JP2002286749A - プローブ装置及びプローブ固定方法 - Google Patents
プローブ装置及びプローブ固定方法Info
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】プローブホルダを大型化することなく多くのプ
ローブを効率よく保持することができるプローブ装置を
提供すること。 【解決手段】ハウジング３１の他方に形成され、プロー
ブ５０を保持するプローブホルダ４０を備え、プローブ
ホルダ４０は、ホルダ本体４１と、このホルダ本体４１
を貫通し、プローブ５０が挿入される貫通孔４２と、貫
通孔４２に設けられたガイド孔４５と、他方に設けられ
た座ぐり部４３と、ガイド孔と前記座ぐり部との間に形
成された雌ねじ部４４とを具備し、プローブ５０は、ガ
イド孔４５に嵌合する基準シャフト５３と、プローブ本
体５１の外周に設けられ雌ねじ部４４に螺合する調整ね
じ５１ａと、調整ねじ５１ａに螺合するとともに座ぐり
部４３に係止される固定ナット５４とを具備している。
ローブを効率よく保持することができるプローブ装置を
提供すること。 【解決手段】ハウジング３１の他方に形成され、プロー
ブ５０を保持するプローブホルダ４０を備え、プローブ
ホルダ４０は、ホルダ本体４１と、このホルダ本体４１
を貫通し、プローブ５０が挿入される貫通孔４２と、貫
通孔４２に設けられたガイド孔４５と、他方に設けられ
た座ぐり部４３と、ガイド孔と前記座ぐり部との間に形
成された雌ねじ部４４とを具備し、プローブ５０は、ガ
イド孔４５に嵌合する基準シャフト５３と、プローブ本
体５１の外周に設けられ雌ねじ部４４に螺合する調整ね
じ５１ａと、調整ねじ５１ａに螺合するとともに座ぐり
部４３に係止される固定ナット５４とを具備している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品の特性測
定等に用いられるプローブ装置及びプローブ固定方法に
関し、特に多連部品の測定に用いるためにプローブを効
率よく保持することができるものに関する。
定等に用いられるプローブ装置及びプローブ固定方法に
関し、特に多連部品の測定に用いるためにプローブを効
率よく保持することができるものに関する。
【０００２】
【従来の技術】電子部品の特性を測定する装置として、
電子部品の端子にプローブの針端子を接触させて測定を
行うプローブ装置が知られている。図５はこのようなプ
ローブ装置の一例を示す縦断面図である。プローブ装置
１０は、検査対象となる電子部品が搬送される搬送路Ｈ
に取り付けられたハウジング１１を備えている。ハウジ
ング１１内には、後述するプローブ２０を保持するプロ
ーブホルダ１２、絶縁プレート１３、プローブホルダ１
２を図４中矢印Ｚ方向（ハウジングの軸方向）に上下動
させるプローブホルダアーム１４、プローブ回り止めガ
イド１５と、搬送路Ｈに露出しその上面で電子部品（不
図示）の底面を支持するガイドチップ１６とが配設され
ている。また、図４中１７はプローブホルダ１２の外周
側から差し込まれ、プローブ２０を固定するセットねじ
を示している。
電子部品の端子にプローブの針端子を接触させて測定を
行うプローブ装置が知られている。図５はこのようなプ
ローブ装置の一例を示す縦断面図である。プローブ装置
１０は、検査対象となる電子部品が搬送される搬送路Ｈ
に取り付けられたハウジング１１を備えている。ハウジ
ング１１内には、後述するプローブ２０を保持するプロ
ーブホルダ１２、絶縁プレート１３、プローブホルダ１
２を図４中矢印Ｚ方向（ハウジングの軸方向）に上下動
させるプローブホルダアーム１４、プローブ回り止めガ
イド１５と、搬送路Ｈに露出しその上面で電子部品（不
図示）の底面を支持するガイドチップ１６とが配設され
ている。また、図４中１７はプローブホルダ１２の外周
側から差し込まれ、プローブ２０を固定するセットねじ
を示している。
【０００３】図５中２０はプローブを示している。プロ
ーブ２０は、スリーブ２１と、バレル２２と、プローブ
針２３とを備えている。プローブ針２３の先端側には針
端子２３ａが形成され、ガイドチップ１６に形成された
ガイド孔１６ａにより電子部品の端子に接触するように
往復動自在に案内されている。なお、プローブ針２３の
針端子２３ａは微小なガイドチップ１６のガイド孔１６
ａと嵌合されているため、各プローブはガイドチップ１
６、プローブホルダ１２等に対し固有の傾斜角を有して
いる。
ーブ２０は、スリーブ２１と、バレル２２と、プローブ
針２３とを備えている。プローブ針２３の先端側には針
端子２３ａが形成され、ガイドチップ１６に形成された
ガイド孔１６ａにより電子部品の端子に接触するように
往復動自在に案内されている。なお、プローブ針２３の
針端子２３ａは微小なガイドチップ１６のガイド孔１６
ａと嵌合されているため、各プローブはガイドチップ１
６、プローブホルダ１２等に対し固有の傾斜角を有して
いる。
【０００４】このように構成されたプローブ装置１０で
は、プローブホルダアーム１４を介してプローブホルダ
１２を上下に動かすことでプローブ針２３の針端子２３
ａを電子部品の端子に接触させている。プローブホルダ
１２の上下動幅とプローブ針２３が上下動できる幅との
差は、バレル２２内に設けられたスプリングによって吸
収するようになっている。
は、プローブホルダアーム１４を介してプローブホルダ
１２を上下に動かすことでプローブ針２３の針端子２３
ａを電子部品の端子に接触させている。プローブホルダ
１２の上下動幅とプローブ針２３が上下動できる幅との
差は、バレル２２内に設けられたスプリングによって吸
収するようになっている。
【０００５】次に、プローブ装置１０の組み立て方法に
ついて説明する。絶縁プレート１３、プローブ回り止め
ガイド１５とともにプローブホルダ１２をプローブホル
ダアーム１４にねじ止めし、プローブホルダ１２に設け
たプローブ挿入孔１２ａにプローブ２０をそのプローブ
針２３側から差し込んで、絶縁プレート１３にスリーブ
２１を当接させる。次に、セットねじ１７により、プロ
ーブホルダ１２に堅くねじ嵌合することでスリーブ２１
をプローブホルダ１２に固定する。そして、ガイドチッ
プ１６上を電子部品が支障なく通過できるように、針端
子２３ａをガイドチップ１６の上面より少し下げるとと
もに、プローブホルダアーム１４を上げた時、電子部品
の端子に針端子２３ａが接触するようにバレル２２を回
転して調整していた。
ついて説明する。絶縁プレート１３、プローブ回り止め
ガイド１５とともにプローブホルダ１２をプローブホル
ダアーム１４にねじ止めし、プローブホルダ１２に設け
たプローブ挿入孔１２ａにプローブ２０をそのプローブ
針２３側から差し込んで、絶縁プレート１３にスリーブ
２１を当接させる。次に、セットねじ１７により、プロ
ーブホルダ１２に堅くねじ嵌合することでスリーブ２１
をプローブホルダ１２に固定する。そして、ガイドチッ
プ１６上を電子部品が支障なく通過できるように、針端
子２３ａをガイドチップ１６の上面より少し下げるとと
もに、プローブホルダアーム１４を上げた時、電子部品
の端子に針端子２３ａが接触するようにバレル２２を回
転して調整していた。
【０００６】上述したように各プローブ２０はプローブ
ホルダ１２の外周壁側からセットねじ１７をねじ込んで
固定することから、プローブ２０とプローブホルダ１２
の外周壁との間に別のプローブ２０を配置することはで
きない。このため、プローブ２０は１列乃至２列あるい
はコの字形乃至ロの字形に配置することになる。
ホルダ１２の外周壁側からセットねじ１７をねじ込んで
固定することから、プローブ２０とプローブホルダ１２
の外周壁との間に別のプローブ２０を配置することはで
きない。このため、プローブ２０は１列乃至２列あるい
はコの字形乃至ロの字形に配置することになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のプロー
ブホルダを備えたプローブ装置であると次のような問題
があった。すなわち、最近の電子部品の多連化に伴い、
測定に必要なプローブ２０の本数が増えている。このた
め、上述したようにプローブ２０を配置しようとする
と、プローブホルダ１２を大きくしなくてはならない。
また、プローブホルダ１２が大きくなると、ガイドチッ
プ１６に対するプローブ針２３の傾斜角度が大きくなる
ため、プローブ２０の動作不良、プローブ針２３が破損
する等の虞があった。
ブホルダを備えたプローブ装置であると次のような問題
があった。すなわち、最近の電子部品の多連化に伴い、
測定に必要なプローブ２０の本数が増えている。このた
め、上述したようにプローブ２０を配置しようとする
と、プローブホルダ１２を大きくしなくてはならない。
また、プローブホルダ１２が大きくなると、ガイドチッ
プ１６に対するプローブ針２３の傾斜角度が大きくなる
ため、プローブ２０の動作不良、プローブ針２３が破損
する等の虞があった。
【０００８】そこで本発明は、プローブホルダを大型化
することなく多くのプローブを効率よく保持することが
できるプローブ装置を提供することを目的としている。
することなく多くのプローブを効率よく保持することが
できるプローブ装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決し目的を
達成するために、本発明のプローブ装置及びプローブ固
定方法は次のように構成されている。
達成するために、本発明のプローブ装置及びプローブ固
定方法は次のように構成されている。
【００１０】（１）ワークにプローブの針端子を接触さ
せてその特性を測定するためのプローブ装置において、
筒状に形成されたハウジングと、このハウジングの一方
の開口端側に設けられ前記ワークを支持するとともに、
前記針端子を案内するワーク支持部と、このハウジング
の他方の開口端側に形成され、前記プローブを保持する
プローブホルダとを備え、前記プローブホルダは、ホル
ダ本体と、このホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に
貫通し、前記プローブが挿入される貫通孔と、この貫通
孔の前記一方の開口端側に設けられたガイド孔と、前記
他方の開口端側に設けられ前記プローブを係止する座ぐ
り部と、前記ガイド孔と前記座ぐり部との間に形成され
た雌ねじ部とを具備し、前記プローブは、前記ガイド孔
に嵌合する基準シャフト部と、前記プローブ本体の外周
に設けられ前記雌ねじ部に螺合する調整ねじ部と、この
調整ねじ部に螺合するとともに前記座ぐり部に係止され
る固定部材とを具備していることを特徴とする。
せてその特性を測定するためのプローブ装置において、
筒状に形成されたハウジングと、このハウジングの一方
の開口端側に設けられ前記ワークを支持するとともに、
前記針端子を案内するワーク支持部と、このハウジング
の他方の開口端側に形成され、前記プローブを保持する
プローブホルダとを備え、前記プローブホルダは、ホル
ダ本体と、このホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に
貫通し、前記プローブが挿入される貫通孔と、この貫通
孔の前記一方の開口端側に設けられたガイド孔と、前記
他方の開口端側に設けられ前記プローブを係止する座ぐ
り部と、前記ガイド孔と前記座ぐり部との間に形成され
た雌ねじ部とを具備し、前記プローブは、前記ガイド孔
に嵌合する基準シャフト部と、前記プローブ本体の外周
に設けられ前記雌ねじ部に螺合する調整ねじ部と、この
調整ねじ部に螺合するとともに前記座ぐり部に係止され
る固定部材とを具備していることを特徴とする。
【００１１】（２）前記（１）に記載されたプローブ装
置であって、前記ガイド孔は、前記雌ねじと同心に形成
されていることを特徴とする。
置であって、前記ガイド孔は、前記雌ねじと同心に形成
されていることを特徴とする。
【００１２】（３）前記（２）に記載されたプローブ装
置であって、前記ガイド孔は、前記雌ねじの下穴として
形成されていることを特徴とする。
置であって、前記ガイド孔は、前記雌ねじの下穴として
形成されていることを特徴とする。
【００１３】（４）前記（１）に記載されたプローブ装
置であって、前記座ぐりの座面は前記雌ねじの軸心に直
交していることを特徴とする。
置であって、前記座ぐりの座面は前記雌ねじの軸心に直
交していることを特徴とする。
【００１４】（５）その先端側に基準シャフト、中間部
の外周面に調整ねじが形成されるとともに、前記調整ね
じに螺合する固定ナットを有するプローブを、内部に雌
ねじが形成され、かつ、前記雌ねじの一端側に前記雌ね
じと同心のガイド孔及び他端側に座ぐりが設けられたプ
ローブホルダに挿入固定するプローブ固定方法におい
て、前記調整ねじを前記座ぐり側から前記雌ねじに螺合
させる螺合工程と、前記プローブの基準シャフトを前記
ガイド孔に嵌合させる嵌合工程と、前記固定部材を前記
座ぐりに係止させて締結する締結工程とを備えているこ
とを特徴とする。
の外周面に調整ねじが形成されるとともに、前記調整ね
じに螺合する固定ナットを有するプローブを、内部に雌
ねじが形成され、かつ、前記雌ねじの一端側に前記雌ね
じと同心のガイド孔及び他端側に座ぐりが設けられたプ
ローブホルダに挿入固定するプローブ固定方法におい
て、前記調整ねじを前記座ぐり側から前記雌ねじに螺合
させる螺合工程と、前記プローブの基準シャフトを前記
ガイド孔に嵌合させる嵌合工程と、前記固定部材を前記
座ぐりに係止させて締結する締結工程とを備えているこ
とを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施の形態に係
るプローブ装置３０を示す縦断面図、図２は同プローブ
装置３０の側面図、図３は同プローブ装置３０に組み込
まれたプローブホルダ４０を示す底面図、図４は同プロ
ーブ装置３０により電子部品の電極にプローブの針端子
を当接した説明図である。
るプローブ装置３０を示す縦断面図、図２は同プローブ
装置３０の側面図、図３は同プローブ装置３０に組み込
まれたプローブホルダ４０を示す底面図、図４は同プロ
ーブ装置３０により電子部品の電極にプローブの針端子
を当接した説明図である。
【００１６】プローブ装置３０は、検査対象となる電子
部品が搬送される搬送路Ｈに取り付けられたハウジング
３１を備えている。ハウジング３１内には、図中下方か
らプローブホルダ４０、絶縁プレート３３、プローブホ
ルダ４０を図１中矢印Ｚ方向（ハウジングの軸方向）に
上下動させるプローブホルダアーム３４、プローブ回り
止めガイド３５と、搬送路Ｈに露出しその上面で電子部
品Ｗの底面を支持するガイドチップ３６とが配設されて
いる。
部品が搬送される搬送路Ｈに取り付けられたハウジング
３１を備えている。ハウジング３１内には、図中下方か
らプローブホルダ４０、絶縁プレート３３、プローブホ
ルダ４０を図１中矢印Ｚ方向（ハウジングの軸方向）に
上下動させるプローブホルダアーム３４、プローブ回り
止めガイド３５と、搬送路Ｈに露出しその上面で電子部
品Ｗの底面を支持するガイドチップ３６とが配設されて
いる。
【００１７】プローブホルダ４０は、ホルダ本体４１を
備え、このホルダ本体４１には、ホルダ本体４１を上下
方向（ハウジングの軸方向）に貫通する複数の貫通孔４
２が形成されている。これら貫通孔４２は図３に示すよ
うに密着して配置されている。貫通孔４２は、図２の下
側から座ぐり部４３、雌ねじ部４４と、この雌ねじ部４
４の下穴として形成され、かつ、同心的に形成されたガ
イド孔４５とから成っている。なお、座ぐり部４３の座
面４３ａは雌ねじ部４４の軸心と直交している。
備え、このホルダ本体４１には、ホルダ本体４１を上下
方向（ハウジングの軸方向）に貫通する複数の貫通孔４
２が形成されている。これら貫通孔４２は図３に示すよ
うに密着して配置されている。貫通孔４２は、図２の下
側から座ぐり部４３、雌ねじ部４４と、この雌ねじ部４
４の下穴として形成され、かつ、同心的に形成されたガ
イド孔４５とから成っている。なお、座ぐり部４３の座
面４３ａは雌ねじ部４４の軸心と直交している。
【００１８】プローブ５０は、プローブ本体５１を備え
ている。このプローブ本体５１の図中下端には接続端子
５２、上端にはガイド孔４５に嵌合する基準シャフト５
３が設けられている。プローブ本体５１外周面には、調
整ねじ５１ａが形成されており、固定ナット５４が螺合
している。基準シャフト５３にはプローブ針５５の基端
部が取り付けられており、プローブ針５５の先端側には
針端子５５ａが形成され、ガイドチップ３６に形成され
たガイド孔３６ａにより電子部品Ｗの端子に接触するよ
うに往復動自在に案内されている。
ている。このプローブ本体５１の図中下端には接続端子
５２、上端にはガイド孔４５に嵌合する基準シャフト５
３が設けられている。プローブ本体５１外周面には、調
整ねじ５１ａが形成されており、固定ナット５４が螺合
している。基準シャフト５３にはプローブ針５５の基端
部が取り付けられており、プローブ針５５の先端側には
針端子５５ａが形成され、ガイドチップ３６に形成され
たガイド孔３６ａにより電子部品Ｗの端子に接触するよ
うに往復動自在に案内されている。
【００１９】このように構成されたプローブ装置３０
は、次のようにして組み立てられる。すなわち、絶縁プ
レート３３、プローブ回り止めガイド３５とともにプロ
ーブホルダ４０をプローブホルダアーム３４にねじ止め
する。
は、次のようにして組み立てられる。すなわち、絶縁プ
レート３３、プローブ回り止めガイド３５とともにプロ
ーブホルダ４０をプローブホルダアーム３４にねじ止め
する。
【００２０】次に、プローブ５０をプローブホルダ４０
に組み付ける。プローブ５０のプローブ針５５をプロー
ブホルダ４０の貫通孔４２の座ぐり部４３側から挿入す
る。ガイド孔４５に基準シャフト５３を通し、雌ねじ部
４４に調整ねじ５１ａを螺合させる。針端子５５ａが測
定部において所定の突出量になるよう、調整ねじ５１ａ
による雌ねじ部４４への螺合量を調整して微調整を行
う。針端子５５ａの位置が決まった時点で、固定ナット
５４を回転させて座ぐり部４３に当接させて固定する。
このガイド孔４５は新しく設けても良く、雌ねじ部４４
の下孔であってもよい。
に組み付ける。プローブ５０のプローブ針５５をプロー
ブホルダ４０の貫通孔４２の座ぐり部４３側から挿入す
る。ガイド孔４５に基準シャフト５３を通し、雌ねじ部
４４に調整ねじ５１ａを螺合させる。針端子５５ａが測
定部において所定の突出量になるよう、調整ねじ５１ａ
による雌ねじ部４４への螺合量を調整して微調整を行
う。針端子５５ａの位置が決まった時点で、固定ナット
５４を回転させて座ぐり部４３に当接させて固定する。
このガイド孔４５は新しく設けても良く、雌ねじ部４４
の下孔であってもよい。
【００２１】ガイド孔４５に基準シャフト５３が精密嵌
合し、かつ、固定ナット５４の上端面が座ぐり部４３に
締め込まれているので、調整ねじ５１ａの心出しができ
た状態でプローブ５０がプローブホルダ４０に取り付け
られる。同様にして全てのプローブ５０をプローブホル
ダ４０に組み付ける。
合し、かつ、固定ナット５４の上端面が座ぐり部４３に
締め込まれているので、調整ねじ５１ａの心出しができ
た状態でプローブ５０がプローブホルダ４０に取り付け
られる。同様にして全てのプローブ５０をプローブホル
ダ４０に組み付ける。
【００２２】このように構成されたプローブ装置３０で
は、プローブホルダ４０にプローブ５０を外周部からの
ねじ止めする必要がないため、１列乃至２列あるいはコ
の字形乃至ロの字形に配置する必要がない。すなわち、
プローブホルダ４０の任意の位置に貫通孔４２を取り付
けることができる。したがって、プローブホルダ４０を
大型にすることなく、多数のプローブ５０を保持するこ
とが可能である。このため、ガイドチップ３６に対する
プローブ針５５の傾斜角度を小さくできることとなり、
プローブ５０の動作不良、プローブ針５５の破損等を防
止することが可能である。また、図４は本発明のプロー
ブ装置３０により電子部品の電極にプローブ５０の針端
子５５ａを当接させてあものである。
は、プローブホルダ４０にプローブ５０を外周部からの
ねじ止めする必要がないため、１列乃至２列あるいはコ
の字形乃至ロの字形に配置する必要がない。すなわち、
プローブホルダ４０の任意の位置に貫通孔４２を取り付
けることができる。したがって、プローブホルダ４０を
大型にすることなく、多数のプローブ５０を保持するこ
とが可能である。このため、ガイドチップ３６に対する
プローブ針５５の傾斜角度を小さくできることとなり、
プローブ５０の動作不良、プローブ針５５の破損等を防
止することが可能である。また、図４は本発明のプロー
ブ装置３０により電子部品の電極にプローブ５０の針端
子５５ａを当接させてあものである。
【００２３】なお、本発明は前記実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々
変形実施可能であるのは勿論である。
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々
変形実施可能であるのは勿論である。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、プローブホルダを大型
化することなく多くのプローブを効率よく保持すること
ができるプローブ装置を提供することが可能となる。
化することなく多くのプローブを効率よく保持すること
ができるプローブ装置を提供することが可能となる。
【図１】本発明の一実施の形態に係るプローブ装置を示
す縦断面図。
す縦断面図。
【図２】同プローブ装置に組み込まれたプローブホルダ
の要部及びプローブを示す縦断面図。
の要部及びプローブを示す縦断面図。
【図３】同プローブ装置に組み込まれたプローブホルダ
を示す底面図。
を示す底面図。
【図４】同プローブ装置により電子部品の電極にプロー
ブの針端子を当接した説明図。
ブの針端子を当接した説明図。
【図５】従来のプローブ装置を示す縦断面図。
３０…プローブ装置 ３１…ハウジング ３６…ガイドチップ ４０…プローブホルダ ４２…貫通孔 ４３…座ぐり部 ４４…雌ねじ部 ４５…ガイド孔 ５０…プローブ ５１…プローブ本体 ５１ａ…調整ねじ ５３…基準シャフト ５４…固定ナット
Claims (5)
- 【請求項１】ワークにプローブの針端子を接触させてそ
の特性を測定するためのプローブ装置において、 ハウジングと、 このハウジングの一方に設けられ前記ワークを支持する
とともに、前記針端子を案内するワーク支持部と、 このハウジングの他方に形成され、前記プローブを保持
するプローブホルダとを備え、 前記プローブホルダは、ホルダ本体と、 このホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前
記プローブが挿入される貫通孔と、 この貫通孔の前記一方に設けられたガイド孔と、 前記他方に設けられ前記プローブを係止する座ぐり部
と、 前記ガイド孔と前記座ぐり部との間に形成された雌ねじ
部とを具備し、 前記プローブは、前記ガイド孔に嵌合する基準シャフト
部と、 前記プローブ本体の外周に設けられ前記雌ねじ部に螺合
する調整ねじ部と、 この調整ねじ部に螺合するとともに前記座ぐり部に係止
される固定部材とを具備していることを特徴とするプロ
ーブ装置。 - 【請求項２】前記ガイド孔は、前記雌ねじと同心に形成
されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ
装置。 - 【請求項３】前記ガイド孔は、前記雌ねじの下穴として
形成されていることを特徴とする請求項２に記載のプロ
ーブ装置。 - 【請求項４】前記座ぐり部の座面は前記雌ねじの軸心に
直交していることを特徴とする請求項１に記載のプロー
ブ装置。 - 【請求項５】その先端側に基準シャフト、中間部の外周
面に調整ねじが形成されるとともに、前記調整ねじに螺
合する固定ナットを有するプローブを、内部に雌ねじが
形成され、かつ、前記雌ねじの一端側に前記雌ねじと同
心のガイド孔及び他端側に座ぐりが設けられたプローブ
ホルダに挿入固定するプローブ固定方法において、 前記調整ねじを前記座ぐり側から前記雌ねじに螺合させ
る螺合工程と、 前記プローブの基準シャフトを前記ガイド孔に嵌合させ
る嵌合工程と、 前記固定部材を前記座ぐりに係止させて締結する締結工
程とを備えていることを特徴とするプローブ固定方法。
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