色光阻材料來作為紅 光阻材料之外,其餘係使用與實施例丨同樣的配方的光 材料。 表4 22 頁 % 成份_____ 化合物名 __ fPHA (二異〜^四醇六丙 烯酸酯) 含有量 〜1 光聚合引發劑1 光聚合引發劑2 2 ( 基)-4, 5, 4, 5,-四苯基 1 , 2 -雙咪唑 二乙基氨基二苯甲酮 —— 1 · 4重量份 〇 · 6重量份 顏来社 •么丁存1雜M/Nf 诚列·:杜扭顔料 黃色顏料 P . R . 1 7 7 P . Y . 1 3 9 4 · 8重憂 1 · 2雷鲁to 顏料分散劑 商品名:梭爾斯帕斯 2 4 0 0 0 (阿比西亞製) ——厶里里」^ 3 ·0 重 溶劑 丙一醇單甲基醚醋酸酯 8 0 · 〇 重^^-份 黏結劑 聚合物-1 5 . 〇 ® 鲁二Ε〜·^ 彩色渡免Μ飛Λ古生 。· υ里里份 以與實施例1同樣的做法,形成彩色濾光片 評價結果
C:\ 總槍\90\90]20494\90120494(替換)-l.pt 第26頁 1295741 五、發明說明(23) 將於上述實施例1及實施例2所得之彩色濾光片,與習知 的彩色濾光片(僅使用1種光聚合引發劑者)進行比較。此 比較係就藍色晝素之Y值(Y係XYZ三刺激值之中的γ,相當 於亮度)與白色的色溫(色溫係相當於白色的色度,色溫$低 則τ頁色調’色溫高則帶藍色調)而施行。作為評價用光-源係使用F1 0光源。 ' 、,其結果,藍色畫素之y = 〇· 160處之Y值,於習知的彩色渡 光片中,Y值=14,而於實施例1及實施例2中所得之彩色= 光片中,成為Y值=15,亮度提高。此處係色度座桿(广 y)中的y。又白色的色溫,於習知的彩色濾光片中為 , 460 0K,而於實施例1及實施例2所得之彩色濾 中 4日。此乃意味著,習知者為帶黃色調之白色,而本發 明中黃色調業已降低。藉此,作為顯示器用之彩色淚/ 片’可得到較習知者為佳的白色。 μ 登明的效旲 依據本發明,由於用於光阻 劑的光吸收區域係於較各色(R 側,因此,於光阻形成後,不 低,而可使液晶顯示器等的亮 材料的硬化用之光聚合引發 、G、及B)的波長之短波長 會使該當光阻的光透過率降 度及色彩發揮到最高限度。
\\312\2d-code\90-10\90120494.ptd 第27頁 1295741 圖式簡單說明 90120494.ptd 第28頁
Claims (1)
1295741
_案號 901204?U 申請專利範圍 1 · 一種著色光阻材料組,係至少含有紅色光阻材料、 色光阻材料、及藍色光阻材料之3色的著色光阻材料,各"、 光阻材料分別含有反應性單體、光聚合引發劑、染料及/ 或顏料;其特徵在於: 上述紅色光阻材料中所含有之光聚合引發劑,係具有較 570nm短波長侧之光吸收區域的光聚合引發劑, 又 上述綠色光阻材料中所含有之光聚合引發劑,係具有較 460nm短波長侧之光吸收區域的光聚合引發劑, x 上述藍色光阻材料中所含有之光聚合引發劑,係具有較 4 0Onm短波長侧之光吸收區域的光聚合引發劑, 且’上述光聚合引發劑,係用至少2種以上之光聚合引 發劑; 各上述著色光阻材料中,含有上述著色光阻之樹脂組成 ,之不揮發成份的1〇重量%〜9〇重量%範圍内之上述反應性 單體’且相對於各上述著色光阻之樹脂組成物之不揮發成 伤100重塁份’含有5重量份〜40重量份的範圍内之上述光 聚合引發劑。 2 ·、如申請專利範圍第1項之著色光阻材料組,其中,在 上述紅色光阻材料與綠色光阻材料中所含有之光聚合引發 劑係同一的光聚合引發劑,且為具有較46〇ηιη短波長側之 光吸收區域之光聚合引發劑。 紅 ,係 3·如申請專利範圍第2項之著色光阻材料組,其中 色光阻材料及綠色光阻材料中所含有之光聚合引發劑 丨-苄基-2 -二甲基胺基一 1 一(4-嗎啉基苯基)一卜丁酮,
\\A326\總檔\90\90120494\90120494(替換)-l.ptc 第29頁 1295741 _案號90120494_年月日 修正 ‘_ 六、申請專利範圍 上述藍色光阻材料中所含有之光聚合引發劑,係2-甲基 -1[4-(甲硫基)苯基]- 2-嗎琳基1-丙颜I。 4. 一種濾光片,其係形成有由上述申請專利範圍第1至3 項中任一項之著色光阻材料組所成之著色光阻者。
\\八326\總檔\90\90120494\90120494(替換)-l.ptc 第30頁
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000250870A JP4518651B2 (ja) | 2000-08-22 | 2000-08-22 | 着色レジスト材セット及びカラーフィルタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TWI295741B true TWI295741B (zh) | 2008-04-11 |
Family
ID=18740371
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW090120494A TWI295741B (zh) | 2000-08-22 | 2001-08-21 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6733935B2 (zh) |
JP (1) | JP4518651B2 (zh) |
KR (1) | KR100802565B1 (zh) |
TW (1) | TWI295741B (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI454757B (zh) * | 2012-08-15 | 2014-10-01 | Au Optronics Corp | 光學觸控顯示裝置及其彩色濾光片 |
CN107430335A (zh) * | 2015-04-01 | 2017-12-01 | 东丽株式会社 | 感光性着色树脂组合物 |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002296412A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Fujitsu Ltd | カラーフィルタ及びカラー液晶表示装置 |
WO2003010602A1 (en) * | 2001-07-26 | 2003-02-06 | Ciba Specialty Chemicals Holding Inc. | Photosensitive resin composition |
JP2005148688A (ja) | 2003-11-15 | 2005-06-09 | National Institute For Materials Science | 有機分子の固定化方法とマイクロ・ナノ物品 |
JP2006053405A (ja) * | 2004-08-13 | 2006-02-23 | Sharp Corp | アレイ基板の製造方法及びそれを用いた液晶表示装置の製造方法 |
JP2006133378A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 感光性樹脂組成物、およびこれを用いた感光性ドライフィルム |
JP4816211B2 (ja) * | 2006-04-07 | 2011-11-16 | Tdk株式会社 | セラミックグリーンシート組成物及びセラミックグリーンシート |
KR100920603B1 (ko) * | 2006-12-28 | 2009-10-08 | 제일모직주식회사 | 감광성 수지 조성물 및 그로부터 제조되는 컬러필터 |
KR100881860B1 (ko) * | 2007-01-17 | 2009-02-06 | 제일모직주식회사 | 컬러필터용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 이미지센서컬러필터 |
TW200916847A (en) * | 2007-10-02 | 2009-04-16 | Au Optronics Corp | Color filter and liquid crystal display device |
US8486591B2 (en) * | 2008-10-24 | 2013-07-16 | Cheil Industries Inc. | Photosensitive resin composition for color filter and color filter prepared using the same |
KR101400194B1 (ko) * | 2010-12-01 | 2014-05-27 | 제일모직 주식회사 | 컬러필터용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 컬러필터 |
KR101355070B1 (ko) | 2010-12-29 | 2014-01-24 | 제일모직 주식회사 | 컬러필터용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 컬러필터 |
US8715907B2 (en) * | 2011-08-10 | 2014-05-06 | International Business Machines Corporation | Developable bottom antireflective coating compositions for negative resists |
KR101515429B1 (ko) | 2011-11-11 | 2015-04-27 | 제일모직 주식회사 | 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 컬러필터 |
KR101413072B1 (ko) | 2011-12-22 | 2014-07-09 | 제일모직 주식회사 | 컬러필터용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 컬러필터 |
KR101574089B1 (ko) | 2011-12-23 | 2015-12-03 | 제일모직 주식회사 | 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 컬러필터 |
KR101413075B1 (ko) | 2011-12-26 | 2014-06-30 | 제일모직 주식회사 | 컬러필터용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 컬러필터 |
US8999624B2 (en) | 2012-06-29 | 2015-04-07 | International Business Machines Corporation | Developable bottom antireflective coating composition and pattern forming method using thereof |
KR101556280B1 (ko) | 2012-12-07 | 2015-09-30 | 제일모직 주식회사 | 컬러필터용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 컬러필터 |
KR20140076320A (ko) | 2012-12-12 | 2014-06-20 | 제일모직주식회사 | 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 블랙 스페이서 |
KR20140083620A (ko) | 2012-12-26 | 2014-07-04 | 제일모직주식회사 | 차광층용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 차광층 |
KR20140083615A (ko) | 2012-12-26 | 2014-07-04 | 제일모직주식회사 | 컬러필터용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 컬러필터 |
US10011672B2 (en) | 2013-05-16 | 2018-07-03 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Photosensitive resin composition for color filter and color filter using the same |
KR101750462B1 (ko) | 2014-05-12 | 2017-06-23 | 제일모직 주식회사 | 신규한 화합물, 신규한 혼합물, 감광성 수지 조성물, 및 컬러 필터 |
KR101819656B1 (ko) | 2014-05-13 | 2018-01-17 | 제일모직 주식회사 | 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 컬러필터 |
KR101837563B1 (ko) | 2015-06-23 | 2018-03-12 | 삼성에스디아이 주식회사 | 신규한 화합물, 이를 포함하는 감광성 수지 조성물, 및 컬러필터 |
KR101816232B1 (ko) | 2015-10-16 | 2018-01-08 | 삼성에스디아이 주식회사 | 신규한 화합물, 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 및 컬러필터 |
KR102020917B1 (ko) | 2016-08-17 | 2019-09-11 | 삼성에스디아이 주식회사 | 코어-쉘 염료, 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 및 컬러필터 |
KR102087260B1 (ko) | 2016-09-26 | 2020-03-10 | 삼성에스디아이 주식회사 | 신규한 화합물, 코어-쉘 염료, 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 및 컬러필터 |
KR102087259B1 (ko) | 2016-09-28 | 2020-03-10 | 삼성에스디아이 주식회사 | 신규한 화합물, 코어-쉘 염료, 이를 포함하는 감광성 수지 조성물 및 컬러필터 |
KR102061244B1 (ko) | 2017-05-17 | 2019-12-31 | 삼성에스디아이 주식회사 | 감광성 수지 조성물, 이를 이용하여 제조된 감광성 수지막 및 컬러필터 |
KR102338255B1 (ko) * | 2018-03-09 | 2021-12-10 | 동우 화인켐 주식회사 | 착색 감광성 수지 조성물, 이를 이용하여 제조된 컬러필터 및 화상표시장치 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3881070B2 (ja) * | 1995-10-09 | 2007-02-14 | 大日本印刷株式会社 | 感光性着色組成物及びカラーフイルター |
JPH09134006A (ja) * | 1995-11-07 | 1997-05-20 | Sumitomo Chem Co Ltd | 着色レジスト組成物 |
JPH1010315A (ja) | 1996-06-27 | 1998-01-16 | Hitachi Chem Co Ltd | カラーフィルタ用感光性フィルム及びこれを用いたカラーフィルタの製造法 |
JPH10153859A (ja) * | 1996-11-22 | 1998-06-09 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフイルター用感光性着色組成物及びカラーフイルター |
JPH10339959A (ja) * | 1997-06-06 | 1998-12-22 | Nippon Kayaku Co Ltd | 着色パターン形成方法 |
JPH11184093A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-09 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性組成物、感光液、感光性エレメント及びカラーフィルタ又はカラープルーフの製造法 |
JP3860340B2 (ja) * | 1998-06-08 | 2006-12-20 | 新日鐵化学株式会社 | 光重合性樹脂組成物 |
JP2000039512A (ja) | 1998-07-24 | 2000-02-08 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルター用感光性樹脂組成物及びカラーフィルターの製造方法 |
JP2000105456A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-04-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びカラ―フィルタ― |
JP3568862B2 (ja) * | 1999-02-08 | 2004-09-22 | 大日本印刷株式会社 | カラー液晶表示装置 |
-
2000
- 2000-08-22 JP JP2000250870A patent/JP4518651B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-08-17 KR KR1020010049645A patent/KR100802565B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-08-17 US US09/932,710 patent/US6733935B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-08-21 TW TW090120494A patent/TWI295741B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI454757B (zh) * | 2012-08-15 | 2014-10-01 | Au Optronics Corp | 光學觸控顯示裝置及其彩色濾光片 |
US9285520B2 (en) | 2012-08-15 | 2016-03-15 | Au Optronics Corp. | Optical touch display device and color filter thereof |
CN107430335A (zh) * | 2015-04-01 | 2017-12-01 | 东丽株式会社 | 感光性着色树脂组合物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20020015650A (ko) | 2002-02-28 |
US20020045112A1 (en) | 2002-04-18 |
JP2002062646A (ja) | 2002-02-28 |
US6733935B2 (en) | 2004-05-11 |
JP4518651B2 (ja) | 2010-08-04 |
KR100802565B1 (ko) | 2008-02-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI295741B (zh) | ||
TWI450036B (zh) | 用於濾色器之光敏性樹脂組成物及使用該組成物之濾色器 | |
TW200836003A (en) | Green photosensitive resin composition and color filter prepared therefrom | |
TW200413841A (en) | Photosensitive resin composition controlling solubility and pattern formation method of double-layer structrue using the same | |
TW548434B (en) | Composition for color filters and color filters | |
TW200903158A (en) | Color composition, color filter and method for producing the same | |
CN105074804B (zh) | 树脂黑底基板及触摸面板 | |
JP6361260B2 (ja) | 積層体の製造方法、カラーフィルタの製造方法、積層体およびカラーフィルタ | |
JP2010054561A (ja) | 保護膜用感光性組成物及びそれを用いたカラーフィルタ | |
TW200937119A (en) | Colouring composition, process for manufacturing color filter and color filter | |
TW200916535A (en) | High optical contrast pigment and colorful photosensitive composition employing the same and fabrication method thereof | |
JP2010026362A (ja) | 半透過型液晶表示装置のカラ−フィルタ用感光性着色組成物、それを用いたカラ−フィルタの製造方法、該方法で製造されたカラ−フィルタ、及び半透過型液晶表示装置 | |
CN101604120B (zh) | 着色感光性树脂组合物 | |
JP4826187B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
JP3837037B2 (ja) | カラーフィルタ用着色組成物及びレジスト組成物並びにカラーフィルタ | |
JP2001147315A (ja) | 青色カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ | |
JP6755277B2 (ja) | 感光性着色組成物、明度調整層、カラーフィルタ、およびカラー表示装置 | |
JP2003121632A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルターおよびその製造方法ならびにそれを用いたカラー液晶表示装置 | |
JP2011137913A (ja) | カラーフィルタ及び多面付けカラーフィルタ、並びにその製造に用いる感光性着色組成物 | |
JP3986343B2 (ja) | カラーフィルター用着色画像形成材料及びカラーフィルター | |
JP2010146021A (ja) | 着色レジスト材セット、およびこれを用いたカラーフィルタの製造方法 | |
JP2007086561A (ja) | カラーフィルタ | |
JP7306185B2 (ja) | 感光性着色組成物、カラーフィルタ、および液晶表示装置 | |
JP7521892B2 (ja) | 感光性着色組成物、カラーフィルタ、および液晶表示装置 | |
JPH10227911A (ja) | カラーフィルター用着色画像形成材料及びカラーフィルター |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees |