TWI294828B - Apparatus for ejecting liquid droplet, work to be applied thereto, method of manufacturing electro-optic device, electro-optic device, and electronic equipment - Google Patents

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1294828 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 出頭在長條之工件施行描 工件及光電裝置之製造方 本發明係關於利用功能液滴噴 繪之液滴喷出裝置、其所適用之 法、光電裝置、以及電子機器。 【先前技術】 液滴喷出裝置係包含使安置葉片之基板（工件）之吸附台 # (安置台）向X軸方向移動之x軸台、使搭載功能液滴喷出頭 之噴頭單元向γ軸方向移動之γ轴台，—面使喷頭單元及 基板相對地移動，-面噴出驅動功能液滴喷出頭時，可將 特定之描繪圖案描繪在所安置之基板上。 : 又，在液滴噴出裝置，設有接受由功能液滴噴出頭（之 所有喷嘴）之沖洗之-對沖洗箱。一對沖洗箱係被移動自 如地支持於X軸台’並被配設成可在又軸方向夾著吸附 台。因此，驅動X軸台時，可依照沖洗箱、安置台（工件 #之順序使喷頭單元面臨此等位置，接續於沖洗動作口後，連 =施行描繪動作。如此，在描繪動作之前，施行沖洗動 广可使功能液滴噴出頭之功能液滴嘴出狀態保持穩 疋，對工件施行良好精度之描繪處理 勒-26673號純）。 ”、、日本特開 而，為提高對工件之描繪效率，可考慮將長度方向設有 描繪描繪圖案之實際描繪區域之滾筒狀工件導入液滴 理了工件捲出，一面以實際騎區域單位施 价田、會處理，並逐次捲取處理畢之工件之滚筒進出式之液 105079.doc 1294828 滴唷出裝置。但 ......〜‘幵，如以社之狀 滴噴出裝置般不能在工件之輪送方向之.方向配設沖洗 箱’無法在對實際描繪區域之描纷動作之前施行沖洗動 作。 (發明所欲解決之問題） 本發明之課題在於提供可在對設於滚筒狀工件之實際描 、、曰區域施行描繪動作之前施行沖洗動作，俾可穩定地在實 際描繪區域施行描繪之滾筒進出式之液滴嘴出裝置、其所 適用之工件及光電裝置之製造方法、光電農置：以及電 機器。 【發明内容】 夕本發明之液滴噴出裝置之特徵在於其係對長度方向設有 二：：：區域之工件施行描繪者，包含吸附台，其係配設 :m，用於吸附安置工件者；捲出機構， =捲=工件，在彎曲之狀態將工件導人吸附*者；描 構，其係具有功能液滴喷出頭，對描緣空間，— ί滴喷出頭相對地移動’―面噴出驅動功能液滴喷出頭’匕 錯以在被吸附安置之前述工件施行描繪者；心 禮，JL在，㈣冰 、日’件接受機 構，、係在弯曲之狀態由吸附台接受 沖洗單元，苴係將桩為a 心工件者，及 ，、係將接4功能㈣噴出頭之^之 配設成收容於工件之彎曲部分之至少一方者。 /目 ㈣：構成’在捲出機構與吸附台間之工件之彎曲部分 及附口與工件接受機構間之工件之彎曲部分之至小 配設沖洗箱。因此，在 夕一方 曰處理％ ’使功能液滴喷出頭對 105079.doc 1294828 描繪空間相對地移動’可藉此使功能液滴噴出頭面臨沖洗 箱’以施行沖洗動作。此情形，由於吸附台與沖洗箱相鄰 接，故功能液滴喷出頭可在對吸附台上之工件（描繪區域） 施行描繪之前施行沖洗動作。因此，在描繪動作中，可由 功能液滴噴出頭穩定地喷出機能液，對描繪區域高精度地 施行描纟會。 此情形，最好在工件設有對應於各描繪區域而施行各描 繪區域之位置修正用之對準標記，且進__步包含攝像對^ 標記而辨識圖像之圖像辨識機構、及可轉動地支持吸附台 而依據圖像辨識機構之圖像辨識，修正對功能 之描繪區域之水平面内之位置之τ出碩 依據此構成，由於設有對應於各描繪區域之對準標記， 故可依據圖像辨識施行描繪區域之θ修正（位置修正卜對 工件施行高精度之描繪。 此情形’沖洗箱最好被支持於Θ台。 依據此構成，Θ修正吸附台時，沖洗箱亦可與吸附台一 起施行Θ旋轉。藉此，可對應地使沖洗箱適切地面臨被位 置修正後之實際描繪區域。 此It形，冲洗箱最好對應於彎曲部分之吸附台側之傾斜 被形成。 依據此構成，可在不會使吸附台之底部干擾到工件之情 況下，將沖洗箱配置於儘可能地接近於吸附台之位置。且 在’·弓曲較小之情形，也可將沖洗箱配設於彎曲部分。 此情形’最好工件接受機構可捲取工件。 105079.doc 1294828 成滾筒狀，故 種液滴喷出裝 依據此構成，描繪處理後之工件會被捲繞 可使描繪處理後之工件之處理更為容易。 本發明之工件之特徵在於可被上述中之一 置所描緣。 依據此構成，由於可被上述中之—種液滴噴出裝 繪，故可在工件施行精度良好之描繪。 田 此情形，工件最好為安裝有電子零件之可挽性基板。 依據此構成，將滾筒狀工件導入液滴噴出裝置而施行描 繪處理時，可高效率地製造可撓性基板。 本發明之光電裝置之製造方法之特徵在於利用上述記載 之液滴噴出裝置，在工件上形成功能液滴構成之成膜部。 又，本發明之光電裝置之特徵在於利用上述記載之液滴喷 出裝置，在工件上形成功能液滴構成之成膜部。 依據此等之構成’由於用上述之液滴噴出裝置，故可對 實際描繪區域穩定地喷出功能液。因此，可高精度地形成 成膜部，有效地製造高精度之光電裝置。又，作為光電裝 置（兀件），可考慮液晶顯示裝置、有機虹(此价〇_ Luminescence ;電致發光）裝置、電子釋放裝置、 PDP(Plasma Display Panel ;電漿型顯示面板）裝置~及電泳 顯示裝置等。又，電子釋放裝署在4人 电卞粹双扃置係包含所謂FED(Field

Emission Display，·電場發射顯示器）或8肪咖也α· Conduction EleCtron_Emitter Display;表面傳導電子發射 器顯示器）裝置之概念。另外，作為光電裝置，可考慮包 含金屬配線形成、透鏡形成、光阻形成及光學擴散形^^ 105079.doc 1294828 之裝置。 本發明之電子機n之特徵在於搭載利用上述記載之光電 裝置之製造方法所製造之光電裝置、或搭載上述記載之光 電裝置。 此情形，作為電子機器，除了搭載所謂平面面板顯示器 之手機、個人電腦之外，各種電氣製品均符合於此。 【實施方式】 ' 以下，參照附圖說明有關適用本發明之液滴噴出裝置。 此液滴喷出裝置係用於製造裝入使用於小型相機及手機等 之可撓性基板之裝置，可藉使用功能液滴喷出頭之液滴喷 出法’將溶解功能材料之功能液噴出於可撓性之基體膜 :工件)上’以形成電阻、線圈、電容器等之元件(晶片零 件；面安裝零件）及金屬配線等。 如圖1A及圖2請所示’液滴喷出裝置⑽包含具 能液滴喷出頭42而可在工件w施行利 ^ &仃和用功旎液滴之描繪之 U置2、捲出捲繞成滾筒狀之長條之工件 置3、沿著特定輸送路徑輸送被 " 置4、及捲取之捲取裝置5。即之此=+之輸送裝 ^ ^ 即，此液滴噴出裝置工 ==進出方式施行處理，首先，利用輸送裝置斗沿著 ^利Γ將捲出裝置3所捲出之卫件w送至描纷裝置2。 1騎裝置2在工件W施行描緣處理 置4由描繪裝置2送出工❹之已處理之部分，將 已處理之工件W逐次捲繞在捲取裝置5 : 2 裝置3至W之間、及由輪送…至捲取；^ 105079.doc 1294828 間’工件W係以具有鬆弛之狀態被輸送。又，雖省略圖 示’但在液滴噴出裝置1中，設有統轄控制各裝置之控制 裝置6，上述一連串之動作係依據控制裝置6之控制執行。 另一方面，如圖1B所示，在被導入液滴喷出裝置1之工 件W ’在長度方向隔著特定間隔連續地設有被描繪處理描 繪特定之描繪圖案（單位描繪圖案）之多數實際描繪區域a。 而，在實際描繪區域3與實際描繪區域a之間，設有對應於 _ 各貫際描繪區域a之一對（2個）工件對準標記b。此一對工件 對準標記b係用來Θ修正吸附安置於後述之吸附台3丨之實際 描緣區域a，並施行X· γ軸方向之資料修正。又，工件w • 最後係在形成工件對準標記b之各實際描繪區域&間之區域 • 被切除。而，藉由在對依照各實際描繪區域a被切離之工 件W施行特定之步驟，以製造多數可撓性基板。 又，在使用於本實施型態之工件w，已經形成有晶片零 件（或金屬配線）。而，捲繞工件貿時，為防止形成之晶片 • 零件文到損傷，在工件W上疊合施行壓花加工之長條隔膜 S，工件W上係在疊層隔膜之狀態下被捲繞成滾筒狀，以 供搬入•搬出。 其次，說明有關液滴噴出裝置各裝置。如圖1A及圖 2A-2B所不，描繪裝置2係包含機台u、廣泛載置於機台u 之全域而具有功能液滴噴出頭42之描繪機構12、及以附設 於描繪機構12之方式載置於機台u上之喷頭保養機構13。 描繪機構12具有安置被輸送裝置4導入描繪空間之工件 W之女置σ 21、格載多數功能液滴噴出頭42之噴頭單元 105079.doc 1294828 22垂11又喷頭單元22之支架23、及介著支架23在描繪空間 内使噴頭單元22向X軸方向及Y軸方向移動之χ · γ移動機 構24。又，在此，係以工件w之輸送方向（工件貿之長度方 向）為X軸方向，水平地正交於χ軸方向之方向為丫轴方向 加以說明。 安置台21係配置於臨設於工件W之輸送路徑之描繪空 間，具有吸附安置工件W之吸附台31、及可θ旋轉地支持 吸附台31，且被支持於機台丨丨之㊀台“。在吸附台31之表 面（安置面），形成多數用於吸附工件貿之吸附孔（省略圖 示）。詳見後述，在本實施型態中，可以實際描繪區域施 行描繪處理，吸附台31係構成可吸附安置丨個實際描繪區 域a之大小。 如圖3所示，噴頭單元22係在喷頭板41搭載多數功能液 滴喷出頭42所構成。如圖4Α·4Β所示，功能液滴噴出頭42 係所謂2連式構造，包含具有2連式連接針52之功能液導入 部51、連接於功能液導入部51之2連式噴頭基板53、及連 接於功能液導入部51之下方而形成内部充滿功能液之喷頭 内流路之喷頭本體54。連接針52係連接於圖外之功能液 箱，用於將功能液供應至功能液導入部51。 由空腔55(壓電元件)、具有多數喷嘴58開口之== 噴嘴板56所構成。噴出驅動功能液滴噴出頭42(電壓被施 加至壓電元件）時，可藉空腔55之泵作用由噴嘴58喷出功 能液滴。 又，多數喷嘴58係以等間距(2點間距間隔)整齊排列而 105079.doc 12 1294828 形成2列之分割喷嘴列，2列之分割喷嘴列彼此係互相錯開 1點間距份之位置。即，在功能液滴喷出頭42，利用2列之 分割噴嘴列形成1點間距間隔之喷嘴列，可施行i點間距 (高解像度）之描繪。 在噴頭板41，將多數功能液滴喷出頭42之各喷嘴列配置 成連續於Y軸方向（局部重複）’利用所有之功能液滴喷出 頭42之喷嘴列形成1描繪線。丨描繪線之長度對應於上述之 φ 工件W之貫際描繪區域a之寬長度，故可對工件w有效地施 行描繪。 支架23具有支持噴頭單元22之支架本體61、介著支架本 ， 體61而施行對噴頭單元22之Θ方向（水平面内之）之位置修 _ 正用之θ旋轉機構62、及介著Θ旋轉機構62將支架本體 61(喷頭單元22)支持於χ · γ移動機構24之略j字狀之吊設 構件63。 為對工件w(實際描繪區域a)施行位置修正，在支架本體 # ，介著相機支持臂72搭載著可將其攝像之一對（2個）工件 對準相機71。在本實施型態中，使用位於鄰接於被吸附安 置於吸附台31之實際描繪區域&之一方側（在本實施型態 中，為捲出裝置3側）之一對工件對準標記b作為對準之基 準。而，依據工件對準相機71之攝像結$，可以使作為基

準之一對工件對準標記)3處於特定位置方式，施行工件W 之位置修正。 Χ·Υ移動機構24係包含向义轴方向延伸之χ轴台81、及 介著支架23而將喷頭單元22滑動自如地支持於γ轴方向， 105079.doc 1294828 台 並被支持於X軸台81而谣# 1 而構成可向X軸方向滑動自如之Y轴 82 ° 又軸D 81係由一對又軸移動機構μ所構成，各X軸移動機 構91係被懸架於立設於機台U之多數支支柱92上，且分別 設置於夾著工件W $於、主妨y 一 之輸^路徑而配設之一對支持基台（省略 圖示）上。另外，雖來故® - 、 痒角略圖不，但各X軸移動機構91具有構 成X軸方向之驅動系統之χ軸馬達驅動之X軸滑塊，在各X 軸滑塊，滑動自如地支持Υ軸台82之端。 Υ軸台82係在將兩端支持於χ軸台81之一對χ軸滑塊之γ 軸支持板93 ’格載構成γ軸方向之驅動系、統之γ軸馬達（省 略圖示）、及Υ軸馬達驅動之γ軸滑塊（省略圖示）所構成， 在各Υ軸滑塊，可向γ軸方向移動自如地支持支架23(吊設 構件6 3 )。 茲說明有關描緣處理之—連串之動作。首先，驅動乂轴 而使支架23(噴頭單元22)面臨特定位置，利用 對準相機71攝像工件W。而，依據攝像結果，驅動0台32 以施行實際描繪區域…修正’並施行X軸方向及 向之資料修正。 接著’驅動Χ軸台81，而使噴頭單元22向料方向往 並與此同步地噴出驅動功能液滴喷出頭42，以 =滴之選擇的喷出。喷頭單元22之往動結束時= 軸W，使喷頭翠元⑽轴方向移動特定距離。 工 度知仃X軸台81之㈣、及與此同步之功能液滴 之贺出驅動，並施行喷頭單^之χ轴方向之復動與對 105079.doc 1294828 件w之功能液滴之選擇的喷出。在描繪處理中，交互地重 '行噴頭單元22之對X軸方向之移動及與此同步之功能 商噴出頭42之喷出驅動（主掃描）、與噴頭單元22之對Y *方向之移動（副掃描），藉以使功能液滴喷出頭η在描繪 空間内移動’而將單位描繪圖案料在安置於吸附台以 =件W之實際描繪區域&。又，對丨個實際描繪區域&，由 描1開始後至單位描繪圖案描繪結束之動作為1流水作業

/、广況明有關噴頭保養機構。喷頭保養機構13係用來 謀求功能液滴喷出頭42之功能維持•恢復，包含沖洗單元 101、吸引單元1〇2 1除單元1〇3及噴出*良檢查單元 1〇4。而’此等單元係被臨接配置於喷頭單元η之移動執 跡上’由下側面對著搭載於喷頭單元22之功能液滴喷出頭 42，以施行保養動作。 又，如圖2A_2B所示，吸引單元1〇2、刮除單元1〇3、及

喷出不良檢查單元1G4係設置於立設在機台u上之共通支 j架1〇5上。共通支持架105係由支持吸引單元1〇2、到除 早7C103及噴出不良檢查單元1〇4之共通支持板及排列 配設於Y軸方向而支持共通支持板l〇5a兩端之支柱構件（省 略圖示）所構成。在機台u及共通支持板iQ5a之間產生間

隙，工件W係鑽過此間隙而被送至吸附台川 I 2B) 〇 沖洗單元101係用於接受 嘴58之沖洗（flushing)所喷出 由功能液滴喷出頭42之所有喷 之功能液滴，被配置於上述之 105079.doc • 15 · 1294828 描纷空間，由接受功能液之一對沖洗箱丨u、與將一對沖 洗箱111支持於吸附台31(或Θ台32)之一對箱支持構件112所 構成。 各沖洗箱111係形成平面視呈長方形之細長箱狀，在其 底部敷設吸收功能液之吸收材料（省略圖示）。詳見後述， 被輸送裝置4輸送之工件冒係以夾著吸附台31之前後而向 下側彎曲之狀態被輸送，各沖洗箱丨丨丨係位於接近吸附台 φ 3 1而被配设（蒼照圖2A-2B)。而，各沖洗箱！丨丨之側面視形 狀係模仿所配置之工件貿在吸附台3丨側之形狀所形成。因 此可在各沖洗箱111之底部不會干擾到之情況下，將各 沖洗箱ill配置於吸附台31之附近。又，位於比吸附台31 更接近捲取裝置5側之工件W為防止描繪畢之功能液之下 高不月b大中田’急曲’但如本實施型態之沖洗箱1 u般，採 用對應於工件w之彎曲形狀而形成其側面視形狀時，也可 將沖洗箱ill配設於較小之空間（彎曲部分）。又，吸附台31 馨之捲出裝置3側之工件W之彎曲形狀與捲取裝置5側之工件 W之’弓曲形狀各異，各沖洗箱丨丨丨之側面視形狀也各異（參 照圖 2A-2B)。 / 各箱支持構件112係以使各沖洗箱1U位於工件|之彎曲 部分且其上端面與吸附台31之安置面同一面方式，且使各 冲、先相111 /σ著向吸附台3丨之¥軸延伸之一對邊（周緣）（工件 卜側）方式，將沖洗箱i丨丨支持成由吸附台3 1突出（參照 圖1^及圖2A_2B)。各箱支持構件丨⑽將各沖洗箱hi支持 於θ 口 32，故對吸附台3 1施行θ修正而使其旋轉時，各沖洗 105079.doc -16 - 1294828 箱也會與此同時θ旋轉。 在本實施型態中，將包括吸附台31與夾著此而配設之一 對沖洗箱111之區域設定作為描繪空間，為施行描繪處理 而使工件w在描繪空間内往復移動時，喷頭單元22之功能 液滴噴出頭42在面臨工件W之前，可逐次面臨沖洗箱ιη 而施行沖洗動作（描繪前沖洗）。 又，在本實施型態中，以夾著吸附台31方式設有一對沖 φ 洗箱m，但也可僅設置其中一方。而在將沖洗箱設於捲 出裝置3側之彎曲之情形，也可將其設置於上述之共通支 持架105上。 ^ 如圖1Α及圖2Α_2Β所示，吸引單元102係藉由吸引功能 液滴喷出頭42(喷嘴58)而強制地由噴嘴58排出功能液，具 有欲接於功能液滴喷出頭42之喷嘴面57之多數蓋（省略圖 不）、使蓋對功能液滴喷出頭42(喷嘴面57)接離之 構（省略圖示）、及介著蓋而可吸引功能液滴喷出頭〇之單 _ 「吸引機構(喷射器或吸引泵）。功能液之吸引除了用來施 行消除/防止功能液滴喷出頭42之阻塞以外，也在新設液 滴噴出裝置1之情形或更換功能液滴喷出頭42之噴頭之情 形等時，供將功能液充填至由功能液供應機構至功能液= 噴出頭42之功能液流路之用。 又，蓋具有作為接受在如輸送工件w時等，暫時停止對 工件w之描繪處理時所施行之功能液滴噴出頭之沖洗（定 期沖洗）所噴出之功能液之（定期）沖洗箱之機能。而，工流 水作業流程之描繪處理結束時，喷頭單元22在吸引單元 105079.doc -17- 1294828 102上移動’以施行定期沖洗。藉此，可有效防止工件輸 送時之功能液滴噴出頭42之阻塞。此情形’蓋可藉蓋接離 冓移動至使其上面稍微離開功能液滴噴出頭42之噴嘴面 5 7之位置。 、 蓋在液滴噴出裝置1之非運轉時，也可用來保管功 能液滴噴出頭42。此情形，可藉使喷頭單元22面臨吸引單 元丨〇2，並使蓋密接於功能液滴喷出頭〇之喷嘴面”而將 φ 喷嘴面57封閉，防止功能液滴喷出頭42(喷嘴58)之乾燥。 刮除單元103係利用喷上洗淨液之刮除膜121拭去（刮除） 功能液滴喷出頭42之喷嘴面57,具有一面捲出捲繞成滾筒 狀之刮除膜121，一面將其捲取之捲取單元122將洗淨液喷 灑在捲出之刮除膜121之洗淨液供應單元（省略圖示）、及利 用喷灑洗淨液之刮除膜121拭去喷嘴面57之拭除單元124。 對功能液滴喷出頭42之刮除動作係在吸引單元1〇2吸引 功月b液滴喷出頭42後等施行，可擦拭掉附著於噴嘴面57之 • 污木物。而，刮除單元丨〇3係在χ軸方向被設置於吸附台3工 與吸引單元102之間，在利用吸引單元1〇2吸引後，為施行 描繪處理，可使面臨移動至描繪空間之功能液滴喷出頭42 而有效地施行刮除動作（參照圖1A及圖2A-2B)。 喷出不良檢查單元1〇4係用來檢查搭載於喷頭單元22之 所有功能液滴喷出頭42(喷嘴58)是否適切地喷出功能液， 包含有接爻喷頭單元22之所有功能液滴喷出頭42之所有噴 嘴58所檢查喷出之功能液，以描繪特定之檢查圖案用之被 描繪單元13 1及將描繪在被描繪單元〗3丨之檢查圖案攝像而 105079.doc •18- 1294828 加以檢查之攝像單元（省略圖示）。所攝像之檢查圖案之攝 像結果被發送至控制裝置6,以施行圖像辨識，依據此圖 像辨識’由控制裝置6判斷各功能液滴噴出頭42之各噴嘴 58是正常噴出功能液（無阻塞？）。 又，喷出不良檢查單元104也被設置於吸附台31與吸引 單元102之間（參照圖丨八及圖2A-2B)。因此，可使噴/出不良 檢查單元104面臨為施行定期沖洗而移動至吸附台η之途 φ 巾之喷頭單兀22，以施行喷出不良檢查（未必要移動噴頭 單元22)，可有效地檢查功能液滴噴出頭42是否喷出不 良。 、 其次，依序說明有關捲出裝置3、输送裝置4、捲取裝置 5。如圖1A及圖2A-2B所示，捲出裝置3係配置於附設在機 台11之上流側之捲出機台141 ’具有被旋轉自如地軸支於 圖外之捲出支持架，並安裝有滾筒狀之工件w之捲出捲軸 142及使捲出捲軸142正反旋轉之捲出馬達143。而，當正 φ 轉驅動捲出馬達143而使捲出捲軸142正旋轉時，可將工件 W由捲出捲軸142捲出至輸送裝置4。 又’位於捲出捲軸142之上方，在捲出機台141設有捲取 與工件W同時捲繞於捲出捲軸142之隔膜s之隔膜捲取捲軸 151。隔膜捲取捲軸151係可與來自捲出捲軸ι42之工件w 之捲出同步地捲取隔膜S，並可僅將工件w供應至輸送裝 置4。又，也可將捲出馬達M3兼用作為隔膜捲取捲軸151 之驅動源。 工件W之捲出可與上述描繪處理並行地進行，在描纟合處 105079.doc - 19- I294828

里日守i少可捲出實際描繪區域汪之x軸方向之長度部分， 即捲出供作其次之騎處理狀王㈣之輸送量部分⑽ 水作業流程份)。此情形，被捲出之工件〜會在捲出捲軸 142與輸送裝置4(捲出側輸送滾筒i7i :後述）間發生鬆弛。 即:捲出捲轴142與捲出側輸送滾筒m之間會成為I件w 之'衝區域(空間）。而，在本實施型態中，在此緩衝區 域"又有可藉檢測捲出侧鬆弛之下端位置以檢測工件貿之 捲出里之捲出里感應器丨6丨，依據捲出量感應器16丨之檢測 結果，控制捲出馬達143之驅動。具體上，捲出量感應器 161係配置於對應於捲出旧水作業流程份之工件生 之捲出側鬆弛之下端位置之位置，當捲出量感應器i6i檢 測到捲出側鬆弛之下端位置時，停止捲出馬達143之驅 動。如此，在本實施型態中，可依據工件w之捲出側鬆弛 之鬆弛量控制捲出馬達143，故可施行（特定量之）工件貿之 捲出而不受捲出捲軸142之滾筒徑之影響。 又，使工件W鬆弛之情形，已形成於工件w上之晶片零 件等有可能受到破壞，故需以使捲出側鬆弛不超過特定之 曲率R1之方式設定捲出捲軸142與捲出側輸送滾筒171之距 離並p又置可檢測捲出侧鬆弛之下端位置之下限位置之捲 出側下限位置感應器丨62。 如圖1A及圖2A-2B所示，輸送裝置4係包含配設於捲出 機台141上，且接受由捲出捲軸142被捲出之工件w之捲出 側輸迗滾筒1 71、配設於機台丨丨上，且變更路徑而使由捲 出側輸送滾筒1 71被捲出之工件w鑽過上述之共通支持架 105079.doc -20- 1294828 ι〇5(共通支持板105a之下方）之第1路徑變更滾輪ι72再度變 更路控而使被第1路徑變更滾輪丨72變更路徑之工件W於吸 附台31被水平地輸送之第2路徑變更滾輪ι73配設於設置有 捲取裝置5之捲取機台181(後述）上，用於將描繪畢之工件 至捲取裝置5(捲取捲軸182 ;後述）之捲取側輸送滾筒 以4及使捲取側輸送滾筒174正反旋轉之捲取側輸送馬達 (省略圖示）。捲取側輸送馬達係由附編碼器之伺服馬達或 φ 步進馬達所構成，可利用控制裝置6由其旋轉量掌握工件 W之輸送量。

上述一對沖洗箱111中之一方係配設於被第2路徑變更滾 輪173變更路徑之工件貿之向上傾斜部分，他方係配設於 由及附σ 3 1向下方傾斜被輸送之工件w之傾斜部分。又， 在由吸附台3 1向下方傾斜被輸送之工件w，利用描繪處理 施行利用功能液滴之描繪，故將其傾斜角度設定於不會使 已描緣在；r^W之功能液因傾斜而下滴之角度。捲取側輸 送馬達係由附編碼器之伺服馬達或步進馬達所構成，可利 用控制裝置6由其旋轉量掌握工件w之輸送量。 。利用輸送裝置4輸送工件觀動作係在上述㈤水作業流 私之描緣處理結束後施行，在i流水作業流程之描繪處理 結束時，驅動捲取側輸送馬達。藉此，在作為驅動滾輪之 捲取側輸送滾筒174旋轉之同時，作為從動滾輪之捲出側 輸达滾,171、第!路徑變更滾輪172、第2路徑變更滾輪 173會從動地旋轉。而，在施行1流水作業流程份之工件之 輸送，由安置⑽送出描繪畢之工❹之同時，可將新的 105079.doc -21 - 1294828 部分（實際描繪區域a)送入安置台21。如上所述，在實施型 癌、中’在開始工件W之輸送前，會預先捲出!流水作業流 伤之工件W，故可迅速而高精度地施行工件輸送而不影 響捲出裝置3捲出工件w之動作。 如圖1A及圖2A所示，捲取裝置5係配置於附設在機台^ 之下机側之捲取機台丨8丨，具有被旋轉自如地軸支於圖外 之捲取支持架，用於捲取由輸送裝置4送來之描繪畢之工 φ 件1之捲取捲軸182及使捲取捲軸182正反旋轉之捲取馬達 1 83°而’當正轉驅動捲取馬達183而使捲取捲軸ι82正旋 轉時’可將來自捲取側輸送滾筒174之工件W捲取至捲取 捲軸182。 工件W之捲取動作與工件W之捲出動作同樣地，係與描 繪處理並行地進行。由輸送裝置4(捲取側輸送滾筒17句送 來之（1流水作業流程份之）工件w暫且以鬆弛狀態被送至捲 取裝置5。而在工件w之輸送結束，開始描繪處理時，驅 # 動捲取馬達183而將鬆弛之工件W捲取至捲取捲軸182。此 情形’亦藉檢測鬆弛量（捲取側鬆弛量）施行捲取馬達183之 控制。具體上，對應於捲取1流水作業流程份之工件W時 之捲取側鬆弛之下端位置而配置捲取量檢測感應器19 1， 在捲取量檢測感應器1 9 1檢測捲取侧鬆弛之下端位置時， 可停止捲取馬達1 83之驅動。又，在輸送裝置4，為檢測工 件W之捲取過量’設有檢測捲取側鬆弛之下端位置之上限 位置之捲取側上限感應器192。 又’同圖所示之符號201係供應隔膜S之隔膜供應捲轴，用 105079.doc -22· 1294828 於將隔膜s供應至被捲取之描繪畢之工㈣上。所供應之隔 MS係與工㈣同時被捲取至捲取捲轴182，以防止藉描纷處 理形成在工件W之晶片零件及已形成之元件等受到破壞。 又，請求項中所稱之工件接受機構係由輸送裝置4之一 部分（捲取侧輸送滾筒174、捲取側輸送馬達）與捲取裝置$ 所構成。又，在本實施型態中，係採用利用捲取裝置以滾 筒狀捲取藉捲取侧輸送滾筒m由吸附台31所送交之描纷 •畢之工件1之構成，但接續在描繪裝置2之描縿處理之 後，連續地施行利用其他裝置之處理之情形，則不施行描 繪畢之工件捲取而由捲取側輸送滾筒Μ直接將工件^ 送出至其他裝置。 其次，一面參照圖5，一面說明有關液滴噴出裝置〗之主 控制系。液滴喷出裝置！係包含具有描緣機構12之描綠部 211、具有噴頭保養機構13之噴頭保養部212、具有捲=裴 置3之工件捲出部213、具有輸送裝置4之工件輸送部Η#: • 具有捲取裝置5之工件捲取部215、具有各裝置之各種感應 器類(捲出量感應器161、捲出側下限位置感應器162、捲 取I檢測感應器1 91、捲取側上限感應器丨92)等而施行各 種檢測之檢測部216、具有驅動各部之各種驅動器之動 部2 1 7、及連接於各部以施行整個液滴噴出裝置1之控制 控制部218(控制裝置6)。 控制部218係包含連接各裝置用之介面22ι、具有可暫時 5己憶之記憶區域而被使用作為控制處理用之作業I域、 RAM 222、具有各種記憶區域而記憶控制程式或控制資= 105079.doc •23 - 1294828 之ROM 223、記憶在工件貿施行描繪用之描繪資料及來自 各裝置之各種資料等，並記憶處理各種資料用之程式等之 硬碟224、依照記憶於11〇]^ 223、及硬碟224之程式等施行 各種資料之運算處理之CPU 225、及將此等互相連接之匯 流排226。

控制部21 8係將各裝置送來之各種資料，經由介面22〗輸 入，並依照記憶於硬碟224(或由CD-R〇M驅動器等外部輸 入裝置被依序讀出）之程式使CPU 225施行運算處理，將其 處理結果，經由介面221輸出至各裝置。藉此，統轄控制 各裝置，施行對上述工件W之一連串之處理。 如上所述，在本實施型態之液滴喷出裝置i中，在工件 W之輸送方向之X軸方向，在吸附台31之前後使工件w彎 曲，在此彎曲部分配設沖洗箱ln，故在描繪處理時，可 使拕載於喷頭單元22之所有功能液滴噴出頭42施行描繪前 沖洗，且穩定地在工件W之實際描繪區域&施行描繪。 又，本實施型態之液滴噴出裝置可供形成電阻、線圈、 電容器等之元件及金屬配線等之用，但形成此等元件之步 驟分別個別獨立。^，可將配合各目的之專用之功能液導 入對應於各步驟之多數液滴噴出裝置，並以特定之順序將 工件逐次導人對應於各㈣之多㈣滴噴出裝置使其施行 描繪處理’藉以依序在卫❹上形成此等元件及配線。 "其次’作為利用本實施型態之液滴噴出裝置卜斤製造之 光電装置（平面面板顯示器），以彩色濾光片、液晶顯示裝 置、有機EL裝置、電漿顯示器（清裝置）、電子釋放裝置 105079.doc -24- 1294828 (裝i SED裝置）以及形成於此等顯示裝置所構成之 主動矩陣基板等為例，說明有關此等之構造及其製造方 法又，所謂主動矩陣基板，係指形成有薄膜電晶體及電 性連接於薄膜電晶體之源極線、f料線之基板。 首先，说明有關裝入於液晶顯示裝置或有機£]^裝置之彩 咖片之製造方法。圖12係表示彩色濾光片之製程之流 圖7A E係依製私順序所示之本實施型態之彩色濾光片 φ 6〇〇(濾光片基體6〇〇A)之模式剖面圖。 首先，在黑矩陣形成步驟（S101)，如圖7A所示，在基板 (W)601上形成黑矩陣6〇2。黑矩陣6〇2係利用金屬鉻、金屬 鉻與氧化鉻之疊層體或樹脂黑等所形成。為形成金屬薄膜 構成之黑矩陣602，可使用濺射法或蒸鍍法。X，形成樹 脂薄膜構成之黑矩陣602之情形，可使用凹版印刷法、光 阻法、熱轉印法等。 接著，在堤岸形成步驟（S102)，以重疊於黑矩陣6〇2上 籲之狀態形成堤岸603。即’首先，如圖7B所示，以覆蓋基 板6〇1及黑矩陣602方式形成負型之透明感光性樹脂構成之 光阻層604。而，以形成為矩陣圖案之形狀之遮罩膜6〇5覆 蓋其上面之狀態施行曝光處理。 另外，如圖7C所示，將光阻層6〇4之未曝光部分蝕刻處 理而將光阻層604圖案化，以形成堤岸6〇3。又，利用樹脂 黑形成黑矩陣之情形，也可將黑矩陣與堤岸兼併使用。 此堤岸603與其下之黑矩陣6〇2係構成劃分各晝素區域 6〇7a之劃分壁部607b，在後面之著色層形成步驟中，利用 105079.doc -25- 1294828 功月匕/夜滴噴出頭42形成著色層（成膜部）6〇8R、6〇8G、608B 之際’用來規定功能液滴之命中區域。 、、’二由以上之黑矩陣形成步驟及堤岸形成步驟，可獲得上 述濾光片基體600A。 又’在本實施型態中，使用塗膜表面呈現疏液（疏水）性 之樹脂材料作為堤岸6〇3之材料。而，基板（玻璃基板）6〇1 表面為親液（親水）性，故在後述之著色層形成步驟中，可 φ 提同對堤岸603(劃分壁部607b)所包圍之各晝素區域6〇7a之 液滴之命中位置精度。 其次’在著色層形成步驟（S 1〇3)中，如圖7D所示，利用 力月b液滴喷出頭42喷出功能液滴而使其命中劃分壁部6〇7b 所圍成之各晝素區域607&内。此情形，係利用功能液滴喷 出頭42導入R· G · 3之3色功能液（濾光片材料），以施行功 月b液滴之喷出。又，作為R · G · B之3色之排列圖案，有 條狀排列、鑲嵌排列及三角排列等。 鲁其後’經烘乾處理（加熱等之處理）而將功能液固定，以 形成3色之著色層6〇8R、608G、608B。形成著色層608R、 608G、608B後，移至保護膜形成步驟（81〇4)，如圖几所 示’以覆蓋基板601、劃分壁部607b、及著色層608R、 608G、608B方式形成保護膜609。 即，將保護膜用之塗敷液喷出於形成基板6〇丨之著色層 608R、608G、608B之全面後，經烘乾處理而形成保護膜 609 〇 而’形成保遵膜6 0 9後’彩色滤光片6 0 0轉移至次步驟之 105079.doc -26- 1294828 作為透明電極之1TOQndium Tin Oxide :銦錫氧化物）等之 附膜步驟。 圖8係表不作為使用上述彩色濾光片6〇〇之液晶顯示襞置 例被動矩陣型液晶裝置（液晶裝置）之概略構成之要部 口J面圖。在此液晶裝置62〇安裝液晶驅動用ic、背光源、 支持體等附帶元件時，可獲得作為最終製品之穿透型液晶 顯不裝置。又，彩色濾光片600因與圖7A-7E所示相同，故 φ 在對應之部位附以同一符號而省略其說明。 此液晶裝置620係由彩色濾光片6〇〇、玻璃基板等構成之 相向基板621及挾持於此等之間之STN(Super Twisted matic ·超扭轉向列）液晶組成物構成之液晶層622所概 略構成，將彩色濾光片600配置於圖中上側（觀察者侧）。 又’雖未圖示，但在相向基板621及彩色濾光片6〇〇之外 面（與液晶層622側相反側之面），分別配設有偏光板，且在 位於相向基板621側之偏光板之外側配設有背光源。 瞻 在彩色濾光片600之保護膜609上（液晶層側），於圖8之 左右方向以特定間隔形成多數長條之長方形狀之第丨電極 623，以覆蓋此第！電極623之彩色濾光片6〇〇側之相反側之 面方式形成第1定向膜624。 另一方面，在相向基板021朝向彩色濾光片6〇〇之面，於 正乂於彩色;慮光片6 0 0之第1電極6 2 3之方向，以特定間隔 形成多數長條之長方形狀之第2電極626，以覆蓋此第2電 極626之液晶層622侧之面方式形成第2定向膜627。此等第 1電極623及第2電極626係利用ITO等透明導電材料所形 105079.doc -27- 1294828 成。 設於液晶層622内之隔層628係用於將液晶層622之厚度 (元件間隙）保持於一定用之構件。又，密封材料629係用來 防止液晶層622内之液晶組成物漏出外部之構件。又，第1 電極623之一端部係延伸至密封材料629之外側，作為外環 配線623a。 而，第1電極623與第2電極626交叉之部分為畫素，並構 φ 成使彩色濾光片600之著色層608R、608G、608B位於作為 此畫素之部分。 在通常之製程中，在彩色濾光片600，施行第1電極623 之圖案化及第1定向膜624之塗敷而形成彩色濾光片6〇〇側 之部份，並與此個別獨立地在相向基板621，施行第2電極 626之圖案化及第2定向膜627之塗敷而形成相向基板621側 之部份。其後，在相向基板621側之部分形成隔層628及密 封材料629，在此狀態下，貼合彩色濾光片6〇〇側之部份。 馨 接著，由密封材料629之注入口注入構成液晶層022之液 晶，並將注入口封閉。其後，疊層兩偏光板及背光源。 實施型態之液滴喷出裝置丨例如係在塗敷構成上述元件 間隙之隔層材料（功能液），並在相向基板62丨側之部份貼合 彩色濾光片600側之部份之前，可將液滴（功能液）均勻地塗 敷於密封材料629所圍成之區域。又，上述密封材料629之 印刷也可利用功能液滴噴出頭42施行。另外，第i •第2兩 定向膜624、627之塗敷也可利用功能液滴噴出頭42施行。 圖9係表示使用在本實施型態中製造之彩色濾光片6〇〇之 105079.doc •28- !294828 液晶裝置之第2例之概略構成之要部剖面圖。 此液晶裝置630與上述液晶裝置620大不相同之點在於將彩 色濾光片6 0 0配置於圖中下側（與觀察者側相反之側）之點上。 此液晶裝置630係在彩色濾光片600與玻璃基板等構成之 相向基板63 1之間挾持STN液晶構成之液晶層632所概略構 成。又，雖未圖示，但在相向基板631及彩色濾光片6〇〇之 外面分別配設偏光板等。 在彩色濾光片600之保護膜609上（液晶層632側），於圖 中之縱深方向以特定間隔形成多數長條之長方形狀之第1 電極633，以覆蓋此第i電極633之液晶層632側之面方式形 成第1定向膜634。 在相向基板631朝向彩色濾光片600之面上，於正交於彩 色遽光片600側之第1電極633之方向，以特定間隔形成多 數長條之長方形狀之第2電極636，以覆蓋此第2電極636之 液晶層632側之面方式形成第2定向膜637。 在液晶層632内，形成將此液晶層632之厚度保持於一定 用之隔層638、與防止液晶層632内之液晶組成物漏出外部 用之密封材料639。 而，與上述液晶裝置62〇同樣地，第1電極633與第2電極 636交又之部分為畫素，並構成使彩色濾光片6〇〇之著色層 608R、608G、608B位於作為此晝素之部分。 圖10係表示使用適用本發明之彩色濾光片600構成液晶 裝置之第3例，表示穿透型之TFT(Thin Film Transistor :薄 膜電晶體）型液晶裝置之概略構成之分解立體圖。 105079.doc -29- 1294828 此液晶裝置650係將彩色濾光片6〇〇配置於圖中上側（觀 察者側）。 此液晶裝置650係利用彩色濾光片6〇〇、配置成與此相向 之相向基板651、挾持於此等之間之未圖示之液晶層、配 置於彩色濾光片600之上面側（觀察者側）之偏光板655及配 置於相向基板65 1之下面侧之偏光板（省略圖示）所概略構 成。 φ 在彩色濾光片600之保護膜609表面（相向基板651側之 面）形成液晶驅動用電極656。此電極656係由IT〇等透明導 電材料所構成’成為覆蓋形成後述晝素電極66〇之全區域 之全面電極。又，在覆蓋電極656與畫素電極660相反側之 面之狀態設有定向膜657。 在相向基板651朝向彩色濾光片6〇〇之面形成有絕緣層 658，在此絕緣層658上以互相正交狀態形成掃描線66ι及 k號線662。在此等掃描線661與信號線662圍成之區域内 # 形成晝素電極660。又，在實際之液晶裝置中，在晝素電 極660上設有定向膜，唯在此省略其圖示。 又，在晝素電極660之缺口部及掃描線661與信號線662 圍成之部份，裝入具備源極電極、汲極電極、半導體及閘 極電極之薄膜電晶體663而構成液晶裝置。又，可藉對掃 描線661與信號線662施加電壓，而構成可使薄膜電晶體 663通電•斷電以施行對晝素電極66〇之通電控制。 又，上述液晶裝置620、630、650雖採用穿透型之構 成，但亦可設置反射層或半穿透反射層而構成反射型之液 105079.doc -30- 1294828 晶裝置或半穿透反射型之液晶裝置。 八人，圖11係有機EL裝置之顯示區域（以下僅稱液晶裝 置700)之要部剖面圖。 此液晶裝置700係在基板（w)701上以疊層電路元件部 7〇2、發光元件部703及陰極7〇4之狀態所概略構成。 在此液晶裝置700中，由發光元件部7〇3向基板7〇1側發 射之光係穿透電路元件部702及基板701而向觀察者側出 射，且由發光元件部7〇3向基板7〇1之相反側發射之光經陰 極704反射後，穿透電路元件部7〇2及基板7〇1而向觀察者 側出射。 在電路元件部702與基板701間形成矽氧化膜構成之底層 保護膜706，在此底層保護膜706上（發光元件部7〇3側）形成 多晶矽膜構成之島狀之半導體膜7〇7。在此半導體膜7〇7之 左右區域，利用高濃度陽離子植入分別形成源極區域7〇7a 及/及極區域7〇7b。而，未被陽離子植入之中央部則成為通 道區域7 〇7c。 又’在電路元件部702，形成覆蓋底層保護膜706及半導 體膜707之透明之閘極絕緣膜708。在對應於此閘極絕緣膜 708上之半導體膜707之通道區域707c之位置，形成例如由 Al、Mo、Ta、Ti、W等構成之閘極電極709。在此閘極電 極709及閘極絕緣膜708上，形成透明之第1層間絕緣膜 711a、第2層間絕緣膜711b。又，貫通第1、第2層間絕緣 膜711a、711b而形成分別連通半導體膜707之源極區域 707a、汲極區域707b之接觸孔712a、712b。 I05079.doc -31- 1294828 而，在第2層間絕緣膜711bJl，以@案化成特定形狀而 形成ITO等構成透明之畫素電極713，此畫素電極713係通 過接觸孔712a而連接於源極區域707a。 又，在第1層間絕緣膜711a上配設電源線714，此電源線 714係通過接觸孔712b而連接於汲極區域7〇几。 如此，在電路元件部702分別形成連接於畫素電極713之 驅動用之薄膜電晶體71 5。 φ 上述發光元件部7〇3係由分別疊層於各晝素電極713之功 能層717、設於各晝素電極713及功能層717間而劃分各功 能層717之堤岸部718所概略構成。 利用晝素電極713、功能層717、及配設於功能層717上 之陰極704構成發光元件。又，晝素電極713係被圖案化成 平面視呈略矩形所形成，在各晝素電極713間形成堤岸部 718 〇 堤岸部718例如係由810、8丨〇2、丁丨〇2等無機材料形成之 • 無機物堤岸層718a(第1堤岸層）、及疊層於此無機物堤岸層 71 8a上而由丙稀酸樹脂、聚醯亞胺樹脂等耐熱性、耐溶劑 性優異之光阻形成之剖面梯形之有機物堤岸層718b(第2堤 岸層）所構成。此堤岸部718之一部分係以搭在畫素電極 7 13之週緣部上之狀態形成。 而’在各堤岸部71 8之間，形成對畫素電極7丨3向上逐漸 擴開之開口部719。 上述功能層71 7係由在開口部719内以疊層於晝素電極 7 13上之狀態形成之電洞注入/輸送層71 7 a、及形成於此電 105079.doc -32- 1294828 洞注入/輸送層717a上之發光層717b所構成。又，也可鄰 接於此發光層717b而形成具有其他功能之其他功能層。例 如也可形成電子輸送層。 電洞注入/輸送層717a具有由晝素電極713側輸送電洞而 將其注入發光層717b之機能。此電洞注入/輸送層71〜係 利用喷出含電洞注入/輸送層形成材料之第丨組成物（功能 液）所形成。作為電洞注入/輸送層形成材料，使用習知之 材料。 發光層7171)可發射紅色^)、綠色（(3)或藍色（6)中之一種 色光，係利用喷出含發光層形成材料（發光材料）之第2組成 物（功能液）所形成。作為第2組成物之溶劑（非極性溶劑）， 最好使用不溶於電洞注入/輸送層717a之習知之材料。在 發光層717b之第2組成物使用此種非極性溶劑，可形成發 光層717b而不會使其再溶解電洞注入/輸送層717&。 而’構成在發光層717b，使由電洞注入/輸送層717&注 入之電洞與由陰極704注入之電子在發光層再耦合而發 光。 陰極704係以覆蓋發光元件部703之全面之狀態形成，與 晝素電極713成對而發揮使電流流至功能層7丨7之作用。 又，在此陰極704上部配置有未圖示之封閉構件。 其次，一面參照圖12〜圖20，一面說明上述顯示裝置7〇〇 之製程。此顯示裝置700如圖12所示，係經由堤岸部形成 步驟（S111)、表面處理步驟（S112)、電洞注入/輸送層形成 步驟（S113)、發光層形成步驟（S114)及相向電極形成步驟 105079.doc -33- 1294828 (S 11 5 )所製成。又’製程並不限定於例示之製程，可依照 需要而有排除其他步驟之情形，及追加之情形。 首先，在堤岸部形成步驟（Sill)，如圖13所示，在第2層 間絕緣膜71 lb上形成無機物堤岸層718a。此無機物堤岸層 71 8a係在形成位置形成無機物膜後，利用光微影照相技術 等將此無機物膜圖案化所形成。此時，無機物堤岸層7丨 之一部分係形成與畫素電極713之周緣部重疊。 形成無機物堤岸層71 8a後，如圖14所示，在無機物堤岸 層718a上形成有機物堤岸層718b。此有機物堤岸層718]3也 與無機物堤岸層718a同樣利用光微影照相技術等將其圖案 化所形成。 以如此方式形成堤岸部718。又，與此同時，在各堤岸 部718間形成對晝素電極713向上方開口之開口部719。此 開口部719規定畫素區域。 在表面處理步驟（S112)，施行親液化處理及撥液化處 理。施行親液化處理之區域為無機物堤岸層718a之第1疊 層部718aa及畫素電極713之電極面713a，此等區域例如係 利用以氧為處理氣體之電漿處理將表面處理成親液性。此 電漿處理也兼施行畫素電極713之ITO之洗淨等。 又，撥液化處理係在有機物堤岸層718b之壁面71 8s及有 機物堤岸層718b之上面718t施行，例如利用以4氟化曱烧 為處理氣體之電漿處理將表面氟化處理（處理成撥液性）。 藉施行此表面處理步驟，在利用功能液滴噴出頭42形成 功能層717之際，可使功能液滴更確實命中晝素區域，且 】05079.doc _ 34 · 1294828 可防止命中書夸ρ々 ~ l b域之功能液濟由開口部719溢出。 而 5、名里由1 夕十 曰 ' 之V驟，可獲得液晶裝置基體700Α。此液 +破置基體7〇〇α係被載置於圖1Α所示之液滴噴出裝置}之 女置〇21 ’被施行以下之電洞注入/輸送層形成步驟（SU3) 及發光層形成步驟（S114)。 如圖15所示，在電洞注入/輸送層形成步驟（S113)中，利 用力月匕液滴噴出頭42向4素區域之各開口部719内喷出含 • 電洞'主入/輸送層形成材料之第1組成物。其後，如圖16所 不，施仃烘乾處理及熱處理，蒸發第1組成物所含之極性 溶劑，在晝素電極（電極面713&)713上形成電洞注入/輸送 層 717a〇 其次，說明有關發光層形成步驟（S114)。在此發光層形 成步驟中，如上所述，為防止電洞注入/輸送層717a之再 >谷解’作為發光層形成之際使用之第2組成物之溶劑，使 用不溶於電洞注入/輸送層717&之非極性溶劑。 •仁’另一方面’電洞注入/輸送層71 7 a對非極性溶劑之 親和性較低，故即使將含非極性溶劑之第2組成物噴出於 電洞注入/輸送層717a上，也會有不能使電洞注入/輸送層 71 7a與發光層71 7b密接或不能均勻地塗敷發光層71几之 虞。 因此’為k而對非極性溶劑及發光層形成材料之電洞注 入/輸送層71 7a之表面之親和性，最好在發光層形成前施 行表面處理（表面改性處理）。此表面處理係利用將與發光 層形成之際使用之第2組成物之非極性溶劑同一溶劑或類 105079.doc -35- 1294828 似溶劑之表面改性材料塗敷於電洞注入/輸送層7丨7a上， 將其供乾之方式施行。 施行此種處理時，電洞注入/輸送層717a之表面容易與 非極性溶劑親和，在其後之步驟中，可將含發光層形成材 料之第2組成物均勻地塗敷於電洞注入/輸送層717a上。 而，其次，如圖17所示，將含對應於各色中之一色（在 圖17之例中為藍色（B))之發光層形成材料之第2組成物特定 φ 量喷入畫素區域（開口部719)内作為功能液滴。喷入畫素區 域之第2組成物會在電洞注入/輸送層71以上擴散而充滿開 口邛719内。又，萬一第2組成物超出晝素區域而命中於堤 岸邛71 8之上面71 8t之情形，也由於此上面718t如上所述已 被施行撥液處理’故容易使第2組成物滾入開口部7 19内。 其後’藉施行烘乾處理等，將喷出後之第2組成物烘乾 處理，蒸發第2組成物所含之非極性溶劑，如圖丨8所示， 在電洞注入/輸送層717a上形成發光層7i7b。本圖之情 鲁形’形成對應於藍色（B)之發光層717b。 決定形成之順序。 有條狀排列、鑲嵌 ^同樣地，使用功能液滴噴出頭42，如圖19所示，逐次施 仃”對應於上述藍色（B)之發光層717b之情形同樣之步 开v成對應於其他色（紅色（R)及綠色（B))之發光層 又’發光層717b之形成順序並不限定於例示之順 序可以任何順序形成。例如，也可依照發光層形成材料 斤。又，作為R · G · B之3色之排列圖案， 鑲嵌排列及三角排列等。 利用如上方式， 式’可在晝素電極713上形成功能層717，即 105079.doc -36 - 1294828 形成電洞注入/輸送層717a及發光層717b。而後，轉移至 相向電極形成步驟（S 115)。 在相向電極形成步驟（S115)中，如圖2〇所示，在發光層 717b及有機物堤岸層718b之全面例如以蒸鍍法、濺射法、 CVD法等形成陰極7〇4(相向電極）。此陰極7〇4在本實施型 態中，例如利用疊層鈣層與鋁層所構成。 在此陰極704之上部，適宜地設置作為電極之A1膜、Ag φ 膜、及其氧化防止用之Si〇2、SiN等保護層。 如此，形成陰極704後，藉施行利用封閉構件封閉此陰 極704之上部之封閉處理及配線處理等之其他處理等，而 獲得顯示裝置700。 其次，圖21係電漿型顯示裝置（PDP裝置；以下僅稱顯示 裝置800)之要部分解立體圖。又，在同圖中，將顯示裝置 8 0 0以局部切剖狀態予以表示。 此顯示裝置800係由互相相向地配置之第1基板8〇 1、第2 • 基板802、及形成於此等之間之放電顯示部803所概略構 成。放電顯示部803係由多數放電室8〇5所構成。此等多數 放電室805中，紅色放電室805R、綠色放電室8〇5G、藍色 放電室805B之3個放電室805成組被配置構成1個畫素。 在弟1基板8 01之上面以特定間形成條狀之位址電極 806，以覆蓋此位址電極806與第1基板8〇1上面方式形成有 電介質層807。在電介質層807上，以位於各位址電極806 間且沿著各位址電極806方式立設隔牆808。此隔墻808包 含如圖所示向位址電極806之寬方向兩側延伸之隔墙、與 105079.doc -37- 1294828 向正交於位址電極806之方向延伸之未圖示之隔墙。 而，被此隔墙808所分隔之區域則成為放電室805。 在放電室805内配置螢光體809。螢光體809係用於發出 紅（R)、綠（G)、藍（B)中之一色螢光，在紅色放電室8〇5R 之底部配置著紅色螢光體809R，在綠色放電室805G之底 部配置著綠色螢光體809G，在藍色放電室805B之底部配 置著藍色螢光體809B。 φ 在第2基板802之圖中下側之面，於正交於上述位址電極 806之方向，以特定間形成條狀之多數顯示電極811。而， 以復蓋此等之方式形成電介質層812、及MgO等構成之保 護膜813。 第1基板801與第2基板802係以使位址電極8〇6與顯示電 極811互相正交狀態相向地被貼合。又，上述位址電極8〇6 與顯示電極8 11係被連接於未圖示之交流電源。 而，藉使各電極806、811通電，可在放電顯示部8〇3中 % 激發螢光體809使其發光，以施行彩色顯示。 在本貫施型態中’可利用圖1A所示之液滴噴出裝置i形 成上述位址電極806、顯示電極811及螢光體8〇9。以下， 舉例說明第1基板801之位址電極806之形成步驟。 此情形’係在將第1基板8 0 1載置於液滴噴出裝置1之安 置台2 1之狀態下施行以下之步驟。 首先，作為功能液滴噴出頭42，使含有導電膜配線形成 用材料之液體材料（功能液）命中位址電極形成區域。此夜 體材料係使金屬等導電性微粒子分散於分散媒中，以作為 105079.doc • 38 - 1294828 導電膜配線形成用材料。作為此導電性微粒子，使用含有 金、銀、鋼、鈀或鎳之金屬微粒子、或導電性聚合物等。 對作為補充對象之所有位址電極形成區域，完成液體材 料之補充後，將喷出後之液體材料烘乾處理，藉蒸發液體 材料所含之分散媒，以形成位址電極8〇6。 而，在上述中，雖舉列說明位址電極8〇6之形成情形， 但上述顯示電極811及螢光體8〇9也可經由上述各步驟形 • 成。 形成顯示電極811之情形，與位址電極8〇6之情形同樣 地，使含有導電膜配線形成用材料之液體材料（功能液）命 中顯示電極形成區域，以作為功能液滴。 又，形成螢光體809之情形，由功能液滴喷出頭42噴出 含有對應於各色（R、G、B)之螢光材料之液體材料（功能 液）以作為液滴，使其命中對應色之放電室8 〇 5内。 其次’圖22係電子釋放裝置（又稱FED裝置或SED装置， # 以下僅稱顯示裝置900)之要部剖面圖。又，在同圖中，以 剖面表示顯示裝置900之一部分。 此顯示裝置900係由互相相向地配置之第1基板9〇ι、第2 基板902及形成於此等之間之電場釋放顯示部9〇3所概略構 成。電％釋放顯示部9 0 3係由配置成矩陣狀之多數電子釋 放部905所構成。 在第1基板901之上面，構成陰極電極906之第1元件電極 9〇6a及第2元件電極906b係以相互正交方式形成。又，在 被第1元件電極9〇6a及第2元件電極906b所分隔之部份，形 105079.doc -39- 1294828 成有形成間隙908之導電性膜9〇71,利肖第」元件電極 9〇6a、第2元件電極嶋及導電性膜贿構成多數之電子釋 放部905。導電性膜907例如係由氧化纪（pd〇)等所構成， 又’間隙908係在導電性臈907成膜後，以成型模等形成。 在第2基板902之下面，形成與陰極電極9〇6對峙之陽極 電極909。在陽極電極909之下面形成格子狀之堤岸邙 911 ’在此堤岸部911所包圍之向下之各開口部912，以對 應於電子釋放部905方式配置榮光體913。螢光體913係用 於發出紅（R)、綠（G)、藍（B)中之一色螢光，在各開口部 912,以上述特定圖案配置著紅色螢光體9i3R、綠色螢光 體913G及藍色螢光體913B。 而，如此所構成之第丨基板901與第2基板902係隔著微小 之間隙相貼合。在此顯示裝置900中，可介著導電性膜（間 隙9〇8)907，由陰極之第！元件電極9〇6a或第2元件電極 9〇6b迸出之電子碰撞到形成於陽極之陽極電極9〇9之螢光 φ 體913而激發發光，並施行彩色顯示。 此情形，也與其他實施型態同樣地，可利用液滴噴出裝 置1形成第1元件電極906a、第2元件電極9〇6b、導電性膜 907及陽極電極909 ’並可利用液滴喷出裝置丨形成各色螢 光體 913R、913G、913B。 第1兀件電極906a、第2元件電極9〇6b及導電性膜9〇7具 有如圖23A所示之平面形狀，欲將此等成膜之情形，如圖 23B所示’事先留下形成第1元件電極9〇6&、第之元件電極 906b及導電性膜9〇7之部份，而形成（利用光微影照相法）堤 105079.doc -40- 1294828 岸部BB。其次，在堤岸部BB所構成之溝部分形成（利用液 滴喷出裝置1之噴墨法）第i元件電極906a及第2元件電極 9〇6b，烘乾其溶劑而成膜後，形成（利用液滴喷出裝置^之 喷墨法）導電性膜907。而，在導電性膜9〇7成膜後，除去 堤岸部BB(灰化剝離處理），並轉移至上述之成型模處理。 又，與上述有機EL裝置之情形同樣地，最好施行對第^基 板901及第2基板902之親液化處理及對堤岸部9n、BB之撥 ^ 液化處理。 又，作為其他光電裝置，可考慮金屬配線形成、透鏡形 成、光阻形成及光擴散形成等之裝置。可藉將上述液滴喷 出裝置1使用於各種光電裝置（元件）之製造，而有效地製造 各種光電裝置。 【圖式簡單說明】 圖1A-B係本發明之實施型態之液滴喷出裝置之說明圖， 1A係液滴噴出裝置之平面圖，18係工件之放大平面圖。 • 圖2A_B係本發明之實施型態之液滴喷出裝置之說明圖， 2A係液滴喷出裝置之側面圖，2]5係工件之安置台周圍之 放大側面圖。 圖3係噴頭板周圍之平面圖。 圖4A-B係功能液滴噴出頭之外觀立體圖。 圖5係說明有關液滴噴出裝置之主控制系之區塊圖。 圖6係說明彩色濾光片製程之流程圖。 圖7A-E係依製程順序所示之彩色濾光片之模式剖面圖。 圖8係表示使用適用本發明之彩色濾光片之液晶裝置之 105079.doc 1294828 概略構成之要部剖面圖。 圖9係表示使用適用本發明之彩色濾光片之第2例之液晶 裝置之概略構成之要部剖面圖。 圖10係表示使用適用本發明之彩色滤光片之第3例之液 晶裝置之概略構成之要部剖面圖。 圖11係有機EL裝置之顯示裝置之要部剖面圖。 圖12係說明有機EL裝置之顯示裳置之製程之流程圖。 φ 圖13係說明無機物堤岸層之形成之步驟圖。 圖14係說明有機物堤岸層之形成之步驟圖。 圖15係說明電洞注入/輸送層之形成過程之步驟圖。 圖16係說明電洞注入/輸送層之形成狀態之步驟圖。 圖17係說明藍色發光層之形成過程之步驟圖。 圖18係說明藍色發光層之形成狀態之步驟圖。 圖19係說明各色發光層之形成狀態之步驟圖。 圖20係說明陰極之形成之步驟圖。 • 圖2 1係電漿型顯示裝置（PDP裝置）之顯示裝置之 解立體圖。 、要邹分 圖22係電子釋放裝置（FED裝置）之顯示 圖。 1之要部剖面 圍之平面

圖23 A-B係表示顯示裝置之電子釋放部周 (23A)及其形成方法之平面圖（23B)。 【主要元件符號說明】 液滴喷出裝置 描繪裝置 105079.doc -42- 1294828

3 捲出裝置 4 輸送裝置 5 捲取裝置 6 控制裝置 21 安置台 31 吸附台 32 Θ台 42 功能液滴喷出頭 71 工件對準相機 101 沖洗單元 111 沖洗箱 142 捲出捲軸 182 捲取捲軸 W 工件 a 實際描繪區域 b 對準標記 105079.doc -43 -

Claims (1)

1. ψψ ·· · ο -^»ηΐΗ < I之94祕833164號專利申請案 m'x 中文申請專利範圍替換本(95年12月） 年月 十、申請專利範圍： 1 · 一種液滴喷出裝置，其特徵在於其係對長度方向設有多 數描繪區域之工件施行描繪者，包含 吸附台，其係配設於描繪空間，用於吸附安置前述工 件者； 捲出機構’其係間歇地捲出前述工件，在彎曲之狀態 將前述工件導入前述吸附台者；

   描繪機構，其係含有功能液滴喷出頭，對前述描繪空 間，一面使前述功能液滴噴出頭相對地移動，一面喷出 驅動功能液滴噴出頭，藉以在被吸附安置之前述工件施 行描繪者； 工件接受機構，其係在彎曲之狀態由前述吸附台接受 已描繪之前述工件者；及 沖洗單元，其係將接受由功能液滴喷出頭之噴出之沖 洗箱配設成收容於前述工件之彎曲部分之至少一方者。 2 ·如請求項1之液滴噴出裳置，其中 在前述工件設有對應於各描繪區域而施行各描繪區域 之位置修正用之對準標記，且進一步包含 攝像前述對準標記而辨識圖像之圖像辨識機構；及 θ台，其可轉動地支持前述吸附台’依據前述圖 識機構之圖像辨識，修正對前述功能液滴噴、、 描繪區域之水平面内之位置者。 剐述 3·如請求項2之液滴嗔出裝置，其中前述 於前述Θ台者。 目你破支持 105079-951215.doc 1294828 七修(更)正替換頁 明求項1至3中任-項之液滴噴出裝置，其中前述沖f 箱係對應於前述f曲部分之前述吸附台侧之傾斜被形成 者。 l如請求&之㈣喷出裝置’其中前述卫件接受機構係 捲取前述工件者。 6. -種工件，其特徵在於其係由如請求们之液滴噴出裝 置所描繪者。 7·如請求項6之工件，其係安裝有電子零件之可挽性基板 者0 8. —種光電裝置之製造方法，其特徵在於利用如請求項】 之液滴喷出裝置，在前述工件上形成功能液滴所成之成 膜部者。 9. 一種光電裝置，其特徵在於利用如請求項丨之液滴噴出 裝置’在前述工件上形成功能液滴所成之成膜部者。 10· —種電子機器，其特徵在於搭載利用如請求項8之光電 裝置之製造方法所製造之光電裝置、或搭載如請求項9 之光電裝置者。 105079-951215.doc 1294828 七、指定代表圖·· (一) 本案指定代表圖為：第（2)圖。 (二) 本代表圖之元件符號簡單說明：

   1 液滴喷出裝置 2 描繪裝置 3 捲出裝置 4 輸送裝置 11 機台 12 描繪機構 21 安置台 22 喷頭單元 23 支架 24 X · Y移動機構 31 吸附台 32 Θ台 61 支架本體 62 Θ旋轉機構 63 吊設構件 71 工件對準相機 72 相機支持臂 81 X軸台 101 沖洗單元 102 吸引單元 103 刮除單元 104 噴出不良檢查單元 105 共通支持架 105079.doc 1294828 105a 共通支持板 111 沖洗箱 112 箱支持構件 121 刮除膜 122 捲取單元 124 拭除單元 131 描繪單元 141 捲出機台

   142 捲出捲軸 151 隔膜捲取捲軸 161 捲出量感應器 162 捲出側下限位置感應器 171 捲出側輸送滾筒 172 第1路徑變更滾輪 173 第2路徑變更滾輪 174 捲取側輸送滾筒

   181 捲取機台 182 捲取捲軸 191 捲出量檢測感應器 192 捲出側上限感應器 S 隔膜 W 工件 八、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式·· (無） 105079.doc