TW577973B

TW577973B - Inspection apparatus for lead wire

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Publication number: TW577973B
Application number: TW091122767A
Authority: TW
Inventors: Yoneta Tanaka
Original assignee: Ushio Electric Inc
Priority date: 2001-12-17
Filing date: 2002-10-02
Publication date: 2004-03-01
Also published as: JP2003185415A; KR20030051249A

Description

經濟部智慧財產局S工消費合作社印製 577973 A7 _____B7 五、發明説明（1 ) 【發明所屬之技術領域】本發明，是有關進行帶載體方式（TAB : Tape Automated Bonding)，積體電路（以下，稱爲ic)之輸出入用端子（以下，稱爲導線）的外觀檢查之導線檢查裝置，特別，有關可進行高速地外觀檢查之導線檢查裝置。【先前技術】半導體裝置，對應於高積體化及高密度封裝的要求，促進導線的多銷化及微小化。由於有利於該多銷化和微小化，所以將半導體晶片與設於薄膜帶的多數導線連接的 TAB，廣汎的被使用。第8圖是顯示TAB的構造。半導體晶片Π，在其周圍，具有由與外部進行連接的電極12a、12b…所構成的電極群12。薄膜帶1 3，在其內部具有比半導體晶片1 1之外徑更大的開口部（設計孔）1 4。在薄膜帶1 3，將半導體晶片1 1用來與外部電路等電連接夾入有導電體，其一端，從設計孔 14的側邊，朝向其內側，作爲複數導線1 5 a、1 5 b、…露出，形成有導線群1 5。導線群1 5，將半導體晶片1 1設定於預定位置，則設定成與應連接的電極群重疊，多數電極12a、12b、…及多數導線15a、15b、…總括可進行結合。第9圖是顯示以TAB方式結合的導線放大斜視圖。在形成於電極12a、12b、…上的凸出（譬如焊鍚）16a、16b 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）一 -4- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

577973 A7 B7 五、發明説明（2 ) 、··.上，配置導線1 5 a、1 5 b、…，錯由結合工具，進行加壓、加振、加熱等，使凸出16a、16b、···成爲媒體，進行結合 ° 通常TAB製造製程中，薄膜帶1 3 (以下，亦稱爲tab 帶）及半導體晶片Π，分別由不同的製造廠商所製造，在組合廠商使兩者接合。因此，TAB帶，從TAB帶製造廠商，使導線群1 5在設計孔露出成中空的狀態下，作爲完成品被出貨。導線15a、15b、…，譬如爲20//m角度，長度爲600 #m，隨便一接觸，則會簡單彎曲或折彎。導線一彎曲或折彎，則半導體晶片11的電極12a、’ 12b、…形成位置不一致，所以成爲不會安裝半導體晶片。因而，TAB帶製造廠商，在製造製程之中間時點或出貨前的時點，導線是否彎曲或折彎，要進行外觀檢查。第1 〇圖是顯示導線的主要檢查項目（7種）。特別，在出貨前的最後檢查，主要進行第1 0圖之No 1的「彎曲」及No2的「間距」之外觀檢查。第1 1圖是顯示先前技術之導線檢查裝置的構成例。該圖中，23、24是照明半導體晶片1 1之周圍的照明裝置，藉由照明控制單元28所控制。25是CCD照相機等的攝影裝置，組合攝影裝置25及照明裝置23、24來構成光學磁頭26。XYZ台22，藉由台控制單元29所控制，將光學磁頭26驅動於XYZ方向（X譬如是該圖紙面左右方向， Y是紙面前後方向，Z是紙面上下方向），對於半導體晶片本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A衣· 訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -5- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 577973 A7 __B7 五、發明説明（3 ) 11進行定位。又，藉由全體控制單元30進行導線檢查裝置各部的控制。從攝影裝置2 5取進的影像資料，送到影像處理單元2 7。影像處理單元2 7，來解析上述影像資料，並用來檢查導線之彎曲、間距不良等。先前技術，如上述，藉由解析影像資料，來檢查前述各種項目。先前技術的導線檢查裝置，有如下之問題。必須組合攝影裝置25 (譬如CCD照相機）及影像處理單元27，成爲昂貴裝置。又，影像處理單元27，將所撮像的影像資料分割成多數的、畫素，進行記憶及演算處理，但在攝影裝置25，輸入連導線周邊本來不必要的資訊，所以其資料量形成膨大解析花費時間。而且，對於半導體晶片1 1之4邊進行檢查，所以對於 1個製品需要2〜3分鐘的檢查時間。本發明是有鑑於上述情事而發明，本發明之目的在於 :以廉價且高速來實現導線檢查裝置。【發明內容】本發明中，將上述課題解決如下。從光源將所放出之光點狀的雷射光藉由掃描鏡掃描並照射於帶狀的導線群上。而且，將通過導線群的光以受光器進行受光，將受光器之輸出進行輸入到判定裝置。判定裝置，介由導線群從受光後之受光量的變化檢測本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) ' --- -6 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

577973 A7 B7 五、發明説明（4 ) 導線之中心間的距離（間距）、導線的寬度（導線寬）、導線間的距離（間隔寬），並來判定導線是否良好。即，藉由掃描鏡使所掃描的雷射光當通過複數條導線配置成並列之導線群時，當雷射光在導線上時射入於受光器之光量變少，又，當通過導線之間時光量變大。因而，從上述雷射光之導線群上的各掃描位置中的受光量，可用來判定該掃描位置在導線上，或在導線間。上述判定裝置，來判定對於雷射光之掃描時點的受光量變化，從受光量之變化周期、峰値等來檢測間距、導線寬度、間隔寬度。，上述雷射光之掃描，藉由使用驗電（galvano)掃描鏡或多角形反射鏡等之掃描鏡可高速進行，又，判定裝置，若能判定受光量的變化即可，所以不要影像處理，可高速進行導線的外觀檢查。【實施方式】第1圖是顯示本發明實施例之導線檢查裝置的構成圖。第1圖是顯示使多角形反射鏡旋轉藉由掃描雷射光（scan )，來檢查導線之外觀的實施例。第1圖中，1是光源，作爲光源譬如使用氨氖雷射（ He - Ne雷射）。從光源1所放射的雷射光，藉由光整形透鏡2，整形成所要大小的光點形狀。被整形的光，射入到光掃描部3。光點的大小，較導線之粗度（十〜數十μ m )和間隔本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

*1T 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -7- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 577973 A7 B7 五、發明説明（5 ) (十〜數// m )更小爲佳。此外，光源，亦可使用點光源燈。在光掃描部3，設有藉由多角形反射鏡驅動部3b所驅動的多角形反射鏡3a，多角形反射鏡3a將整形成光點狀的雷射光掃描於該圖紙面的左右方向。此外，第1圖所示的 0是顯示藉由多角形反射鏡3a雷射光的掃描範圍。反射於多角形反射鏡3a之雷射光，射入於f0透鏡4。在射出f 0透鏡4之雷射光的掃描範圍，配置成爲檢查對象之TAB帶13的設計孔14。此外，第1圖是顯示在TAB帶 1 3之設計孔1 4安裝有半導體晶片1 1的情況，但在安裝半導體晶片1 1之前，亦可用來檢查TAB帶1 3的導線狀態。 TAB帶13，藉由未圖示的搬運裝置，譬如從該圖之紙面正前方朝紙面後面方向連續搬運或間歇搬運，帶的搬運位置藉由帶位置檢測器1 3a所檢測。此外，對於TAB帶的檢查方法在後面陳述。 f 0透鏡4，在掃描雷射光的範圍內，將焦點位置位於同一平面上。藉此，上述雷射光聚光於上述TAB帶1 3之導線群上。第2圖是顯示TAB帶1 3之設計孔14的導線群1 5之配置及雷射光之掃描方向的關係圖。如該圖所示，在本實施例之TAB帶1 3的設計孔，設有垂直於TAB帶進行方向之兩列的導線群1 5，藉由使多角形反射鏡3a旋轉，雷射光如該圖之空白箭頭所示，來掃描導線群1 5上。掃描之位置，是根據TAB帶上之導線群的配置及搬運本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 577973 A7 _B7 五、發明説明（6 ) 條件，即根據若以連續搬運則搬運速度，若以間歇搬運則停止位置等，預先設定。譬如，配置如第2圖所示兩列導線群1 5a、1 5b的情況下，將設於TAB帶的鏈輪孔，或基準記號（對準記號）之位置等藉由帶位置檢測器1 3 a來檢測，並根據該檢測信號來判定導線群的位置，當導線群來到掃描範圍內時，分別將導線群上藉由光點狀之雷射光來掃描。第1圖裝置的情況下，對於一個設計孔，來二次掃描如第2圖空白箭頭的雷射光。此外，對於TAB帶1 3之搬運速度，雷射光的掃描速度非常的快，所以TAB帶1 3即使連續地搬運之情況下，亦如第2圖所示在略垂直於導線群1 5之配列方向的方向可掃描雷射光。從f 0透鏡4射出並通過設計孔14之雷射光，藉由第 1圖所示聚光透鏡5被聚光，並輸入到受光器6。受光器6 ，譬如是輸出根據受光量之電氣信號的模擬感測器，受光器6輸出的信號，輸入到控制部1 0的判定部1 Oa。控制部1 〇，用來控制上述光源1、TAB帶1 3之搬運等，同時根據帶位置檢測器1 3 a之輸出，藉由多角形反射鏡驅動部3b來控制多角形反射鏡3a的掃描。又，判定部10a 中，根據雷射光之掃描位置，或，從掃描開始的時間，及受光器6之受光量的信號，來判定導線是否良好。在判定部1 〇a，譬如如第1圖所示，設有：將受光器6 之輸出信號與預先所設定的預定値作比較並形成矩形波狀本^張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐) (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-9- 577973 A7 B7 五、發明説明（7 ) 之信號的比較器1 Ob、及產生根據輸出比較器1 Ob呈導通時間之輸出的導通時間計數器1 Oc、及產生根據比較器1 〇b呈斷開時間之輸出的斷開時間計數器l〇d、及判定器l〇e，判定器l〇e，根據如後述之上述呈導通時間、斷開時間等求出導線之中心間的距離（間距）、導線之寬度（導線寬）、導線間之距離（間隔寬）來判定導線是否良好。上述是對於藉由1台之裝置來掃描兩列導線群的情況作了說明，但亦可設置2組第1圖所示之裝置，將上述兩列導線群15a、15b，由分別之裝置藉由所放射的光點狀之雷射光進行掃描。又，如第4圖所示，使用組合多角形反射鏡及驗電掃描透鏡的光掃描部，亦可構成來掃描兩列導線群。此外，在該圖，省略第1圖所示的f 0透鏡4、聚光透鏡5、受光器6等。第4圖中，1是由前述之氦氖雷射（He - Ne雷射）等所構成的光源，2是從光源將所放射的光整形成所要大小的光點形狀之光整形透鏡。從光整形透鏡2射出之光點狀的雷射光射入到驗電掃描透鏡7。驗電掃描透鏡7如該圖箭頭所示安裝成可轉動，藉由驅動裝置7a使驗電掃描透鏡轉動，改變雷射光的反射方向。在驗電掃描透鏡7反射的光，射入到多角形反射鏡 3 a。多角形反射鏡3 a藉由驅動裝置3 b旋轉，如前述雷射光掃描於該圖的上下方向。此外，該圖之（9是顯示如前述藉由多角形反射鏡3a雷射光的掃描範圍。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10- 577973 A7 B7 五、發明説明（8 ) 在雷射光之掃描範圍內，配置成爲檢查對象之TAB帶 1 3的設計孔1 4，如前述在設計孔1 4之導線群照射光點狀的雷射光。如以上掃描設計孔14的導線群15a，導線群15a掃插終了的話，雷射光照射於導線群1 5b使驗電掃描透鏡7轉動，與上述同樣將雷射光朝上下方向進行掃描，在導線群 15b來照射光點狀的雷射光。在以上，顯示構成如第2圖所示用來檢查配置兩列導線群15a、15b之TAB帶，但譬如亦可如第3所示沿著設計孔1 4之內周來檢查設置的四列導線群1 5 a〜1 5 d。第3圖所示四列導線群之檢查可實現如下。 (1 )準備兩組第1圖所示的導線檢查裝置，將分別的導線檢查裝置配置成垂直雷射光之掃描方向，藉由其中一方的導線檢查裝置來檢查導線群15a、15b，藉由另一方的導線檢查裝置是檢查導線群15c、15d。又，設置四組第1圖所示的導線檢查裝置，將各導線群15a〜15d分別以裝置進行掃描，亦可來檢查各導線群 1 5a 〜15d ° (2 )使用具備第4圖所示光掃描部之導線檢查裝置，朝導線群15a、15b上之雷射光的掃描如前述以多角形反射鏡3 a進行，朝導線群1 5 a、1 5 b之雷射光的掃描，使驗電掃描透鏡7轉動進行。 (3 )如第5圖所示，在光掃描部3，設有驗電掃描透鏡，將雷射光朝設計孔1 4之各導線群的方向掃描並來檢查本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -11 - 577973 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（9 ) 各導線群15a〜15d。此外，在該圖，省略f0透鏡4、聚光透鏡5、受光器6等。如該圖所示，從光源1將所放射之光藉由光整形透鏡2 整形成所要大小的光點形狀，介由X軸反射鏡8a、Y軸反射鏡8b，照射於成爲檢查對象之TAB帶1 3的設計孔1 4。 X軸反射鏡8a、Y軸反射鏡8b安裝成可轉動，藉由X 軸掃描器8c、Y軸掃描器8d使X軸反射鏡8a、Y軸反射鏡8b轉動，光點狀之雷射光在該圖之點線的範圍內進行掃描。雷射光之掃描位置，藉由設於X軸掃描器8C、Y軸掃描器8d之未圖示的編碼器反饋於控制部1 0。控制部1 〇從上述編碼器之輸出求出雷射光的掃描位置，與該掃描位置，根據接受受光器6之受光量的信號如後述來判定導線是否良好。其次藉由第1圖所示的導線檢查裝置對於導線之檢查順序加以說明。此外，以下，對於設在設計孔1 4之一列導線群的檢查加以說明，但如第2圖、第3圖所示在設計孔設有兩列、四列導線群的情況，各導線群亦藉由雷射光掃描，與以下說明同樣可判定是否良好。又，以下，藉由第1圖所示導線檢查裝置對於檢查加以說明，但使用第5圖所示光掃描部的情況下，亦僅雷射光之掃描裝置不同而已，與以下說明同樣可進行導線的檢查。 (1 ) TAB帶13，藉由未圖示搬運裝置，譬如從第1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-12- 577973 A7 ^___B7_ 五、發明説明（10) 圖之紙面正前方朝紙面後面方向連續搬運或間歇搬運。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 將設於TAB帶之未圖示的鏈輪孔或其他對準記號（基準記號）之位置以帶位置檢測器1 3a進行檢測，並送到控制部1 0。控制部1 0根據上述檢測器1 3a的輸出信號，來認識檢查的導線群，已進入到雷射光的掃描範圍。 (2 )檢查的導線群，進入到雷射光的掃描範圍，則控制部1 〇從光源1使雷射光輸出。藉由光整形透鏡2，雷射光整形成光點形狀，並射入到光掃描部3的多角形反射鏡 3 a ° 射入到多角形反射鏡3 a的雷射光，藉由多角形反射鏡 3 a，如第2圖所示來掃描設計孔的導線群1 5上。掃描的位置，藉由TAB帶的種類及搬運的條件（連續搬運或間歇搬運）來決定。即，連續搬運的情況下，將TAB帶以預定的速度來搬運。控制部1 0根據設於TAB帶之鏈輪孔或其他對準記號 (基準記號）的檢測信號來決定掃描的時點，當導線群15 來到掃描範圍內時則開始掃描。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製又，間歇搬運的情況下，根據設於TAB帶之鏈輪孔或其他對準記號（基準記號）的檢測信號來檢測導線群1 5來到掃描範圍，使TAB帶1 3停止搬運，開始掃描。而且，終了掃描的TAB帶1 3開始搬運，下次的導線群來到掃描範圍內，則與上述同樣開始掃描。 (3 )掃描設於TAB帶1 3之設計孔14的導線群丨5上的雷射光，以聚光透鏡5聚光，並在受光器6受光。當掃本紙張尺度適用中酬家標準（CNS ) A4規格（21GX297公釐） "~ -13- 577973 A7 _____B7 _ 五、發明説明（1〇描光通過導線群1 5上時，射入於受光器6的光量變少，當通過導線間時光量變大。受光器6，輸出根據上述光量的信號，該信號輸入於控制部1 0的判定部1 〇 a。上述受光器6的輸出，譬如如第6圖（a)所示。第6 圖（a )中，橫軸是從掃描開始的經過時間（或正在掃描位置），縱軸是受光器6之輸出信號的大小。此外，於此，橫軸作爲時間加以說明。如第6圖（a )所示，受光量之峰値-峰値間是顯示導線的間距，受光量較預定値小的期間之長度是顯示導線寬度。又，該圖（b )所示，將上述受光量變換成矩形波的情況下，矩形波之中心間的長度，是顯示導線的間距，斷開時間是顯示導線寬度，又，導通時間是顯示間隔寬度。因而，若導線以同樣粗度等間隔設置的話，則第6圖 (a ) ( b )所示波形，形成固定周期的信號。可是，有間距的變化、彎曲則波形會紊亂。控制部10的判定部10a，將上述信號在比較器l〇b與預先設定之設定値作比較，如第6圖（b )所示變換成矩形波狀的信號，並將該矩形波狀的信號輸入到導通時間計數器l〇c、斷開時間計數器10d。導通時間計數器1 〇c，在上述矩形波之上昇則開始時鐘信號CLK的計數，在該矩形波之下降則停止時鐘信號CLK 的計數。而且，將計數値輸出到判定器1 0 a之後，再設定。又，斷開時間計數器1 〇d在上述矩形波之下降則開始時本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -14- 577973 A7 B7 五、發明説明（12) 鐘信號CLK的計數，在該矩形波之上昇則停止時鐘信號 CLK的計數，而且，將計數値輸出到判定器10e之後，再設定。因此，導通時間計數器1 〇c的輸出，成爲對應於上述矩形波的導通時間之値，斷開時間計數器1 〇d的輸出，成爲對應於上述矩形波的斷開時間之値。判定器1 Oe，藉由上述矩形波之中心間的時間、矩形波的導通時間、斷開時間來判定導線是否良好。第7圖是顯示導線的形狀，及對應之受光器6的受光量（輸出信號）之一例。該圖（a )是顯示導線形狀，該圖 (b)是顯示受光器6的輸出，該圖（c)是顯示前述矩形波。如第7圖（a ) ( b )所示，導線之間距和間隔寬度一變化，則使波形之峰値的間距、高度、寬度產生變化。導線之寬度一變化亦同樣。彎曲的情況，使外觀上、導線寬度和間隔寬度產生變化，所以同樣，使間距、高度、寬度產生變化。又，據此，矩形波的導通時間、斷開時間變化成如該圖（c )所示。控制器10之判定器l〇d，從上述矩形波之中心間的時間、矩形波的導通時間、斷開時間來調查導線之間距的變化、導線寬度的變化、又，間隔寬度的變化。而且，間距 '導線寬度、間隔寬度成爲預先設定的容許範圍外之情況，成爲檢測不良並輸出不良信號。判定器1 〇d輸出不良信號，則譬如，在該設計孔的近本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15- 577973 A7 ___B7 五、發明説明（13) 傍以未圖示的機構來作記號。即，用打孔器打孔，或塗上顏色等，使該晶片一眼即可知不良。此外，上述說明，將受光器I 0之輸出變換成矩形波，從導通時間、斷開時間來判定導線是否良好，但來檢測第7 圖（b )所示波形的高度、峰値位置，亦可求出間距、導線寬度、間隔寬度來判定導線是否良好。又，上述，第6圖（a)的橫軸作爲時間軸作了說明，但在光掃描部3，使用第5圖所示2軸驗電掃描透鏡的情況下，第6圖（a )的橫軸成爲掃描位置，從矩形波之中心間的距離、矩形波成爲導通的距離、成爲斷開的距離，求出間距、導線寬度、間隔寬度等來判定導線是否良好。【發明之效果】如以上說明，本發明中，在導線群上掃描光點狀的雷射光，將通過導線群上的雷射光藉由受光器進行受光，從受光量之變化求出導線的「間距」、「導線寬度」、「間隔寬度」，來判定導線是否良好，所以不用影像處理可判定導線是否良好，可高速進行檢查，同時可廉價構成裝置〇【圖面之簡單說明】第1圖是顯示本發明之實施列的導線檢查裝置之構成圖。第2圖是顯示設計孔中之導線群的配置及雷射光的掃本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -16- 577973 A7 B7 五、發明説明（14) 描方向之關係圖。第3圖是顯示沿著設計孔之內周設有四列導線群的情況圖。第4圖是顯示組合多角形反射鏡及驗電掃描透鏡之光掃描部的構成例圖。第5圖是顯示使用兩軸驗電掃描透鏡之光掃描部的構成例圖。第6圖是顯示受光器之輸出信號波形及間距、導線寬度、間隔寬度的關係圖。第7圖是顯示導線之形狀及對應之受光器的受光量一例圖。第8圖是顯示TAB之構造的一例圖。第9圖是以TAB方式結合之導線的放大斜視圖。第1 〇圖是顯示導線之主要檢查項目圖。第Π圖是顯示先前技術之導線檢查裝置的構成圖。【圖號說明】 1…光源， 2…光整形透鏡， 3…光掃描部， 3a…多角形反射鏡， 4…f Θ透鏡， 5…聚光透鏡， 6…受光器，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -17- 577973 A7 B7 五、發明説明（15)

Iab c d ο 7 8 8 8 8 1 鏡透描掃電驗

軸軸 X Y 軸軸制 X Y 控 A τ 設鏡鏡器器射射描描，，，反反掃掃部帶孔群線導 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18-

Claims

577973 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍1 1 · 一種形成於帶狀之開口部的導線檢查裝置，針對將形成於帶狀之開口部的導線作爲被檢查部來檢查的導線檢查裝置，其特徵爲：具備：放射點光的光源，及對上述帶狀之被檢查部掃描上述點光的掃描反射鏡；及設於上述掃描反射鏡及上述被檢查部之間的f β透鏡；及對於被檢查部，與上述f 0透鏡設於相反側，來接受通過被檢查部的點光，並輸出根據受光量之信號的受光器；及輸入從上述受光器的信號，藉由受光器之受光量的變化來判定被檢查部之良好或不良的判定裝置。 (請先閲囀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製表紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ·以_