TWI231395B - Liquid crystal dropping apparatus and method - Google Patents

Description

1231395 玫、發明說明： [發明所」I之技術領媸} 晶之液晶滴下裝置及方法 液晶以多瓜狀滴下至基板 本發明與一種滴下液狀物質液 有關，尤與依設定之滴下圖案將 上之液晶滴下裝置及方法有關。 Γ先前技術】 破璃基板之方法。 、製造液晶顯示板等時，需將液晶封入2片玻璃基板間，其 万法係在近年來，&用以液晶滴下裝置將需求量液晶滴下 至-万（基板上後，將液晶藉裝於兩者間之狀態貼合兩片 此種方法所使用先前之液晶滴下裝置，已知有具備：儲 存液狀物質液晶之容器；及連通^該容器，以針閥及活塞 等進行流路之開閉控制之嗜嘴；由開啟針闕及活塞等，從 噴嘴前端排出容器内液晶滴下至基板上者（日本專 2001-133799 號公報）。 开 然而 需時間 裝置， 加。 ，上述先前之液晶滴下裝置，有滴下丨滴液晶動作所 長之問題。因此’為了提高生產性需增設液晶滴下 增加液晶滴下裝置之使用台數，招致生產成本之#

本發明為考慮上述問題，纟目的在提供一種液晶滴下裝 置及万法’其係可達成液晶滴下動作高速 去。 促阿生產性 务明之第1解決方法為提供一種液晶滴下裝置，其係 87720 .·<：♦, 心 1231395 依δ又疋 < 滴下圖案將液晶以多點狀滴下至基板上，其特徵 為具有· $器’其係儲存液晶者；液晶供給裝置，其係將 儲存在上述客器 < 液晶滴下至基板上者；及移動裝置，其 係相對移動上述液晶供給裝置與上述基板者；上述液晶二 給：置具有：$出機構，其係從上述容器取出因應滴下： 《量之液晶者；儲備機構，其係—時儲備由取出機構取: 〜夜晶者；及排出機構，其係排出該儲備機構儲備之液晶 又最好如上述第1解法女 鮮决万法，其中上述液晶供給裝 Μ ^ . ，ι “ 一 ，〜穴了丄％饮曲贤給裝置且；j 複數儲備機構，此外JL右A ^ ^ ^ /、 "疋位機構，其係將上述取出機才 及上述排出機構定位於 、上逑複數儲備機構，俾能一併進 逑取出機構取出液晶與上述排出機構排出液晶。 ::好如上述第〗解決方法，”上述液晶 數儲備室構成，上㈣ΐ 旋轉之旋轉部之福 逑固定部：及=機構包括：取出口，其係設於上 疋#者，及引進機構， 述各儲備室者；上述排出機=㈣取出口將液晶引進上 逑固定部者.及厭山排出口，其係設於上 <上述各儲備室壓出. 仗上迷旋轉邠 部相對對上述固定部旋：’上述足位機構係由將上述旋轉 及上述排出口^位於上心俾將上述w部之上述取出口 構構成。 、处旋轉部之上述各儲備室之驅動機 此外，最好如上逑第丨 述引進機構及上述排出 万/八中上述取出機構之上 、構之上述壓出機構包括··柱塞， 87720 广：、7~*«、 1231395 其係於上述旋轉部之上诚久件彳甚a 、 、 丹1<上迷各儲備室内邵往復運動者；及柱 塞移動機構，其係控制上述柱塞之往復運動者。又最好上 述柱塞移動機構係-種凸輪或圓冑，其制應上述固定部 之上述取出口及上述排出之 . 足位置，使上述柱塞往復運動 者0 此外，最好如上述第1解法女、、土 u作决万法，其中更具有：檢測裝置 ’其係檢測上述液晶供給裝置盥上 • /、上迷基板 < 相對位置關係 者’及把制裝置，其係依上述檢測 、 kI置檢測足相對位置關 係資訊，及預先決定之上述基板 、 、丞孜上 夜晶斶下位置資訊， 控制上述液晶供給裝置之液晶排出時序者。 此外’最好如上述第！解決方法，其中更具有控制裝置， 其係依滴下至上述基板上之液晶滴下位置間隔預先決定之 上述液晶供給裝置與上述基板之相對移動速度，及依上述 硬晶供給裝置之液晶排出時間間％，控制上述移動裝置及 上述液晶供給裝置者。 此外，又最好如上述第旧決方法，其中更具有調整裝置 ，其係調整依上述液晶供給裝置之液晶排出量者。 本發明之第2解決方法為提供—種液晶滴下方法，其係邊 相對移動滴下液晶之液晶供給裝置與基板，邊依設定之滴 下圖案以上述液晶供給裝置將液晶以多點狀滴下至上述基 板亡：其特徵為具有：#出步驟’其係將因應對基板之滴 下里< K硬晶，從儲存液晶之容器向上述液晶供給裝置 取出者；儲備步驟，其係將上述取出步驟取出之液晶，一 時儲存於上述液晶供給裝置者；及排出步驟，其係將上述

87720 1231395 倚備步驟一時儲存之液晶 上排出者。 以上述液晶供給裝置向 上述基板 :最好如上述第2解決方法，其中上述液晶供給裝置具有 複數儲備機構，其係—時儲存上述取出步驟取出之液曰者 ’將上述取出步驟取出之液晶，依序儲存於上述複㈣曰 機構，俾一併進行上述取出步驟與上述排出步驟。 又最好如上述第2解決方法，其中更包括：檢測步驟，其 係檢測上述液晶供給裝置與上述基板之相對位置關係者； 及决疋步馭，其係依上述檢測步驟檢測之相對位置關係資 訊及預先決疋 < 上述基板上之液晶滴下位置資訊，決定 上述履晶供給裝置之液晶排出時序者；於上述排出步驟， 以上述決定步驟決定之排出時序，由上述液晶供給裝置將 液晶排出於上述基板上。 此外，最好如上述第2解決方法，其中更包括決定步驟， ”係依滴下土上述基板上之液晶滴下位置間隔，決定上述 液晶供給裝置與上述基板之相對移動速度，與依上述液晶 供給裝置之液晶排出時間間隔者，邊以上述決❹驟決定 之相對移動速度相對移動上述液晶供給裝置與上述基板， 邊万、上述排出步風’以上述決定步驟決定之排出時間間隔 由上述液晶供給裝置將液晶排出於上述基板上。 此外又最好如上述第2解決方法，其中更包括調整依上 述液晶供給裝置之液晶排出量之步驟。 依本發明因預先取出因應相當丨丄份液晶滴下量之量之 液晶予以儲存，排出時僅排出所有該儲存之液晶，即能進 87720 1231395 行滴下需求量之液晶，故能迅速進行 液晶滴下動作高速化，提高生產性。一而可達成 明因能如上述迅速進行滴下液晶，故即使在相 h動履θ曰供給裝置與基板之期間中，亦可 、 下至其如L 心疋將液晶滴 卜主基板上，更能提高生產性。 此外，依本發明由於利用複數儲備機構即可… 晶之取出作用與排出作用，故能 丁履 化，更提高生產性。 卜動作更问速 此外’依本發明由於依液晶供給裝 關杨咨> t 装置與基板之相對位置 關係資訊，與預先決定之基板上 .^ 又履日曰 < 滴下位置資訊， 控制依液晶供給裝置之液晶之排出時序，故即使基板上之 =《滴下點數或滴下位置變更時，僅依變更後之滴下位 置資訊，即容易對應。因此，容 、、 各易獲侍於基板貼合步騾可 件句勻之液晶擴展之最佳滴下圖案。 此外’依本發明由於依滴下至其 一 同卜主基板上之液晶之滴下位置 間隔決定之液晶供給裝置盥某姑 ，、暴板<相對移動速度，與依液 晶供給裝置之液晶之排出時間間 才门間隔，控制移動裝置及液晶 供給裝置，故即使基板上之浚晶 设日日 罔下位置間隔變更時， 僅依變更後之滴下位置間隔蠻 W又更相對之移動速度及液晶之 排出時間間隔，即容易對岸。m + 、 丁應因此，容易獲得於基板貼合 步驟可得均勻之液晶擴展之最佳滴下圖案。 此外，又依本發明由於以,敕世班、 、以㉟整裝置調整液晶之排出量， 即可將液晶之相當1次之滴下吾傲 、、 里變更為適當之值，與基板上 之液晶之滴下點數相辅，容县獾卢 j易獲传於基板貼合步騾可得均

I 87720 1231395 勻之液晶擴展之最佳滴下圖案。 以下，參考圖說明本發明之實施形態。 首先’依圖1A說明本發明一實施形態有關之液晶滴下裝 置整體結構。又本實施形態有關之液晶滴下裝置係於以如 圖1B所示之基板貼合裝置彼此貼合之一對基板（上基板及 下基板）中一方之基板（例如下基板）上滴下液晶者。 如圖1A所示’本實施形態有關之液晶滴下裝置1〇係依設 疋4滴下圖案，於下基板丨上滴下多點狀液狀物質液晶L者 ，具有：基板輸送載物台U，其係裝載下基板丨者；及液晶 供給裝置20，其係將一定量液晶l分別滴下在裝載於基板輸 迻載物台11之下基板1之預先設定之複數滴下位置者。 其中，於基板輸送載物台11，設有移動裝置丨2，其係含χ 軸驅動邵、γ軸驅動邵及0軸驅動部者，可分別向X方向及 Y方向移動並向0方向旋轉裝載於基板輸送載物台η之下 基板1。又移動裝置丨2之各驅動部可由伺服馬達構成。

此又液晶供給裝置20附帶設有：容器4〇，其係儲存由液晶 供給装置20供給下基板！上之液晶[者；及移動裝置5〇，其 =移動液晶供給裝置20者。在此，移動裝置5〇係含χ軸驅動 #、Y軸驅動部及2軸驅動部，可分別向χ方向、Y方向及Z 方向移動液晶供給裝置20。又移動裝置5〇之各驅動部可由 词服馬達構成。 又由移動裝置12及移動裝置50中之至少一方，構成對基 板輪送載物台U之下基板丨相對移動液晶供給裝置2〇之移^ 87720 1231395 裝置。 液晶供給裝置20具有··取出機構，其係從容器4〇取出因 應滴下f (量之液晶L者；儲備機構，其係一時儲存由該取 出機構取出之液曰口 L者，及排出機構，其係排出由該儲備機 構儲存之液晶L者。 具體而T ’液晶供給裝置20係如圖1 a及圖2A所示具有： - 固足邵24 ;及旋轉部27，其係設於由伺服馬達25驅動之旋 _ 轉軸26者，對固定部24相對旋轉者。在此，固定部以，以 旋轉軸26之軸心為中心之同一半徑上且夾持旋轉軸％之相 對位置，各設有1隻取出口 21及排出口 23。又於旋轉部27， 以一方之儲備室22相對於排出口 23之位置關係，設有2隻儲 備室22。又旋轉部27係以液密滑接於固定部24，由旋轉部 27之旋轉使儲備室22依序通過取出口 21及排出口 23。 又液晶供給裝置20具有相對於旋轉部27之凸輪28。在此 ，凸輪28係固定配置於旋轉軸26之周圍，於凸輪28與旋轉 邵27之間配置與旋轉軸26之儲備室22同數之柱塞3〇。 在此，各柱塞3 0係上下運動自如保持於設在固定於旋轉 $ 軸26之旋轉板29之導孔29a内。又各柱塞30之下端部係嵌合 · 於對應之儲備室22，在儲備室22内部往復運動。又各柱塞 - 30之上端部（凸輪從動件3〇a)係滑接於柱塞移動機構之凸輪 28之凸輪面28a’依凸輪面28a之形狀控制各柱塞3〇之往復運 動。又設於各柱塞3 0中間邵之凸緣3 0 b與旋轉板2 9之間藉裝 彈簧31。 兹依圖2B說明凸輪28之凸輪面28a之形狀與柱塞3〇之往 X7790 1231395 復運動之態樣之關係。 -如圖2B所不，枉塞3〇之往復運動之態樣係由凸輪28之凸 輪面28a之形狀規定。即舉旋轉部27之儲備室^通過取出口 21上〈情形為例時，如圖2B所示，以儲備室22之進行方向 (箭示R方向）前頭侧之端部通過取出口 21左側端部上之時 序、，柱塞30開始上昇，以儲備室22之進行方向後方側之端 邯通過取出口 21右側端部上之時序，柱塞3〇抵達上限位置 停止，設定凸輪28之凸輪面28a之形狀即可。在此，柱塞3〇 <上限位置係以能一時儲存於儲備室22之液晶乙之容積之 關係規足，規定為柱塞3〇抵達上限位置狀態之儲備室22内 邵谷積，成為可收容滴下丨次所需滴下量同量之液晶L之容 積。 一方面，旋轉部27之儲備室22通過固定部24之排出口23 上時，使柱塞30之往復運動之態樣與上述取出口 21之情形 相反，設定凸輪28之凸輪面28a之形狀即可。即以旋轉部27 之儲備室22之進行方向前頭前端部通過排出口 23之旋轉方 向前側端部上之時序，柱塞30開始下降，以儲備室22之進 行方向後方側端部通過排出口 23之旋轉方向後方側端部上 之時序，抵達下限位置，設定凸輪28之凸輪面28a之形狀即 可。又如此柱塞30抵達下限位置時，收容於儲備室22内部 之所有液晶L藉排出口 23排出，滴下至下基板1上。 又圖2A係旋轉部27之取出口 21正上方位置之一方之儲備 主22内之柱塞30位於下限位置，位於排出口 η正上方位置 之另一方之儲備室22内之柱塞30位於上限位置之情形。然 分87720 -12- 1231395 、此種圖不係為方便著想者，如圖2B所示，儲備室22位 万、取出口 21或排出口 23正上方(儲備室22完全重疊於取出口 21或排出口 23之位置）時，儲備室22内之柱塞30位於上限位 置與下限位置間之中間位置。 二又圖2A係硬晶l藉排出口 23即將從儲備室22排出前之狀 態二液晶L僅收容^儲備室22内，而排出口 23内未收容液晶 ^在此此種狀悲係柱塞3 0之下降速度快時，即由 柱塞3〇之下降-次動作，使儲備室22内之液晶不殘留於排 出口 23内’其全部從排出口 23排出時所得者。針對此，可相 雖亦依固定部24之厚度，惟尤其柱塞30之下降速度慢時，： 柱塞30之下降—次動作，使儲備室如之液晶全部不從排出 口23排出，其一部分或全部殘留於排出口23内，從排出口 23 排出之液晶量產生不均。故此種情形時例如圖％所示，在排 出準備階段，由繼續進行複數次柱塞3〇之下降動作，以液晶 充滿排出口23内之狀態即可。由此，實際進行滴下時，^ 塞30之下降了次動作’將儲備找内之液晶向排出口 η壓出 ’將對應其之量之液晶從排出口 23排出。 如上述結構之液晶供給裝置2()，由飼服馬達城轉旋轉 軸26(甚至旋轉部27)時，進行如下（a)(b)所述泵作用。 (a)取出作用 當旋轉部27之儲備室22通過固定部24之取出口 η上時， 柱塞30在儲備室22内部從下限位置移動至上限位置（參考圖 2B)，取出儲存於容器4〇之液晶μ由取出口心進儲備二 22(引進）取出。 R7790 1231395 (b)排出作用 當旋轉部27之儲備室22通過固定部24之排出口 23上時， 柱塞3〇在儲備室22内部從上限位置移動至下限位置，將一 時儲存於儲備室22之液晶L經由排出口 23從儲備室22壓出 排出’以1滴液晶L滴下至下基板1上。 二又因旋轉部27設有2隻儲備室22，故由伺服馬達乃對固定 邯24相對旋轉旋轉部27，即可將固定部以之取出口 η及排 出口 23同時定位於旋轉部27之各儲備室22。因此，可一併 進仃上述⑷之取出作用（經由取出口 21向儲備室^取出液 晶L)，與上述⑻之排出作用（經由排出口 η從儲備室^排出 液晶L)。 由以上說明可知，於本實施形態，由設於旋轉部27之儲 備罜22構成儲備機構。又由設於固定部以之取出口 η，及 藉取出口 21將液晶L引進旋轉部27之各儲備室。之引進機 構（柱塞30及凸輪28等），構成取出機構。此外，由雙於固* 部24之排出口 23,及藉排出口 23從旋轉部”之儲備又室22: 出液晶L之壓出機構(柱塞30及凸輪以等），構成排出機構。 此外，又由驅動機構之伺服馬達25構成定位機構。 回至圖1A繼續說明夜晶滴下裝置1〇更具有：檢測裝置 13、51’其係檢測液晶供給裝置2〇與基板輸送載物a丨丨上、 下«者；及_裝置14，其聽檢測^ 置！3、51之檢測結果（液晶供給裝置2〇與了基板i之相對 關係）起動液晶供給裝置20，並控制移動裝置12者。上置 在此，檢測裝置13係設於移動裝置12之構成各驅動部之 1231395 =馬達之編碼器’檢測裝置51係設於移動裝置5〇之構成 、々動：心伺服馬達《編碼器。而依此等檢測裝置u”

之編碼器之輸出值，可段I J件基板輸送載物台11之位置資訊及液 日田供給裝置2 0之位置資却 ^ 貝成，依此寺位置資訊最後檢測出液 晶供給裝置20之排出口 』土人 23與基板輸送載物台11上之下基板1 之相對位置關係。 錄汉滴了 *下基板！上之液晶[之；商下圖案為如圖3所示圖 案(沿下基板!之邊向縱橫以等間隔滴下液曰曰“之圖案)，以此 種滴下圖案滴下液晶L時之對下基板！之液晶供給裝置2 〇之 ，出口23之移動路徑（滴下路徑)，為例如旧箭示於左右端部 父互折返成U字狀之路徑。又圖3中，符號3a、3b.....3z 表不滴下位置（3A係滴下開始位置、32係滴下終了位置），符 號4表示密封材料。 此種情形時’控制裝置14於液晶供給裝置2〇之排出口 Μ 之各直線狀移動路徑中除兩端滴下位置之中間滴下位置， 依檢測裝置13、51之檢測結果（液晶供給裝置2〇與下基板1 之相對位置關係），不停止液晶供給裝置2〇與下基板丨之相對 移動，進行從液晶供給裝置20之排出口23向下基板！上之各 滴下位置排出液晶L。針對此，於各直線狀移動路徑之兩端 滴下位置，依檢測裝置13、51之檢測結果（液晶供給裝置別 與下基板1之相對位置關係），停止液晶供給裝置2〇與下基板 1之相對移動，進行從液晶供給裝置2〇之排出口 23向下基板 1之各滴下位置排出液晶L。 即控制裝置14係從移動裝置12之構成各驅動部之飼服馬 87720 -15 - 1231395 達之編碼器（檢測裝置13)之輸出值，讀取基板輸送載物台n 之位置資訊，並從移動裝置50之構成χ軸驅動部及γ軸驅動 部之伺服馬達之編碼器（檢測裝置51)之輸出值，讀取液晶供 給裝置20之排出口 23之X方向及Y方向之位置資訊。 而控制裝置14係依如此讀取之相對位置關係資訊，與預 先決定乃至指示之下基板丨上之液晶[之滴下位置資訊，控 制依液晶供給裝置2〇之液晶L之排出時序。具體而言，以預 先決疋之下基板丨上之各滴下位置3A、3B.....3Z通過液晶 供給裝置20之排出口23之時序，向液晶供給裝置⑼輸2 出指令。 液晶供給裝置20係在依此種控制裝置14之控制下，以伺 服馬達25控制液^之排出次數與排出時序，由取出作用將 所有儲存於儲備室22内之液U，由上❸次排出作用從排 出口 23排出。此時，因儲備室22之内部容積與滴下】次所需 =下量同量’故排出所有儲存於儲備室22内之液晶匕，即 可侍所需之滴下量。即排出液晶L時無需調整液晶L之量， 而可^高速穩定之滴下。又因無需停止基板輸送載物台” =土板輸运載物台U之位置資訊，在每達各滴下位置从 β、···、3Z時能排出需求量乏、漁 步驟所需之時間。“％山故可大幅縮短滴下 ^又如以上以液晶滴下裝置1G將多點狀液晶L滴下至 板1上後，以如圖1Β所示基板貼 土 貼合下基板工與上基板2。 裝置⑽猎翁封材料4彼此 以下，依圖_基板貼合裝置1〇〇之詳細情形。

87720 • 16 - 1231395 如圖1B所示，基板貼合裝置100具有：真空室1〇ι ;及下 基板載物台102及上基板載物台103，其係設於真空室ι〇1内 部者。 在此，下基板載物台102裝有下移動裝置1〇4，上基板載 物台103裝有上移動裝置1〇5。其中，下移動裝置1〇4係含χ 軸驅動部、Y軸驅動部及0軸驅動部，分別向χ方向及丫方 向移動並向0方向旋轉保持於下基板載物台1〇2之下基板1 又上私動t置1 〇 5係含ζ軸驅動邵，可向ζ方向移動保持於 上基板載物台103之上基板2。由此，於真空室1〇1内部貼合 保持於下基板載物台1〇2之下基板丨（由液晶供給裝置2〇滴下 多點狀液晶L者），與保持於上基板載物台1〇3之上基板2。 、其次，與基板貼合裝置100之作用一同說明由上述結構而 成之液晶滴下裝置1 〇之作用。 ⑴首先，於液晶滴下裝置10，以移動裝置50將液晶供海 裝置20之排出口 23移動至滴下開始位置。 ⑺其次，將塗布朗合環狀之密封材料4之下基板丨（參考 圖3)裝載❹板輸送載物台u。此時，辨識下基板！之定位 標德’檢測基板輸送載物台U上之下基板！之錯位狀態。 (3)其次，附加上述⑺之步驟檢測之下基板丨之錯位狀態， ^移動裝们2移動基板輸送载物台u，將下基板以位使下 二^滴下開始位置3Α(參考圖3)位於上述⑴之步驟定 …下開始位置《液晶供給裝置2〇之排出口Μ正下方。 (:其次，以移動裝置12移動基板 供給裝置20之排出口23，沿 對履日曰 各仅相對移動基板輸送載 2S4 87720 •17- 1231395 物台11上之下基板1，如上述， 從排出口 23將液晶L滴下於 下基板1上之各滴下位置3A、3B、…、3Z(參考圖3)。此時 ，控制裝置14依移動裝置12、50之構成各驅動部之伺服馬 達之編碼器（檢測裝置13、51)之輸出值，如上述檢測下基板 1上之液晶L之滴下位置，以下基板！上之各滴下位置3八、把 .....3Z通過液晶供給裝置20之排出口 23之時序，將液晶l 滴下於下基板1上。 (5)然後’將上基板2供給基板貼合裝置1⑻之上基板載物 台1 0 3上。 (6) 又將於上述（4)之步驟完成滴下液晶L之下基板丨供給 基板贴合裝置100之下基板載物台1〇2上。 (7) 而使基板貼合裝置1〇〇之真空室1〇1為真空狀態，以下 移動裝置104及上移動裝置105移動下基板載物台1〇2及上 基板載物台103，將下基板1與上基板2定位後，在真空中藉 密封材料4重疊下基板丨與上基板2彼此貼合。又如此貼合下 基板1與上基板2後’將真空室1 〇 1開放於大氣，以uv照射裝 置照射UV(紫外線）俾使密封材料4暫時硬化。又此種uv照射 裝置最好内裝於未圖示之基板輸送載物台，其係從下基板 載物台102上向真空室101外部排出彼此貼合之下基板1與 上基板2而成之液晶胞時所用者。 (8) 最後，向外部排出如此以基板貼合裝置1 〇〇彼此貼合之 下基板1與上基板2而成之液晶胞。 又上述（1)之步騾與上述（2)(3)之步騾亦可更換其先後順 序。即若於上述（2)(3)之步騾之供給下基板1之前，進行上述

87720 -18- 1231395 ⑴之步驟之液晶供給裝置2G之移動時，雖可防止構成移動 硬晶^给裝置20之移動裝置5Q之各驅動部動作時產生之灰 屬掉洛於下基板1之情形，惟對各驅動部採取防塵對策時， 亦可在上述⑺⑺之步驟之供給下基…之後，進行上述 <步驟之液晶供給裝置2〇之移動。 又於上述（2)之步驟，將塗布閉合環狀之密封材料*之下基 板U參考圖3)供給基板輸送載物台11±，惟亦可將未塗布麥 封材料之下基板丨供給基板輸送載物台nji，施行上述⑺⑷ 《步驟後，於上述(5)〜⑺之步驟，彼此貼合滴下液晶l之下 基板1，與塗布閉合環狀之密封材料4之上基板2。 士此外：於上述⑴〜⑷之步驟，以僅具備β上述液晶供給 裝置20之液晶滴下裝置10將液晶L滴下於下基板i上之情形 為前提說明，惟並不限於此，亦可用具備複數台液晶供給 裝置20之液晶滴下裝置1〇，按每一滴下位置切換使用之液 晶供給裝置20，或同時使用複數台液晶供給裝置2〇。 此時例如使各液晶供給裝置2〇之儲備室22具有不同容積 ，使每一液晶供給裝置20之液晶L相當！次之滴下量不同即 可。由此，容易實現如圖3所示下基板1中以密封材料4所包 圍區域内分割為複數區域，將不同滴下量之液晶L滴下至每 一分割之區域。具體而言，例如亦可將接近下基板1之密封 材料4周圍區域之滴下量，設定為比中央區域少，此時能有 效防止貼合下基板1與上基板2時容易產生之液晶越過密封 材料4溢出之現象。 又液晶滴下裝置10具有複數台液晶供給裝置2〇時，最好 -19- 2® 87720 1231395 構成可個別向X方向及Y方向移動各液晶供給裝置2〇。此時 容易調整依液晶供給裝置2〇之液晶L之滴下位置彼此間之 間隔。 又於上述（1)〜（7)之步騾，僅於下基板丨上滴下液晶L彼此 貼合下基板1與上基板2，惟不限於此，而僅於上基板2上滴 下液晶L，或於下基板丨及上基板2雙方滴下液晶乙後，彼此 貼合下基板1與上基板2亦可。 如此依本實施形態，因預先取出因應液晶L相當丨次滴下 量之量之液晶L，儲存於液晶供給裝置2〇之儲備室22，僅在 排出時排出全部儲存於儲備室22之液晶L，即能滴下需求量 之液晶L，故能迅速滴下液晶L，達成液晶[滴下動作之高速 化，而可提高生產性。 又依本實施形態，因能如上述迅速滴下液晶L，故每在滴 下液晶L時不必停止液晶供給裝置2〇與下基板i之相對移動 ，即使在相對移動液晶供給裝置20與下基板丨之期間中，亦 能穩定於下基板1上滴下液晶L，更可提高生產性。 此外，依本實施形態，因如上述排出全部儲存於儲備室 2 2之1次份滴下量之液晶l，滴下雲炎蚕—十曰τ 确卜而不Κ硬晶L，故容易控 制液晶L之滴下量，而可防止起因滴下量不均產生之液晶[ 之擴大偏差。又由此，於貼合下基板丨與上基板2之步驟將 適量液晶L封入下基板1與上基板2之間，故可提高由下基板 1與上基板2而成之液晶胞之製品品質。 此外，依本實施形態，因 晶L之取出作用與排出作用 能利用2個儲備室22—併進行液 ，故能使液晶L之滴下動作更高 87720 -20- 1231395 速化’更可提高生產性。 此外，依本實施形態，因依液晶供給裝置20與下基板1之 相對位置關係資訊，與預先決定之下基板1上之液晶L之滴 下位置資訊，控制依液晶供給裝置2〇之液晶l之排出時序， 故即使下基板1上之液晶L之滴下點數或滴下位置變更時， 控制裝置14僅依變更後之滴下位置資訊，變更液晶[之排出 時序，即容易對應。故容易獲得於貼合下基板1與上基板2 之步驟可得均勻液晶L擴展之最佳滴下圖案。 此外，依本貫施形態，因儲備室22隨著旋轉部27之旋轉 沿周圍移動，故不易產生振動，儲備室22能於設在固定部 24之取出口 21與排出口 23之間圓滑且高速移動，而能迅速 且穩定進行液晶L之滴下動作。 此外，又依本實施形態，因一旦將液晶L取入儲備室22後 ，從儲備室22排出取進份之液晶L，故可不受液晶乙黏度變 動之影響確實滴下儲備室22容積份之液晶L。 又於上述實施形態，依液晶供給裝置2〇與下基板！之相對 位=關係資訊，與預先決定之下基板丨上之液晶L之滴下位 置資訊，決定依液晶供給裝置2〇之液晶L之排出時序，以該 決足之液晶L之排出時序，由液晶供給裝置20於下基板1上 排出液晶L，惟不受此限制，而亦可依滴下於下基板i上之 液晶L之滴下位置之配置間隔，即滴下位置間隔，決定液晶 供給裝置2G與下基板丨之相對移動速度，與依液晶供給裝置 20之液晶L之排出時間間隔，邊以該衫之相對移動速度相 對移動液晶供給裝置20與下基板1，邊以決定之排出時間間 瓣 87720 -21- 1231395 隔用液晶供給裝置2〇於下基板1上排出液晶L亦可。 具體而言，使液晶供給裝置20與下基板1之相對移動速度 為一疋時，若欲加大液晶L之滴下位置間隔，即縮小設定液 晶L之排出時間間隔。又使液晶[之排出時間間隔為一定時 ’若欲加大液晶L之滴下位置間隔，即加速設定液晶供給裝 置20與下基板！之相對移動速度，若欲縮小液晶[之滴下位 置間隔’即緩慢設定液晶供給裝置2〇與下基板！之相對移動 速度。當然，亦可調整液晶供給裝置2〇與下基板1之相對移 動速度，及液晶L之排出時間間隔雙方，以得希望之滴下位 置間隔。即如上述，滴下位置間隔、液晶供給裝置2〇與下 基板1之相對移動速度、及排出時間間隔間之關係，由（滴下 位置間隔Η液晶供給裝置2 〇與下基板！之相對移動速度）X (排出時間間隔）之關係，即容易決定。 又 又此時，在開始滴下作業時，若決定液晶供給裝置2〇血 下基板丨之相對位置關係，則即使不檢測液晶供給裝置川盘 下基板κ相對位置關係，而僅依狀之相對移動速度盘排 出時間間肖，控制液晶滴下裝置10之移動裝置12及液晶件 給裝置20,即可於下基板1JL以希望之滴下位置間隔滴下液 晶卜因此’容易獲得於貼合下基板丨與上基板2之步驟可得 均勻液日口 L擴展之最佳滴下圖案。 、 又於上述貫施形態，因應儲備室2 2之肉& θ ^ 至2又内邵容積決定依液 曰日供給裝置20之液晶L之排出量，惟亦 1 、 里氓斫可加設如圖4所示， 柱塞上限停止器（調整裝置）35，以

正依履晶供給裝置2 C 之液晶L之排出量。 III 87720 -22- 1231395 於圖4所示液晶供給裝置20，柱塞上限停止器35係限制柱 塞30之上下行程上限位置，調整液晶L之相當！次排出量者 。該柱塞上限停止器35係由上下滾子38、38夾持，該上下 滾子3 8、3 8係設在與由控制裝置等驅動之伺服馬達3 6之輸 送螺桿旋合，昇降控制於適當位置之昇降塊37者。而柱塞 上限停止器35係以定位於旋轉軸26軸方向所希望之上限限 制位置狀態，沿旋轉軸26周圍與旋轉部27一同旋轉。又於 柱塞上限停止器35設有孔39，以便穿插各柱塞3〇之凸輪從 動件30a。孔39設有停止部39a，以擋柱塞30之凸緣30b，限 制柱塞30之上限位置俾可變更對應柱塞3〇之向儲備室22之 液晶L之取出量，甚至從儲備室22之液晶L之排出量。 因如此調整柱塞上限停止器35之上下位置改變可取進儲 備室22之液晶L之量（容積），即可立即將液晶[之相當1次滴 下里皮更為適當值，故與加多下基板1上之液晶L之滴下點 數相輔’更容易獲得於貼合下基板1與上基板2之步騾，能 知均勻之液晶L擴展之最佳滴下圖案。又亦可如圖3所示下 基板1中將密封材料4所包圍區域内分割為複數區域，並將 不同滴下量之液晶L滴下至每一分割之區域，可更擴大滴下 圖案之自由度。 又於圖4’由昇降控制柱塞上限停止器35以調整柱塞3〇之 上限位置’調整可取進儲備室22内之液晶L之量，惟亦可向 昇降方向固定配置柱塞上限停止器3 5，一方面可昇降控制 凸輪2 8，將凸輪2 8定位於適當位置。由此，可調整柱塞3 〇 之下限位置，變更從儲備室22排出之液晶L之量。 2轉 87720 -23 · ^31395 寺□雖在視日一出作用時’與排出之液晶L之量無 :饭固足配置之柱塞上限停止器35限制之上限位置，缺 定量之液晶L取進儲備室22内，惟在排出作用時，即 =儲存於儲備室22内之巾，τ降至依凸輪Μ之設定 二置之下限位置之柱塞30之自上限位置之下降量份之液晶 。依如此構成’亦可變更液晶以滴下量，容易獲得 :下基板1與上基板2之步驟，能得均勻之液晶L擴展之最佳 雨下圖案。又此時，儲存於儲備室22之液晶L之量，可— 於預定排出之液晶L之最大量。 < 疋 以上，參考圖詳細說明本發明之實施形態，惟本發明之 具體結構並不限於上述實施㈣，而亦可在不超出本發明 之要旨範圍任意變更設計等。 例如液晶供給裝置20與下基板！之相對移動，並不限於依 移動裝載下基W之基板輸送載物台u之移動裝置_，才 可為依移動液晶供給裝置2G之移動裝置5Q者，亦可為依雙 万之移動裝置12、50者。 又視晶供給裝置20並不限於依柱塞型之泵者，亦可 其他任意泵者。 〜1 此外，因應固定部24之取出口21及排出口23之位置使枝塞 往復運動之柱塞移動機構，並不限域用凸輪财，亦可: 以每-柱塞30所設之缸筒裝置等，使柱塞往復運動者。、'、 此外，滴下位置之相當i處之液晶匕之滴下次數並不限… 次’亦可為複數次。此若在上述實施形態之情形時，液# 供給裝置20之排出口 23通過下基板】上之i個滴下位置期:; 2M 87720 -24- 1231395 中’由控制飼服民；去q 版馬達25<驅動使儲備室22僅以設定次數次 通過排出口23，即可實現。 ，外’移動裝置12及移動裝置5()雙方無需具有X軸驅動部 “區動邯’只要移動裝置12、5〇之至少-方具有X軸驅 Y軸驅動部’即可對下基板1之液晶L之滴下動作。 j外’檢測裝置13、51不歸㈣移動裝置12、50之構 0:動叙飼服馬達之編碼器，而可使用其他任意檢測 态0 此外，又旋轉部27不限於具有2個储備室_，亦可 3個以上儲備室者’亦可僅具有"固儲備室者。 【逼式簡單i»明】 ::係本發明一實施形態有關之液晶滴下裝置整體結構 不思圖。 圖1B係以圖1A所示液晶滴下 其他基板貼合之基板貼合裝置示意圖。 〃 意 、圖2A係圖_示液晶滴下裝置之液晶供給裝置要部示 剖面圖。 ' 圖 圖2_、沿箭示A看圖2A所示液晶供給裝置時之示㈣ 面 圖2 C係圖2 A所示液晶供給裝置變形例態樣示意剖 圖3係以圖1A所示液晶滴下裝置滴下至基板 滴下圖案模式圖。 上之液晶之 圖4係圖1A所示液晶滴下裝置之液晶供給裝置變 部示意剖面圖。 形例要 87720 -25- 1231395 [圖式代表符號說明】 1 下基板 2 上基板 4 密封材料 10 液晶滴下裝置 11 基板輸送載物台 12、 50 移動裝置 13 ^ 51 檢測裝置 14 控制裝置 20 液晶供給裝置 21 取出口 22 儲備室 23 排出口 24 固定部 25、 36 伺服馬達 26 旋轉轴 27 旋轉部 28 凸輪 28a 凸輪面 29 旋轉板 29a 導孔 30 柱塞 3 0a 凸輪從動件 30b 凸緣 Λ.. A 々 ㈣ 87720 -26 彈簧 柱塞上限停止器 昇降塊 滚子 孔 停止部 容器 基板貼合裝置 真空室 下基板載物台 上基板載物台 下移動裝置 上移動裝置 -27-

Claims (1)

1231395 拾、申請專利範園·· 1 · 一種液晶滴下裝置，其係依設定之滴下圖案將液晶以多 點狀滴下至基板上者，其特徵在於具有： 容器，其係儲存液晶者； 硬晶供給裝置，其係將儲存在上述容器之液晶滴下至 基板上者；及 移動裝置’其係相對移動上述液晶供給裝置與上述基 板者； 上述液晶供給裝置具有··取出機構，其係從上述容器 取出與滴下量相對應之量之液晶者；儲備機構，其係一 時儲備由此取出機構取出之液晶者；及排出機構，其係 排出由此儲備機構儲備之液晶者。

如申請專利範圍第1項之液晶滴下裝置，其中上述液晶 供給裝置具有複數上述儲備機構，並且具有定位機構， 其係將上述取出機構及上述排出機構對於上述複數儲 備機構疋位，俾能同時進行上述取出機構取出液晶與上 述排出機構排出液晶。 、 如申印專利範圍第2項之液晶滴下裝置，纟中上述液 供給裝置之上述複數儲備機構包括設於對於固定部 對旋轉之旋轉部之複數儲備室，上述取出機構包心 :口，其係設於上述固定部者；及引進機構，其係經 忑取出口將欲晶引進上述旋轉部之上述各儲備室者； 述排出機構包括：排出口，其係設於上述固定部者· 壓出機構，其係經由該排出口從上述旋轉部之上述各

87720 1231395 備立壓出液晶者；上诚步户撼姐 ,^ 位機構包括驅動機構，其係蕤 由使上述旋轉部對於上述固 、係知 部之上述取出口及上述排出口 ^轉’將上述固定 夂上逑排出口對於上 各儲備室定位者。 寻1 4·如申請專利範園第3項夕、治曰、念 播-、 弟頁L夜日曰頎下裝置，其中上述取出 幾構 < 上逑引進機構及 肖# . 1、、 I辨出機構 < 上述壓出機構 =柱塞’其係於上述旋轉部之上述各儲備室内部往 運=者;及柱塞移動機構，其係控制上述柱塞之往復 5·如申請專利範圍第4項之、凉曰、、盒丁壯密 貞艾，夜日曰，两下裝置，其中上述柱J 力機構係凸輪，其係按照上述固定部之上述取出口石 6 非出口《位1 ’使上述柱塞往復運動者。 .二申請專利範園第4項之液晶滴下裝置，其中上述柱達 二力機構係汽缸，其係按照上述固定部之上述取… 7 迟排出口之位置，使上述柱塞往復運動者。 如：請專利範圍第1項之液晶滴下裝置，其中更具有： 相^裝置’其係檢m晶供給裝置與上述基板之 相對位置關係者；及 控制裝置’其係依由上述檢測裝置檢測出之相對位置 資：具讯及預先決疋之在上述基板上之液晶滴下位置 凡，控制上述液晶供給裝置之液晶排出時機者。 Μ專利範圍第1項之〉夜晶滴下裝置，纟中更具有控 間^置’其係基於依滴下至上述基板上之液晶滴下位置 曰^而預先決定之上述液晶供給裝置與上述基板之相 87720 1231395 對移動速度及上述液晶供給裝置之液晶排出時間間隔 ，控制上述移動裝置及上述液晶供給裝置者。 9.如申請專利範圍第丨項之液晶滴下裝置，其中更具有調整 i置，其係調整上述液晶供給裝置之液晶排出量者。 10·—種液晶滴下方法，其係邊相對移動滴下液晶之液晶供 給裝置與基板，邊依設定之滴下圖案以上述液晶供給裝 置將液晶多點狀滴下至上述基板上者，其特徵為包括： 取出步驟，其係將與對基板之滴下量相對應之量之液 印k儲存液日日之各姦取出至上述液晶供給裝置者； 儲備步驟，其係將在上述取出步驟取出之液晶一時儲 存於上述液晶供給裝置者；及 排出步驟，其係將在上述儲備步驟一時儲存之液晶以 上述液晶供給裝置排出於上述基板上者。 u·如申請專利範圍第10項之液晶滴下方法，其中上述液晶 供給裝置具有複數儲備機構，其係一時儲存在上述取出 步驟取出之液晶者，藉由將在上述取出步驟取出之液晶 依序儲存於上述複數儲備機構，同時進行上述取出步驟 與上述排出步驟。 12·如申請專利範圍第10項之液晶滴下方法，其中更包括： 檢測步驟，其係檢測上述液晶供給裝置與上述基板之 相對位置關係者；及 、夬走V I其係依在上述檢測步驟檢測出之相對位置 :係資訊及預先決定之在上述基板上之液晶滴下位置 貪訊，決定上述液晶供給裝置之液晶排出時機者，· 87720 1231395 於上述排出步驟，按在上述決定步驟決定之排出時機 以上返液日日供給裝置將液晶排出於 ……青專利範圍第丨。項之液晶滴下方二基：更上… 疋步驟，其係依滴下至上述基板上之液晶滴下位置間隔 决足上述液晶供給裝置與上述基板之相對移動速度及 上述液晶供給裝置之液晶排出時間間隔者； 邊以在上述決定步驟決定之相對移動速度相對移動 上述液晶供給裝置與上述基板，邊於上述排出步驟，按 在上逑決足步驟決定之排出時間間隔以上述液晶供給 裝置將液晶排出於上述基板上。 14.如申請專利範圍第1〇項之液晶滴下方法，其中更包括調 整上述液晶供給裝置之液晶排出量之步驟。 87720