JP2009150911A - X線回折定量装置 - Google Patents
X線回折定量装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009150911A JP2009150911A JP2009090741A JP2009090741A JP2009150911A JP 2009150911 A JP2009150911 A JP 2009150911A JP 2009090741 A JP2009090741 A JP 2009090741A JP 2009090741 A JP2009090741 A JP 2009090741A JP 2009150911 A JP2009150911 A JP 2009150911A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- substance
- base plate
- diffraction
- rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 89
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- 238000011002 quantification Methods 0.000 claims description 18
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 16
- WHBHBVVOGNECLV-OBQKJFGGSA-N 11-deoxycortisol Chemical compound O=C1CC[C@]2(C)[C@H]3CC[C@](C)([C@@](CC4)(O)C(=O)CO)[C@@H]4[C@@H]3CCC2=C1 WHBHBVVOGNECLV-OBQKJFGGSA-N 0.000 abstract description 15
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 abstract 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 58
- 239000010425 asbestos Substances 0.000 description 30
- 229910052895 riebeckite Inorganic materials 0.000 description 30
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 25
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 24
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 19
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 238000002050 diffraction method Methods 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 6
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 5
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 4
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 229910052620 chrysotile Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005480 shot peening Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
- CWBIFDGMOSWLRQ-UHFFFAOYSA-N trimagnesium;hydroxy(trioxido)silane;hydrate Chemical group O.[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].O[Si]([O-])([O-])[O-].O[Si]([O-])([O-])[O-] CWBIFDGMOSWLRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】物質Sの重量をX線を用いて測定するX線回折定量装置において、物質Sを物質保持領域As内に保持するフィルタ33と、物質Sに照射するX線を発生するX線源Fと、物質Sで回折した回折X線を検出するX線検出器20と、フィルタ33におけるX線照射面の反対側に設けられ物質保持領域Asよりも小さい基底板31と、X線源Fから見てフィルタ33の背面側の領域であり且つ基底板31の外周側面の周りの領域に設けられた空間領域41とを有するX線回折定量装置である。基底板31の周囲に空間領域41を設けたことにより、空間領域41を形成している試料板29Cからの回折線によって基底板31からの回折線に誤差変動が生じることを防止できる。
【選択図】図10
Description
以下、本発明に係るX線回折定量装置を実施形態に基づいて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されないことはもちろんである。また、これ以降の説明では図面を参照するが、その図面では特徴的な部分を分かり易く示すために実際のものとは異なった比率で各構成要素を示す場合がある。
1.試料板29C
材質=アルミニウム、外周径=約33mm、厚さ=約3.2mm、形状=リング形状
2.基底板31
材質=Zn、外径=約15mm、厚さ=約1mm、形状=円板形状
3.押え板34
材質:ステンレス鋼、外周径=約32mm、厚さ=約0.2mm、形状=リング形状
4.フィルタ33
材質:フッ素樹脂バインダグラスファイバーフィルタ、外径=約25mm、物質保持領域(すなわち、有効ろ過面積)As=直径16mm。
図4において、CPU3がメモリ6内の検量線作成プログラムを読み出して、そのプログラムを起動すると、図7の検量線L1を作成するための処理を実行可能な状態になる。その処理を開始する前に、まず、重量が既知であるアスベストを複数個用意する。これらのアスベストの重量は互いに異なっている。それらのアスベストを、それぞれ、図5に示すようにフィルタ33の物質保持領域As内に捕獲して保持する。個々のフィルタ33を図2に示すように試料板29Cの中に組み込むことにより個々の重量のアスベストに関して試料ホルダ16Cを作製する。
次に、重量が未知であるアスベストに関して回折線強度を測定し、さらにその測定結果に基づいてアスベストの重量を求める処理について説明する。まず、重量を測定したいアスベストを含む環境下において、図5に示す空気吸引法によってフィルタ33の物質保持領域As内にアスベストSを捕獲する。必要に応じて、アスベストSは複数のフィルタ33に捕獲する。
以上に説明した実施形態において基底板31の材料としてZnを用いることは既述した。しかし、基底板31のX線が照射される表面の状態については特に触れなかった。基底板31のX線が照射される表面の状態は、特定の状態に限定されるものではなく、任意の表面状態を採用できる。例えば、鋼材供給会社から市場に供給される通常の表面状態の鋼材を用いて基底板31を形成することができる。
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
例えば、以上の実施形態では試料板として有底円板形状のように平面視で円形状の試料板を用いたが、特許第3673981号に示されているように長方形状の試料板を用いたX線回折定量装置に本発明を適用することもできる。
12.入射側X線光学系、 13.受光側X線光学系、
16A,16B,16C.試料ホルダ、 18.発散規制スリット、
19.受光スリット、 20.X線検出器、 23.装着部、 24.固定テーブル、
25.ターンテーブル、 26.電動モータ、 29A,29C,29D.試料板、
30.非晶質部材、 30a.X線受光面、 31.基底板、 31a.X線受光面、
32.補助板、 33.フィルタ(物質保持体)、 34.押え板、 35.貫通穴、
36.基台、 37.磁石、 40.突出部、 41.溝、 As.物質保持領域、
D0.直径、 F.X線源、 H1,H2,H3.接着剤、 L1.検量線、
P.測定位置、 S.被定量物質、 X0.試料軸線、 X1.中心軸線
Claims (3)
- 物質の重量をX線を用いて測定するX線回折定量装置において、
前記物質を物質保持領域内に保持する物質保持体と、
前記物質に照射するX線を発生するX線源と、
前記物質で回折した回折X線を検出するX線検出手段と、
前記物質保持体におけるX線照射面の反対側に設けられ前記物質保持領域よりも小さい基底板と、
前記X線源から見て前記物質保持体の背面側の領域であり且つ前記基底板の外周側面の周りの領域に設けられた空間領域と、
前記基底板及び前記物質保持体の両方を支持する試料板とを有し、該試料板は前記基底板と異なる角度でX線を回折する材料によって形成される
ことを特徴とするX線回折定量装置。 - 前記基底板はZnによって形成され、前記非晶質部材はガラスによって形成される
ことを特徴とする請求項1記載のX線回折定量装置。 - 前記試料板はAlによって形成されることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のX線回折定量装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009090741A JP4947665B2 (ja) | 2005-08-30 | 2009-04-03 | X線回折定量装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005250308 | 2005-08-30 | ||
JP2005250308 | 2005-08-30 | ||
JP2009090741A JP4947665B2 (ja) | 2005-08-30 | 2009-04-03 | X線回折定量装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005304340A Division JP4315350B2 (ja) | 2005-08-30 | 2005-10-19 | X線回折定量装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009150911A true JP2009150911A (ja) | 2009-07-09 |
JP4947665B2 JP4947665B2 (ja) | 2012-06-06 |
Family
ID=40920142
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009090741A Active JP4947665B2 (ja) | 2005-08-30 | 2009-04-03 | X線回折定量装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4947665B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130270063A1 (en) * | 2010-07-23 | 2013-10-17 | Daifuku Co., Ltd. | Goods transport facility |
CN109725369A (zh) * | 2019-02-26 | 2019-05-07 | 北京空间飞行器总体设计部 | 一种整星环境下空间x射线望远镜地面标定系统及方法 |
CN110887855A (zh) * | 2019-11-04 | 2020-03-17 | 澳门大学 | X射线衍射样品罩、承载机构以及进行x射线衍射的方法 |
CN112611772A (zh) * | 2020-12-02 | 2021-04-06 | 沪东中华造船(集团)有限公司 | 一种新型xrd石棉样品检测承载台 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04276600A (ja) * | 1991-03-04 | 1992-10-01 | Nippon Steel Corp | X線画像撮影装置及びこの装置を利用したx線ct装置 |
JPH05312699A (ja) * | 1992-05-12 | 1993-11-22 | Fuji Electric Co Ltd | 薄膜x線回折用試料ホルダと治具 |
JPH076511Y2 (ja) * | 1988-07-29 | 1995-02-15 | 理学電機株式会社 | X線回折装置の高温用試料ホルダ |
JPH09210884A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-15 | Mitsubishi Chem Corp | X線回折装置用サンプルホルダ |
JPH11174004A (ja) * | 1997-12-11 | 1999-07-02 | Rigaku Denki Kk | 試料充填ホルダ及びそれを用いたx線装置 |
JP2004333188A (ja) * | 2003-05-01 | 2004-11-25 | Japan Atom Energy Res Inst | 反射高速電子回折観察を妨げない試料非固定式の試料ホルダー及びそれを使用した複合装置 |
JP3673981B2 (ja) * | 1997-01-31 | 2005-07-20 | 株式会社リガク | X線回折定量装置 |
-
2009
- 2009-04-03 JP JP2009090741A patent/JP4947665B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH076511Y2 (ja) * | 1988-07-29 | 1995-02-15 | 理学電機株式会社 | X線回折装置の高温用試料ホルダ |
JPH04276600A (ja) * | 1991-03-04 | 1992-10-01 | Nippon Steel Corp | X線画像撮影装置及びこの装置を利用したx線ct装置 |
JPH05312699A (ja) * | 1992-05-12 | 1993-11-22 | Fuji Electric Co Ltd | 薄膜x線回折用試料ホルダと治具 |
JPH09210884A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-15 | Mitsubishi Chem Corp | X線回折装置用サンプルホルダ |
JP3673981B2 (ja) * | 1997-01-31 | 2005-07-20 | 株式会社リガク | X線回折定量装置 |
JPH11174004A (ja) * | 1997-12-11 | 1999-07-02 | Rigaku Denki Kk | 試料充填ホルダ及びそれを用いたx線装置 |
JP2004333188A (ja) * | 2003-05-01 | 2004-11-25 | Japan Atom Energy Res Inst | 反射高速電子回折観察を妨げない試料非固定式の試料ホルダー及びそれを使用した複合装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130270063A1 (en) * | 2010-07-23 | 2013-10-17 | Daifuku Co., Ltd. | Goods transport facility |
US9221606B2 (en) * | 2010-07-23 | 2015-12-29 | Daifuku Co., Ltd | Goods transport facility |
CN109725369A (zh) * | 2019-02-26 | 2019-05-07 | 北京空间飞行器总体设计部 | 一种整星环境下空间x射线望远镜地面标定系统及方法 |
CN110887855A (zh) * | 2019-11-04 | 2020-03-17 | 澳门大学 | X射线衍射样品罩、承载机构以及进行x射线衍射的方法 |
CN112611772A (zh) * | 2020-12-02 | 2021-04-06 | 沪东中华造船(集团)有限公司 | 一种新型xrd石棉样品检测承载台 |
CN112611772B (zh) * | 2020-12-02 | 2023-06-30 | 沪东中华造船(集团)有限公司 | 一种新型xrd石棉样品检测承载台 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4947665B2 (ja) | 2012-06-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4947665B2 (ja) | X線回折定量装置 | |
JP4315350B2 (ja) | X線回折定量装置 | |
JP4570172B2 (ja) | X線回折定量装置 | |
US8953743B2 (en) | X-ray stress measurement method and apparatus | |
JP6055970B2 (ja) | X線回折装置を用いた表面硬さ評価方法およびx線回折測定装置 | |
JP4764208B2 (ja) | 多結晶材料の配向性の評価方法 | |
TWI229404B (en) | Method and apparatus for thin film thickness mapping | |
US5878106A (en) | X-ray diffractometer | |
JP2008058300A (ja) | 試料ホルダおよびそれを備えた斜入射蛍光x線分析装置 | |
JP2017101929A (ja) | X線回折測定装置及びx線回折測定方法 | |
JP4528799B2 (ja) | 全反射蛍光x線分析装置 | |
JP3931161B2 (ja) | X線構造解析における回折斑点の強度算出方法 | |
JP2009109387A (ja) | 試料分析装置および試料分析方法 | |
JP5962737B2 (ja) | X線回折測定装置およびx線回折測定方法 | |
JP5013525B2 (ja) | X線回折測定方法及びx線回折装置 | |
JP2005164364A (ja) | 位置検出センサの検査方法および検査装置 | |
WO2020051708A1 (en) | Ball-mapping system and method of operating the same | |
JP3626965B2 (ja) | X線装置及びx線測定方法 | |
JP3673981B2 (ja) | X線回折定量装置 | |
JP2003254918A (ja) | 単結晶体の方位測定装置、この装置におけるガイド部材の角度誤差の検出方法及び単結晶体の方位測定方法 | |
JP3659553B2 (ja) | X線装置 | |
US20060268284A1 (en) | Method and apparatus for surface roughness measurement | |
JP2001311705A (ja) | X線回折装置 | |
JP2004045064A (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP2006105748A (ja) | ビーム入射を伴う分析方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090424 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090424 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120229 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120301 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150316 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4947665 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
SG99 | Written request for registration of restore |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316G99 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
SG99 | Written request for registration of restore |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316G99 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S803 | Written request for registration of cancellation of provisional registration |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316805 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S803 | Written request for registration of cancellation of provisional registration |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316805 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |