TWI264543B - Apparatus for inspecting liquid crystal panel - Google Patents

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TWI264543B
TWI264543B TW094119959A TW94119959A TWI264543B TW I264543 B TWI264543 B TW I264543B TW 094119959 A TW094119959 A TW 094119959A TW 94119959 A TW94119959 A TW 94119959A TW I264543 B TWI264543 B TW I264543B
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Takeshi Saitou
Kazunori Ninomiya
Original Assignee
Nihon Micronics Kk
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Description

1264543 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 明係關於使探針(⑽e)與液晶面板之電極接觸 面夜晶面板之檢查裝置,特別是關於以用於將液晶 Γ4衣於工作台之構造為特徵的液晶面板檢查裝置。 [先珂技術】 上者習知液晶面板檢查裝置已知有記載於以下的專利文獻 # [專利文獻〗]日本特開平叫4956號公報 =專利文獻丨之液晶面板檢查裝置係揭示利用止動 =壓裝置及真空吸附裝置將液晶面板安設於工作台上之 =置。該習知技術係在工作台上载置液晶面板後,利 味1向的㈣裝置使液晶面板之端緣壓住止動器。藉此 玄=方'工作口之/夜晶面板之Χ方向之位置。關於Υ方向 亦使用同樣的推壓裝置和止動器來決定液晶面板之¥方向 •,位置。然後’於工作台之吸附槽導入負壓力,使液晶面 板吸附固定於工作台。 【發明内容】 (發明所欲解決之課題) 上述之液晶面板檢查裝置有時不t完成液晶面板之安 設作業。以下就該點進行說明液晶面板之中央部必須由 月側照射-月光’故在工作台之中央部配置有背光與擴散 板。因此,液晶面板係僅其周邊部吸附固定於工作台,中 央部為懸在空中之狀態。液晶面板大型化之後,由於其本 317160 1264543 身重!液晶面板之中车立入 ™ ^ ^ 卩W有些許下垂,而使液晶面板之 周、冰口丨f由工作台梢微凸起。
=真空吸附方式中,係檢測出工作台之吸附槽内的壓 力&至預定值以下,而X π I^出及附元成的信號。若有空氣由 样;、液曰曰面板之周緣部之間的間隙漏出(空氣流入吸 都不曰:夂的狀態時’則不管經過多久時間,吸附槽内的屢力 液曰:广預疋值以下,而不會發出吸附完成的信號。若 二t主二周緣部凸起,有時不會發出吸附完成的信號, ::=娜晶面板之安設作業未完成。另外,液晶 的後,使探針與沿著液晶面板之周緣配置 的电極接觸時也會產生不妥適的情形。 供-於解決上述問題而研創者,其目的在於提 n作面板的周緣部凸起而可確實將液晶面板安 5又灰工作台之液晶面板檢查裝置。 女 (用以解決問題之手段) 卜本發明之液晶面板檢查裝置係具備以下⑷ 造。(A)用以伴拉呈供楚,、真 ()勺構 邊、與前述第?邊::之= 4邊、,著〜:地、與前述第2邊對向之第 ―化者則述弟3邊排列之複數個第]電極1 之複數個第2電極的矩形平面顯示面Γ之 複丄與前述第1電極和前述第2電極接觸之 編十的板針台。(C)可與前述第!邊接觸之望“ 器。⑼可與前述第2邊接觸之第 弟1止動 述第1止動哭 1動。。。(Ε)可於朝前 動叩之方向歷住則述弟3邊,並 -^Π]6〇 1264543 々作口之方向壓住前诚第3一 (F)可於朝前述第2止動;之二=】推動器(,化.)裘置 於密合於前述工作a之太& r向屋住可述第4邊,並亦可 裝置。 口 °堅住W述第4邊之第2推動器 本發明所適用之液晶面板 的矩形液晶面板。而且,至少為:::如上所述之四個邊 有複數個電極者。二個推動邊和第4邊排列 .第2止動器之方向屡住液晶止動器或 ’於密合於前述工作台之方向屡住、夜!面:t ’並可 邊。藉此Γ R 土住/夜日日面板的弟3邊或第4 本發明:、Γ二形成有電極之第3邊及第4邊凸起。 特徵。⑹前述第i止動哭下具備(G)至⑺的 表面的m 具備可繞著垂直於前述工作台 可盘前線自由旋轉之第1止動器滾輪,其外周面 直方调前述第2止動器係具備可繞著垂 滾幹,面的旋轉中心線自由旋轉之第2止動器 、二幻I 與前述第2邊接觸。⑴前述第1推動器 nr 著垂直於前述工作台表面的旋轉中心線自 以二t弟1推動器滾輪,該第1推動器滾輪係具備於用 2則述液晶面板朝前述工作台表面壓往之方向呈尖細狀 的^ 1錐狀面’該第!錐狀面可與前述第3邊接觸^⑺前 述第2推動裔裝置係具備可繞著垂直於前述工作台表面的 旋轉中心線自由旋轉之第2推動器滾輪,該第2推動器滾 輪係具備於用以將前述液晶面板朝前述工作台表面厣往之 方向王尖細狀的第2錐狀面,該第2錐狀面可與前述第4 317160 7 1264543 邊接觸。 本發明之液晶面板檢查裝置亦可以下具備(κ)及㈨的 特徵。(Κ)前述第1推動器農置係具備以平行於前述第? 邊^方=使前述第1推動器滾輪進退之驅動機構,以及檢 測月二述弟1推動器裳置達到預定的墨住位置之檢測裝置。 =前述Μ置係具備以平行於前述第丨邊之方向 :处弟2推動為滾輪進退之驅動機構,以及檢測前述第 推動^裝置達到預定的壓住位置之檢測裝置。 位置構造之檢測褒置’可依據推動器滾輪之 ^ 安設作#的完成。因此,可避免因吸附 =壓:導致未判斷安設作業完成即結束,及因負厂堅的 属而不會發出吸附完成信號之不妥適的情形。 (發明之效果) 根據本發明,於工作台安a 止液晶面板的周緣部凸起而 業中,可防 作台。 隹戶、地將液晶面板安設於工 【實施方式】 以下’參照圖式詳細說明本發明之實施例。第 巴^明之液晶面板檢查裝置之—實施例的: =液晶面板檢查裝置係具備具有探針之探針台,:: ,持液晶面板之檢查台’檢查台係位於探針台之 :第I圖係為由上方觀看探針台的主要部位。; 載方'、檢查台上之液晶面板】 見枣 】2和第一妹針“具備弟】探針基座 乐2仏針基座14。$〗探針基座]2係延伸於γ方向, 3】7]6〇 1264543 第2探針基座]4則延伸於χ方向。乂方向盘γ 晶面板】。係設為長方形,其-個短邊稱做二相 故,與弟I邊16相鄰的邊稱做第2邊]8, =邊侧3邊20,與第2邊18相對的邊稱做第邊:6 政2。於液晶面板1 〇中,沿著第邊 (相當於本發明之第1電極),此 資料電極(相當於本發明之第2電極)。 排列有 門二广1 1木針基座]2搭載有開極側探針單元24。在, 【::罙_24固定有複數個探針區_ = :”6女裝有複數個探針28。於第 : -貝料側探針單元30。在該資料側 二4j合载有 個探針區塊26與附屬於該等探針區塊之探針又有複數 於閘極側探針單元24之兩端附近配 32與第2攝影機Μ。於資料側探針單元3〇有二%影機 探針單元…部附近配置有第3:=之运離間極側 I影機係用於液晶面板之對位作業。7…^此3台攝 第2圖係第1圖 置有檢查台-檢查台4。:=二探:台… 44、Z驅動台旋轉台48、工作:動“2、^^ χ切框52。工作台5。上表面係如後述;伴持及 =驅動台42係使檢查台4()±表=夜s日面板Η)。 :之紙面垂直的方向)。¥驅動台則=方向(與第2 :移動於Υ方向。Ζ駆動台46係使檢杳::4〇上表面 站於Ζ方向(上下 一口 40上表面可移 向)。^疋轉台48係使檢查台40上表 317160 1264543 面可繞者Z轴(上下% ^ X,A ,, 有m 伸之轴)旋轉。於工作台50内部配置 有月先74,其上方配置有擴散板76。 第3圖仏為工作台5 〇與推動器 、 ®。工 〇 二 50 Α π rh 、 > 框 52 之俯視 板1〇 框’其周邊部上端可支樓液晶面 / 50上端係由第1至第4支撐部構成。於工 :二^ 禮部54(對應於液晶面板之第 喇兩個弟1止動哭62。古人穿〇 士# a 之第2〜π 1 撑部56(對應於液晶面板 之弟2¾ 18)亦設有兩個第2止動器64。於筮 應於液晶面板之第3邊加m 、弟3支撑σΜ8 (對 凹狀弟〕邊20)形成有兩個第i凹部%。 ;ΐΠ86。。(對應於液晶面板之第4邊22)亦形成有兩個第 推動器裝置支撐框52係為包圍工作台5〇之矩形中空 該推動器裝置支樓框52係於對向於工作台5〇之兩個 弟1凹部66之位置設有兩個第1推動器裝置70。此外’ 於對向於工作台50之兩個第2凹部68之位置設有兩個第 ^推動器裝置72。 第4圖係為第3圖之4_4線剖視圖,係表示第"隹動 器裝置70之構造。第5圖係為第1推動器裝置70之俯視 圖,第6圖為其立體圖。此外,》7圖係為第5圖之7_7 線剖視圖。以下,參照第4圖至第7圖說明第i推動哭f 置70之構造。 ^ t △第4圖中,於Θ旋轉台48(參照第2圖)上固定有工作 台基座78,於工作台基i 78上固定有工作纟5〇和推動哭 裝置支撐框52。於工作台50之第3支撐部58形成有第1 317160 1264543 凹部66。並以對向於該第1凹部66之方式配置第1推動 器裝置7〇。擴散板76係固定於工作台5〇。工作台5〇表面 可支撐液晶面板1 〇,而將液晶面板1 〇定位於擴散板76上 方。滑軌80係固定於推動器裝置支撐框52。滑塊82係以 可滑動之方式結合於該滑軌80。於滑塊82上表面固定有 推動器支撐體84。於推動器支撐體料之一端(圖的右端) 附近之上表面安裝有可自由旋轉的推動器滾輪86。氣缸⑽ 之活塞90則固定於推動器支撐體84之另一端。氣缸μ 係相當於本發明之驅動機構。使氣缸88之活塞9〇伸縮時, 推動器支撐體84及滑塊82會沿著滑軌⑽前進後退於箭頭 92的方向(即X方向)。 、 參照第5圖之俯視圖,於推動器支禮體84之側面 有縫隙板94。縫隙板94以水平的板構成,以相對於推動 為支撐體之進退方向(第5同 产士 古+ π (弟5圖之左右方向,即X方向)的垂 Α (即Υ方向)水平突出。於缝隙板94之X方向中央 :成有缝隙96。此實施例中’缝隙%之開口寬度為、 置:二。另一方面,如第6圖之立體圖所示,於推動” 置支撑框52之上表面固定有,字形斷面 力:f; 托架%固定有由發光元件1〇〇與受光元件二:二在该 耦合器(ph〇t_pler)10 ::成之先電 100之下古铃蚣4 又尤兀件102係位於發光元件 之門 隙板94係位於發光元件100與受光元株 ,,空間。光電耦合器1〇4與缝隙才反94係構 一 欢測裝置。該檢測裝置係檢測推 S明之 者。第6圖朽幻… 到達壓住位置 心月疋,滑執8〇、推動器切體料、推動 317160 1264543 杰/袞輪86及氣缸88之形狀。此外,亦表示出形成於工作 台50之第]凹部66。該第}凹部66係用以確保推動器滾 輪86與液晶面板1〇之第3邊接觸時,使推動器滾輪% 及推動杰支撐體84不會與工作台50干涉之空間。 回到第5圖,當缝隙板94之缝隙96到達發光元件i 〇〇 之正下方時’受光元件會接受來自發光元件丨〇〇的光,由 受光元件輸出預定強度以上的信號。此時,檢測裝置會發 出安e又結束信號。第6圖係表示推動器滾輪%位於安設結 束位置之狀態。 第7圖係為第5圖之7-7線剖視圖。其清楚地表示縫 隙板94由推動器支撐體84水平突出,及縫隙板94位於發 光兀件100與受光元件1〇2之間的空間。此外,亦清楚地 表示滑轨80與滑塊82之扣合狀態。 第8圖係為推動器滾輪86附近之擴大剖視圖。推動哭 ,輪86係藉由安裝軸1〇6安裝於推動器支撐體84。在安° >衣軸106的外周面與推動器滾輪%的内周面之間插入旋轉 軸承1 〇8 ’推動為滾輪86係藉由該軸承1 〇8而可自由旋 轉。推動器滾輪86之旋轉中心線係垂直於工作台5〇之表 :51。安裝軸1〇6係將軸環n〇夾於其間而利用螺絲部固 疋表推動态支撐體84。於推動器滾輪86外面形成有錐狀 面U 2 ^錐狀面11 2係於將液晶面板1 0朝工作台50之
乂 1 [往的方向(即第9圖的下方)呈尖細狀。此實施例 、隹狀面2 ‘在其斷面對於水平面形成30度之角庚。 錐狀面]12帛細部分的直徑S 10】薦,最粗部分的直徑I 3 】7160 1264543 2广”另外:推動器滚輪8 6上表面之高度位置係為離液 晶面板1 0上表面2mm以内之高度。 液晶面板10係由上玻璃板126與下玻璃板128構成, 並將液晶封入其間。^玻璃板之厚度係例如10.7mm。 下玻璃板128比上玻璃板126更向外側突出,在其端緣上 下形成有用以防止缺口之斜面13〇、132。該斜面係對於水 平面形成3〇度之角度。因此,推動器滾輪86之錐狀面]12 齡係正好可與液晶面板1G之下玻璃板128上側的斜面⑽ 接觸。推動器滾輪86之錘壯;!】〇^ 山之 錐狀面112亚不一定要和液晶面板 鳊緣之斜面no的傾斜角度—致,但若使兩者—致,則錐 狀面二12可與液晶面板1〇之端緣良好地接觸。 弟9圖係為第!止動器62附近之擴大剖視圖,為第3 ;:二9。=剖視圖。第1止動器62係具備止動器滾輪118。 Γ〇= 118係藉由安裝轴120安裳在形成於工作台 -。。二!!狀的凹部5 3底面。在安裝轴12 0❺外周面與止 _重力杰滾輪11 8的内周面$ pg # u 輪118…丄間插入旋轉軸承122,止動器滾 知118係糟由該軸承122 之斿鉍士 . 叫7自由力疋轉。止動器滾輪118
之旋轉中心線係垂直於工作A -f ^ 〇 50之表面。安裝軸120 知' 將軸% 124夾於其間而利用 動哭爷趴,,。丨 用~、絲邛固疋於工作台50。止 動卩。度輪Π 8外周面成為圓筒 _„ ^ 10 1 问面,该囡向面可與液晶面板 υ之弟1邊16接觸。此實施 和1 A 1 η * 止動為/袞輪11 8的直 乜為l〇mm。另外,推動器滾 直 Μ、、点a 的上表面之南度位詈# Λ 雄液晶面板]〇上表面2_以内之高度。J置1為 王此已說明有關第]推動 7 μ衣置7Θ和弟1止動器62 317160 13 1264543 之構造,而第2推動器裝置72之構造係和第]推動器裝置 70相同,此外,第2止動器64之構造也和第}止動器q 之構造相同。 °° 接著’說明將液晶面板安設於工作台之動作。第1 〇 圖係表示以包含第1推動器裝置70(參照第3圖)之推動器 滾輻及第1止動态62之斷面予以切斷的正面剖視圖,並省 略液晶面板10之中央部分。該第10圖中,首先,藉由未 圖不之搬運衣置將液晶面板丨〇載置於工作台上。此時, 馨推動器滾輪86係為退避於箭頭132方向之狀態。推動器滾 輪86之錐狀面]! 2係位於脫離液晶面板⑺之第$邊⑼又 之位置此外,液晶面板1〇之第1邊16係脫離第1止 器62之止動器滾輪118。 動 _第二圖係為表示此時第1推動器裝置7G之狀態的俯 視®。推動器支撐體84係退避於箭頭Π2 94之綠階以a丄 、、万、則頭132之方向,縫隙板 因此、:千 發光元件100之正下方位置偏向左方。 ^此’,—合器為被缝隙板94遮住之遮光狀態。 箭頭=之二;2:。所广藉由氣虹使推動器滾輪86往 會與液晶面板10二第3°此’推動器滾輪86之錐狀面112 方(即朝第1 〜 邊20接觸,而將該第3邊20往右 合於工作台50夕: 向)及下方(即,使第3邊20密 16會i第1 μ #向)推壓。亦即,液晶面板10之第1邊 极]0之X方向的°移動_/=輪118接觸,使液晶面 板%之縫隙96會到_ + _ %’如弟5圖所示,縫隙 曰到達發先兀件]00之正下方,檢測裝置 317160 】4 1264543 會輪出x方向的安設完成信號。 接著,實施Y方向的安設作業。第3圖中,使第2推 動器裝置72之推動器滾輪壓住液晶面板1〇之第4邊22。 藉此’液晶面板1 〇會向第2止動器64移動。此時,液晶 面板10之第1邊16已與第1止動器62之止動器滾輪接 觸,而且,液晶面板10之第3邊2〇也已與第丨推動器裝 置7 〇之推動為滾輪接觸。由於止動器滾輪與推動器滾輪可 自由旋轉,在液晶面板1〇之第i邊16及第3邊2〇與止動 器滾,和推動器滾輪接觸之狀態,一面旋轉止動器滾輪和 推動器滾輪,-面使液晶面板10幾乎不受阻力地向第2 止動f 64移動。亦即’液晶面板10之第2邊18與第2 止動印64之止動器滾輪接觸,使γ方向的移動停止。此 =個=2推動器裝置72會輸出丫方向的安設完成信號。 ==器裝置70及兩個第2推動器裝置72均輸出 :之後’液晶面板Η)安設於工作台5〇之作羋 •:元:。安設作業完成後,進行液晶面板的對位作 後’針紙⑤面板的電極接觸並檢查液晶面板。 作掌後再=^ ^ 5兄明上之方便而以進行X方向的安設 ,置為: 方向的安設作業之方式加以說明,”r ;置::〇方向的安設作業後再進行X方向的安:矿 業亦可。由於推動器滾輪與止動哭上γ方向的安設作 晶面板之各邊無論以任何時輪句可自由旋轉,液 接觸,在液晶面板朝χ 動。。'滾“ 歲方向移動時,已與止動器 317160 15 1264543 凌等接觸之液晶面板的邊在液晶面板移動 阻力。 臼/主土 ^第J圖中’液晶面板的安設作業完成時,液晶面板1 〇 之第3邊20係成為密合於工作台50之狀態,第3邊2〇 :會凸起。同樣地,液晶面板10之第4邊22會成為密合 於=作台5〇之狀態,第4邊22不會凸起。於液晶面板10 之第3邊2〇排列有閘極電極,於第4邊22排列有資料電 極仁由於違些邊不會凸起,故使探針與閘極電極及資料 黾極接觸並不會產生任何障礙。 、 此—外’止動滾輪之外周面僅為圓筒面,故液晶面板 ,1适16和第2邊18中,使這些邊密合於工作台5〇 之力!不會動作。因此,由液晶面板1G之自身重量引起中 央=撓曲,可能會導致第liil6和第2们8稍微脫離 工”。5〇。但是,在第1邊16和第2邊18並未排列有應 與挺針接觸之電極,故不會產生什麼問題。 #接著’說明止動器滾輪之變更例。第13圖係表示止動 器滾輪變更例的擴大剖視圖。言亥止動器滾輪138係與推動 益滾輪同樣地形成有錐狀面14〇。該錐狀面14〇係在將液 晶面板10朝工作a sn主上同、i .少 〇 50表面壓住之方向(即第13圖之下方) 王大細狀。使用上述之止動器滾輪138,即使止動器側也 可防止液晶面板的邊脫離。如果在液晶面板的三個邊或四 個邊排配有電極’最好採用上述含有錐狀面之止動器滾輪。 本發明係可與真空吸附裝置併用。上述實施例中,;夜 晶面板錯由自身重量與推動器滾輪密合於工作台,但為提 317160 16 1264543 高液晶面板之密合功能亦可與真空吸附裝置併用。該種情 形,判斷液晶面板的作業是否完成時,不是依照工作台之 吸附槽的壓力信號來判斷,而是依照推動器裝置之檢測裝 置的安設完成信號來判斷。 【圖式簡單說明】 第1圖係為本發明之液晶面板檢查裝置之一實施例的 主要部位俯視圖。 第2圖係為第i圖之2_2線剖視圖。 第3圖係為工作台與推動器裝置支撐框之俯視圖。 第4圖係為第3圖之4-4線剖視圖。 第5圖係為第丨推動器裝置之俯視圖。 第6圖係為第1推動器裝置之立體圖。 第7圖係為第5圖之7_7線剖視圖。 第8圖係為推動器滾輪附近之擴大剖視圖。 第9圖係為第3圖之9-9線剖視圖。 • 苐1 0圖係為切斷包含H U隹希 以 岡已3弟1推動态裝置之推動器滾輪及 弟1止動器之斷面的正面剖視圖。 視圖第〗1圖係為第1推動器裝置在第〗。圖之狀態時的俯 第u圖係為與液晶面板的安裝作 同樣的正面剖視圖。 弟〗〇E] 弟13圖係表示止動器滾輪之f更例的擴大剖視圖。 [主要元件符號說明】 1〇 液晶面板 】2 第】探針基座 317160 17 1264543 14 第2探針基座 16 18 第2邊 20 22 第4邊 24 26 探針區塊 28 30 資料侧探針單元 32 34 第2攝影機 36 38 探針台 40 42 X驅動台 44 46 Z驅動台 48 50 工作台 51 52 推動器裝置支撐框 53 凹部 54 5 6 第2支撐部 58 60 第4支撐部 62 64 第2止動器 66 68 第2凹部 70 72 第2推動器裝置 74 76 擴散板 78 80 滑執 82 84 推動器支撐體 86 88 氣红 90 94 缝隙板 96 98 托架 100 102 受光元件 104 第]邊 第3邊 閘極側探針單元 探針 第1攝影機 第3攝影機 檢查台 Y驅動台48 Θ旋轉台 工作台表面 第1支撐部 第3支撐部 第1止動器 第1凹部 第1推動器裝置 背光 工作台基座 滑塊 推動器滾輪 活塞 缝隙 發光元件 光電耦合器 18 317160 1264543 106、 120 安裝轴 108、 122軸承 110、 124 軸環 112、 14 0錐狀面 118、 138 止動器滾輪 126 上玻璃板 128 下玻璃板 130、 132斜面 134 箭頭

Claims (1)

1264543 十 、申請專利範圍: -種液晶面板檢查裝置,具備下述構造: '.二A)工:° ’肖以保持具備第1邊、與前述第1 邊相鄰之第2邊、血前n穿 、+、—。t /、則边乐1邊對向之第3邊、與前 攻弟2邊對向之第4邊、、、儿芏1 個笼]+托 邊,口者所述第3邊排列之複數 D弟1電極 '以及签洽、+、从 ^ ^ ° j述乐4邊排列之複數個第2 电極的矩形平面顯示面板; 牙 (B)探針台,具有可鱼 % ^ ^ ^ ^ ^ 百刖述弟1電極和前述第2 兔極接觸之複數個探針; (c)第/止動器,可與前述第!邊接觸; (D) 弟2止動器,可盘命 』興刚述第2邊接觸; (E) 第1推動器裝置,可於 方向壓住前述第3邊,'柢弟止動盗之 方向壓住前述第3邊;以及 口之 (2推動器裳置呵 =住前述第4邊,並亦可於密合於Lit:: 向壓住前述第4邊。 j L 作口之方 2.如申請專利範圍第1項之 且# 、之液日日面板檢查裝置,苴中 具備下述特徵者·· /、中, (G) 前述第1止動哭伤 作△本& 知具備可繞著垂直於前述工 作口表面的旋轉中心線自由旋轉之第】 ^工 其外周面可與前述第〗邊接觸丨 為^輪, (H) 前述第2止動器係具備 作A }而沾# # 士 了、%者垂直於前述工 乍:衣面的旋轉中心線自由旋轉之第2止 : 一外周面可與前述第2邊接觸丨 .…h, 20 1264543 (ϊ)前述第1推動器裝置係具備可繞著垂直於前 遗工朴j 4λ 下1"表面的旋轉中心線自由旋轉之第1推動器滾 〃'弟]推動為滾輪係具備於將前述液晶面板朝前 3^11 丁— 第 下η表面壓住之方向呈尖細狀的第1錐狀面,該 1錐狀面可與前述第3邊接觸;以及 述工(J)前述第2推動器裝置係具備可繞著垂直於前 ^工作台表面的旋轉中心線自由旋轉之第2推動器滚 "以乐2推動器滾輪係具備於將前述液晶面板朝前 =工作台表面壓住之方向呈尖細狀的第2錐狀面,該 弟2錐狀面可與前述第4邊接觸。 士申#專利範圍第2項之液晶面板檢查裝置,直中, 具備下述特徵: 一 /' (K)珂述第1推動器裝置係具備以平行於前述第2 ^ ^ it使則述第1推動器滾輪進退之驅動機構,以 及用以檢測前哲 之檢測裝置;以=推動器裝置達到預定的壓住位置 | (L)前诚楚0 邊之方向使前述:動器裝置係具備以平行於前述第1 及用以檢測前述ί 92f動裔滾輪進退之驅動機構,以 之檢測裝置。 動裔裝置達到預定的壓住位置 317160 21
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