TWI278628B - Probe apparatus and method of securing the same - Google Patents
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Description
五、發明說明(2) ’ Γ使得探針針體23之針尖23a與電子元件 座12上下移動裝於探針管22内部之彈簀,以吸收針 距。下移動幅度與探針針體23所能上下移動之幅度的: 其次說明探針裝置1〇之組裝方法。 板13、以及探針止旋導引裝置15共同扭 2 :緣面 =’從探針針體23側,將探針2。插入二 插入孔⑴,並使探針軸承21與絕緣m座12之探針 螺絲組Π與針座12緊密扭MX笨面板13相接。接著將 於針座1?扯 緊扭緊合’错以使探針軸承21固定 崎探針===管=以調整,使得當針尖23a 卡16,當針座in::元件能無障礙地通過探針 端。“十座臂14抬南時’針尖23a會接觸電子元件之終 轉進=上^述’由於是從針座12之外圍壁面將螺絲組17扭 圍壁面之二所以在探針20與針座12之外 芝規】η〗 再置其他的探針20。目此,探針20會 二,以至於2列、或者是]字形以至於口字形的木配十2。會 【發明所欲解決之課題】 _置 上述之以往類型針座的探針裝 也就是㈣著近年來電子元件的複;1:下=時 :來配置探針2〇的話,就必須將針座12加;= J12變大的話,探針卡16相對於探針23 = 變大,因而出現探針20動作不佳、探針針體23損壞=之 1278628 五、發明說明(3) 量。 因此,本發明之目的為不使針座 供能有效固定多數探針之探針。 【解決課題之方法】 為了解決上述問題並達到1 及探針固著方法之構成如下:八目的 (1)關於將探斜> I & 之探針裝置,其/包含= 於該外罩-方罩,待測 尖;朴成4開側用以支撐該 ,"係形成於該外罩另一方 k針之基端部固定。兮鈕 力万 穿孔,JL总i 該針座,其係包 探針插該固定器主體貫穿該外 之二m;導引孔,其係形成 用以卡住$二疋承座部,其係形成於 定承針;内螺紋部,其係形 嵌合心::該探針係包含:基轴 該導引孔:义、文部’其係形成與該探 d定承座部卡住。 為ι=)‘所記載之探針^其 (3) 如上述同圓心形成 為,盆#你炎斤載之杈針裝置,其 ,、係作為該内螺紋 占 (4) 如上述d )所々勃夕、4下八而形 所纪載之探針裝置,該 大型化的狀況下,提 ,本發明之探針裝置 ,藉以測量該待測物 物支撐部,其係形成 待測物,並導弓丨該針 之開口側,用以將該 含:固定器主體;貫 罩的軸心方向,且該 於該貫穿孔的該一方 該另一方之開口側, 成於該導引孔及該固 部,其係與讓導弓丨孔 針主體之外圍,並與 調整螺紋部螺合,並 上述内容為其特徵。 中該導引孔之特徵 〇 中該導引孔之特徵 成。 固定承座部之座面的
I278628 五、發明說明⑷ 1徵為,其係與該内 ^ — )探針固著方法,复1、、、文部之輛心垂直。 紋部Ιϊίί部形成,而ΛΛ 7固定°該探 針座甘八有與該調整螺纹邻、隹I刀之外圍形成調整螺 與ί内ί内部形成内螺紋· 螺合之固定螺帽。該 ;:该探針固著方法包含以^ ’另-端則配置固定承座 =弋承座部侧,將該了 t程:螺合製程,盆 車:,’其係將該 二二?内螺紋部進行螺合; 連結製程,其係將該固與該導引孔進行嵌合; 力;以連結。該探針固著;固定承座部中並且 【發明之實施例】 述内谷為其特徵。 第1圖為一剖面圖,顯示關於一 』不裝置於該探針裝詈弟3圖為一底面 過該探針裝置3〇,使電子 、針座40。第4圖為透 明圖。 子7°件之電極與探針針尖接觸的說 H探針裝置30包含安裝於傳送帶H之外夏si 疋用來搬運檢查對象子元件。從第j31/傳送帶Η 知外罩31之内·裝置有針座4〇 θ 方處,可 1圖中箭頭Ζ之方向(即外罩的軸e:K3)3上;吏=朝第 Γ面4太?針止旋導引裝置35、露出於傳送帶h上並且以? 表面來支撐電子元件W底面的探針卡36。 1且乂八 針座40包含固定器主體41。該固定器主體“之上形成
第8頁 1278628 圖式簡單說明 【構造圖之簡單說明】 【第1圖】 有關本發明一實施例之探針裝置的剖面圖。 【第2圖】 剖面圖,係顯示安裝於該探針裝置之針座的重要部分 及探針。 【第3圖】 安裝於該探針裝置之針座的底面圖。 【第4圖】 利用該探針裝置,使探針針尖接觸電子元件電極的說 明圖。 【第5圖】 以往之探針裝置的剖面圖。 符號說明】 30探針裝置 40 針座 44 内螺紋部 5 1 探針主體 54固定螺帽 31 外罩 42 貫穿孔 45導引孔 5 1 a 調整螺紋部 3 6探針卡 4 3 固定承座部 50探針 5 3基軸部
第11頁
Claims (1)
1278628 六、申請專利範圍 1 · 一種探針裝置 1該待測物特性 外罩; 待測物支撐部 待側物,並導引 針座,其係形 該針座,其係 固定器主體 貫穿孔,其 向,而該探針即 導引孔,其 固定承座部 針; 内螺紋部, 間; 該探針,其中 基轴部,其 調整螺紋部 該内螺紋部進行 固定元件,·其 該固定承座部。' 2·如申請專利範 之特徵為,其係 如申請專利範 係 ’其係使探針之針尖接觸待測物,用以測 ,其中包含: ,其係形成於該外罩之一方,用以支撐該 該針尖; 成於該外罩之另一方,用以固定該針尖; 包含: 係使該固定器主體貫穿該外罩的軸心方 插入該貫穿孔; 係形成於該貫穿孔之該_方; ,其係形成於該另一方,用以卡住該探 其係形成於該導引孔與該固定承座部之 包括: 係與該導引孔嵌合; ,其係形成於該探針φ雜々认闲 ♦可主體之外圍,用以盥 螺合; 〃 與該調整螺紋部淮^挪人 ^ |返订螺合,並且卡住於 圍第1項所述之探針裝置,其中該 與該内螺紋部以同圓心形成。 圍第“置,其中該導引孔 Ϊ278628
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