1272379 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於一種圖案檢查方法及裝置’特別關於一 種將照明光照射在依輸送用膠帶方式的TAB ( Tape Automated Bonding)帶，並藉由攝影手段^以开》成於 丁 A B帶上的積體電路（I C )等的圖案而自動地進行外觀檢 查的圖案檢查方法及裝置者。 【先前技術】 半導體元件是對應於高積體化與高密度安裝的要求’ 因而有引線的多腳端化與微小化。該多腳端化或微小化上 有利，因此採用了將半導體晶片與設於薄膜狀TAB帶的 多數引線的方法。 在第7圖表示TAB帶的構造。 TAB帶1〇1是在厚約20至150μηΐ(大都爲25至 7 5 Pm)，寬約35至]65 mm的樹脂薄膜102上，除了形成 有貫穿孔1 03的兩側周邊部之外，如第7 ( a )圖所示地 塗布有厚約]〇至]5 μ 的黏接劑I 0 4，而在其上面如第7 (b )圖所示地黏貼有銅箔等的金屬箔】〇 5。 利用曝光及蝕刻來加工該金屬箔1 〇 5，如第7 ( c )圖 所示地形成電路等圖案1 〇6。這時候，黏接劑I 〇4之屏是 不被除去而仍然留著。 將形成有圖案的TAB帶I 〇】的例子表示於第8圖。 在第8圖中，內部的白長方形是安裝半導體晶片的孔 -4- (2) ^ 1272379 徑部（元件孔）Π 〇，而1 1 ]是配線電路圖案。 在此種TAB帶1 01的製程中，必須檢查配線電路圖 案是否正確地形成，而使用著圖案檢查裝置。 圖案檢查裝置是以照明光來照明欲檢查的TAB帶1 Ο 1 ，而以攝影裝置或目視來檢測電路圖案的狀態（外觀）， 並與基準圖案相比較來判定所形成圖案的良否。近年來也 逐漸使用自動檢查裝置，該裝置爲在檢查裝置的控制部的 記憶部事先記憶基準圖案，將所記憶的基準圖案，與藉由 φ 攝影裝置所攝影的實際電路相比較，而自動地判定良否著 〇 爲了攝影圖案，對於TAB帶進行照射照明光的方法 ，有使用反射光的方法及使用透射光的方法。 使用反射光的方法是從TAB帶上方（形成有圖案的 這側）照射照明光，並由照明光所照射的方法，觀測依來 自 TAB帶的反射光的電路圖案像者，例如利用攝影元件 進行攝影並施以畫像處理。 · 例如在專利文獻1，揭示使用反射光的圖案檢查裝置 〇 記載於上述專利文獻1者，是將光線從照明裝置照射 在形成有圖案的帶，並利用CCD攝影機攝影以照明裝置 所照明的位置的帶後輸出至電腦，而在電腦經畫像處理俾 檢查圖案的缺陷者。 另一方面，使用透射照明的方法，是由TAB帶的下 方（與形成有圖案的這側相反側）照明，而利用設於透射 1272379 (3) TAB帶的上方（與照明光所照射的這側相反側）的攝影元 件來攝影透射TAB帶的透射光所產生的電路圖案像。 使用透射光的方法比使用反射光的方法，更適用於« 案檢查。將其理由說明如下。 如第9圖所示地，蝕刻銅箔等金屬箔而形成圖案日# ’ 所形成的圖案的斷面是成爲台形狀，比較圖案上方的寬度 a與下方的寬度b的尺寸，則下方的寬度b較寬。眾知此 乃蝕刻液依據從銅箔表面飩刻至內部時的擴散與速度者° 檢查此種圖案時，作爲照明光使用反射光，則攝影元 件是捕捉到在配線圖案的表面反射的光，而其他以外的部 分變暗。 因此，如第1 0 ( a )圖所示地，即使在配線圖案位於 下方而與相鄰圖案短路，而所攝影的畫像是也拍到作爲無 短路的正常圖案。因此有檢查不到不良品的情形。 另一方面，使用透射光，則攝影元件是捕捉到透射樹 脂薄膜的光，而此以外的部分變暗。 因此，如第1 0 ( b )圖所示地，若配線圖案位於下方 而與相鄰的圖案短路，則所攝影的畫像是因短路而拍到較 粗異常的圖案，因此可檢測到不良品。 專利文獻1 :日本特開2000-182061號公報 然而使用透射光時有如下問題。如上述地，在形成 TAB帶的樹脂薄膜上，有用以黏接金屬箔的黏接劑層，而 在形成圖案後也留在樹脂薄膜上。 眾知利用蝕刻剝離銅箔之後的黏接劑層表面，是存有 -6 - 1272379 (4) 數 μ m m的無數凹凸。原來黏接劑表面是平坦。但在銅箔 背面形成有以錨效果將黏接作成牢固的多數微小突起，因 此在黏接劑表面會複印該突起。 將照明光透射在剝離銅箔後的黏接劑，則藉由銅箔背 面所複印的凹凸使得照射光因漫反射而擴散變暗，因此以 C C D攝影機等所攝影的畫像產生黑色污點或不均。 在可看到此種污點或不均的狀態下進行畫像處理，若 污點或不均位於圖案附近，則會將此處理作爲配線的一部 分，而檢查裝置與基準圖案相比較時，會誤認識作爲配線 變粗，有判斷爲成品不良的情形。 又，不是圖案附近的污點或不均，是被認識作爲灰塵 ，而有判斷爲成品不良的情形。如此地實際上不是不良， 惟裝置判斷爲不良的情形稱爲過度檢測。 進行透射照射，則以此種黏接劑層的微小凹凸所產生 的污點或不均爲原因而發生過度檢測，導致很難使用透射 光的圖案的自動檢查裝置的實用。反射照明時，黏接劑層 是被攝影時會拍成較暗，因此不會產生此種問題。 本發明是爲了解決上述先前技術的問題而創作者，其 目的是在於即使在基板上形成具有如黏接劑層的微小凹凸 的層也不會發生過度檢測，可進行使用透射光的圖案自動 檢查。 【發明內容】 在形成在配線等圖案的基板表面塗布液體，而從對於 -7 - 1272379 (5) 該基板與設有攝影手段的這側相反側照明基板，並利用攝 影手段進行攝影。之後，比較利用攝影手段所攝影的基板 的畫像圖案，與事先記憶的基準圖案來進行檢查。
如上所述地，利用塗布手段，在進行檢查的基板的黏 接劑層表面塗布液體使之均勻地濕潤，黏接劑層的凹凸是 藉由該液體被塡補。因此在上述液體揮發（基板乾燥）之 前，進行依透射光的照明，若攝影圖案，則黏接劑層的凹 凸是被液體所塡補之故，因而即使進行依透射光的照明也 會減少漫反射。因此在所攝影的畫像也不容易發生污點或 不均，沒有以此作爲原因的配線變粗的誤認識，而可防止 過度檢測。 利用液體塗布，在畫像不容易發生污點或不均的理由 是如下所述。 光線是通過折射率不同的媒體界面時，按照形成界面 的兩個媒體的折射率，及對於界面的入射角度而折射。
如第2 ( a )圖所示地，以透射照明光中，以 90 °入 射於基板的成分作爲例子時，則沒有凹凸部分的光是直進 而通過。但是，入射在凹凸部分的光，是利用凹凸變更入 射角度而被折射。此爲漫反射。 形成界面的媒體的折射库差愈大，光的折射變愈大， 直進的光成分變少。因此，光被折射之部分，亦即凹凸部 分是變暗。由此種情形，具有凹凸的部分與無凹凸的部分 ，在透射的照明光的亮度上產生相差，成爲污點或不均。 另一方面，在黏接劑上面塗布其折射率比空氣還大， 1272379 (6) 而比黏接劑還小的液體，例如塗布酒精或水時，如第2 ( b )圖所示地，在液體與黏接劑之界面，產生與上述同樣 的漫反射，惟酒精或水與黏接劑的折射率差，是比空氣與 黏接劑的折射率差還小之故，因而光折射也變少，而直進 的光成分變多。 空氣的折射率是約1 ;酒精是約1.3 6，水（純水）是 約1 .33，黏接劑的折射率是雖也依其種類有所不同，惟考 量樹脂的一種，則丙烯或聚碳酸酯等樹脂爲大約1.5至 1 · 6的範圍之故，因而考量與此相同程度。又，在液體與 空氣之界面也發生折射，惟該面是平坦而不會產生漫反射 〇 因此，與黏接劑及空氣直接接觸的習知的情形相比較 ’塗佈液體時會使漫反射變少，因此當攝影此時，得到污 點或不均較少的畫像。 如上所述地塗布液體，將所攝影的圖案畫像與事先記 憶在控制部的基準圖案相比較並進行檢查。 沒有依漫反射的污點或不均之故，因而沒有以此作爲 原因的配線變粗的誤認識，並可防止過度檢測。 塗布於上述基板表面的液體的折射率，是比基板表面 的樹脂的折射率還小，而比空氣的折射率還大較理想’作 爲上述液體，例如可使用水或酒精。若爲水或酒精’則黏 性不會太大之故，因而可均勻地濕潤基板，又也不會對基 板有不良影響。 1272379 (7) 【實施方式] 第1圖是表示本發明的實施例的圖案檢查裝置的構成 例的圖式。又，以下說明上述基板爲τ a B帶的情形，惟 本發明是除了 TAB帶之外，可適用於依透射照明光的各 種基板的檢查。 如同圓所示地，本實施例的圖案檢查裝置，是由搬運 TAB帶5的送出捲軸n或捲取捲軸1 2等所構成的帶搬運 機_ 1 〇 ’將液體塗布在從送出捲軸11所送出的T A B帶5 的液體塗布部2 ;將照明光照射在TAB帶5並攝影圖案的 檢查部1 ·’將標誌塗在不良圖案的信標器部3 ;及比較攝 影的圖案與成爲基準的主圖案，判定成爲成品的良否之同 時’控制檢查部i，信標器部3及帶搬運機構I 〇的動作 的控制部4所構成。 檢查部1是由從背面側照明T A B帶5的透射照明手 段1 a，及經由TAB帶5而設在與透射照明手段〗a相對向 位置且攝影藉由透射T A B帶5的照明光形成τ A B帶5的 電路等圖案的攝影手段1 6所構成。 透射照明手段]a是適當地選擇輸出透射tab帶5的 波長光的光源。攝影手段1 6是在照明光的波長具有受光 感度的CCD攝影機或是CCD線感測器。 作爲攝影手段〗6使用CCD線感測器時，將CCD線 感測器與透射.照明手段1 a掃描T A B帶5的檢查圖案上， 得到T A B帶5的整體畫像。 如同圖所示地，液體塗布部2是將環路設在τ a b帶5 1272379 (8) ，並將環路的一部分浸在液體中者。 塗布於TAB帶5的表面的液體，是爲了減少黏接劑 表面的漫反射，必須使折射率比空氣（〗）還大，而比黏 接劑（例如1 .5至】· 6 )還小。又必須進入黏接劑表面的 微小凹凸內之故，因而黏性低較理想。又，若完成檢查後 立即將基板捲取在捲取捲軸時，塗布的液體能立即乾燥， 高揮發性者較方便。 由以上所述理由，適用折射線約3 6的酒精類，折 射率約1 · 3 3的水（純水）。在本實施例中使用甲基丙醇 (異丙醇）。 又，液體塗布部2的構成是並不被限定於上述構成， 例如第3圖所示地，蓮蓬狀地噴霧酒精等液，^〜— 1攸體，而塗布在 TAB帶5者也可以。 又，如需要，在檢查部1與信標器部9 ^ _ 一 <間，如罘1 圖所示地設置噴上空氣而乾燥酒精的乾燥< 了 從6，而TAB帶 5塗布在被捲取在捲取捲軸1 2之前乾燥徐 _ &布之数體也可 以。 依上述檢查裝置的T A B帶的圖案檢杳玲 &疋如下地進行 TAB帶5是從送出捲軸Π送出，而被撇 _ 取％遞至液體塗 布部2。在液體塗布部2 ’ TAB帶5浸在儲 _ 如谷器中的液 體（酒精）中。 ，而成爲檢查對象的圖案停止在以攝影手段 被浸在液體（酒精）的TAB帶5是被搬違至檢查部] ]b成爲可攝 -11 - 1272379 (9) 影的位置。如此，在被塗布於表面的酒精揮發之前，照明 光從透射照明手段I a被照射，而透射成爲TAB帶5的檢 查對象的圖案（檢查圖案）的光被輸入在攝影手段lb， 來攝影形成在TAB帶5的圖案。 又，作爲攝影手段1 b使用CCD線感測器時，利用未 圖示的掃描手段使透射照明手段1 a攝影手段1 b朝如同圖 的紙面前後方向掃描，取得檢查圖案的整體畫像。
在液體（酒精）塗布於TAB帶5的黏接劑層的狀態 下，進行攝影形成於TAB帶的圖案之故，因而塡補黏接 劑的表面凹凸，因此，可得到依漫反射的沒有污點或不均 的畫像。 利用攝影手段1 b所攝影的圖案是被送到控制部4而 被畫像處理。
在控制部4的記憶部，事先記憶有檢查用的主圖案（ 基準圖案），控制部4是比較該檢查用的主圖案，與依攝 影手段〗b所攝影的圖案來判定成品良否。上述檢查用的 主圖案是藉由 CCD攝影機事先攝影良品的實際成品，而 依據該攝影的圖案所製作者也可以，或是從CAD資料所 製作者也可以。 又，圖案良否的判定手法，是先前就提案各種方法， 這些方法中，選擇適當的判定方法加以使用就可以。 對於T A B帶上的各圖案進行上述良否的判定，上述 檢查的結果，當TAB帶上的圖案被判定爲不良，則TAB 帶上的不良圖案的位置被記憶在控制部4，而在該圖案被 -12- 1272379 (10) 搬運至信標器部3時，施以所謂著色或穿孔的標誌而被捲 取在捲取捲軸1 2。 第4圖是表示如先前地未塗布液體而以顯像手段1 b 顯像時的亮度分布特性的圖式；第5圖是表示如本實施例 地以攝影手段1 b顯像塗布液體（使用酒精）的TAB帶時 的亮度分布特性的圖式’橫軸是表示畫像上的位置，而縱 軸是表示亮度。 第6圖是表示形成於TAB帶上的檢查圖案的一部分 (配線圖案）的圖式。第4、5圖是表示以攝影手段1 b顯 像表示於第6圖的配線圖案，朝正交於配線圖案的方向（ 以第6圖的箭號表示）直線狀地掃描顯像的畫像上時的亮 度分布特性的圖式；第4圖，第5圖是均表示檢查圖案上 的相同場所的亮度分布特性者。 作爲透射照明手段]a的光源使用 LED光源（波長 8 5 0nm )，而在 L E D光源的出射口設置擴散板。又，以 C C D線感測器攝影透射T A B帶上的檢查圖案的光線。 表示於第4圖的「線」部分爲配線圖案，而「空間」 部分爲樹脂薄膜（黏接劑所塗布的具凹凸部分）。如第4 圖及第5圖所不，「線」邰分是不透射光線之故，因而被 攝影成較暗，而「空間」部分是透射光線之故，因而被攝 影成較売。 如習知例地從C C D線感測器正下方進行照明時，如 第4圖所不地空間部分的売度大約在6 0至8 0範圍參差不 齊，而污垢部分的亮度變小。 -13- 1272379 (11) 如此地習知例時，因空間部分的亮度參差不齊，因此 畫像處理上述畫像而進行自動檢查之際，將較暗部分，例 如與亮度80相比較，亮度60部分是被攝影成較暗，雖照 明光實際上透射，也有配線變粗與誤認識的可能性。 對於此，如本實施例地塗布液體時，酒精進入黏接劑 表面凹凸而成爲平滑之故，因而如第5圖所示地亮度差（ 明與暗的亮度差）成爲約]〇以下成爲幾乎沒有污點的影 響而空間部分的亮度成爲幾乎相等。所以，畫像處理上述 畫像而進行自動檢查之際，可確實地區別線與空間，而可 避免誤檢測。 (發明的效果） 如上所述，在本發明中，將液體塗布在進行檢查的基 板的黏接劑層表面之故，因而即使進行依透射光的照明， 也可減少黏接劑層的凹凸部分的漫反射。 所以，在所攝影的畫像也不會發生污點或不均，避免 以此作爲原因的配線變粗的誤認識，而可防止過度檢測。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示本發明的圖案檢查裝置的構成例的圖式 〇 第2圖是表示在基板未塗布液體時與塗布液體時的基 板的凹凸部分的光線的漫反射情形的圖式。 第3圖是表示液體塗布部的其烛構成例的圖式。 -14- 1272379 (12) 第4圖是表示如習知地未塗布液體而以顯像手段顯像 TAB帶時的亮度分布特性的圖式。 第5圖是表示以顯像手段顯像塗布液體的TAB帶時 的亮度分布特性的圖式。 第6圖是表示形成於成爲檢查對象的TAB帶上的檢 查圖案的一部分的圖式。 第7(a)圖至第7(c)圖是表示TAB帶的一例的圖 式。 第8圖是表示形成有圖案的TAB帶的例子的圖式。 第9圖是表示蝕刻銅箔等金屬箔而形成圖案時，所形 成的圖案的斷面的圖式。 第1 0 ( a )圖及第1 0 ( b )圖是表示說明作爲照明光 使用反射光時看漏圖案的不良的圖式。 【主要元件對照表】
la 透射照明手段 lb 攝影手段 2 液體塗布部 3 信標器 4 控制部 5 TAB 帶 6 乾燥器 10 帶搬運機構 -15- 1272379 (13) 11 送出捲軸 12 捲取捲軸
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