KR20020076124A

KR20020076124A - 프로브장치 및 프로브 고정방법

Info

Publication number: KR20020076124A
Application number: KR1020020015667A
Authority: KR
Inventors: 오카무라마쯔오; 야마모토히로시
Original assignee: 가부시키가이샤 도쿄 웰드
Priority date: 2001-03-26
Filing date: 2002-03-22
Publication date: 2002-10-09
Also published as: TWI278628B; JP3978314B2; JP2002286749A; KR100452142B1

Abstract

프로브홀더를 대형화하지 않고 많은 프로브를 효율적으로 유지할 수 있는 프로브장치를 제공한다. 하우징(31)의 다른 쪽에 형성되고, 프로브(50)를 유지하는 프로브홀더(40)를 구비하고, 프로브홀더(40)는 홀더 본체(41)와 상기 홀더 본체((41)를 관통하고, 프로브(50)가 삽입되는 관통공(42)과, 관통공(42)에 마련된 가이드공(45)과, 다른 쪽에 마련된 수납좌부(受納座部)(43)와, 가이드공과 상기 수납좌부와의 사이에 형성된 암나사부(44)를 구비하고, 프로브(50)는 가이드공(45)에 끼워 맞추는 기준샤프트(53)와, 프로브본체(51)의 외주에 마련된 암나사부(44)에 끼워 맞추는 조정나사(51a)와, 조정나사(51a)에 끼워 맞춤과 동시에 수납좌부(43)에 걸리는 고정너트(54)를 구비하고 있다.

Description

프로브장치 및 프로브 고정방법 {Probe Apparatus and Method of Securing the Same}

본 발명은 전자부품의 특성측정 등에 이용되는 프로브장치 및 프로브고정방법에 관한 것으로, 특히 다련(多連)부품의 측정에 이용하기 위하여 프로브를 효율적으로 유지할 수 있는 것에 관한 것이다.

전자부품의 특성을 측정하는 장치로서, 전자부품의 단자에 프로브의 침단자를 접촉시켜 측정을 행하는 프로브장치가 알려져 있다. 도 5는 이와 같은 프로브장치의 일예를 도시한 종단면도이다. 프로브장치(10)는 검사대상이 되는 전자부품이 반송되는 반송로(H)에 부착된 하우징(11)을 구비하고 있다. 하우징(11)내에는 후술하는 프로브(20)를 보호하는 프로브홀더(12), 절연플레이트(13), 프로브홀더(12)를 도 4중 화살표 Z방향(하우징의 축방향)으로 상하 이동시키는 프로브홀더 암(14), 프로브회전방지가이드(15)와, 반송로(H)로 노출하고, 그 상면에서 전자부품(도시 않음)의 저면을 지지하는 가이드칩(16)이 설치되어 있다. 또한, 도 4중 17은 프로브홀더(12)의 외주측에서 끼워지고, 프로브(20)를 고정하는 셋트나사를 도시하고 있다.

도 5중 20은 프로브를 도시하고 있다. 프로브(20)는 슬리브(21)와 배럴(22)과, 프로브침(23)을 구비하고 있다. 프로브침(23)의 선단측에는 침단자(23a)가 형성되고, 가이드칩(16)에 형성된 가이드공(16a)에 의하여 전자부품의 단자에 접촉하도록 왕복 운동이 가능하게 안내되어 있다. 또한, 프로브침(23)의 침단자(23a)는미소한 가이드칩(16)의 가이드공(16a)와 끼워 맞추어져 있으므로, 각 프로브는 가이드칩(16), 프로브홀더(12) 등에 대하여 고유의 경사각을 가지고 있다.

이와 같이 구성된 프로브장치(10)에서는, 프로브홀더 암(14)을 매개로 프로브홀더(12)를 상하로 움직임으로써 프로브침(23)의 침단자(23a)를 전자부품의 단자에 접촉시키고 있다. 프로브홀더(12)의 상하 운동폭과 프로브침(23)이 상하 이동할 수 있는 폭과의 차는 배럴(22)내에 마련된 스프링에 의하여 흡수하도록 되어 있다.

다음에, 프로브장치(10)의 조립방법에 대하여 설명한다. 절연플레이트(13), 프로브회전방지가이드(15)와 함께 프로브홀더(12)를 프로브홀더 암(14)에 나사 고정하고, 프로브홀더(12)에 마련된 프로브삽입공(12a)에 프로브(20)를 그 프로브침(23)측에서 끼우고, 절연플레이트(13)에 슬리브(21)를 당접시킨다. 다음에, 셋트나사(17)에 의하여, 프로브홀더(12)에 견고하게 나사 끼워 맞춤으로써 슬리브(21)를 프로브홀더(12)에 고정한다. 그리고, 가이드칩(16)상을 전자부품이 지장없이 통과할 수 있도록, 침단자(23a)를 가이드칩(16)의 상면보다 조금 내림과 함께, 프로브홀더 암(14)을 올렸을 때, 전자부품의 단자에 침단자(23a)가 접촉하도록 배럴(22)을 회전하여 조정하고 있었다.

상술한 바와 같이 각 프로브(20)는 프로브홀더(12)의 외주측벽에서 셋트나사(17)를 비틀어 넣어 고정하는 것에, 프로브(20)와 프로브홀더(12)의 외주벽과의 사이에 다른 프로브(20)를 배치할 수 없다. 이 때문에, 프로브(20)는 1열 내지 2열 또는 コ형 내지 ㅁ형으로 배치하게 된다.

상술한 종래의 프로브홀더를 구비한 프로브장치이면 다음과 같은 문제가 있었다. 즉, 최근의 전자부품의 다련(多連)화에 따라, 측정에 필요한 프로브(20)의 개수가 증가하고 있다. 이 때문에, 상술한 바와 같이 프로브(20)를 배치하려고 하면, 프로브홀더(12)를 크게 하여야 한다. 또한, 프로브홀더(12)가 크지면, 가이드칩(16)에 대한 프로브칩(23)의 경사각도가 크지므로, 프로브(20)의 동작불량, 프로브침(23)이 파손하는 등의 염려가 있었다.

그래서, 본 발명은 프로브홀더를 대형화하지 않고 많은 프로브를 효율적으로 유지할 수 있고 프로브장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

도 1은 본 발명의 일실시 형태에 관련된 프로브장치를 도시한 종단면도이고,

도 2는 상기 프로브장치에 조립된 프로브홀더의 요부 및 프로브를 도시하는 종단면도이고,

도 3은 상기 프로브장치에 조립된 프로브홀더를 도시한 저면도이고,

도 4는 상기 프로브장치에 의하여 전자부품의 전극에 프로브의 침단자를 당접한 설명도이고,

도 5는 종래의 프로브장치를 도시한 종단면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

30 : 프로브장치 31 : 하우징

36 : 가이드칩 40 : 프로브홀더

42 : 관통공 43 : 수납좌부

44 : 암나사부 45 : 가이드공

50 : 프로브 51 : 프로브본체

51a : 조정나사 53 : 기준샤프트

54 : 고정너트

상기 목적을 해결하고 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 프로브 장치 및 프로브고정방법은 다음과 같이 구성되어 있다.

(1) 워크에 프로브의 침단자를 접촉시켜 그 특성을 측정하기 위한 프로브장치에 있어서, 통형상으로 형성된 하우징과, 상기 하우징의 한쪽의 개구단측에 마련되어 상기 워크를 지지함과 동시에 상기 침단자를 안내하는 워크지지부와, 상기 하우징의 다른 쪽의 개구단측에 형성되고 상기 프로브를 유지하는 프로브홀더를 구비하고, 상기 프로브홀더는, 홀더 본체와, 상기 홀더 본체를 상기 하우징의 축방향으로 관통하고 상기 프로브가 삽입되는 관통공과, 상기 관통공의 상기 한쪽의 개구단측에 마련된 가이드공과, 상기 다른 쪽의 개구단측에 마련되어 상기 프로브를 걸리게 하는 수납좌부(受納座部)와, 상기 가이드공과 상기 수납좌부와의 사이에 형성된 암나사부를 구비하고, 상기 프로브는 상기 가이드공에 끼워 맞추는 기준샤프트와,상기 프로브본체의 외주에 마련되어 상기 암나사부에 나사 결합하는 조정나사부와, 상기 조정나사부에 나사 결합함과 동시에 상기 수납좌부에 걸리는 고정부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

(2) 상기 (1)에 기재된 프로브장치이고, 상기 가이드공은 상기 암나사와 동심에 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

(3) 상기 (2)에 기재된 프로브장치이고, 상기 가이드공은 상기 암나사의 아래 구멍으로서 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

(4) 상기 (1)에 기재된 프로브장치이고, 상기 수납좌부의 좌면은 상기 암나사의 축심에 직교하고 있는 것을 특징으로 한다.

(5) 그 선단측에 기준샤프트, 중간부의 외주면에 조정나사가 형성됨과 아울러 상기 조정나사에 나사 결합하는 고정 너트를 가지는 프로브를 내부에 암나사가 형성되고 또한 상기 암나사의 일단측에 상기 암나사와 동심의 가이드공 및 타단측에 수납좌부가 마련된 프로브홀더에 삽입 고정하는 프로브 고정방법에 있어서, 상기 조정 나사를 상기 수납좌부 측에서 상기 암나사에 나사 결합시키는 나사 결합공정과, 상기 프로브의 기준샤프트를 상기 가이드공에 끼워 맞추는 끼워 맞춤 공정과, 상기 고정부재를 상기 수납좌부에 걸리게 하여 체결하는 체결공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 관련된 프로브장치(30)를 도시한 종단면도, 도 2는 상기 프로브장치(30)의 측면도, 도 3은 상기 프로브장치(30)에 조립된 프로브홀더(40)를 도시한 저면도, 도 4는 상기 프로브장치(30)에 의하여 전자부품의 전극에 프로브의 침단자를 당접한 설명도이다.

프로브장치(30)는 검사대상이 되는 전자부품이 반송되는 반송로(H)에 부착된 하우징(31)을 구비하고 있다. 하우징(31)내에는 도면 중 아래쪽에서 프로브홀더(40), 절연플레이트(33), 프로브홀더(40)를 도 1의 화살표 Z방향(하우징의 축방향)으로 상하 이동시키는 프로브홀더 암(34), 프로브회전방지가이드(35)와, 반송로(H)에 노출하고 그 상면에서 전자부품(W)의 저면을 지지하는 가이드칩(36)이 설치되어 있다.

프로브홀더(40)는 홀더 본체(41)를 구비하고, 상기 홀더 본체(41)에는 홀더 본체(41)를 상하방향(하우징의 축방향)에 관통하는 복수의 관통공(42)이 형성되어 있다. 이들 관통공(42)은 도 3에 도시한 바와 같이 밀착하여 배치되어 있다. 관통공(42)은 도 2의 하측에서 수납좌부(43), 암나사부(44)와 상기 암나사부(44)의 아래 구멍으로서 형성되고 또한 동심적으로 형성된 가이드공(45)으로 이루어져 있다. 또한, 수납좌부(43)의 좌면(43a)은 암나사부(44)의 축심과 직교하고 있다.

프로브(50)는 프로브본체(51)를 구비하고 있다. 상기 프로브본체(51)의 도면 중 하단에는 접속단자(52), 상단에는 가이드공(45)에 끼워 맞추는 기준샤프트(53)가 마련되어 있다. 프로브본체(51)의 외주면에는 조정나사(51a)가 형성되어 있고, 고정 너트(54)가 나사 결합되어 있다. 기준샤프트(53)에는 프로브침(55)의 기단부가 부착되어 있고, 프로브침(55)의 선단측에는 침단자(55a)가 형성되고, 가이드칩(36)에 형성된 가이드공(36a)에 의하여 전자부품(W)의 단자에 접촉하도록 왕복 운동이 자유롭게 안내되어 있다.

이와 같이 구성된 프로브장치(30)는 다음과 같이 하여 조립된다.

즉, 절연플레이트(33), 프로브회전방지가이드(35)와 함께 프로브홀더(40)를 프로브홀더 암(34)에 나사 고정한다.

다음에, 프로브(50)를 프로브홀더(40)에 조립한다. 프로브(50)의 프로브침(55)을 프로브홀더(40)의 관통공(42)의 수납좌부(43)측에서 삽입한다. 가이드공(45)에 기준샤프트(53)를 통하여, 암나사부(44)에 조정나사(51a)를 나사 결합시킨다. 침단자(55a)가 측정부에 있어서 소정의 돌출량이 되도록, 조정나사(51a)에 의한 암나사부(44)에의 나사 결합량을 조정하여 미세조정을 행한다. 침단자(55a)의 위치가 결정된 시점에서, 고정너트(54)를 회전시켜 수납좌부(43)에 당접시켜 고정한다. 상기 가이드공(45)은 새롭게 마련하여도 좋고, 암나사부(44)의 아래 구멍이어도 좋다.

가이드공(45)에 기준샤프트(53)가 정밀 감합하고, 또한, 고정 너트(54)의 상단면이 수납좌부(43)에 조립되어 있으므로, 조정 나사(51a)의 심출(心出)이 가능한 상태에서 프로브(50)가 프로브홀더(40)에 부착된다. 마찬가지로 하여 모든 프로브(50)를 프로브홀더(40)에 조립한다.

이와 같이 구성된 프로브장치(30)에서는, 프로브홀더(40)에 프로브(50)를 외주부에서의 나사 고정할 필요가 없으므로, 1열 내지 2열 또는 コ형 내지 ㅁ형으로 배치할 필요가 없다. 즉, 프로브홀더(40)의 임의의 위치에 관통공(42)을 부착할 수 있다. 따라서, 프로브홀더(40)를 대형으로 하지 않고, 다수의 프로브(50)를 유지하는 것이 가능하다. 이 때문에, 가이드칩(36)에 대한 프로브침(55)의 경사 각도를작게 할 수 있게 되어, 프로브(50)의 동작불량, 프로브침(55)의 파손 등을 방지하는 것이 가능하다. 또한, 도 4는 본 발명의 프로브장치(30)에 의하여 전자부품의 전극에 프로브(50)의 침단자(55a)를 당접시킨 것이다.

또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 각종 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.

본 발명에 의하면, 프로브홀더를 대형화하지 않고 많은 프로브를 효율적으로 유지할 수 있는 프로브장치를 제공하는 것이 가능해진다.

Claims

워크에 프로브의 침단자를 접촉시켜 그 특성을 측정하기 위한 프로브장치에 있어서,

하우징과,

상기 하우징의 한쪽에 설치된 상기 워크를 지지함과 동시에 상기 침단자를 안내하는 워크지지부와,

상기 하우징의 다른 쪽에 형성되고, 상기 프로브를 지지하는 프로브홀더를 구비하고,

상기 프로브홀더는,

홀더본체와,

상기 홀더본체를 상기 하우징의 축방향으로 관통하고, 상기 프로브가 삽입되는 관통공과,

상기 관통공의 상기 한쪽에 마련된 가이드공과,

상기 다른 쪽에 마련된 상기 프로브를 걸리게 하는 수납좌부와,

상기 가이드공과 상기 수납좌부와의 사이에 형성된 암나사부를 구비하고,

상기 프로브는,

상기 가이드공에 끼워 맞추어지는 기준샤프트와

상기 프로브본체의 외주에 마련되어 상기 암나사부에 나사 결합하는 조정나사부와,

상기 조정나사부에 나사 결합함과 함께 상기 수납좌부에 걸리는 고정부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
제 1 항에 있어서, 상기 가이드공은 상기 암나사와 동심에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
제 2 항에 있어서, 상기 가이드공은 상기 암나사의 아래 구멍으로서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
제 1 항에 있어서, 상기 수납좌부의 좌면은 상기 암나사의 축심에 직교하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
그 선단측에 기준샤프트, 중간부의 외주면에 조정나사가 형성됨과 함께, 상기 조정나사에 나사 결합하는 고정너트를 가지는 프로브를 내부에 암나사가 형성되고, 또한, 상기 암나사의 일단측에 상기 암나사와 동심의 가이드공 및 타단측에 수납좌부가 마련된 프로브홀더에 삽입 고정하는 프로브 고정방법에 있어서,

상기 조정나사를 상기 수납좌부 측에서 상기 암나사에 나사 결합시키는 나사 결합 공정과,

상기 프로브의 기준샤프트를 상기 가이드공에 끼워 맞추는 끼워 맞춤 공정과,

상기 고정부재를 상기 수납좌부에 걸리게 하여 체결하는 체결공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브 고정방법.