TWD163771S - 反應管 - Google Patents

反應管

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TWD163771S
TWD163771S TW102308384D01F TW102308384D01F TWD163771S TW D163771 S TWD163771 S TW D163771S TW 102308384D01 F TW102308384D01 F TW 102308384D01F TW 102308384D01 F TW102308384D01 F TW 102308384D01F TW D163771 S TWD163771 S TW D163771S
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TW
Taiwan
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design
article
opening portion
gas nozzle
gas
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Application number
TW102308384D01F
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English (en)
Inventor
Keishin Yamazaki
Masahiro Miyake
Shinya Morita
Kosuke Takagi
Yasuaki Komae
Naonori Akae
Masato Terasaki
Original Assignee
日立國際電氣股份有限公司
Hitachi Int Electric Inc
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Publication date
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Abstract

【物品用途】;本設計的物品是反應管，為使用在基板處理裝置的反應管。;【設計說明】;本物品，是於內部收容處理基板；本物品，是在側面具備：形成供設置氣體噴嘴之空間的略矩形狀之突出部；和排出從該氣體噴嘴所噴出的氣體的開口部；於本物品的內部，將氣體從上述氣體噴嘴供給到上述處理基板之後，再從上述開口部排出，進行上述處理基板的處理；本衍生設計與原設計之外觀差異在於：如各立體圖、前視圖、及C-C部分放大圖等所示，其開口部之大小略有所不同，因此本案與原設計案之差異些微，不影響原設計與衍生設計之近似。
TW102308384D01F 2013-06-28 2013-12-26 反應管 TWD163771S (zh)

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