TWI267663B - Color filter substrate for liquid crystal display device and method for manufacturing the same - Google Patents

Color filter substrate for liquid crystal display device and method for manufacturing the same Download PDF

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TWI267663B
TWI267663B TW094132490A TW94132490A TWI267663B TW I267663 B TWI267663 B TW I267663B TW 094132490 A TW094132490 A TW 094132490A TW 94132490 A TW94132490 A TW 94132490A TW I267663 B TWI267663 B TW I267663B
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Description

1267663 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明關於一種液晶顯示裝置及其製造方法,尤其是關於一 種液晶顯示裝置的彩色濾光基板及其簡化製糕、降低成本的 方法。 【先前技術】 一般而言,液晶顯示裝置透過電場控制液晶之光傳輸來顯示 影像。 為此,液晶顯示裝置包含以陣列方式排列之液晶面板,以及 用以驅動液晶面板之驅動電路。 其中,液晶面板具有像素電極和共同電極,用以在每個液晶 單元上加載電場。 而共同電極單獨形成
主動矩陣魏晶顯示裝置雜用紅⑻、綠、^ 像素電極形成於液晶單元中之下基板, 在上基板之整個表面 晶體(Thm Film Transistor,TFT)電性連結, 極都根據透過_電晶體所加載之資料信號壤行 液晶顯示裝置的製造尺寸較陰鋪線管顯示 廣泛用於個人電腦、筆記型電腦、公自'' 手機以及呼叫器。 綠(G)、 並依照光的三基色 顯示色彩範圍。 I®)色濾光 各個彩色濾光片彼此相鄰,且減應之色彩作。 建力π载在各個 5 !267663 节色濾光片上用以控制亮度,進而顯示出色彩。 人液晶顯示裝置之基板的製程包括有清洗、基板製造、基板接 合、液晶灌入和封農等步驟。在製程中,彩色濾光片係形成在上 基板上。 ?、通常,顏料分散法是最廣泛的製造彩色濾光片的方法。在顏 =政〆去巾係使用塗覆、曝光、顯影以及將顏料分散在彩色濾 光片的聚酿亞胺和壓克力樹脂中之步驟而製成彩色濾、光片。 顏料分散法的優點在於易形成精細的彩色濾光片圖案。然 而顏料分散法的缺點在於彩色濾光片的製程複雜,因為每個紅、 綠、監色濾光片均需要光刻製程。 『第1圖』為先前技術之液晶顯示裝置部分區域之立體圖。 如第1圖』所示,上基板10與下基板30彼此相對,且彼 此保持固定的_,峨晶層㈣位於上基板1Q與下基板30之 間0 下基板30具有複數條閘極線32和複數條資料線%,其中, 閑極線32係與資料線34相交’而_電晶體(τ)則是形成ς閑極 線32與資料線34之各個交叉點上。 薄膜電 而且,像素區域(Ρ)係由交叉點所界定,其中包含有與 晶體連結之像素電極46。 同時’儘管圖中未示出細節,但_電晶體包含加載有閑極 祕的間極、加載有資料電壓的源極和沒極,和透過間極電壓和 ^67663 貧料電壓之間的電壓差控制薄膜電晶體關狀態的通道。 β色濾光層12和共同電極16依序形成在上基板1〇上。 彩色濾光層12中包含有僅傳送特定波長的彩色遽光片,以及 立於彩色濾光#賴、並胁遮蔽下基板3G之像素區域ρ上的黑 色矩陣。 上偏光片52與下偏光片54分別位於上基板1〇與下基板如 卜表面用以傳送平於偏光軸之光線。而作為獨立光源之背 光源,係位於下偏光片54之下方。 如上所述,先前技術之液晶顯示裝置需要紅、綠、藍三基色 彩色濾光片,以顯示全部之色彩。 下述内容將結合圖式,以詳細描述先前技術之液晶顯示裝置 的彩色濾光基板及其製造方法。 『第2A圖』為先前技術之液晶顯示裝置之彩色濾光基板之平 面圖’『第2B圖』為沿著『第2A圖』中ι~ι線之剖面圖。 如『第2A圖』所示,形成有黑色矩陣64和彩色濾光層的, 每個黑色矩陣64皆圍繞著具有開口 62之像素區域p,每個彩色濾 光層66都具有紅、綠、藍色濾光片66a、66b、66c,並以黑色矩 陣64來界限每種顏色,並依序重複排列。 如『第2B圖』之剖面圖所示,接著,共同電極诏形成於具 有彩色濾光層66之基板60的整個表面。 換言之,如『第2B圖』所示,黑色矩陣64形成在玻璃基板 1267663 60上’並且彼此保持一固宁阳 .. ^ U疋間隔。紅、綠、藍色濾光片06a、66b、 66c係以黑色矩陣64作為彩色濾光層⑺的界限而形成。覆罢層 67和共同電極68依序形成於具有彩色遽光層 66之基板6〇的整個 表面。 、弟3Α圖』至『第3F圖』為先前技術之液晶顯示裝置之彩 色濾光基板的製造方法之剖面圖。 /
第从圖』所不,樹脂材料他,其中具有金屬薄膜 如絡或^係可_濺鍍之方法沉積於玻璃基板60上。、 如罘3B圖』所示,光阻65沉積在樹脂材料64a上,接著 經過曝^顯影之製程而形成圖案,用以界定黑色矩陣區域。 :、使用成!之光阻65作為光罩,用以使樹脂材料6如選 擇性地形成具有固如隔之黑色矩障科。 形成於相對應之單元像素之聽與薄膜電晶體形 成之區域,亚且遮蔽具林敎電場之區域。 如弟3C圖』所示,紅色光阻沉積於具有黑色矩陣64之玻 璃基板60的整個表面。接著,經由光刻製程以選擇性地將紅色光 阻形成圖案,用以形成末端均被黑色矩陣Μ覆蓋之紅色滤光片 #如『弟犯圖』所示,綠色光阻沉積於具有紅色編66a之 玻%基板6〇的整個表面。接著,經由光刻製程以選擇性地將綠色 光阻形成圖案,用以形成綠色縣片 1267663 綠色濾光片66b形成於與紅色濾光片66a相鄰之像素中,而 黑色矩陣64係位於二者之間。 如『第3E圖』所示,藍色光阻沉積於具有綠色濾光片66b之 玻璃基板60的整個表面。接著,經由光刻製程以選擇性地將藍色 光阻形成圖案,用以形成藍色濾光片66c。 藍色濾、光片66c形成於與綠色濾光片66b相鄰之像素中,而 黑色矩陣64係位於二者之間。如此即形成紅、綠、藍色濾光層66。 • 彩色濾光層66通常以紅、綠、藍這樣的順序形成。 如『第3F圖』所示,為了保護彩色濾光層的並使之平坦, a可利職轉塗覆的方式,以壓克力縣要材料之細旨或以聚醯亞 •胺社要材料之_將平滑航積祕«彡色縣層66之玻璃基 板60的整個表面,用以形成覆蓋層67。 接著,透過濺鍍製程將氧化銦錫(IndiumTin〇xide,IT〇)沉積 在设1層67上,以形成共同電極68。由於氧化銦錫的透光性、導 馨包性和熱穩定性皆非常良好,是製成透明電極的理想材料。 ’ 共同電極68與形成於薄膜電晶體陣列基板上之像素電極共同 驅動液晶單元。 、、依照上述的先前技術的製程,完成了包含黑色矩陣以、彩色 濾光層66、覆蓋層67和共同電極Μ之彩色濾絲板的製程。 '而且僅么、麥考的疋在平面切換^疏呢,ips)型液 曰曰顯不裝置巾,由於共同雜_成於_電晶體陣列基板上, 9 1267663 所以彩色濾、光基板上僅支援黑色矩陣、彩色濾光層和覆蓋層。 、然而,上述先前技術的液晶顯示裝置之彩色濾光基板及其製 ^•方法仍存在些許問題。百先,由於以黑色樹脂或是路等金屬材 料製成之黑色矩陣形成於各個彩色攄光片之邊緣,所以黑色矩陣 •的製造成本相當高。其次,由於覆蓋層需單獨形成,用以平滑因 、黑色矩陣的間隔所造成具有不平坦的階梯狀高度差之彩色遽光 片’其製程複雜且相當耗時。最後,如果每個彩色滤光片都覆蓋/ • 黑色矩陣,將很難獲得理想的平滑表面和光密度。 【發明内容】 . #於上述問題,本發社要提供-種解決絲技術中容易產 -生問題職關讀4之耗濾光基板及其製造方法。 〜因此’為達上述目的,本發明所揭露之—種液晶顯示裝置之 形色濾光基板’其包含有一具有複數個彩色濾光片區域和一黑色 矩陣區域之基板;複數個紅、綠、藍色渡光片,係分別位於基板 •之各個彩色濾光片區域;-溝槽,係位於基板的黑色矩陣區域, 、亚具有一預設深度;以及—黑色矩陣,係覆蓋於溝槽上,其包含 、有紅、綠、藍色濾光片之重疊部分。 本發明所揭露之-種液晶顯示裝置之彩色濾光基板的製造方 法’包含有預備-基板,此基板具有複數個彩色濾以區域和一 黑色矩陣區域;於基板上之黑色矩陣區域形成—具有預設深度的 溝槽;並於基板上之複數悔色濾光片區域分卿成複數個紅、 10 1267663 綠、藍色濾光片,並且依序重疊部分之複數個紅、綠、藍色濾光 片,用以形成一覆蓋溝槽的黑色矩陣。 本毛明所揭露之一種液晶顯示裝置基板上之黑色矩陣的製造 方法’包含有提供-絲,並於該基板上形成—賴,·以及形成 一堆豐之紅、綠、藍色光阻,用以覆蓋溝槽。 本發明所揭露之—種液晶顯示裝置之彩色濾絲板,包含有 ^反係/、有1數個彩色濾光片區域;複數個紅、綠、藍色濾 ⑩光片係位於基板之各個彩色濾光片區域;一黑色矩陣區域,係 位於基板上,祕界定魏轉色濾光4 其巾黑色矩陣區 •域内的黑色矩陣材料更包含複數個紅、綠、藍色濾光片之相互重 疊部分。 有關本發明的特徵與實作,紐合圖式作最佳實施例詳細說 明如下。 【實施方式】 _ 、以下將依照關描述本發明之較佳實施例。相_標號儘可 、 能代表相同或相似的元件。 ‘ 『第4圖』為本發明實施例之液晶顯示農置彩色遽絲板之 剖面圖。 如『第4圖』所示,依照本發明的液晶顯示裝置之彩色渡光 基板包含具有複數個彩色濾光區域和黑色矩陣區域之透明基板 100,紅、綠、藍色濾光片130、140、150分別形成於基板⑽上 11 1267663 之各個彩色濾光區域,溝槽120依照預設深度形成於基板1⑻之 黑色矩陣區域,黑色矩陣形成於溝槽120的内部,且其製造材料 與彩色濾光片130、140、150相同,共同電極160形成於彩色濾 光片130、140、150以及黑色矩陣上。 在黑色矩陣中,部分紅色濾光片130、綠色濾光片140、藍色 ‘ 濾光片150之彩色光阻130a、140a、150a仍依照其順序沉積的圖 • 案存留在溝槽120内。 馨 而且’黑色矩陣和彩色濾光片13〇、140、150之間的高度相 同。 • 『第5A圖』至『第5H圖』為本發明實施例之製造液晶顯示 裝置的彩色濾光基板之剖面圖。 % 如『第5A圖』所示,光阻層110沉積於透明基板100上,接 著經由曝光、顯影製程來選擇性地形成圖案,用以界定黑色矩陣 區域。 • 基板100上除了黑色矩陣區域外之其他區域,可設置成彩色 ' 濾光片區域’並且該區域係對應於下基板之像素區域。 、接著,使用成型的光阻層110作為光罩,並選擇性地蝕刻曝 光的基板100,以形成具有預設深度的溝槽12〇。 溝槽120的深度以1〇微米(μπι)或更小為佳,5微米至1〇微米 更佳。而且’最好使用含有氟化氫(HF)的蝕刻氣體對基板1〇〇進 行蝕刻。 12 1267663 如『第5B圖』所示’光阻層⑽被移除後,隨即將 哪沉積於具有溝槽120之細1〇〇的整個表面。 130a 其中,可透過旋轉塗覆方法鱗旋轉塗覆方法形成紅色光阻 〇 在旋轉塗覆方法巾’耗植沉積在基板上,並絲板產生 ‘减旋轉喊耗光_勻分佈在其上。麵旋轉紐方法中, . 滾筒上的彩色光阻被轉移或者說印刷在基板上。 •抑而且,與普通的光阻相似,紅色光阻咖包含光聚合起始劑、 卓體、黏結劑和用於顯示色彩的有機顏料。 冑紅色光阻130a沉積於基板勘的整個表面上時,溝槽120 .上的彩色光阻由於具有平坦的·,故其厚度較其它部分為厚。 如『第5C圖』所示,使用光罩中的遮光部分將紅色光阻施 的4寸疋範圍遮蔽後’藉由紫外線的照射使紅色光阻1遍曝光。 以下三種方法巾至少—種可·曝光彩色光阻,這三種方法 參係透過陽光曝光原始圖版的鄰近(Proximity)方法、透過重複縮減圖 、案實現曝光的步進(Stepper)方法和透過投影光罩圖案實現曝光的 鏡面投影(Mirror Proj ecting)方法。 對於低成本的簡單矩陣型液晶顯示裝置,可使用製程速度快 的鄰近方法,而高精度的主動矩陣型液晶顯示裝置的製程則需要 使用步進方法和鏡面投影方法。 被知、射之紅色光阻130a因曝光而改變光學一化學結構,並於 13 1267663 23(TC的高溫下固化,且進行顯影以形成紅色遽光片⑽。盆中係 以浸潰、攪煉和喷灑的顯影方法對紅色光阻施錢行顯影。 可供參考的是,如果紅色光阻施具有負阻抗之特性,則可 移除未曝光的部分。因此’與之前的情況不_是,圖案的特定 部分被曝光在光罩的透光部分。 _夺’如果紅色光阻130a顯影形成紅色濾光片13〇,那麼由 於之前所述的平坦特性’故溝槽m上之彩色光阻的厚度將較其 它部分的厚度為厚。因此,如『第5C圖』所示,部分紅色光阻 130a沒有被完全移_健轉預定厚度,並且成為黑色矩陣。 如『第5D圖』所示,綠色光阻_沉積於具有紅色遽光片 130之基板100的整個表面上,且綠色光阻馳之特定區域可透 過光罩的遮光層進行遮蔽。 如『第5E圖』所示,被遮蔽的綠色光阻1術可透過紫外線 曝光’並進行顯影以形成綠色濾光片14〇。綠色濾光片刚形成在 與紅色濾光片130相鄰之像素中,而溝槽⑽位於二者之間。 隨著綠色光阻勵形色濾、光片⑽,由於之前所描述的 平坦特性,輯槽120内之彩色光阻的厚紐其它部分的厚度為 厚。因此,部分綠色光阻14加以預設厚度殘留在溝槽12〇内,而 不會被完全移除。 如『第5F圖』所示,藍色光阻驗沉積於具有綠色遽光片 140之基板1〇〇的整個表面,可藉由光罩的遮光部分將藍色光阻 14 1267663 的4寸定部分碰。接著,藉由紫外線的照射使被紐的藍色 光阻150a曝光。 接著,如『第5G圖』所示,被照射之藍色光阻150a因曝光 而改夂光孥-化學結構,以形成藍色滤光片15〇。藍色滤光片⑼ ^成於與綠色濾光片140相鄰之像素中,而溝槽120位於二者之 間因而,經由上述之製程而形成紅、綠、藍色遽光層。 菖凰色光阻150a形成監色濾光片時,由於之前所述的平 •坦特性,故溝槽120上之藍色光阻的厚度較其它部分的厚度為厚。 因此,部分監色光阻隱以預設厚度殘留,❺未被完全移除,並 、且與部分彩色光阻13Ga、_ -_成黑色矩陣。 • 目此,各自重疊的彩色光阻13〇a、140a、l5〇a仍覆蓋溝槽㈣, 其圖案係基本對應於溝槽12〇,並具有黑色矩陣的功能。 如『弟5H圖』所示,在本發明之實施例中,塗層17〇沉積在 各個彩色濾光層130、140、⑼上。在本發明之實施例中,塗層 馨Π0係透過;賤鍍製私形成的氧化銦錫層,並可形成共同電極 、氧化銦錫層透光性佳、導電性良好、熱穩定性強,是形成透明電 極的理想材料。 共同電極刷與形成在薄膜電晶體陣列基板上之像素電極共 同驅動液晶單元。 、 需要特別注意的是’儘管塗層170可為形成共同電極的氧化 銦錫,但其也可為普通的覆蓋層。例如,在平面切換型液晶顯示 15 1267663 裝置中,由於共同電極形成在薄膜電晶體陣列基板上,因此彩色 /慮光基板上可全部形成彩色遽光層。因*,本發明的製程可實現 衣仏平面切換魏晶顯示裝置’塗層17Q代表—覆蓋層而非共同 電極。 /其令’塗層170為覆蓋層之區域,可於其形成之前或之後進 行平π衣备,以成為平滑的表^如『第6圖』所示,平滑製程 在衫色濾'光片和黑色矩陣上形成了連續的上表面。平滑製程最好 使用化學機__繞)製程。化學機械研磨製程以基本相等的速 率移除所有表面材料,以形成具有相對基板1〇〇高度相同的上表 面。 如上所逑’本發明之液晶顯示裝置的彩色濾光基板及其製造 方法具有下列優點。 弟纟於黑色_係經由在黑色矩陣區麵雜地侧基 溝财’並重疊各轉色濾光片而形成,所以無需單獨提 仏衣造黑色矩陣的材料’可節省製造成本。 第二’由於形成各個彩色濾光片與形成黑色矩陣之間沒有步 差異’因此可省略製造為翻平滑效果之覆蓋層。如此可 減少製程步驟並且降低成本。 开^=’由於黑色輯係11由各個彩色濾光片重疊在溝槽内而 形成:所以可獲得均勻的重疊厚度和光學密度。 取後由於热而使用樹脂黑色矩陣,因此可減少製造成本和 16 1267663 由於黑色矩陣之突出部分所產生的製程缺陷。 雖然本發日肢前述之較佳實施例揭露如上,然其 限 定本發明,任蝴赠梅,椒縣㈣ ^ 内’當可作些許之更動與潤飾,因此本發明之專利保= 本說明書_之申請專·_界定者為準。 【圖式簡單說明】 第1圖為先前技術之液晶顯示裝置部分區域之立體圖; 圖, 第从圖為先_術之液晶顯示裝置之彩色濾光基板之平面 第2B圖為沿第2A圖的Η線之剖面圖; Γ/μ 3F _切技狀液晶顯轉置之彩色濾、光基 板的製造方法之剖面圖; 第4圖為本發明實施例之液晶顯示裝置 面圖; 之彩色濾光基板之剖 、第5A圖至第5H圖為本發明實施例之製造液晶顯示裝置之彩 色濾光基板之剖面圖;以及 第6圖為經平滑製程後之彩色滤光基板之剖面圖。 【主要元件符號說明】 10 16、68 32 上基板 共同電極 閘極線 12、66 30 彩色濾光層 下基板 資料線 17 34 1267663
46 像素電極 50 液晶層 52 上偏光片 54 下偏光片 60、100 基板 62 開口 64 黑色矩陣 64a 樹脂材料 65 光阻 66a > 130 紅色滤光片 66b 、 140 綠色滤光片 66c、150 藍色濾光片 67 覆蓋層 110 光阻層 120 溝槽 130a 紅色光阻 140a 綠色光阻 150a 藍色光阻 160 共同電極 170 塗層 P 像素區域 T 薄膜電晶體
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Claims (1)

1267663 十、申請專利範圍: 1. -種液晶顯示裝置之彩色濾光基板,其包含有: 、·-基板,其具有複數個彩色濾光片區域與—黑色矩陣區 域; 複數個紅、綠、藍色濾光片 色濾光片區域; 係分別位於該基板之各個彩 一溝槽, 度;以及 係位於該基板之黑色矩_域,並具有—預設深
“一黑色鱗,係覆蓋於該溝槽,該黑色矩陣包含該紅、綠、 監色濾光片重疊之部分。 =申請專利範項所述之液晶顯示裝置之彩色濾光基板, 其中該重疊部分之其巾之—部分餘於該溝槽上。 I 2請專利範圍第1項所述之液晶顯示裝置之彩色遽光基板, …亥各個紅、綠、藍色遽光片之高度與該黑色矩陣之高度相
同。 4·如申料·_ i綱述讀晶顯示裝置 其中該黑色矩陣之高度小於該獅紅、綠、_= 高 度0 5. =請補翻第〗顧狀液晶顯示裝置之觀縣基板, 二中更包含-舰層,·蓋賴數條、綠、藍色濾光片及 5亥黑色矩陣,且該覆蓋層具有一平坦之上表面。 6. 如申請專利範圍第2項所述之液晶顯示裝置之彩色濾、絲板, 19 I267663 其中更包含一共同電極,係覆蓋於該黑色矩陣及該彩色濾光片 上。 7· —種液晶顯示裝置之彩色濾光基板的製造方法,其包含有: 預備一基板,該基板具有複數個彩色濾光片區域與一黑色 矩陣區域; 於該基板之黑色矩陣區域形成一具有預設深度之溝槽;以 • 及 馨 於該基板之複數個彩色濾光片區域分別形成複數個紅、 綠、藍色濾光片,並且依序重疊部份之該複數個紅、綠、藍色 - 濾光片,以形成一覆蓋該溝槽之黑色矩陣。 • 8·如申请專利範圍弟7項所述之液晶顯示裝置之彩色濾光基板的 製造方法,其中形成該溝槽之步驟包含於該基板上形成一深度 小於10微米之溝槽。 9·如申請專利範圍第7項所述之液晶顯示裝置之彩色濾光基板的 每 製造方法,其中形成該溝槽之步驟包含透過含有氟化氫之蝕刻 、氣體選擇性地姓刻該基板之黑色矩陣區域。 1〇·如申請專利範圍第7項所述之液晶顯示裝置之彩色濾光基板的 衣造方法,其中形成該複數個紅、綠、藍色濾光片之步驟包含 有: 於具有该溝槽之基板之整個表面沉積一紅色光阻,並選擇 性地將該紅色光阻形成圖案; 20 1267663 ”於具麵於該棘狀該紅色雜之職板之整個表面 儿積綠色光阻,並選擇性地將該綠色光阻形成圖案;以及 於具有位於該溝彻之該綠色光阻之該基板之整個表面 沉積一藍色光阻,並選擇性地將該藍色光阻形成圖案。 u.如Γί專利細第1G項所述之液晶顯示裝置之彩色濾光基板 、’方法纟中更包3形成5靖槽以及選擇性地將該溝槽内 之紅、綠、藍色濾光片之重疊部分形成圖案,用以於該基板上 界定一黑色矩陣。 12.如申請專利範圍第7項所述之液晶顯示裝置之彩色遽絲板的 f造方法’射更包含形成—細電極覆蓋絲板、該紅、綠、 现色濾光片以及該黑色矩陣之步驟。 制申明專利祀圍第7項所述之液晶顯示裝置之彩色滤光基板的 ‘造方法,其中更包含於該各個紅、'綠、藍色遽光片及該黑色 矩陣上形成一覆蓋層之步驟。 R-種液晶顯示裝置基板之黑色矩陣的製造方法,其包含有: 提供-基板,並於該基板上形成一溝槽;以及 域魏瓣^之紅、綠、藍色光阻,肋覆蓋該溝槽。 ^專利範圍第14項所述之液晶顯示裝置基板之黑色矩陣 =化方法,其中形成鱗疊之紅、綠、藍色光阻覆蓋該溝槽 Γ驟包含有:於該基板上形成複數個紅、綠、藍色濾光片, 且5亥各個衫色濾光片之—部分形成於該溝槽内或該溝槽界定 1267663 之區域。 %如申請專機_ 14撕述之液晶顯示裝置基板之黑色矩陣 的製造方法,其中形成該堆疊之紅、綠、藍色光阻的步驟包含 有: 於該基板上職-第—紅、、賴藍色雜,域充於該溝 - 槽’以及將該第-彩色光阻形成圖案,用以在該基板上界定一 . 彩色濾、光片’而將該第一彩色光阻之第-部分留在該溝槽 • f; 於該基板上形成-第二紅、綠或藍色光阻,並將該第二彩 色光阻形細案,用以在該基板上界定-第二彩色濾光片,而 . 保留該第二彩色光阻之第二部分,肋覆蓋該第-彩色光阻之 第一部分;以及 於該基板上形成一第三紅、綠或藍色光阻,並將該第三彩 色光阻形成圖案’用以在該基板上界定_第三彩色濾光片,而 • ㈣該第三彩色光阻之第三部分,肋覆蓋該第二彩色光阻之 第二部分。 • 17·如申請專利範圍第14項所述之液晶顯示裝置基板之黑色矩陣 的製造方法,其中於該基板上形成溝槽之步驟包含形成一深度 小於10微米之溝槽。 18·如申請專利範圍第14項所述之液晶顯示裝置基板之黑色矩陣 的製造方法,其中於該基板上形成溝槽之步驟包含形成一深度 22 1267663 在5微米至ι〇微米間之溝槽。 19· 一種液晶顯示裝置之彩色濾光基板,其包含有: 一基板,其具有複數個彩色濾光片區域; 複數個紅、綠、藍色濾光片,係位於該基板之各個彩色濾 光片區域; , 一黑色矩陣區域,係位於該基板上,用於界定該複數個彩 • 色濾光片區域;以及 • 該黑色矩陣區域内之一黑色矩陣材料包含該複數個紅、 綠、監色滤光片之相互重疊部分。 • 20·如申請專利範圍第19項所述之液晶顯示裝置之彩色濾光基 . 板’其中該紅、綠、藍色濾光片與該黑色矩陣材料包含一連續 之上表面。 、 21.如申請專利範圍第20項所述之液晶顯示裳置之彩色遽絲 板,其中更包含一共同電極覆蓋於該連續之上表面。 α如申請糊制第19韻狀液^爾置之彩色遽光基 板,其中該黑色矩陣材料之高度小於該紅、綠、藍色濟光片之 高度。 。 23.如申請專利範圍第22項所述之液晶顯示裝置之彩色滤光基 ^其中更包含-共同電極覆蓋於紐、綠、藍故光片及該 黑色矩陣材料。 23
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070235665A1 (en) * 2006-03-30 2007-10-11 Applied Materials, Inc. Charged particle beam system and method for manufacturing and inspecting LCD devices
KR101351886B1 (ko) * 2007-05-14 2014-01-17 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치용 일체형 다기능 광학시트
KR20090066459A (ko) * 2007-12-20 2009-06-24 삼성전자주식회사 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판 및 그 제조 방법
KR20090078527A (ko) * 2008-01-15 2009-07-20 삼성전자주식회사 표시 기판
KR101382148B1 (ko) 2008-04-03 2014-04-09 삼성디스플레이 주식회사 표시 기판 및 이의 제조 방법
TWI400524B (zh) * 2008-12-02 2013-07-01 Chunghwa Picture Tubes Ltd 一種液晶顯示製程面板與形成配向膜的方法
CN102628973A (zh) * 2011-07-19 2012-08-08 京东方科技集团股份有限公司 一种彩膜基板的制作方法和彩膜基板
CN104503128B (zh) * 2014-12-19 2018-01-09 深圳市华星光电技术有限公司 用于显示器的彩膜基板的制造方法
CN104793390A (zh) * 2015-01-31 2015-07-22 业鑫科技顾问股份有限公司 显示面板、薄膜晶体管基板、彩色滤光片基板及制作方法
TWI604230B (zh) * 2016-11-11 2017-11-01 住華科技股份有限公司 彩色濾光片及其製作方法
US10712485B1 (en) * 2017-02-28 2020-07-14 Facebook Technologies, Llc Composite optical coating on a curved optical surface
CN108594510A (zh) * 2018-02-11 2018-09-28 武汉华星光电技术有限公司 彩膜基板的制备方法、彩膜基板及显示装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02217823A (ja) * 1989-02-20 1990-08-30 Toshiba Corp 液晶表示装置の製造方法
JPH02278226A (ja) * 1989-04-20 1990-11-14 Seiko Epson Corp 電気光学装置の製造方法
JPH10206623A (ja) 1997-01-16 1998-08-07 Toppan Printing Co Ltd カラーフィルタおよびその製造方法
KR100518051B1 (ko) * 2001-01-11 2005-09-28 엔이씨 엘씨디 테크놀로지스, 엘티디. 능동 매트릭스형 액정 디스플레이 장치와 그 제조 방법
JP2003167534A (ja) * 2001-09-21 2003-06-13 Seiko Epson Corp 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器
JP4258179B2 (ja) * 2001-09-21 2009-04-30 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置及び電子機器
JP3928543B2 (ja) * 2001-12-11 2007-06-13 セイコーエプソン株式会社 電機光学装置用基板及びその製造方法、電気光学装置並びに電子機器
JP2004078139A (ja) * 2001-12-11 2004-03-11 Seiko Epson Corp 電気光学装置用基板及びその製造方法、電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器、
TW583453B (en) * 2003-01-06 2004-04-11 Toppoly Optoelectronics Corp Method of manufacturing black matrix
JP4508594B2 (ja) * 2003-10-01 2010-07-21 大日本印刷株式会社 カラーフィルタの製造方法および半透過半反射型液晶表示装置用カラーフィルタ

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