TWD162592S - 基板保持具安裝用基座材 - Google Patents

基板保持具安裝用基座材

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TWD162592S
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TW
Taiwan
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substrate holder
base material
mounting substrate
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substrate
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Application number
TW102305249F
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English (en)
Inventor
Kouzi Motoi
Michiaki Matsushita
Naruaki Iida
Suguru Enokida
Yasunori Toyoda
Hidekazu Kiyama
Original Assignee
東京威力科創股份有限公司
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【物品用途】;本設計的物品是基板保持具安裝用基座材，可供安裝：基板保持具，該基板保持具是可更換的設置於用來保持與搬運例如：半導體晶圓之類的圓形基板之基板搬運臂上。;【設計說明】;右側視圖與左側視圖對稱，右側視圖省略。
TW102305249F 2013-02-13 2013-08-01 基板保持具安裝用基座材 TWD162592S (zh)

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