TWI285750B - Micro-pivoting element - Google Patents

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1285750 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 發明領域 本發明係有關於一種微支點迴動元件，如具有一可旋 5轉移位之可移動部分的微鏡元件。 【#支4标]1 相關技藝之說明 近年來，以微加工技術製作之極微小裝置的應用在各 種技術領域中被嘗试。舉例來說，在光學通訊技術之销战 10中，具有光線反射功能之微鏡元件逐漸受到矚目。 在光學通訊中，光學訊號以一光纖做為媒體以達傳輪 之目的，此外，一般而言，光學交換裝置被用以使該光學 訊號之傳輸路徑從一條纖維轉換至另一條纖維。光學交換 裝置為達成良好光學通訊所需的特性包括交換動作中的高 15容量、高速度以及高可靠度。從此一觀點來看，具備以微 加工技術製作之微鏡元件的光學交換裝置已獲得越來越多 的期待。這是因為微鏡元件的使用可以使交換步驟在該光 學訊號上執行，而不需要在該光學交換裝置之輸入端的光 學傳輸路徑與其輸出端的光學傳輸路徑之間將該光學訊號 2〇轉換成電氣訊號，而這表示它可以取得上述特性。 微鏡元件具有一鏡面表面以反射光線，且可以透過該 鏡面表面之支點迴動來改變光線反射的方向。以靜電力使 鏡面表面支點迴動之靜電驅動型微鏡元件被應用於許多裝 置中。靜電驅動型微鏡元件可以廣泛區分為兩種類型：以 1285750 L. . ... \ ' 所謂表面微加工技術製作之微牛，以及以所謂體型微 加工技術製作之微鏡元件。 5 10 在表面微加工技術中，一對應至一個別構成區域之材 料薄層形成於-基板上並被加工成一預設圖案，該圖案以 連續方式做成爽層，藉此，構成-元件之個別區域’諸如 撐肢、支點迴動部分、鏡面表面、以及電極部分被形成。 除了這些部分，-在後續製程中被移除之犧牲層亦被形 成。另一方面，在體型微加工技術中，一樓體與_支點迴 動部分以钮刻材料基板之方式形成一預設形狀。之後，— 鏡面表面與一電極以一薄層形成方法被形成。舉例來說， 體型微加工技術揭〒Μ。1 + 孜彳了揭不於曰本專利早期公開號 (HemO-190007 號、曰本 昂 承專利早期公開號數笫 (Hei)10-270714 號以及曰士 · u θ 昂 2000-31502號中。 乐 15 微鏡元件所需的技術姓他 上 丁特徵之一為，執行光線反 鏡面表面具有高度的平±曰声。 ^ 〜度。然而，在表面微加工技 由於最終形成之該鏡面表 因此，我們難以在-具有=涛錢面表面容易弯曲， 大表面面積之鏡面表面中上 度的平坦度。另一方面，在& 1 達成向 2〇分透過以一蝕刻步驟切進相對严j工技術中，一鏡面部 成，而由於此-鏡面部分:之°亥材料基板的方式被形 表面具有大表面面積，還B 7 表面’即使該鏡面 形成-具有足夠高程度之光學平土曰更又故而’可以 第20至21圖例示-以 '兄面表面。 工技術製作之傳統靜電

1285750 驅動型微鏡元件X5。第20圖為顯示該微鏡元件χ5之分解 圖，而第21圖則為取自第20圖中線條χχι_χχι範圍之該微 鏡元件Χ5在組裝狀態下的橫斷面圖。 該微鏡元件Χ5具有一結構，其中一鏡面基板2〇〇及一基 5部基板206被互相層疊。該鏡面基板200係由一鏡面支撐部 分201、一框架202、以及一組連結該部分2〇1及該框架202 之扭力桿203。藉由從一材料基板，如具有導電性之矽基板 的一側邊執行蝕刻，可以在該鏡面基板2〇〇上形成該鏡面支 撐部分201、該框架202、以及該扭力桿203之輪廓形狀。一 ‘面表面204被設置於該鏡面支彳掌部分2〇1之上表面上。一 組電極205a及205b被設置於該鏡面支撐部分2〇1之下表面 上。該組扭力桿203界定該鏡面支撐部分2〇1之旋轉動作的 旋轉軸A5。該基部基板206具有兩個電極2〇7a及207b，其分 別與該鏡面支撑部分201之該電極2〇5a及205b對立。 15 … — 在該微鏡元件X5中，當一電位被施加至該鏡面基板2〇〇 之該框架202時，該電位會透過以相同傳導材料與該框架 —體成型之該扭力桿203及該鏡面支撐部分2〇1被傳輸 至該電極205a及205b。因此，藉由將一預設電位施加至該 2〇框架202,可以，比方說，對該電極205a及205b施以正電荷。 〇在此一狀態下，如果該基部基板206之該電極207a被施以負 包荷，則該電極205a與該電極2〇7a之間會產生一靜電吸引 力，進而使該鏡面支撐部分2(Π朝箭頭M5之方向旋轉，如 乐21圖所示，並同時扭轉該扭力桿2〇3。該鏡面支撐部分2⑴ 可以擺動，直到它達到該電極之間之吸引力與該杻力桿2〇3 1285750 「一； 月'Μ。.. \ 一™一一^1**·**一；———— 之扭轉阻力可以取得平衡的角度為止。選擇性地，如果該 電極207b被施以一負電荷而該鏡面支撐部分2〇1之該電極 205a及205b被施以一正電荷，則該電極2〇5b與該電極2〇7b 之間會產生一靜電吸引力，進而使該鏡面支撐部分2〇1朝箭 5頭1^5之相反方向旋轉。藉由驅動該鏡面支撐部分201以使 其以上述方式擺動，可以變換該鏡面表面2〇4所反射之光線 的方向。 為了縮小該微鏡元件X5在該軸A5之縱向上的尺寸，有 必要使該鏡面支撐部分2〇1之長度L51(見第20圖）、或該框 10架202之長度L52、或該扭力桿203之長度L53縮短。然而， 當該鏡面支樓部分201之該長度L51變小時，形狀該鏡面 支樓σ卩刀201之5亥上表面上的該鏡面表面204面積也會變 小。因此，該交換裝置難以取得適當的光線反射效能。2 外-亥支撐告ρ》2〇1之該長度的縮小導致形成於該支樓 15部分201之該下表面上的該電極205a及205b面積跟著縮 】由於4電極2G5a及2G5b具有較小的面積，故難以使操 作该交換裝置所需之動電壓降低。至於該框架搬，該長 度L52不宜太短，以便賦予該框架2〇2必需的堅硬度。同樣 亥扭力杯2〇3之该長度⑸不宜太短，以確保該扭力祥 具有適當的機械特性（彈簧係數、強度等）。 干 如上所述，傳統的微鏡元件χ5具有_ 中’該似5之縱向上的尺寸縮減十分困難。—般而言= ㈣4需要以低_電壓提供大補角度及高旋 度。傳統的微鏡元件Χ5在尺寸縮小後無法滿足這些需求。 ί 1285750 L發明内容3 發明概要 本發明係在上述情況下被提出的。本發明之目的是要 提供一種微支點迴動元件，其具有一可以實現尺寸縮減且 5 不需折衷該微支點迴動元件之必要性質的結構。 根據本發明之一第一態樣，本發明提供一種微支點迴 動元件，該微支點迴動元件包括：一第一框架；一可移動 功能部分；一第一驅動機制；一從該功能部分延伸至該驅 動機制之樑；以及一用以使該框架與該樑互相連接之第一 10 扭力連接器，該連接器界定該功能部分賴以旋轉之第一旋 轉軸，該第一旋轉軸與該樑之一縱向交叉。該樑在該旋轉 軸之該縱向上比該功能部分短。 較佳地，該驅動機制包括互相合作以產生靜電力之第 一梳狀電極及第二梳狀電極。該第一梳狀電極被固定至該 15 樑，而該第二梳狀電極則被固定至該框架。 較佳地，該微支點迴動元件進一步包括一第二驅動機 制，該第二驅動機制被連接至該功能部分並相對於該功能 部分地與該樑位置對立。 較佳地，該第一驅動機制與該第二驅動機制產生驅動 20 力以使該功能部分朝一相同方向旋轉。 較佳地，該第二驅動機制包括互相合作以產生靜電力 之第一梳狀電極及第二梳狀電極。該第一梳狀電極被固定 至該功能部分，而該第二梳狀電極則被固定至該框架。 第一態樣之該微支點迴動元件可進一步包括一第二框 1285750

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架、-第二扭力連接器、以及-新増驅動機制。該第 力連接器使該第-框架與該第二框架相互連接並界定」 二旋轉軸以使該第-框架進行額外旋轉。該新增驅動機: 被配置以產生該第-框架之該額外旋轉所需的驅動力。1 5 較佳地，該第—旋轉軸與該第二旋轉軸相互平行。 第-態樣之該微支點迴動元件可進一步包括一姿勢調 整機制，以單獨施加姿勢調整力於該功能部分之在該旋轉 軸縱向上被互相隔開的兩個區域。 10 15 20 較佳地，該姿勢調整機制包括面對該功能部分之第一 扁平電極及第二扁平電極，該第_財電極及該第二扁平 電極在該旋轉軸之該縱向上被互相隔開。 _根據本t日月之_第二態樣，本發明提供—種微支點迴 動兀件’额支點迴動元件包括：-框架；-支點迴動元 牛乂支.占、動凡件包括—可移動功能部分、一第一電極、 以及一從該功能部分 刀^伸至該第一電極之樑；一用以使該 框架與該樑互相遠技 、 一 黃之扭力連接器，該連接器界定該支點 迴動元件繞著旋轉之 々疋轉輛，該旋轉軸與該樑之一縱向交 又；以及一第二電搞 ^ ._ . ，该第二電極與該第一電極合作以產 生$亥支點迴動元件綠 _ ^ ^ ^ 锝所需的驅動力。該樑在該旋轉軸之 该縱向上比該功能部分短。 較4土地，該第—恭 則包括蚊至該一包括一梳狀電極，而該第二電極 較佳地，第二:广梳狀電極。 ^ ^ . /iL 之該微支點迴動元件可進一步包括 一基部兀件，其中兮 w昂一電極包括一平板電極，而該第二

10 1285750

電極則包括設置於該基部元件上以面對該第一電極之另一 平板電極。 第二態樣之該微支點迴動元件可進一步包括一第三電 極及一第四電極，其中該第三電極被固定至該功能部分並 5 相對於該功能部分地與該樑位置對立，該第四電極與該第 三電極合作以產生該支點迴動元件旋轉所需的驅動力。 較佳地，該第三電極包括一梳狀電極，而該第四電極 則包括固定至該框架之另一梳狀電極。

根據本發明之一第三態樣，本發明提供一種微支點迴 10 動元件，該微支點迴動元件包括：一第一框架及一第二框 架；一可移動功能部分；一第一驅動機制及一第二驅動機 制；一從該功能部分延伸至該第一驅動機制之第一樑；一 用以使該第一框架與該第一樑互相連接之第一扭力連接 器，該第一扭力連接器界定該功能部分繞著旋轉之第一旋 15 轉軸，該第一旋轉軸與該第一樑之一縱向交叉；一從該第 一框架延伸至該第二驅動機制之第二樑；以及一用以使該 第二框架與該第二樑互相連接之第二扭力連接器，該第二 扭力連接器界定該第一框架繞著旋轉之第二旋轉軸，該第 二旋轉軸與該第二樑之一縱向交叉。該第一樑在該第一旋 20 轉軸之該縱向上比該功能部分短，而該第二樑則在該第二 旋轉軸之該縱向上比該第一框架短。 較佳地，該第一旋轉軸與該第二旋轉軸相互平行。 較佳地，該第一驅動機制包括互相合作以產生靜電力 之第一梳狀電極及第二梳狀電極。該第一梳狀電極被固定 11 1285750 '"* ..·, |-%1| -------.M3a^oam^ 至该m _第二梳狀電極則被固定至該第一框架。 較佳地’該第二驅動機制包括互相合作以產生靜電力 之第ϋ電極及第二梳狀電極。該第—梳狀電極被固定 至該第二樑’而該第二梳狀電極則被固^至該第二框架。 本發明之其他特徵與優點將從以下參照隨附圖示作成 之詳細說明突顯出來。 圖式簡單說明 第1圖為根據本發明一第一實施例之微支點迴動元件 的平面圖， 1〇 第2圖為沿著第1圖中線條ΙΙ-ΙΙ之斷面圖； 第3圖為沿著第1圖中線條111_111之斷面圖； 第4Α至4D圖為斷面圖，例示第一實施例中該微支點迴 動元件之製程的若干步驟； 第5Α至5D圖為斷面圖，例示接續在第4D圖所示之步驟 15 之後的若干步驟； 第6圖為沿著第1圖中線條11-；[1之斷面圖，例示第一實 施例中該微支點迴動元件之一操作狀態； 第7圖為沿著第1圖中線條ni-m之斷面圖，例示第一實 施例中該微支點迴動元件之一操作狀態； 20 第8圖為一平面圖，例示一以複數個第一實施例所示之 微支點迴動元件做成的微鏡陣列； 第9圖為根據本發明一第二實施例之微支點迴動元件 的平面圖； 第10圖為第二實施例之該微支點迴動元件的另一平面 12 285750 〜—…‘ 一 丨日修(更_痒‘ 圖，其被部分省略71^7」 ^ 11圖為沿著第9圖中線條χΐ-χι之斷面圖； 第2圖為根據本發明一第三實施例之微支點迴動元件 的平面圖； 第13圖為沿著第12圖中線條ΧΠΙ-ΧΙΙΙ之斷面圖； 第14圖為沿著第12圖中線條XIV-XIV之斷面圖； 第15圖為沿著第12圖中線條XV-XV之斷面圖；

第16圖為根據本發明一第四實施例之微支點迴動元件 的平面圖； 第17圖為沿著第16圖中線條XVII-XVII之斷面圖； 第18圖為沿著第16圖中線條XVIII-XVIII之斷面圖； 第19圖為沿著第16圖中線條ΧΙΧ-ΧΙΧ之斷面圖； 第20圖為顯示傳統微鏡元件之透視分解圖；以及 第21圖為沿著第20圖中線條ΧΧΙ-ΧΧΙ之斷面圖，其中 為U鏡元件之零件處於組裝狀態下。

t實施冷式3 較佳實施例之詳細說明 本發明之較佳實施例將參考隨附圖式說明於下文中。 第1至3圖例示根據本發明一第一實施例之微鏡元件 20 Xl。如上所述，第1圖為顯示該元件XI之平面圖。第2圖為 沿著第1圖中線條II-II之斷面圖，而第3圖則為沿著第工图中 線條III-III之斷面圖。 該微鏡元件xl包括一支點迴動元件ίο、一樞架21 扭力連接器22、以及一靜態梳狀電極23。 13 1285750 月修(更: 該支點迴動元件10包括一鏡面支樓部分11、一可移動 梳狀電極12、以及一樑13。該鏡面支樓部分η具有一含有 一橢圓鏡11a以反射光線之上表面。該鏡面支撐部分u可以 一石夕材料做成’而該鏡11 a則可以比方說金做成。在本說明 5書中，該鏡面支撐部分11與形成其上之該鏡11a的組裝可以 被稱作一可移動“功能部分，，。如第1圖所示，該鏡面支撐部 分11具有一比方說介於20到200微米之寬度L1。該梳狀電極 12可以導電矽材料做成。在箭頭D1所指之方向上延長的該 樑13使該鏡面支撐部分η與該梳狀電極12相互連接。該樑 10 13具有一比方說介於3到30微米之寬度L2。該樑之該寬度L2 小於邊鏡面支撑部之該寬度L1。該樑13可以比方說導電石夕 材料做成。 讜框架21呈矩形並圍繞該支點迴動元件1〇。該框架以 可以一矽材料做成。雖然未顯示於圖示中，該框架21具有 15 一延伸穿越該框架之主體内部的内部傳導路徑。 忒扭力連接裔22包括一組扭力桿22a。各該扭力桿22a 延伸於該支點迴動元件10之該樑13與該框架21之間以連接 該樑13與該框架21。如第3圖所示，該扭力桿22&在厚度上 (在第3圖中以垂直方式量測其尺寸）比該襟^與該框架^還 2〇 λ! ”亥扭力連接為22(或該組扭力桿22a)界定該支點迴動元 件1〇(也因此該鏡面支撐部分ιυ繞著旋轉之旋轉轴A1。如 第1圖所示，該軸A1垂直延伸至該D1方向，進而在正確角 度與該樑13交又。較佳地，該軸A1穿過或靠近該支點迴動 元件1〇之重心。該扭力桿22a可以導電秒材料做成，以使上 以575〇

丨5修( 一 處内部傳導路徑(位於該框架21之⑴透過該扭力桿22a被電 力連接至該樑13。 。如第3圖所示，該靜態梳狀電極23被固定至該框架21。 乍守 月夢包力產生於该靜態梳狀電極23與該可移動梳

^電極12之間。該靜隸狀電極23可以比方說導電石夕材料 做f。在該支闕動元賴之麵作狀態或待命狀態下， 如们及3®所示，該梳狀電極12及23呈水平狀並位於不同 的$度。此外，如第认2圖所示，該梳狀電極12及23於側 、刀支以避免w亥支點迴動元件1〇操作時可能遭遇的干擾。 、生第4A至4D圖及第5A至5D圖例示上述微鏡元件χι之製 法。例示之方法運用MEMS(微機電系統)技術，其為體 j U加工技術中的一種。該圖示提供一系列的斷面圖，以 :示第5D圖中的元件（亦即，鏡面支撐部分“、樑B、框架 15刀F1-F2、扭力桿T1-T2、以及梳狀電極Ε1_Ε2)如何製造。 =處應注意的是，各該斷面圖並非取自一直線，而是沿一 :曲線條(具有數個平直片段)的剖面，以顯卜預備形成於 Λ材料基板中之單一微鏡元件的特定部分（亦即具有一多 人〜構之晶圓）。如下述，該鏡面支撐部分訄對應至上述 面支撐部分11之一部分（見第1圖）。同樣地，該樑Β對應 至咸韃13(以橫斷面顯示），該框架部分F1_F2對應至該框架 a (以杈斷面顯示），該扭力桿丁丨對應至一該扭力桿22#以縱 面”、、員示），该扭力桿T2對應至另一該扭力桿22a(以橫斷面

黑員、 JL w、，該梳狀電極El對應至該可移動梳狀電極12(以橫斷 面顯示該梳狀物之齒），而該梳狀電極E2則對應至該靜態梳 15

1285750 狀電極23(以橫斷面顯示該梳狀物之齒）。 詳言之，該微鏡元件XI係以下列方式做成。首先，_ 材料基板100被製作，如第4A圖所示。該材料基板為一 具有多層次結構之SOI(絕緣矽）基板，包括一上方石夕層 5 1〇1、一下方矽層102、以及一位於該上方矽層101與該下方 矽層102之間的絕緣層103。該矽層101及1〇2係由一推加雜 質之矽材料做成以達成導電性。該雜質可為p型雜質（如硼) 或η型雜質（如鱗或錄）。該絕緣層1 〇3係由彼方說氧化石夕做 成。該上方矽層101可具有10到100微米之厚度，而該下方 10矽層1〇2則可具有50到500微米之厚度。該絕緣層1〇3可具有 〇·3到3.0微米之厚度。 如第4Β圖所示，一鏡lia被形成於該上方矽層1〇1上。 該鏡11a可以下列方式做成。首先，一鉻層（厚度為5〇奈米） 被形成於該矽層101上，且一金層（厚度為2〇〇奈米）被形成於 15該鉻層上，兩者皆透過濺鍍法形成。然後，以一形成於該 金層上之適當光罩，該兩層被進行蝕刻以加工至該鏡Ua。 該金層之蝕刻劑可為一碘化鉀碘溶劑，而該鉻層之蝕刻劑 可為一硝酸飾二銨溶劑。 如第4C圖所示，一氧化薄膜圖案11〇及一光阻圖案U1 20形成於該上方矽層101上，而一氧化薄膜圖案112則形成於 该下方矽層102上。該氧化薄膜圖案11〇具有一對應至該支 點迴動兀件1〇(該鏡面支撐部、該樑B、該梳狀電極E1) 及该框架21(該框架部分η-]Ρ2)之預設組態。該光阻圖案nl 具有一對應至該扭力桿22a(該扭力桿τ丨_τ2)之預設組態。該 16

Ϊ285750 氧化薄膜圖案112具有一對應至該框架21(該框架部分 FKf2)及該靜態梳狀電極23(該梳狀電極E2)之預設組態。 如第4D圖所示，以該氧化薄膜圖案110及該光阻圖案 111做為光罩，該上方矽層101被進行DRIE(深反應式離子蝕 5 刻）直到一預設深度被達成為止。此一深度可為比方說5微 米並對應至該扭力桿T1-T2之厚度。該DRIE可以Bosch製程 適當執行，其中蝕刻與側壁保護被交替進行。就下述之 drib，宜使用B〇SCh製程。 之後，如第5A圖所示，該光阻圖案ill以一剝離劑被移 1〇除。關於該剝離劑，可使用Clariant (Japan) Κ·Κ·公司所生 產之“AZ Remover 700”。 如第5B圖所示，以該氧化薄膜圖案11〇做為光罩，該上 方石夕層101被進行該DRIE直到抵達該絕緣層1〇3為止，以使 該扭力桿T1-T2形成其餘的部分。藉由此一蝕刻製程，該支 15點迴動元件10(該鏡面支撐部分Μ、該樑B、該梳狀電極 Ε1)、該扭力桿22a(該扭力桿Τ1_Τ2)、以及該框架21之一部 分(該框架部分F1-F2)被形成。 如第5C圖所示，以該氧化薄膜圖案112做為光罩，該下 方矽層102被進行該DRIE直到抵達該絕緣層1〇3為止。結 2〇果，該框架21之一部分（該框架部分F1-F2)以及該梳狀電極 E2(該靜態梳狀電極23)被形成。 如第5D圖所示，該絕緣層103及該氧化薄膜圖案11〇及 之曝光4刀以比方說乾式餘刻法或濕式餘刻法被移 除。就乾式蝕刻法而言，可使用諸如CF4或CHF3之蝕刻氣 17 1285750 f陴{月”眼(靡赛. ' 11 1 " 1 一、〜一 體。就濕式餘刻法而言，餘刻劑可為含有氫氟酸及氟化銨 之緩衝氫氟酸(BHF)。 透過上述步驟，該鏡面支撐部分Μ、該樑B、該框架部 分F1-F2、該扭力桿Τ1-Τ2、以及該梳狀電極Ε1_Ε2被製作， 5 藉此，所需的微鏡元件XI被形成。 在該微鏡兀件XI中，該梳狀電極12及23被充電至一適 當的電位，以使該支點迴動元件1〇(也因此該鏡面支撐部分 11)沿該軸Α1旋轉。該可移動梳狀電極12之電位施加係透過 該内部傳導路徑(位於該框架21之内）、該導電扭力桿22&、 1〇以及該導電樑13完成的。較佳地，該梳狀電極12可以接地。 當一靜電力產生於該可移動與該靜態電極12及23之間時， 該支點迴動元件ίο會沿該軸八丨旋轉，並在該扭力桿22a之該 靜電力與回復力取得平衡時停止。在平衡狀態下，該電極 12及23會居於第6及7圖所示之位置。如前述，該支點迴動 15元件10之最大旋轉角度可以藉由改變施加至該梳狀電極12 及23之電位水平來加以調整。另一方面，當該靜電力被移 除時，該扭力桿22a會回復至原始狀態（自然狀態），進而將 該支點迴動元件10帶領至第3圖所示之水平位置。透過該支 點迴動元件10之此一操作，可以改變形成於該鏡面支撐部 20 分11上之該鏡11a所反射之光線的方向。 在該微鏡元件XI中’該扭力連接器22(其界定該支點迴 動元件10之該旋轉軸A1)比該鏡面支撐部分n為窄，並被連 接至從該鏡面支撐部分11延伸之該樑13。此外，該扭力連 接器22與該鏡面支撐部分11在該軸A1之縱向上部份重疊。 18 1285750

透過此一配置，該鏡面支撐部分11與該扭力連接器22在該 軸A1之該縱向上可以足夠長，而該元件又丨就整體而言則可 以在該軸A1之該縱向上具有一小尺寸。就此一大鏡面支撐 部分及長扭力連接器之設計而言，該微鏡元件乂丨展現一良 5 好的反光效能。 根據上述實施例，該驅動機制係經由兩個梳狀電極12 及23之組合提供的。然而，本發明並不限於此一配置。舉 例來說，該驅動機制可以兩個（或更多個）對立的扁平導電板 (或電極）組成，靜電力在其中間產生以使上述“功能部分，， 10 沿該旋轉軸A1旋轉。在此一狀況下，該扁平電極中之一者 (下稱“第一扁平電極”)可以取代該梳狀電極12(因此，它透 過該樑13被連接至該鏡面支撐部分11)。另一或第二扁平電 極可以提供於一新增基部基板（其可從下方固定至該框架 21)上，以面對該第一扁平電極。 15 第8圖顯示一包含複數個上述微鏡元件XI之微鏡陣列 Y。在例示的範例中，五個微鏡元件被組合成一單元，雖然 本發明並不受限於此一特定數目。 在該微鏡陣列Y中，該五個微鏡元件X1以一沿該旋轉 軸A1延伸之陣列的模式被排列。因此，各該微鏡元件之該 20 鏡11a以一與該軸A1平行之陣列被排列。如上述，每一單獨 的微鏡元件XI在該軸A1之該縱向上尺寸皆很小。因此，該 微鏡陣列Y在該軸A1之該縱向上尺寸可以很小。再者，在 該陣列Y中，任一該鏡lla皆與相鄰的鏡或鏡群Ua靠得很 近。因此，該鏡11a可以高密度設置於該軸A1之該縱向上。 19

1285750 現在參考第9至11圖，其例示根據本發明一第二實施例 之微鏡元件X2。第9圖為該元件χ2之平面圖。第1〇圖為另 一平面圖，其中該鏡面支撐部分被省略以顯示本來被隱藏 的零件。第11圖為取自第9圖中線條义^丨範圍之斷面圖。 該微鏡元件X2包括一支點迴動元件3〇、一框架41、一 扭力連接器42、一靜態梳狀電極43、一基部基板51、以及 一組扁平條形電極52及53。

該支點迴動元件30包括一鏡面支撐部分31、一可移動 梳狀電極32、以及一樑33。該鏡面支撐部分31具有一含有 1〇 叙3la以反射光線之上表面。該鏡面支撐部分31可以一導 電矽材料做成，而該鏡31a則可以比方說金做成。該鏡面支 樓部分31與形成其上之該鏡31a在本說明書中可以統稱為 可移動“功能部分”。如第9圖所示，該鏡面支撐部分31具有 ;丨於20到200微米之長度L1。該梳狀電極32與該樑33之結 15構可以和上述梳狀電極12以及樑13相同。

雜架41圍繞該支點迴動元件3()独_比方說石夕材料 做成。雖然未顯示於圖示中，該框架41具有一延伸穿越該 框架之主體内部的内部傳導路徑。 2〇、该扭力連接器42包括一組扭力桿42a。各該扭力桿42a 破連接至該支點迴動元件3〇之該樑％以及該框架Μ。各該 扭力扣42a延伸於該樑33與該框架41之間以連接該樑％與 該框料1。該扭力桿42a在厚度上比該樑33與該框_糾 (女曰同第3圖中之該扭力桿22a)。該扭力連接器42(或該組扭 桿42a)界疋5亥支點迴動元件3〇(也因此該鏡面支撑部分η) 20 Τ——Β—iliwwiwi—τ>κ»·ι· "τ>ίί Ί * ' 丨 ^ 灰轉之旋轉軸Α2。如第9圖所示，該軸Α2垂直延伸至 碡如方6 5 10 叼’進而在正確角度與該樑33交叉。較佳地，該軸 導。過或罪近該支點迴動元件30之重心。該扭力桿42a可以 、笔夕材料做成，以使上述内部傳導路徑(位於該框架41之 過該扭力桿42a被電力連接至該樑33。 该靜態梳狀電極43被固定至該框架41。操作時，一靜 包力產生於該靜態梳狀電極43與該可移動梳狀電極32之 BB ^ 。亥靜態梳狀電極43可以導電矽材料做成。在該支點迴 動元件30之非操作狀態或待命狀態下，該梳狀電極32及43 王水平狀並位於不同的高度。此外，該梳狀電極32及43於 側迨分支以避免該支點迴動元件3〇操作時可能遭遇的干 擾0 可以矽做成之該基部基板51被固定至該框架41，如第 11圖所示。該框架41與該基部基板51以比方說覆晶技術被 15銜接在一起。如第1〇圖所示，該條形電極52及53形成於該 基部基板51上，並在該軸A2之該縱向上被互相隔開。此外， 如第11圖所示，該條形電極52及53面對該鏡面支撐部分 31。雖然未顯示於圖示中，該電極52及53被連接至一形成 於該基部基板51上之鮮線圖案。 2〇 在該微鏡元件X2中，該梳狀電極32及43被充電至一適 當的電位，以使该支點迴動元件3〇(也因此該鏡面支撐部分 31)沿該旋轉轴A2旋轉。該可移動梳狀電極32之電位施加係 透過該内部傳導路徑（位於該框架41之内）、該導電扭力桿 42a、以及該導電樑33完成的。較佳地，該梳狀電極32可以 21 ^85750

接地。如前述’該支點迴動元件3G之旋轉角度可以藉由改 變施加至雜狀電極32及43之電位水平來加以調整。 相較於第-實施例之該微鏡元件χι，該微鏡元件幻具 $有-新增的特徵，如下述。詳言之，在該元件幻中，靜電 力可以產生於遠條形電極5 2及5 3中之任-者與該鏡面支撐 4刀31之間（該部分31被電力連接至該可移動梳狀電極32 以位於與該電極32相同之電位水平上）。參考第⑽，當該 也卞形電極52被充電至―預設電位時，—靜電力㈣產生於 该電極52與該支撐部分31之間。同樣地，當該條形電極53 1〇被充電至一預設電位時，一靜電力S2會產生於該電極53與 該^撐部分31之間。各該力51及幻可為吸引力或排斥力， 視施加至該條形電極52及53之電位而定。 藉由上述配置，可以避免該支點迴動元件30(以及該鏡 面支撑部分31)沿該旋轉軸八2以外的軸產生不當的旋轉移 第9及11圖中，一不適當的軸範例以參照符號A]，表 不，其中該不適當的軸垂直延伸至該適當的旋轉軸A2。 此一姿勢安定功能使該鏡面支撐部分31，也因此該鏡 爪，與該旋轉軸μ保持平行。因此，該鏡可確保適當 的光線反射。 20 、根據本發明，姿勢安定性可由-磁力而非上述靜電力 達成。4言之，一永久磁鐵被固定至該鏡面支撐部分31之 "玄下表面，而一組扁平線圈則被設置於該基部基板51上以 取代該條形電極52及53，該組扁平線圈在該軸八2之該縱向 上、相^開。一形成於該基部基板51上之銲線圖案可以 22 1285750 連接至該扁平線圈以為該線圈供給能量。操作時，一吸引 力或排斥力產生於該永久磁鐵與該扁平線圈之間，透過該 力’該支點迴動元件30被保持於適當的位置上。該磁力之 強度可以藉由改變施加至該線圈之電壓來加以調整。 5 第12至15圖例示根據本發明一第三實施例之微鏡元件 X3。第12圖為該元件X3之平面圖。第13、14、及15圖分別 為沿著第12圖中線條ΧΙΙΙ_ΧΠΙ、XIV〇Qv、以及χν-χν之斷 面圖。 热微鏡元件Χ3包括一支點迴動元件6〇、一框架71、一 φ 扭力連接裔72、以及靜態梳狀電極73及74。 该支點迴動元件60包括一鏡面支撐部分61、可移動梳 狀包極62及64、以及一樑63。該鏡面支撐部分61具有一含 有鏡61a以反射光線之上表面。該鏡面支撐部分&可以— ， 導電矽材料做成，而該鏡61a則可以金做成。在本說明書 η τ，魏面找部分61_成其上找鏡㈣的組裝可以被 稱作-可移動“功能部分，，。如第12圖所示，該鏡面支撐部 分61具有-比方說介於20到2〇〇微米之寬度Li。該梳狀電才亟 f 62=樑63之結構和上述梳狀電㈣以及樑i3相同。可以 一導電石夕材料做成之該梳狀電極64被固定至該鏡面支撐部 2〇州，如第15圖所示。該梳狀電極64透過内嵌於該電輸 與该部分61巾之料栓⑽巾未卵皮電力連接至該鏡面支 撐部分61。 又 該框架71圍繞該支點趣動元件6〇。該框架71可以一石夕 材枓做成。雖然未顯示於圖示中，該框架71具有一延伸穿 23 1285750 ;, 越該框架之主體内部的内部傳導路徑。 该杻力連接器72包括一組扭力桿72a。各該扭力桿72a 延伸於該支點迴動元件6〇之該樑63與該框架71之間以連接 $該樑63與該框架71。如第15圖所示，該扭力桿72a在厚度上 比忒樑63與該框架71還小。該扭力連接器72(或該組扭力桿 12&)界定該支點迴動元件60(也因此該鏡面支撐部分61)繞 者旋轉之旋轉軸A3。如第12圖所示，該軸Α3垂直延伸至該 ^方向，進而在正確角度與該樑63交又。較佳地，該軸Μ 10 I過或靠近該支點迴動元件6〇之重心。該扭力桿7仏可以導 10 2石夕材料做成，以使上述内部傳導路徑(位於該框架71之内） 透過該扭力桿72a被電力連接至該樑63。 如第15圖所示，該梳狀電極73被固定至該框架^。操 乍可，一靜電力產生於該梳狀電極73與該梳狀電極62之 U間。該梳狀電極73可以比方說導電石夕材料做成。在該支點 设動7〇件60之非操作狀態或待命狀態下，如第13及15圖所 ，，該梳狀電極62及73呈水平狀並位於不同的高度。此外， 該被狀電極62及73於側邊分支以避免該支點迴動元件轉 作時可能遭遇的干擾。 2〇 如第12及15圖所不，該梳狀電極74被固定至該框架 1紅作h ’ -静電力產生於該梳狀電極74與該梳狀電極 64之間。該梳狀電極74可以比方說導電石夕材料做成。在該 支點迴動元件60之非操作狀態或待命狀態下，如第财15 圖所示，該梳狀電極64及74呈水平狀並位於不同的高度。 此外，該梳狀電極64及74於側邊分支以避免該支點迴動元 24

I285750 件60操作時可能遭遇的干擾。 该微鏡元件X3可以一材料基板利用MEMS技術做成， 如第一貫施例中之該微鏡元件Xi的相關說明所述。 在該微鏡元件X3中，該梳狀電極62及64以及該支點迴 5動元件60被充電至一適當的電位，而該梳狀電極73及74亦 被充私至一適當的電位，以使該支點迴動元件60(也因此該 鏡面支彳牙部分61)沿該旋轉軸A3旋轉。該支點迴動元件6〇 之電位施加係透過該内部傳導路徑（位於該框架71之内）以 及忒‘电扭力桿72a完成的。較佳地，該該支點迴動元件6〇 1〇以及。亥梳狀電極62及64可以接地。當一靜電力產生於該梳 r·大電極62與該梳狀電極73之間，以及該梳狀電極料與該梳 狀私極74之間時，該電極62被拉進該電極73之梳狀齒中， 而該電極64則被拉進該電極74之梳狀齒中。藉此，該支點 迴動tl件60會沿該軸A3旋轉，並在該扭力桿72&之該靜電力 ’、回復力取得平衡時停止。如前述，該支點迴動元件⑼之 最大旋轉角度可以藉由改變施加至該梳狀電極乃及％之電 位水平來加以調整。 鏡元件X3具有兩個驅動機制〔一者由該梳狀電極 62及73提供而另_相由該梳狀電極64及74提供。透過此 配置這兩個驅動機制可以合作以使該支點迴動元件⑼ ⑺省軸A3朝一相同方向旋轉。因此，該微鏡元件之驅動 電壓與單系統比較起來是減少了。 第16至19圖例示根據本發明一帛四實施例之微鏡元件 4第16圖為该元件沿之平面圖。第17、、及a圖分別 25

1285750 為沿著第16圖中線條χνιι-χνιι、xvm-xvm、以及 χιχ-χιχ之斷面圖。 該微鏡元件X4包括一支點迴動元件80、一内部框架 91、一外部框架92、扭力連接器93及94、一樑95、以及梳 5 狀電極96、97、及98。 該支點迴動元件80包括一鏡面支撐部分81、一梳狀電 極82、以及一樑83。該鏡面支撐部分81具有一含有一鏡8la 以反射光線之上表面。該鏡面支撐部分81可以一導電;g夕材 料做成，而該鏡81a則可以金做成。在本說明書中，該部分 10 81與形成其上之該鏡sia的組裝可以被稱作一可移動“ t 月匕 部分”。如第16圖所示，該鏡面支撐部分81具有一比方說介 於20到200微米之長度L1。該梳狀電極82與該樑83之結構和 上述梳狀電極12以及標13相同。 可以矽做成之該内部框架91圍繞該支點迴動元件8〇。 15雖然未顯示於圖示中，該框架91具有一延伸穿越該框架之 主體内部的内部傳導路徑。如第16圖所示，該框架91具有 一比方說介於30到300微米之長度L3。該長度L3比該鏡面支 撐部分81之該長度L1為長。 可以矽做成之該外部框架92圍繞該内部框架91。雖然 20未顯示於圖示中，該框架92具有一延伸穿越該框架之主體 内部的内部傳導路徑。 該扭力連接器93包括一組扭力桿93a。各該扭力桿93a 延伸於該支點迴動元件80之該樑83與該内部框架91之間以 連接違樑83與該框架91。如笫19圖所示，各該扭力桿93&在 1285750 厚度上比該樑83與該框架91還小。該扭力連接器93(或該組 扭力桿93a)界定該支點迴動元件80(也因此該鏡面切料 ^ 81)繞著旋轉之旋轉軸A4。如第16圖所示，該軸八4與延伸於 該D1方向之疏樑83垂直交叉。較佳地，該軸A4穿過或靠近 5该支點迴動元件80之重心。該扭力桿…可以導電石夕材料做 成’以使上述内部傳導路徑(位於該框架91之内）透過該扭力 桿93a被電力連接至該樑83。 如第19圖所示，該梳狀電極96被固定至該框架91。操 ^ 靜龟力產生於该梳狀電極96與該梳狀電極82之 ® 10間。該梳狀電極96可以比方說導電石夕材料做成。被電力分 離之4札L狀毛極9 6與該梳狀電極8 2為該微鏡元件χ 4提供一 驅動機制。在該支點迴動元件8〇之非操作狀態或待命狀態 第17及19圖所示，該梳狀電極以及％呈水平狀並位 於不同的回度。此外，該梳狀電極82及96於側邊分支以避 15免該支點迴動元件嶋作時可能遭遇的干擾。 在第16圖所示之該D1方向上縱向延伸的該樑95連接該 内部框架叫贿狀電極Μ。簡％具有—比方說介㈣ « 到3〇〇U米之長度以。該長度L4比該内部框架％之該長度 L3為短雜95可以比^說導電⑧材料做成。 乂扭力連接$ 94包括—組扭力桿94a。各該扭力桿94a _ ; %95與该外部框架92之間以連接該樑辦該框架 9 2。士口第 1 q 同 ^ 一 Θ示，各該扭力桿94a在厚度上比該樑95盥該 框架92還小。t /、 加 风$之该扭力桿94a或該扭力連接器94界定該 框木91與该支點迴動元件8〇(也因此該鏡面支撐部分81)賴 27

1285750 以旋轉之旋轉軸A4,。如第16圖所示，該軸A4,與縱向延伸 於5亥D1方向之$亥標95垂直父叉’並與另_軸A4平行。可以 導電石夕材料做成之該扭力桿94a電力連接提供於該外部框 架92與該樑95中之該内部傳導路徑。 5 被電力分離之該梳狀電極97及98為該微鏡元件X4提供

一驅動機制。操作時，一靜電力產生於該電極97及98之間。 該梳狀電極97以電氣及機械方式被連接至該樑95。如第π 及19圖所示’該電極98被固定至該外部框架92。該樑95與 該梳狀電極97之間的電力傳導可以透過内嵌於該樑％與該 1〇電極97中之傳導栓（圖中未示）來完成。在該内部框架91之非 操作狀態或待命狀態下，如第18及19圖所示，該梳狀電極 97及98呈水平狀並位於不同的高度。此外，該梳狀電極97 及98於側邊分支以避免該内部框架91旋轉時可能遭遇的干 擾。該電極97及98可以比方說導電矽材料做成。 15 該微鏡元件X4可以一材料基板利用MEMS技術做成， 如第一貫施例中之該微鏡元件XI的相關說明所述。

在該微鏡元件X4中，該梳狀電極82及％被充電至一適 當的電位，以使該支點迴動元件8〇沿該旋轉軸A4旋轉。此 外，在該微鏡元件X4中，可以藉由將該梳狀電極97及98充 20電至一適當的電位，使該内部框架91與該支點迴動元件80 沿該軸A4’旋轉。 在該微鏡元件X4中，界定該旋轉轴八4之該扭力連接器 93被連接至该標83 ’該扭力連接器93比該鏡面支撐部分81 窄並從該部分81延伸。如第16圖所示，該鏡面支撐部分81 28

1285750

與該扭力連接器93在D2方向（該軸A4之縱向）上部份重疊。 藉此，該鏡面支撐部分81與該扭力連接器93在該D2方向上 可以足夠長，而該元件X4就整體而言則可以在該D2方向上 變得精簡。同樣地，界定該旋轉軸A4,之該扭力連接器94 5 被連接至該樑95，該扭力連接器94比該内部框架91窄並從 該框架91延伸。此外，該框架91與該扭力連接器94在該D2 方向上部份重疊。因此，該框架91與該扭力連接器94在該 D2方向上可以足夠長，而該元件Χ4就整體而言則可以在該 D2方向上變得精簡。有了此一大鏡面支撐部分及長扭力連 10 接器之設計，該微鏡元件X4將可展現一良好的反光效能。 本發明說明至此’顯然地，此一發明可以許多方式加 以變化。此等變化不應被視為背離本發明之精神與範疇， 熟悉此項技藝之人士可以顯然思及之所有修飾皆應包含於 下列申請專利範圍之範疇中。 15 【圖式簡單說明】

第1圖為根據本發明一第一實施例之微支點迴動元件 的平面圖； 第2圖為沿著第1圖中線條ΙΙ-Π之斷面圖； 第3圖為沿著第1圖中線條πΐ-ΠΙ之斷面圖； 2〇 第4A至4D圖為斷面圖，例示第一實施例中該微支點迴 動元件之製程的若干步驟； 第5A至5D圖為斷面圖，例示接續在第4D圖所示之步驟 之後的若干步驟； 第6圖為沿著第1圖中線條之斷面圖，例示第一實 29

1285750 施例中該微支點迴動元件之一操作狀態； 第7圖為沿著第1圖中線條III-III之斷面圖，例示第一實 施例中該微支點迴動元件之一操作狀態； 第8圖為一平面圖，例示一以複數個第一實施例所示之 5 微支點迴動元件做成的微鏡陣列； 第9圖為根據本發明一第二實施例之微支點迴動元件 的平面圖；

第10圖為第二實施例之該微支點迴動元件的另一平面 圖，其被部分省略以求顯示清晰； 10 第11圖為沿著第9圖中線條XI-XI之斷面圖； 第12圖為根據本發明一第三實施例之微支點迴動元件 的平面圖； 第13圖為沿著第12圖中線條XIII-XIII之斷面圖； 第14圖為沿著第12圖中線條XIV-XIV之斷面圖； 15 第15圖為沿著第12圖中線條XV-XV之斷面圖；

第16圖為根據本發明一第四實施例之微支點迴動元件 的平面圖； 第17圖為沿著第16圖中線條XVII-XVII之斷面圖； 第18圖為沿著第16圖中線條XVIII-XVIII之斷面圖； 20 第19圖為沿著第16圖中線條XIX-XIX之斷面圖； 第20圖為顯示傳統微鏡元件之透視分解圖；以及 第21圖為沿著第20圖中線條XXI-XXI之斷面圖，其中 該微鏡元件之零件處於組裝狀態下。 【主要元件符號說明】 30

1285750 Α1-Α5，Α4’···旋轉軸 Χ1-Χ5···微鏡元件 Υ…微鏡陣列 10, 30, 60, 80···支點迴動元件 11，31，61，81，201…鏡面支撐 部分 11a，31a，61a，81a…鏡 12, 32, 62, 64, 93, 94…可移動 梳狀電極 13, 33, 63, 83, 95…樑 21，41，71，91，92, 202…框架 22, 42, 72…扭力連接器 22a，42a，72a，93a，94a，203… 扭力桿 23, 43, 73, 74…靜態梳狀電極 51，206…基部基板 52, 53…條形電極 82, 96, 97, 98···梳狀電極 100…材料基板 101···上方碎層 102···下方矽層 103…絕緣層 110, 112···氧化薄膜圖案 111···光阻圖案 200···鏡面基板 204…鏡面表面 205a，205b，207a, 207b…電極

31

Claims (1)

1285750 十、申請專利範圍： 1. 一種微支點迴動元件，包括： 一第一框架； 一可移動功能部分； 5 一第一驅動機制； 一從該功能部分延伸至該驅動機制之樑；以及 一用以使該框架與該樑互相連接之第一扭力連接 器，該連接器界定該功能部分繞著旋轉之第一旋轉軸， 該第一旋轉軸與該樑之一縱向交叉； 10 其中該樑在該旋轉軸之該縱向上比該功能部分短。 2. 如申請專利範圍第1項之微支點迴動元件，其中該驅動 機制包括互相合作以產生靜電力之第一梳狀電極及第 二梳狀電極，該第一梳狀電極被固定至該樑，而該第二 梳狀電極則被固定至該框架。 15 3.如申請專利範圍第1項之微支點迴動元件，進一步包括 一第二驅動機制，該第二驅動機制被連接至該功能部分 並相對於該功能部分地與該樑位置對立。 4. 如申請專利範圍第3項之微支點迴動元件，其中該第一 驅動機制與該第二驅動機制產生驅動力以使該功能部 20 分朝一相同方向旋轉。 5. 如申請專利範圍第3項之微支點迴動元件，其中該第二 驅動機制包括互相合作以產生靜電力之第一梳狀電極 及第二梳狀電極，該第一梳狀電極被固定至該功能部 分，而該第二梳狀電極則被固定至該框架。 32 1285750

6. 如申請專利範圍第1項之微支點迴動元件，進一步包括 一第二框架、一第二扭力連接器，以及一額外的驅動機 制，其中該第二扭力連接器使該第一框架與該第二框架 相互連接並界定一第二旋轉軸以使該第一框架進行額 5 外旋轉，該新增驅動機制被配置以產生該第一框架之該 額外旋轉所需的驅動力。 7. 如申請專利範圍第6項之微支點迴動元件，其中該第一 旋轉軸與該第二旋轉軸相互平行。

8. 如申請專利範圍第1項之微支點迴動元件，進一步包括 10 一姿勢調整機制，以單獨施加姿勢調整力於該功能部分 之在該旋轉軸縱向上被互相隔開的兩個區域。 9. 如申請專利範圍第8項之微支點迴動元件，其中該姿勢 調整機制包括面對該功能部分之第一扁平電極及第二 扁平電極，該第一扁平電極及該第二扁平電極在該旋轉 15 軸之該縱向上被互相隔開。

10. —種微支點迴動元件，包括： 一框架； 一支點迴動元件，該支點迴動元件包括一可移動功 能部分、一第一電極，以及一從該功能部分延伸至該第 20 一電極之樑； 一用以使該框架與該樑互相連接之扭力連接器，該 連接器界定該支點迴動元件繞著旋轉之旋轉軸，該旋轉 軸與該樑之一縱向交叉；以及 一第二電極，該第二電極與該第一電極合作以產生 33 1285750 該支點迴動元件旋轉所需的驅動力； 其中該樑在該旋轉軸之該縱向上比該功能部分短。 11. 如申請專利範圍第10項之微支點迴動元件，其中該第一 電極包括一梳狀電極，而該第二電極則包括固定至該框 5 架之另一梳狀電極。 12. 如申請專利範圍第10項之微支點迴動元件，進一步包括 一基部元件，其中該第一電極包括一平板電極，而該第 二電極則包括設置於該基部元件上以面對該第一電極 之另一平板電極。 10 13.如申請專利範圍第10項之微支點迴動元件，進一步包括 一第三電極及一第四電極，其中該第三電極被固定至該 功能部分並相對於該功能部分地與該樑位置對立，該第 四電極與該第三電極合作以產生該支點迴動元件旋轉 所需的驅動力。 15 14.如申請專利範圍第13項之微支點迴動元件，其中該第三 電極包括一梳狀電極，而該第四電極則包括固定至該框 架之另一梳狀電極。 15.—種微支點迴動元件，包括： 一第一框架及一第二框架； 20 一可移動功能部分； 一第一驅動機制及一第二驅動機制； 一從該功能部分延伸至該第一驅動機制之第一樑； 一用以使該第一框架與該第一樑互相連接之第一 扭力連接器，該第一扭力連接器界定該功能部分繞著旋 34 1285750

轉之第一旋轉軸，該第一旋轉軸與該第一樑之一縱向交 叉； 一從該第一框架延伸至該第二驅動機制之第二 樑；以及 5 一用以使該第二框架與該第二樑互相連接之第二 扭力連接器，該第二扭力連接器界定該第一框架繞著旋 轉之第二旋轉軸，該第二旋轉軸與該第二樑之一縱向交 叉； 其中該第一樑在該第一旋轉軸之該縱向上比該功 10 能部分短，而該第二樑則在該第二旋轉轴之該縱向上比 該第一框架短。 16.如申請專利範圍第15項之微支點迴動元件，其中該第一 旋轉軸與該第二旋轉軸相互平行。 15 17.如申請專利範圍第15項之微支點迴動元件，其中該第一 驅動機制包括互相合作以產生靜電力之第一梳狀電極 及第二梳狀電極，該第一梳狀電極被固定至該第一樑， 而該第二梳狀電極則被固定至該第一框架。 18.如申請專利範圍第15項之微支點迴動元件，其中該第二 20 驅動機制包括互相合作以產生靜電力之第一梳狀電極 及第二梳狀電極，該第一梳狀電極被固定至該第二樑， 而該第二梳狀電極則被固定至該第二框架。 35 1285750

七、指定代表圖：

(一） 本案指定代表圖為：第（1 (二) 本代表圖之元件符號簡單說明 A1…旋轉轴 XI…微鏡元件 10…支點迴動元件 11…鏡面支樓部分 11a…鏡 12…可移動梳狀電極 13…樑 21…框架 22…扭力連接器 22a···扭力桿 23…靜態梳狀電極 八、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式：