TWI223101B - Power-driven coaxial-rotation fast-orientation system and method - Google Patents

Description

1223101 五'發明說明（1) 發明所屬之技術領域： ， 本發明係關於一種具動力驅動的同軸旋轉快速定位系統 (power driven coaxial -rotating fast-orientation system).和方法，尤指一種在進行薄膜電晶體液晶顯示面板 之樣品分析時，可增進定位效率的具動力驅動的同軸旋轉快 速定位系統和方法。 先前技術： 隨著薄膜電晶體（thin-film transistors; TFTs)製作技 術的快速進步，具備了輕薄、省電和無幅射線等優點之液曰 顯示器 （liquid crystal display； LCD)，大量的應用於 計算機、個人數位助理器（PDA)、手錶、筆記型電腦、數^ 相機、液晶顯示器和行動電話等各式電子產品中。再加上 界積極的投入研發以及採用大型化的生產設備，使液^顯^ 器的生產成本不斷下降，更令液晶顯示器的需求量大增。不 在對目刖T F T製程的產品進行樣品分析，例如電性分析 乃疋沿著該TFT面板上之閘極線（Gate-1 ine)和信號線 ⑩ (Signal-line)去檢測其電性。若發現某條閘極線 (Gate-line)與某條信號線（Signal_Hne)交會處之 具有缺陷，乃先將該TFT面板上所標示之該條閘極線的 號，例如G1 00’與該條信號線的標號，例如sl〇〇,記錄下來

第5頁 1223101 五、發明說明（2) (G1 00，S1 0 0)，等到檢測完該整個TFT面板並把其上所有 缺陷處都記錄起來後，例如（G 1 0 0，S 1 0 0) 、（ g 1 0 0 , S 2 0 0 )和（G2 0 0, S3 0 0)，再以雷射註記裝置（laser marker) 在該等缺陷處的周圍作標記，以便後續掃描式電子顯微鏡 (Scanner Electron Microscopy; SEM)分析或聚焦式離子 束顯微鏡（Focused Ion Beam; FIB)分析的進行。 目前在欲對該TFT面板上之缺陷處進行SE Μ分析或F I B分析之 前，乃是先透過人工方式，由操作人員根據先前所記錄之所 有具缺陷的閘極線和信號線的編號，例如（G 1 0 0，S 1 0 0) 、φ (G100，S2 0 0)和（G2 0 0，S3 0 0)，在機台的顯微鏡下，將 該TFT面板上的該些缺陷點——尋找出並依序即時以雷射註 記裝置作標記，如此不但要花費許多找尋時間，約從3 0分鐘 到3小時不等的時間，端視該些缺陷點的位置是位在該TFT面 板的邊緣處或中間處而定，而且會由於人為失誤因素，無法 達到1 0 0 %之準確性。 因此，亟需對現有之薄膜電晶體液晶顯示面板在進行樣品分 析時的問題目標點之定位方式提出改善，以便能有效節省標 的找尋時間和增加準確率。 ο 發明内容： 本發明之主要目的，即是在提供一種具動力驅動的同轴旋轉

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五、發明說明（3) 快速定位系統（power driven coaxial - rotating 的找 fast-orientation system)和方法，以便有效節省樑 尋時間和增加定位準確率。 本發明之第一實施態 速定位系統，其係用 其中該顯示面板上具 定位系統包括一移動 一同軸旋轉裝置、一 統係連接於該移動平 的移動；該同轴旋轉 一顯示面板和對該顯 係連接於該移動平台 軸的數值和透過該標 和一信號線標號來標 點；以及該固定顯彳政$ 樣係揭示一種具動力 來對一顯示面板的一 有矩陣式的閘極線和 平台、一 X軸和Y軸電 座標顯示器和一固定 台，以帶動該移動平 系統係設置於該移動 示面板進行座標軸對 ，用以顯示該移動平 的點在該顯示面板上 定該標的點的座標， 匕係設置於該移動平《 驅動的同軸旋轉快 標的點進行定位^ #號線的標號。該 動馬達傳動裝置、 顯微鏡。該傳動系 台作X軸和γ軸方向¥ 平台上，用以承載 位；該座標顯示器 台移動時之X抽和γ 相對應之一閘極線 以便定位出該標的 ?的上方，該固定 顯微鏡之視野内標有一十字記號，用以作為該同軸旋轉系統 調整該顯示面板方位的參考座標和尋找對準到該標的點在該 顯示面板上相對應之該閘極線和該信號線標號。 本發明之第二實施態樣係揭示一種用來對一顯示面板的一標 的點進行定位的方法。首先，該定位方法係將該顯示面板置 放在一移動平台上，並藉由設置於該移動平台上方的一固定 顯微鏡之視野内所標設之一十字記號’對該顯示面板進行座

η厶Jiui η厶Jiui 五、發明說明 標轴對位 該十字記 動馬達傳 過該固定 面板上之 移動時之 標顯示器 在該移動 記號，尋 號線標號 將該移動 處，此時 面板上的 使該顯示面板上的閘極線和信號線完全各平行於 ^ 之後，藉由連接於該移動平台之一 X轴和Y軸電 瑟系、、先’移動在該移動平台上之該顯示面板，並透 ^微鏡的十字記號，尋找對準到該標的點在該顯示 目對應之一閘極線標號後，將用以顯示該移動平台 X軸和Y軸的數值和用以標定該標的點之座標的一座 的I軸數值標定為y 1;接著，藉由該傳動系統移動 平台上之該顯示面板，並透過該固定顯微鏡的十字 2對準到該標的點在該顯示面板上之相對應之一信 ^ △將該座標顯示器的X軸數值定位為χ 1;最後， ，台移動至該座標顯示器顯示座標為（xl 定十字記號正下方所對應到該顯示 父曰點，即為該標的點的位置。 實施方式： 請參見圖一 位系統1 〇的 ，其係為本發明之具動力驅動的同軸 一較佳實施態樣的配置示意圖。 旋轉快速定 馬達傳動❶ 固定顯微 達傳動裝 旋轉裝置 以顯示該 該定位系統1 0包括一移動 裝置12、一同軸旋轉裝置 鏡1 5。其中，該移動平台 置1 2連接，並用以承載和 1 3。該座標顯示器1 4係連 十台1卜一X軸和γ軸電動 1 3、一座標顯示器1 4和〜 11係與該X轴和γ軸電動馬 帶動設置於其上之該同輛 接於該移動平台11，並用

1223101 五、發明說明（5) --- 傳動裝置1 2移動時之X軸和γ軸的數值以及用以監測和#定一 標的點的座標點。該同轴旋轉裝置1 3 (請參見圖二人所75示& 一 同軸旋轉裝置1 3的俯視圖）包括一具方格線之平板i 3丨不f 個疋位柱1 3 2和* 具有刻度表尺a之微調齒輪1 3 3，其中 具方格線之平板1 3 1係用來承載一待標記分析之薄膜電晶^ 液晶顯示面板1 6 ’且在該平板的四個角落各形成一弧形滑样 134，以便分別插入該三個定位柱132和該微調齒輪13^，@此9 四個弧形滑槽的滑動方向係位於同一圓周上，而該三個定位 柱1 3 2和該微調齒輪1 3 3的末端係固定在該移動平台丨丨上（未 顯示），如圖二B之該微調齒輪133的立體示意圖所示，在該 微調齒輪1 3 3所在之弧形滑槽1 3 4的側壁上具有相對應於該微 調齒輪1 3 3的齒條1 3 5，可在旋轉該微調齒輪1 3 3時帶動該齒 條1 3 5，而使該平板1 3 1在該弧形滑槽内作角度移動，而該微 調齒輪1 3 3上的刻度表尺a可經換算成該平板1 3丨的移動角 度，以便於座標軸對位的調整。該固定顯微鏡丨5係設置於該 移動平台1 1的上方，其内具有—十字記號（未顯示），用以作 為該微調齒輪調整在該平板上之該顯示面板丨6方位的參考座 標0 本發明之具動力驅動的同軸旋轉快速定位系統1 〇，如圖一所Λ 示，可提供一快速而精確的定位方法，使操作員能循著該顯 示面板1 6上的閘極線和信號線的編號，快速尋找到交會之 T F Τ標的點’以完成雷射標記的工作。

$ 9頁 (6) 1223101 五、發明說明 首先，進 置放在該 以該顯示 方格線的 平和垂直 動該具有 内之十字 平線）和 之十字記 分別與該 條閘極線 行座標軸 同轴旋轉 面板1 6四 X軸和y軸 方向大致 刻度表尺 $己號的參 信號線（ 號。此時 座標顯示 移動時， 示面板1 6 之後，先 該平板之 板1 6的水 接著，轉 顯微鏡1 5 極線（水 微鏡15内 號線，即 即沿同一 對位步驟，將一待標記分析之顯 系統1 3之該具方格線之平板上。 個角落上之十字記號（mark)對準 ，作四角對位粗調，使該顯示面 各平行於該方格線的X軸和y軸。 a之微調齒輪133，透過在該固定 考座標，使該顯示面板1 6上的閘 垂直線完全各平行於該固定顯 ，該顯示面板1 6上的閘極線和信 器1 4戶斤顯示的X軸和γ軸平行（亦 Y軸顯示始終為一定值）。 ^後，”所記錄之所有具缺陷的問極線和信號線的編 ^，進订座標點定位步驟。藉由該傳動裝置1 2移放古 移動平台1 1上的該顯示面板1 6，並透 以 ^ ^ ^ ^ ^ ^ , 並透過該固定顯微鏡15的十 在該顯示面板16上*邊標* ^ 線，此時將該座標顯示器丨4的γ軸數值# 動在該移動平台"上的該顯示面板數二疋將 2示S1。。的信號線對準到該固定顯微鏡二：^上6上:: 寺將該座標顯示器14的X軸數值定位為χ1。於β ， °二 標顯示器1 4，將該移動平台丨丨移至、透匕以座 (χΐ，π處，此時在該固定顯微鏡字不裔^員示座標 對應到該顯示面板1 6上的交會點，即為广下方所 衣直在5亥第一個缺陷TFT的

第10頁 1223101 五、發明說明（7) 周圍處作標記。然後，以相同於上述的座標點定位步驟，找 出位於（G1 〇〇， S2 0 0)之第二個缺陷TFT標的點並完成雷射 標記。當把其他缺陷點都一一尋找出並即時以雷射標記後， 再將已完成標記之該顯示面板1 6進行SEM分析或F I B分析。 利用本發明之同軸旋轉快速定位系統來尋找出該些缺陷點， 以便作雷射標記和進行S E Μ分析或F I B分析，其所花費的找尋 時間約只要3 - 5分鐘，相對於目前透過人工尋找的方式，可. 大幅縮減1 0 - 6 0倍的找尋時間，且本發明之定位系統的準確 率可達1 0 0 %。再者，本發明之定位系統可適用於各種尺寸的# 面板，並適於離線（〇 f f —丨i ne)應用，例如實驗室分析。 因此，透過本發明之具動力驅動的同軸旋轉快速定位系統和 定位方法，不但能有效節省標的找尋時間，且燁加定位準確 率。 以上所述，係利用較佳實施例詳細說明本發明，而非限制本 發明之範圍，而且熟知此類技藝人士皆能明瞭，適當而作些 微的改變及調整，仍將不失本發明之要義所在，亦不脫離本 發明之精神和範圍。

1223101 圖式簡單說明 藉由以下詳細之描，述結合所附圖式，將可輕易地了解上述之 技術内容及本發明之諸多優點，其中： 圖一，係為本發明之具動力驅動的同軸旋轉快速定位系統的 一較佳實施態樣的配置示意圖； 圖二A，係為圖一之同軸旋轉裝置的俯視圖；以及 圖二B，係為圖一之同軸旋轉裝置的微調齒輪的立體示意 圖。 元件圖號說明： 具動力驅動的同軸旋轉快速定位系統1 0 移動平台11 同軸旋轉裝置13 固定顯微鏡1 5 定位柱1 3 2 刻度表尺a 弧形滑槽1 3 4 X軸和Y軸電動馬達傳動裝置1 2 座標顯示器1 4 具方格線之平板1 3 1 微調齒輪1 33 薄膜電晶體液晶顯示面板1 6 齒條1 3 5

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Claims (1)

1. 六、申請專利範圍 位系統，其係用來對一顯示 的標，，該定位=【括面板上具有矩陣式的閘極 I ’動該移動：ί:t傳動裝置，其係連接於今移動早A :同袖旋作f和％方向的移動，' 亥移動平台，以 I不面扳和斟^ S /、係設置於該移動平A上 1標Ur::板進行座標轴=用以承載一顯 丨：：動時之X軸和、。：：：動平台’用以顯示該移動平 :;應之1極線和二?；=該標的點在該顯示面板上 匕。，出該標的點；Λ 號來標定該標的點的座標， |之視微鏡’其係設置於該移動平台的上古 ^ L示面极方位的：：座;；f以作為該同轴旋轉系統調整該 板上相對庙 考標和尋找對準到該標的點^^ 手應之該閑極線和該信號線標號。^在该，.肩不面 專利範圍第1項所述之定位系統’其中該同軸旋轉 I的至少t f之平板，其係用來承載該顯示面板，且在#平 丨滑動方一：形滑槽，該至少三個 對該顯示面杯广；料周且该平板上的方格線係作為一 L二個定位柱，其等係各設置在相對應之該:至::三個弧形 第13頁

   申請專利範圚楚。Λ

   有一列声矣 国第2項所述之定位系統，其中該微調齒輪 祖# $又尺’可經換算成該平板的移動角度，以便於進 對該顯示面板座標軸對位的微調 t如申清專利範圍第丨項所述之定位系統，其中該顯示面板 係為待彳示$分析之薄膜電晶體液晶顯示面板。 ^種用來對一顯示面板的一標的點進行定位的方法，該顯 不面板上具有矩陣式的閘極線和信號線的標號，該定位方法 包括： 將該顯示面板置放在一移動平台上； 藉由λ f於。亥移動平台上方的一固定顯微鏡之視野内所標設· 之十子°己號’對该顯示面板進行座標軸對位’使該顯示面 f上的閘極線和信號線完全各平行於該十字記號； 藉由連接於該移動平台之一 X軸和Y軸電動馬達傳動系統，移 動在該移動平台上之該顯示面板，並透過該固定顯微鏡的十 字記號，尋找對準到該標的點在該顯示面板上之相對應之一

   第14頁 1223101 六、申請專利範圍 閘極線標號 將用以顯示 該標的點之 藉由該傳動 該固定顯微 板上之相對 將該座標顯 將該移動平 處，此時在 面板上的交 6 ·如申請專 板進行座標 同軸旋轉裝 一具方格線 的至少三個 滑動方向係 對該顯示面 至少三個定 滑槽中，且 少三個定位 該弧形滑槽 餘之定位柱 合，其中， 利範圍第 軸對位的 置來達成 之平板， 角落各形 位於同一 板座標軸 位柱，其 該等定位 柱之一係 的側壁上 的直徑係 旋轉該微 該移動平台移動時之X軸和γ軸的數值和用以標定 座標的一座標顯示器的Y軸數值標定為y 1 · 系統移動在該移動平台上之該顯示面β板，’並透過 鏡的十字記號’尋找對準到該標的點在該顯示面 應之一信號線標號； 示器的X軸數值標定為χ丨；以及 台移動至該座標顯示器顯示座標為（xl 吞亥固疋顯微鏡之十字9 % γ 士 合处，如： 號正下方所對應到該顯示 曰點 即為該標的點的位置。 5項所述之定位方法 步驟，係藉由設置於 ’該同軸旋轉裝置包 其係用來承載該顯示 成一弧形滑槽，該至 圓周上，且該平板上 對位進行粗調的參考 等係各設置在相對應 柱的末端係固定在該 為一微調齒輪，該微 具有一與該微調齒輪 與其等相對應之弧形 調齒輪可帶動該齒條 ’其中對該顯示面 該移動平台上之一 括： 面板，且在該平板 少三個弧形滑槽的 的方格線係作為一 座標；和 之該至少三個弧形 移動平台上，該至 調齒輪所相對應之 相配合的齒條，其 滑槽的口徑相套 ，藉此使該平板沿 1223101 六、申請專利範圍 著該圓周作角度移動。 7. 如申請專利範圍第6項所述之定位方法，其中在對該顯示 面板進行座標軸對位的粗調步驟時，將該顯示面板四個角落 上之十字記號對準該平板之方格線的X軸和y軸，使該顯示面 板的水平和垂直方向大致各平行於該方格線的X軸和y軸。 8. 如申請專利範圍第6項所述之定位方法，其中該微調齒輪 具有一刻度表尺，可經換算成該平板的移動角度，以便於進 行對該顯示面板座標軸對位的微調。

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