TWD162591S - 基板保持具 - Google Patents

基板保持具

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TWD162591S
TWD162591S TW102305232F TW102305232F TWD162591S TW D162591 S TWD162591 S TW D162591S TW 102305232 F TW102305232 F TW 102305232F TW 102305232 F TW102305232 F TW 102305232F TW D162591 S TWD162591 S TW D162591S
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TW
Taiwan
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substrate holder
right view
item
design
substrate
Prior art date
Application number
TW102305232F
Other languages
English (en)
Inventor
Kouzi Motoi
Michiaki Matsushita
Naruaki Iida
Suguru Enokida
Yasunori Toyoda
Hidekazu Kiyama
Original Assignee
東京威力科創股份有限公司
Tokyo Electron Ltd
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Publication date
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【物品用途】;本設計的物品是基板保持具，可更換的設置於用來保持與搬運例如：半導體晶圓之類的圓形基板之基板搬運臂上。;【設計說明】;右側視圖與左側視圖對稱，右側視圖省略。
TW102305232F 2013-02-13 2013-08-01 基板保持具 TWD162591S (zh)

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