JP3269039B2 - Ｘ線分析用試料ホルダおよびｘ線分析装置 - Google Patents
Ｘ線分析用試料ホルダおよびｘ線分析装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、微少量の固形試料
を複数個保持できる試料支持具を有し、蛍光Ｘ線分析装
置のようなＸ線分析装置にセットすることができる試料
ホルダおよびＸ線分析装置に関するものである。
を複数個保持できる試料支持具を有し、蛍光Ｘ線分析装
置のようなＸ線分析装置にセットすることができる試料
ホルダおよびＸ線分析装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】蛍光Ｘ線分析装置は、試料に一次Ｘ線の
ような放射線を照射して、試料から発生した蛍光Ｘ線を
測定することにより、試料の元素分析を行なう装置であ
る。この分析装置においては、通常、一次Ｘ線の照射位
置に試料を正しくセットするために、試料ホルダを用い
る。この試料ホルダに微少量の固形試料をセットする場
合には、目的の成分を含まない母材の表面に被検試料を
埋め込んだり、粘着剤、粘着テープで試料台に固定した
りするのが一般的である。
ような放射線を照射して、試料から発生した蛍光Ｘ線を
測定することにより、試料の元素分析を行なう装置であ
る。この分析装置においては、通常、一次Ｘ線の照射位
置に試料を正しくセットするために、試料ホルダを用い
る。この試料ホルダに微少量の固形試料をセットする場
合には、目的の成分を含まない母材の表面に被検試料を
埋め込んだり、粘着剤、粘着テープで試料台に固定した
りするのが一般的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
母材表面に埋め込む方法では、例えば、繊維質セルロー
スを予め軽く加圧成形しておき、微少量の被検試料をそ
の上に置き、さらに、加圧成形しており、加圧成形作業
が煩雑であるという問題がある。後者の粘着剤、粘着テ
ープ等で固定する方法においては、埋め込む方法よりは
幾分容易に試料を固定することはできるが、試料の固定
位置が一定しない。
母材表面に埋め込む方法では、例えば、繊維質セルロー
スを予め軽く加圧成形しておき、微少量の被検試料をそ
の上に置き、さらに、加圧成形しており、加圧成形作業
が煩雑であるという問題がある。後者の粘着剤、粘着テ
ープ等で固定する方法においては、埋め込む方法よりは
幾分容易に試料を固定することはできるが、試料の固定
位置が一定しない。
【０００４】本発明は、このような課題を解決して、簡
便に微少量の試料を正確な位置に保持することができる
Ｘ線分析用試料ホルダおよびこの試料ホルダを備えたＸ
線分析装置を提供することを目的としている。
便に微少量の試料を正確な位置に保持することができる
Ｘ線分析用試料ホルダおよびこの試料ホルダを備えたＸ
線分析装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本件第１の発明の試料ホルダは、Ｘ線分析装置によ
って分析される試料を保持するためのＸ線分析用試料ホ
ルダであって、試料を支持する試料支持具が試料ホルダ
に着脱自在に取り付けられており、前記試料支持具は、
有底筒形状の本体と、該本体の底壁に立設され、先端面
で試料を支持する１つ以上の棒状の支持部材と、前記本
体の開口部を覆い、前記試料を前記支持部材との間で支
持するフィルムを備えている。この構成によれば、試料
はフィルムと棒状の支持部材の先端面とのあいだに挟み
込まれて保持されるから、簡単な構成で、分析に必要な
微少量を確保して保持できる。また、粘着剤等による汚
染もなく、分析後にフィルムを取り外すことにより、試
料を完全に回収することができる。さらに、支持部材の
周りは空間であるから、散乱線を抑制することができ
る。また、支持部材の接着剤等による汚染の心配もな
く、フィルムを交換するだけで、何度でも支持部材を使
用することができる。
に、本件第１の発明の試料ホルダは、Ｘ線分析装置によ
って分析される試料を保持するためのＸ線分析用試料ホ
ルダであって、試料を支持する試料支持具が試料ホルダ
に着脱自在に取り付けられており、前記試料支持具は、
有底筒形状の本体と、該本体の底壁に立設され、先端面
で試料を支持する１つ以上の棒状の支持部材と、前記本
体の開口部を覆い、前記試料を前記支持部材との間で支
持するフィルムを備えている。この構成によれば、試料
はフィルムと棒状の支持部材の先端面とのあいだに挟み
込まれて保持されるから、簡単な構成で、分析に必要な
微少量を確保して保持できる。また、粘着剤等による汚
染もなく、分析後にフィルムを取り外すことにより、試
料を完全に回収することができる。さらに、支持部材の
周りは空間であるから、散乱線を抑制することができ
る。また、支持部材の接着剤等による汚染の心配もな
く、フィルムを交換するだけで、何度でも支持部材を使
用することができる。
【０００６】本発明の好ましい実施形態では、前記棒状
の支持部材は、前記本体の底壁に螺合されて、前記フィ
ルムに向けて進退可能に設定されている。この構成によ
れば、支持部材の回転によって支持部材を進出させ、フ
ィルムにテンションを与えて、大きさ、高さの異なる試
料も、確実に支持部材とフィルムとの間にセットするこ
とができる。
の支持部材は、前記本体の底壁に螺合されて、前記フィ
ルムに向けて進退可能に設定されている。この構成によ
れば、支持部材の回転によって支持部材を進出させ、フ
ィルムにテンションを与えて、大きさ、高さの異なる試
料も、確実に支持部材とフィルムとの間にセットするこ
とができる。
【０００７】また、本発明の好ましい実施形態では、前
記棒状の支持部材の先端面に凹所が設けられている。こ
の構成によれば、試料が粉末等、極微小である場合に、
飛散を防止することができ、試料を完全に回収すること
もできる。
記棒状の支持部材の先端面に凹所が設けられている。こ
の構成によれば、試料が粉末等、極微小である場合に、
飛散を防止することができ、試料を完全に回収すること
もできる。
【０００８】本件第２の発明の試料ホルダは、Ｘ線分析
装置によって分析される試料を保持するためのＸ線分析
用試料ホルダであって、試料を支持する試料支持具が試
料ホルダに着脱自在に取り付けられており、前記試料支
持具は、有底筒形状の本体と、該本体の底壁に高さ調節
自在に立設され、先端面に試料が支持される１つ以上の
棒状の支持部材とを備えている。この構成によれば、試
料は、棒状の支持部材の先端面に支持されるので、支持
位置が一定となる。また、支持部材の高さ調整が容易で
あるので、大きさ（高さ）の異なる微小試料を試料ホル
ダの所定の高さに容易に合わせることができる。
装置によって分析される試料を保持するためのＸ線分析
用試料ホルダであって、試料を支持する試料支持具が試
料ホルダに着脱自在に取り付けられており、前記試料支
持具は、有底筒形状の本体と、該本体の底壁に高さ調節
自在に立設され、先端面に試料が支持される１つ以上の
棒状の支持部材とを備えている。この構成によれば、試
料は、棒状の支持部材の先端面に支持されるので、支持
位置が一定となる。また、支持部材の高さ調整が容易で
あるので、大きさ（高さ）の異なる微小試料を試料ホル
ダの所定の高さに容易に合わせることができる。
【０００９】
【００１０】また、本発明の好ましい実施形態では、さ
らに、前記試料支持具の本体の外周に試料ホルダに対す
る周方向の位置決めを行なうための係合部が設けられて
いる。この構成によれば、Ｘ線の照射方向の位置決めが
容易である。
らに、前記試料支持具の本体の外周に試料ホルダに対す
る周方向の位置決めを行なうための係合部が設けられて
いる。この構成によれば、Ｘ線の照射方向の位置決めが
容易である。
【００１１】本件第３の発明のＸ線分析装置は、前記Ｘ
線分析用試料ホルダを二次元的に駆動するテーブルにセ
ットし、前記試料ホルダに保持された試料のＸ線分析を
行なうＸ線分析装置であって、前記試料ホルダの回転方
向の位置を検出するセンサを有し、前記テーブルにセッ
トされる前に、前記試料ホルダを回転駆動して前記セン
サからの検出信号に基づいて試料ホルダの回転方向の位
置決めを行なう試料回転方向位置決め機構を備えたこと
を特徴としている。この構成によれば、Ｘ線分析装置に
対する試料ホルダの位置を容易に定めることができる。
線分析用試料ホルダを二次元的に駆動するテーブルにセ
ットし、前記試料ホルダに保持された試料のＸ線分析を
行なうＸ線分析装置であって、前記試料ホルダの回転方
向の位置を検出するセンサを有し、前記テーブルにセッ
トされる前に、前記試料ホルダを回転駆動して前記セン
サからの検出信号に基づいて試料ホルダの回転方向の位
置決めを行なう試料回転方向位置決め機構を備えたこと
を特徴としている。この構成によれば、Ｘ線分析装置に
対する試料ホルダの位置を容易に定めることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
について図面を参照しながら詳述する。まず、蛍光Ｘ線
分析装置の概略について説明する。図１１において、Ｘ
線管（放射線源）５０は、一次Ｘ線（放射線）Ｂ１を出
射して、試料ホルダ８内の試料支持具１に保持された粉
末の微少量の固形試料である試料Ｓに、一次Ｘ線Ｂ１を
照射する。試料Ｓに照射された一次Ｘ線Ｂ１は、試料Ｓ
の元素を励起して、その元素固有の蛍光Ｘ線Ｂ２を発生
させる。試料Ｓからの蛍光Ｘ線Ｂ２は、視野制限スリッ
ト５１および第１のソーラスリット５２を通過し、分光
結晶５３に入射角θで入射し、ブラッグの式を満足する
所定の波長の蛍光Ｘ線Ｂ２のみが、入射角θと同一の回
折角θで回折される。回折された蛍光Ｘ線Ｂ２は、第２
のソーラスリット５４を通過したあと、Ｘ線検出器５５
に入射して検出される。この検出値に基づいて試料Ｓの
元素分析がなされる。試料ホルダ８は、一方向の直線移
動と回転を行なうＲθテーブル５６上に載置され、Ｒθ
テーブル５６の駆動により、試料Ｓを照射位置に移動さ
せてＸ線を照射させる。
について図面を参照しながら詳述する。まず、蛍光Ｘ線
分析装置の概略について説明する。図１１において、Ｘ
線管（放射線源）５０は、一次Ｘ線（放射線）Ｂ１を出
射して、試料ホルダ８内の試料支持具１に保持された粉
末の微少量の固形試料である試料Ｓに、一次Ｘ線Ｂ１を
照射する。試料Ｓに照射された一次Ｘ線Ｂ１は、試料Ｓ
の元素を励起して、その元素固有の蛍光Ｘ線Ｂ２を発生
させる。試料Ｓからの蛍光Ｘ線Ｂ２は、視野制限スリッ
ト５１および第１のソーラスリット５２を通過し、分光
結晶５３に入射角θで入射し、ブラッグの式を満足する
所定の波長の蛍光Ｘ線Ｂ２のみが、入射角θと同一の回
折角θで回折される。回折された蛍光Ｘ線Ｂ２は、第２
のソーラスリット５４を通過したあと、Ｘ線検出器５５
に入射して検出される。この検出値に基づいて試料Ｓの
元素分析がなされる。試料ホルダ８は、一方向の直線移
動と回転を行なうＲθテーブル５６上に載置され、Ｒθ
テーブル５６の駆動により、試料Ｓを照射位置に移動さ
せてＸ線を照射させる。
【００１３】本発明の試料支持具１は、図１に示すよう
に、試料Ｓ１を先端面に載置する棒状の支持部材２と、
有底筒形状の本体（以下、「サンプルカップ」という）
３と、本体３の開口部３ｄに張着されるフィルム４とを
備えており、試料Ｓ１は、棒状の支持部材２の先端面２
ａとフィルム４との間に挟み込まれて保持される。
に、試料Ｓ１を先端面に載置する棒状の支持部材２と、
有底筒形状の本体（以下、「サンプルカップ」という）
３と、本体３の開口部３ｄに張着されるフィルム４とを
備えており、試料Ｓ１は、棒状の支持部材２の先端面２
ａとフィルム４との間に挟み込まれて保持される。
【００１４】棒状の支持部材２は、試料Ｓ１を載せる先
端面２ａを形成する細長い円柱部２ｂと、その円柱部２
ｂの根元に設けられた雄ねじ部２ｃとからなり、雄ねじ
部２ｃの外径は、円柱部２ｂの外径よりも大きく形成さ
れ、雄ねじ部２ｃの裏面２ｅには、ドライバー等で操作
可能なように溝２ｄが刻設されている。一方、サンプル
カップ３の底壁３ａの中心には、雌ねじ部３ｂが形成さ
れており、支持部材２は、底壁３ａの下側から筒内に挿
入され、底壁３ａにドライバー等でねじ込まれてサンプ
ルカップ３の中央に立設される。この支持部材２は、ポ
リプロピレンのような樹脂によって形成されている。
端面２ａを形成する細長い円柱部２ｂと、その円柱部２
ｂの根元に設けられた雄ねじ部２ｃとからなり、雄ねじ
部２ｃの外径は、円柱部２ｂの外径よりも大きく形成さ
れ、雄ねじ部２ｃの裏面２ｅには、ドライバー等で操作
可能なように溝２ｄが刻設されている。一方、サンプル
カップ３の底壁３ａの中心には、雌ねじ部３ｂが形成さ
れており、支持部材２は、底壁３ａの下側から筒内に挿
入され、底壁３ａにドライバー等でねじ込まれてサンプ
ルカップ３の中央に立設される。この支持部材２は、ポ
リプロピレンのような樹脂によって形成されている。
【００１５】この棒状の支持部材２の外径は小さく、図
２に示されるように、支持部材２の先端面２ａは試料Ｓ
１によってほぼ完全に覆われる。したがって、試料Ｓ１
は、中空に保持されることになり、試料Ｓ１の周辺の部
材から発生する散乱線の量が少なくなり、分析精度が高
まる。また、これにより、支持部材２の製造に当たっ
て、目的の成分を含まない材料を考慮する必要性が少な
くなる。そこで、成形のし易さなどの観点から前述の樹
脂により形成することができる。
２に示されるように、支持部材２の先端面２ａは試料Ｓ
１によってほぼ完全に覆われる。したがって、試料Ｓ１
は、中空に保持されることになり、試料Ｓ１の周辺の部
材から発生する散乱線の量が少なくなり、分析精度が高
まる。また、これにより、支持部材２の製造に当たっ
て、目的の成分を含まない材料を考慮する必要性が少な
くなる。そこで、成形のし易さなどの観点から前述の樹
脂により形成することができる。
【００１６】図１に示すサンプルカップ３は、外周に環
状の溝３ｃが形成されており、スナップリング７をこの
溝３ｃに嵌め込んで、フィルム４が適当なテンションで
開口部３ｄを覆うようにフィルム４を支持する。このス
ナップリング７でフィルム４を支持することにより、フ
ィルム４の着脱が容易になり、簡単に新しいものに交換
することができる。しかし、本発明では、これに限定さ
れず、例えば、フィルム４は、接着剤などでサンプルカ
ップ３に貼着するようにしてもよい。また、サンプルカ
ップ３の底壁３ａには、内部を真空に引く場合などのた
めに、空気孔１０が設けられている。
状の溝３ｃが形成されており、スナップリング７をこの
溝３ｃに嵌め込んで、フィルム４が適当なテンションで
開口部３ｄを覆うようにフィルム４を支持する。このス
ナップリング７でフィルム４を支持することにより、フ
ィルム４の着脱が容易になり、簡単に新しいものに交換
することができる。しかし、本発明では、これに限定さ
れず、例えば、フィルム４は、接着剤などでサンプルカ
ップ３に貼着するようにしてもよい。また、サンプルカ
ップ３の底壁３ａには、内部を真空に引く場合などのた
めに、空気孔１０が設けられている。
【００１７】前記フィルム４は、ポリエステル、ポリプ
ロピレンなどの樹脂からなるものである。
ロピレンなどの樹脂からなるものである。
【００１８】本発明の試料支持具１は、図２に示される
ように、試料ホルダ８に着脱自在に取り付けられて使用
される。試料ホルダ８は、有底筒形状のケース８ｃと、
サンプルカップ３の開口端３ｅを押さえる環状の押え板
８ｂと、押え板８ｂをケース８ｃに押さえつけるように
ケース８ｃに螺着される環状のキャップ８ａとからな
る。ケース８ｃの底には、試料支持具１を押圧固定する
ための弾性体であるスポンジ９が挿入され、スポンジ９
の上に試料支持具１を載せて、サンプルカップ３の開口
部３ｄと押え板８ｂの開口部８ｄとを同心に保持しなが
ら、キャップ８ａを回してケース８ｃに固定する。スポ
ンジ９の他に、コイルスプリング等の弾性体を用いても
よい。試料ホルダ８は、ステンレスやアルミニウムなど
によって形成される。
ように、試料ホルダ８に着脱自在に取り付けられて使用
される。試料ホルダ８は、有底筒形状のケース８ｃと、
サンプルカップ３の開口端３ｅを押さえる環状の押え板
８ｂと、押え板８ｂをケース８ｃに押さえつけるように
ケース８ｃに螺着される環状のキャップ８ａとからな
る。ケース８ｃの底には、試料支持具１を押圧固定する
ための弾性体であるスポンジ９が挿入され、スポンジ９
の上に試料支持具１を載せて、サンプルカップ３の開口
部３ｄと押え板８ｂの開口部８ｄとを同心に保持しなが
ら、キャップ８ａを回してケース８ｃに固定する。スポ
ンジ９の他に、コイルスプリング等の弾性体を用いても
よい。試料ホルダ８は、ステンレスやアルミニウムなど
によって形成される。
【００１９】図３および図４に示されるように、支持部
材２の先端面２ａに、試料Ｓ１を収納するための凹所
５、６を設けてもよい。図３の凹所５は、軸方向に円形
に座ぐりを入れたものであり、図４の凹所６は、すり鉢
状に彫り下げたものである。このような凹所５、６によ
って、とくに、粉末などの極微小の試料Ｓ１が先端面２
ａからこぼれないように保持することができ、高価な試
料を分析する場合などに、分析後に試料Ｓ１を完全に回
収することができる。
材２の先端面２ａに、試料Ｓ１を収納するための凹所
５、６を設けてもよい。図３の凹所５は、軸方向に円形
に座ぐりを入れたものであり、図４の凹所６は、すり鉢
状に彫り下げたものである。このような凹所５、６によ
って、とくに、粉末などの極微小の試料Ｓ１が先端面２
ａからこぼれないように保持することができ、高価な試
料を分析する場合などに、分析後に試料Ｓ１を完全に回
収することができる。
【００２０】さらに、図５および図６に基づいて、他の
実施形態を説明する。図５は、試料支持具１の斜視図で
あり、図６は、図５の試料支持具１を試料ホルダ８に収
納した状態の横断面の説明図である。
実施形態を説明する。図５は、試料支持具１の斜視図で
あり、図６は、図５の試料支持具１を試料ホルダ８に収
納した状態の横断面の説明図である。
【００２１】図５において、サンプルカップ１３は、複
数の支持部材２を有している。支持部材２は、図１〜図
４に示されたものと同様の棒状のものであり、図６に示
されるように、サンプルカップ１３の底壁１３ａに形成
された複数の雌ねじ部１３ｂに螺合されて固定される。
支持部材２の数および位置は、特に限定されない。ま
た、底壁１３ａに空気孔２０を適宜設けてもよい。
数の支持部材２を有している。支持部材２は、図１〜図
４に示されたものと同様の棒状のものであり、図６に示
されるように、サンプルカップ１３の底壁１３ａに形成
された複数の雌ねじ部１３ｂに螺合されて固定される。
支持部材２の数および位置は、特に限定されない。ま
た、底壁１３ａに空気孔２０を適宜設けてもよい。
【００２２】さらに、図５において、サンプルカップ１
３の外周には、径方向に突出して軸方向に延びる三角形
状の突起からなる係合部１１が設けられている。一方、
図６に示されるように、サンプルカップ１３を収納する
試料ホルダ８の内周に、サンプルカップ１３の係合部１
１と係合する三角形状の凹所からなる被係合部１９が軸
方向に延設されている。これにより、試料ホルダ８内に
サンプルカップ１３を収納するときの周方向の位置決め
を行なうことができる。
３の外周には、径方向に突出して軸方向に延びる三角形
状の突起からなる係合部１１が設けられている。一方、
図６に示されるように、サンプルカップ１３を収納する
試料ホルダ８の内周に、サンプルカップ１３の係合部１
１と係合する三角形状の凹所からなる被係合部１９が軸
方向に延設されている。これにより、試料ホルダ８内に
サンプルカップ１３を収納するときの周方向の位置決め
を行なうことができる。
【００２３】他方、試料ホルダ８の図１１に示すＲθテ
ーブル５６に対する位置決めは、次のようになされる。
すなわち、試料ホルダ８は、Ｘ線分析装置の外部から、
Ｘ線分析装置の試料投入口６２に運ばれて、この投入口
６２に設けた試料回転方向位置決め機構６５の回転台６
４の上に載置され、駆動モータ６３の駆動によって回転
台６４とともに回転する。この試料回転方向位置決め機
構６５は、投入口６２の周縁部に固定されたセンサ６０
を有しており、図６に示す試料ホルダ８の外周面に設け
られた被検出部６１を、センサ６０で検出させ、駆動モ
ータ６３を止め、試料ホルダ８を定められた回転位置に
する。試料ホルダ８の回転位置が定まったら、試料ホル
ダ８は、搬送機構６６により昇降および平行移動し、Ｒ
θテーブル５６上に搬送される。こうして、試料ホルダ
８のＲθテーブル５６に対する位置が決まるので、複数
の支持部材２のそれぞれの径方向（Ｒ方向）および回転
方向（θ方向）の位置座標が決まる。したがって、Ｒθ
テーブル５６の駆動により、座標を用いて複数の支持部
材２の先端面２ａを照射位置に設定し、試料Ｓ１に正確
にＸ線を照射させることができる。なお、被検出部６１
は、図示例では、図６および図１０に示されるように、
軸方向に長く延びた溝であるが、センサ６０によって検
出しうるものであれば、例えば、突起でもよい。また、
Ｒθテーブルのかわりに、直行する２方向に移動可能な
ＸＹテーブルなど、二次元的に駆動されるテーブルを適
宜用いることができる。
ーブル５６に対する位置決めは、次のようになされる。
すなわち、試料ホルダ８は、Ｘ線分析装置の外部から、
Ｘ線分析装置の試料投入口６２に運ばれて、この投入口
６２に設けた試料回転方向位置決め機構６５の回転台６
４の上に載置され、駆動モータ６３の駆動によって回転
台６４とともに回転する。この試料回転方向位置決め機
構６５は、投入口６２の周縁部に固定されたセンサ６０
を有しており、図６に示す試料ホルダ８の外周面に設け
られた被検出部６１を、センサ６０で検出させ、駆動モ
ータ６３を止め、試料ホルダ８を定められた回転位置に
する。試料ホルダ８の回転位置が定まったら、試料ホル
ダ８は、搬送機構６６により昇降および平行移動し、Ｒ
θテーブル５６上に搬送される。こうして、試料ホルダ
８のＲθテーブル５６に対する位置が決まるので、複数
の支持部材２のそれぞれの径方向（Ｒ方向）および回転
方向（θ方向）の位置座標が決まる。したがって、Ｒθ
テーブル５６の駆動により、座標を用いて複数の支持部
材２の先端面２ａを照射位置に設定し、試料Ｓ１に正確
にＸ線を照射させることができる。なお、被検出部６１
は、図示例では、図６および図１０に示されるように、
軸方向に長く延びた溝であるが、センサ６０によって検
出しうるものであれば、例えば、突起でもよい。また、
Ｒθテーブルのかわりに、直行する２方向に移動可能な
ＸＹテーブルなど、二次元的に駆動されるテーブルを適
宜用いることができる。
【００２４】なお、図１および図２に示される実施形態
のような、１本の支持部材２のみを有するサンプルカッ
プ３についても、図５および図６に示されるような、試
料ホルダ８に対する位置決めが行なえる構成にしてもよ
い。いうまでもなく、試料ホルダ８側に突起を設けて、
サンプルカップ１３側に凹所を設けるようにしてもよ
い。
のような、１本の支持部材２のみを有するサンプルカッ
プ３についても、図５および図６に示されるような、試
料ホルダ８に対する位置決めが行なえる構成にしてもよ
い。いうまでもなく、試料ホルダ８側に突起を設けて、
サンプルカップ１３側に凹所を設けるようにしてもよ
い。
【００２５】また、図６に示されるように、試料回転方
向位置決め機構６５にセンサ６０が設けられているので
試料ホルダ８の回転方向（矢印ａ方向）の位置決めを行
なうことができる。本発明では、図１１に示したセンサ
６０には、光センサを用いることができ、試料ホルダ８
の外周に設けられた凹部（凸部でもよい）のような被検
出部６１での反射波の強度変化から位置を検出する。
向位置決め機構６５にセンサ６０が設けられているので
試料ホルダ８の回転方向（矢印ａ方向）の位置決めを行
なうことができる。本発明では、図１１に示したセンサ
６０には、光センサを用いることができ、試料ホルダ８
の外周に設けられた凹部（凸部でもよい）のような被検
出部６１での反射波の強度変化から位置を検出する。
【００２６】さらに、図７において、他の実施形態を説
明する。この試料支持具２１は、サンプルカップ２３
に、図１と同様の棒状の支持部材２を螺合させて高さ調
節自在としたものであり、微小な粒状の固形試料Ｓ２を
支持部材２の先端、つまり、一定の位置に支持すること
ができる。試料Ｓ２は、例えば、支持部材２の先端に粘
着剤で保持されており、図１に示されているようなフィ
ルムは割愛されている。これにより、宇宙の石粒のほ
か、虫の卵などもＸ線分析装置に容易にセットすること
ができる。
明する。この試料支持具２１は、サンプルカップ２３
に、図１と同様の棒状の支持部材２を螺合させて高さ調
節自在としたものであり、微小な粒状の固形試料Ｓ２を
支持部材２の先端、つまり、一定の位置に支持すること
ができる。試料Ｓ２は、例えば、支持部材２の先端に粘
着剤で保持されており、図１に示されているようなフィ
ルムは割愛されている。これにより、宇宙の石粒のほ
か、虫の卵などもＸ線分析装置に容易にセットすること
ができる。
【００２７】次に、図８〜図１０に基づいて、本発明に
含まれない参考例を説明する。図９は、図８の縦断面図
であり、図１０は、図８および図９の試料支持具３１を
試料ホルダ８に取り付け、Ｘ線分析装置の試料ホルダ回
転方向位置決め機構６５にセットした状態での縦断面説
明図である。
含まれない参考例を説明する。図９は、図８の縦断面図
であり、図１０は、図８および図９の試料支持具３１を
試料ホルダ８に取り付け、Ｘ線分析装置の試料ホルダ回
転方向位置決め機構６５にセットした状態での縦断面説
明図である。
【００２８】図８に示すように、この試料支持具３１の
本体３３は、板状を呈しており、試料Ｓ３は、図９に示
す片面に張られたフィルム３４に、滴下、乾燥により保
持される。本体３３は、複数の挿入孔３２を有してお
り、フィルム３４は、接着剤により本体３３に貼着され
ている。フィルム３４を固定したら、本体３３を裏返
し、挿入孔３２に液体試料を滴下し、乾燥させて、フィ
ルム３４の裏面に試料を付着させる。この本体３３も、
外周に突起からなる係合部３０（図８参照）を設けて、
図１１に示すように、試料ホルダ８内に着脱自在に取り
付けられる。試料ホルダ８は、図２に示されるものと同
様に、ケース８ｃ、押え板８ｂおよびキャップ８ａから
なる。ケース８ｃの内部には、弾性体としてのスポンジ
９と中空カップ３５のような保持台が順次挿入されて、
中空カップ３５の開口端部の上に試料支持具３１が載置
され、押え板８ｂとの間に把持される。試料Ｓ３に照射
されたＸ線はＳ３を通過したのち中空カップ３５の中空
部にはいるので中空カップ３５からの散乱線が少なくな
る利点がある。
本体３３は、板状を呈しており、試料Ｓ３は、図９に示
す片面に張られたフィルム３４に、滴下、乾燥により保
持される。本体３３は、複数の挿入孔３２を有してお
り、フィルム３４は、接着剤により本体３３に貼着され
ている。フィルム３４を固定したら、本体３３を裏返
し、挿入孔３２に液体試料を滴下し、乾燥させて、フィ
ルム３４の裏面に試料を付着させる。この本体３３も、
外周に突起からなる係合部３０（図８参照）を設けて、
図１１に示すように、試料ホルダ８内に着脱自在に取り
付けられる。試料ホルダ８は、図２に示されるものと同
様に、ケース８ｃ、押え板８ｂおよびキャップ８ａから
なる。ケース８ｃの内部には、弾性体としてのスポンジ
９と中空カップ３５のような保持台が順次挿入されて、
中空カップ３５の開口端部の上に試料支持具３１が載置
され、押え板８ｂとの間に把持される。試料Ｓ３に照射
されたＸ線はＳ３を通過したのち中空カップ３５の中空
部にはいるので中空カップ３５からの散乱線が少なくな
る利点がある。
【００２９】図１０において、この試料ホルダ８にも、
図６と同様に、被検出部６１が設けられており、試料回
転方向位置決め機構６５に設けられたセンサ６０によ
り、周方向の位置決めを行なうことができるので、その
後に載置されるＲθテーブル５６（図１１参照）の駆動
により、試料支持具３１の所定の挿入孔３２を照射位置
に移動し、試料Ｓ３に正確にＸ線を照射することができ
る。
図６と同様に、被検出部６１が設けられており、試料回
転方向位置決め機構６５に設けられたセンサ６０によ
り、周方向の位置決めを行なうことができるので、その
後に載置されるＲθテーブル５６（図１１参照）の駆動
により、試料支持具３１の所定の挿入孔３２を照射位置
に移動し、試料Ｓ３に正確にＸ線を照射することができ
る。
【００３０】
【発明の効果】本発明のＸ線分析用試料ホルダおよびＸ
線分析装置によれば、簡便に微少量の固形試料を支持し
て、Ｘ線分析装置の所定の位置に容易にセットすること
ができ、分析精度を向上させることができる。
線分析装置によれば、簡便に微少量の固形試料を支持し
て、Ｘ線分析装置の所定の位置に容易にセットすること
ができ、分析精度を向上させることができる。
【図１】本発明の一実施形態である試料ホルダに取り付
けられる試料支持具の一部切欠斜視図である。
けられる試料支持具の一部切欠斜視図である。
【図２】前記試料支持具を試料ホルダに取り付けた状態
を示す縦断面図である。
を示す縦断面図である。
【図３】支持部材の変形例を示す縦断面図である。
【図４】支持部材のさらに他の変形例を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図５】第２実施形態における試料支持具を示す斜視図
である。
である。
【図６】図５の試料支持具を試料ホルダに取り付けた状
態を示す横断面図である。
態を示す横断面図である。
【図７】第３実施形態における試料支持具を示す斜視図
である。
である。
【図８】本発明に含まれない参考例における試料支持具
の板状の本体の斜視図である。
の板状の本体の斜視図である。
【図９】図８の縦断面図である。
【図１０】図８の板状の本体を試料ホルダに取り付けた
状態を示す縦断面図である。
状態を示す縦断面図である。
【図１１】本発明に係る蛍光Ｘ線分析装置の概略構成図
である。
である。
１、２１、３１…試料支持具、２…支持部材、２ａ…先
端面、２ｃ…雄ねじ部、３、１３、２３…サンプルカッ
プ（有底筒形状の本体）、３ａ、１３ａ…底壁、３ｂ、
１３ｂ…雌ねじ部、３ｄ…開口部、４…フィルム、５、
６…凹所、８…試料ホルダ、１１…係合部、３２…挿入
孔、３３…板状の本体、３４…フィルム、６０…セン
サ、Ｓ、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３…試料
端面、２ｃ…雄ねじ部、３、１３、２３…サンプルカッ
プ（有底筒形状の本体）、３ａ、１３ａ…底壁、３ｂ、
１３ｂ…雌ねじ部、３ｄ…開口部、４…フィルム、５、
６…凹所、８…試料ホルダ、１１…係合部、３２…挿入
孔、３３…板状の本体、３４…フィルム、６０…セン
サ、Ｓ、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３…試料
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−35343（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−339709（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 23/00 - 23/227 G01N 1/00 - 1/44
Claims (6)
- 【請求項１】 Ｘ線分析装置によって分析される試料を
保持するためのＸ線分析用試料ホルダであって、試料を
支持する試料支持具が試料ホルダに着脱自在に取り付け
られており、前記試料支持具は、有底筒形状の本体と、
該本体の底壁に立設され、先端面で試料を支持する１つ
以上の棒状の支持部材と、前記本体の開口部を覆い、前
記試料を前記支持部材との間で支持するフィルムを備え
ているＸ線分析用試料ホルダ。 - 【請求項２】 請求項１において、前記棒状の支持部材
は、前記本体の底壁に螺合されて、前記フィルムに向け
て進退可能に設定されているＸ線分析用試料ホルダ。 - 【請求項３】 請求項１または２において、前記棒状の
支持部材の先端面に凹所が設けられているＸ線分析用試
料ホルダ。 - 【請求項４】 Ｘ線分析装置によって分析される試料を
保持するためのＸ線分析用試料ホルダであって、試料を
支持する試料支持具が試料ホルダに着脱自在に取り付け
られており、前記試料支持具は、有底筒形状の本体と、
該本体の底壁に高さ調節自在に立設され、先端面に試料
が支持される１つ以上の棒状の支持部材とを備えている
Ｘ線分析用試料ホルダ。 - 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかにおいて、さら
に、前記試料支持具の本体の外周に試料ホルダに対する
周方向の位置決めを行なうための係合部が設けられてい
るＸ線分析用試料ホルダ。 - 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかに記載のＸ線分
析用試料ホルダを二次元的に駆動するテーブルにセット
し、前記試料ホルダに保持された試料のＸ線分析を行な
うＸ線分析装置であって、 前記試料ホルダの回転方向の位置を検出するセンサを有
し、前記テーブルにセットされる前に、前記試料ホルダ
を回転駆動して前記センサからの検出信号に基づいて試
料ホルダの回転方向の位置決めを行なう試料回転方向位
置決め機構を備えたことを特徴とするＸ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03026599A JP3269039B2 (ja) | 1999-02-08 | 1999-02-08 | Ｘ線分析用試料ホルダおよびｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03026599A JP3269039B2 (ja) | 1999-02-08 | 1999-02-08 | Ｘ線分析用試料ホルダおよびｘ線分析装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001296401A Division JP3635338B2 (ja) | 2001-09-27 | 2001-09-27 | Ｘ線分析用試料ホルダおよびｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000230912A JP2000230912A (ja) | 2000-08-22 |
| JP3269039B2 true JP3269039B2 (ja) | 2002-03-25 |
Family
ID=12298886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03026599A Expired - Fee Related JP3269039B2 (ja) | 1999-02-08 | 1999-02-08 | Ｘ線分析用試料ホルダおよびｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3269039B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
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|---|---|---|---|---|
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| JP4549728B2 (ja) * | 2004-05-06 | 2010-09-22 | 日鉱金属株式会社 | 蛍光ｘ線分析用試料 |
| WO2009023847A1 (en) * | 2007-08-16 | 2009-02-19 | Caldera Pharmaceuticals, Inc. | Well plate |
| JP5156756B2 (ja) * | 2007-11-15 | 2013-03-06 | 株式会社創晶 | 粘着式ピンセット、粘着式ピンセット用部材、粒子の保持方法、粒子の解析方法および分析装置 |
| ES2378045B1 (es) * | 2009-04-13 | 2013-02-15 | Consejo Superior De Investigaciones Científicas (Csic) | Dispositivo para alojar una muestra en el interior de una cámara de dispersion o difracción de rayos x. |
| KR101424888B1 (ko) | 2012-09-27 | 2014-07-31 | 현대제철 주식회사 | 밀링 머신 시료 고정 장치 |
| JP2015152388A (ja) | 2014-02-13 | 2015-08-24 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | Ｘ線分析用サンプルホルダ及びサンプル設置用治具 |
| CN110361410A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-10-22 | 上海汇像信息技术有限公司 | 样品杯 |
-
1999
- 1999-02-08 JP JP03026599A patent/JP3269039B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JP2000230912A (ja) | 2000-08-22 |
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