577827 A7 B7 五、發明説明（1 ) 〔發明的技術領域〕 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明是關於積體電路、顯示裝置、光學元件等之製 造過程中，在基板上之薄膜等執行微細圖案形成之圖案描 繪裝置。 〔相關技術之說明〕 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 半導體基板或光學元件等之製造過程中，不能缺少薄 膜之圖案化步驟。圖案化之實施上，例如，在被處理膜上 塗敷光阻劑，對該光阻劑實施圖案曝光，實施曝光後之光 阻劑的顯影處理，將殘留之光阻劑當做遮罩並執行被處理 膜之触刻處理。HI[述之圖案曝光’使用圖案描繪裝置。圖 案描繪上，除了使用光遮罩之面曝光以外，尙有利用光束 之線掃描的曝光方式。後者使用於光碟之原盤製作及自由 圖案之描繪上。例如，日本特開昭5 9 - 1 7 1 1 1 9號 、日本特開平1 〇 - 1 1 8 1 4號等即記載著旋轉掃描系 統之圖案描繪裝置。這些圖案描繪裝置，是將塗敷著光阻 劑之基板載置於旋轉台上，以利用圖案資料進行調變之雷 射光進行旋轉掃描，將圖案描繪至該基板上。 然而，前述之旋轉掃描系統的圖案描繪裝置，是以掃 描機等以X - Y座標系讀取圖案資料，再將其轉換成r -0座標系之資料，並將其暫時儲存於記憶體內。然後，和 基板之旋轉同步從記憶體呼出像素資料並調變光束，使塗 敷於基板上之光阻劑曝光，描繪圖案。因此，至少將每一 旋轉掃描（1磁軌份）之必須儲存描繪轉換成r - 0座標 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4- 577827 A7 B7 五、發明説明（2 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 系之資料。必須描繪高解析度之圖案時，則必須針對1磁 軌之圓周的全部描繪點，將其從X 一 γ座標系資料轉換成 r - 0座標系資料’演算量因而增加而延長轉換時間，故 高速描繪會受到限制。又，C P U之演算處理能力相對較 低時，高解析度或多級（multilevel)之圖案描繪則會受到 限制。同時，亦需要大容量之記憶體。 〔發明之摘要〕 因此，本發明之目的，即在提供以相同程度之處理能 力的C P U亦可實施更高速描繪之圖案描繪裝置。 本發明之目的，也在同時提供以相同程度之處理能力 的C P U亦可實施高解析度描繪之圖案描繪裝置。 〔發明所欲解決之問題〕 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 爲了達成前述目的，本發明之圖案描繪裝置，爲在基 板上形成同心圓狀配列之複數磁軌並描繪二次元圖案之圖 案描繪裝置，並具有圖案產生機構：在1磁軌之至少2處 部位重複以正或反方式配列各磁軌之基本的基本像素列， 並針對連續複數磁軌執行前述處理，輸出形成前述二次元 圖案之像素列資料；調變機構：依據前述像素列資料實施 掃描前述基板之描繪光束的調變；以及，光束位置設定機 構：同步設定前述像素列資料之前述描繪光束在前述基板 上的掃描位置。 利用此構成，只要較少之從X - Y座標系轉換至r - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5- 577827 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（3 ) 0座標系的轉換像素資料即可進行圖案描繪。 前述基板最好能在圓周方向上，晝定分割成複數個扇 區、及由此扇區之1個或連續之複數個組合而成的群集區 ’问時含有複數之則述群集區，而在前述描繪光束掃描前 述群集區之磁軌上時，前述圖案產生部會輸出前述基本像 素列。 利用此種構成，整體之圖案形成的控制程式會更爲容 易。 前述圖案產生機構在前述基本像素列之間，最好能配 列不形成圖案之模擬像素列。利用此方式，則不需要圖案 資料之轉換，而可減輕描繪處理之演算負擔。 前述圖案產生機構在前述群集區以外之扇區的磁軌上 ，最好能配列不形成圖案之模擬像素列。利用此方式，可 以扇區單位設定有無描繪，圖案形成之程式可較爲容易化 0 前述磁軌最好爲利用依據前述像素列資料調變之描繪 光束進行基板之旋轉掃描所得的軌跡。例如，利用光束及 感光膜之圖案描繪會更爲容易。 本發明之圖案描繪體的製造方法，爲在基板上形成同 心圓狀配列之複數磁軌，並以描繪二次元圖案形成圖案描 繪體之製造方法，以在1磁軌之至少2處部位重複以正或 反方式配列各磁軌之基本的基本像素列，並針對連續複數 磁軌執行前述處理，形成前述二次元圖案。 前述基板最好能在圓周方向上，晝定分割成複數個扇 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ：297公釐） -6- 577827 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（4 ) 區、及由此扇區之1個或連續之複數個組合而成的群集區 ’基板上含有複數之前述群集區，而前述基本像素列配列 於前述群集區之磁軌上。 前述群集區以外之扇區的磁軌上，最好能配列不形成 圖案之模擬像素列。 又，具有本發明圖案描繪體之裝置的製造方法，其特 徵爲利用前述圖案描繪體之製造方法中任一種方法獲得該 圖案描繪體。 前述圖案描繪裝置、描繪方法可使用於積體電路等之 半導體裝置、L C D顯示裝置、電泳顯示裝置、光遮罩、 反射板、導光板、繞射光柵等光學裝置等具有圖案描繪體 之裝置的製造上。 〔圖式之簡單說明〕 圖1爲本發明圖案描繪裝置之整體構成的機能方塊圖 〇 圖2爲圖案產生器4 0之構成實例的方塊圖。 圖3爲記憶體4 0 4之內部區域使用實例的說明圖。 圖4爲第1圖案描繪實例的說明圖。 圖5爲描繪第1圖案時之扇區、群集之構成實例的說 明圖。 圖6爲從記憶體控制器4 0 5之記憶體4 0 4讀取資 料之動作的流程圖。 圖7爲資料輸出之處理的流程圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格i210X297公釐） ' ' (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 577827 A7 B7 五、發明説明（5 ) 圖8爲扇區之最終點以外之處理的流程圖。 圖9爲群集之最終點以外之處理的流程圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖10爲群集之最終點處理的流程圖。 圖1 1爲磁軌之最終點處理的流程圖。 圖1 2爲產生資料傳送要求信號之流程圖。 圖1 3爲記憶體之讀取記憶庫切換的流程圖。 圖14爲第2圖案描繪實例之說明圖。 圖15爲描繪第2圖案時之扇區、群集實例的說明圖 〇 圖1 6爲描繪第2圖案之扇區最終點以外之處理的流 程圖。 圖1 7爲描繪第2圖案之磁軌最終點處理的流程圖。 圖1 8爲描繪第2圖案之群集最終點處理的流程圖。 圖1 9爲描繪第2圖案之群集最終點以外之處理的流 程圖。 主要元件對照表 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
雷射光產生裝置 光束（雷射光） 電氣光學調制器 半透明鏡 光檢測器 電平調整器 音響光學調制器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8 - 577827 A7 B7 五、發明説明（6 ) 1 8 反射鏡 1 9 反射鏡 2 0 物鏡 2 1 光束點 3 1 旋轉台 3 2 基板 3 3 進給馬達 3 4 滑塊 3 5 轉軸馬達 4 0 圖案產生 器 4 〇 1 描繪點座 標 產 生 機 構 4 〇 2 描繪點座 標 資 料 產 生機構 4 0 3 圖案儲存 部 4 〇 4 記憶體 4 〇 5 記憶體控 制 器 4 〇 6 D / Α變 換 器 4 0 7 振蕩器 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〔發明之實施形態〕 以下，參照圖面說明本發明實施形態。 圖1爲本發明圖案描繪裝置之整體構成的機能方塊圖 〇 圖中，從光束光源之雷射光產生裝置11射出之光束 (雷射光）1 2 ，會經由電氣光學調制器（E〇Μ ) 13 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -9 - 577827 A7 B7 五、發明説明（7 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 到達半透明鏡1 4。光束1 2之一部份會通過半透明鏡 1 4入射至第1光檢測器1 5，其他則會反射並入射至音 響光學調制器（A〇Μ ) 1 7。光檢測器1 5會檢測光束 1 2之強度。測得之光強度會被轉換成電平信號，並由光 檢測器1 5提供給電平調整器1 6。電平調整器1 6會對 應光束點2 1之旋轉台3 1直徑方向的位置r ，控制施加 於電氣光學調制器1 3並設定透過量，調整光束強度。利 用此方式，以一定之角速度（CAV)實施旋轉台3 1之 旋轉控制時，掃描光阻劑之光束的曝光能量密度會保持一 定。前述之電氣光學調制器1 3、第1光檢測器1 5、及 電平調整器16等構成電平調整迴路。 半透明鏡1 4反射之光束1 2，如前面所述，會由電 平調整迴路調整至一定強度，並經由音響光學調制器（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A0M)17、反射鏡18、反射鏡19、及物鏡20導 至旋轉台3 1上。音響光學調制器1 7會對應後述之圖案 產生器4 0提供的圖案信號改變透過率，調整光束1 2之 強度。音響光學調制器1 7會對應依像素列資料調變描繪 光束之調變機構。物鏡2 0會將光束1 2集光於基板3 2 上，形成光點2 1。光點2 1以圖上未標示之聚焦伺服控 制於一定之直徑（焦深）。聚集伺服可以採用如偏斜（ skew)法。又，在基板上形成複數之層疊膜時，亦可將焦 點調整於該複數層疊膜之特定膜上。光點2 1之直徑相當 於1旋轉掃描之直徑方向的寬度（磁軌之寬度），使用於 圖案之寫入（描繪）。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) -10 - 577827 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ___ B7 _ __五、發明説明（8 ) 載置基板3 2之旋轉台3 1 ，利用轉軸馬達3 5驅動 旋轉。此旋轉利用圖上未標示之驅動電路執行，該電路會 依據圖案產生器4 0提供之時鐘信號產生驅動信號。又， 旋轉台3 1載置於在其直徑方向上移動之滑塊3 4，滑塊 3 4利用進給馬達3 3驅動，旋轉台3 1之1個旋轉會進 給1間距之滑塊，故可得到光點2 1所形成之渦旋狀旋轉 掃描軌跡。進給馬達3 3之進給量由圖案產生器4 0控器 。旋轉台3 1、進給馬達3 3、滑塊3 4、及轉軸馬達 3 5，會和同步在像素列之資料設定描繪光束在基板上之 掃描位置的光束位置設定機構相對應。又，不移動旋轉台 3 1而以另外之滑塊來使成像光學系（1 8〜2 1 )在旋 轉台之直徑方向移動亦可。 圖2爲對應圖案產生機構之圖案產生器4 0的構成實 例之機能方塊圖。圖案產生器4 0是由描繪點座標產生部 40 1、描繪點座標資料產生部402、圖案儲存部 4 0 3、記憶體4 0 4、記憶體控制器4 0 5、D / A變 換器4 0 6、及振蕩器4 0 7等所構成。這些機能都可以 電腦系統實現。 描繪點座標產生部4 0 1會依據記憶體控制器4 0 5 提供之資料傳送要求信號，以對應旋轉台之極座標（r i， 0 i )形式輸出描繪之磁軌的各像素位址。例如，連續產生 1磁軌份之像素位址群。描繪點座標資料產生部4 0 2會 將以極座標表示之各像素（r i，0 i )的位址，轉換成和 其對應之X - Y座標系的位置（χ^，yi)之圖案資料的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 一 一 ' -11 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 577827 A7 B7 五、發明説明（9 ) 位址。極座標（I*i，e i)及X — Y座標（Xi，yi)之 座標轉換，利用Xi=riC〇s0i、= i ηθί之關係式實施。此時，ri爲χ — γ座標之 原點位置〇（0，0 )至任意位置Ρ ( X i，y i )之像素 爲止之距離〇P (相當於磁軌編號ri) ，爲X軸和線 段〇P之夾角。必須描繪於基板上之圖案的資料，例如， 以掃描機等將以二次元表示之位元映像資料預先儲存於圖 案儲存部4 0 3。另外，利用C A D資料（利用電腦製成 之圖案設計資料）轉換者等亦可。圖案儲存部4 0 3亦會 儲存必須描繪之前述圖案形成的相關資訊。此資訊會經由 記憶體4 0 4提供給記憶體控制器4 0 5。如上面所述， 描繪點座標資料產生部4 0 2會在對應描繪點座標產生部 4 0 1提供之一連串極座標位址（r i，0 i)之X - Y座 標系位址（X ,，y i )，從圖案儲存部4 Ο 3讀取必須描 繪之圖案的像素資料，並儲存於記憶體4 〇 4。例如，將 1磁軌份之像素資料儲存於記憶體4 0 4。 如圖3所示，記憶體4 0 4具有記憶庫Α及記憶庫Β 之2個區域，在對一方區域執行讀取或寫入時，亦可對另 一方區域執行寫入或讀取。將記憶體之位址〔〇〕〜〔 SizeBank-l〕區域指定爲記憶庫a，並將記憶體之位址〔 SizeBank〕〜〔2 X SizeBank〕區域指定爲記憶庫B。記憶 體控制器4 0 5在讀取記憶庫A之現在讀取位址、位址〔 adrCrrnt〕之資料D〔 andCrrnt〕時，記憶庫B之資料會被 更新。因此’讀取1磁軌份之像素資料群時，可以寫入下 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 f 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12- 577827 A7 B7 五、發明説明（10 ) —個磁軌之像素資料群，可執行F I F〇（First In First Out )的動作。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 記憶體控制器4 〇 5會逐次從記憶體4 〇 4讀取各磁 軌之像素資料並提供給1)/厶變換器4 〇 6，而獲得音響 光學調制器1 7之調變輸入。對應像素資料設定音響光學 調制器1 7之透過率，可以像素資料調變光束。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 記憶體控制器4 0 5完成從記憶體4 〇 4之一方記憶 庫δ賣取1磁軌份的像素資料後，會從另一方之記憶庫讀取 下一個1磁軌份的像素資料，同時對描繪點座標產生部 4 0 1發出資料傳送要求信號，並輸出下一個磁軌之像素 資料的位址。重複此動作，當描繪點座標產生部4 〇 1產 生從第1磁軌之像素資料的位址至最終磁軌之像素資料的 位址後，即完成基板上必須描繪圖案之區域的像素資料之 位址。提供像素資料之記憶體控制器4 0 5及D / Α變換 器4 0 6會和振蕩器4 0 7提供之時鐘信號同步動作，此 振蕩器4 0 7輸出之時鐘亦會被使用於轉軸馬達3 5及進 給馬達3 3之旋轉控制上，旋轉台3 1之旋轉及滑塊3 4 之直徑方向移動會和像素資料之傳送同步。因此，旋轉台 3 1、及滑塊3 4之旋轉控制系各進給馬達3 3的資料傳 送爲同步，利用r - Θ座標系之旋轉掃描可描繪圖案。 如前面所述，本發明之實施例中，可以減少描繪點座 標產生、描繪點座標資料產生之座標轉換等演算處理量， 圖案產生器4 0則如下面所述，更具有重複利用記錄於記 憶體之資料、非描繪區域之零資料產生等機能。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） -13- 577827 A7 B7 五、發明説明（11 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖4爲實施例中描繪於基板3 2上之圖案的實例圖。 此圖案由從描繪於圓形基板3 2之中心上側右半邊區域的 描繪圖案1、描繪於該基板之上側左半邊區域的描繪圖案 2、以及描繪於該基板之下側半邊區域之非描繪區域所構 成。描繪圖案1及2爲對稱於通過基板中心線之圖形，在 圖示中，描繪圖案1及2之四角有箭頭標示。又，圖4中 ，形成描繪圖案1之掃描軌跡爲軌跡1 ，形成描繪圖案2 之掃描軌跡爲軌跡2，而掃描非描繪區域之軌跡爲軌跡3 針對描繪此種圖案之圖案產生器4 0的動作進行說明 。如前面所述，記憶體4 0 4含有記憶庫Α及記憶庫Β之 2個記憶庫，各記憶庫之記憶容量（尺寸）爲SizeBank， 此記憶容量具有大於以軌跡1描繪圖案1之必要容量的容 量。位址〔adrCrrnt〕之資料以D〔adrCrrnt〕來表示。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如圖5所示，圖案產生器4 0會將描繪區域分割成同 尺寸之扇形區域的扇區來進行處理。在此例中，一圓周之 掃描軌跡（1磁軌）分割成2 4扇區。應對應描繪圖案選 擇適當之扇區數。可以單一、或連續複數之扇區來構成群 集。在圖示之實例中，將各扇區指定爲描繪圖案1、描繪 圖案2、對應非描繪區域之群集+(扇區0〜5)、群集 一（扇區6〜11)、虛擬群集（扇區12〜23)。群 集+時，會對應描繪圖案1以順向掃描記憶體位址。利用 此方式，將基本像素列描繪於基板上。群集-時，會對應 描繪圖案2以逆向掃描記憶體位址。利用此方式，可以前 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -14 - 577827 A7 B7 五、發明説明（12 ) 述基本像素列以逆順序描繪於基板上。群集+及群集一之 扇區數相同。非描繪區域時，位址不會變化，產生模擬（ 零）資料。 參照流程圖來說明此時之記憶體控制器4 0 5的處理 .。圖6爲記憶體控制器4 0 5之主程序的流程圖。圖7爲 資料輸出副程序之流程圖。圖8爲執行扇區以外之點（像 素）處理之副程序的流程圖。圖9爲磁軌之最終點處理的 副程序之流程圖。圖1 0爲群集之最終點處理的副程序之 流程圖。圖1 1爲執行群集以外之最終點處理的副程序之 流程圖。 各流程圖中使用之運算子、變數、常數定義如下。其 中之變數等，會由監視裝置運作狀態之電腦隨時更新。 <=:從右邊代入左邊 + + :增量 _ —:減量 =?:比較 cntDot_Sect:表示執行扇區內（且爲1磁軌內）之第 幾個點的變數。 cntSect — Rev :表示執行磁軌內第幾個扇區的變數。 cntSect_Clst :表示執行群集內第幾個扇區的變數。 cntTrack :表示執行描繪區域內第幾個磁軌的變數。 adrCrrnt :以記憶體控制器存取記憶體爲目的之位址。 NDot_Clst :構成1磁軌上之1扇區的點數。 NSect—Rev ··構成1磁軌之扇區數。在本例中爲2 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 •I. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15· 577827 A7 ________ B7 五、發明説明（13 ) Ο (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) NSect一 Cist :構成1群集之扇區數。在本例中爲6。 adrFrnt :對應下一個群集+之前頭點的位址。 變數AdrCrrnt爲以尺寸2 X SiziBank巡迴。亦即， AdrCrrnt = 2 SiziBank-1 時，執行 AdrCrrnt 之增量，而成爲 AdrCrrnt = 0。相反的，AdrCr「nt = 〇 時，會執行 AdrCrrnt 之 減量，而成爲 AdrCrrnt = SiziBank-1。 如圖6所示，記憶體控制器4 0 5收到開始描繪指令 即會執行初始化。亦即，會分別將變數cntDot_Sect、 cntSect一Rev、cntSect一Cist、cntTrack、adrCrrnt 設定爲 0。又，在描繪區域選取群集+，設定描繪區域之該旗標 (s 1 2 ) ° 其次，描繪中之磁軌的編號是否爲描繪結束之磁軌編 號，利用變數cntTrack之値是否爲代表描繪磁軌結束之結 束値NTrack來判別（S 1 4 )。爲描繪磁軌之結束時（ S14;Yes)，結束描繪處理（S16)。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 初期狀態時，因尙非最終描繪磁軌之結束（S 1 4 : No)，會執行儲存於記憶體4 0 4之像素資料的資料輸 出（S 1 8 )。如圖7所示，資料輸出處理會判別現在之 描繪點的區域是否爲虛擬區域（S 1 8 2 )。爲虛擬區域 (S182 ;YES)時，會輸出「0」資料（S184 )。又，非虛擬區域（S182;N〇）時，會輸出資料 D「adrCrrnt」（S 1 8 6 ) 〇 現在之扇區的處埋點編號是否爲該扇區之最終點編號 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X：297公釐） -16 - 577827 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（14 ) ，會以變數cntDot—Sect是否和NDot_Clst-1相等來進行 判別。又，變數是從「0」開始，故最終之點編號爲 N D 〇 t _ Cist — 1 (S20)。又，未達到扇區之 最終點時（S20;N〇)，扇區之讀取點的編號會增加 「1」（S 2 2 )，執行扇區之最終點以外的處理（ S 2 4 )。 如圖8所示，扇區之最終點以外的處理上，會判別現 在之描繪區域是否爲虛擬區域、群集+區域、及群集-中 之其一（S242)。爲虛擬區域時，會結束此副程序而 回到步驟S 1 4。爲群集+區域時，會使存取至記憶體 4 0 4之位址增加「1」（S 2 2 4 )，並回到步驟 5 1 4。爲群集一時，則會使存取至記憶體4 0 4之位址 減少「1」（S 2 4 6 )，並回到步驟S 1 4，重複處理 步驟。 扇區之處理點編號爲該扇區之最終點編號時（S 2 0 ；Y e s )，會對應描繪點朝下一個扇移動，而將代表扇 區之點編號的變數cntDot_Sect設定爲「〇」（重設）（ S 2 0 ) ° 其次，扇區之編號是否爲磁軌之最後的扇區編號，以 比較變數cntSect_Rev及變數NSect_Rev-1來判別（ S 2 8 )。又，非最後扇區時（S28: No)，會增加 變數cntSect_Rev，並使扇區編號增加「1」（S30) 〇 判別現在之描繪點的區域是否爲虛擬區域（S 3 2 ) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -17- 577827 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（15 ) 。爲虛擬區域時（S32; Yes)，如後面所述’會輸 出「0」資料，而不會對記憶體4 0 4執行讀取’回到步 驟S14，重複處理步驟。 非虛擬區域時（S 3 2 ; N 〇 )，現在之描繪點的扇 區是否爲該群集內之最後扇區，以比較變數cntSect-Clst 及變數NSect_Clst-1來判別（S 4 Ο )。非最後之扇區時 (S 4 Ο ； N 〇 )，因是扇區之最終點（S20;Yes )，變數cntSect_Clst會增加「1」（S 4 2 )，並執行 群集之最終點以外的處理（S 4 4 )。 如圖9所示，此群集之最終點以外的處理，會判別現 在之描繪區域是否爲群集+區域、群集-中之其一（ S 4 4 2 )。爲群集+區域時，存取至記憶體404之位 址會增加「1」（S 4 4 4 )，並回到步驟S 1 4。爲群 集一時，存取至記憶體4 0 4之位址會減少「1」（ S446)，回到步驟S14,重複處理步驟。 其次，現在之描繪點的扇區爲該群集內之最後扇區時 (S 4 0 ; Y e s )，會將變數 cntSect —Cist 設定爲「〇 」’重設計數（S 4 2 )。執行群集之最終點的處理（ S 4 4 ) ° 如圖1 〇所不’群集之最終點的處理，會判別現在之 描繪區域是否爲群集+區域、群集一中之其一（S 4 4 2 )。爲群集+區域時，現在存取至記憶體4 〇 4之位址 adrC「rnt會增加「丄」（S 4 4 4 )，並設定爲下一個群 集之則頭點的位址adrFrnt ( s 4 8 4 )。在區域旗標設定 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297公釐1 -- -18- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣.
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•I 577827 A7 B7 五、發明説明（16 ) 爲群集一（S486)並回到步驟S14。現在之描繪區 域爲群集—時，會將變數adrCrrnt設定爲變數adrFrnt( (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) S 4 4 8 )。將區域旗標設定爲虛擬（S490)，回到 步驟S14，重複處理步驟。 其次，爲磁軌之最後扇區時（S28;Yes)，會 將變數cntSect_Rev設定爲「〇」，重設扇區編號（ S 5 0 )，使變數cntTrack增加「1」，將處理磁軌設定 爲下一個磁軌（S 5 2 )。執行磁軌之最終點處理（ S 5 4 ) ° 如圖1 1所示，磁軌之最終點的處理，會判別現在之 描繪區域是否爲虛擬區域、群集+區域、群集-中之其一 (S 5 4 2 )。爲虛擬區域時，會將區域旗標設定爲群集 + ( S 5 4 8 )，回到步驟S14，重複處理步驟。 現在之區域爲群集+區域時，會使變數adrCrrnt增加 「1」，增加記憶體之存取位址（S 5 4 4 )，並將區域 旗標設定爲群集+(S548)，回到步驟S14，重複 處理步驟。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 現在之描繪區域爲群集-時，會將變數adrCirnt設定 爲變數adrFrnt ( S 5 4 6 )，將區域旗標設定爲群集+ ( S 5 4 8 )，回到步驟S14,重複處理步驟。 從步驟S 1 4開始重複前述步驟，可以執行記憶體 4 0 4之位址指定，並重複讀取資料。 利用此方式，記憶體控制器4 0 5可以執行記憶體 4 0 4之位址指定，讀取點（像素）資料，描繪圖案。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19 - 577827 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（17 ) 圖1 2爲記憶體控制器4 0 5產生資料傳送要求信號 之流程圖。如前面所述，完成記憶體4 0 4之記憶庫a資 料的讀取後，記憶體控制器4 0 5會對描繪點座標產生部 4 0 1傳送資料傳送要求信號。此程序中，描繪點座標產 生部4 0 1會產生S i z i B a n k份之座標，描繪點座 標資料產生部4 0 2會將各描繪點之資料傳送給記憶庫a 。完成記憶庫B之資料讀取時，亦會實施相同之處理。 資料傳送要求處理，首先，會將資料傳送要求旗標 bankReq設定爲「〇」，並執行重設（S62)。其次，以 變數cntSect —Rev爲「〇」且變數cntDot —Sect亦爲「〇 」，來判別現在之讀取位置是否爲特定位置，亦即，判別 磁軌內之扇區是否爲0號且扇區內之點編號亦爲〇號—— 磁軌之前頭扇區的扇區前頭位置（S64)。 爲此磁軌之扇區前頭位置時（S64;Yes)，記 憶體控制器4 0 5會以後述之變數c「ossBorder値來判別 是否已對記憶體4 0 4之A或B的最終位址進行存取（ 5 6 6 )。變數crossBorder的値非爲「1」、或未對最 終位址進行存取時（S 6 6 ; N 〇 )，不會產生資料傳送 要求，回到步驟S 6 4，重複處理步驟。已對最終位址進 行存取時（S 6 6 : Y e s )，將資料傳送要求旗標 bankReq設定爲「1」，將資料傳送要求信號傳送至描繪點 座標產生部401 (S68)，回到步驟S64，重複處 理步驟。 另一方面，現在之讀取位置並非磁軌之扇區前頭位置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 衣 訂 ~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -20- 577827 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _ ____B7五、發明説明（18 ) 時（S64;No)，以變數bankReq是否爲「1 」來判別是否已產生資料傳送要求（S 7 0 )。未產生資 料傳送要求時（S70;N〇)，回到步驟S64，重複 處理步驟。已產生資料傳送要求時（S70; Yes)， 會將變數bankReQ設定「0」，重設變數bankReq ( S72)並回到步驟S64。變數bankReq被重設後，資 料傳送要求會被消除（S62)。處理步驟64〜步驟 S 7 2之各迴路會和振蕩器4 0 7之時鐘同步。資料傳送 要求信號bankReq爲防止記憶體上之必要資料被覆蓋，會 和旋轉台之旋轉同步傳送。描繪資料可在1圓周內重複再 利用。 圖1 3爲報行記憶庫切換檢測之變數cross Border的 流程圖。變數crossBo「der在記憶體控制器對記憶庫A或 B之最終位址進行存取時，會變成「1」，輸出變數 bankReq信號後則會變成「〇」。 記憶庫切換之檢測處理，首先，記憶體控制器會重設 變數 crossBorder ( S 8 2 )。以代表讀取位址之變數 adrCrrnt 是否和 SiziBank-1 或 2SiziBank-1 相等，判別現 在之記憶體4 0 4的讀取位址是否爲A記憶庫之最大位址 、或B記憶庫之最大位址（S 8 4 )。記憶體4 0 4之讀 取位址爲A或B記憶庫之最終位址時（S 8 4 ; Y e s ) ，結束一方記憶庫之讀取、或將代表讀取位置位於記憶體 記憶庫之境界的變數crossBorder設定爲「1」（S 8 6 )，回到步驟S64，重複處理步驟。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -21 - 577827 A7 __ B7 五、發明説明（19 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 記憶體4 0 4之讀取位址並非A或B記憶庫之最終位 址時（S84;N〇)，以變數bankReq是否爲「1」來 判別是否已產生資料傳送要求（S 8 8 )。未產生資料傳 送要求時（S88;No)，回到步驟S84，重複處理 步驟。已產生資料傳送要求時（S88;Yes)，將變 數crossBorder設定爲「〇」，重設變數crossBorder ( S 9 0 )並回到步驟S 8 4。變數crossBorder被重設後 ，記憶庫切換信號會消失（S 6 2 )。處理步驟S 8 4〜 步驟S9 〇之各迴路和振蕩器4 0 7之時鐘同步。以此方 式，當讀取位址通過記憶庫之境界時，變數crossBorder 會變成「1」，變數bankReq變成「1」且產生資料傳送 要求信號，則會被重設爲「0」。 重複此一連串動作，產生描繪點資料之處理比傳統減 少一半，故可以獲得高速描繪。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖1 4爲其他實例之說明圖。此例爲使用「J」狀之 箭頭1的圖案資料來描繪4個圖案。以相同描繪資料描繪 形成1磁軌之軌跡的等長軌跡1、2、3、及4，形成4 個圖案。 圖1 5爲此時之群集的配置。描繪區域分割成2 4個 扇區，扇區0〜5爲群集0 +、扇區6〜1 1爲群集1 + 、扇區1 2〜1 7爲群集2 +、扇區1 8〜2 3爲群集 3 +。此時，群集之「+」代表位址指定爲朝增加方向（ 順向）讀取。 此實施例中，圖6所示之處埋的副程序內容變更爲圖 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22- 577827 A7 B7 五、發明説明（20 ) 16至圖20所示。 亦即’如圖1 6所示’扇區之最終點以外的處理（ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) S 2 4 )’會使記憶體控制器4 0 5對記憶體4 〇 4存取 之位址增加「1」（S244)，並回到步驟si4。又 ，如圖1 7所示，磁軌之最終點的處理（s 5 4 )，會使 記憶體控制器4 0 5對記憶體4 0 4存取之位址增加r工 」（S 5 4 4 )。而且，代表對應群集之前頭點的記憶體 位址的變數adrBack會被設疋爲現在位址之adrCrrnt的値 (S545)，並回到步驟S14。群集之最終點的處理 (S 4 8 )如圖1 8所示，記憶體控制器4 0 5對記憶體 4 0 4存取之位址會設定爲a d r B a c k並增加「1」 (S 2 4 4 )，回到步驟S 1 4。群集之最終點以外之處 理（S 4 4 )如圖1 9所示，記憶體控制器4 〇 5對記憶 體404存取之位址會增加「1」（S244)，並回到 步驟S 1 4。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此第2實施例，和描繪點座標產生部4 0 1及描繪點 座標資料產生部4 0 2全面產生描繪點資料時相比，因同 一資料使用4次，故處理資料量約爲1/4。 如上面所述，利用本發明之實施例，在特定之磁軌範 圍，重複使用基本之圖案資料，或使用虛擬資料來描繪整 體之圖案，故和對整體圖案資料實施資料轉換時相比，# 可減少資料轉換所需要之演算負擔。 如以上說明所示，利用本發明之圖案描繪裝置，因重 複使用被轉換成r - 0座標系之資料來描繪圖案，故資料 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -23- 577827 A7 B7 五、發明説明（21 ) 轉換之演算處理量會減少，而可以獲得更快速之描繪。又 ，亦可提高解析度。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -24-