TWI228131B - Acetal compound, polymer, resist material and method for forming pattern - Google Patents

Description

1228131 A7 B7 五、發明説明（1 ) 【發明之技術領域】 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係有關（1 )欲形成適合微細加工之光阻材料 的基礎樹脂所使用之作爲單體的新穎縮醛化合物，（2 ) 含有特定重複單位之高分子化合物，（3)含有此高分子 化合物作爲基礎樹脂之光阻材料，與（4 )使用此光阻材 料的圖型之形成方法等發明。 【先前技術】 近年來，隨著LSI之高集積化及高速度化，在尋求圖 型線路微細化之中，號稱下一世紀之微細加工技術之遠紫 外線鈾刻印刷術爲目前極有望之技術。其中極需實現以 KrF等離子雷射、ArF等離子雷射作爲光源之光蝕刻印刷 術以進行0.3 // m以下之超微細加工的技術。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 作爲KrF等離子雷射光用之光阻材料，一般係使用兼 具有實用程度之透明性與蝕刻耐性之聚羥基苯乙烯作爲標 準之基礎樹脂。有關ArF等離子雷射光用之光阻材料，目 前則對以含有聚丙烯酸或聚甲基丙烯酸之衍生物或脂肪族 ί哀狀化合物爲主鏈之尚分子化合物等材料進行硏究，但無 論任何一種情形皆具有優點與缺點，故目前仍未有可達實 用化之標準基礎樹脂的出現。 即，使用聚丙烯酸或聚曱基丙烯酸衍生物之光阻材料 ，因酸分解性基之反應性較高，故具有與基板密著性良好 之優點，若於感度與解像性上欲得到較佳結果時，因樹脂 主鏈較爲軟弱故蝕刻耐性極低，而未能達實用化程度。又 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ' -4- 1228131 A7 B7 五、發明説明（2 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ’使用以脂肪族環狀化合物爲主鏈之高分子化合物所得之 光阻材料，因樹脂主鏈極爲剛直，故於耐鈾刻性上已可達 貫用化程度，但酸分解性保護基之反應性較丙烯酸系化合 物更低，故感度與解像性極弱，且樹脂之主鏈過於剛直， 故與基板之密著性亦較低，故亦難謂合適之材料。在尋求 圖型線路更微細化的同時，必須開發一種於感度、解像性 與耐鈾刻性中皆可發揮出良好性能之光阻材料。 【發明之目的】 本發明係鑑於上述情事，即以提供（1 )於以300nm 以下之波長，特別是KrF、ArF等離子雷射光作爲光源之 光蝕刻印刷術中，適合作爲製造具有優良密著性與透明性 的光阻材料之單體的新穎縮醛化合物，（2 )具有優良反 應性、剛直性與基板密著性之高分子化合物，（3 )使用 該高分子化合物作爲基礎樹脂，可得到較目前大幅增加之 解像性與耐蝕刻性的光阻材料，與（4 )使用此光阻材料 的圖型之形成方法等爲本發明之目的。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 【發明之內容與發明之實施形態】 本發明者們爲達上述之目的經過深入檢討結果，得知 依下記方法即可以高產率且簡便地製得下記式（1 )至（3 )所示之縮醛化合物，此外，使用此縮醛化合物所得到之 樹脂，於等離子雷射光之曝光波長下具有極高之透明性， 且使用其作爲基礎樹脂所得之光阻材料，具有極佳之基板 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5 - 1228131 A7 B7 五、發明説明（3 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 密著性。又，依後述方法所得到之含有下記式（4-1 )或 (4-2)所示重複單位之重量平均分子量1，000至500,000 之新穎高分子化合物，其亦具有優良之反應性、剛直性與 基板密著性，將此化合物作爲基礎樹脂使用之光阻材料， 亦具有高解像性與高蝕刻耐性，故此光阻材料極適用於精 密的微細加工。 即，本發明提供一種下記式（1 )所示縮醛化合物；

(〇Η2)π ^ ⑴ (式中，R爲氫原子或碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀或環 狀烷基；X爲1個氫原子可被羥基或乙醯氧基取代之-( CH〇 k爲0或1，m爲滿足lSmS8之整數’ η爲2 或3 )。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，本發明提供一種下記式（2 )所示之縮醛化合物

(? (CH2)〆 (CH2)m (2) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇><297公釐） -6- 1228131 A7 B7 五、發明説明（4 ) (式中，R爲氫原子或碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀或J義 狀院基；k爲0或1’ m爲滿足l$m$8之整數，η爲2 或3 )。 又，本發明提供一種下記式（3 )所示之縮醛化合物

〇JCH2)q

(CH2)p CH—丫 I 請 讀 背 面 頁 (CH2)n (3) 經濟部智'慧財產局員工消費合作社印製 (式中，R爲氫原子或碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀或胃 狀烷基；Y爲羥基或乙醯氧基；k爲0或l，p、q爲滿 足0Sp + qS7之0或正整數，η爲2或3)。 又，本發明提供一種下記高分子化合物； [I]、一種重量平均分子量1，000至500,000之高分$ 化合物，其係含有下記式（4-1 )或（4-2)所示重複簞 者；

(CH2), (4-1)

(CH2)n (4-2) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1228131 A7 ___ B7 ^--- 五、發明説明（5 ) (式中，R爲氫原子或碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀或環 狀烷基；W爲單鍵或1個氫原子可被羥基或乙醯氧基取# (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 之-(CH2) k爲0或1，m爲1至8之整數，η爲2或 3 ) 〇 [II]、如[I]記載之高分子化合物，其中，上記式（H )所示重複單位外，尙含有下記式（5-1 )所示重複單位 者；

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，k具有與上記相同之意義；R1爲氫原子、甲基或 CH2C〇2R3 ; R2爲氫原子、甲基或C〇2R3 ; R3爲碳數1至15 之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R4爲酸不穩定基；R5爲 鹵素原子、羥基、碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀 烷氧基、醯氧基、烷氧羰氧基或烷磺醯氧基、或爲碳數2 至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷氧烷氧基，其碳原子上 之氫原子之一部份或全部可被鹵素原子所取代；Z爲單鍵 或碳數1至5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之（h + 2)價烴基 ，爲烴基時，其1個以上之伸甲基可被氧取代而形成鏈狀 或環狀醚基，或同一碳原子上之2個氫原子可被氧取代而 形成酮亦可，h爲0、1或2 )。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -8- 1228131 A7 B7 五、發明説明（6 ) [III]、如[I]記載之高分子化合物，其中，上記式（4 1)所示重複單位外，尙含有下記式（5 -1)與（6)所市 重複單位者；

(6) (式中，k'h'R1至R5具有與上記內容相同之意義）° [IV ]、如[I ]記載之高分子化合物，其中，上言己式（4 _ 1 )所示重複單位外，尙含有下記式（5-1 )所示重複單位 及/或下記式（7 )所示重複單位與’下記式（6 )所示重 複單位者； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R2

S (6) R2 R1:均 Η >=( R4〇 (7) H Z-(R5)h o==\ OR4 (5-1) 式中，k、h、R1至R5具有與上記內容相同之意義）° [V]、如[Π記載之高分子化合物，其中，上記式（4_2 所示重複單位外，尙含有下記式（5-2 )所示重複單位 者 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9- 1228131 A7 B7 五、發明説明（7 )

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} (式中，k、h、R1至R5具有與上記內容相同之意義）。 又，本發明復提供下記之光阻材料。 [VI]、一種光阻材料，其係含有[I]至[V]中任一項之 高分子化合物者。 此外，本發明復提供下記圖型之形成方法。 [VII ]、一種圖型之形成方法，其特徵係包含將上記 [VI]之光阻材料塗佈於基板上之步驟與，於加熱處理後介 由光罩使用高能量線或電子線進行曝光之步驟與，必要日寺 於加熱處理後使用顯影液進行顯影之步驟。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用含有上記式（4-1)或（4-2)所示重複單位的高 分子化合物，因主鏈中含有具有交聯之脂環，故具有較高 之剛直性。又，因具有極性極高之5員環或6員環環狀縮 醛基構造，故亦具有極佳之基板密著性。又，若於環狀縮 醛構造與剛直之主鏈間導入適當長度之間距時，即可緩和 以往過度之剛直性，又，環狀縮醛構造部分若配置於離主 鏈較遠之位置時，即可使極性基產生有效動作，其結果將 會具有較以往化合物更高一層之基板密著性。又，對於以 往產生極大問題之反應性較低之問題，導入間距之效果亦 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -10- 1228131 A7 B7 五、發明説明（8 ) 可提高酸之擴散性而得到改善，同時達到降低線路邊緣粗 糙等問題。因此，使用此高分子作爲基礎樹脂使用之光阻 材料’對於感度、解像性與耐蝕刻性皆具有優良之性能， 故極適合形成微細圖型使用。 以下，對本發明作更詳細之說明。 本發明之上記式（1 )至（3 )所示之縮醛化合物中， R之烷基，例如甲基、乙基、η-丙基、異丙基、η-丁基、 異丁基、tert-丁基、η-戊基、環戊基、η-己基、環己基等 〇 本發明之縮醛化合物，具體而言例如下記所示內容。 又，下式中，Ac係爲乙醯基（CH3C〇-)。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -11 - 1228131 五、發明説明（9 ) A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12- 1228131 A7 ______ B7 五、發明説明（1〇 )

依本發明內容，使用此些化合物作爲單體使用所製得 之光阻聚合物中，爲使其產生密著性，可將推測爲極性基 之二噁烷或二氧雜戊環部分由聚合物主鏈之鍵結基[式（1 )中之1個氫原子可受羥基或乙醯氧基所取代之 -(CH2 ) m-]設置於較爲遠離之部位時，即可發揮出良好 的基板密著性。又，使用對此些鍵結基之種類（伸甲基數 目m’羥基或乙醯氧基之有無）與支鏈[式（1)中之幻之 組合作最適當之選擇所得之聚合物原料時，可將聚合物全 體之脂溶性作適當之調節，進而控制聚合物之溶解特性。 本發明之縮醛化合物，例如可以下記方法製得，但並 不僅限定於此。以下，將進行詳細說明。 首先，將以鍵結基爲無取代之伸烷基時，即，氫原子 未被羥基或乙醯氧基取代之-(CH2) 情形作一說明。此 情形中，標的物係以式（2 )表示。 對應之羰基化合物（8 )若容易得到或容易合成時， 可將羰基化合物（8 )與二醇化合物（乙二醇或1，3 -丙二 醇）與縮醛反應，即，經由氧觸媒水解反應而合成縮醛化 合物（2 )。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ^^衣.

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -13- 1228131 A7 B7 五、發明説明（n

H〇(CH2)n〇H 〇=( (CH2)m H+, -H20

R

(CH2)n (2) (8) (式中，R、k、m、n具有與上記相同之內容） 二醇化合物，即，乙二醇或1，3 -丙二醇之4 以 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 對羰基化合物1莫耳使用0.9至10莫耳，又以1.0至1.8 莫耳爲更佳。反應可在氧觸媒之存在下，於無溶媒或溶媒 中進行。作爲觸媒使用之酸，例如鹽酸、溴化氫酸、硫酸 、硝酸、過氯酸等無機酸類或其鹽類，草酸、p-甲苯磺酸 、苯磺酸等有機酸或其鹽類。所使用酸之量，以對羰基化 合物1莫耳使用0.01至10莫耳，又以0.01至0.5莫耳爲 更佳。所使用之溶媒，可使用進行反應之二醇化合物本身 之乙二醇或1,3-丙二醇，或η-己烷' η-庚烷、苯、甲苯、 二甲苯、異丙基苯等烴類，四氫呋喃、二乙醚、二-η-丁 醚、1，4-二噁烷等醚類，於配合反應條件進行選擇單獨或 混合使用。反應溫度係爲室溫至溶媒之迴流溫度之間，較 佳爲室溫至100 °C之範圍。爲去除生成二噁烷或二氧雜戊 環時所產生之水，可使用η-己烷、η-庚烷、苯、曱苯、二 甲苯、異丙基苯等烴類於迴流溫度下進行反應，以共沸方 式積極地將水分排出於反應系外之方法爲最佳。反應時間 可使用氣體色層分析法（GC)或矽膠薄層色層分析法（ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公着） -14- 1228131 A7 B7 五、發明説明（12 ) TLC)追蹤反應進行以反應完成時之點爲產率之點，一般 爲0.2至2小時左右。反應混合物可由一般之水系後處理 (aqueous work-up )製得目的之縮醛化合物（2 )。化合 物（2 )可經由蒸餾、色層分析、再結晶等一般方法予以 精製。 上記羰基化合物（8 )以外，例如，可使用下記所示 之縮醛化合物（9 )或烯醇醚化合物（1 〇 )等羰基化合物 等價物作爲原料使用亦可。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，R、k' m、η具有與上記相同之內容，R，爲甲基 、乙基等烷基或三烷基矽烷基） 使用上述化合物作爲原料時，即可經由縮醛交換反應 (對上記脫水反應而言，此時係爲脫R，〇Η反應）而得到 目的物（2 )。此情形中，亦可經由上記酸觸媒脫水反應 相同條件下合成目的物（2 )。 例如，目的物之伸烷基支鏈較長時，即，式（2 )中 m 2 3時’可依下記反應得到烯醇醚化合物（丨〇 )，隨後 即可導出目的物之縮醛化合物（2 )，而爲極有效之方法 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15- 1228131 A7 B7 五、發明説明（13 )

(11) (1〇) (2) (式中，Z爲鹵素原子，R、R、k、m、η具有與上記相 同之內容） 對應之鹵素化合物可依一般方法製得，例如將格利雅 試劑（1 1 )於銅觸媒之存在下，與丙烯醛縮二乙醇衍生物 反應而製得烯醇醚化合物（10 )。丙烯醛縮二乙醇衍生物 之用量，以對格利雅試劑1莫耳使用1 · 0至5 · 0莫耳，又 以使用1.0至2.0莫耳爲更佳。溶媒例如可使用四氫呋喃 、二乙醚、二-η-丁醚、1，4-二噁烷等醚類，η-己烷、η-庚 烷、苯、甲苯、二甲苯、異丙基苯等烴類，於配合反應條 件進行選擇單獨或混合使用。銅觸媒例如可使用氯化銅（ I )、溴化銅（I )、碘化銅（I )、乙酸銅（I )等一價銅 鹽類或氯化銅（II )、溴化銅（II )、碘化銅（II )、乙 酸銅（II )等二價銅鹽類，或將其與添加劑組合所得之銅 觸媒，例如乙酸銅（II )與氯化鋰所得之二鋰四氯銅錯合 物（LhCuCh )等銅之錯合物。所使用銅觸媒之使用量， 以對格利雅試劑1莫耳爲0. 〇 1至1. 〇莫耳，又以0.0 1至 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣 訂_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -16- 1228131 A7 B7 五、發明説明（14 ) 0.5莫耳爲更佳。反應溫度以- 50°C至80下進行，又以〇 至50°C下進行爲佳。反應時間可使用氣體色層分析法（ GC)或矽膠薄層色層分析法（TLC)追蹤反應進行以反應 完成時之點爲產率之點，一般爲0 · 5至20小時左右。反 應混合物可由一般之水系後處理（aqueous work-up)製得 目的之縮醛化合物（10 )。化合物（10 )可經由蒸餾、色 層分析、再結晶等一般方法予以精製，若具有充分之純度 時，該粗產物即可作爲上述縮醛交換反應之基質。 隨後，將以鍵結基受羥基取代時，即，鍵結基之1個 氫原子被羥基取代之-(CH2 ) m-之情形作一說明。此情形 中，標的物係相當於式（3 )中Y = 0H之情形。 例如，如下所示般，對醛化合物（1 2 )進行格利雅試 劑（1 3 )之附加反應，或對醛化合物（1 5 )進行格利雅試 劑（16 )之附加反應，即可合成目的物（14 )。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(12) (13) (14) (式中，Z爲鹵素原子，R、k、p、q具有與上記相同之 內容） 本紙張尺度適用中國國家檩準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -17- 1228131 A7 B7 —^——-____^一五、發明説明（15 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

ch~oh (CH2)q

Hr° 贷 广。々)、铃 (〇 (CI (°Η2)π ^ ZMg/ (15) (16) (式中，Z爲鹵素原子，R、k、p、q具有與上記相同之 內容） 無論任一種情形，溶媒中所對應之鹵素化合物皆可以 依一般方法於所製得之格利雅試劑中使醛化合物進行反應 。溶媒例如可使用四氫呋喃、二乙醚、二-η-丁醚、1，4-二 噁烷等醚類，η-己烷、η-庚烷、苯、甲苯、二甲苯、異丙 基苯等烴類，於配合反應條件進行選擇單獨或混合使用。 格利雅試劑對醛化合物之使用量，以對醛化合物1莫耳爲 1.0至5.0莫耳，又以1.0至2.0莫耳爲更佳。反應溫度 以-5 0 C至8 0下進行，又以〇至5 0 °C下進行爲佳。反應時 間可使用氣體色層分析法（GC )或矽膠薄層色層分析法 (TLC )追蹤反應進行以反應完成時之點爲產率之點，一 般爲0 · 5至20小時左右。反應混合物可由一般之水系後 處理（ague on s work-up )製得目的之縮醛化合物（14 )。 化合物（14 )可經由蒸餾、色層分析、再結晶等一般方法 予以精製。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） '^ H2)p 〇 (CH2)n (14) (請先閱讀背面之注意事項存填寫本頁)

、1T -18- 1228131 A7 B7 五、發明説明（16 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 以下，將以鍵結基受乙醯氧基取代時，即，鍵結基之 1個氫原子被乙醯氧基取代之-(CD m-之情形作一說明 。此情形中，標的物係相當於式（3 )中γ =〇Ac之情形 。此時，可將上記反應所得到之化合物（1 4 )經由乙醯化 而合成目的物（17 )。

(14) (17) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一般而言，反應係於鹼之存在下，與無水醋酸、乙醯 氯、乙醯溴、P-硝苯基乙酸等乙醯化劑反應，乙醯化劑對 羥基化合物（1 4 ) 1莫耳以使用1. 〇至5 · 〇莫耳，又以使 用1.0至2.0莫耳爲更佳。所使用之三乙胺、二乙基異丙 胺、吡啶、N，N-二甲基苯胺、4-二甲基胺吡啶等三級胺爲 較佳之例示’其可單獨使用或混合使用皆可。鹼，以對羥 基化合物（14 ) 1莫耳以使用1 ·〇至2〇.〇莫耳，又以使用 1 · 0至2 · 0 .莫耳爲更佳。使用鹼本身作爲溶媒亦可，亦可 使用四氫呋喃、二乙醚、二-n-丁醚、丨，4-二噁烷等醚類， η-己烷、η-庚烷、苯、甲苯、二甲苯、異丙基苯等烴類， 二氯甲院、氯仿、二氯乙烯等氯化溶劑等。反應溫度以- 本紙張尺度適用中國國冬標準（CNS ) Α4規格（21〇 X 297公着）" " -19- 1228131 A7 B7 五、發明説明（17 ) 50°C至80下進行，又以〇至50°C下進行爲佳。反應時間 可使用氣體色層分析法（GC )或矽膠薄層色層分析法（ TLC)追版反應進fj以反應完成時之點爲產率之點，一*般 爲〇· 5至40小時左右。反應混合物可由一般之水系後處 理（aqueous work-up )製得目的之縮醛化合物（17 )。必 要時，可將化合物（1 7 )經由蒸餾 '色層分析、再結晶等 般方法予以精製。 使用依上述方法製得之本發明縮醛化合物作爲單體使 用，以製得聚合物時，一般可將體與溶媒混合，添加觸媒 或聚合起始劑，依各種情形之不同可於加熱或冷卻下進行 聚合反應。此些聚合可依一般方法進行。上記聚合之例示 例如開環歧化聚合、附加聚合、與無水馬來酸或馬來醯亞 胺類交互聚合等方式，其他如與原菠烯型單體共聚合亦可 〇 以下，本發明之新穎高分子化合物，係爲含有下記式 (4-1)或（4-2)所示重複單位的重量平均分子量1，000 至 500,000 者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(CH2)n (4-1)

(CH2), (4-2) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -20- 1228131 A7 _ B7__ 五、發明説明（18 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (R爲氫原子、或碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷 基，具體而言例如氫原子、甲基、乙基、η-丙基、異丙基 、η-丁基、sec-丁基、tert-丁基、tert-戊基、η-戊基、η-己 基、環戊基、環己基等，W爲單鍵或1個氫原子可被羥基 或乙醯氧基取代之-(CH2 ) ; m爲1至8，較佳爲1至6 之整數；W之具體例如，單鍵、伸甲基、伸乙基' η -伸丙 基、η-伸丁基、η-伸戊基、η-伸己基、η-伸庚基、η-伸辛 基、1-羥基-η-伸丙基、1-乙醯氧基-η-伸丙基、2-羥基-η-伸丙基、2-乙醯氧基- η-伸丙基、1-羥基- η-伸丁基、1-乙醯 氧基伸丁基、1_羥基-η_伸戊基、1-乙醯氧基-η-伸戊基 、4-羥基-η-伸戊基、4-乙醯氧基-η-伸戊基、1-羥基-η-伸 己基、1-乙醯氧基-η-伸己基、2-羥基-η-伸己基、2-乙醯氧 基-η-伸己基、4-羥基-η-伸己基、4-乙醯氧基-η-伸己基等 ;垃爲〇或1，11爲2或3) 本發明之高分子化合物，更具體而言係具有下示4種 類。 (1 )上記式（4-1 )所示重複單位以外，尙包含下記 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 式 示 所 位 單 複 R2 1R「IR4

5 (R 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 - 1228131 A7 B7 五、發明説明（19 ) C式中，k具有與上記相同之內容；R1爲氫原子、甲基或 CH2C〇2R3 ; R2爲氫原子、曱基或C〇2R3 ; R3爲碳數1 g p 之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基；R4爲酸不穩定基；R5 爲鹵素原子、羥基、碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環 狀烷基、醯氧基、烷氧羰氧基或烷磺醯氧基、或碳數2m 15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷氧烷基，其構成之碳原子 的一部份或全部可被鹵素原子所取代；Z爲單鍵或碳數丄 至5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之（h + 2 )價烴基，爲烴基 時’其1個以上之伸甲基可被氧取代而形成鏈狀或環狀醚 基，或同一碳原子上之2個氫原子可被氧取代而形成酮亦 可，h爲0、1或2 )。 C 2 )上記式（4-1 )所示重複單位以外，尙包含下記 式（5-1 )與式（6)所示重複單位。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(6) C式中，k、h、R1至R5具有與上記相同之內容）。 (3 )上記式（4-1 )所示重複單位以外，尙包含下記 式（5-1 )所示重複單位及/或下記式（7 )所示重複單位 與，下記式（6 )所示重複單位。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公酱） -22- 1228131 A7 B7 五 、發明说明（2〇 R2 R1

〇ΧΧ〇 ( Η〉V 〇 (6) r4o (7) (#中，k、h、R1至R5具有與上記相同之內容）。 (4)上記式（心2)所示重複單位以外，尙包含下記 式 卜2)所示重複單位。

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 中，k'h'R1至R5具有與上記相同之內容）。 g中，R1爲氫原子、甲基或CH2C〇2R3; R3爲之具體 例币係如後所述，R爲氣原子、甲基或C 〇2 R3 ; R3爲數 i g 1 5之直鏈狀 '支鏈狀或環狀之烷基，具體而言例如 甲基、乙基、丙基、異丙基、η-丁基、sec-丁基、tert-丁 基、urt-戊基、η-戊基、η-己基、環戊基、環己基、乙基 環戊基、丁基環戊基、乙基環己基、丁基環己基 '金剛烷 基、乙基金剛烷基、丁基金剛烷基等；R4爲酸不穩定基 ，其具體例將於後述；R5爲鹵素原子、羥基、碳數1至 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 23 1228131 A7 B7 五、發明説明（21 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷氧基、醯氧基、烷氧羰氧 基或烷磺醯氧基、或碳數2至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環 狀烷氧烷氧基，且碳原子上之氫原子的一部份或全部可被 鹵素原子所取代，具體而言，例如，氟、氯、溴、甲氧基 、.乙氧基、n_丙氧基、異丙氧基、n-丁氧基、sec-丁氧基 、ten-丁氧基、tert-戊氧基、n-戊氧基、η-己氧基、環戊 氧基、環己氧基、乙基環戊氧基、丁基環戊氧基、乙基環 己氧基、丁基環己氧基、乙基環己氧基、丁基環己氧基、 金剛烷氧基、乙基金剛烷氧基、丁基金剛烷氧基、甲醯氧 基、乙醯氧基、乙基羰氧基、三甲基乙醯氧基、甲氧羰氧 基、乙氧羰氧基、tert -丁氧羰氧基、甲院磺S1氧基、乙院 磺醯氧基、η-丁烷磺醯氧基、三氟乙醯氧基、三氯乙醯氧 基' 3,3,3 -二氣乙基羰氧基、甲氧甲氧基、1-乙氧乙氧基 、1·乙氧丙氧基、Ι-tert-丁氧乙氧基、1-乙氧丙氧基、1-tert-丁氧乙氧基、丨_環己氧乙氧基、2-四氫呋喃氧基、2-四氫吡喃氧基等。Z爲單鍵或碳數1至5之直鏈狀、支鏈 狀或環狀之（h + 2 )價烴基，爲烴基時，其1個以上之伸 甲基可被氧取代而形成鏈狀或環狀醚基，或同一碳原子上 之2個氫原子可被氧取代而形成酮亦可，例如h = 〇時， 具體而言，例如，伸甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基、伸 戊基、伸己基、1,2-丙二基、1，3-丁二基、1-羰基-2-羰丙 焼-1，3-二基、3-甲基-1-羰基-2-羰丁烷-1，4-二基等例示，h 二0以外之情形時，例如將上記具體例中去除1個或2個 氫原子所得之（h + 2 )價之基等。 $紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） — -24- 1228131 A7 B7 五、發明説明（22 ) R4之酸不穩定基，可使用各種取代基，具體而言， 例如下記式（L1)至（L4)所示取代基等、碳數4至20 、較佳爲4至15之三級烷基、各烷基分別受碳數1至6 三烷基矽烷基、碳數4至20之碳烷基等所取代。

rl01 -C-OR103 RL02 (LD (L2) -(CH2)y—C-ORu

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中，虛線係爲鍵結鍵（以下相同）。、RU2爲 氫原子或碳數1至18、較佳爲1至10之直鏈狀、支鏈狀 或環狀烷基，具體例如甲基、乙基、η-丙基、異丙基、n-丁基、sec-丁基、tert-丁基、環戊基、環己基、2-乙基己 基、n-辛基等；r…爲碳數丨至18、較佳爲1至10之可 具有氧原子等雜原子之1價烴基、直鏈狀、支鏈狀或環狀 烷基，且其氫原子之一部份可受到羥基、烷氧基、幾基、 胺基、烷胺基等所取代者，具體而言例如下記經取代之院 基等。

•XU 'd 訂 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -25- 1228131 A7 B7 五、發明説明（23 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) f 1與RW、RU1與RW3、rl〇2與Run可相互鍵結形成 環，形成環時，RU1、t°2、f°3各自爲碳數1至18、較 佳爲1至10之直鏈狀或支鏈狀伸烷基。 RLQ4爲碳數4至20、較佳爲4至15之三級烷基、各 烷基分別爲碳數1至6之三烷基矽烷基、碳數4至20之 碳烷基、或上記式（L 1 )所示之基，三級烷基之具體例如 ，tert-丁基、tert-戊基、1，1-二乙基丙基、2-環戊基丙烷-2-基、2-環己基丙烷-2_基、2-(二環[2,2,1]庚烷-2-基）丙 烷-2-基、2-(金剛烷-1-基）丙烷-2-基、1-乙基環戊基、 1-丁基環戊基、1-乙基環己基、1-丁基環己基、1-乙基-2-環戊烯基、1-乙基-2-環己烯基、2-甲基-2-金剛烷基等。 三烷基矽烷基之具體例如三甲基矽烷基、三乙基矽烷基、 二甲基-tert-丁矽烷基等。羰烷基之具體例如3-羰基環己 基、4-甲基-2-羰基噁烷-4-基、5-甲基-5-二氧五圜環-4-基 等。y爲0至6之整數。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 RW爲碳數1至8之可含有雜原子之1價烴基或碳數 6至20之可取代之芳基，可含有雜原子之1價烴基之具 體例示如，甲基、乙基、η-丙基、異丙基、η-丁基、sec-丁基、ter t-丁基、tert -戊基、η -戊基、η -己基、環戊基、 環己基等直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，其中氫原子之一部 份可受羥基、烷氧基、羧基、烷羰基、羰基、胺基、烷胺 基、氰基、氫硫基、磺基等所取代，可受取代之芳基例如 苯基、甲基苯基、萘基、萘基、蒽基、菲基、芘基等。ρ 爲0或1，q爲0、1、2、3中之任一數，且爲滿足 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -26- 1228131 A7 B7 五、發明説明（24 ) 2p + q：=2或3之數目。 RU6爲碳數1至8之可含有雜原子之1價烴基或爲碳 數6至20之可被取代之芳基，其具體例如與RW5相同內 容者。RU7至6爲各自獨立之氫原子或爲碳數1至15 之可含有雜原子的1價烴基，例如甲基、乙基、丙基、異 丙基、η-丁基、sec-丁基、tert-丁基、tert-戊基、n戊基 、η -己基、η -辛基、η -壬基、η -癸基、環戊基、環己基、 環戊甲基、環戊乙基、環戊丁基、環己甲基、環己乙基、 環己丁基等直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，其氫原子之一部 份可被羥基、烷氧基、羧基、烷氧羰基、羰基、胺基、烷 基肢基、飯基、氣硫基、院硫基、礦基等所取代者；Rm 至RM6可相互形成環（例如，rLQ7與R^8、R^7與f9、 V8 與 Ru〇、與 rL1Q、R⑴與 rL12、R⑴與 rL14 等）， 此時’爲碳數1至15之可含有雜原子之2價烴基，或上 記1價烴基之例示中去除1個氫原子所得者；又，至 於相鄰接之碳進行鍵結時可無須夾有其他原子而鍵結 ，或形成雙鍵（例如R L Q 7與R L ^9、R L Q 9與R L 1 5、R L 1 3與R L 1 5 等）。 ---------—— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上式（L 1 )所示酸不穩定基中，具有直鏈狀或支鏈狀 之取代基之具體例如下記之基。

-27- 1228131 A7 _____B7 五、發明説明（25 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 上記式（L 1 )所示酸不穩定基中之環狀取代基之具體 例如四氫呋喃-2-基、2-甲基四氫呋喃-2-基 '四氫吡喃-2-基、2-甲基四氫吡喃-2-基等。 上記式（L2 )所示酸不穩定基中之具體例如tert_ 丁 氧I基、tert -丁氧簾甲基、tert -戊氧鑛基、tert -戊氧羰甲 基、1，1-二乙基丙氧羰基、1，1_二乙基丙氧羰甲基、1_乙 基環戊基氧羰基、1-乙基環戊基氧羰甲基、1-乙基-2-環戊 少希氧羰基、1-乙基-2-環戊烯氧羰甲基、1_乙氧乙氧羰甲基 、2 -四氫D比喃氧羰甲基、2 -四氫咲喃氧鑛甲基等。 上記式（L3 )所示酸不穩定基之具體例示如丨_甲基 環戊基、1-乙基環戊基、1-η-丙基環戊基、1-異丙基環戊 基、l-η-丁基環戊基、l-sec-丁基環戊基、1-甲基環己基 、1-乙基環己基、3-甲基-1-環戊烯-3-基' 3-乙基-1-環戊 烯-3-基、3-甲基-1-環己烯-3-基、3-乙基-1-環己烯-3-基等 〇 上記式（L4 )所示酸不穩定基之具體例示如下記所示 之基。

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，碳數4至20之三級烷基，各烷基各自爲碳數丄 至6之三烷基矽烷基、碳數4至20之碳烷基之具體例示 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） *~ -28- 1228131 A7 B7五、發明説明（26 )，例如與RU4所示之內容相同。上記式（4-1 )所示重複單位之具體例示係如下所示 ，但本發明並不受此些例示所限定； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) m. 5al= ......-1·—·I hi --1 - . -i--s 1·3=j_l·a-gn n —5 ! 衣. 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -29- 1228131 A7 B7 五、發明説明（27 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

上記式（4-2)所示重複單位之具體例示係如下所示 ，但本發明並不受此些例示所限定； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 -30- 1228131 A7 B7 五、發明説明（28 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T -31 - 1228131 A7 B7 五、發明説明（29

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2IOX297公釐） -32- 1228131 A7 B7 五、發明説明（30 )

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上記式（5-2 )所示重複單位之具體例示係如下所示 ，但本發明並不受此些例示所限定；

本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -33- 1228131 A7 B7 五、發明説明（31 ) 上記式（7)所示重複單位之具體例示係如下所示， 但本發明並不受此些例示所限定；

本發明之高分子化合物，必要時，可再含有1種或2 種以上選自下記式（Ml)至（M8-2)所示重複單位者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 r002 r001 «002 r001 r〇〇2 r001 r0Q2 r001

r〇〇6 \r〇〇7 r〇” r012 H C02R014 H CO2R01s (M5-2) (M6-2) (M7-2) (M8-2) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -34- 1228131 Α7 Β7 五、發明説明（32 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，R°Q1爲氫原子、曱基或CH2C〇2RQ°3 ; RQQ2爲氫原 子、甲基或C〇2RQQ3 ; RW爲碳數1至15之直鏈狀、支鏈 狀或環狀院基；R°°4爲氫原子或碳數1至15之羧基或含 羥基之1價烴基；R°°5至R°°8中至少1個爲碳數1至15 之羧基或含羥基之1價烴基，其他爲各自獨立之氫原子或 碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R°°5至V" 可相互形成環，此時至RW中至少1個爲碳數1至 1 5之羧基或含烴基之2價羥基，其他爲各自獨立之單鍵 或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基；R°°9 爲碳數3至15之含有-C〇2-部分構造之1價烴基；R°1()至 R013中至少1個爲碳數2至15之含有-C〇2-部分構造之1 價烴基，其他部分爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之 直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R°1()至R°13可相互形成環， 此時至V13中至少1個爲碳數1至15之含有-C〇2-部 分構造之2價烴基，其他部分爲各自獨立之單鍵或碳數1 至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基；RM4爲碳數7 至15之多環式烴基或含多環式烴基之院基；R°15爲酸不 穩定基；X爲CH2或氧原子；k爲0或1) 其中，RQQ1爲氫原子、甲基或CH2C〇2R^3，RQQ3之具 體例將於後說明；R°°2爲氫原子、曱基或C〇2R3 ; R°°3爲 碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基，具體而言 例如甲基、乙基、η -丙基、異丙基、η -丁基、sec -丁基、 tert -丁基、tert -戊基、η -戊基、H -己基、環戊基、環己基 、乙基環戊基、丁基環戊基、乙基環己基、丁基環己基、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐1 " -35- 1228131 A7 B7 五、發明説明（33 ) 金剛烷基、乙基金剛烷基、丁基金剛烷基等；R。"爲氫原 子或碳數1至15之含羧基或羥基之1價烴基，具體而言 例如，羧乙基、羧丁基、羧環戊基、羧環己基、羧原菠儲 基、羧金剛烷基、羥乙基、羥丁基、羥環戊基、羥環己基 、，羥原菠烯基、羥金剛烷基等；R^5至R^8中至少丨個爲 碳數1至15之含有羧基或羥基之1價烴基，其他爲各自 獨立之單鍵或碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸 烷基，碳數1至15之含有羧基或羥基之1價烴基之具體 例如，竣基、羧甲基、羧乙基、羧丁基、羥甲基、羥乙基 、羥丁基、2-羧乙氧羰基、4-羧丁氧羰基、2-羥乙氧羰基 、4-羥丁氧羰基、羧環戊氧基羰基、羧環己氧基羰基、羧 原菠烯氧基羰基、羧金剛烷氧基羰基、羥環戊氧基羰基、 羥環己氧基羰基、羥原菠烯氧基羰基、羥金剛烷氧基羰基 等；碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基之具體例 如與R°°3所示之內容相同；R°w至Μ538可相互形成環，此 時R°°5至R°°8中至少1個爲碳數1至15之含有羧基或羥 基之2價烴基，其他部分爲各自獨立之單鍵或碳數1至 1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基，碳數1至1 5之含 有羧基或羥基之2價烴基，具體之例如上記含有羧基或羥 基之1價烴基所例示之內容中去除1個氫原子者；碳數1 至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀伸烷基之具體例如R3所例 示之內容中去除1個氫原子者。 RQ Q 9之碳數3至1 5之含有-C〇2 -部分構造之1烴基’ 其具體例如2-二氧五圜環-3-基、4,4-二甲基-2-二氧五圜 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -36- 1228131 A7 B7 五、發明説明（34 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 環-3-基、4-甲基-2-羰基噁烷-4-基、2-羰基-1,3-二氧五圜 環-4-基、5-甲基-2-二氧五圜環-5-基等；R。1。至R。13中至 少1個爲碳數2至15之含有-c〇2-部分構造之1價烴基， 其他爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈 狀或環狀烷基；碳數2至15之含有-C〇2-部分構造之1價 烴基，其具體例如2-二氧五圜環-3-基氧羰基、4,4-二甲 基-2-二氧五圜環-3-基氧羰基、4-甲基-2-羰基噁烷-4-基氧 羰基、2-羰基-1，3-二氧五圜環-4-基甲基氧羰基、5 -甲基-2" 一^氧五圜〗哀-5-基氧簾基等；碳數1至15之直鍵狀、支 鏈狀或環狀烷基，其具體例示例如與R^3所示之內容相同 ;R°1Q至V13可相互形成環，此時R°i°至R。13中至少1個 爲碳數1至15之含有-C〇2-部分構造之2價烴基，其他爲 各自獨立之單鍵或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀 之伸烷基；碳數1至15之含有-C〇2-部分構造之2價烴基 ，其具體例如1-羰基-2-噁丙烷-1，3-二基、1，3-二羰基-2-噁丙烷-1，3-二基、1-羰基-2-噁丁烷-1,4-二基、1，3-二羰 基-2-噁丁烷-1，4-二基等、及由上記含有-C〇2-部分構造之 1價烴基中所例示之取代基中去除1個氫原子後所得之取 代基等；碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基 之具體例示例如與R ^ ^3所示內容中去除1個氫原子之內容 相同。 V"爲碳數7至15之多環式烴基或含多環式烴基之 火元基’具體之例如原疲院基、二環[3.3.1]壬基、三環 [5.2.1.02’6]癸基、金剛烷基' 乙基金剛烷基、丁基金剛烷 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -37- 1228131 A7 B7 五、發明説明（35 ) 基、原菠烷基曱基、金剛烷基甲基等；V15爲酸不穩定基 ，其具體例如與前述之內容相同；X爲-CH2-或氧原子，k 爲0或1。 上記式（Ml)至（M8-2)所示重複單位，係於作爲 光阻材料時，可賦予顯像液親和性、基板密著性、蝕刻耐 性等各種特性，故可適度地調整前述重複單位之含量，以 對光阻材料之性能進行微調整。 又，又，本發明之高分子化合物之重量平均分子量爲 1，000至500,000，較佳爲3,000至100,000之範圍。超過 此一範圍時，鈾刻耐性將極端降低，而未能確保曝光前後 之溶解速度差，而會有造成解像性降低之情形。 本發明之高分子化合物之製造方法，係將下記式（4a )所示化合物作爲第1單體，並配合1至3種選自下記式 (5 a)至（7a)所示化合物作爲第2單體，或必要時，再 配合1種或2種以上選自下記式（Mia)至（M8〇所示 化合物作爲其後之單體，再以共聚合反應方式製得。 /=\ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〇 k

(CH2)n (4a) (5a) (式中，k、h、w、z、 m n、R、R1至R5具有與上記相 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -38- 1228131 A7 B7 五、發明説明（36 ) 同之內容）

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，k、R^1至V15、X具有與上記相同之內容） 共聚合反應中，各單體之存在比例可進行適當之調節 ，以期於作爲光阻材料使用時可發揮出具有較佳性能之高 分子化合物。 本發明之高分子化合物之製造方法中，係於 (i) 上記式（4a)所示單體， (ii) 上記式（5a)至（7a)所示單體 Uii)上記式（Mia)至（M8a)所示單體 以外，再添加 (iv)上記式（i)至（iii)以外之含碳-碳雙鍵之單 體，例如甲基丙烯酸甲酯、巴豆酸甲酯、馬來酸二甲酯、 依康酸二曱酯等經取代丙烯酸酯類，馬來酸、富馬酸、依 康酸等不飽和羧酸、原菠烯、原菠烯-5 -羧酸甲酯等經取 代原菠烯類，依康酸酐等不飽和酸酐或其他單體進行共聚 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -39- 1228131 A7 B7 五、發明説明（37 ) 合亦可。 本發明之高分子化合物中，以各單體爲基礎之各重複 單位較佳之比例，例如以下記範圍爲佳，但並不僅限定於 此。 (I )局分子化合物，係含有以上記式（4 -1 )所示重 複單位與（5 -1 )所不重複單位時，可各自含有 ① 以式（4a)之單體爲基礎之式（4-1)所示重複單位 係含有1至90% ，較佳爲含有5至80% ，更佳爲含有10 至 70% ， ② 以式（5a)之卓體爲基礎之式（5-1)所示重複單位 係含有1至90% ，較佳爲含有5至80% ，更佳爲含有1〇 至 70% ， ③ 以式（M5a)至（M8a)之單體爲基礎之式（Μ5_ι )至（M8-1 )所示重複單位係含有0至50% ，較佳爲含 有0至40% ，更佳爲含有0至30% ， ④ 以其他單體爲基礎之重複單位係含有〇至5〇% ，較 佳爲含有0至40% ，更佳爲含有0至30%者。 (II)局分子化合物’係含有以上記式（4-1)所示 重複單位與（5-1)所示重複單位與（6)所示重複單位時 ，可各自含有 ① 以式（4a)之單體爲基礎之式（4-1)所示重複單位 係含有1至49% ，較佳爲含有3至45% ，更佳爲含有5 至 40% ， ② 以式（5a)之單體爲基礎之式（5-1)所示重複單位 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -ΦΙ. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -40- 1228131 A7 ______ B7__— 五、發明説明（38 ) 係含有1至49% ，較佳爲含有3至45% ，更佳爲含有5 至 40% ， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ③ 以式（6a)之單體爲基礎之式（6)所示重複單位 係含有5 0莫耳％ ， ④ 以式（M5a)至（M8a)之單體爲基礎之式（M5-1 )至（M8-1 )所示重複單位係含有0至25% ，較佳爲含 有〇至20% ，更佳爲含有〇至15% ， ⑤ 以其他單體爲基礎之重複單位係含有〇至25% ，較 佳爲含有0至20% ，更佳爲含有0至15%者。 (III)高分子化合物，係含有以上記式（4-1)所示 重複單位與（5-1)所示重複單位及/或與（7)所示重複 單位與（6)所示重複單位時，可各自含有 ① 以式（4a)之單體爲基礎之式（4-1)所示重複單位 係含有1至49% ，較佳爲含有3至45% ，更佳爲含有5 至 40% ， ② 以式（5a)之單體爲基礎之式（5-1)所示重複單位 係含有1至40% ，較佳爲含有3至35% ，更佳爲含有〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 至 30% ， ③ 以式（7a )之單體爲基礎之式（7 )所示重複單位 係含有1至80% ，較佳爲含有丨至70% ，更佳爲含有1 至 50% ， ④ 以式（6a)之單體爲基礎之式（6)所示重複單位 係含有丨至49% ，較佳爲含有5至45% ，更隹爲含有1〇 至 40% ， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -41 - A7 B7 1228131 五、發明説明（39 ) ⑤ 以式（Mia)至（M8a)之單體爲基礎之式（Ml) 至（M8-1 )所示重複單位係含有0至25% ，較佳爲含有〇 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 至2〇% ，更佳爲含有〇至15% ， ⑥ 以其他單體爲基礎之重複單位係含有〇至25% ，較 &爲含有〇至20% ，更佳爲含有0至15%者。 (IV)高分子化合物，係含有以上記式（4-2)所示 胃複單位與（5-2)所示重複單位時，可各自含有 ① 以式（4a)之單體爲基礎之式（4-2)所示重複單位 係含有 1至90% ，較佳爲含有5至80% ，更佳爲含有 ^ 7〇% , ② 以式（5a)之單體爲基礎之式（5-2)所示重複單位 係含有丨至90% ，較佳爲含有5至8〇% ，更佳爲含有 至 70%， ③ 以式（M5a)至（M8a)之單體爲基礎之式（M5_2 )至（Μ 8 - 2 )所示重複單位係含有〇至5 0 % ，較佳爲含 有0 Μ 40% ，更佳爲含有〇至30% ， 經濟部智慧財產苟員工消費合作杜印製 @以其他單體爲基礎之重複單位係含有0至50% ，較 佳爲含有〇至40% ，更佳爲含有0至30%者。 製造本發明之高分子化合物之共聚合方法，可以各種 形式進行，較佳之方法例如自由基聚合、陰離子聚合、配 位聚合反應等方法。 自由基聚合反應之反應條件爲，（a )溶劑係使用苯 等烴類、四氫呋喃等醚類、乙醇等醇類、曱基異丁酮等酮 類、丙二醇一甲基醚乙酸酯等酯類，（b )聚合起始劑係 本紙張尺度適财關家標準（CNS ) A4規格（21GX 297公釐) ~ " -42- 1228131 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（40 ) 使用2,2’-偶氮雙異丁腈等偶氮化合物，或過氧化苯甲醯 、過氧化月桂醯等過氧化物，（c )反應溫度保持在〇°C 至100°C之範圍，（d)反應時間以在0.5小時至48小時 間之範圍爲佳，但反應並不限定在此範圍以內。 陰離子聚合反應之反應條件爲，（a )溶劑係使用苯 等烴類、四氫呋喃等醚類、或液態胺，（b )聚合起始劑 係使用鈉、鉀等金屬，η-丁基鋰、sec-丁基鋰等鹼金屬， 縮酮，或格利雅反應劑，（c )反應溫度保持在-78°C至〇 °C之範圍，（d )反應時間以在0.5小時至48小時間之範 圍，（e )停止劑使用甲醇等提供陽離子之化合物，碘化 甲酯等鹵化物，或其他親電子性物質等爲佳，但反應條件 並不僅限定在此範圍以內。 配位聚合反應之反應條件爲，（a )溶劑係使用n-庚 烷、甲苯等烴類，（b )觸媒係使用鈦等過渡金屬與烷基 鋁所得之齊格勒觸媒、鉻與鎳化合物負載於金屬氧化物上 之菲利浦斯觸媒、及以鎢與銶之混合觸媒爲代表之烯烴_ 取代之混合觸媒等，（c)反應溫度保持在〇°C至10CTC之 範圍，（d )反應時間以在〇·5小時至48小時間之範圍爲 佳’但並非將此範圍以外之情形排除。 本發明之高分子化合物，極適合作爲光阻材料之基礎 聚合物，本發明，並提供一種含有此高分子化合物之光阻 材料。 本發明之光阻材料，係含有可感應高能量線或電子線 以產生酸之化合物（以下簡稱酸產生劑）、有機溶劑，必 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -43- 1228131 A7 B7 五、發明説明（41 ) 要時可再含有其他成分。 本發明所使用之酸產生劑例如： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) i ·下記式（Pla-1) 、（Pla-2)或（plb)之鐵鹽， i 1 ·下記式（P2)之二偶氮甲烷衍生物， i i i ·下記式（P3 )之乙二肟衍生物， 1 v ·下記式（P4 )之雙磺酸衍生物， v ♦下記式（P5 )之N-羥基醯亞胺化合物之磺酸酯 9 v i · /3 -酮磺酸衍生物， v i i ·二磺酸衍生物， v i i i ·硝基苄基磺酸酯衍生物， i X ·磺酸酯衍生物 等。 p101b ] + R101a-_R10lc R101a_,_R101b

K- 1C P1a-1 P1a-2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，R1^、R1Qlb、R1Qle各自爲碳數1至12之直鏈狀 、支鏈狀或環狀烷基、烯基、羰烷基或羰烯基，碳數6至 20之芳基，或碳數7至12之芳烷基或芳羰烷基等，此些 基中氫原子之一部份或全部可被烷氧基等所取代。又’ RlQlb與Rl(H。可形成環，形成環時，Rim、Ri⑴各自爲碳 數1至6之伸烷基。K_爲非親核性對向離子）。 上記R1Qla、R1Qlb、R1。1。其相互間可爲相同或不同’具 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -44- 1228131 A7 _ B7 五、發明説明（42 ) 體例中，烷基例如甲基、乙基、丙基、異丙基、n_丁基、 sec-丁基、tert-丁基、戊基、己基、庚基、辛基、環戊基 、環己基、環庚基、環丙甲基、4 -甲基環己基、環己甲基 、原疲院基、金剛院基等。烯基例如乙烯基、烯丙基、丙 烯基、丁烯基、己烯基、環己烯基等。羰烷基例如2 -羰 基環戊基、2-羰基環己基等、2-羰基丙基、2-環戊基-2-羰 基乙基、2 -環己基-2-羰基乙基、2- (4 -甲基環己基）-2 -羰 基乙基等；芳基例如苯基、萘基等或，P-甲氧基苯基、m-甲氧基苯基、〇-甲氧基苯基、乙氧基苯基、p-tert_ 丁氧基 苯基、m-tert-丁氧苯基等烷氧苯基，2-甲基苯基、3-甲基 苯基、4-甲基苯基、乙基苯基、4-tert-丁基苯基、4-丁基 苯基、二曱基苯基等烷苯基，甲基萘基、乙基萘基等烷基 蔡基’甲氧基蔡基、乙氧基蔡基等院氧基蔡基’ —^甲基蔡 基、二乙基萘基等二烷基萘基，二甲氧基萘基、二乙氧基 萘基等二烷基萘基；芳烷基例如苄基、苯基乙基、苯乙基 等；芳羰烷基例如2-苯基-2-羰乙基、2- ( 1-萘基）-2-羰 乙基、2- ( 2-萘基）-2-羰乙基等2-芳基-2-羰乙基等。Κ_ 非親核性對向離子，例如氯化物離子、溴化物離子等鹵化 物離子，三氟甲酸鹽、1，1，1-三氟乙烷磺酸鹽、全氟丁烷 磺酸鹽等氟烷基磺酸鹽，甲苯磺酸鹽、苯磺酸鹽、4_氟苯 基磺酸鹽、1,2,3，4,5-五氟苯基磺酸鹽等芳基磺酸鹽’甲 磺醯鹽、丁烷磺酸鹽等烷基磺酸鹽等。 R102a pi〇2b R104a--p1〇3_〇U 04b κ· κ· P1b 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -45 - 1228131 Μ Β7 五、發明説明（43 ) (式中，R1()2a、R1C)2b各自爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀 或環狀烷基；1^1°3爲碳數1至10之直鏈狀、支鏈狀或環 狀伸烷基；R}°4a、R1Mb各自爲碳數3至7之2-羰烷基； K_爲非親核性對向離子）。 上記R1Q2a、R1Q2b之具體例如甲基、乙基、丙基、異 丙基、η-丁基、sec-丁基、tert-丁基、戊基、己基、庚基 、辛基、環戊基、環己基、環丙甲基、4-甲基環己基、環 己基甲基等。R1(n之具體例如伸甲基、伸乙基、伸丙基、 伸丁基、伸戊基、伸己基、伸庚基、伸辛基、伸壬基、 1，4-伸環己基、1，2-伸環己基、1，3-伸環己基、1,4-伸環辛 基、1，4-伸環己二曱基等。R1Q4a、：^°41?例如2-羰基丙基、 2-羰基環戊基、2-羰基環己基、2-羰基環庚基等。K-與式 (Pla-Ι )及（Pla-2 )所說明之內容相同。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，R1()5、R1C)6爲碳數1至12之直鏈狀、支鏈狀或環 狀烷基或鹵化烷基，碳數6至20之芳基或鹵化芳基或碳 數7至12之芳烷基）。 R1Q5、R1。6之烷基例如甲基、乙基、丙基、異丙基、 η -丁基、sec -丁基、tert -丁基、戊基、己基、庚基、辛基 、環戊基、環己基、環庚基、原菠烷基、金剛烷基等；鹵 化烷基例如三氟甲基、三氟乙基、1，1，卜三氯乙基、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -46 - 1228131 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（44 ) 九截丁基等，方基例如本基、P_甲氧本基、Π1-甲氧苯基、 〇 -甲氧本基、乙戰本基、p-tert-丁氧本基、- 丁氧苯 基等烷氧苯基；2-曱基苯基、3-曱基苯基、4-甲基苯基、 乙基苯基、4-tert-丁基苯基、4-丁基苯基、二甲基苯基等 院基苯基；鹵化方基之氟苯基、氯苯基、1，2,3,4,5 -五氟 苯基等；芳烷基例如苄基、苯乙基等。 p108 g109 R107~S〇2—ο_N=e~ί=Ν~〇—S〇2~R107 Ρ3 (式中，R1()7、R1()8、R1"爲碳數1至12之直鏈狀、支鏈 狀、環狀烷基或鹵化烷基，碳數6至20之芳基或鹵化芳 基，或碳數7至12之芳烷基；R1()8、R1()9可相互鍵結形成 環狀構造，形成環狀構造時，ν°δ、R1()9各自爲碳數1至6 之直鏈狀、支鏈狀之伸烷基）。 、RlQ8、RlQ9之院基、鹵化院基、芳基、鹵化芳基 、芳烷基之例示與、Ri°6之說明內容相同；又，R1” 、R1"之伸烷基則如伸甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基、 伸己基等。 R101a—|—CH j_Ri〇ib P4 (式中，R1Qla、&1()15具有與上記內容相同之意義。）。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -47- 1228131 A7 B7 五、發明説明（45 )

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (式中，R"°爲碳數6至10之伸芳基、碳數1至6之伸 烷基或碳數2至6之伸烯基，此些取代基中氫原子之一部 份或全部可再被碳數1至4之直鏈狀或支鏈狀之烷基或烷 氧基、硝基、乙醯基或苯基所取代；r 111爲碳數1至8之 直鏈狀、支鏈狀或經取代之烷基、烯基或烷氧烷基、苯基 、或萘基，此些取代基中氫原子之一部份或全部可再被碳 數1至4之院基或院氧基；碳數1至4之院基、院氧基、 硝基、乙醯基或苯基所取代之苯基；碳數3至5之雜芳基 ，或氣原子、赢原子所取代亦可）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其中，R11()之伸芳基例如1，2-伸苯基、1，8-伸萘基等 ;伸烷基例如伸甲基、1，2-伸乙基、1,3-伸丙基、1，4-伸丁 基、1-苯基-1，2-伸乙基、原菠烷-2,3-二基等；伸烯基例如 1，2-伸乙烯基、1-苯基-1，2-伸乙烯基、5-原菠烷-2,3-二基 等。R111之烷基則與R“la至R 之內容相同，烯基例如 乙烯基、1-丙烯基、烯丙基、1-丁烯基、3-丁烯基、異丁 烯基、1-戊烯基、3-戊烯基、4-戊烯基、二甲基烯丙基、 1-己烯基、3-己烯基、5-己烯基、1-庚烯基、3-庚烯基、 6-庚烯基、7-辛烯基等；烷氧烷基例如、甲氧甲基、乙氧 甲基、丙氧甲基、丁氧甲基、戊氧甲基、己氧甲基、庚氧 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -48- 1228131 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明说明（46 ) 甲基、甲氧乙基、乙氧乙基、丙氧乙基、丁氧乙基、戊氧 乙基、己氧乙基、曱氧丙基、乙氧丙基'丙氧丙基、甲氧 丁基、乙氧丁基、丙氧丁基、甲氧戊基、乙氧戊基、甲氧 己基、甲氧庚基等。 又，可再被取代之碳數1至4之院基，例如甲基、乙 基、丙基、異丙基、η-丁基、異丁基、tert-丁基等，碳數 !至4之烷氧基，例如甲氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧 基、n-丁氧基、異丁氧基、tert-丁氧基等；碳數1至4之 院基、烷氧基、硝基或乙醯基所取代之苯基，例如苯基、 甲苯基、p-tert -丁氧苯基、P -乙醯苯基、p -硝基苯基等； 碳數3至5之雜芳基例如吡啶基、呋喃基等。 具體而言，例如三氟甲烷碳酸二苯基碘鑰、三氟甲烷 石黃酸（p-tert -丁氧苯基）苯基碘鏺、ρ -甲苯磺酸二苯基碘 鐵、ρ -甲苯磺酸（p-tert-丁氧苯基）苯基碘鏺、三氟曱院 擴酸三苯基锍、三氟甲烷磺酸（P-tert-丁氧苯基）二苯基 錬、三氟曱烷磺酸雙（P-tert-丁氧苯基）苯基銃、三氟甲 院擴酸三（p -1 e r t - 丁氧苯基）硫、ρ -甲苯磺酸三苯基鏡、 p_甲苯磺酸（p-tert -丁氧苯基）二苯基銃、ρ -甲苯擴酸雙 (p-tert-丁氧苯基）苯基銃*、P-曱苯擴酸二（p-tert -丁氧 苯基）銃、九氟丁院礦酸三苯基鏡、丁院磺酸三苯基锍、 三氟甲烷磺酸三曱基銃、ρ-甲苯磺酸三甲基銃、三氟甲烷 磺酸環己甲基（2 -羰基環己基）銃、P -甲苯磺酸環己甲基 (2-羰基環己基）锍、三氟甲烷磺酸二甲基苯基銃、P-甲 苯磺酸二甲基苯基銃、三氟甲烷磺酸二環己基苯基銃、P- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇X 297公釐） -49- 1228131 Α7 Β7 五、發明説明（47 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 甲苯磺酸二環己基苯基銃、三氟甲烷磺三萘基銃、三氟甲 烷磺酸環己甲基（2-羰基環己基）銃、三氟甲烷磺酸（2-原菠烷基）甲基（2-羰基環己基）銃、乙烯雙〔曱基（2-羰環戊基）銃三氟甲烷磺酸酯〕、1，2，-萘基羰甲基四氫硫 鹽三聚物等鐺鹽；雙（苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（p-甲 苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（二曱苯磺醯基）二偶氮甲烷 、雙（環己磺醯基）二偶氮甲烷、雙（環戊磺醯基）二偶 氮甲烷、雙（η-丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異丁基磺 醯基）二偶氮甲烷、雙（sec-丁基磺醯基）二偶氮甲烷、 雙（η-丙基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異丙基磺醯基）二 偶氮甲烷、雙（tert-丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（η-戊 基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異戊基磺醯基）二偶氮甲烷 、雙（sec -戊基磺醯基）二偶氮甲院、雙（tert -戊基擴醯 基）二偶氮甲烷、1-環己基磺醯基-1- ( tert-丁基磺醯基） 二偶氮甲烷、1-環己基磺醯基-1- ( tert-戊基磺醯基）二偶 氮甲烷、Ι-tert-戊基磺醯基-1- ( tert-丁基磺醯基）二偶氮 甲烷等二偶氮甲烷衍生物；雙- 〇-(p-甲苯磺醯基）-α-二 甲基乙二肟 '雙-0- ( Ρ-甲苯磺醯基）-α -二苯基乙二肟、 雙-〇-(ρ-甲苯磺醯基）-α -二環己基乙二肟、雙-〇-(ρ-甲苯磺醯基）-2,3-戊二醇乙二肟、雙- 〇-(ρ-甲苯磺醯基 )-2-甲基- 3,4-戊二酮乙二肟、雙-〇 ( η-丁烷磺醯基）-α -二甲基乙二肟、雙-〇-(η-丁烷磺醯基）-α -二乙基乙 二肟、雙-〇-(η-丁烷磺醯基）-α -二環己基乙二肟、雙-〇-(η-丁烷磺醯基）-2,3-戊二醇乙二肟、雙-〇-(n-丁烷 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -50- 1228131 Α7 Β7 五、發明説明（48 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 磺醯基）-2-甲基-3,4-戊二醇乙二肟、雙-〇-(甲烷磺醯基 )、α ·二甲基乙二肟、雙-〇-(三氟甲烷磺醯基）—α -二甲 基乙二肟、雙- 〇-(1，1，1-三氟乙烷磺醯基）- a-二甲基乙 二肟、雙-〇 - ( tert-丁烷磺醯基）-α -二甲基乙二肟、雙_ 〇_ (全氯半院礦釀基）^甲基乙—亏、雙-〇-(環己 烷磺醯基）-α -二甲基乙二肟、雙-〇-(苯磺醯基）-α -二 曱基乙二肟、雙-〇-(Ρ-氟基苯磺醯基）-α -二曱基乙二肟 、雙-〇-(p-tert-丁基苯磺醯）- α-二甲基乙二肟、雙- 〇-(二甲苯磺醯基）-α -二甲基乙二肟、雙-〇-(莰烷磺醯 基）-α -二甲基乙二肟等乙二肟衍生物；雙萘基磺醯甲烷 、雙三氟甲基磺醯甲烷、雙甲基磺醯甲烷、雙乙基磺醯甲 烷、雙丙基磺醯甲烷、雙異丙基磺醯甲烷、雙-Ρ-甲苯磺 醯甲烷、雙苯磺醯曱烷等雙磺醯衍生物；2-環己基羰基-2- (ρ-甲苯磺醯）丙烷、2-異丙基磺醯基-2- (ρ-甲苯磺醯 基）丙烷等/3 -酮硕衍生物；二苯基二硕、二環己基二硕 等二硕衍生物；Ρ-甲苯磺酸2,6-二硝基苯酯、ρ-甲苯磺酸 2,4-二硝基苯酯等硝基苯基磺酸酯衍生物；1，2,3-三（甲 烷磺醯基氧）苯、1，2,3-三（三氟甲烷磺醯基氧）苯、 1，2,3-三（ρ-甲苯磺醯氧基）苯等磺酸酯衍生物。Ν-羥基 琥珀醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺三氟甲烷磺酸 酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺乙烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺 1-丙烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺2-丙烷磺酸酯、Ν-羥基 琥珀醯亞胺1-戊烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺1-辛烷磺 酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺ρ-甲苯磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇Χ：297公釐） -51- 1228131 A7 __B7 五、發明説明（49 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 亞胺p-甲氧苯基磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺2-氯乙烷磺 酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺苯基磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞 胺-2,4,6-三甲基苯磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺1-萘磺酸酯 、N-羥基琥珀醯亞胺2-萘磺酸酯、N-羥基-2-苯基琥珀醯 亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基馬來醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基 馬來醯亞胺乙烷磺酸酯、N-羥基-2-苯基馬來醯亞胺甲烷 磺酸酯、N-羥基谷氨醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基谷氨醯亞 胺苯磺酸酯、N-羥基鄰苯二甲醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基 鄰苯二甲醯亞胺苯磺酸酯、N_羥基鄰苯二甲醯亞胺三氟甲 烷磺酸酯、N-羥基鄰苯二甲醯亞胺p-甲苯磺酸酯、N-羥 基蔡基釀亞妝甲院礦酸醋、N -經基蔡基釀亞胺苯磁酸醋、 N-羥基-5-原菠烷基-2,3-二羧基醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥 基-5-原菠烷基- 2,3-二羧基醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、N-羥 基-5-原菠烷基-2,3-二羧基醯亞胺p-甲苯磺酸酯等N-羥基 醯亞胺之磺酸酯衍生物等；三氟甲烷磺酸三苯基銃、三氟 甲烷磺酸（p-tert-丁氧苯基）二苯基銃、三氟甲烷磺酸三 (p-tert-丁氧苯基）锍、p_甲苯磺酸三苯基銃、p_甲苯磺 酸（p-tert -丁氧苯基）二苯基锍、p -甲苯磺酸三（p-tert-丁氧苯基）锍、三氟甲烷磺酸三萘基锍、三氟甲烷磺酸環 己基甲基（2-羰基環己基）銃、三氟甲烷磺酸（2-原菠烷 基）甲基（2-羰基環己基）锍、1，2’-萘羧甲基四氫硫苯鏺 二氯甲烷等鏠鹽；雙（苯磺醯基）二偶氮甲院、雙（P -甲 苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷 、雙（η-丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異丁基磺醯基） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -52- 1228131 Α7 Β7 五、發明説明（50 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 二偶氮甲烷、雙（sec-丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（n-丙基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異丙基磺醯基）二偶氮甲 烷、雙（tert-丁基磺醯基）二偶氮甲烷等二偶氮甲烷衍生 物；雙-〇-(p-甲苯磺醯基）_α-二曱基乙二肟、雙- 〇-( η-丁烷磺醯基）-α -二甲基乙二肟等乙二肟衍生物；雙萘 基磺酸甲烷等雙磺酸衍生物等。又以Ν-羥基琥珀醯亞胺 甲烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、Ν-羥基 琥珀醯亞胺1-丙烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺2-丙烷磺 酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺1-戊烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯 亞胺Ρ-甲苯磺酸酯、Ν-羥基萘基醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν-羥基萘基醯亞胺苯磺酸酯等Ν-羥基亞胺化合物之酯衍生 物爲較佳。又，上記酸產生劑可單獨1種或將2種以上組 合使用。鏺鹽有提高矩形性之優良效果，二偶氮甲烷衍生 物及乙二肟衍生物具有優良之降低定在波之效果，兩者之 組合可對圖型外形進行微調整。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 酸產生劑之添加量，以對基礎樹脂100份（重量份， 以下相同）較佳爲0·1〜15份，更佳爲0.5〜8份。若低於 〇.1份時會有感度惡化之情形產生，高於1 5份時會使透明 性降低而會產生解像性惡化之情形。 本發明所使用之有機溶劑，只要是可以溶解基礎樹脂 、酸產生劑、其他添加劑等之有機溶媒皆可以使用。此有 機溶劑例如，環己酮、甲基-2-η-戊酮等酮類；3-甲氧基丁 醇、3 -甲基-3-甲氧基丁醇、1-甲氧基_2-丙醇、1-乙氧基-2-丙醇等醇類；丙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚、丙二 尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） " ' -53- 1228131 A7 B7 五、發明説明（51 ) 醇單乙基醚、乙二醇 丙二醇二曱基醚、二乙二 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 醇二甲基醚等醚類；丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙 基醚乙酸酯、乳酸乙酯、丙酮酸乙酯、乙酸丁酯、3 _甲氧 基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸tert-丁酯、丙酸 tert-丁酯、丙酸乙二醇-單-tert-丁醚乙酸酯等酯類，其可 單獨使用1種或將2種以上混合使用，且不限定於上述化 合物。本發明中，此些溶劑中對光阻成份中酸產生劑之溶 解性最優良的除二乙二醇二甲基醚或1-乙氧基-2-丙醇以 外，其他如作爲安全溶劑之丙二醇單曱基醚乙酸酯及其他 混合溶劑皆可以配合使用。 有機溶劑之使用量，以對基礎樹脂100份爲200至 1，〇〇〇份，又以400至800份爲更佳。 本發明之光阻材料中，可再添加與含有上記式（4-1 )或（4-2)所示重複單位的高分子化合物不同之其他高 分子化合物。 上記其他高分子化合物的具體例，如具有下式（R1 ) 及/或下式（R2)所示單位之重量平均分子量 1，000〜500,000，較佳爲5,000〜100,000之高分子化合物， 但並不受此內容所限制。 R001 r002 rD01 r002 r001 "icr (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) d006 d002 R001

C〇2R014 H 一)d1' :o2r015 ~)d2· -)e. -o _r〇〇8 r〇i〇_ _^013 r〇〇2_ jOtn Ro〇z_ R007 R011 R012 CO2R014 H C02R015 (R1) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -54- 1228131 A7 B7 五 、發明説明（52

(R2) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，RQQ1爲氫原子、甲基或CH2C〇2R°°3 ; R°°2爲氫原 子、甲基或C〇2RQ°3 ; RQQ3爲碳數1至15之直鏈狀、支鏈 狀或環狀烷基；ν°4爲氫原子或碳數1至15之羧基或含 羥基之1價烴基；R°°5至中至少1個爲碳數1至15 之羧基或含羥基之1價烴基，其他爲各自獨立之氫原子或 碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；“°5至Rq°8 可相互形成環，此時R°°5至R°°8中至少1個爲碳數1至 1 5之羧基或含烴基之2價羥基，其他爲各自獨立之單鍵 或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基；Rq" 爲碳數3至15之含有-C〇2-部分構造之1價烴基；R°1q至 R013中至少1個爲碳數2至15之含有-C〇2-部分構造之1 價烴基，其他部分爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之 直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R[^至V”可相互形成環， 此時至R。13中至少1個爲碳數1至15之含有-c〇2-部 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -55- 1228131 A7 B7 五、發明説明（53 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 分構造之2價烴基，其他部分爲各自獨立之單鍵或碳數1 至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基；R°"爲碳數7 至15之多環式烴基或含多環式烴基之烷基；R°15爲酸不 穩定基；爲氫原子或甲基；V17爲碳數1至8之直鏈 狀、支鏈狀或環狀烷基；X爲CH2或氧原子；k’爲0或1 ;al，、a2,、a3,、bl，、b2,、b3,、cl，、c2,、c3,、dl，、d2, 、d3’、，爲0以上1以下之數，且滿足 al’ + a2’ + a3’ + bl’ + b2’ + b3’ + cl +c2 +c3 +dl +d2 +d3 + e’ = 1 ; f’ 、g’、h’、Γ、j’爲0以上1以下之數，且滿足 r + g’ + h’ + i，+j’= 1 之數。） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，其各自取代基之具體例如與先前之內容相同。 上記含有式（4-1)與式（4-2)所示重複單位之高分 子化合物與其他高分子化合物之配合比例，以1 00 : 0至 10 : 90，又以100 : 0至20 : 80之重量比的範圍爲最佳。 上記含有式（4-1)與式（4-2)所示重複單位之高分子化 合物之配合比例低於此範圍時，作爲光阻材料時並不能得 到較佳之性能。又，可以對上述配合比例作適當變更之方 式，以對光阻材料之性能進行調整。 又，上記其他高分子化合物並不僅限定添加1種，亦 可添加2種以上。一般以使用多數種高分子化合物之方式 即可對光阻材料之性能進行調整。 本發明之光阻材料，可再添加溶解控制劑。溶解控制 劑爲平均分子量100〜1，〇〇〇，更佳爲150〜800之分子內 具有2個以上苯酚性羥基之化合物，且該苯酚性羥基中之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -56- 1228131 A7 B7 五、發明説明（54 ) 氨原子受酸不疋基以全體平均之0〜1 0 0吴耳％的h匕$ 取代所得之化合物，或分子內具有羧基之化合物且# & 中之氫原子受酸不穩定基以全體平均之50至100蔓& 灵耳％ 之比例取代的化合物。 又，苯酚性羥基中氫原子受酸不穩定基取代之取^ _ ，平均而言係對苯酚性羥基全體爲0莫耳％以上^ h爲 3〇莫耳％以上，其上限爲1〇〇莫耳％ ，較佳爲80蔓& ;羧基中氫原子受酸不穩定基取代之取代率，平均胃胃# 對羧基全體爲50莫耳％以上，較佳爲70莫耳％以卜 ^ < ’且 其上限爲100莫耳％ 。 此時，上記具有2個以上苯酚性羥基之化合物或胃_ 羧基之化合物，例如下式（D 1 )〜（D 1 4 )所示化合彳勿。 f請先閱讀背面之注意事¾再填寫本頁j 、_tl 口

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p202 R /—^(〇K ^C^2〇\ k 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R201

D3 D5 D6 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 57 1228131 A7 B7 五、發明説明（55

D8

R201〆 _(OHV D9 (οι R20

D10 "\(〇H)r420、. R2% (〇H)r R301,.

D11

^(〇H)r >rmV

、COOH D12 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

H^COOH D13

k 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -58- 1228131 A7 _____ B7 五、發明説明（56 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (式中，R2(M、R2°2各自爲氫原子、或碳數1至8之直鏈 狀或支鏈狀烷基或烯基；R2°3爲氫原子、或碳數1至8之 直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基、或-(R2°7 ) hCO〇H ; R2°4爲 ( CH2) i- ( U2至10)、碳數6至10之伸芳基、羰基、 磺醯基、氧原子或硫原子；R2°5爲碳數1至10之伸烷基 、碳數6至10之伸芳基、羰基、擴醯基、氧原子或硫原 子；R2°6爲氫原子、碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基、 烯基、或各自受烴基所取代之苯基或萘基；R2°7爲碳數1 至10之直鏈狀或支鏈狀伸烷基；R2°8爲氫原子或烴基；j 爲0至5之整數；u、h爲0或1; s、t、s’、Γ、s”、广爲 各自滿足s + t=8、s’ + t’ = 5、s" +广=4，且爲各苯酚骨架中至 少具有一個羥基之數；α爲式（D8) 、（ D9)之化合物 之分子量爲100至1，000之數。） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上記式中，R2(n、R2()2例如氫原子、甲基、乙基、丁 基、丙基、乙烯基、環己基；R2G3則例如與R2(H、R2(n爲 相同之化合物，或-C〇〇H、-CH2C〇〇H ; R2Q4例如伸乙基、 伸苯基、羰基、磺醯基、氧原子、硫原子等；R2°5例如伸 甲基、或與R2°4爲相同之化合物；r2()6例如氫原子、甲基 、乙基、丁基、丙基、乙烯基、環己基、各自受羥基取代 之苯基、萘基等。 其中，溶解控制劑之酸不穩定基例如下記式（LI) g (L4 )所示之取代基、碳數4至20之三級烷基、各烷基 之碳數爲1至6之三烷基矽烷基、碳數4至20之羰烷基 等。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " ' -59- 1228131 A7 B7 五、發明説明（57

Run

-C--〇RU (L1) (式中，RLQ1、RU2爲氫原子或碳數1至18之直鏈狀、支 鏈狀或環狀烷基；R"°3爲碳數1至18之可含有氧原子等 雜原子之1價烴基；RU1與RL°2、RW與RW、RW與RU3 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 • (CH2)y—C-ORu

(L2) (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 可形成環，形成環時，Rw、RU2、RW各自爲碳數1至 18之直鏈狀或支鏈狀之伸烷基；RW爲碳數4至20之三 級烷基、各烷基爲碳數1至6之三烷基矽烷基、碳數4至 20之羰烷基或上記式（L1 )所示取代基；RW爲碳數1 至8之可含有雜原子之1價烴基或碳數6至20之可被取 代之芳基；RW爲碳數1至8之可含有雜原子之1價烴基 或碳數6至20之可被取代之芳基；至R⑴爲各自獨 立之氫原子或碳數1至1 5之可含有雜原子之1價烴基； Ru7至可相互形成環，此時，可爲碳數1至15之可 含有雜原子之2價烴基；又，R^7至R…於相鄰接之碳進 行鍵結時，可無須夾有其他原子而鍵結，或形成雙鍵；y 爲0至6之整數；m爲0或l，n爲0、1、2或3，且爲滿 足2m + n= 2或3之數）。 又，各取代基之具體例示係與前記之內容相同。 上述溶解控制劑之添加量，以對基礎樹脂1〇〇份爲〇 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -60 ^28131 A7 B7 五、發明説明（58 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 至5 0份，較佳爲5至5 0份，更佳爲1 〇至3 0份，其可單 獨或將2種以上混合使用。添加量超過5 0份時，會使圖 型之膜產生衰減，而有使解像度降低之情形。 又，上記溶解控制劑中，對具有苯酚性羥基或羧基之 化合物，可以使用有機化學試劑以導入酸不穩定基之方式 合成。 此外，本發明之光阻材料可再添加鹼性化合物。v 一-一 h:—一、-.一.. .' 〜 鹼性化合物以可抑制因酸產生劑產生之酸在光阻膜內 之擴散速度之化合物爲佳。添加鹼性化合物可抑制光阻膜 中酸之擴散速度而使解像度提高，進而抑制曝光後之感度 變化，降低基板或環境之依存性，而提昇曝光寬容度或圖 型之外形等。 此鹼性化合物例如可爲第1級、第2級、第3級脂肪 族胺類，混合胺類、芳香族胺類、雜環胺類，具有羧基之 含氮化合物、具有磺醯基之含氮化合物、具有羥基之含氮 化合物、具有羥苯基之含氮化合物、醇性含氮化合物、醯 胺衍生物、醯亞胺衍生物等。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 具體而言，第1級脂肪胺例如尿素、甲基胺、乙基胺 ' 11-丙基胺、異丙基胺、η-丁基胺、異丁基胺、sec-丁基 胺、tert-丁基胺、戊基胺、tert-戊基胺、環戊基胺、己基 胺、環己基胺、庚基胺、辛基胺、壬基胺、癸基胺、月桂 基胺 '十六烷基胺、伸甲基二胺、伸乙基二胺、四伸乙基 戊胺等；第2級脂肪胺族類例如，二甲基胺、二乙基胺、 二-η-丙基胺 '二異丙基胺、二-η-丁基胺、二異丁基胺、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -61 - 1228131 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（59 ) 二-sec-丁基胺、二戊基胺、二環戊基胺、二己基胺、二 環己基胺、二庚基胺、二辛基胺、二壬基胺、二癸基胺、 二月桂基胺、二鯨鱲基胺、N，N-二甲基伸曱基二胺、N，N-二甲基伸乙基二胺、N，N_二甲基四伸乙基戊胺等；第3級 脂肪族胺類例如，三甲基胺、三乙基胺、三-η-丙基胺' 三異丙基胺 '三- η-丁基胺、三異丁基胺、二- sec-丁基胺 、三戊基胺、三環戊基胺、三己基胺、三環己基胺、三庚 基胺、三辛基胺、三壬基胺、三癸基胺、三月桂基胺、三 鯨蠟基胺、N，N，N’，N’-四甲基伸甲基二胺、n，N，N，，N，-四甲 基伸乙基二胺、N，N，N’，N、四甲基四伸乙基戊胺等。 又，混合胺類例如’二甲基乙基胺、甲基乙基丙基胺 、戊基胺、苯乙基胺、苄基二甲基胺等。芳香族胺類及雜 環胺類之具體例如，苯胺衍生物（例如苯胺、N-曱基苯胺 、N-乙基苯胺、N-丙基苯胺、N，N-二甲基苯胺、2-甲基 苯胺、3-甲基苯胺、4-甲基苯胺、乙基苯胺、丙基苯胺、 三甲基苯胺、二硝基苯胺、3-硝基苯胺、4-硝基苯胺、 2,4-二硝基苯胺、2,6-二硝基苯胺、3,5-二硝基苯胺、N， N-二甲基苯胺等）、二苯基（p-甲苯基）胺、甲基二苯 基胺、三苯基胺、亞苯基二胺、萘基胺、二氨基萘、吡咯 衍生物（例如吡咯、2 Η -吼咯、1-甲基吡咯、2,4-二甲基 吡咯、2,5-二甲基吡咯' Ν -甲基吡咯等）、噁唑衍生物（ 例如噁唑、異噁唑等）、噻唑衍生物（例如噻唑、異噻唑 等）、咪唑衍生物（例如咪唑、4-甲基咪唑、4-甲基-2-苯 基咪唑等）、吡唑衍生物、呋喃衍生物、吡咯啉衍生物（ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 、11 L· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -62- 1228131 A7 _______ B7 五、發明説明（60 ) 例如吼咯啉、2 -甲基-1 -吼略琳等）、哦咯院衍生物（例 如11比略院、N -甲基D比略院、吼咯院酮、n -甲基D比略院酮 等）、咪唑啉衍生物、咪唑並吡啶衍生物、吡啶衍生物（ 例如吡啶、甲基吡啶、乙基吡啶、丙基吡啶、丁基吡啶、 4 - ( 1 - 丁基苄基）吡啶、二甲基吡啶、三甲基吡啶、三乙 基吡啶、苯基吡啶、3-甲基-2-苯基吡啶、4-t-丁基吡啶、 二苯基吡啶 '戊基吡啶、甲氧基吡啶、丁氧基吡啶、二曱 氧基吡啶、1-甲基-2-吡咯酮、4-吡咯烷酮吡啶、1-甲基-4-苯基吡啶、2 - ( 1 -乙基丙基）吡啶、氨基吡啶、二甲基氨 基吡啶等）、噠嗪衍生物、嘧啶衍生物、吡嗪衍生物、吡 唑啉衍生物、吡唑烷衍生物、哌啶衍生物、哌嗪衍生物、 嗎啉衍生物、吲哚衍生物、異吲哚衍生物、1 Η -吲唑衍 生物、吲哚啉衍生物、喹啉衍生物（例如喹啉、3 -喹啉竣 腈等）、異喹啉衍生物、嗜啉衍生物、哇ρ坐啉衍生物、喹 喔啉衍生物、酞嗪衍生物、嘌呤衍生物、喋啶衍生物、咔 唑衍生物、菲繞啉衍生物、吖啶衍生物、吩嗪衍生物、 1，1 0-菲繞啉衍生物、腺嘌呤衍生物、腺苷衍生物、鳥嘌 呤衍生物、鳥苷衍生物、尿嘧啶衍生物、尿嗪衍生物等等 〇 又，具有羧基之含氮化合物，例如氨基苯甲酸、吲哚 羧酸、氨基酸衍生物（例如尼古丁酸、丙氨酸、精氨酸、 天冬氨酸、枸椽酸、甘氨酸、組氨酸、異賴氨酸、甘氨醯 白氨酸、白氨酸、蛋氨酸、苯基丙氨酸、蘇氨酸、賴氨酸 、3-氨基吡啶-2-羧酸、甲氧基丙氨基）等例；具有磺酸 本紙張尺度適财關家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐) — -63- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 、1Τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1228131 A7 B7________ 五、發明説明（61 ) 基之含氮化合物例如3 -吡啶磺酸、P -甲苯磺酸吼n定鐵等； 具有羥基之含氮化合物，具有羥苯基之含氮化合物、醇性 含氮化合物等例如，2-羥基吡啶、氨基曱酚、2，‘喹啉二 醇、3 -吲哚甲醇氫化物、單乙醇胺、二乙醇胺 '三乙醇胺 、N -乙基二乙醇胺、N，N -二乙基乙醇胺、三丙醇胺、 2,2、亞氨基二乙醇、2-氨基乙醇、3-氨基-1-丙醇、4-氨 基-1-丁醇、4- ( 2-羥乙基）嗎啉、2- ( 2-羥乙基）吡啶、 1- ( 2-羥乙基）哌嗪、1-〔 2- ( 2-羥乙氧基）乙基〕哌嗪 、哌嗪乙醇、1- ( 2-羥乙基）吼咯烷、1- ( 2-羥乙基）-2-吡咯烷酮、3-吡咯烷酮基-1，2-丙二醇、3-吡咯烷酮基-丨，2_ 丙二醇、8-羥久洛尼啶、3-喂啶醇、3-托品醇、1-甲基-2_ 吡啶乙醇、1-氮雜環丙烷乙醇、N - ( 2-羥乙基）肽醯亞 胺、N - ( 2-羥乙基）異尼古丁醯胺等等。醯胺衍生物例 如，甲醯胺、N -甲基醯胺、N，N -二甲基醯胺、乙醯胺 、N -甲基乙醯胺、N，N -二甲基乙醯胺、三甲基乙醯胺 、戊醯胺等。醯亞胺衍生物則例如酞醯亞胺、琥拍__ s 胺、馬來醯亞胺等。 又，可再添加1種或2種以上選自下式（B丨）所示之 鹼性化合物。 N ( X ) n ( Y ) 3 - η ( B ) — 1 (式中，n=l、2或3;支鏈X可爲相同或不同，且可以 下記式（X) -1至（X) -3表示’支鏈Y可爲相同或不胃 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I--------裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -64 - 1228131 A7 B7 五、發明説明（62 ) 之氫原子或直鏈狀、支鏈狀或環狀之碳數1至20之烷基 ，亦可含有醚基或羥基；又，X間可相互鍵結形成環。） —R 30 〇-〇—R 301 (X)-1 9 一-R3〇L〇—R3〇L®—R304 (X>-2 —.rSOsJ—〇—r3〇6 (X>3 式中，R3㈣、、R3()5爲碳數1至4之直鏈狀或支鏈 狀之伸烷基；Km、R3°4爲氫原子、或碳數1至20之直鏈 狀、支鏈狀或環狀烷基，且可含有1個或多數個羥基、醚 基、酯基或內酯環等； R3Q3爲單鍵或碳數1至4之直鏈狀或支鏈狀伸烷基； R3Q6爲碳數1至20之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基’且可 含有1個或多數個羥基、醚基、酯基或內酯環等。 上述（B 1 )所示化合物之具體內容，例如，三（2 -甲氧甲氧基乙基）胺、三{2- (2-甲氧乙氧基）乙基丨胺 、三{2-(2-甲氧乙氧基曱氧基）乙基}胺、三{2-(1-甲 氧乙氧基）乙基丨胺、三丨2-(1-乙氧乙氧基）乙基丨胺 、三{ 2- ( 1-乙氧丙氧基）乙基丨胺、三〔2- { 2- ( 2-羥 乙氧基）乙氧基丨乙基〕胺、4,7，13，16,21，24-六氧-1，1〇_ 二氮雜二環〔8,8,8〕二十六烷，4,7,13,18-四氧-1,10-二氮 雜二環〔8,5,5〕二十烷，1，4，10，13-四氧-7，16-二氮雜二環 十八烷，1-氮雜-12-冠-4，1-氮雜-15-冠-5，1-氮雜-18-冠-6，三（2-甲醯氧乙基）胺，三（2-乙醯氧乙基）胺，三 (2-丙醯氧乙基）胺，三（2-丁醯氧乙基）胺，三（2-異 本紙張尺度適用中國國家標準（ CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ " ' -65- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1228131 Α7 Β7 五、發明説明（63 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 丁醯氧乙基）胺，三（2-戊醯氧乙基）胺，三（2-己醯氧 乙基）胺，N，N-雙（2-乙醯氧乙基）2-(乙醯氧乙醯氧基 )乙基胺，胺，三（2-甲氧羰氧乙基）胺，三（2-tert-丁 氧羰氧乙基）胺，三[2- (2-羰丙氧基）乙基]胺，三[2-( 甲氧羰甲基）氧乙基]胺，三[2- ( tert-丁氧羰甲基氧基） 乙基]胺，三[2-(環己基氧基羰甲基氧基）乙基]胺，三（ 2-曱氧羰基乙基）胺，三（2-乙氧羰基乙基）胺，N，N-雙 (2-羥乙基）2-(甲氧羰基）乙基胺，N，N-雙（2-乙醯氧 基乙基）2-(甲氧羰基）乙基胺，N，N-雙（2-羥乙基）2-(乙氧羰基）乙基胺，N，N-雙（2-乙醯氧乙基）2-(乙氧 羰基）乙基胺，N，N-雙（2-羥乙基）2-(甲氧乙氧羰基） 乙基胺，N，N-雙（2-羥乙基）2-(羥基乙氧羰基）乙基胺 ，N，N-雙（2-乙醯氧乙基）2-(乙醯氧乙氧羰基）乙基胺 ，N，N-雙（2-羥乙基）2-[(甲氧羰基）甲氧羰基]乙基胺 ，N，N-雙（2-乙醯氧乙基）2-[(甲氧羰基）甲氧羰基]乙 基胺，N，N-雙（2-羥乙基）2-(羰丙氧羰基）乙基胺， 叱1雙（2-乙醯氧乙基）2-(羰丙氧羰基）乙基胺，叱1 雙（2-羥乙基）2-(四氫氧茂甲氧羰基）乙基胺，Ν,Ν-雙 (2-羥乙基）2-[2-(羰基四氫呋喃-3-基）氧羰基]乙基胺 ，Ν，Ν-雙（2-乙醯氧乙基）2-[(2-羰基四氫呋喃-3-基） 氧羰基]乙基胺，Ν，Ν-雙（2-羥乙基）2- ( 4-羥基丁氧羰基 )乙基胺，Ν，Ν-雙（2-曱醯氧乙基）2- ( 4-甲醯氧丁氧羰 基）乙基胺，Ν，Ν-雙（2-甲醯氧乙基）2-(甲醯氧乙氧羰 基）乙基胺，Ν，Ν-雙（2-甲氧乙基）2-(甲氧羰基）乙基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐) -66- 1228131 A7 B7 五、發明説明（64 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 胺，N- ( 2-羥乙基）雙[2-(甲氧羰基）乙基]胺，N- ( 2-乙醯氧乙基）雙[2-(甲氧羰基）乙基]胺，N- ( 2-羥乙基 )雙[2-(乙氧羰基）乙基]胺，N-(2-乙醯氧乙基）雙[2-(乙氧羰基）乙基]胺，N- (3-羥基-1-丙基）雙[2-(甲氧 羰基）乙基]胺，N- (3-乙醯氧基-1-丙基）雙[2-(甲氧羰 基）乙基]胺，N-(甲氧乙基）雙[2-(甲氧羰基）乙基]胺 ’ N-丁基雙[2- (2-甲氧乙氧羰基）乙基]胺，N-甲基雙（ 2-乙醯氧乙基）胺，N-乙基雙（2-乙醯氧乙基）胺，N-甲 基雙（2-三甲基乙醯氧氧乙基）胺，N-乙基雙[2-( tert-丁 氧羰氧基）乙基]胺，三（甲氧羰甲基）胺，三（乙氧羰 甲基）胺，N-丁基雙（甲氧羰甲基）胺，N-己基雙（甲氧 羰甲基）胺，/3 -(二乙基胺）-5 -戊內醯胺等。 上記鹼性化合物之添加量以對酸產生劑1份爲0.001 至10份，較佳爲0.01至1份。添加量未達0.001份時添 加劑之效果未能充分發揮，超過1 0份時解像度或感度會 降低。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，本發明之光阻材料，可再添加分子內具有Ξ C_C〇〇H基之化合物。 分子內具有三C-COOH基之化合物，例如可使用1種 或2種以上選自下記I群及II群中之化合物，但並不限 定於此些物質。添加本成份後，可提高光阻之PED安定 性，並可改善氮化膜基板上之邊緣粗糙等問題。 〔I群〕 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -67- 1228131 A7 B7 五、發明説明（65 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 下記式（A 1 )至（A 10 )所示化合物中苯酚性羥基 中氫原子之一部份或全部受-R4Q1-C〇〇H ( R4(M爲碳數1至 1 0之直鏈狀或支鏈狀伸烷基）所取代，且分子中苯酚性 羥基（C )與ξ C-COOH所示之基（D )之莫耳比爲C/ ( C + D) = 0.1至1.0之化合物。

本紙張尺度ii A9 -68- I228l3l A7 、〜-----^_ i '發明説明（66 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) C其中，R4㈣爲氫原子或甲基；R^2、各自爲氫原子或 碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基；R4°4爲氫原子 或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基，或 ' C R 4 0 9 ) h -C〇〇R’基（R’爲氫原子或-R4〇9-C〇〇H) ; R405 爲~(CH2) i-(i=2至10)，碳數6至10之伸芳基、簾 基、磺醯基、氧原子或硫原子；R4°6爲碳數1至10之伸 烷基、碳數6至10之伸芳基、羰基、磺醯基、氧原子或 硫原子；R4。7爲氫原子或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀院 基、烯基、各自受羥基取代之苯基或萘基；R 4°9爲碳數 1至10之直鏈狀或支鏈狀伸烷基；R41°爲氫原子或碳數1 至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基或-r411-cooh基；R411 爲碳數1至10之直鏈狀或支鏈狀伸烷基，·』爲0至5之整 數；u、h 爲 0 或 1 ; si、tl、s2、t2、s3、t3、s4、t4 爲各 自滿足 sl+tl=8、s2+t2二 5、s3+t3=4、s4+t4二 6，且 爲各苯基骨架中至少具有1個羥基之數。κ爲式（A6) 化合物中重量平均分子量爲1，000至5，〇〇〇之數；λ爲式 (Α7)化合物中重量平均分子量爲1，〇〇〇至1〇, 〇〇〇之數 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 \M S h)02 (OR4

JS5 Γ CQJ H)t02s (OR4

:H2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -69- 1228131 A7 B7 五、發明説明（67 )

(.R4°2、R4°3、R411具有與前記內容相同之意義；R412爲氫 原子或羥基；s5、t5爲s5^0、t520，且爲滿足s5+t5 = 5之數，V爲0或1。） 本成份之具體例如下記式AI-1至14及AII-1至10所 示化合物，但並不限定於此些化合物。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -70 - 1228131 A7 B7 五、發明説明（68

OR" AI-11

)R· R-σ—(\ /)ch2coor· AM 4 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (R”爲氫原子或CH 2 COOH基，各化合物中R”之10至 100莫耳％爲CH2 COOH基，a、/c具有與前述內容相同 之意義。）

ΑΙΙ-3 h2cooh All-5

H〇~(\ /h-CHjCOOH All-6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -71 - 1228131 A7 B7 五、發明説明（69

AII-7

AII-8

00H

h2cooh All-9

其中，上記分子內具有三C-C〇〇H基之化合物’可單 獨使用1種或將2種以上組合使用。 上述分子內具有三C-COOH基之化合物的添加量，一 般對基礎樹脂100份爲0至5份，較佳爲0· 1至5份，更 佳爲0.1至3份，最佳爲0.1至2份，超過5份時會使光 阻材料之解像性降低。 又，本發明之光阻材料，可再添加作爲添加劑成份之 炔醇衍生物，添加此衍生物可提高保存之安定性。 炔醇衍生物以使用下式（S 1 )、 （ S2 )所示化合物爲 佳。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣·

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

503 ；CH2CH20>yH S1

H(OCH2CH2)x—〇 o-<ch2ch2o>yh S2

(式中，R

5 0 I

R 5 0 2

R 5 0 3

R 5 0 4 R5°5各自爲氫原子、或爲 碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；X、Y爲〇或 正數，且爲滿足下記之數値，0SX$30，0SYS30，0$ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -72- 1228131 Α7 Β7 五、發明説明（70 ) X+ 40 )。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 炔醇衍生物較佳者爲過苯酚61，過苯酚82，過苯酚 104，過苯酚104Ε，過苯酚104Η，過苯酚104Α，過苯酚 TG，過苯酚PC，過苯酚440，過苯酚465，過苯酚485 ( 氣體製造及化學公司製）、過苯酚E1004 (日信化學工業 (株）製）等。 上記炔醇衍生物之添加量，以對光阻材料1 00重量％ 中爲0.01至2重量％ ，更佳爲0.02至1重量％ 。低於 0.01重量％時，則未能得到充份的塗布性及保存安定性之 效果，超過2重量％時則會使光阻材料之解像性降低。 本發明之光阻材料，可在爲提高塗佈性之目的上添力口 上記成份以外之任意慣用成份作爲界面活性劑。又，此任 意成份之添加量爲在不妨礙本發明效果之範圍內之一般添 加量。 經W部智慧財產局員工消費合作社印製 其中，界面活性劑以非離子性者爲佳，例如全氟烷基 聚氧乙炔醇、氟化烷酯、全氟烷基胺氧化物、全氟烷基 E〇附加物、含氟有機砂氧院系化合物等。例如氟萊特「 FC-430」、「FC-431」（皆爲住友3M公司製）' 沙氟隆 「S-141」、「S-145」（皆爲旭硝子公司製）、優尼但「 DS-401」、「DS-403」、「DS-451」（皆爲大金工業公司 製）、美格氟「F-8151」（大日本油墨公司製）、「χ_ 70-092」、「Χ-70-093」（皆爲信越化學工業公司製）等 等。其中較佳者爲氟萊特「FC-430」（住友3Μ公司製） 、「X -70-093」（信越化學工業公司製）等等。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） ' ' ~ -- -73 - 1228131 A7 B7 五、發明説明（71 ) 使用本發明之光阻材料以圖型之形成方法，可採用公 知之蝕刻印刷技術等，例如於晶圓等基板上以旋轉塗佈方 式塗佈厚度0.2至2.O/zm之膜，將其於熱壓板上以至 150°C、1至1〇分鐘、較佳爲8〇至130°C、1至5分鐘之 預熱。其次在上記光阻膜上覆蓋欲形成目的圖型之光罩後 ，以遠紫外線、等離子雷射線' X線等高能量線或電子線 在曝光量爲1至200mJ/cm 2左右，較佳爲5至l〇〇mj/ cm 2下照射後，在熱壓板上以6〇至i5(rc、1至5分鐘， 較佳爲80至130°C、1至3分鐘之後照射熱培（PEB)。 其後使用0.1至5% ，較佳爲2至3%四甲基銨氫氧化物 (THAM )等鹼性水溶液之顯影液，以〇·丨至3分鐘、較 佳爲0.5至2分鐘間，以浸漬（d i ρ )法、微粒（p u d d 1 e ) 法、噴撒法（spray)法等常用顯影方法於基板上形成目的之 圖型。又，本發明之材料，最適合用於使用高能量線中 248至193nm之遠紫外線或等離子雷射線、X線及電子線 所進行之微細圖型描繪。又，超出上記範圍之上限或下限 以外時，可能會有無法得到目的圖型之情形產生。 【發明之效果】 使用本發明之高分子化合物作爲基礎樹脂之光阻材料 ，可感應高能量線，且具有優良的感度、解像性、耐蝕刻 性等，故極適合用於電子線或遠紫外線所進行之微細加工 。特別是對ArF等離子雷射、KrF等離子雷射等曝光波長 之吸收較少，故極適合形成微細且對基板爲垂直之圖型。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 丨 -衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局I工消費合作社印製 -74- 1228131 A7 B7 五、發明説明（72 ) 【實施例】 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 以下將以合成例及實施例、比較例對本發明作更具體 之說明，但本發明並不受下記實施例所限制。 [合成例1 ] 2_ ( 5-原菠烯-2-基）甲基-1,3-二氮雜戊烷（monomer 之合成 將40.0g之（5-原菠烯-2-基）乙醛、23 〇g之乙二醇 、120ml之曱苯、200mg之p -甲苯擴酸混合，使用η管將 所產生之水份去除中進行1小時加熱迴流。放冷後，將反 應丨仪注入5 0 m 1飽和碳酸氫鈉水中使其分液，有*機層l以水 、飽和食鹽水洗淨，再以無水硫酸鈉乾燥後，進行減壓濃 縮。以減壓蒸餾進行精製後得2- ( 5-原疲烯_2_基）甲基_ 1，3-二氮雜戊烷 50_3g (沸點：63°C/2〇〇pa，產率：84·9% )° 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 IR(溥膜）=3138、3〇57、2962、 2868、2764、2654、26ΐι、1628、 1 570、1434、1408、1336、1251、 1227、1136、1078、1〇32、989、 968、943、90 6、721 cm - 1。 主要非鏡向異構物之W-NMR ( CDCh， 270MHz) ： 5 = 〇.58(lH，ddd，J = 11.4，4.1， 2.6Hz)， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' 75 - 1228131 A7 B7 五、發明説明（73 ) 1.15 — 1·55(4Η，ιη)， 1.88(lH，ddd，J = 11.4，9.0， 4 . Ο Η z )， 2 . 1 8 ( 1 Η，m )， 2 . 7 4 ( 1 Η，m )， 2 . 8 1 ( 1 Η，m )， 3.80 — 4.00(4H，m)， 4.8 2(lH，t，J = 5.1Hz)， 5 . 9 2 ( 1 H，m )， 6 . 1 1 ( 1 H，m )。 [合成例2] 2- (5 -原疲烯-2-基）曱基-1，3 -二II惡院（monomer 2)之合 成 除乙二醇以1，3-丙二醇替代外，其他皆依合成例1相 同方法製得2- ( 5-原菠烯-2-基）曱基-1，3-二噁烷（ monomer 2)。（沸點：89°C /53Pa，產率：96% )。 IR(薄膜）：^=3057、2962、2848、 2775、2731、2656、1570、147 0、 1433、1404、1377、1336、1282、 1242 、 1216、 1146 、1〇90、 1047、 10 03、978、933、719cm-1。 主要非鏡向異構物之W-NMR ( CDCh， 270MHz ) ： 5 = 〇.54(lH，ddd，J = 11.5，4.5 ， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣' 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -76- 1228131 A7 B7 五、發明説明（74 ) 2.7Hz)， 1.10 — 1.60(5H，m)， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 ·85 (lH，ddd，J = ll .5，8.6， 3 . 8 Η z )， 1_95- 2.25 (2H，m)， 2.7 0- 2.80(2H，m)， 3.74(2H，ddd，J = 10.9，l〇.6， 2 . 4 H z )， 4.〇8(2H，ddd，J = 10.9，4.9， 1 . 6 H z )， 4.48(lH，t，J = 5.3Hz)， 5 _ 9 1 ( 1 H，m )， 6 . 1 0 ( 1 H，m )。 [合成例3] 2-曱基- 2-{2-(5-原菠烯-2-基）乙基卜1，3-二氮雜戊烷（ monomer 3) 之合成 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 除將（5-原菠烯-2-基）乙醛以4_ ( 5-原菠烯-2-基）-2-丁酮替代、加熱迴流時間爲10小時以外，其他皆依合 成例1相同方法製得2-甲基-2-{2- ( 5-原菠烯-2-基）乙 基-1，3 -二氮雜戊院（m ο η 〇 m e r 3 )。（沸點：6 3 - 6 5 °C / 2 7 P a ，產率：80% )。 1 R (薄膜）：u = 3 0 5 7 、2 9 6 2 、2 9 4 1 、 2 8 6 6、1570、1454、1377、1348、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -77- 1228131 A7 B7 五、發明説明（75 ) 1252、1221、1132、1093、1068、 10 45、947、906、717cm-1。 主要非鏡向異構物之W-NMR ( CDCh， 300MHz ) :5 = 〇.49(lH，ddd，J = 11.3，4.1， 2.6Hz)， 1.〇5 — 1.7〇{1.27(31^，3)含911， m }， 1.8 2(lH，ddd，J = 11.3，9.2， 3 . 9 H z )， 1 . 9 1 ( 1 H，m )， 2·7〇一 2.8〇（2H，m)， 3.85- 3.95(4H，m)， 5 · 9 1 ( 1 H，m )， 6 · 1 0 ( 1 H，m )。 [合成例4] 2-甲基-2-丨2- ( 5-原菠烯-2-基）乙基卜1，3-二噁烷（ m ο η 〇 m e r 4 ) ^ )¾ 除乙二醇以1，3-丙二醇替代外，其他皆依合成例3相 同方法製得2-甲基-2-{ 2- ( 5-原菠烯-2-基）乙基卜1,3-二 噁烷（monomer 4)。（沸點：110-112t： /133Pa，產率： 76% )。 IR (薄膜）：^ = 3057、2956、2864、 2715、157 0、1454、1371、1348、 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -78- 1228131 A7 B7 五、發明説明（76 ) 1248、1215、1188、1146、1101、 丄〇57、968、854 '717cm-1。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 主要非鏡向異構物之iH-NMR(CDCl3， 300MHz) : δ = 0.5〇（iH，ddd，J = l〇.9，4.1， 2 · 6 Η z )， 1.05 — 1.5〇{1.33(3H，s)含 7Η， m }， 1.5 0 - 2.00 (6H，m)， 2·7〇 — 2·80(2Η，πι)， 3·80- 3.95 (4H，m)， 5 . 9 2 ( 1 Η，m )， 6.10(lH，m)。 [合成例5 ] 2-甲基- 2-{3-(5-原菠烯-2-基）-1-丙基卜1,3-二氮雜戊烷 (monomer 5)之合成 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 將5-溴甲基-2-原菠烯200g置於無水四氫呋喃500ml 中，依一般方法製得格利雅試劑。隨後，將格利雅試劑於 20°C下，以1小時滴入由i3〇g之3,3-二乙氧基-1-丙烯、 l.Og之溴化銅（I )、與300ml之無水四氫呋喃所得之混 合物中。經攪拌20小時後，將反應液加入飽和胺水溶液 中使反應停止。以己烷萃取後，有機層依序以水、碳酸氫 鈉水溶液、飽和食鹽水洗淨。以無水硫酸鈉乾燥，減壓蒸 餾後得5- ( 4-乙氧基-3-丁烯-1-基）-2-原菠烯。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -79- 1228131 A7 B7 五、發明説明（77 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本育) 隨後將5- (4-乙興基-3 -丁燒-1-基）-2 -原疲條、90g 之乙二醇、l.Og之p-甲苯磺酸與300ml之曱苯混合，進 行1小時加熱迴流。放冷後，將反應液注入100ml飽和碳 酸氫鈉水中使其分液，有機層以水、飽和食鹽水洗淨，再 以無水硫酸鈉乾燥後，進行減壓濃縮。以減壓蒸餾進行精 製後得2-甲基- 2-Π- ( 5-原菠烯-2-基）-1-丙基卜1，3-二氮 雜戊烷 177g (沸點·· 92°C /27Pa，產率：85% )。 IR(薄膜）：>=3138、3057、2941、 2866、2764、2611、1570、1460' 14 10、1336、1134、1090、1038> 980、945、904、717cm -、 主要非鏡向異構物之'H-NMR ( CDCh， 300MHz ) : 5二 〇.48 (lH，ddd，J = ll ·04，4.2’ 2 . 6 Η ζ )， 1.00 — 1.55 (6H，m)， 1·55 — 1.70(2H，m)， 1.82(lH，ddd，J = ll.〇，9.0， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 . 8 Η ζ )， 1 · 9 8 ( 1 Η，m )， 2.70 — 2.80 (2H，m)， 3 · 8 0 — 4 . 0 0 ( 4 Η，m )， 4.82(lH，t，J = 5.〇Hz)， 5 . 9 0 ( 1 Η，m )， 6 · 0 9 ( 1 Η，m )。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX 297公釐） -80 - 1228131 A7 B7 五、發明説明（78 ) [合成例6] 2-(3-( 5-原菠烯-2-基）-1-丙基卜 1，3-二噁烷（monomer 6 )之合成 除乙二醇以1，3-丙二醇替代外，其他皆依合成例5相 同方法製得2-丨3- ( 5-原菠烯-2-基）-1-丙基Μ，3-二噁烷 。（沸點：104°C /53Pa，產率：80% )。 IR (薄膜）：^ = 3138、3057、2960、 2848、2775、2731、2656、1570、 146 0、 140 3、 1240、 1146、 1093、 10 53、993、941、927、717cm-1。 主要非鏡向異構物之W-NMR ( CDCh， 300MHz) : δ = 〇.47(lH，ddd，J = 11.3，4.2， 2 . 6 Η z )， — ---1 ------- i 衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1± 1± 1± 12 3 4 0 5 0 0 1 0 12 5 8 0 5 5 0 9 6 6 0 HHHH， Η Η Η H CXI CN1 IQ ,\ly CVI OA_ rv ,/- ./(V rv d z /IV ./IV ./IV /IV 5 ο ο o d H 〇oo〇 1 2 5 7 ， 8 2 8 8 1 . . . H . · . . IX t—- IX IX IX oo CV1 CO ooA一 m m m m 1± 1± 3 9 3 m m m m 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -81 - 1228131 A7 B7 五、發明説明（79 ) 4.48(lH，t，J = 5.1Hz)， 5 · 8 9 ( 1 Η，m )， 6 ,〇 8 ( 1 Η，m )。 [合成例7] 2-{6-(5-原菠烯-2-基）-1-己基卜1，3-二氧雜戊烷（ monomer 7 ) 之合成 除5-溴甲基-2-原菠烯以5- ( 6-氯基-1-己基）-2-原疲 烯替代外，其他皆依合成例5相同方法製得2-{6- ( 5-原 菠烯-2-基）-1-己基}-1，3-氧雜戊烷。（沸點：117°C /27Pa ，產率：81 % )。 IR (薄膜）：2> = 3138、3057、2926、 2856、2761、157 0、1464、1410、 1336、1142、1036、943、717 c m _ 1 〇 主要非鏡向異構物之W-NMR ( CDCh， 300MHz ) ： 5 = 〇.46(lH，ddd，J = ll.l，4.2， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 CD IX IX i—_ 1 5 5 0 0 IX CO 00 5 9

.),m) 1 m，mll ， H ， J Η ο H ,\)/ 0A- 1± CXI IQ ,\ly ， z ( ( ( d z ) H 5 5 o d H m 6 1—- 4 7 ， 7 ， . . . .Η·H CXI r—I r—l r—I 1± oo IX 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -82- 1228131 Μ ____ 五、發明説明（80 ) 2·7〇 — 2.80(2H，m) ’ 3 . 8 〇 — 4 · 0 〇（4 Η，m )， 4.83(lH，t，J = 5.〇Hz)， 5 . 8 9 ( 1 H，m )， 6 . 0 8 ( 1 H，m )。 [合成例8] 2-{6- ( 5-原菠烯基）_卜己基卜丨，3-二噁烷（monomer )之合成 除乙二醇以1，3 -丙二醇替代外’其他皆依合成例7相 同方法製得2-{6- (5-原菠烯-2-基）-卜己基卜丨，3-二噁烷 。（沸點：149-151°C /270Pa，產率：78% )。 IR (薄膜）：z； = 3057、2 96〇、2923、 2850、2775、2728、2655、1570、 1468、14 0 3、137 7、1240、1146、 1〇9〇 、1〇〇1、 717cm — 1。 主要非鏡向異構物之j-NNIRCCDCh’ 300MHz ) · δ = (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 o 〇 6 4 LO t—~ nw_ 〇> 9 5 5 8

1± J NJ. ， 1± t—- ,\)xm\1/ 1Hm，m-l TJ J ， _~~a ， ， H ^—- H ， d ) 2 1 2 d d z ( ( ( d d Η o 5 5 d ， 6 1—14 6 ， H . . · H r-H CXI IX r—I IX 4 3 z H 8 3 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -83- 1228131 A7 B7 五、發明説明（81 ) 1.85- 2.15(2H，m)， 2.65- 2.80 (2H，m)， 3 · 65-3 · 80 (2H，m) 4.05- 4.15 (2H，m) ， 4.49(lH，t，J = 5，lHz)， 5 · 8 9 ( 1 Η，m )， 6 . 〇 8 ( 1 Η，m )。 [合成例9 ] 3- ( 1，3-二噁烷-2-基）-1- ( 5-原菠烯-2-基）-1-丙醇（ monomer 9 )之合成 將2- (2 -溴乙基）-1，3 -二卩惡院36.2g置於無水四氣口夫 喃200ml中，依一般方法製得格利雅試劑。隨後，將格利 雅試劑於20°C下，以30分鐘滴入19.5g之5-原菠烯-2-咔 唑甲醛中。經攪拌30分鐘後，將反應液加入飽和胺水溶 液中使反應停止。以二乙基醚萃取後，有機層依序以水、 碳酸氫鈉水溶液、飽和食鹽水洗淨。以無水硫酸鈉乾燥後 ，進行減壓濃縮。以減壓蒸餾精製後得3 - ( 1，3 -二螺院-2- 基）-1-(5-原菠燃-2-基）-1-丙醇36.2§(沸點：125。〇 /27Pa，產率：95% )。 IR (薄膜）：u = 3440 (br .)、3056 、 2962、2860、2731、2657、1570、 14 4 8、1404、1377、1336、1284、 124〇、1146、 1093、 1〇47、 99 7 、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣. 、·ιτ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 • 84 - 1228131 A7 B7 五、發明説明（82 ) m C 1± 2 7、 6 2 9 Ζ ΗΜ ο ο 3 /IV RΜ Ν I Η C D C η 0 2 3 4 4 5 5 5 5 5 0 0 4 5 6 0 4 8 2 3 3 4 4 6 5 0 0 5 0 0 3 5 8 1 6 2

3 2 2 ./IV /ι\ /IV 2 m Η mmmmm 2 Η Η Η Η Η (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 [合成例10] 3- ( 1，3-二噁烷-2-基）-1- ( 5-原菠烯-2-基）-1-乙酸丙酯 (monomer 10)之合成 將三乙基胺10.2g於20°C下，以30分鐘滴入由3-( 1,3-二噁烷-2-基）-1- ( 5-原菠烯-2-基）-1-丙醇15.0g、無 水醋酸9.6g、4-二甲基胺吡啶100mg與二氯甲烷50ml之 混合物中。經攪拌30分鐘後，加入水1 0g使反應停止。 再攪拌30分鐘後，加入水並以己烷萃取。有機層依序以 水、飽和食鹽水洗淨。以無水硫酸鈉乾燥後，進行減壓濃 縮。以減壓蒸餾精製後得3- ( 1，3-二噁烷-2-基）-1- ( 5-原菠烯-2-基）-1-乙酸丙酯16.9g (沸點：125°C /53Pa，產 率：96% )。 IR (薄膜）·· ^ = 3057、2966、2850、 2731、2657、17 32、1570、1448、 1406、1373、1338、1147、10 8 8、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21 ΟΧ 297公釐） -85- 1228131 A7 B7 五、發明説明（83 ) 1018、723cm-1。 'H-NMR (300MHz in CDC13):5 = 〇.5〇一 2.3〇{(3H，s)含 14H，m}， 2·50 — 2.85 (2H，m)， 3 .65 — 3.85 (2H，m)， 4.〇〇一4.15(2H，m)， 4.30 — 4.95 (2H，m)， 5.8 5 — 6.20(2H，m)。

monomer 1 monomer 2 monomer 3 monomer 4 monomer 5 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

monomer 6 monomer 7 monomer 8 monomer 9 monomer 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -86- 1228131 A7 B7 五、發明説明（84 ) 本發明之高分子化合物，係依下式方法而製得者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) [合成例1 1 ]

Polymer 1之合成 將45.Og之2- (5 -原疲傭-2-基）曱基-1，3 -二氮雜戊院 (monomer 1 ) 、65.Og之5-原菠烯-2-羧酸2 -乙基2-原菠 烯酯與24· 5g之馬來酸酐溶解於150ml之四氫呋喃中，再 加入1.82之2,2’-偶氮二異丁腈。於60它下攪拌15小時 後，於減壓下進行濃縮。將所得殘留物溶解於400ml四氫 呋喃中，再滴入10公升n_己烷中。將所生成之固型物濾 取，再以10公升η-己烷洗淨，於40°C下進行6小時真空 乾燥後，得78.2g下記式Polymer 1所示之高分子化合物 。產率爲58.1% 。 所得聚合物以GPC分析結果，得知其重量平均分子 量（Mw )以聚苯乙烯換算時爲8800，分散度（Mw/Mn) 爲1.79之聚合物。又，以13C-NMR測定結果，所得聚合 物之構成單位 X、y、z，係爲 X: y: ζ=0·25: 0.25: 0.50 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ο [合成例12〜22]Polymer 2〜12之合成 依上記相同方法，或公知之方法合成polYmer 2〜 12。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -87- 1228131 A7 B7 五、發明説明（85 (PolymerS) x=0.25, y=0.25, 2=0.50 Mw=6900, Mw/Mn=1.70

(Polymers) x=0.25,y=0.25, 2=0.50 Mw=6500, Mw/Mn=1.86 ~rix e~7~r-)y

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^^衣· 訂 (Polymer 7) x=0.25, y=0.25, 2=0.50 Mw=9700, Mw/Mn=1.77 (-7~rtx

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (Polymer 8) x=0.50, y=0.50 Mw=22000, Mw/Mn=2.04

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - 88- 1228131 A7 B7 五、發明説明（86 (Polymer 1) x=0.25, y=0.25, z=0.50 Mw=8800, Mw/Mn=1.79 (-7~^

(Polymer 2) x=0.25, y=0.25, z=0.50 Mw=9000, Mw/Mn=1.76

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (Polymer 3) x=0.25, y=0.25, 2=0.50 Mw=8300, Mw/Mn=1.77 t-7~Γ-)χ

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (Polymer 4) x=0.25, y=0.25, 2=0.50 Mw=7000, Mw/Mn=1.73

本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -89- 1228131 A7 B7 五、發明説明（87 ) (Polymer 9) x=0.50, y=0.50 Mw=29200, Mw/Mn=2.11

(Polymer 10) x=0.30, y=0.40, z=0.30 Mw=12900, Mw/Mn=2.07 \ >x (-) ( )y

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 訂 (Polymer 11) x=0.30, y=0.40, z=0.30 Mw=11200, Mw/Mn=1.96

L·. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (Polymer 12) x=0.50, y=0.50 Mw=26000, Mw/Mn=1.44

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 90- 1228131 A7 B7 五、發明説明（88 ) [實施例I] 對本發明之高分子化合物，評估其作爲基礎樹脂使用 所得之光阻材料時之基板密著性。 [實施例I-1〜5與比較例1、2] 使用上記所示聚合物（Polymer 1〜5 )與作爲比較使 用之下記式所示聚合物（Polymer 13、14 )作爲基礎樹脂 ，再將下記式所示酸產生劑（PAG 1 )、鹼性化合物與溶 劑，依表1所示組成進行混合。隨後再其以鐵氟隆製過瀘 器（孔徑：0.2// m)過濾，以製得光阻材料。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -91 - 1228131 A7 B7 五、發明説明（89 ) 將所得光阻溶液以旋轉塗佈方式塗佈於經9〇它、4〇 秒間六甲基二砂胺院噴霧處理所得之砂晶圓上，再將此砂 晶圓進行110°C、90秒之熱培，使其形成厚度〇.5 # m之 光阻膜。其後藉由KrF等離子雷射處理器（理光公司， ΝΑ = 0·5)進行曝光，再於ll〇°C、90秒下進行熱培（PEB )後，於2.3 8%之四甲基銨氫氧化物水溶液中進行秒 顯影，以製得線路空間爲1 : 1之圖型。對於顯影完成之 晶圓，使用上空SEM (掃描型電子顯微鏡）進行觀察， 以未能剝離而殘存之最小線寬（// m )作爲光阻之密著限 度。 各光阻之組成及評估結果如表1所示。又，表丨巾， 溶劑及鹼性化合物之說明則如下記內容。又，溶劑係彳吏$ 含有0.01重量％之FC-430 (住友3M公司製）者。 PGMEA :丙二醇甲基醚乙酸酯 TBA :三丁基胺 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -92- 1228131 A7 B7 五、發明説明（90 ) 【表1】 樹脂 (重量份） 酸產生劑（ 重量份） 鹼性化合物 (重量份） 溶劑 (重量份） 密著限度 (// m) 實 Μ Polymer 1 PAG 1 TBA PGMEA 0.22 施 (80) (1) (0.078) (480) 例 1-2 Polymer 2 PAG 1 TBA PGMEA 0.24 (80) (1) (0.078) (480) 1-3 Polymer 3 PAG 1 TBA PGMEA 0.22 (80) (1) (0.078) (480) 1-4 Polymer 4 PAG 1 TBA PGMEA 0.28 (80) (1) (0.078) (480) 1-5 Polymer 5 PAG 1 TBA PGMEA 0.26 (80) (1) (0.078) (480) 比 1 Polymer 13 PAG 1 TBA PGMEA >0.50 較 (80) (1) (0.078) (480) 例 2 Polymer 14 PAG 1 TBA PGMEA >0.50 ^ (80) (1) (0.078) (480) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 依表1所示結果得知，本發明之高分子化合物，具有 極高之基板密著性。 [實施例II] 對本發明之光阻材料，評估其使用ArF等離子雷射曝 光之解像性。 本紙張尺度適用中周國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -93- 1228131

A7 _ B7 五、發明説明（91 ) [實施例II-1〜21] 光阻解像性之評估 使用上記所示聚合物（Polymer 1〜12)作爲基礎樹 脂，再將下記式所示酸產生劑（PAG 1、2 )、下記式所示 溶解控制劑（DRR1〜4 )、鹼性化合物、下記式所示分子 內具有三C-COOH基之化合物（ACC1、2 )與溶劑’依袠 1所示組成進行混合。隨後再其以鐵氟隆製過濾器（孔徑 :0.2// m)過濾，以製得光阻材料。 CF3SO3* (PAG 1) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁〕 -訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -94- 1228131 A7 B7 五、發明説明（92 ) 將所得光阻溶液以旋轉塗佈方式塗佈於經90°C、90 秒間六甲基二矽胺烷噴霧處理所得之矽晶圓上，再將此矽 晶圓進行110°C、90秒之熱培，使其形成厚度0.5 // m之 光阻膜。其後藉由KrF等離子雷射處理器（理光公司， NA二0.5)進行曝光，再於110。。、90秒下進行熱培後，於 2.3 8%之四甲基銨氫氧化物水溶液中進行60秒顯影，以 製得線路空間爲1 : 1之圖型。將顯影完成之晶圓切斷， 使用截面SEM (掃描型電子顯微鏡）進行觀察，以0.3 0 β m線路空間爲1 : 1解像度的曝光量（最佳曝光量：Εορ ，mJ/cm2 )中所可分離之空間線路之最小線寬（// m )作 爲評估光阻之解像度。 各光阻之組成及評估結果如表2所示。又，表2中， 溶劑及鹼性化合物之說明則如下記內容。又，溶劑係使用 含有〇.〇1重量％之FC-430(住友3M公司製）者。 PGMEA :丙二醇甲基醚乙酸酯 TEA :三乙醇胺 TMMEA :三甲氧基甲氧基乙基胺 TMEMEA :三甲氧基乙氧基甲氧基乙基胺 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣· 訂 4. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨〇><297公瘦） -95- 1228131 A7 B7 五、發明説明（93 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 【表2】 實施例 樹脂 (重量份） 酸產生劑 (重量份） 溶解控制 劑 (重量份） 鹼性化合 物 (重量份） 溶劑 (重量份） 最適當露 光量 (mJ/cm2) 解像度 (//m) 形狀 II-1 Polymer 1 (80) PAG 1 (1) - TEA (0.063) PGMEA (480) 26.0 0.20 矩形 II-2 Polymer 2 (80) PAG 1 (1) - TEA (0.063) PGMEA (480) 25.0 0.20 矩形 II-3 Polymer 3 (80) PAG 1 (1) - TEA (0.063) PGMEA (480) 24.0 0.20 矩形 II-4 Polymer 4 (80) PAG 1 (1) - TEA (0.063) PGMEA (480) 26.0 0.22 矩形 II-5 Polymer 5 (80) PAG 1 (1) - TEA (0.063) PGMEA (480) 28.0 0.22 矩形 II-6 Polymer 6 (80) PAG 1 (1) - TEA (0.063) PGMEA (480) 22.0 0.20 矩形 II-7 Polymer 7 (80) PAG 1 (1) - TEA (0.063) PGMEA (480) 21.0 0.20 矩形 II-8 Polymer 8 (80) PAG 1 (1) - TEA (0.063) PGMEA (480) 25.0 0.22 矩形 II-9 Polymer 9 (80) PAG 1 (1) - TEA (0.063) PGMEA (480) 20.0 0.20 矩形 11-10 Polymer 10 (80) PAG 1 (1) - TEA (0.063) PGMEA (560) 23.0 0.22 矩形 11-11 Polymer 11 (80) PAG 1 (1) - TEA (0.063) PGMEA (560) 24.0 0.24 矩形 11-12 Polymer 12 (80) PAG 1 (1) - TEA (0.063) PGMEA (640) 23.0 0.24 矩形 11-13 Polymer 3 (80) PAG 2 (1) - TEA (0.063) PGMEA (480) 25.0 0.20 矩形 11-14 Polymer 3 (80) PAG 2 (1) - TMMEA (0.118) PGMEA (480) 26.0 0.20 矩形 11-15 Polymer 3 (80) PAG 2 (1) - TMEMEA (0.173) PGMEA (480) 26.0 0.22 矩形 11-16 Polymer 7 (80) PAG 2 (1) DRR (10) TEA (0.063) PGMEA (480) 18.0 0.22 矩形 11-17 Polymer 7 (80) PAG 2 (1) DRR 2 (10) TEA (0.063) PGMEA (480) 19.0 0.22 矩形 11-18 Polymer 7 (80) PAG 2 (1) DRR 3 (10) TEA (0.063) PGMEA (480) 22.0 0.22 矩形 11-19 Polymer 7 (80) PAG 2 (1) DRR 4 (10) TEA (0.063) PGMEA (480) 20.0 0.20 矩形 11-20 Polymer 7 (80) PAG 2 (1) ACC 1 (4) TEA (0.063) PGMEA (480) 22.0 0.22 矩形 11-21 Polymer 7 (80) PAG 2 (1) ACC 2 (4) TEA (0.063) PGMEA (480) 24.0 0.22 矩形 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣 訂 S, -96· 1228131 A7 _____ B7 五、發明説明（94 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 由表2之結果得知，本發明之光阻材料對於KrF等離 子雷射之曝光’具有更尚之感度與解像度。 [實施例 III-1、2] 光阻解像性之評估 與上記相同方法般，依表3組成內容製作光阻材料。 將所得光阻溶液以旋轉塗佈方式塗佈於經9 0 °C、9 0 秒間六甲基二矽胺烷噴霧處理所得之矽晶圓上，再將此矽 晶圓進行110°C、90秒之熱培，使其形成厚度〇.5 // m之 光阻膜。其後藉由ArF等離子雷射處理器（理光公司， ΝΑ = 0·55)進行曝光，再於ll〇°C、90秒下進行熱培後， 於2· 3 8%之四甲基銨氫氧化物水溶液中進行60秒顯影， 以製得線路空間爲1 : 1之圖型。將顯影完成之晶圓切斷 ，使用截面SEM (掃描型電子顯微鏡）進行觀察，以 0.25 // m線路空間爲1 : 1解像度的曝光量（最佳曝光量 :Eop，mJ/cm2 )中所可分離之空間線路之最小線寬.（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 // m )作爲評估光阻之解像度。 各光阻之組成及評估結果如表3所示。又，表3中， 溶劑及鹼性化合物之說明則如下記內容。又，溶劑係使用 含有0.01重量％之FC-430(住友3M公司製）者。 PGMEA :丙二醇甲基醚乙酸酉旨 TEA ··三乙醇胺 TMMEA ··三甲氧基甲氧基乙基胺 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -97 - 1228131 A7 B7 五、發明説明（95 ) 【表3】 實施例 樹脂 (重量份） 酸產生 劑 (重量份） 鹼性化合 物 (重量份） 溶劑 (重量份） 最適當露 光量2 (mJ/cm2) 解像度 (//m) 形狀 III-1 Polymer 1 (80) PAG 1 (1) TEA (0.063) PGMEA (480) 17.0 0.15 矩形 III-2 Polymer 1 (80) PAG 2 (1) TMMEA (0.118) PGMEA (480) 18.0 0.15 矩形 由表3之結果得知，本發明之光阻材料對於ArF等離 子雷射之曝光，具有更高之感度與解像度。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -98-

Claims (1)

1228131 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 種下記式（1 )所示之縮醛化合物

⑴ (式中，R爲氫原子或碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀或環 狀烷基；X爲1個氫原子可被羥基或乙醯氧基取代之、（ CH2) m-; k爲0或1，m爲滿足l€mS8之整數，11爲2 或3 ) 〇 2、如申請專利範圍第1項之縮醛化合物，其係爲下 記式（2 )所示者； (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁〕 -訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(式中，R爲氫原子或碳數丨至6之直鏈狀、支鏈狀或環 狀烷基；k爲0或l，m爲滿足l$m€8之整數，n;^2 或3)。 3、如申請專利範圍第1項之縮醛化合物，其係爲下 記式（3 ) 所示者； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210x297公釐） k -99- 1228131 Α8 Β8 C8 D8 申請專利範圍

(CH2)p CH-Y 〇JCH2)q ο R (CH2)n (3) (式中，R爲氫原子或碳數1至6之直鏈狀、支鏈狀或胃 狀烷基；Y爲羥基或乙醯氧基；k爲0或l，p、q爲滿 足0$p + q$7之〇或正整數，η爲2或3)。 4、一種重量平均分子量1，000至500,000之高分子化 合物，其係含有下記式（4-1 )或（4-2)所示重複單位^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁j

(4-1) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，R爲氫原子或碳數 狀烷基；W爲單鍵或1個氫 之-(CH2 ) ; k 爲 0 或 1， 3) °

1至6之直鍵狀、支鍵狀或王暑 原子可被羥基或乙醯氧基取# m爲1至8之整數，η爲2或 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -100- 1228131 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 5、如申請專利範圍第4項之高分子化合物，其中， 上記式（4-1)所示重複單位外，尙含有下記式（5-1)所 示重複單位者；

(式中，k具有與上記相同之意義；R1爲氣原子、甲基或 CH2C〇2R3 ;R2爲氫原子、甲基或C〇2R3 ; R3爲碳數1至15 之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R4爲酸不穩定基；R5爲 鹵素原子、羥基、碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀 烷氧基、醯氧基、烷氧羰氧基或烷磺醯氧基、或爲碳數2 至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷氧烷氧基’其碳原子上 之氫原子之一部份或全部可被鹵素原子所取代；Z爲單鍵 或碳數1至5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之（h + 2 )價烴基. ，爲烴基時，其1個以上之伸甲基可被氧取代而形成鏈狀 或環狀醚基，或同一碳原子上之2個氫原子可被氧取代而 形成酮亦可，h爲0、1或2 )。 , 6、如申請專利範圍第4項之高分子化合物，其中， 上記式（4-1 )所示重複單位外，尙含有下記式（5-1 )與 (6 )所示重複單位者； 本紙度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐) ： -101 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1228131 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍

〇 (6) (式中，k'h'R1至R5具有與上記內容相同之意義）。 7、如申請專利範圍第4項之高分子化合物，其中， 上記式（4-1 )所示重複單位外，尙含有下記式（5 -1 )所 示重複單位及/或下記式（7)所示重複單位與，下記式（ 6 )所示重複單位者； (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(6) R2 R1 Η )=0 R4〇 (7) (式中，k、h、R1至R5具有與上記內容相同之意義）。 8、如申請專利範圍第4項之高分子化合物，其中， 上記式（4-2 )所示重複單位外，尙含有下記式（5-2 )所 示重複單位者； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -102- 1228131 as B8 C8 D8 六、申請專利範圍

(式中，k'h'R1至R5具有與上記內容相同之意義）。 9、一種光阻材料，其係含有申請專利範圍第4至8 項中任一項之高分子化合物者。 1 0、一種圖型之形成方法.，其特徵係包含將申請專利 篇圍第9項之光阻材料塗佈於基板上之步驟與，於加熱處 理後介由光罩使用高能量線或電子線進行曝光之步驟與， 必要時於加熱處理後使用顯影液進行顯影之步驟。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 張 紙 本 Μ \—/ Ns C ___' 準 標 家 國 國 中 用 適 -釐 公 7 9 2 -103-