TWD166710S - 反應管 - Google Patents
反應管Info
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- TWD166710S TWD166710S TW102308384D02F TW102308384D02F TWD166710S TW D166710 S TWD166710 S TW D166710S TW 102308384D02 F TW102308384D02 F TW 102308384D02F TW 102308384D02 F TW102308384D02 F TW 102308384D02F TW D166710 S TWD166710 S TW D166710S
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract 4
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
Abstract
【物品用途】;本設計的物品是反應管，為使用在基板處理裝置的反應管。;【設計說明】;本物品，是於內部收容處理基板；本物品，是在側面具備：形成供設置氣體噴嘴之空間的略矩形狀之突出部；和排出從該氣體噴嘴所噴出的氣體的開口部；於本物品的內部，將氣體從上述氣體噴嘴供給到上述處理基板之後，再從上述開口部排出，進行上述處理基板的處理；本衍生設計與原設計之外觀差異在於：如各立體圖、前視圖、及A-A及B-B放大剖面圖等所示，其開口部等大小略有所不同，因此本案與原設計案之差異些微，不影響原設計與衍生設計之近似。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013015552 | 2013-07-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWD166710S true TWD166710S (zh) | 2015-03-21 |
Family
ID=89711463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW102308384D02F TWD166710S (zh) | 2013-07-08 | 2013-12-26 | 反應管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| TW (1) | TWD166710S (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWD230200S (zh) | 2021-09-15 | 2024-03-01 | 日商國際電氣股份有限公司 (日本) | 反應管 |
| TWD230585S (zh) | 2022-03-01 | 2024-04-01 | 日商國際電氣股份有限公司 (日本) | 反應管 |
| TWD230586S (zh) | 2022-03-01 | 2024-04-01 | 日商國際電氣股份有限公司 (日本) | 反應管 |
| TWD230584S (zh) | 2022-03-01 | 2024-04-01 | 日商國際電氣股份有限公司 (日本) | 反應管 |
-
2013
- 2013-12-26 TW TW102308384D02F patent/TWD166710S/zh unknown
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWD230200S (zh) | 2021-09-15 | 2024-03-01 | 日商國際電氣股份有限公司 (日本) | 反應管 |
| TWD230585S (zh) | 2022-03-01 | 2024-04-01 | 日商國際電氣股份有限公司 (日本) | 反應管 |
| TWD230586S (zh) | 2022-03-01 | 2024-04-01 | 日商國際電氣股份有限公司 (日本) | 反應管 |
| TWD230584S (zh) | 2022-03-01 | 2024-04-01 | 日商國際電氣股份有限公司 (日本) | 反應管 |
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