TWI295350B - - Google Patents

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1295350 · 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於歧管閥，特別是有關於適用於進行 PSA(壓力變動吸著）裝置等多流路的切換的歧管閥。本發明 更有關於具備此類歧管閥之壓力變動吸著裝置。 【先前技術】 在具備水配管、油壓配管、或氣體配管等的流體配管 設備中，為了切換複數的流路，有轉閥（r〇tary vaWe)被 使用的情形。作為習知的轉閥，例如，具備圓筒狀的閥本 體、以及在此閥本體内被收容以對於閥本體的内面可滑動 迴轉的轉子的物件係為熟知的（例如，參考專利文獻1 )。 [專利文獻1]日本特開2004-163082號公報 在專利文獻1揭露的轉閥中，在不同於閥本體的轴方 向的位置，自外側貫通至内側的複數的連通口被形成。在 轉子方面，在軸方向延伸的連通流路被形成，同時連通該 連通流路和轉子外側的複數的孔被形成。此孔係被形成在 對應於上述連通口的位置，藉由被連接在轉子的馬達的迴 轉輸出，轉子迴轉，成為可選擇地切換連通流路和連通口 為連通狀態或非連通狀態。因此，藉由控制轉子的迴轉位 置’可使在閥本體被形成的複數的連通口中被設定的物件 連通至連通流路，其結果可使連通至連通口的配管選擇地 導通。

然而，近年來，將含有甲醇或天然氣作水蒸氣改質所 2215-7982-PF 1295350 .

I 传到的73〜77%程度的氮的原料氣體導入在psA(pressure swing adsorption)裝置，將氫氣精製分離的方法（壓力變 動吸著法）係在半導體製造、玻璃（glass)製造、金屬熱處 理、化學反應等的廣大領域中被使用。PSA裝置係通常具 備充填吸著劑的三槽或四槽的吸著槽而構成，原料氣體係 被供給至各吸著槽，在吸著槽内藉由吸著劑除去（吸著）氫 以外的氣體成分，作為高純度氫被取出。

第7圖表示具備三槽式的吸著槽的pSA裝置的一例子 的概略構成圖。在同一圖中被表示的pSA裝置中，利用由 吸著槽的上部被取出的精製的氫氣，將在脫 槽内殘留的氣體淨化的系統被採用。在此系統，在各吸: 槽的下部中，供給原料氣體至吸著槽用的流路η、以及排 出吸著槽内的氣體用的流路P2的兩流路被形成。在各吸著 槽的上部’將被精製的氫氣作為製品氫取出料流路P3、 將被精製的氫氣的部份送屮 、 切、出至共通的淨化線路用的流路 、以及自該共通的淨卜 一、ά 乎化線路導入虱氣至吸著槽用的流路 Ρ5的二流路被形成。 由以上的構成可理解妒 不义々 解1又，必須在各吸著槽的下部進 兩 路、在上部進行二产 形方面古心丁 —路的切換有必要’在三槽式的 ^ . 汁十五，巩路的切換。又，在吸著 在此三槽式❹^與母個吸著槽獨立進行 揭露的轉_話，在各％ ^述專利文獻 社谷及者槽的下部和上嬰 該轉閥，作為PSA裝置全體 人 “又置一 Ίι -使用θ計六個轉閥，藉由你

2215-7982-PF 1295350 . : * ’ 序彳木作各閥’可進行各吸著槽的下部和上部的十五流路的 切換。 另 方面’近年來，使PSA裝置適用於燃料電池自動 、車的氫站（stat i〇n)等被檢討。為了使PSA裝置適用於氫 站’裝置的小型化和低價化被強烈需求。然而，根據上述 ㈢知的轉閥的話，有必要因應於psA裝置的吸著槽的數目 增加使用的閥的數目，有導致裝置的大型化和設備費用的 φ间價化的傾向。又，增加使用的閥的數目的話，根據使各 3依序作動的閥控制複雜化的不便性也產生。又，在變更 各μ路的切換順序和時機時，必須在每個閥變更連通口的 孔的配置和大小，增加閥的數目的話，伴隨此變更，產生 費用鬲價化的問題。 【發明内容】 本發明係為基於此類的事情而被想出的物件，在有必 春要刀換夕數々IL路的裝置中，達到裝置的小型化和設備費用 的減低化同¥在變更流路切換的順序或時機等規格時， 提供可減低有關規格變更的成本的歧管閥作為目的。 本發明的其他目的係提供具備此類歧管閥之壓力變動 吸著裝置。 根據本發明的第一方面，提供歧管閥，包括：圓筒狀 的閥本體’内敗於該閥本體的圓筒狀的中間筒體；以及對 於該中間筒體以可潛叙、絲 ' 月動沿轉的方式被内嵌的轉子。上述閥 本體係包括在轴方而卩5益 ° 者間隔而被形成的複數個第一連通

2215-7982-PF 1295350 I轴和該複數個第—連通口在軸方向不同的位置中 季方：相互隔著間隔而被形成的複數個第二連通… a中間筒體係包括在轴方 遠 口 &者間隔且舆上述複數個第一 第二遠刀畜別連通的複數個第三連通口、以及與上述複數的 括在2口分料通的複數個第四連通口，上述轉子係包 =向延伸且同時相互分離的複數個連通流路 =第三連通口分別連通至上述複數的連通流路的複 數弟五相口、以及使上述第四連通口分 :^連通流路用的複數個第六連通口，伴隨著對於上述 上迷中間同體的迴轉，使上述複數個第六連通口對 狀^複數個第四連通Π選擇地切換為連通狀態或 狀恶的方式被構成。 根據有關本發明的歧管閥的話，即使在有關複數的容 供4纟PSA裝置中的吸著槽）、在每個各容器將流體. 接二“的複數的流路切換為必要的情形中，藉由連 =:連通口和各容器’利用-個歧管I可在各容器 獨立進行被連接複數的容器的流路的切換。因Λ，可使在 ，容器連接的多流路的切換中必要的闕的數目減低’ 可達到裝置的小型化和設備費用的減低化。 又’在有關本發明的歧管閥中，包括中間筒體。因此， 即=產生需要變更各流路的流量或流路切換的時機等的規 格時’可藉由變更被形成在中間筒體的第三連通口和第四 連通口 =配置或大小來對應對應。因此，在變更閥的規格 時’僅交換中間筒體即可’可減低有關規格變更的成本。

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. I 較佳的是在與上述中間筒體的内面中的上述各第一、 通口對應的位置，形成内面環狀流路。 連 ' 較佳的是在與上述中間筒體的外面中的上 _ ~合第四連 ' 、口對應的位置，形成外面環狀流路。 較佳的是在上述閥本體與上述中間筒體之 々 «Jll. 谷弟四連通口的軸方向的兩側，設置環狀的密封。 較佳的是在上述中間筒體與上述轉子之間，在上述各 % 第四連通口的軸方向的兩侧，設置環狀的密封。 以 較佳的是在上述閥本體，安裝具備複數的共通流路、 以及使該各共通流路和上述複數個第四連通口中被選擇的 物件連通的複數個連接口的塊。 、 較佳的是在上述閥本體，安裝具備與上述各第一連通 口連通的連接口的塊。 ^ Λ 3疋上述轉子係藉由以時間被控制的電動馬達而 被驅動。 、 _ Μ較佳的是上述複數個第四連通口係包含：在上述中間 筒體的軸方向隔著間隔的複數組的中間供給口、以及在上 :丨中間筒體的軸方向隔著間隔的複數組的中間排出口，上 f各組的中間供給口係在上述中間筒體的圓周方向相互隔 =間’且對於其他組的中間供給口在上述中間筒體的圓 "σ偏私上述各組的中間排出口係在上述中間筒體的 /、周方向相互隔著間隔，且對於其他組的中間排出口在上 ’述中間筒體的圓周方向偏移。 車乂么的疋上述複數個第一連通口、上述複數個第三連

2215^7982-PF I295350 、 、上述複數個第$、s 总备 弟五連通口、以及上述複數個連通流路 係在氣體的供給和排Α φ 中 辨出中被利用，上述複數個第二連通口 件、擇的物件、上述複數個第四連通口中被選擇的物 i ^ #USI第六連通σ中被選擇的物件係僅在氣 口供給中制用’殘餘的第：連通Π、殘餘的第四連通 X及殘餘的第六連通口係僅在氣體的排出被利用。 根據本發明的Μ _ . 的弟一方面，提供包含上述歧管閥、以及 #言亥歧管閥的上述複數個箸、 v r <後數個弟一連通口分別被連接的複數個 吸著槽的PSA裝置。 山較佺的疋作為使上述歧管閥連接至上述各吸著槽的一 端使具有同樣構成的其他歧管閥連接至上述各吸著槽的 另一端的構成。 一有關本發明的其他特徵和優點係可由基於以下所附的 圖丁所進仃的發明實施例的說明而更為清楚地明瞭。 【實施方式】 、有關本發明的實施例，參考第1〜6圖具體說明。又， 為了說明方便，以第丨圖作為基準，將上下左右的方向作 為特定。 第1圖係為表示有關本發明的一實施例的歧管閥的剖 面圖。在同-圖中表示的歧管閥VI係適用於，例如，具有 二槽式吸著槽的PSA裝置。PSA裝置係概略地，例如，且 有如第6圖所示般的構成。 具體而/，在第6圖所示的PSA裝置係具備三個吸著

2215-7982-PF 129額_12382號中文糊說囑修正 ηί ΊΙ 芗! ^ Α β P y 作年11月A日修(¼)正本 B 例如，自包 卿日期：9ό·11·1ό

(I 氣體將氫分離時，以和日本特 ▼ ^肌成分的原料 、 ％開2004 —661 25號專利揭露的 過私相同的PSA過程被實行。亦即，在各吸著槽a u 中，被供給的原料氣體係藉由吸著劑吸著氫以外的氣體成 分，高純度的112氣體係被排出至 y r山王xr 口p 此H2軋體的大部份 糸作為製品氣體，在製品槽(未圖示)被取出。匕氣體的一 部份和/或吸著槽内的殘留氣體係在共通的淨化線路 卿ge lme)中被傳送，經由流量調整閥V3，在既定的吸 :槽:、作為淨化氣體被導入。又，在承受再生的吸著槽， 藉由減壓’自吸著劑脫著的脫著氣體作為槽内的殘留氣 體，且藉由淨化氣體被排出。因此，在各吸著槽A、B、C 的下"卩’將原料氣體供給至吸著槽的流路、以及將由吸著 :被排出的氣體送出的流路的兩流路係被連接，在各吸著 乜A、B、C的上部，將I氣體送出至槽的流路、將h氣體 运出至〉尹化線路的流路、以及將被壓力調整的H2氣體供給 著&的/;IL路的二流路係被連接。在本實施例中，自後 述的說明可理解般，藉由被配置在吸著槽A、B、C的下部 的一個歧管閥π進行吸著槽a、b、c的下部的全部六流路 的切換，藉由被配置在吸著槽A、B、C的上部的一個歧管 闕V2進订吸著槽A、Β、C的上部的全部九流路的切換般被 構成。如第1圖所示的歧管閥VI係為在吸著槽A、B、C的 下部被配置的物件。 如第1圖所示般，歧管閥VI係具備閥本體1、中間筒 體2、轉子3、上部塊4、下部塊5。 2215-7982-PF1 11 12 9¾)涵)]2382號中文專利說明書修正頁 修正日期：90.11.10 延仲二：和第2圖所示般，閥本體1係呈現在軸方向 延伸的中空部被形成的圓筒狀。在闕本體i的上部，形成 在2向隔著間隔且作為在半徑方向貫通的三個第一連通 口的外側供給排出π ^^.。此外側供給排出口 係供給原料氣體至吸著槽a、b、 自吸著槽Λ、B、C排出吸著氣俨的、查、g A作為 ^ 1 及者乳體的連通口的功能。在閥本 體1的下部，在和外側供給排出口 1〇a、_、心不同軸 方向的位i作為二個第二連通口的外側供給口 U a、m、 11c、以及作為三個第二連通口的外側排出口⑼、12卜 12c係被交互形成。 如第1圖和第3圖所示般，中間筒體2係作為在閥本 '體1的中〜空部被嵌合的圓筒部2〇、以及在閥本體！的左端 部被固定的突緣部21 一體成形的構成。在中間筒體2,形 成作為與閥本體1的外側供給排出口 1〇a、i〇b、1〇。時常 連通的三個第三連通口的中間供給排出σ 22a、22b、仏。 在中間筒體2,在與閥本體1的外側供給口111115、11〇 對應的軸方向的位置，形成作為在半徑方向貫通的三組(各 組分別三個)的第四連通口的中間供給口 23a、23b、 更詳細而言’在第i圖中的左側的組的三個中間供給口 23a 係如第5A圖所表示般，在圓周方向偏移且被形成在相互接 近的位置。同樣地’在第j圖中的中間的組的三個的中間 供給口 23b以及右側的組的三個的中間供給口 23。係，如 第5C和5E圖所表示般，分別在圓周方向偏移且被形成在 相互接近的位置。 2215-7982-PF1 12 修正日期·· 90.11.10 9 〗2382號中文專利說明書修正頁 又，在中間筒體2，在與閥本體1的外側供給口 i仏、 1 2 b、1 2 c對應轴方向的位置，形成作為在半徑方向貫通的 二組（各組分別兩個）的第四連通口的中間排出口 24已、 24b、24c:。更詳細而t，在第！圖中的左側的組的兩個中 間供給口 24a係如第5B圖所表示般，在圓周方向偏移且被 形成在相互接近的位置。同樣地，在第〗圖中的中間的組 的兩個的中間排出口 24b以及右侧的組的兩個的中間供給 口 24c係，如第51)和5F圖所表示般，分別在圓周方向偏 移且被形成在相互接近的位置。 在中間筒體2的内面，在和中間供給排出口 22心22b、 22c對應的軸方向位置，形成内面環狀流路25a、、25c。 在中間筒 , ^ ^ ^ ^ 26 a > 26 b > 26 c -在 矛中門排出口 24a、24b、24c對應的軸方向位置，形成外 面環狀流路27a、27b、2了e。 :内^在轉+ 3’形成作為在軸方向延伸且相互被分離 連通流路的内侧供給排出流路3〇a、3〇b、30c。 在和轉子3中的中間筒辨9 99, 〇 1冈體2的中間供給排出口 22a、 、22c對應的轴方向位置， 筮$、n 形成作為在半徑方向貫通的 弟：連通口的内侧供給排出。31a、3ib 側供給排出流路30a、30b 精内 = =側供給排出口…、 _仏給排出口 31a、31b、31c、内 2215-7982-PFl 13 I29S5)_2382號中文專利說明書修正頁 修正日期：96.11 16 面環狀流路25a、25b、25c、以及中間供給排出口 22a、22b、 22c，個別獨立連通。 又，在和轉子3中的中間筒體2的中間供給口 23a、 23b、23c對應的軸方向位置，形成作為在半徑方向貫通的 第六連通口的内侧供給口 32a、32b、32c。藉此，内侧供 給排出流路30a、30b、30c和外側供給口 、llb、 係刀別經由内侧供給口 3 2 a、3 2 b、3 2 c、中間供給口 2 3 a、 23b、23c、以及外面環狀流路26a、26b、26c，個別獨立 連通。然而，對應於轉子3的迴轉動作，在内侧供給口 32& 係對於中間供給口 23a位在圓周方向有偏移位置時，内側 供給口 32a係成為在中間筒體2的内面被阻擋，内侧供給 ° 32a和中間供給口…23a係成為不連通的狀態（非連通狀 態）。有關内侧供給口 32b和内侧供給口 32c也與此相同。 在和轉子3中的中間筒體2的中間供給口 24a、24b、 24c對應的軸方向位置，形成作為在半徑方向貫通的第六 連通口的内側排出口 33”3外、33。。藉此，内側供給二 出流路30a、3〇b、30c和外側排出口 12a、12b Γ仏 別經由内側排出η 33a、33b、33c、中間排出口 ^⑽刀、 24c、以及外面環狀流路27a、27b、27c，個別獨立連通。 然而’對應於轉子3的迴轉動作，在内側排出口咖對於 中間排出口 24a位在圓周方向有偏移位置時，内側排出口 33a 4系成為在中間筒體2的内面被阻擋，内側排出口心 和中間排出口 24a係成為不連通的狀態（非連通狀態卜有 關内侧排出口 33b和内侧排出口 33c也與此相同。 14 2215-7982-PF1 I29^Sf)l2382號中文專利說明書修正頁 修正日期：96.11.16 如第1圖和第3圖所示般’在中間筒體2的外面和内 面中的各中間供給口 23a、23b、23c以及各中間排出口 24a、24b、24。的軸方向的兩側，形成環狀溝28，在各環 狀溝28,裝著〇形環29。藉由這些環狀溝㈣〇形環μ， 在閥本體1和中間筒體2之間以及中間筒體2和轉子^之 間的密封被構成。因此’藉由此密封，在閥本體i和中間 筒體2之間以及中間筒體2和轉子3之間，鄰接在軸方向 的流路係被適當地遮斷，通過各流路的氣體不會不當地混 入其他流路4，在本實施財，雖然〇形環裝著用的琴 狀溝28係在中間筒體2的外面和内面被形成，然而亦可在 閥本體1的内面和轉子3的外面形成環狀溝。&，雖然表 限定於此。 不破 如第1圖所示般’塊4係被安裝在閥本體i的上部。 塊4係具備分別與閥本體j的外側供給排出〇…、咖、 1〇C以^吸著槽A、Β、上 如第1圖所示般，塊5係被安裝在閥本體了的下部。 塊5具備：作為在軸方向延伸的共通流路的共通供給二路 50、在此共通供給流路5〇分別聯繫且與外側供給口 u:、 lib、11c連通的供給連接σ 51a、51卜5ic、作為在軸 向延伸的共通流路的共通供給流路52、在此共通供鉍、 52分別聯繫且與外側排出口…、⑽、…連通= 接口 53a、53b、53c。 建 在第1圖中的轉子3的左端外周，安裝和在中間筒體 2215-7982-PF1 15 2382號中文專利画書修正頁 修正日期：90.1 U0 2的左端部被形成的凹部的端面滑動的止推軸環(*贈 ring)6G。轉子3的左端係藉由安裝在中間筒體2的突緣部 =的盍61覆蓋。在轉子3的右端外周，形成環狀的突起 =其—方的側面係經由止推轴環62連接至被形成在中間 ::2的右端部的凹部，另-方的側面係經由止推軸環63 動穿在閥本體1的蓋64。在轉子3，連結作為驅 的電動馬達65。闕本體i和電動馬達& 在未圖示的支持台。 ~ 在弟6圖中以模式地表示的吸著槽a、 歧管閥㈣、為和上述的下部的歧管閥n的基本構造= =:!二，上部的歧管係為進行全部九流路(在 I路^…c分別各為三流路）的切換，和進行全部六 ^^-切換的下部 在"冓成比較的話，僅在對應於在應切換被設置 =體1、中間筒體2、轉子3、和塊5的供給口、= /部的歧管閥心轉子3係，得到自和連^^的 歧&閥VI的轉子3的電動馬、 的動力，或是成為可細由…4 外一個的電動馬達 皮帶等得到自電動馬達65的動力 、/ ，上部的歧管閥v2的轉+ s I # η的轉子嶋作為連動迴轉;和下部的彻 =二：有關如上述構成的歧管閥V1的動作。 行。在二例中的流路的切換係藉由轉…迴轉^ 在本^例中，在轉子3迴轉—次期間，九步驟（步驟 2215-7982-PF1 16 129^(§ί)ΐ2382號中文專利麵離顏 修正日期：9ό·11.10 1〜9)被順序切換，實施一循環的方式被構成。各步驟係藉 由控制轉子3的迴轉動作（亦即，電動馬達6 5的驅動），時 間控制成為可能。 第1圖、第5Α〜F圖、和第6圖係表示步驟1的狀態， 有關此步驟1參考圖示說明。又，在第5Α〜5F圖中，沿著 圓周所附的數字係表示步驟的號碼，形成在轉子3的内側 供給口 32a、32b、32c以及内側排出口 33a、33b、33c係 藉由步驟轉移’而成為移動在對應於步驟號碼的位置的方 • 式。 在第6圖所示的狀態下，在吸著槽a中，原料氣體被 1、給’藉由槽内的吸著劑，氫以外的氣體成分被吸著，作 為H2氣體被排出。在吸著槽B中，吸著完成的吸著槽c内 的殘留氣體係經過流量調整閥V3被供給，槽内的吸著劑| 洗淨’脫著氣體被排出。 如在第1圖和第5 A圖所表示般，原料氣體係自閥本體 1的供給口 1 la，經由中間筒體2的外面環狀流路26&，通 # 1 23a-^m 供給口 32a，流入轉子3的内側供給排出流路3〇a，經由内 侧供給排出口 31a、中間筒體2的内面環狀流路25a，通過 中間供給排出口 22a、閥本體1的外側供給排出口 1〇a，經 由塊4的連接口 40a，被供給至吸著槽A。在吸著槽A中， 原料氣體的氫以夕卜的氣體成分係被吸著。從也在對應於步 驟2' 3的位置，形成中間供給口 23a之事可理解般，朝吸 著槽A的原料氣體的供給係在步驟2、3中也進行。又，由 2215-7982-PF1 17 I29^S£)l2382號中文專利說明書修正頁 修正日期：96.11.16 於三個中間供給π 23a係經由外面環狀流路連通，所 以即使在自步驟M3為止切換的途中，原料氣體係連續 而被供給至吸著槽A。 如在第5B圖所表示般’因為來自連通至閥本體】的外 侧排出口心的料3的内側供給排出流路術的内側排 :口 33a係在中間筒體2的内面被阻擋，自吸著槽a的排 出不被進行。自吸著槽A的氣體的排出係在步驟Η被進 行。 如在第5C圖所表示般，因為朝向連通在閥本體！的外 側供給口 Ub的轉子3的内側供給排出流路的内側供 給口 32b係在中間筒轉9 ώ/7 #工、+ ,L ^ 體2的内面被阻擋，朝吸著槽β的原 步驟4〜6進行。 —-一一 侧排t在t 5D圖所表^般，因為來自連通在閥本體1的外 .〇 33^ f/l 3 ^ ^ 3〇b ^ ^ ^ ^ t fE〇 ^ 11 2 ^ ^ ^ ^ 〇 24b it it ^ ^ ^ 才曰的軋體排出係被進行 驟9、"皮進行。仃自及者槽B的氣體的排出係在步 ^ P所表不般’因為朝向連通在閥本體1的外 側供給口 11 c的轅；π 給口 32c係在中間^的内側供給排出流路30c的内側供 槽C的供給不被二:體2的内面被阻播’原料氣體至吸著 步驟卜9被進行。。朝吸者槽C的原料氣體的供給係在 如在弟5F圖戶主_ 表示般，因為來自連通在閥本體丨的外 2215-7982-PF1 18 修正日期：9ό·Π.1ό 側排出口 12C的轉子3的内側供仏 出口 33c係在中間筒體2的内面心流路⑽的内側排 出不被進行。自吸著槽C的氣體 '，自吸著槽C的排 行。 非出係在步驟3、4被進 如以上說明所理解般，藉由 歧管關V1叮^ n 吏用一個有關本實施例的 吕閥V1，可使進行在PSA裝置的吸 J>j| y!r 署槽A、B、C中的原 4乳體的供給和吸著氣體的排出 明基姚A n ^用的流路的切換在每一 及者槽A、B、C獨立地進行。因士 拖# ν φ a 因此，可減低在多流路的切 、斤必要的閥數目，可達到pSA 的減低化。 裝置的小型化和設備費用 又’有關本實施例的歧管闕v〗在曰丄 文S阀VI係具備中間筒體2。因 此’即使產生需要在流路切換 _ 1，—一 ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ 驟’在本身施加變更時，可藉由變 柯街文更被形成在中間筒體2 的中間供給口以及中間排出 J® U的配置和大小來對應。因 此，伴隨步驟的變更，變更閥的規袼之時，僅交換中間筒 體2也可，可減少有關規格變更的成本。 ..…--..-...... .................................................................................................................. 又，在本實施例中，歧管閥VI係具備塊5 ,在此塊5 中’分別連通在閥本體1的外側供給口丨丨a、〗1 b、1丨。的 供給連接口 51a、51b、51c係自共通供給流路5〇分歧，分 別連通在外側排出口 1 2a、12b、12c的排出連接口 53a、 53b、53c係合流在共通排出流路μ般被構成。如上述般， 在歧管閥VI内，各流路係被適當地整合彙集而被共通化。 因此，歧管閥VI以及和連接與此的配管的連接構造和配管 本身的管路網係被簡略化，有關本實施例的歧管閥Vi係藉 19 2215-7982-PF1 修正日期：96.11.16 129®5)§ί)ΐ2382號中文專利說明書修正頁 由達到PSA裝置的小型化和設備費用的減低化而較佳。 以上雖然說明了本發明的具體實施例，但本發明並不 被限定於此，在不脫離本發明思想的範圍内，可以有各種 的變更。 在上述實施例中，雖然說明有關適用於PSA裝置的氣 體配管的歧管閥，但有關本發明的歧管閥係也可適用在其 他裝置設備中的水配管、水蒸氣配管、水，水蒸氣配管、油 壓配管等的各種流體配管。 【圖式簡單說明】 第1圖係為表示有關本發明的歧管閥的一例的縱剖面 圖； σ 第2圖係為閥本體的縱剖面圖Ί 第3圖係為中間筒體的縱剖面圖； 第4圖係為轉子的縱剖面圖； 第5 Α圖係為第1圖中的3-&剖面圖，第5；6圖係為〈 ^中的b:b剖面圖，第5C圖係為第1圖中的C —c剖面圖 弟5D圖係為弟1圖中的d —d剖面圖，第5E圖係為第u 中的e-e剖面圖，筮v , Ώ 弟5F圖係為第1圖中的f-f剖面圖· 第6圖伤盔主一— “為表不二槽式吸著槽的閥控制的一狀能 格圖；以及 〜u

圖表不習知PSA裝置的一例子的概略構成圖。 【主要元件符號說明】 2215-7982-PF1 20 Ι29|^Μ)ΐ2382號中文專利說明書修正頁 VI、V2歧管閥 V3流量調整閥 A、B、C吸著槽 1閥本體、 2中間筒體、 3轉子、 4上部塊、 5下部塊、 10a 、 10b 、 10c 11a 、 lib 、 11c 12a 、 12b 、 12c 20圓筒部、 21突緣部、 22a 、 22b 、 22c 23a、23b、23c 24a、24b、24c 25a 、 25b 、 25c 26a 、 26b 、 26c 27a 、 27b 、 27c 28環狀溝、 29 0形環、 30a 、 30b 、 30c 31a 、 31b 、 31c 32a 、 32b 、 32c 修正日期

外侧供給排出口、 外側供給口、 外侧排出口、 中間供給排出口、 中間供給口、 中間排出口、 内面環狀流路、 外面環狀流路、 外面環狀流路、 内侧供給排出流路、 内側供給排出口、 内侧供給口、 2215-7982-PF1 21 129^&〇12382號中文專利說明書修正頁 修正曰期：96.11.16 33a、33b、33c内侧才非出口 、 34突起、 4 0 a連接口、 5 0共通供給流路、 51a、51b、51c 供給連接口、 5 2 a、5 2 b、5 2 c共通供給流路、 53a、53b、53c 排出連接口、 6 0、6 2、6 3止推轴環、

6 5電動馬達。 2215-7982-PF1 22

Claims (1)

1. ^ 1295350 十、申請專利範圍·· 1 · 一種歧管閥，包括： 圓筒狀的閥本體（1); 中間筒體（2)，内嵌於該閥本體的圓筒狀；以及 轉子（3)，對於該中間筒體（2)以可滑動迴轉的方式被 内嵌； 上述閥本體（1 )係包括在軸方向隔著間隔而被形成的 複數個第一連通口（10a〜10c)、以及在和該複數個第一連通 口（10a〜10c)在軸方向不同的位置中在軸方向彼此隔著間 隔而被形成的複數個第二連通口（Ua〜Uc、12a〜12c); 上述中間筒體（2)係包括在軸方向隔著間隔且與上述 複數個第一連通口（10a〜1〇c)分別連通的複數個第三連通 口（22a〜22c)、以及與上述複數的第二連通口（lla〜lic、 12a〜12c)分別連通的複數個第四連通口（23a〜23c、 24a〜24c); 上述轉子（3)係包括在軸方向延伸且彼此分離的複數 個連通流路（3〇a〜3〇c)、使上述複數的第三連通口（22a〜22c) 分別連通至上述複數的連通流路（30a〜30c)的複數個第五 連通口（31a〜31c)、以及使上述第四連通口（23a〜23c、 24a〜24c)分別連通至上述複數的連通流路（3〇a〜3〇幻用的 複數個第六連通口（32a〜32c、33a〜33c); 伴隨著對於上述轉子（3)的上述中間筒體（2)的迴轉， 將上述複數個第六連通口（32a〜32c、33a〜33c)對於上述複 數個第四連通口（23a〜23c、24a〜24c)選擇地切換為連通狀 2215-7982-PF 23 1295350 悲或非連通狀態的方式被構成。 、2.如申請專利範圍第^項所述之歧管閥，其中在與上 述中間筒體（2)的内面中的上述各篦一查 田丫扪上迅谷弟二連通口（22a〜22c)對 應的位置形成内面環狀流路（25a〜25c)。 3. 如申請專利範圍第工項所述之歧管閱，盆中在盥上 述中間筒體⑵的外面中的上述各第四連通〇(心〜仏、 24a’。)對應的位置形成外面環狀流路（心〜26。、 27a〜27c)。 4. 如申請專利範圍f i項所述之歧管閥，其中在上述 閥本體⑴與上述中間筒體⑵之間，在上述各第四連通口 (23a~23c、24a〜24c)的軸方向的兩側設置環狀的密封⑵)。 5. 如申明專利範圍第j項所述之歧管閥，盆中在上述 中間筒體⑵與上㈣子（3)之間，在上述各第四連通口 (23a 23c、24a~24c)的軸方向的兩側設置環狀的密封（29)。 6·如申請專利範圍第1項所述之歧管閥，其中在上述 闕本體⑴，安裝具備複數的共通流路（50、52)、以及使該 各共通流路(5 0、 24a〜24c)中破選擇的物件連通的複數個連接口 ο。邛I。、 53a〜53c)的塊。 7·如申請專利範圍第1項所述之歧管閥，其中在上述 閥本體（1 )，安裝呈借血μ、+，& » 衣八備兵上述各第一連通口（10a〜l〇c)連通 的連接口（40a〜40c)的塊（4)。 8·如申請專利範圍帛1項所述之歧管閥，其中上述轉 子（3)係藉由以時間控制的電動馬達（65)被驅動。 2215-7982-PF 24 1295350 ^ I > 9 ·如申請專利範圍第1項所述之歧管閥，其中上述複 數個第四連通口（23a〜23c、24a〜24c)係包含：在上述中間 - 筒體（2)的軸方向隔著間隔的複數組的中間供給口 • (Ma〜23c)、以及在上述中間筒體（2)的軸方向隔著間隔的 複數組的中間排出口（24a〜24c)，上述各組的中間供給口 (2 3 a〜2 3 c)係在上述中間筒體（2)的圓周方向彼此隔著間 隔，且對於其他組的中間供給口（23a〜23c)在上述中間筒體 鲁 （2)的圓周方向偏移，上述各組的中間排出口（2“〜24C)在 上述中間筒體（2 )的圓周方向彼此隔著間隔，且對於其他組 的中間排出口（24a〜24c)在上述中間筒體（2)的圓周方向偏 移。 10.如申請專利範圍第i項所述之歧管閥，其中上述複 數個第一連通口（l〇a〜l〇c)、上述複數個第三連通口 (22a〜22c)、上述複數個第五連通口（3ia〜31c)、以及上述 複數個連通流路（30a〜30c)係在氣體的供給和排出中被利 鲁 用，上述複數個第二連通口（lla〜llc、12a〜12c)中被選擇 的物件（11a〜11c)、上述複數個第四連通口（23a〜23c、 248〜24〇〇中被選擇的物件（233〜23(：)、以及上述複數個第六 連通口（32a〜32c、33a〜33c)中被選擇的物件（32a〜32c)係僅 在氣體的供給中被利用’剩下的第二連通口（ 12 a〜12 c )、剩 下的第四連通口（24a〜24c)、以及剩下的第六連通口 (33a〜33c)係僅在氣體的排出被利用。 11 · 一種壓力變動吸著裝置，包括如申請專利範圍第 1〜10項中任一項所述之歧管閥（V1)、以及分別被連接在該 25 2215-7982-PF I295350 歧管閥（VI)的上述複數個第一連通口（1〇a〜10c)的複數個 吸著槽（A、B、C)。 12·如申請專利範圍第11項所述之壓力變動吸著裝 置’其中將上述歧管閥（VI)連接至上述各吸著槽（a、B、C) 的一端，將如申請專利範圍第1〜丨〇項中任一項所述之其他 歧管閥（V2)連接至其他各吸著槽（A、b、c)的另一端。

   2215-7982-PF 26 I29g)g£)i2382號中文專麵明書修正頁 七、指定代表圖：(一） 本案指定代表圖為：第（i)圖(二） 本代表圖之元件符號簡單說明： 修正日期：96.11.16

   mmmui " '»> >正義丨 .」 VI歧管閥、 2中間筒體、 4上部塊、 10a、 10b、 l〇c 1閥本體、 3轉子、 5下部塊、 外侧供給排出口、

   11 a、11 b、11 c外側供給 1 2 a、1 2 b、1 2 c外侧排出 21突緣部、 22a、22b、22c中間供給排出 24b中間排出口、 26b外面環狀流路、 29 Q形環、 23a中間供給口、 2 5 a内面環狀流路、 27 c 4 # . ¾ ^ 5¾. > 3〇a、30b、30c内側供給排出流路、 31a、31b、31c内侧供給排出口、 32a、32b、32c内侧供給口

   33a、33b、33c内側排出 連接口、 供給連接 排出連接 34突起、 5 0共通供給流路、 52共通供給流路、 、62、63止推軸 6 5電動馬達。 40a 、 40b 、 40c 51a、51b、51c 53a、53b、53c 環、61 、 64 蓋、 =、本案右有化學式時，請揭#最能顯示發明特徵的化學式 2215-7982-PF1 4