TWI291707B - A longitudinal mode optical latching relay - Google Patents

Description

1291707 玖、發明說明： 【發明戶斤屬之技術領域】 相關申請案資料 本案係有關於下列依序排列之美國專利申請案，它們 5 與本案的申請人皆為相同，且其内容與本案有關並附送參 考： 2002年5月2日之申請案10010448-1，名稱為“壓電致動 的液態金屬開關”，案號為10/137691 ; 與本案申請日相同之申請案10010529-1，名稱為“彎曲 10 型閂鎖繼電器”。 與本案申請日相同之申請案10010531-1，名稱為“高頻 彎曲型閂鎖繼電器’’； 2002年5月2日之申請案10010570-1，名稱為“壓電致動 的液態金屬開關’’，案號為10/142076 ; 15 與本案申請日相同之申請案10010571-1，名稱為“具有 接觸面之高頻液態金屬閂鎖繼電器； 與本案申請日相同之申請案10010572-1，名稱為“具有 接觸面之液態金屬閂鎖繼電器”； 與本案申請日相同之申請案10010573-1，名稱為“插入 20 式液態金屬閂鎖繼電器”； 與本案申請日相同之申請案10010617-1，名稱為“高頻 液態金屬閂鎖繼電器陣列”； 與本案申請日相同之申請案10010618-1，名稱為“插入 式液態金屬閂鎖繼電器陣列”； 1291707 與本案申請日相同之申請案10010634-1，名稱為“液態 金屬光學繼電器”； 2001年10月31日之申請案10010640-1，名稱為“一種縱 向壓電式光學閂鎖繼電器”，案號為09/999590 ; 5 與本案申請日相同之申請案10010643-1，名稱為“剪切 型液態金屬開關”； 與本案申請日相同之申請案10010644-1，名稱為“彎曲 型液態金屬開關”； 與本案申請日相同之申請案10010656-1，名稱為“縱向 10 型光學閂鎖繼電器”； 與本案申請日相同之申請案10010663-1，名稱為“用於 推動式壓電致動的液態金屬開關之方法和結構”； 與本案申請日相同之申請案10010664-1，名稱為“用於 推動式壓電致動的液態金屬光學開關之方法和結構”； 15 2002年12月12日之申請案1001079CM，名稱為“開關及 其製法”； 與本案申請日相同之申請案10011055-1，名稱為“具有 彎曲切換桿之高頻閂鎖繼電器”； 與本案申請日相同之申請案10011056-1，名稱為“具有 20 切換桿之閂鎖繼電器”； 與本案申請日相同之申請案10011064-1，名稱為“高頻 推動式閂鎖繼電器”； 與本案申請日相同之申請案10011065-1，名稱為“推動 式閂鎖繼電器”； 1291707 與本案申請曰相同之申請案1001Π21-1，名稱為“封閉 迴路壓電泵”； 2002年5月2日之申請案10011329-1，名稱為“固體蕊心 縱向壓電閂鎖繼電器”，案號為10/137,692 ; 5 與本案申請日相同之申請案10011344-1，名稱為“用於 蕊心推動式壓電致動的液態金屬開關之方法和結構”； 與本案申請日相同之申請案10011345-1，名稱為“用於 蕊心辅助式縱向壓電致動的液態金屬光學開關之方法和結 構”； 10 與本案申請日相同之申請案1〇〇11397_1，名稱為“用於 蕊心輔助推動式壓電致動的液態金屬光學開關之方法和結 構 ，名稱為“聚合 ，名稱為“聚合 ，名稱為“縱向 ，名稱為“縱向 ，名稱為“阻滯 ，名稱為“阻滯 與本案申請日相同之申請案10011398-1 物液態金屬開關”； 15 與本案申請日相同之申請案10011410-1 物液態金屬光學開關’’； 與本案申請日相同之申請案10011436-1 電磁閂鎖光學繼電器’’； 與本案申請日相同之申請案10011437-1 電磁閂鎖光學繼電器”； 與本案申請日相同之申請案10011458-1 縱向型光學閂鎖繼電器”； 與本案申請日相同之申請案10011459-1 縱向型光學閂鎖繼電器’’； 20 1291707 2002年12月12日之申請案10020013-1，名稱為“開關及 其製造方法”，案號為10/317963 ; 2002年3月28日之申請案10020027-1，名稱為“壓電光 繼電器”，案號為10/109309 ; 5 2002年10月8日之申請案10020071_1，名稱為“整體屏 蔽的微電路之電隔離液態金屬微開關”，案號為10/266872 ; 2002年4月10日之申請案10020073-1，名稱為“壓電式 光多工解調開關”，案號為10/119503 ; 2002年12月12日之申請案10020162-1，名稱為“體積調 10 整裝置及使用方法’’，案號為10/317293 ; 與本案申請日相同之申請案10020241-1，名稱為“將一 液態金屬開關保持在準備切換狀態的方法和裝置”； 與本案申請日相同之申請案10020242-1，名稱為“縱向 型固體蕊心光學閂鎖繼電器”； 15 與本案申請日相同之申請案10020473-1，名稱為“反應 楔光波長多工器/多工解調器”； 與本案申請日相同之申請案10020540-1，名稱為“用於 固體蕊心履帶壓電式繼電器的方法和結構”； 與本案申請日相同之申請案10020541-1，名稱為“用於 20 固體蕊心履帶壓電式光學繼電器的方法和結構”； 與本案申請日相同之申請案10030438-1，名稱為“插入 銷指液態金屬繼電器’’； 與本案申請日相同之申請案10030440-1，名稱為“潤濕 銷指液態金屬閂鎖繼電器 8 1291707 與本案申請日相同之申請案，名稱為“壓力 致動的光學閂鎖繼電器，，； 與本案申請日相同之申請案10030522-1，名稱為“壓力 致動的固體蕊心光學閂鎖繼電器”；及 5 與本案申請日相同之申請案10030546-1，名稱為‘‘用於 蕊心履帶壓電反射光學繼電器之方法和結構”。 發明領域 本發明係有關光切換繼電器的領域，尤係有關利用液 恶金屬來閂鎖之壓電致動的光學繼電器陣列。 10 【先前技術】 發明背景 使用光訊號的通訊系統需要使用光開關及轉向器。一 種早期用於光切換的方法，係使用一電開關或轉向器來將 光訊號轉變成電訊號，然後再轉換回光訊號。較近年來， 15光繼電器已被使用，其中會用一電控制訊號來控制一光訊 號的切換或轉向。光繼電器典型係使用可動的固態鏡或利 用在液體中造成氣泡來切換光訊號。該等可動鏡能使用靜 電閂鎖機構，但氣泡開關並不能閂鎖。在電閂鎖繼電器則 可使用在壓電材料中的殘餘電荷來閂鎖，或可運作含有一 20 閂鎖機構的切換觸點。 【^^明内容1 發明概要 本發明係有關一種光繼電器陣列，其係使用一液態金 屬，例如水銀，來作為切換機構及閂鎖機構者。尤其是， 1291707 本發明係關於一種具有一或多個陣列元件的壓電光學繼電 器陣列。每一陣列元件包含一透明鏡殼，設在二光徑交點 處。一液態金屬蕊心會藉壓電元件的動作而在一貫穿該透 明鏡殼之一通道内移動。該液態金屬蕊心的表面會形成一 5 反射面。該液態金屬蕊心能移入或移出該透明鏡殼，而在 各光徑之間來作選擇。當該液態金屬蕊心在該透明鏡殼内 時，一進入的光訊號會由該液態金屬的反射面反射，否則 該光訊號將會穿過該透明殼體。在該通道内之可潤濕的金 屬表面會形成一閂鎖機構。 10 圖式簡單說明 本發明的特徵相信是為新穎的，而被詳述於所附申請 專利範圍中。但，本發明本身的架構與操作方法，及其目 的和優點等，將可配合所附圖式來參閱以下本發明實施例 之詳細說明，而得到最佳的瞭解；其中： 15 第1圖為本發明實施例之光繼電器的側視圖。 第2圖為本發明實施例之光繼電器的頂視圖。 第3圖為本發明實施例之光繼電器之一光學層的截面 圖。 第4圖為本發明實施例之光繼電器的截面圖。 20 第5圖為本發明實施例之光繼電器陣列之一光學層的 截面圖。 第6圖為本發明實施例之光繼電器陣列之一密封帶層 的頂視圖。 第7圖為本發明實施例之光繼電器陣列之一上電路層 10 1291707 的示意圖。 第8圖為本發明實施例之光繼電器陣列之一上電路層 的截面圖。 第9圖為本發明實施例之光繼電器陣列之一間隔層的 5 示意圖。 第10圖為本發明實施例之光繼電器的另一截面圖。 【實施方式3 較佳實施例之詳細說明 雖本發明可有許多不同型式的實施例，但在圖式及本 10 文中僅詳揭一或多個特定實施例，故請瞭解本揭露應視為 發明原理的舉例說明，而非欲將本發明限制於所述的特定 實施例。在以下說明中，相同的標號會被用來在數個圖式 中代表相同、類似或對應的部件。 本發明係有關光繼電器，其會利用一液態金屬，例如 15 水銀來閂鎖者。當一小體積的液態金屬潤濕一表面時，該 液態金屬的表面張力會將其凝聚固持於該表面上。在本發 明的光繼電器中，一液態金屬蕊心會被用來阻擋或者開放 一光徑。而表面張力會被作為一閂鎖機制來保持該液態金 屬蕊心的定位。 20 壓電材料和磁致伸縮材料（以下統稱為“壓電”材料）當 被施加一電場或磁場時即會變形。 該繼電器會利用一壓電元件以伸長模式的縱向變形來 操作，俾移動一液態金屬蕊心，使其濕接於該壓電元件或 基材上之至少一觸墊與至少一其它的固定觸墊之間，而來 11 1291707 阻播該光徑。可使該液態金屬蕊心改變位置的相同動作， 將會令在該固定觸墊與一靠近的壓電元件或基材上之觸塾 之間的光徑被開放。該壓電元件之此動作係極迅速的，而 能使該液態金屬蕊心所受的動量，足以克服將其保持觸接 5於靠近該作動的壓電元件之觸墊的表面張力。該開關會藉 表面張力及濕接於觸墊的液態金屬來閂鎖。該液態金屬蕊 心能濕接於光徑孔穴内之可潤濕的金屬元件，而造成一鏡 射作用，其可被用來將該光訊號導至一不同方向。 在一實施例中，該開關係使用小尺寸的微機製技術來 10 製成。於此實施例中，其切換時間甚短(相較而言，壓電驅 動式熱喷墨列印頭具有數kHz的喷發頻率，而本發明中的流 體動態遠比一喷墨列印頭更為單純）。其所產生的熱很少， 因為僅有壓電元件及通過該開關導體的控制和電源電流會 產生熱。本發明之微機製的光繼電器係由多數層來組成。 15 第1圖為本發明一實施例之光繼電器100的側視圖。請 參閱第1圖，該繼電器包含一上電路層202, 一上壓電層 204，上密封帶層206，上光學層102，中密封帶層210，下 光學層212，下密封帶層214，下壓電層216及下電路層218 等。截面3-3將參照第3圖來說明。第2圖為該光繼電器100 20 的頂視圖。而截面4-4將參照第4圖來說明。 第3圖係為本發明一實施例的光繼電器ι〇〇之一光學層 沿3-3截面的剖視圖。請參閱第3圖，該層1〇2含有一第一輸 入光徑或波導103及一第一輸出光徑或波導104。該等光徑 會呈光對準來形成一穿過該層的直接光徑。一第二輸出光 12 1291707 徑或波導106會與該直接光徑交叉。當操作時，一光訊號會 進入光徑103中（由圖式左側），而經由光徑1〇4來直接穿過該 繼電器，或經由光徑106來被反射離開該繼電器。一透明的 中空管108會設在該二光徑1〇4與1〇6的交叉點處。該透明中 5空管108於後亦被稱為一透明鏡殼。該管108的轴心係垂直 於該層102。非呈三角形截面的管亦可被使用，但，該管之 面須為平面並呈一角度’而使該平面的垂線會中分該二 光徑104與106之間的角度。在第3圖中，該各光徑係呈直 角’故該表面會呈45。角。其它的角度亦可被使用仍不超出 10本發明。一液態金屬蕊心110被置設在一貫穿該透明管108 的通道内，並可沿該通道來軸向地自由滑動。在該液態金 屬中的表面張力會將該液態金屬聚結成單一液團。在該透 明管穿過該光學層處，於該透明管的尖角部位會被裝填一 可澗濕的金屬112。該液態金屬會被表面張力引經該透明管 15的表面，而使液態金屬被吸住於設在該管尖角部位的可潤 熱金屬處。因此，該液態金屬的表面會呈平坦而具高反射 性。一進入該孔道1〇3内的光訊號會由該液態金層1〇8的表 面反射，再由另一孔道106離開該繼電器。當該液態金屬蕊 心110移出該光訊號的路徑時，則該光訊號會穿過透明管 20 108而經由孔道104離開該繼電器。在操作時，該液態金屬 蕊心110會沿穿過該透明管的通道來軸向地移動。在該通道 内的移動氣體則可從該通道的一端經由一氣孔116來流炱 另〆端。另可擇地，亦可設有一第二光輸入光徑107，以便 於在一陣列中之光繼電器的耦合。 13 1291707 第4圖係示出沿第2圖中之4-4截面的剖視圖。該光繼電 器100係由多數層所組成，其可用微機製法來製成。一上電 路層202含有導電通孔及電接墊222等。一間隔層204含有一 壓電元件220。該壓電元件220能以伸縮模式來平行於該透 5 明管（鏡殼）108的軸心移動。電驅動訊號會經由導電通孔和 接墊202來供入該壓電元件220。一上密封帶層206會固定該 透明管108的頂端。於此層中，該透明管會被襯覆一可潤濕 金屬114。最好是，該可潤濕金屬能覆蓋該透明管的全部内 表面來形成一密封帶或概塾。在一變化實施例中，該透明 10 管並不會延伸入該密封帶層中，而該可潤濕金屬係被塗設 於該層的基材上。又在另一實施例中，該可潤濕金屬係被 塗設的該壓電元件的表面上。當該液態金屬蕊心在該透明 管的頂部時，如第4圖所示，該液態金屬110會填滿上密封 帶層206與中密封帶層210的密封帶之間的間隙。嗣表面張 15 力會將該液態金屬蕊心固持於定位，而阻止其在貫穿該透 明管的通道内移動。該等可潤濕表面和液態金屬的組合會 為該繼電器提供一閂鎖機構。該氣孔（第3圖中的116)會開口 於該密封帶層206中。該第一光學層102含有一光徑，可供 該透明管108穿過。該中密封帶層210會固定該透明管108的 20 中段。於此層中，該透明管亦會襯覆一可潤濕的金屬密封 帶114，來形成一添加的閂鎖機構。該間隔層212可選擇地 設有其它附加的光徑。該下密封帶層214的功能係相同於上 密封帶層206。當該液態金屬蕊心110移至透明管108的底端 時，該下密封帶層會透過金屬密帶Η 4來提供添加的問鎖。 14 1291707 該下間隔層216與下電路層218的功能則分別相同於對應的 上層204和202。 第5圖為包含光繼電器元件之矩形格陣的光繼電器陣 列之光學層的截面。第5圖所示的實施例具有九個元件，但 5 其它尺寸的陣列亦可被使用。該光繼電器陣列具有三個輸 入光徑103，及三個第一輸出光徑104等，它們會一起來形 成三個穿過該層的直接光徑。此外，亦設有三個第二輸出 光徑106等與該三個直接光徑交叉。一透明鏡殼108會設在 九個交叉點的每一處。在一實施例中，該鏡殼係呈三角形 10 截面。一可潤濕金屬112會填入該透明鏡殼108之平面兩側 的二尖角部位。靠近各鏡殼處設有一釋壓氣孔116，其會貫 穿該光學層102。一由一輸入光徑103進入該繼電器的輸入 光訊號，乃可藉將一液態金屬蕊心定位於該輸入光徑與輸 出光徑的交叉點處，而被轉向於一第二輸出光徑106。該潤 15 濕蕊心的反射表面會沿一第二輸出光徑來偏轉該光訊號。 或者，若未存有該液態金屬蕊心，則該輸入的光訊號將會 穿過該透明鏡殼108,而由一對應的第一輸出光徑104來離 開該繼電器。 第6圖為一光繼電器列之上密封帶層206實施例的示意 20 圖。該層包含一由九個三角形孔402所組成的陣列，各孔可 供液態金屬蕊心通過。各孔内皆襯覆一可潤濕的金屬密封 帶或襯墊114。可擇地，該透明鏡殼亦可穿過該密封帶層， 如第4圖所示，於此情況下，該可潤濕的金屬會襯覆於該透 明鏡殼的内側。請參閱第6圖，各三角孔402會以一通孔404 15 1291707 來導接於釋壓氣孔116。該通孔404可容氣體流動於三角孔 與氣孔之間。中密封帶層210具有類似的結構，但未設有該 等通孔404。下密封帶層214亦具有類似的結構，但該等通 孔係設在該層的底面上。其截面10-10會參照第10圖來說明 5 於後。 第7圖為一光繼電器陣列之上電路層的示意圖。各電導 體的接墊222係被設在該層的頂面上，以使控制該陣列之壓 電元件的電訊號能導接於該繼電器。第7圖中之8-8截面係 示於第8圖中。該圖中示出各導體會穿過該電路層中的通孔 10 而連接於壓電元件220等。該等電導體會連接於壓電元件的 頂面和底面，並可操作來將一電壓供入該壓電元件。該下 電路層218亦具有類似的構造。 該光繼電器陣列之一間隔層的實施例乃示於第9圖 中。該間隔層含有孔702的陣列，可供各液態金屬蕊心通 15 過。該各孔會與其它層中的對應孔對準來形成通道。該等 通道能供液態金屬蕊心通過該各層來阻擋或開放該各直接 光徑。 穿過一光繼電器陣列的截面係被示於第10圖中。該截 面即在第6圖中所示的10-10截面，其係垂直穿過釋壓氣孔 20 116，並示出該等氣孔如何開口於該透明鏡殼108的内部。 該光學層102中的開孔802，及在該層中之其它對應的開 孔，係被設在輸入光徑與輸出光徑的交叉點處，開孔804係 設在間隔層214中之可擇的下光徑之對應交叉點處。為清楚 起見，該等液態金屬蕊心及電導體皆未示於第10圖中。該 16 1291707 釋麽氣孔II6可容氣體在當該液態金屬蕊心於該中空管⑽内 移動日$ ’由該管的~端通達另H釋壓氣孔II6在氣體被 迫通過I氣孔時，亦可用來阻滯緩衝該液態金屬蕊心的動作。 雖本發明係配合特定實施例來說明，但顯然仍有許多 5選擇、修正、更換及變化等將可在專業人士參考上述說明 之後而可容易得知。因此，本發明乃應涵蓋所有落諸於如 附申請專利範圍内的該等選擇及修正變化。 【圖式簡單說明】 第1圖為本發明實施例之光繼電器的側視圖。 10 第2圖為本發明實施例之光繼電器的頂視圖。 第3圖為本發明實施例之光繼電器之一光學層的截面 圖。 第4圖為本發明實施例之光繼電器的截面圖。 第5圖為本發明實施例之光繼電器陣列之一光學層的 15 截面圖。 曰 第6圖為本發明實施例之光繼電器陣列之一密封帶層 的頂視圖。 第7圖為本發明實施例之光繼電器陣列之一上電路層 的示意圖。 第8圖為本發明實施例之光繼電器陣列之一上電路層 的截面圖。 第9圖為本發明實施例之光繼電器陣列之一間隔層的 示意圖。 第10圖為本發明實施例之光繼電器的另一截面圖。 17 1291707 【圖式之主要元件代表符號表】 100...光繼電器 210...中密封帶層 102...上光學層 212...下光學層 103、107…輸入光徑 214…下密封帶層 104、106…輸出光徑 216…下壓電層 108···中空管(鏡殼） 218…下電路層 110...液態金屬蕊心 220...壓電元件 112、114…可潤濕金屬 222...接墊 116...氣孔 402···三角孔 202...上電路層 404...通孔 204...下壓電層 702...孔 206...上密封帶層 802、804…開孔 18

Claims (1)

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拾、申請專利範圍： 第92128410號專利申請案申請專利範圍修正本 2006年8月 .獅' 1. 一種由一或多個陣列元件組成的壓電光學繼電器陣/ 列，其中該一或多個陣列元件之一陣列元件包含： 》 一第一輸入光徑； 〜 一第一輸出光徑，其會與第一輸入光徑呈光對準來f 形成一直接光徑； $ 嫌 一第二輸出光徑，其會與第一輸出光徑交叉； 等

10 15 一透明鏡殼，其設在該第一輸入光徑與第二輸出光 $ 徑的交叉點處； 一液態金屬蕊心，其係可在一貫穿該透明鏡殼的通| 道内移動，且該液態金屬蕊心具有一反射表面； " 一第一壓電致動器，其可操作來使該液態金屬蕊心 在該通道内移動，而令其阻擋該直接光徑，並完成一由 該第一輸入光徑至第二輸出光徑的反射光徑；及

一第二壓電致動器，其可操作來使該液態金屬蕊心 在該通道内移動，而將該蕊心由該直接光徑移除。 2. 如申請專利範圍第1項之壓電光學繼電器陣列，其中該 陣列元件更包含一可被液態金屬潤濕的金屬塗層，佈設 20 於該透明鏡殼内部的一部份。 3.如申請專利範圍第2項之壓電光學繼電器陣列，其中該 透明鏡殼係為一三角形管，而該金屬塗層係佈設於該透 明殼體的邊角處，且該金屬塗層會使該液態金屬蕊心形 成一反射表面。 1 !2917〇7 4.如申請專利範圍第2項之壓電光學繼電器陣列，其中該 金屬塗層係佈設於該通道内部，而位於該直接光徑和反 射光徑的上方與下方處，並能被該液態金屬蕊心所潤 濕。 5·如申請專利範圍第1項之壓電光學繼電器陣列，其中該 第壓電元件係可操作來施一衝擊力於該液態金屬蕊 心的第一端而使該蕊心沿一第一方向移動；且其中該第

二壓電元件係可操作來施一衝擊力於該液態金屬蕊心 的第二端，而使該蕊心沿一第二方向移動。 6·如申請專利範圍第丨項之壓電光學繼電器陣列，其中該 陣列元件更包含一氣孔連通該通道的兩端，當該液態金 屬蕊心移動時，該氣孔係可釋洩該通道内的壓力。 7·如申請專利範圍第6項之壓電光學繼電器p車列，其中該 氣孔係被定寸及定位成可阻滞緩衝該液態金屬蕊心的 動作。

.如申請專利範圍第1項之壓電光學繼電器陣列，其中該 陣列疋件更包含-第二輸人紐，可選擇地對準該第二 輸出光徑。 9·如申請專利範圍第8項之塵電光學繼電器陣列，其中該 陣列包含多數⑽列元件排列成—矩形格陣。" !〇·如申請專利範圍第！項之屡電光學繼電器陣列，其中該 透明鏡殼會延伸該通道的整個長度。 如申請專利範圍第W項之壓電光^電轉列，其中該 透明鏡殼在該直接光徑和反射光經的上方及下方會塗 2 1291707 覆一可潤濕的金屬。 12. —種壓電光學閂鎖繼電器陣列，包含： 多數的輸入光徑； 多數的第一輸出光徑，其會與該等輸入光徑對準來 5 形成多數的直接光徑； 多數的第二輸出光徑，其會與該等輸入光徑交叉於 多數的交叉點處；及

在該各交叉點處，設有： 一透明鏡殼； 10 一液態金屬蕊心，其可移動地設在一貫穿該透明鏡 殼的通道内，該液態金屬蕊心具有一反射表面； 一第一壓電致動器，其可操作來移動該通道内的液 態金屬蕊心，而使其阻擋一直接光徑，並完成一由一輸 入光徑至一第二輸出光徑的反射光徑；及 15 * 一第二壓電致動器，其可操作來移動該通道内的液

態金屬蕊心，而使該蕊心由一直接光徑中移除。 13. —種微機製的壓電光學繼電器陣列，包含： 一上間隔層，其含有一第一壓電元件； 一第一對電導體，其電連接於該第一壓電元件； 20 一上光徑層，其含有一第一直接光徑及一第一反射 光徑，該二光徑有一交叉點； 一中間隔層； 一下間隔層，其含有一第二壓電元件； 一第二對電導體，其電連接於該第二壓電元件； 3 1291707 透明鏡殼，其设在該第一直接光捏與該第_反射 光徑的交叉點處；及 一液態金屬蕊心’其可移動地設在一貫穿該透明鏡 殼的通道内； 5 #中’該第一壓電元件係可操作來將該液態金屬孩 心移至-離開第-直接光徑的第—位置，且該第二壓; 元件係可操作來將該液態金屬蕊心移至該直接光徑中 之第-位置，在該處乃可由該蕊心之一表面將光反射 來完成該第一反射光徑。 0 14.如申凊專利範圍第13項之微機製壓電光學繼電器陣 列，更包含： 上岔封帶層，其設於該上間隔層與上光徑層之 間’並含有一可潤濕的上金屬觸點； 一中密封帶層，其設於該上光徑層與中間隔層之 15 間’並含有一可潤濕的中金屬觸點；及 一下密封帶層，其設於該中間隔層與下間隔層之 間’並含有一可潤濕的下金屬觸點； 鲁 其中，在該第一位置時，該液態金屬蕊心會潤濕觸 接該上及中密封帶層中的可潤濕金屬觸點；而在該第二 位置時，該蕊心則會潤濕接觸該中及下密封帶層中的可 潤濕金屬觸點。 15·如申請專利範圍第14項之微機製壓電光學繼電器陣 列’其中該通道會穿過該上、中、下密封帶層等，並更 包含一釋壓氣孔開口於該上及下密封帶層中的通道。 4 1291707 16.如申請專利範圍第14項之微機製壓電光學繼電器陣 列，其中該中空透明殼會穿過該上、中、下密封帶層等， 並更包含一釋壓氣孔開口於該上及下密封帶層中的中 空透明殼。 5 17.如申請專利範圍第13項之微機製壓電光學繼電器陣 列，其中該中間隔層含有一第二直接光徑及一第二反射 光徑。 18. 如申請專利範圍第13項之微機製壓電光學繼電器陣 列，其中該上光徑層含有多數的第一直接光徑及多數的 10 第一反射光徑。 19. 如申請專利範圍第13項之微機製壓電光學繼電器陣 列，更包含： 一上電路層，其設在該上間隔層的頂上； 一下電路層，其設在該下間隔層的底下； 15 其中該第一對電導體會穿過該上電路層並終接於 第一對互接墊，而第二對電導體會穿過該下電路層並終 接於第二對互接墊。 20. —種可在一壓電光學繼電器中來選擇一直接光徑或一 反射光徑的方法，該繼電器具有一液態金屬蕊心可被一 20 第一壓電元件及一第二壓電元件移動；該方法包含： 耦接一輸入光訊號至該壓電光學繼電器之一輸入 光波導，該輸入光波導會與一第一輸出光波導呈光對準 來形成該直接光徑； 若要選擇該直接光徑，則： 1291707 施一電脈衝於該第一壓電元件來將該液態金屬蕊 心移出該直接光徑，而使該輸入光波導光耦合於第一輸 出光波導；及 若要選擇該反射光徑，則： 施一電脈衝於該第二壓電元件來將該液態金屬蕊 心移入該直接光徑，而使該輸入光訊號由該蕊心之一表 面反射至一第二輸出光波導中來完成該反射光徑。